CN205308730U - 脱气装置以及涂布装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种脱气装置以及涂布装置。脱气装置具有：主配管(61)，连接作为供给源的第1槽罐(81)与作为供给目标的第2槽罐(82)，且具有大致水平地延伸的水平部(611)；以及脱气配管(62)，从水平部(611)朝向上方延伸。因此，能够效率良好地去除粘度高的液体中的溶解气体。

Description

脱气装置以及涂布装置

技术领域

本实用新型涉及一种去除液体中的溶解气体的脱气装置、具备该脱气装置的涂布装置。

背景技术

以往，在液晶显示装置用玻璃基板、半导体晶片(wafer)、等离子体显示板(PlasmaDisplayPanel，PDP)用玻璃基板、光掩模(photomask)用玻璃基板、彩色滤光器(colorfilter)用基板、记录盘(disk)用基板、太阳能电池用基板、电子纸(paper)用基板等精密电子装置用基板的制造工序中，使用在基板表面涂布光致抗蚀剂(photoresist)等液体的涂布装置。关于以往的涂布装置，例如在专利文献1中有所记载。专利文献1的涂布装置对于由沿水平方向移动自如的载台(stage)吸附保持的基板，从具有狭缝(slit)状喷出口的缝模(slitdie)喷出涂布液。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2009-241056号公报

实用新型内容

[实用新型所要解决的问题]

此种涂布装置中，若在液体中存在溶解气体，则在缝模中容易发生所谓的“起泡”。若发生“起泡”，将无法从喷出口均匀地涂布液体，涂布膜的均匀性有时会下降。因此，以往会进行从涂布前的液体中去除溶解气体的脱气处理。以往的涂布装置中，通过将贮存有涂布前的液体的容器内设为负压，从而预先使液体中的溶解气体气泡化。在液体的粘度低的情况下，能够容易地使液体中产生的气泡上浮至液面，以排出到容器外。

然而，在使用高粘度液体的情况下，气泡上浮至液面需要非常长的时间。尤其存在气泡越细小越难上浮的倾向。因此，以往的方法存在无法效率良好地对高粘度液体进行脱气的问题。近年来，在柔性元件(flexibledevice)或电池的制造工序中，对作为处理对象的面涂布高粘度液体的装置的需求正在提高。伴随于此，正寻求一种能够效率良好地从高粘度液体中去除溶解气体的技术。

本实用新型是有鉴于此种状况而完成，其目的在于提供一种能够效率良好地去除粘度高的液体中的溶解气体的脱气装置以及具备该脱气装置的涂布装置。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述问题，本申请的第1实用新型是一种脱气装置，去除液体中的溶解气体，所述脱气装置包括：主配管，连接作为供给源的第1槽罐与作为供给目标的第2槽罐，且具有大致水平地延伸的水平部；脱气配管，从所述水平部朝向上方延伸；多个阀，设置在所述主配管及所述脱气配管中；减压部，使所述主配管内产生朝向所述第2槽罐侧的抽吸力，并且使所述脱气配管内产生朝向上方的抽吸力；以及控制部，控制所述多个阀及所述减压部。

本申请的第2实用新型根据第1实用新型的脱气装置，其中，所述多个阀包括：第1阀，设置在所述主配管的路径上的与所述脱气配管的连接部更上游侧；第2阀，设置在所述主配管的路径上的与所述脱气配管的连接部更下游侧；以及第3阀，设置在所述脱气配管的路径上。

本申请的第3实用新型根据第2实用新型的脱气装置，其中，所述脱气配管包括：第1纵管，从所述水平部朝向上方延伸；横管，从所述第1纵管的上端以比所述第1纵管更接近水平的角度朝向侧方延伸；以及第2纵管，从所述横管的另一端朝向上方延伸，在所述第2纵管中设置有所述第3阀。

本申请的第4实用新型根据第3实用新型的脱气装置，其中，所述横管的第2纵管侧的端部是与所述横管的第1纵管侧的端部同等的高度或比之更高，所述横管相对于水平面的角度为0°以上且45°以下。

本申请的第5实用新型根据第3实用新型或第4实用新型的脱气装置，其中，所述第2纵管具有所述横管以上的容积。

本申请的第6实用新型根据第2实用新型至第5实用新型中任一实用新型的脱气装置，其中，所述脱气配管至少包括：第1脱气配管，从所述水平部朝向上方延伸；以及第2脱气配管，从所述水平部的所述第1脱气配管更下游侧的位置朝向上方延伸，所述第1阀设置在所述主配管的路径上的与所述第1脱气配管的连接部更上游侧，所述第2阀设置在所述主配管的路径上的与所述第2脱气配管的连接部更下游侧，所述第3阀设置在所述第1脱气配管及所述第2脱气配管各自的路径上。

本申请的第7实用新型根据第6实用新型的脱气装置，其中，所述第1脱气配管的上端部与所述第2脱气配管的上端部通过朝向斜上方延伸的倾斜配管而连接于1根排出配管。

本申请的第8实用新型根据第2实用新型至第7实用新型中任一实用新型的脱气装置，其还包括：第4阀，设置在所述脱气配管与所述减压部之间。

本申请的第9实用新型根据第1实用新型至第8实用新型中任一实用新型的脱气装置，其还包括：加热器(heater)，对所述主配管内的液体进行加热。

本申请的第10实用新型根据第1实用新型至第9实用新型中任一实用新型的脱气装置，其中，所述主配管包括在所述第1槽罐与所述第2槽罐之间并联连接的多个所述水平部，所述脱气配管从多个所述水平部分别朝向上方延伸。

本申请的第11实用新型是一种涂布装置，对作为处理对象的面涂布液体，所述涂布装置包括：根据第1实用新型至第10实用新型中任一实用新型的脱气装置；喷嘴(nozzle)，具有喷出流体的喷出口；以及供给机构，从所述第2槽罐对所述喷嘴供给液体。

本申请的第12实用新型根据第11实用新型的涂布装置，其还包括：搅拌脱气机构，在所述第2槽罐内搅拌液体并对其进行脱气。

本申请的第13实用新型根据第11实用新型或第12实用新型的涂布装置，其还包括：异物去除过滤器，设置在所述主配管的路径上。

(实用新型效果)

根据本申请的第1实用新型～第13实用新型，通过减压而在液体中产生的气泡借助主配管内的液体的流动而聚集到主配管的上缘部。因此，该气泡从主配管的水平部进入脱气配管。并且接续排出滞留在脱气配管内的气泡。由此，即使在液体的粘度高的情况下，也能够去除液体中的溶解气体。

尤其，根据本申请的第2实用新型，滞留在脱气配管的第3阀更下侧的气泡与脱气配管内的气泡更上侧的液体进行置换，从而被排出至上侧。由此，能够效率良好地从脱气配管中排出气泡。

尤其，根据本申请的第3实用新型，从主配管的水平部进入第1纵管内的气泡聚集在横管内，而成长为大的气泡。并且，该大的气泡经由第2纵管而排出到外部。由此，能够降低随气体一起排出的液体的量。即，能够效率良好地从液体中仅去除溶解气体。

尤其，根据本申请的第4实用新型，能够使气泡在横管内更有效地成长。

尤其，根据本申请的第5实用新型，能够以贮存在第2配管中的液体来更确实地置换横管内的气泡。

尤其，根据本申请的第6实用新型，能够使未进入第1脱气配管的气体进入下游侧的第2脱气配管而排出至外部。由此，能够进一步提高气泡的排出效率。

尤其，根据本申请的第7实用新型，能够效率更好地使气泡从第1脱气配管及第2脱气配管排出至排出配管。

尤其，根据本申请的第8实用新型，能够进一步提高溶解气体的去除效率。

尤其，根据本申请的第9实用新型，能够降低液体的粘度。而且，能够使气泡膨胀而提高气泡的排出效率。

尤其，根据本申请的第10实用新型，能够增加向第2槽罐供给的液体的每单位时间供给量。

尤其，根据本申请的第12实用新型，能够通过搅拌脱气机构，将在脱气配管中未完全去除的气泡予以去除。

尤其，根据本申请的第13实用新型，无须在第2槽罐与喷嘴之间的供给机构中设置异物去除过滤器。因此，能够在供给机构中降低因过滤器造成的压力损失。

附图说明

图1是涂布装置的立体图。

图2是狭缝喷嘴的立体图。

图3是表示狭缝喷嘴的内部流路的图。

图4是表示连接于狭缝喷嘴的供给配管系统的结构的图。

图5是表示控制部与供给配管系统的各部的连接结构的框图。

图6是表示被涂布材料的脱气及供给动作的流程的流程图。

图7是概念性地表示脱气配管内的气泡的动向的图。

图8是表示变形例的供给配管系统的结构的图。

图9是表示变形例的供给配管系统的结构的图。

图10是表示变形例的供给配管系统的结构的图。

附图标记说明：

1：涂布装置

9：基板

10：载台

11：基板保持面

20：狭缝喷嘴

21：喷嘴主体

22：供给口

23：喷出口

24：排出口

30：喷嘴保持部

31：架桥部

32：支撑部

33：升降机构

40：行走机构

41：行走轨道

42：线性马达

50：控制部

51：运算处理部

52：存储器

53：存储部

60：脱气装置

61：主配管

62、62A、62B：脱气配管

63：排出槽

64：减压部

70：供给机构

71：送液配管

72：送液泵

81：第1槽罐

82：第2槽罐

83：异物去除过滤器

84：第1传感器

85：第2传感器

86：搅拌器

87：加热器

91：第1阀

92：第2阀

93：第3阀

94：第4阀

210：流路

211、212：喷嘴构件

213、214：侧板

421：定子

422：动子

611：水平部

621：第1纵管

622：横管

623：第2纵管

624：排出配管

625：倾斜配管

640：真空泵

641：第1抽吸配管

642：第2抽吸配管

A1、A2、A3：虚线箭头

B1、B2：虚线

L：被涂布材料

S1、S2、S3、S4：步骤

具体实施方式

以下，参照附图来说明本实用新型的实施方式。另外，以下，为了便于说明，将涂布装置1中的狭缝喷嘴20的移动方向称作“前后方向”，与前后方向正交的水平方向称作“左右方向”。

<1.关于涂布装置的结构>

图1是本实用新型的一实施方式的涂布装置1的立体图。该涂布装置1是如下所述的装置，即，在柔性元件的制造工序中，在玻璃制的承载(carrier)基板9的上表面，涂布作为高粘度液体的被涂布材料。对于被涂布材料，例如使用作为粘度高的流体的聚酰亚胺(polyimide)等熔融树脂。被涂布材料的粘度例如为数千cP～一万cP左右。涂布于基板9的上表面的被涂布材料随后固化而成为薄膜。而且，通过在该薄膜的表面形成电极等的图案(pattern)，并从基板9剥下该薄膜，从而形成柔性元件。

如图1所示，本实施方式的涂布装置1具有载台10、狭缝喷嘴20、喷嘴保持部30、行走机构40及控制部50。

载台10是载置并保持基板9的大致长方体状的保持台。载台10例如由一体的石材所形成。载台10的上表面成为平坦的基板保持面11。在基板保持面11上，设置有多个真空吸附孔(省略图示)。当在基板保持面11上载置基板9时，通过真空吸附孔的抽吸力，基板9的下表面被吸附于基板保持面11。由此，基板9以水平姿势被固定于载台10上。而且，在载台10的内部，设置有多个顶杆(liftpin)。在从载台10搬出基板9时，多个顶杆突出至基板保持面11上。由此，从基板保持面11分离基板9。

狭缝喷嘴20是喷出被涂布材料的喷嘴。狭缝喷嘴20具有在左右方向上较长的喷嘴主体(nozzlebody)21。在喷嘴主体21的下端部，设置有沿左右方向延伸的狭缝状的喷出口23。喷出口23朝向被载置于载台10上的基板9的上表面。当从后述的供给机构70(参照图4)向喷嘴主体21内供给被涂布材料时，从狭缝喷嘴20的喷出口23朝向作为处理对象的基板9的上表面喷出被涂布材料。

喷嘴保持部30是用于将狭缝喷嘴20保持于基板保持面11的上方的机构。喷嘴保持部30具有沿左右方向延伸的架桥部31、及支撑架桥部31的两端的一对柱状的支撑部32。狭缝喷嘴20被安装在架桥部31的下表面。而且，各支撑部32具有对架桥部31的端部的高度进行调节的升降机构33。当使左右的升降机构33进行动作时，狭缝喷嘴20的高度及姿势随架桥部31一起受到调节。

行走机构40是用于使狭缝喷嘴20朝前后方向移动的机构。行走机构40具有一对行走轨道(rail)41及一对线性马达(linearmotor)42。一对行走轨道41在载台10的左右的侧部附近，沿前后方向延伸。行走轨道41一边分别支撑一对支撑部32，一边朝前后方向引导各支撑部32的下端部。即，一对行走轨道41作为在前后方向上限制一对支撑部32的移动方向的线性导轨(linearguide)发挥功能。

线性马达42具有被固定于载台10的定子421、及被固定于支撑部32的动子422。定子421沿着载台10的左右的侧缘部，沿前后方向延伸。在涂布装置1工作时，在定子421与动子422之间产生磁性的吸引力或磁性的斥力。由此，动子422、喷嘴保持部30及狭缝喷嘴20一体地朝前后方向移动。

控制部50是用于对涂布装置1内的各部的动作进行控制的部件。如图1中概念性地所示那样，控制部50包含计算机(computer)，该计算机具有中央处理器(CentralProcessingUnit，CPU)等运算处理部51、随机存储器(Random-AccessMemory，RAM)等存储器52、及硬盘驱动器(harddiskdriver)等存储部53。控制部50与所述的顶杆、升降机构33、线性马达42等涂布装置1内的各部分别电连接。而且，控制部50也与后述的脱气装置60及供给机构70内所设的阀或泵(pump)电连接。控制部50将存储在存储部53中的计算机程序(computerprogram)或数据(data)暂时读出至存储器52中，运算处理部51基于该计算机程序及数据来进行运算处理，由此对涂布装置1内的各部的动作进行控制。由此，对基板9进行涂布处理。

<2.关于狭缝喷嘴的结构>

接下来，对狭缝喷嘴20的更详细的结构进行说明。图2是狭缝喷嘴20的立体图。图3是表示狭缝喷嘴20的内部的流路210的图。

如图2所示，狭缝喷嘴20的喷嘴主体21具有一对喷嘴构件211、212以及一对侧板(sideplate)213、214。对于喷嘴构件211、212及侧板213、214的材料，例如使用铝等金属。当将一对喷嘴构件211、212彼此固定，并且在其左右两端部安装一对侧板213、214时，便形成在内部具有流路210的喷嘴主体21。

在喷嘴主体21上，设置有一对供给口22与1个狭缝状的喷出口23。一对供给口22被分别设置于一对侧板213、214。1个喷出口23是在前方的喷嘴构件211的下端部与后方的喷嘴构件212的下端部之间，呈狭缝状地开口。在涂布装置1工作时，从一对供给口22向喷嘴主体21内的流路210供给被涂布材料。并且，流路210内的被涂布材料从喷出口23朝向喷嘴主体21的下方喷出。

而且，如图2所示，本实施方式的喷嘴主体21具有1个排出口24。排出口24被设置在喷嘴主体21的上表面。在后述的脱气装置60中未被完全去除的气泡在狭缝喷嘴20的清洗时，随淋洗(rinse)液一起从排出口24排出到狭缝喷嘴20的外部。

<3.关于供给配管系统的结构>

继而，对于向狭缝喷嘴20供给被涂布材料的供给配管系统的结构进行说明。图4是表示连接于狭缝喷嘴20的供给配管系统的结构的图。如图4所示，本实施方式的供给配管系统具有脱气装置60与供给机构70。

脱气装置60较供给机构70而设置在配管系统的上游侧。脱气装置60从作为供给源的第1槽罐81向作为供给目标的第2槽罐82供给被涂布材料L，并且去除被涂布材料L中的溶解气体。如图4所示，本实施方式的脱气装置60具备主配管61、脱气配管62、排出槽(draintank)63及减压部64。

主配管61是连接第1槽罐81与第2槽罐82的配管。在第1槽罐81中，贮存未使用的被涂布材料L或在暂时使用后经再生处理的被涂布材料L。贮存在第1槽罐81中的被涂布材料L通过主配管61被供给至第2槽罐82。而且，如图4所示，主配管61具有沿大致水平方向(相对于重力方向大致垂直的方向)延伸的水平部611。

在主配管61的水平部611，设置有异物去除过滤器83、第1阀91及第2阀92。在从第1槽罐81供给的被涂布材料L中含有异物的情况下，该异物在异物去除过滤器83中被去除。第1阀91及第2阀92是基于来自控制部50的电信号来进行开闭动作的电磁阀。第1阀91被设置在主配管61的路径上的与脱气配管62的连接部更上游侧(第1槽罐81侧)的位置。第2阀92被设置在主配管61的路径上的与脱气配管62的连接部更下游侧(第2槽罐82侧)的位置。

脱气配管62是用于捕集流经主配管61的被涂布材料L中所含的气泡的配管。如图4所示，本实施方式的脱气配管62具有第1纵管621、横管622、第2纵管623及排出配管624。第1纵管621从主配管61的水平部611朝向上方延伸。横管622从第1纵管621的上端水平地朝侧方延伸。第2纵管623从横管622的另一端进一步朝向上方延伸。排出配管624连接第2纵管623的上端部与排出槽63。

在脱气配管62中，设置有第3阀93、第4阀94、第1传感器84及第2传感器85。第3阀93及第4阀94是基于来自控制部50的电信号来进行开闭动作的电磁阀。第3阀93被隔插在第2纵管623的路径上。第4阀94被隔插在排出配管624的路径上。而且，第1传感器84被设置在第2纵管623的路径上的第3阀93更上侧的位置。第1传感器84检测第2纵管623的相应位置上是否存在被涂布材料L，并将表示检测结果的电信号发送至控制部50。第2传感器85被设置在横管622附近。第2传感器85在后述的脱气处理中，检测横管622内是否蓄积有气泡，并将表示检测结果的电信号发送至控制部50。对于第1传感器84及第2传感器85，例如使用光传感器(sensor)。

排出槽63是为了防止被抽吸至脱气配管62的被涂布材料L流入后述的真空泵640而设置。即使万一被涂布材料L过剩地流入脱气配管62，该被涂布材料L也会被回收到排出槽63内，而不会流入真空泵640侧。被回收到排出槽63内的被涂布材料L从排出槽63的下部排出，并被废弃或进行再生处理。

减压部64具有真空泵640、第1抽吸配管641及第2抽吸配管642。第1抽吸配管641的两端分别连接于真空泵640与排出槽63。第2抽吸配管642的两端分别连接于真空泵640与第2槽罐82。因此，当使真空泵640进行动作时，第1抽吸配管641及排出槽63内的空气被抽吸至真空泵640侧，并且第2抽吸配管642及第2槽罐82内的空气也被抽吸至真空泵640侧。由此，主配管61及脱气配管62内受到减压而成为负压。而且，在主配管61内，产生朝向第2槽罐82侧的抽吸力，在脱气配管62内，产生朝向排出槽63侧的抽吸力。

而且，如图4所示，本实施方式中，在第2槽罐82内设置有搅拌器86。搅拌器86通过从马达(省略图示)获得的动力来旋转。由此，对贮存于第2槽罐82内的被涂布材料L进行搅拌。当在贮存于第2槽罐82内的被涂布材料L中含有在所述脱气配管62中未被完全回收的气泡时，使搅拌器86进行动作便能够使该气泡上浮至被涂布材料L的液面。

供给机构70是用于从第2槽罐82向狭缝喷嘴20供给被涂布材料L的机构。供给机构70具有送液配管71与送液泵72。送液配管71的上游侧的端部连接于第2槽罐82的底部。送液配管71的下游侧的端部朝两方向分支而分别连接于狭缝喷嘴20的2个供给口22。当使送液泵72进行动作时，在由送液泵72产生的压力下，贮存于第2槽罐82中的被涂布材料L通过送液配管71而被供给至狭缝喷嘴20。并且，该被涂布材料L从狭缝喷嘴20的喷出口23喷出至基板9的上表面。

图5是表示控制部50与供给配管系统的各部的连接结构的框图。如图5所示，控制部50与所述的第1阀91、第2阀92、第3阀93、第4阀94、第1传感器84、第2传感器85、搅拌器86、真空泵640及送液泵72分别电连接。控制部50基于预先设定的计算机程序或来自外部的指示，对所述各部的动作进行控制。由此，进行被涂布材料L的脱气及供给的各动作。

<4.关于被涂布材料的脱气及供给动作>

继而，对在所述涂布装置1中，将贮存于第1槽罐中的被涂布材料L一边进行脱气一边供给至狭缝喷嘴20时的动作进行说明。图6是表示该动作的流程的流程图。图7是概念性地表示脱气配管62内的气泡的动向的图。

如图6所示，涂布装置1首先封闭第2阀92，并且开启第1阀91、第3阀93及第4阀94。并且，开始进行真空泵640的动作。于是，通过真空泵640的压力，在脱气配管62内产生朝向上方的抽吸力。因此，从第1槽罐81供给的被涂布材料L通过主配管61而流入脱气配管62。其结果，主配管61的第2阀92更上游侧的部分与脱气配管62的至少第3阀93更下侧的部分被被涂布材料L充满(步骤S1)。

当被涂布材料L到达第1传感器84的检测位置时，第1传感器84将表示已检测到被涂布材料L的检测信号发送至控制部50。控制部50在收到该检测信号时，封闭第3阀93并开启第2阀92。于是，通过从真空泵640经由第2抽吸配管642及第2槽罐82而传来的压力，在主配管61内产生朝向第2槽罐82侧的抽吸力。因此，在主配管61内，形成从第1槽罐81朝向第2槽罐82的被涂布材料L的流动(步骤S2)。

此时，主配管61及脱气配管62的内部通过真空泵640的抽吸力而成为压力比大气压低的状态(负压状态)。因此，从第1槽罐81流出的被涂布材料L中的溶解气体成为气泡而在被涂布材料L中产生。而且，在主配管61的内部，被涂布材料L正在流动，因此借助该流动，气泡的上浮受到促进。因此，如图7中的虚线B1所示，被涂布材料L中的气泡聚集到主配管61的上缘部。并且，聚集到主配管61的上缘部的气泡如图7中的虚线箭头A1那样，从主配管61效率良好地进入第1纵管621。这样，即使在被涂布材料L的粘度高的情况下，也能够使被涂布材料L中的气泡效率良好地进入脱气配管62。因此，比起仅使用第2槽罐82内的搅拌器86的情况，能够大幅降低气泡的去除所耗的时间。

进入第1纵管621内的气泡随后上升至横管622的高度为止。并且，如图7中的虚线B2所示，气泡沿着横管622的上缘部的下表面而蓄积。而且，在虚线B2的位置，多个气泡彼此聚集而成长为大的气泡。

当气泡成长而横管622内的规定区域被气泡占据时，第2传感器85检测到该气泡，并将检测信号发送至控制部50。控制部50在收到该检测信号时，封闭第1阀91及第2阀92并开启第3阀93。于是，贮存于第2纵管623内的被涂布材料L因其自重，而如图7中的虚线箭头A2那样，欲朝向横管622侧移动。由此，横管622内的气泡如虚线箭头A3那样，朝第2纵管623侧移动。即，第2纵管623内的被涂布材料L与横管622内的气泡进行置换。其结果，横管622内的气泡被排出到第2纵管623内的被涂布材料L的液面更上侧(步骤S3)。构成气泡的气体随后通过排出配管624、排出槽63及第1抽吸配管641而从真空泵640排出到外部。

如此，本实施方式中，在脱气配管62的横管622内使气泡成长，从而排出成长后的大的气泡。这样，能够降低随气体一起排出的被涂布材料L的量。因此，能够效率良好地从被涂布材料L仅去除溶解气体。

而且，所述步骤S3中，通过使在横管622内成长的气泡与第2纵管623内的被涂布材料L进行置换，从而将该气泡排出至上方。这样，能够效率良好地使气泡上浮至被涂布材料L的液面为止。另外，优选第2纵管623具有横管622以上的容积。这样，在步骤S3中，能够更确实地以第2纵管623内的被涂布材料L来置换横管622内的气泡。

而且，本实施方式中，从所述步骤S1直至步骤S3，开启第4阀94。即，即使在封闭了第3阀93的步骤S2中，也开启第4阀94。因此，步骤S2中，也会从贮存在第2纵管623内的第3阀93更上侧的被涂布材料L产生气泡，该气泡上浮至液面为止，由此将构成气泡的气体予以去除。由此，能够进而提高溶解气体的去除效率。

另外，在只靠脱气配管62无法充分去除气泡的情况下，可通过来自控制部50的指令来使第2槽罐82内的搅拌器86旋转。这样，在第2槽罐82内，能够使残存于被涂布材料L中的气泡上浮至液面。而且，与此同时，若使真空泵640进行动作，便能够使构成气泡的气体通过第2槽罐82及第2抽吸配管642而从真空泵640排出到外部。即，本实施方式中，搅拌器86及真空泵640构成在第2槽罐82内一边搅拌被涂布材料L一边进行脱气的搅拌脱气机构。如此，只要并用搅拌脱气机构，便能够进一步提高气泡的去除率。

随后，控制部50使送液泵72进行动作。于是，贮存于第2槽罐82中的脱气后的被涂布材料L通过送液配管71被供给至狭缝喷嘴20(步骤S4)。并且，供给至狭缝喷嘴20的被涂布材料L从狭缝喷嘴20的喷出口23喷出至基板9的上表面。

另外，本实施方式中，在连接第1槽罐81与第2槽罐82的主配管61中设置有异物去除过滤器83。并且，从连接第2槽罐82与狭缝喷嘴20的送液配管71中排除了异物去除过滤器。这样，在步骤S4中的被涂布材料L的供给时，不会因异物去除过滤器造成压力损失。因此，能够以更小的压力来对狭缝喷嘴20供给被涂布材料L。

<5.变形例>

以上，对本实用新型的一实施方式进行了说明，但本实用新型并不限定于所述实施方式。

图8是表示一变形例的供给配管系统的结构的图。图8的示例中，在脱气装置60内设置有第1脱气配管62A与第2脱气配管62B。第1脱气配管62A及第2脱气配管62B均从水平部611朝向上方延伸。而且，第2脱气配管62B的下端部较第1脱气配管62A的下端部而位于主配管61的下游侧。而且，第1阀91被设置在主配管61的路径上的与第1脱气配管62A的连接部更上游侧。第2阀92被设置在主配管61的路径上的与第2脱气配管62B的连接部更下游侧。第3阀93被设置在第1脱气配管62A及第2脱气配管62B各自的路径上。

如此，若设置2根脱气配管62A、62B，便能够使未进入第1脱气配管62A的气体进入下游侧的第2脱气配管62B而排除到外部。因此，能够进一步提高气泡的排出效率。

尤其，图8的示例中，第1脱气配管62A的上端部与第2脱气配管62B的上端部通过朝向斜上方延伸的倾斜配管625而连接于1根排出配管624。这样，能够顺利(smooth)地进行从第1脱气配管62A及第2脱气配管62B朝向排出配管624的气泡排出而无须反抗重力。尤其，在进行与所述的步骤S2同等的处理时，能够容易地使贮存于被封闭的第3阀93更上方的被涂布材料L中的气泡上浮至上方。

另外，为了进一步提高气泡的排出效率，也可将脱气配管62的数量设为3根以上。

图9是表示另一变形例的供给配管系统的结构的图。图9的示例中，在主配管的一部分设置有加热器87。加热器87与控制部50电连接。当通过来自控制部50的指令而使加热器87进行动作时，主配管61内的被涂布材料L受到加热。由此，能够使被涂布材料L的粘度下降。而且，被涂布材料L中的气泡膨胀。因此，气泡更容易进入脱气配管62，并且在脱气配管62内，气泡容易上浮。由此，能够进一步提高气泡的排出效率。

图10是表示另一变形例的供给配管系统的结构的图。图10的示例中，主配管61具有2根水平部611。2根水平部611在第1槽罐81与第2槽罐82之间并联连接。并且，脱气配管62从各水平部611朝向上方延伸。这样，通过2根水平部611，能够同时或交替地将被涂布材料L供给至第2槽罐82。因此，能够增加向第2槽罐82供给的液体的每单位时间供给量。

而且，所述实施方式中，横管622是呈水平地配置。然而，横管622的姿势未必需要为水平。横管622只要是从第1纵管621的上端以比第1纵管621更接近水平的角度朝向侧方延伸的管即可。但是，优选横管622的第2纵管623侧的端部是与横管622的第1纵管621侧的端部为同等的高度或比之更高。而且，在横管622内，为了使气泡更有效果地成长，横管622相对于水平面的角度优选设为0°以上且45°以下。

而且，所述实施方式中，第1纵管621、横管622及第2纵管623均为相同直径的配管。然而，第1纵管621、横管622及第2纵管623的内径未必需要相同。例如，为了在步骤S2中增加贮存于第3阀93更上侧的被涂布材料L的量，也可使第2纵管623的内径大于第1纵管621及横管622的内径。

而且，所述实施方式的装置中，仅利用真空泵640及送液泵72的压力来搬送被涂布材料L。但是，也可与这些泵的驱动并行地，向第1槽罐81内及第2槽罐82内导入经加压的气体，以促进被涂布材料L的流动。

而且，所述的涂布装置1被用于制造柔性元件的基材自身的工艺(process)，但本实用新型的涂布装置也可被用于在元件形成后的基材的表面形成保护膜的工艺。而且，本实用新型的涂布装置也可被用于涂布将基板与基板予以贴合时的粘合剂的工艺。而且，本实用新型的涂布装置也可被用于柔性元件以外的液晶显示装置或半导体基板的制造工序。而且，本实用新型的涂布装置也可被用于锂离子(lithiumion)二次电池或燃料电池等电池的制造工序。即，本实用新型的涂布装置尤其适合于涂布高粘度材料的工艺。

而且，对于脱气装置及涂布装置的细节部分，也可与本申请的各图中所示的结构不同。而且，也可在不产生矛盾的范围将所述实施方式或变形例中出现的各要素适当组合。

Claims (13)

1.一种脱气装置，去除液体中的溶解气体，所述脱气装置的特征在于包括：

主配管，连接作为供给源的第1槽罐与作为供给目标的第2槽罐，且具有大致水平地延伸的水平部；

脱气配管，从所述水平部朝向上方延伸；

多个阀，设置在所述主配管及所述脱气配管中；

减压部，使所述主配管内产生朝向所述第2槽罐侧的抽吸力，并且使所述脱气配管内产生朝向上方的抽吸力；以及

控制部，控制所述多个阀及所述减压部。

2.根据权利要求1所述的脱气装置，其特征在于，

所述多个阀包括：

第1阀，设置在所述主配管的路径上的与所述脱气配管的连接部更上游侧；

第2阀，设置在所述主配管的路径上的与所述脱气配管的连接部更下游侧；以及

第3阀，设置在所述脱气配管的路径上。

3.根据权利要求2所述的脱气装置，其特征在于，

所述脱气配管包括：

第1纵管，从所述水平部朝向上方延伸；

横管，从所述第1纵管的上端以比所述第1纵管更接近水平的角度朝向侧方延伸；以及

第2纵管，从所述横管的另一端朝向上方延伸，

在所述第2纵管中设置有所述第3阀。

4.根据权利要求3所述的脱气装置，其特征在于，

所述横管的第2纵管侧的端部是与所述横管的第1纵管侧的端部同等的高度或比之更高，

所述横管相对于水平面的角度为0°以上且45°以下。

5.根据权利要求3或4所述的脱气装置，其特征在于，

所述第2纵管具有所述横管以上的容积。

6.根据权利要求2至4中任一项所述的脱气装置，其特征在于，

所述脱气配管至少包括：

第1脱气配管，从所述水平部朝向上方延伸；以及

第2脱气配管，从所述水平部的所述第1脱气配管更下游侧的位置朝向上方延伸，

所述第1阀设置在所述主配管的路径上的与所述第1脱气配管的连接部更上游侧，

所述第2阀设置在所述主配管的路径上的与所述第2脱气配管的连接部更下游侧，

所述第3阀设置在所述第1脱气配管及所述第2脱气配管各自的路径上。

7.根据权利要求6所述的脱气装置，其特征在于，

所述第1脱气配管的上端部与所述第2脱气配管的上端部通过朝向斜上方延伸的倾斜配管而连接于1根排出配管。

8.根据权利要求2至4中任一项所述的脱气装置，其特征在于还包括：

第4阀，设置在所述脱气配管与所述减压部之间。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的脱气装置，其特征在于还包括：

加热器，对所述主配管内的液体进行加热。

10.根据权利要求1至4中任一项所述的脱气装置，其特征在于，

所述主配管包括在所述第1槽罐与所述第2槽罐之间并联连接的多个所述水平部，

所述脱气配管从多个所述水平部分别朝向上方延伸。

11.一种涂布装置，对作为处理对象的面涂布液体，所述涂布装置的特征在于包括：

根据权利要求1至10中任一项所述的脱气装置；

喷嘴，具有喷出流体的喷出口；以及

供给机构，从所述第2槽罐对所述喷嘴供给液体。

12.根据权利要求11所述的涂布装置，其特征在于还包括：

搅拌脱气机构，在所述第2槽罐内搅拌液体并对其进行脱气。

13.根据权利要求11或12所述的涂布装置，其特征在于还包括：

异物去除过滤器，设置在所述主配管的路径上。