KR20200067995A

KR20200067995A - 유체 수송 장치

Info

Publication number: KR20200067995A
Application number: KR1020180072987A
Authority: KR
Inventors: 추안-창 펭; 치-후이 라이
Original assignee: 사이언테크 코포레이션
Priority date: 2017-09-05
Filing date: 2018-06-25
Publication date: 2020-06-15
Also published as: TWI644023B; KR102124247B1; CN109424557B; CN109424557A; TW201912942A

Abstract

유체를 수용하기 위한 홈;유체 구동부;주 순환 파이프라인; 및 상기 주 순환 파이프라인에 연결되어 통하고, 상기 유체 구동실 내 상기 복수의 기포를 포함한 상기 유체의 일부를 제거하는 데 사용되는 기포 제거부를 포함하고, 상기 유체 구동부는, 상기 홈의 하부에 연결되어 통하는 유체 구동실; 및 상기 유체 구동실 내에 위치하고, 여기서 상기 회전 팬이 회전할 때, 상기 홈 내부의 상기 유체가 상기 회전 팬으로 인해 상기 유체 구동실로부터 흘러나오고, 상기 유체 구동실 내 복수 기포를 포함한 유체의 일부가 형성되는 회전 팬을 포함하고, 상기 주 순환 파이프라인은, 상기 유체 구동실에 연결되어 통하는 제 1단; 및 상기 홈에 연결되어 통하는 제 2단을 포함하는, 유체 수송 장치.

Description

유체 수송 장치{LIQUID DELIVERY DEVICE}

본 발명은 유체 수송 장치에 관한 것으로, 구체적으로 기포를 포함한 유체의 일부를 배출할 수 있는 유체 수송 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 화학액을 사용하여 기판을 세정하거나 식각(蝕刻) 제조하는 과정에서, 화학액은 액체 순환 시스템에 보관된다. 액체 순환 시스템은 저장 홈, 펌프, 유통관을 구비한다. 저장 홈은 화학액을 저장하는 데 사용되고 유통관을 연결한다. 펌프는 저장 홈의 밑 부분에 설치되고 회전 팬이 설치된다; 회전 팬은 회전으로 화학액을 휘저어 저장 홈 내의 화학액이 유통관을 향해 흐르게 할 수 있다. 유통 관 상에 출력구가 설치되고, 출력구는 액체를 웨이퍼로 내보내 기판을 세정하거나 식각 제조 과정이 편리하게 진행되게 하는데 사용된다.

그러나, 회전 팬이 회전하여 화학액을 휘저을 때, 또는 화학액이 반응할 때 모두 화학액이 기포를 발생하게 할 수 있고, 해당 기포는 회전 팬 주변 또는 내부에 걸릴 수 있다. 회전 팬에 걸린 기포량이 일정 정도까지 축적되면, 회전 팬이 공전할 수 있고, 추가적으로 액체 수송 중단을 초래하거나 심지어 회전 팬 회전 모터가 훼손된다.

이에, 회전 팬 주변의 액체에 함유된 기포를 배출할 수 있는 새로운 액체 순환 시스템이 필요하다.

본 발명의 주요 목적은 복수 기포를 포함한 유체의 일부를 배출할 수 있는 유체 수송 장치를 제공하는 것이다.

위의 목적을 달성하기 위해, 본 발명에서 유체 수송 장치를 제공하는 바이다. 유체 수송 장치는 홈; 유체 구동부; 주 순환 파이프라인; 및 기포 제거부를 포함한다. 홈은 유체를 수용하기 위해 사용되고, 유체 구동부는, 홈의 하부에 연결되어 통하는 유체 구동실; 및 유체 구동실 내에 위치하고, 여기서 회전 팬이 회전할 때, 홈 내부의 유체가 회전 팬으로 인해 유체 구동실로부터 흘러나오고, 유체 구동실 내 복수 기포를 포함한 유체의 일부가 형성되는 회전 팬을 포함하고, 주 순환 파이프라인은 유체 구동실에 연결되어 통하는 제1단; 및 홈에 연결되어 통하는 제2단을 포함한다. 제1단과 제2단은 주 순환 파이프라인의 상대적인 양 단이다. 기포 제거부는 주 순환 파이프라인에 연결되어 통하고, 기포 제거부는 유체 구동실 내 복수 기포를 포함한 유체의 일부를 배출하기 위해 사용된다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기포 제거부는 제1 파이프라인 및 기체 제공부, 제1 파이프라인과 연결되어 통하는 유체 구동실을 더 포함하고; 기체 제공부는 제1 파이프라인에 설치되어 부압을 제공하고, 기포 제거부는 부압으로 유체 구동실 내 복수의 기포를 포함하는 유체의 일부를 배출한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기포 제거부는 제1 파이프라인, 제2 파이프라인과 공기 제공부를 더 포함하고, 제1 파이프라인은 유체의 구동실에 연결되어 통하고, 제2 파이프라인은 제1 파이프라인과 홈에 연결되어 통하고, 공기 제공부는 제2 파이프라인에 설치되고, 공기 제공부는 제2 파이프라인과 홈의 연결지점에 정압을 제공하여 제1 파이프라인이 상대적인 부압을 생성하게 한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기포 제거부는 유량 제어 밸브를 더 포함하고, 유량 제어 밸브는 제1 파이프 라인에 설치되어 제1 파이프라인에 흐르는 유체의 유량을 제어한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기포 제거부는 제3 파이프 라인과 액체 배출 제어 밸브를 더 포함한다. 제3 파이프 라인은 유체 구동실에 연결되어 통하고, 액체 배출 제어 밸브는 제3 파이프 라인에 설치되어 유체 구동실 내 복수 기포를 포함한 유체의 일부의 배출을 제어한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 유체 수송 장치는 기포 필터링부를 더 포함하고 기포 필터링 부는 주 순환 파이프 라인에 설치된다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기포 제거부는 소정 시간 동안 가동되어 유체 구동실 내 복수 기포를 포함한 유체의 일부를 배출하고, 곧이어 회전 팬을 가동하여 유체를 주 순환 파이프 라인으로 수송한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기포 제거부가 지속적으로 작동하여, 유체 구동실 내 복수의 기포를 포함한 유체의 일부를 지속적으로 배출한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 유체 수송 장치는 압력 감지부를 더 포함하고, 압력 감지부는 주 순환 파이프라인에 설치되고, 또 기포 제거부와 회전 팬을 전기적으로 연결하고, 압력 감지부가 유체의 압력이 제1 압력치보다 작다는 점을 감지하였을 때, 기포 제거부가 유체 구동실 내 복수 기포를 포함한 유체의 일부를 배출한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 압력 감지부가 유체의 압력이 제1 압력치보다 작다는 점을 감지하였을 때, 기포 제거부가 소정 시간 동안 구동되어, 유체 구동실 내 복수 기포를 포함한 유체의 일부를 배출하고, 회전 팬이 회전을 중단하고, 소정 시간이 종료된 후, 기포 제거부가 유체의 일부를 배출하는 것을 정지하고 회전 팬이 회전하기 시작하여 유체가 유체 구동실로부터 제1단으로 유입되게 한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 압력 감지부가 유체를 감지하는 압력이 제2 압력치보다 작을 때, 압력 감지부는 회전 팬의 회전 속도가 커지도록 제어하여 유체 구동실로부터 흘러나오는 유체의 유량을 증가시킨다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 주 순환 파이프라인은 적어도 하나의 유체 출력부를 더 포함하고, 적어도 하나의 유체 출력부는 유체를 외부로 출력하는데 사용되고, 여기서 압력 감지부는 회전 팬의 회전 속도를 제어하여 유체 구동실에서 유체 출력부에 제공하는 유체의 유량을 제어한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 제2 압력치가 제1 압력치보다 크다.

본 발명의 유체 수송 장치의 구조는 유체를 기판 처리부의 기판 상에 수송할 수 있다. 또한 유체의 압력 변화에 따라 자동으로 기포의 함량을 감지하여 기포의 함량이 과도하게 높을 때, 기포 제거부로 복수 기포를 포함한 유체의 일부를 유체 구동실에서 배출하여 기포가 내부 구조에 끼어 내부 구조가 훼손되거나 유체 수송을 방해하는 상황을 방지한다.

본 명세서 내에 포함됨.

도 1은 본 발명의 제1 실시예의 유체 수송 장치의 설명도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예의 유체 수송 장치의 시스템 구성도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예의 유체 수송 장치의 설명도이다.
도 3a는 본 발명의 제2 실시예의 제1 파이프라인과 제2 파이프라인의 전결 지점의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예의 유체 수송 장치의 시스템 구성도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예의 유체 수송 장치의 설명도이다.

심사관이 본 발명의 기술 내용을 더 잘 이해할 수 있게 하기 위해, 아래와 같이 바람직한 실시예를 구체적으로 설명한다.

도1과 도 2의 본 발명의 제1 실시예의 유체 수송 장치를 참고하기 바란다. 도 1은 본 발명의 제1 실시예의 유체 수송 장치의 설명도이다. 도 2는 본 발명의 제1 실시예의 유체 수송 장치의 시스템 구조도이다.

도1과 도2에 나타난 바와 같이, 본 발명의 유체 수송 장치(1)는 유체(L)를 기판 처리부(200)의 기판(W)상에 수송하기 위해 사용된다. 유체 (L)는 예를 들어 화학액 또는 물일 수 있다. 이는 기판(W)에 대해 식각 또는 세정 제조 공정을 진행할 수 있다. 유체 수송 장치(I)는 홈(10), 유체 구동부(20), 주 순환 파이프 라인(30), 기포 제거부(40), 압력 감지부(50), 기포 필터링부(60)와 제어부(70)을 포함한다.

본 발명의 제1 실시예에서, 홈(10)은 통모형의 홈으로, 유체(L)를 수용하기 위해 사용된다. 유체 구동부(20)는 유체 구동실(21)과 회전 팬(22)을 포함한다. 유체 구동실(21)은 홈(10)의 하부에 연결되어 통한다. 유체 구동실(21)은 홈(10)내의 유체(L)가 유체 구동실(21)의 밑부분으로 집중적으로 유동하게 한다. 회전 팬(22)은 유체 구동실(21) 내에 위치하고, 유체 구동실(21)의 밑부분에 위치한다.

회전팬(22)이 회전할 때, 유체(L)는 회전팬(22)의 리드 하에 홈(10)내에서 유체 구동실(21)로 흐른 후 다시 제1 유동방향(X)을 따라 흘러간다. 여기서 유체(L)는 반응 과정 또는 유체(L)의 상호 충격 과정 또는 회전 팬(22)이 휘젓기를 할 때, 모두 유체(L)에 복수의 기포(B)가 발생하게 할 수 있는 가능성이 있다; 유체(L)가 홈(10)내에서 유체 구동실 (21)로 흐를 때, 복수의 기포(B)를 홈(10)으로부터 유체 구동실(21)로 이끌어 유체 구동실(21)내 복수 기포(B)를 형성할 수 있다. 또는, 회전 팬(22)이 휘젓기를 할 때, 유체 구동실(21)내 복수 기포(B)를 형성할 수 있고, 회전 팬(22)이 돌아갈 때, 복수 기포(B)가 회전 팬(22)의 주위 또는 유체 구동실(21)의 맨 윗 부분 벽면에 끼기 쉽다.

본 발명에서, 예를 든 유체 구동실(21)과 홈(10)이 연결되어 통하는 구조 및 유체 구동실(21)의 맨 윗부분 벽 면의 구조는, 예시일 뿐, 유체 구동실(21)과 홈(10)의 구조는 본 실시예의 도면의 형태에 한정되지 않는다. 복수 기포(B)의 일부분을 포함한 유체(L)의 일부가 유체 구동부(20)의 작동에 영향을 주는 유체 구동실(21)과 홈(10)의 구조이기만 하면 본 발명의 구조로, 이에 한정되지 않는다.

본 발명의 제1 실시예에서, 주 순환 파이프라인(30)은 유체 구동실(21)에서 유체(L)가 흘러나오게 하기 위해 사용되고, 제1 유동 방향(X)을 따라 유동해 외부로 출력되고, 다시 제1 유동방향(X2)에 따라 홈(10)으로 흘러 들어간다. 주 순환 파이프라인(30)은 제1 단(31), 제2단(32)과 복수의 유체 출력부(33)를 포함한다. 제1단(31)은 유체 구동실(21)에 연결되어 통하고, 제1단(31)은 유체 구동실(21)에서 흘러나오는 유체(L)를 받는 데 사용된다. 제2단(32)은 홈(10)에 연결되어 통하고, 제2단(32)은 유체(L)를 제1 유동방향(X)2에 따라 홈(10)으로 흘러 보내기 위해 사용된다. 제1단(31)과 제2단(32)는 주 순환 파이프 라인(30) 상의 상대적인 양 단이다. 복수 유체 출력부(33)는 제1단(31)과 제2단(32) 사이에 위치하고, 복수 유체 출력부(33)는 유체(L)를 외부의 기판 처리부(200)로 출력하여 유체(L)가 기판 처리부(200)상의 기판(W)에 식각 또는 세정 과정을 진행하게 한다. 각각의 유체 출력부(33)는 밸브를 설치하여 외부로 출력된 유체(L)의 유량을 제어할 수 있다. 본 실시예의 유체 출력부(33)의 수량은 복수 개이나, 유체 출력부(33)의 수량은 설계 수요에 따라 하나로 변경될 수 있다.

본 발명의 제1 실시예에서, 기포 제거부(40)는 주 순환 파이프라인(30)을 통과하여 유체 구동실(21)에 연결되어 통한다. 기포 제거부(40)는 소정 시간동안 가동되어 유체 구동실(21)내 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부를 배출한다. 또한 소정 시간이 끝난 후, 회전 팬(22)이 가동되어 유체(L)를 주 순환 파이프라인(30)으로 수송한다; 또한 기포 제거부(40) 또한 지속적으로 작동하여 유체 구동실(21)내 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부를 계속해서 배출하도록 설계될 수 있다. 제1 실시예의 기포 제거부(40)는 제1 파이프라인(41), 기체 제공부(42), 유량 제어 밸브(43)와 출구(44)를 포함한다. 제1 파이프라인(41)은 주 순환 파이프라인(30)을 통과하여 유체 구동실(21)에 연결되어 통한다. 기체 제공부(42)는 제1 파이프라인(41)에 설치되고 흡입력을 통해 제1 파이프라인(41)에 부압을 제공한다; 기포 배체부(40)는 부압으로 유체 구동실(21)내 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부를 흡수할 수 있고, 흡입한 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부를 외부로 배출할 수 있다. 유량 제어 밸브(43)는 제1 파이프 라인(41)에 설치되어, 제1 파이프라인(41)에 흐르는 유체(L)의 유량을 제어한다. 출구(44)는 기체 제공부(42)에 설치되고, 출구(44)는 기체 제공부(42)가 부압으로 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부가 외부로 유출되게 하여, 복수 기포(B)의 유체(L)의 일부가 유체 수송장치(1)에서 배출되게 하는데 사용된다.

본 발명의 제1 실시예 중, 기포 필터링부(60)는 주 순환 파이프라인(30)에 설치된다. 또한 제1 단과 제2단 사이에 위치한다. 기포 필터링부(60)는 예를 들어 여과망 일 수 있고, 유체(L)을 필터링하는 데 사용되어 부압으로 인해 제1 파이프 라인(41)으로 흡수되지 않은 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부가 유체 출력부(33)로 흘러가 기판(W)에 오염을 초래하는 것을 방지한다. 제어부(70)는 예를 들어 중앙처리장치(Central Processing Unit，CPU) 일 수 있고, 제어부(70)는 회전 팬(22), 기포 배출부(40)의 기체 제공부(42)와 압력 감지부(50)를 전기적으로 연결한다. 제어부(70)는 유체 수송 장치(1)의 각각의 전자 부품의 작동이 가능하도록 제어하고 조절한다. 예로, 기체 제공부(42)의 작동 제어 또는 회전 팬(22)의 회전 속도 제어 등을 들 수 있다.

본 발명의 제1 실시예에서, 압력 감지부(50)는 주 순환 파이프라인(30)에 설치되고, 기포 제거부(40)의 기체 제공부(42), 회전팬(22)과 제어부(70)를 전기적으로 연결한다. 압력 감지부(50)는 유체 구동실(21)내 또는 주 순환 파이프라인(30) 내 유체(L)의 압력을 감지하는 데 사용된다. 또한 압력의 변화에 따른 신호를 제어부(70)에 제공하여 제어부(70)가 신호에 따라 기포 제거부(40)와 회전 팬(70)의 작동을 제어하게 한다; 이렇게, 압력 감지부(70)는 제어부(70)를 통해 회전 팬(22)의 회전 속도를 제어하여, 유체 구동실(21)이 유출된 유체(L)의 유량을 제어할 수 있고, 유체 구동실(21)이 유체 출력부(33)에 공급하는 유체(L)의 유량을 제어할 수 있다.

압력 감지부(50)에서 감지한 유체(L)의 압력이 제1 압력치보다 작을 때, 압력 감지부(50)는 제1 전자 신호를 제어부(70)로 전송할 수 있다. 또한 제어부(70)는 제1 전자 신호에 따라 기포 제거부(40)와 회전 팬(22)을 제어할 수 있다. 이 때, 제어부(70)의 제어를 받은 기포 제거부(40)의 기체 제공부(42)는 소정 시간 내 가동되어 부압을 발생시킬 수 있고, 제어부(70)의 제어를 받은 회전 팬(22)은 회전을 정지하여 유체 구동실(21) 내의 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부가 순조롭게 부압에 의해 제1 파이프라인(41)으로 흡수되게 할 수 있다. 또한 제2 유동 방향(Y)에 따라 출구(44)로 흘러 나가게 할 수 있다. 소정 시간이 지난 후, 제어부(70)는 기포 제거부(40)의 기체 제공부(42)가 작동을 정지하고 부압을 발생시키는 것을 정지하게 하여 유체(L)가 다시 부압에 의해 흡수되지 않게 할 수 있다; 그 밖에, 제어부(70)는 회전 팬(22)이 다시 회전을 시작하게 하여, 유체(L)가 지속적으로 구동실(21)에서 제1단(31)으로 유입되게 할 수 있다.

압력 감지부(50)가 유체(L)의 압력이 제2 압력치보다 작다는 점을 감지하였을 때, 압력 감지부(50)는 제2 전자 신호를 제어부(70)로 전송할 수 있고, 제어부(70)는 회전 팬(22)을 제어하여 회전 팬(22)의 회전 속도가 높아지게 하여 유체 구동실(21)에서 흘러나오는 유체(L)의 유량을 제어할 수 있다. 본 발명의 제2 압력치는 제1 압력치보다 크다.

본 발명의 유체 수송 장치(1)를 응용하여 유체(L)를 기판 처리부 (200)의 기판(W)상에 수송할 때, 유체(L)를 홈(10)에 제공할 수 있고, 유체 (L)는 홈(10)에 저장되어 유체 구동실(21)로 흐를 수 있다; 이어서, 제어부(70)는 회전 팬(22)의 회전을 제어하여, 유체 구동실(21)내의 유체(L)가 회전 팬(22)으로 이끌어지게 할 수 있고, 유체 구동실(21)에서 제1 유동 방향(X)에 따라 주 순환 파이프 라인(30)의 제1단(31)으로 흐르게 할 수 있다;동시에, 유체(L)가 회전 팬(22)으로 휘저어져 유체 구동실(21) 내 복수의 기포(B)를 형성할 수 있다. 제1 유동 방향(X1)에 따라 유동하는 유체(L)가 복수 유체 출력부(33)를 거쳐 흐를 때, 제1 유동 방향(X1)의 유동에 따라 유동할 수 있고, 유체 출력부(33)가 외부의 기판 처리부(200)의 기판(W)상에 출력될 수 있다. 이렇게, 기판(W)에 제조공정을 진행할 수 있다. 또한, 복수 유체 출력부(33)에 유입되지 않은 유체(L)가 계속해서 제1 유동 방향(X2)에 따라 제2단(32)로 흘러 최종적으로 홈(10)에 흘러 들어갈 수 있다.

유체(L)가 회전 팬(22)으로 휘저어져 유체 구동실(21)내에 복수 기포(B)가 형성될 때, 복수 기포(B)는 유체(L)의 압력에 영향을 주어 압력이 점차 낮아지게 할 수 있다. 또는, 유체 출력부(33)로 출력된 유체 (L)를 외부의 기판 처리부(200)로 출력하여, 압력이 변하게 할 수 있다. 압력이 제2 압력치보다 낮아졌을 때, 압력 감지부(50)는 제2 전자 신호를 제어부(70)로 전송할 수 있고, 제어부(70)는 회전 팬(22)를 제어하여 회전 팬(22)의 회전 속도가 높아지게 하여 유체 구동실(21)에서 흘러나오는 유체(L)의 유량을 증가시켜 유체(L)가 제1 단(31)에 유입되는 효율을 높일 수 있다.

압력이 제1 압력치보다 낮아졌을 때, 압력 감지부(50)는 제1 전자신호를 제어부(70)로 전송할 수 있다. 제어부(70)는 제1 전자신호에 따라 기포 제거부(40)와 회전 팬(22)을 제어할 수 있다; 이 때, 제어부(70)의 제어를 받은 기포 제거부(40)의 기체 제공부(42)는 소정 시간 동안 작동하여 부압을 발생시킬 수 있고, 제어부(70)의 제어를 받은 회전 팬(22)이 회전을 정지하여 유체 구동실(21)내 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부가 부압으로 인해 제1 파이프 라인(41)으로 순조롭게 흡수될 수 있다. 또한 제2 유동 방향(Y)에 따라 출구(44)로 흐를 수 있고, 출구 (44)에서 외부로 흘러 나갈 수 있다.

이렇게, 유체 구동실(21)내 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부를 배출해 낼 수 있다. 소정 시간이 끝난 후, 제어부(70)는 기포 제거부(40)의 기체 공급부(42)가 작동을 정지하고 부압을 발생시키는 것 또한 정지하도록 제어하여 유체(L)이 부압으로 인해 다시 흡수되지 않게 할 수 있다; 그 밖에, 제어부(70)는 회전 팬(22)이 다시 회전을 시작하도록 제어하여 유체(L)가 계속해서 유체 구동실(21)에서 주 순환 파이프라인(30)의 제1단(31)으로 유입되게 할 수 있다. 그 밖에, 만약 기포(B)를 구비한 유체 (L)가 제1 파이프 라인(41)으로 흡수되지 않았을 경우, 해당 유체(L)가 기포 필터링부(60)를 거쳐 흘러갈 때, 기포 필터링부(60)는 유체(L)내의 기포(B)를 필터링 할 수도 있다. 또한, 필터링 이후의 유체(L)가 다시 제2단(32)에서 홈(10)으로 역류되게 할 수 있다.

아래에서는, 도 3에서 도4의 본 발명의 제2 실시예의 유체 수송 장치에 대해 참고하길 바란다. 도 3은 본 발명의 제2 실시예의 유체 수송 장치의 설명도이다. 도 3a는 본 발명의 제2 실시예의 제1파이프 라인과 제2 파이프라인의 연결 지점의 단면도이다. 도 4는 본 발명의 제2실시예의 유체 수송 장치의 시스템 구조도이다.

도3, 도3a와 도4에 나타난 바와 같이, 제2 실시예와 제1 실시예의 차이는 제2 실시예의 유체 수송장치(1a)에서, 기포 제거부(40a)는 기체 제거부(42)와 출구(44)를 포함하지 않고, 기포 제거부(40a)는 제2 파이프 라인(45)과 공기 제공부(46)을 더 포함한다는 점이다. 제1 파이프 라인(41)은 유체 구동실(21)에 연결되어 통하고, 제2 파이프 라인(45)은 제1 파이프라인(41)과 홈(10)에 연결되어 통한다. 제2 파이프 라인(45)은 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부가 홈(10)으로 흘러 들어가게 한다. 또한 제2 파이프라인(45)과 제1파이프 라인(45)의 연결 지점은 베르누이원리(Bernoulli's principle)에 의해 설계되고, 이는 기체가 이동 방향(M)을 따라 이동할 때, 제2 파이프라인(45)과 홈(10)의 연결 부위에 정압을 발생시킬 수 있고, 유체(L)를 제1 파이프 라인으로 흡수할 수 있고, 이동 방향(M1)을 따라 제2 파이프 라인(45)으로 이동할 수 있다.

공기 제공부(46)는 제2 파이프 라인(45)에 설치되고 제어부(70)를 전기적으로 연결한다. 본 발명에서, 공기 제공부(46)는 공장용 공기 제공 단 또는 이동가능식 기체 가압 설비일 수 있다. 그러나 공기제공부(46)의 종류는 본 발명의 예시에 한정되지 않고, 공기 제공부(46)는 다른 기체를 제공할 수 있는 설비일 수 있다. 공기 제공부(46)는 이동 방향(M)에 따라 이동하는 기체를 제공하여 제2 파이프라인(45)과 홈(10)의 연결 지점을 향해 정압을 제공할 수 있다; 베르누이의 원리에 따라, 공기 제공부(46)가 제2 파이프라인(45)과 홈(10)의 연결지점에 정압을 제공할 때, 동시에 제1 파이프라인(41)에 상대적인 부압을 발생시킬 수 있다. 이에, 상기 상대적인 부압을 통해 유체(L)를 제1 파이프라인(41)으로 흡수할 수 있다. 그러나 이 구조는 실체 수요에 따라 다른 구조로 설계될 수 있고, 이러한 구조는 본 발명의 예시에 한정되지 않는다.

제2 실시예에서, 유체(L)의 압력이 제 1 압력치보다 작아졌을 때, 압력 감지부(50)는 제1 전자 신호를 제어부(70)로 전송할 수 있고, 제어부(70)는 제1 전자 신호에 따라 기포 제거부(40)의 공기 제거부(46)와 회전 팬(22)을 제어할 수 있다; 이 때, 제어부(70)의 제어를 받은 기포 제거부(40)의 공기 제공부(46)는 소정시간 내 작동되어 제 2 파이프라인(45)과 홈(10)의 연결지점에 정압을 제공할 수 있고, 동시에 제1 파이프라인(41)과 주 순환 파이프라인(30)의 연결지점에 상대적인 부압을 발생시킬 수 있다; 그 밖에, 제어부(70)의 제어를 받은 회전 판(22)이 회전을 정지하여, 유체 구동실(21) 내 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)가 순조롭게 상대적인 부압으로 제 1 파이프라인(41)에 흡수 되게 할 수 있다. 또한 제2 유동 방향(Y1)에 따라 홈(10)으로 흐를 수 있다; 이렇게, 유체 구동실(21)내 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부를 배출할 수 있다. 소정 시간이 끝난 후, 제어부(70)는 기포 제거부(40)의 공기 제공부(46)가 작동을 정지하고 상대적인 부압을 발생시키는 것을 정지하여, 유체(L)가 다시 상대적인 부압에 의해 흡수되지 않게 할 수 있다; 그 밖에, 제어부(70) 또한 회전 팬(22)이 다시 회전을 시작하여 유체(L)가 계속해서 유체 구동실(21)에서 제1단(31)으로 유입되게 하고, 유체 출력부(33)에서 외부로 출력되게 할 수 있다.

아래 도 5 내지 도 6의 본 발명의 제3 실시예에 따른 유체 수송 장치를 참고하시기 바란다. 도 5는 본 발명의 제3 실시예의 유체 수송 장치의 설명도이다. 도 5a는 본 발명의 제3 실시예의 또다른 형태의 유체 수송 장치의 설명도이다. 도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유체 수송 장치의 시스템 구조도이다.

도5와 도 6과 같이, 제3 실시예와 제2 실시예의 차이는, 제3 실시예의 유체 수송 장치(1b) 중에서, 기포 제거부(40b)가 제3 파이프라인(47)과 액체 배출 제어 밸브(48)를 더 포함한다는 점이고, 제3 파이프라인(47)은 주 순환 파이프 라인(30)에 연결되어 통하는 유체 구동실(21)을 통과하고, 유체(L)를 외부로 수송하는 데 사용된다는 점이다. 액체 배출 제어 밸브(48)는 제3 파이프라인(47)에 설치되고, 또한 제어부(70)와 전기적으로 연결되고, 액체 배출 제어 밸브(48)는 유체 구동실(21)내 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부의 배출을 제어하기 위해 사용된다.

제3 실시예에서, 공기 제공부(46)의 고장으로 정압과 상대적인 부압을 정상적으로 제공할 수 없을 때, 액체 배출 제어 밸브(48)를 사용하여 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부를 배출할 수 있다. 또한, 제3 실시예의 유체 수송 장치(1c) 또한 도5a의 모형대로 설계될 수 있다. 여기서 기포 제거부(40c)는 제3 파이프라인(47)과 액체 배출 제어 밸브(48)로만 조성되어 압력이 제1 압력치보다 낮아졌을 때, 액체 배출 제어 밸브(48)를 사용해 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부를 배출할 수 있다. 액체 배출 제어 밸브(48)은 밸브로, 액체 배출 제어 밸브(48)의 밸브가 열렸을 때, 주 순환 파이프라인(30)내의 유체(L)가 중력의 견인을 받아 제3 유동 방향(Z)에 따라 제3 파이프 라인(47)으로 유입되어 유체(L)가 외부로 흘러가게 할 수 있다; 액체 배출 제어 밸브(48)의 밸브가 닫혔을 때, 유체(L)는 밸브를 관통할 수 없다.

이에, 공기 제공부(46)가 고장으로 인해 정상적으로 정압과 상대적인 부압을 제공할 수 없을 때, 제어부(70)를 사용해 액체 제어 밸브(48)의 밸브가 열리게 하여 주 순환 파이프라인(30) 내 유체(L)가 중력으로 제3 유동 방향(Z)을 따라 제3 파이프 라인(47)에 유입되어 외부로 흘러가게 이끌 수 있다. 이렇게, 유체 구동실(21)내 복수 기포(B)가 포함된 유체(L)의 일부를 배출할 수 있다. 본 발명에서, 유체 구동실(20)과 기포 제거부(40)는 각각 작동하는 것을 예로 들었으나, 실제로 전술된 양 자는 동시에 작동할 수 있다. 즉 유체 구동부(20)가 유체(L)을 주 순환 파이프라인(30)에 수송할 때, 동시에 기포 제거부(40)를 가동해 복수 기포(B)가 포함된 유체(L)의 일부가 유체 구동실(21)에서 배출되게 한다. 그러나 결코 본 발명의 예시에 한정되지 않는다.

본 발명에서 언급된 기판은 모판 형식, 웨이퍼 형식 또는 칩 형식 등 일 수 있다. 또한 원형, 사각형일 수 있고, 이에 한정되지 않는다. 또한 본 발명의 유체 수송 장치는 습공정(세정, 식각 등)에 응용될 수 있다. 예로, 단기판 습공정, 다기판 습공정, 단일측 칩 플레이하의 금속 식각, 박하 웨이퍼 지탱/박리, 탄화규소 재생 웨이퍼, 재생 실리콘 웨이퍼 등을 들 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않는다.

본 발명의 유체 수송 장치의 구조는, 유체(L)를 기판 처리부(200)의 기판(W)상에 수송할 수 있고, 유체(L)의 압력 변화로 기포(B)의 함량을 판단할 수 있다. 이렇게 기포(B)의 함량이 과도히 클 때, 기포 제거부(40), (40a), (40b)가 복수 기포(B)를 포함한 유체(L)의 일부를 유체 구동실(21)에서 배출할 수 있게 된다. 이렇게, 기포(B)가 내부 구조에 걸려 내부 구조를 훼손하거나 유체(L)의 수송을 방해하는 경우를 막는다.

주의하여야 할 점은, 위의 내용은 본 발명의 실시예일 뿐, 이에 한정되지 않는다. 본 발명의 기본 프레임에 벗어나지 않는 것은 모두 본 특허에서 주장하는 권리범위에 해당한다.

1, 1a, 1b, 1c: 유체 수송 장치
10: 홈
20: 유체 구동부
21: 유체 구동실
22: 회전 팬
30: 주 순환 파이프 라인
31: 제1 단
32: 제2 단
33: 유체
40, 40a, 40b, 40c: 기포제거부
41: 제1 파이프 라인
42: 기체 제공부
43: 유량 제어 밸브
44: 출구
45: 제2 파이프 라인
46: 공기 제공부
47: 제3 파이프 라인
48: 액체 배출 제어 밸브
50: 압력 감지부
60: 기포 필터링부
70: 제어부
200: 기판 처리부
B: 기포
L: 유체
M, M1: 이동 방향
W: 기판
X, X1, X2: 제1 유동 방향
Y, Y1: 제2 유동 방향
Z: 제3 유동 방향

Claims

유체를 수용하기 위한 홈;
유체 구동부;
주 순환 파이프라인; 및
상기 주 순환 파이프라인에 연결되어 통하고, 상기 유체 구동실 내 복수의 기포를 포함한 상기 유체의 일부를 제거하는 데 사용되는 기포 제거부
를 포함하고,
상기 유체 구동부는,
상기 홈의 하부에 연결되어 통하는 유체 구동실; 및
상기 유체 구동실 내에 위치하고, 여기서 회전 팬이 회전할 때, 상기 홈 내부의 상기 유체가 상기 회전 팬으로 인해 상기 유체 구동실로부터 흘러나오고, 상기 유체 구동실 내 복수 기포를 포함한 유체의 일부가 형성되는 회전 팬을 포함하고,
상기 주 순환 파이프라인은,
상기 유체 구동실에 연결되어 통하는 제1단; 및
상기 홈에 연결되어 통하는 제2단을 포함하는,
유체 수송 장치.
제1항에 있어서,
상기 기포 제거부는 제1 파이프라인 및 기체 제공부, 상기 제1 파이프라인과 연결되어 통하는 상기 유체 구동실을 더 포함하고, 상기 기체 제공부는 상기 제1 파이프라인에 설치되어 부압을 제공하고, 상기 기포 제거부는 상기 부압으로 상기 유체 구동실 내 상기 복수의 기포를 포함하는 상기 유체의 일부를 배출하는,
유체 수송 장치.
제1항에 있어서,
상기 기포 제거부는 제1 파이프라인, 제2 파이프라인과 공기 제공부를 더 포함하고, 상기 제1 파이프라인은 상기 유체의 구동실에 연결되어 통하고, 상기 제2 파이프라인은 상기 제1 파이프라인과 상기 홈에 연결되어 통하고, 상기 공기 제공부는 상기 제2 파이프라인에 설치되고, 상기 공기 제공부는 상기 제2 파이프라인과 상기 홈의 연결지점에 정압을 제공하여 상기 제1 파이프라인이 상대적인 부압을 생성하게 하는,
유체 수송 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 기포 제거부는 유체 제어 밸브를 더 포함하고, 상기 유체 제어 밸브는 상기 제1 파이프라인에 설치되어 상기 제1 파이프라인에 흐르는 상기 유체의 유량을 제어하는,
유체 수송 장치.
제1항에 있어서,
상기 기포 제거부는 제3 파이프라인과 액체 배출 제어 밸브를 더 포함하고, 상기 제3 파이프라인은 상기 유체 구동실에 연결되어 통하고, 상기 액체 배출 제어 밸브는 상기 제3 파이프라인에 설치되어 상기 유체 구동실 내 상기 복수 기포를 포함한 상기 유체의 일부의 배출을 제어하는,
유체 수송 장치.
제1항에 있어서,
기포 필터링부를 더 포함하고, 상기 기포 필터링부는 주 순환 파이프 라인에 설치되는,
유체 수송 장치.
제1항에 있어서,
상기 기포 제거부가 소정 시간 동안 구동되어, 상기 유체 구동실 내 상기 복수 기포를 포함한 상기 유체의 일부가 배출되고, 곧 이어 상기 회전 팬을 구동하여 상기 유체를 상기 주 순환 파이프라인으로 수송하는,
유체 수송 장치.
제1 항에 있어서,
상기 기포 제거부는 지속적으로 작동하여, 상기 유체 구동실 내 상기 복수 기포를 포함한 상기 유체의 일부를 지속적으로 배출하는,
유체 수송 장치.
제1항에 있어서,
압력 감지부를 더 포함하고, 상기 압력 감지부는 상기 주 순환 파이프라인에 설치되고, 또 상기 기포 제거부와 상기 회전 팬을 전기적으로 연결하고, 상기 압력 감지부가 상기 유체의 압력이 제1 압력치보다 작다는 점을 감지하였을 때, 상기 기포 제거부가 상기 유체 구동실 내 상기 복수 기포를 포함한 상기 유체의 일부를 배출하는,
유체 수송 장치.
제9항에 있어서,
상기 압력 감지부가 상기 유체의 상기 압력이 제1 압력치보다 작다는 점을 감지하였을 때, 상기 기포 제거부가 소정 시간 동안 구동되어, 상기 유체 구동실 내 상기 복수 기포를 포함한 상기 유체의 일부를 배출하고, 상기 회전 팬이 회전을 중단하고, 상기 소정 시간이 종료된 후, 상기 기포 제거부가 상기 유체의 일부를 배출하는 것을 정지하고 상기 회전 팬이 회전하기 시작하여 상기 유체가 상기 유체 구동실로부터 상기 제1단으로 유입되게 하는,
유체 수송 장치.
제9항에 있어서,
상기 압력 감지부가 상기 유체를 감지하는 상기 압력이 제2 압력치보다 작을 때, 상기 압력 감지부는 상기 회전 팬의 회전 속도가 커지도록 제어하여 상기 유체 구동실로부터 흘러나오는 상기 유체의 유량을 증가시키는,
유체 수송 장치.
제11항에 있어서,
상기 주 순환 파이프라인은 적어도 하나의 유체 출력부를 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 유체 출력부는 상기 유체를 외부로 출력하는데 사용되고, 여기서 상기 압력 감지부는 상기 회전 팬의 상기 회전 속도를 제어하여 상기 유체 구동실에서 상기 유체 출력부에 제공하는 상기 유체의 유량을 제어하는,
유체 수송 장치.
제11항에 있어서,
상기 제2 압력치가 상기 제1 압력치보다 큰,
유체 수송 장치.