KR102640701B1 - 에이징 장치, 처리 시스템, 및 에이징 방법 - Google Patents

에이징 장치, 처리 시스템, 및 에이징 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102640701B1
KR102640701B1 KR1020210008049A KR20210008049A KR102640701B1 KR 102640701 B1 KR102640701 B1 KR 102640701B1 KR 1020210008049 A KR1020210008049 A KR 1020210008049A KR 20210008049 A KR20210008049 A KR 20210008049A KR 102640701 B1 KR102640701 B1 KR 102640701B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tank
filter
flow path
liquid
varnish
Prior art date
Application number
KR1020210008049A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210095572A (ko
Inventor
노리오 요시카와
류스케 이토
마사노리 마에무코
가즈히로 마쓰히라
다케시 가와카미
Original Assignee
가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 filed Critical 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Publication of KR20210095572A publication Critical patent/KR20210095572A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102640701B1 publication Critical patent/KR102640701B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
    • B01D29/11—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with bag, cage, hose, tube, sleeve or like filtering elements
    • B01D29/31—Self-supporting filtering elements
    • B01D29/33—Self-supporting filtering elements arranged for inward flow filtration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
    • B01D29/62—Regenerating the filter material in the filter
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
    • B01D29/60—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor integrally combined with devices for controlling the filtration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
    • B01D29/96—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor in which the filtering elements are moved between filtering operations; Particular measures for removing or replacing the filtering elements; Transport systems for filters
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
    • B01D35/16—Cleaning-out devices, e.g. for removing the cake from the filter casing or for evacuating the last remnants of liquid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/02—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
    • B05C11/08—Spreading liquid or other fluent material by manipulating the work, e.g. tilting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Filtering Materials (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

[과제] 처리액의 사용량을 억제하면서, 필터의 초기 발진을 저감할 수 있는 기술을 제공한다.
[해결 수단] 이 에이징 장치(2)는, 제1 탱크(40), 제2 탱크(50), 제1 분기 배관(63), 및 제2 분기 배관(64)을 갖는다. 제1 분기 배관(63) 및 제2 분기 배관(64)은, 제1 탱크(40)와 제2 탱크(50) 사이에서 병렬로 연장된다. 제1 분기 배관(63) 및 제2 분기 배관(64)의 경로 상에는, 필터(F1, F2)를 장착 가능하다. 제어부(80)는, 제1 탱크(40)로부터 제1 분기 배관(63)을 통과하여 제2 탱크(50)로, 처리액을 보내는 처리와, 제2 탱크(50)로부터 제2 분기 배관(64)을 통과하여 제1 탱크(40)로, 처리액을 보내는 처리를, 교대로 실행한다. 이에 의해, 처리액의 사용량을 억제하면서, 필터의 초기 발진을 저감할 수 있다.

Description

에이징 장치, 처리 시스템, 및 에이징 방법{AGING APPARATUS, PROCESSING SYSTEM, AND AGING METHOD}
본 발명은, 고점도의 처리액을 여과하기 위한 필터를 사용 전에 세정하는 기술에 관한 것이다.
종래, 유기 EL 표시 장치나 액정 표시 장치의 제조 공정에서는, 기판의 표면에 포토레지스트 등의 처리액을 도포하는 도포 장치가 사용되고 있다. 종래의 도포 장치에 대해서는, 예를 들면, 특허 문헌 1에 기재되어 있다. 특허 문헌 1의 도포 장치는, 수평 방향으로 이동 가능한 스테이지에 흡착 유지된 기판에 대해, 슬릿형의 토출구를 갖는 슬릿다이로부터 처리액을 토출하고 있다.
일본국 특허공개 2018-43219호 공보
이런 종류의 도포 장치는, 처리액을 토출 및 도포하기 전에, 도포액 중에 포함되는 이물을 제거하기 위한 필터를 구비하고 있다. 신품의 필터는, 일반적으로, 미리 세정액으로 세정되어 있다. 이 때문에, 필터에 세정액과 같은 정도의 점도의 처리액을 통하게 해도, 필터로부터 분진은 발생하지 않는다. 그러나, 신품의 필터에 고점도의 처리액을 통하게 하는 경우, 필터로부터 분진이 이탈하는 경우가 있다.
이 때문에, 고점도의 처리액을 사용하는 도포 장치에서는, 도포 장치에 필터를 장착한 후, 잠시 동안, 필터에 처리액을 통하게 하는, 이른바 에이징 처리를 행한다. 에이징 처리는, 예를 들면, 1일~2주간 정도 걸쳐 행해지는 경우도 있다. 이 에이징 처리 동안, 도포 장치는, 기판으로의 도포 처리를 행할 수 없다. 이에 의해, 도포 장치의 생산 효율이 저하한다. 또, 고가의 처리액이 대량으로 소비된다.
본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 처리액의 사용량을 억제하면서, 필터의 초기 발진을 저감할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본원의 제1 발명은, 고점도의 처리액을 여과하기 위한 필터를 사용 전에 세정하는 에이징 장치로서, 제1 탱크와, 제2 탱크와, 상기 제1 탱크와 상기 제2 탱크 사이에서 병렬로 연장되는 제1 유로 및 제2 유로와, 상기 제1 탱크로부터 상기 제1 유로를 통과하여 상기 제2 탱크로, 상기 처리액을 보내는 제1 송액부와, 상기 제2 탱크로부터 상기 제2 유로를 통과하여 상기 제1 탱크로, 상기 처리액을 보내는 제2 송액부와, 상기 제1 송액부와 제2 송액부를 교대로 동작시키는 제어부를 구비하고, 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로 중 적어도 한쪽의 경로 상에, 상기 필터를 장착 가능하다.
본원의 제2 발명은, 제1 발명의 에이징 장치로서, 상기 제1 송액부는, 제1 탱크 내에 고압의 기체를 공급함으로써, 상기 제1 탱크로부터 상기 처리액을 밀어내고, 상기 제2 송액부는, 제2 탱크 내에 고압의 기체를 공급함으로써, 상기 제2 탱크로부터 상기 처리액을 밀어낸다.
본원의 제3 발명은, 제2 발명의 에이징 장치로서, 상기 기체의 압력을 조정하는 압력 조정부를 추가로 구비한다.
본원의 제4 발명은, 제1 발명 내지 제3 발명 중 어느 한 발명의 에이징 장치로서, 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로에, 상기 처리액보다 저점도의 린스액을 공급하는 린스액 공급부를 추가로 구비한다.
본원의 제5 발명은, 제1 발명 내지 제4 발명 중 어느 한 발명의 에이징 장치로서, 상기 제1 탱크로부터 기체를 흡인하여, 상기 제1 탱크 내의 기압을 저하시키는 감압부를 추가로 구비한다.
본원의 제6 발명은, 제5 발명의 에이징 장치로서, 상기 제1 탱크 내의 처리액을 교반하는 교반 기구를 추가로 구비한다.
본원의 제7 발명은, 제1 발명 내지 제6 발명 중 어느 한 발명의 에이징 장치로서, 상기 처리액은, 폴리이미드 전구체를 포함하는 바니시이며, 상기 필터는, 상기 바니시의 도포 장치에 장착되기 위한 필터이다.
본원의 제8 발명은, 처리 시스템으로서, 제7 발명의 에이징 장치와, 상기 도포 장치를 구비하고, 상기 에이징 장치와 상기 도포 장치는 별체이다.
본원의 제9 발명은, 고점도의 처리액을 여과하기 위한 필터를 사용 전에 세정하는 에이징 방법으로서, a) 제1 탱크로부터 제1 유로를 통과하여 제2 탱크로, 처리액을 보내는 공정과, b) 상기 제2 탱크로부터, 상기 제1 유로와는 별도의 제2 유로를 통과하여 제1 탱크로, 처리액을 보내는 공정을 교대로 실행하고, 상기 제1 유로 및 상기 제2 유로 중 적어도 한쪽에, 상기 필터가 설치된다.
본원의 제1 발명~제9 발명에 의하면, 필터의 사용 환경과 같은 고점도의 처리액을 이용하여, 신품의 필터로부터 발생하는 분진을 제거한다. 또, 제1 탱크로부터 제2 탱크로의 처리액의 송액과, 제2 탱크로부터 제1 탱크로의 처리액의 송액을 교대로 실행한다. 이에 의해, 처리액의 사용량을 억제하면서, 필터의 초기 발진을 저감할 수 있다.
특히, 본원의 제2 발명에 의하면, 유로에 설치된 펌프에 의해 송액하는 경우와 비교하여, 송액부로부터 발생하는 분진을 억제할 수 있다.
특히, 본원의 제3 발명에 의하면, 필터의 사용 환경과 동등 또는 그보다 높은 압력으로, 처리액을 보낼 수 있다. 이에 의해, 필터의 사용 환경에 있어서 발생할 수 있는 분진을, 적절히 제거할 수 있다.
특히, 본원의 제4 발명에 의하면, 필터에 린스액을 공급함으로써, 필터 내의 미세한 기포를 제거할 수 있다. 이에 의해, 필터의 통액성을 향상시킬 수 있다.
특히, 본원의 제5 발명에 의하면, 제1 탱크 내의 처리액을, 감압에 의해 탈기할 수 있다.
특히, 본원의 제6 발명에 의하면, 제1 탱크 내의 처리액의 탈기를, 보다 촉진시킬 수 있다.
특히, 본원의 제8 발명에 의하면, 도포 장치의 동작을 정지시키지 않고, 별체의 에이징 장치에서, 필터의 세정 처리를 진행시킬 수 있다.
도 1은, 도포 장치의 구성을 나타낸 개략도이다.
도 2는, 도포 유닛의 사시도이다.
도 3은, 제1 제어부와 도포 장치 내의 각 부의 접속을 나타낸 블록도이다.
도 4는, 에이징 장치의 구성을 나타낸 도면이다.
도 5는, 제1 장착부 및 제1 필터의 단면도이다.
도 6은, 제2 제어부와 에이징 장치 내의 각 부의 접속을 나타낸 블록도이다.
도 7은, 제1 필터 및 제2 필터를 신품의 필터로 교환할 때의 처리의 흐름을 나타낸 플로차트이다.
도 8은, 제1 변형예에 따른 에이징 장치의 구성을 나타낸 도면이다.
도 9는, 제2 변형예에 따른 에이징 장치의 구성을 나타낸 도면이다.
도 10은, 제3 변형예에 따른 에이징 장치의 구성을 나타낸 도면이다.
도 11은, 제4 변형예에 따른 에이징 장치의 구성을 나타낸 도면이다.
도 12는, 제5 변형예에 따른 에이징 장치의 구성을 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다.
＜1. 도포 장치에 대해＞
도 1은, 본 발명의 하나의 실시 형태에 따른 처리 시스템에 포함되는 도포 장치(1)의 구성을 나타낸 도면이다. 이 도포 장치(1)는, 플렉시블 디스플레이의 기재가 되는 폴리이미드 필름의 제조 공정에 사용되는 장치이다. 폴리이미드 필름의 제조 공정에서는, 우선, 이 도포 장치(1)에 있어서, 유리제의 캐리어 기판(C)의 상면에, 폴리이미드 전구체(폴리아믹산)를 포함하는 고점도의 처리액인 바니시를 도포한다. 그 후, 다른 장치에 있어서, 바니시의 가열, 감압, 소성 등의 처리를 행함으로써, 폴리이미드 필름이 제조된다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태의 도포 장치(1)는, 급액 유닛(10)과, 도포 유닛(20)과, 제1 제어부(30)를 갖는다.
급액 유닛(10)은, 공급 탱크(11), 제1 급액 배관(12), 탈기 탱크(13), 제2 급액 배관(14), 가압 기구(15), 및 감압 기구(16)를 갖는다.
공급 탱크(11)는, 공급 전의 바니시를 저류하는 용기이다. 공급 탱크(11)에 저류되는 바니시는, 미사용의 것이어도 되고, 일단 사용된 후에 재생 처리된 것이어도 된다. 상술한 바와 같이, 바니시는, 고점도의 처리액이다. 바니시의 점도는, 예를 들면, 1000~10000cP(1~10Pa·s) 정도이다. 이하의 설명에 있어서 「고점도」란, 1000cP(1~10Pa·s) 이상의 점도인 것을 나타낸다.
또한, 도 1의 예에서는, 급액 유닛(10)은, 1개의 공급 탱크(11)를 갖고 있다. 그러나, 급액 유닛(10)은, 복수의 공급 탱크(11)를 갖고 있어도 된다. 그 경우, 복수의 공급 탱크(11)가, 제1 급액 배관(12)에, 전환 가능하게 접속되어 있으면 된다.
제1 급액 배관(12)은, 공급 탱크(11)와 탈기 탱크(13)를 연결하는 배관이다. 제1 급액 배관(12)의 상류측의 단부는, 공급 탱크(11)에 접속되어 있다. 제1 급액 배관(12)의 하류측의 단부는, 탈기 탱크(13)에 접속되어 있다. 또, 제1 급액 배관(12)의 경로 상에는, 제1 급액 밸브(V11)와, 제1 필터(F1)가 설치되어 있다. 제1 급액 밸브(V11) 및 후술하는 제1 가압 밸브(V21)를 개방하면, 가압 기구(15)로부터 공급되는 기체의 압력에 의해, 공급 탱크(11) 내의 바니시가, 제1 급액 배관(12)을 통과하여, 탈기 탱크(13)로 보내진다. 그 때, 바니시는, 제1 필터(F1)에 의해 여과된다. 이에 의해, 바니시에 포함되는 미세한 분진이, 제1 필터(F1)에 포집되어 제거된다.
또한, 도 1의 예에서는, 급액 유닛(10)은, 1개의 제1 필터(F1)를 갖고 있다. 그러나, 급액 유닛(10)은, 복수의 제1 필터(F1)를 갖고 있어도 된다. 그 경우, 제1 급액 배관(12)의 경로 상에, 복수의 제1 필터(F1)가, 병렬로 접속되어 있으면 된다.
탈기 탱크(13)는, 바니시 중의 기체의 용존량을 저감시키기 위한 용기이다. 탈기 탱크(13)에는, 후술하는 감압 기구(16)가 접속되어 있다. 감압 기구(16)의 감압 밸브(V23)를 개방하여 감압 펌프(162)를 동작시키면, 탈기 탱크(13)의 내부 공간이 감압되어, 탈기 탱크(13) 내의 기압이, 대기압보다 낮은 부압이 된다. 이에 의해, 탈기 탱크(13) 내의 바니시에 포함되는 용존 기체가 기포가 된다. 또, 탈기 탱크(13) 내에는, 교반 기구(131)가 설치되어 있다. 교반 기구(131)를 회전시키면, 탈기 탱크(13) 내의 바니시가 교반되어, 바니시 중의 기포가, 바니시의 액면으로 향하여 부상한다. 부상 후의 기포는, 탈기 탱크(13)로부터 감압 기구(16)로 흡인됨으로써, 제거된다. 이에 의해, 바니시 중의 기체의 용존량이 저감된다.
이와 같이, 본 실시 형태의 도포 장치(1)에서는, 도포 전의 바니시에 포함되는 용존 기체를, 미리 제거해 둔다. 이에 의해, 캐리어 기판(C)에 도포된 바니시를, 후공정에 있어서 가열·소성할 때에, 바니시 중에 기포가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 도 1의 예에서는, 급액 유닛(10)은, 1개의 탈기 탱크(13)를 갖고 있다. 그러나, 급액 유닛(10)은, 복수의 탈기 탱크(13)를 갖고 있어도 된다. 그 경우, 제1 급액 배관(12)과 제2 급액 배관(14) 사이에, 복수의 탈기 탱크(13)가, 전환 가능하게 접속되어 있으면 된다.
제2 급액 배관(14)은, 탈기 탱크(13)와 도포 유닛(20)을 연결하는 배관이다. 제2 급액 배관(14)의 상류측의 단부는, 탈기 탱크(13)의 하부에 접속되어 있다. 제2 급액 배관(14)의 하류측의 단부는, 도포 유닛(20)의 후술하는 제3 급액 배관(23)에 접속되어 있다. 또, 제2 급액 배관(14)의 경로 상에는, 제2 급액 밸브(V12)와, 제2 필터(F2)와, 어시스트 펌프(P1)가 설치되어 있다.
감압 밸브(V23)를 폐쇄하고, 제2 급액 밸브(V12) 및 후술하는 제2 가압 밸브(V22)를 개방하면, 가압 기구(15)로부터 공급되는 기체의 압력에 의해, 탈기 탱크(13) 내의 바니시가, 제2 급액 배관(14)을 통과하여, 제3 급액 배관(23)으로 보내진다. 그 때, 어시스트 펌프(P1)를 구동시킴으로써, 바니시의 송액력이 보조된다. 제2 필터(F2)는, 제1 필터(F1)보다 구멍 지름이 작은(눈이 세세한) 필터이다. 제2 급액 배관(14)을 흐르는 바니시는, 제2 필터(F2)에 의해 여과된다. 이에 의해, 바니시에 포함되는 미세한 분진이, 제2 필터(F2)에 포집되어 제거된다.
또한, 도 1의 예에서는, 급액 유닛(10)은, 1개의 제2 필터(F2)를 갖고 있다. 그러나, 급액 유닛(10)은, 복수의 제2 필터(F2)를 갖고 있어도 된다. 그 경우, 제2 급액 배관(14)의 경로 상에, 복수의 제2 필터(F2)가, 병렬로 접속되어 있으면 된다.
가압 기구(15)는, 공급 탱크(11) 및 탈기 탱크(13)로, 송액을 위한 압력을 공급하는 기구이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 가압 기구(15)는, 고압 기체 공급원(151), 가압 배관(152), 레귤레이터(153), 제1 가압 밸브(V21), 및 제2 가압 밸브(V22)를 갖는다. 고압 기체 공급원(151)에는, 고압의 기체(예를 들면 질소)가 충전되어 있다. 가압 배관(152)의 상류측의 단부는, 고압 기체 공급원(151)에 접속되어 있다. 레귤레이터(153)는, 가압 배관(152)의 경로 상에 설치되어 있다. 가압 배관(152)의 하류측의 단부는, 2개로 분기하여, 각각, 공급 탱크(11)와 탈기 탱크(13)에 접속되어 있다. 제1 가압 밸브(V21) 및 제2 가압 밸브(V22)는, 분기 후의 2개의 가압 배관(152)에, 각각 설치되어 있다.
고압 기체 공급원(151)으로부터 공급되는 기체는, 레귤레이터(153)에 의해, 대기압보다 높은 소정의 압력으로 강압 조정된다. 제2 가압 밸브(V22)를 폐쇄하고, 제1 가압 밸브(V21)를 개방하면, 당해 소정의 압력의 기체가, 가압 배관(152)으로부터 공급 탱크(11)로 공급된다. 이에 의해, 공급 탱크(11)로부터 제1 급액 배관(12)으로, 바니시가 밀려나온다. 또, 제1 가압 밸브(V21)를 폐쇄하고, 제2 가압 밸브(V22)를 개방하면, 당해 소정의 압력의 기체가, 가압 배관(152)으로부터 탈기 탱크(13)로 공급된다. 이에 의해, 탈기 탱크(13)로부터 제2 급액 배관(14)으로, 바니시가 밀려나온다.
감압 기구(16)는, 탈기 탱크(13)의 내부를 감압하기 위한 기구이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 감압 기구(16)는, 감압 배관(161), 감압 펌프(162), 및 감압 밸브(V23)를 갖는다. 감압 배관(161)의 일단은, 탈기 탱크(13)에 접속되어 있다. 감압 배관(161)의 타단은, 공장 내의 배기 라인에 접속되어 있다. 감압 밸브(V23) 및 감압 펌프(162)는, 감압 배관(161)의 경로 상에 설치되어 있다. 감압 밸브(V23)를 개방하고, 감압 펌프(162)를 동작시키면, 탈기 탱크(13) 내의 기체가, 감압 배관(161)을 통과하여 배기 라인으로 흡인된다. 이에 의해, 탈기 탱크(13) 내의 기압이 저하한다.
도 2는, 도포 유닛(20)의 사시도이다. 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 도포 유닛(20)은, 스테이지(21), 슬릿 노즐(22), 제3 급액 배관(23), 노즐 유지부(24), 및 주행 기구(25)를 갖는다. 또한, 이하에서는, 설명의 편의상, 도포 유닛(20)에 있어서의 슬릿 노즐(22)의 이동 방향을 「전후 방향」이라고 칭하고, 전후 방향에 직교하는 수평 방향을 「좌우 방향」이라고 칭한다.
스테이지(21)는, 캐리어 기판(C)을 재치(載置)하고 유지하는 대략 직육면체형의 유지대이다. 스테이지(21)는, 예를 들면 일체의 석재에 의해 형성된다. 스테이지(21)의 상면은, 평탄한 기판 유지면(211)으로 되어 있다. 기판 유지면(211)에는, 다수의 진공 흡착 구멍(도시 생략)이 설치되어 있다. 기판 유지면(211)에 캐리어 기판(C)이 재치되면, 진공 흡착 구멍의 흡인력에 의해, 캐리어 기판(C)의 하면이 기판 유지면(211)에 흡착한다. 이에 의해, 스테이지(21) 상에 캐리어 기판(C)이 수평 자세로 고정된다. 또, 스테이지(21)의 내부에는, 복수의 리프트 핀(도시 생략)이 설치되어 있다. 스테이지(21)로부터 캐리어 기판(C)을 반출할 때에는, 기판 유지면(211) 상에 복수의 리프트 핀이 돌출한다. 이에 의해, 기판 유지면(211)으로부터 캐리어 기판(C)이 떼어 놓아진다.
슬릿 노즐(22)은, 바니시를 토출하는 노즐이다. 슬릿 노즐(22)은, 좌우 방향으로 연장되는 노즐 보디(221)를 갖는다. 노즐 보디(221)의 하단부에는, 좌우 방향으로 연장되는 슬릿형의 토출구(223)가 설치되어 있다. 토출구(223)는, 스테이지(21) 상에 재치된 캐리어 기판(C)의 상면에 대향한다.
제3 급액 배관(23)은, 슬릿 노즐(22)에 바니시를 공급하기 위한 배관이다. 제3 급액 배관(23)의 상류측의 단부는, 상술한 제2 급액 배관(14)의 하류측의 단부에 접속되어 있다. 제3 급액 배관(23)의 하류측의 단부는, 슬릿 노즐(22)에 접속되어 있다. 또, 제3 급액 배관(23)의 경로 상에는, 메인 펌프(P2)가 설치되어 있다. 메인 펌프(P2)를 동작시키면, 제2 급액 배관(14)으로부터 공급되는 바니시가, 슬릿 노즐(22)의 내부에 도입된다. 그리고, 슬릿 노즐(22)의 토출구(223)로부터 캐리어 기판(C)의 상면으로 향하여, 바니시가 토출된다.
노즐 유지부(24)는, 슬릿 노즐(22)을 기판 유지면(211)의 상방에 유지하기 위한 기구이다. 노즐 유지부(24)는, 스테이지(21)의 상방에 있어서 좌우 방향으로 연장되는 가교부(241)와, 가교부(241)의 양단을 지지하는 한 쌍의 지지부(242)를 갖는다. 또, 노즐 유지부(24)는, 승강 기구(243)를 갖는다. 승강 기구(243)를 동작시키면, 가교부(241)의 높이가 변화한다. 이에 의해, 슬릿 노즐(22)의 높이를 조절할 수 있다.
주행 기구(25)는, 슬릿 노즐(22)을 전후 방향으로 이동시키기 위한 기구이다. 주행 기구(25)는, 한 쌍의 레일(251)과, 한 쌍의 리니어 모터(252)를 갖는다. 한 쌍의 레일(251)은, 스테이지(21)의 좌우의 측부 부근에 있어서 전후 방향으로 연장된다. 한 쌍의 레일(251)은, 한 쌍의 지지부(242)의 이동 방향을 전후 방향으로 규제하는 리니어 가이드로서 기능한다. 한 쌍의 리니어 모터(252)는, 자기적인 동력에 의해, 한 쌍의 지지부(242)를, 레일(251)을 따라 전후 방향으로 이동시킨다. 이에 의해, 노즐 유지부(24)와 함께 슬릿 노즐(22)이 전후 방향으로 이동한다.
도포 처리를 행할 때에는, 도포 유닛(20)은, 캐리어 기판(C)의 상방에 있어서, 슬릿 노즐(22)을 전후 방향으로 이동시키면서, 토출구(223)로부터 바니시를 토출한다. 이에 의해, 캐리어 기판(C)의 상면에 바니시가 도포된다.
제1 제어부(30)는, 도포 장치(1) 내의 각 부를 동작 제어하기 위한 수단이다. 도 3은, 제1 제어부(30)와, 도포 장치(1) 내의 각 부의 접속을 나타낸 블록도이다. 제1 제어부(30)는, 예를 들면, 컴퓨터에 의해 실현된다. 도 3 중에 개념적으로 나타낸 바와 같이, 제1 제어부(30)는, CPU 등의 프로세서(31), RAM 등의 메모리(32), 및 하드 디스크 드라이브 등의 기억부(33)를 갖는다. 또, 제1 제어부(30)는, 상술한 교반 기구(131), 레귤레이터(153), 감압 펌프(162), 제1 급액 밸브(V11), 제2 급액 밸브(V12), 제1 가압 밸브(V21), 제2 가압 밸브(V22), 어시스트 펌프(P1) 등의, 급액 유닛(10) 내의 각 부와, 전기적으로 접속되어 있다. 또, 제1 제어부(30)는, 상술한 리프트 핀, 메인 펌프(P2), 승강 기구(243), 리니어 모터(252) 등의, 도포 유닛(20) 내의 각 부와도, 전기적으로 접속되어 있다.
제1 제어부(30)는, 기억부(33)에 기억된 컴퓨터 프로그램이나 데이터를, 메모리(32)에 일시적으로 읽어내고, 당해 컴퓨터 프로그램 및 데이터에 의거하여, 프로세서(31)가 연산 처리를 행함으로써, 도포 장치(1) 내의 각 부를 동작 제어한다. 이에 의해, 캐리어 기판(C)에 대한 도포 처리가 진행된다.
＜2. 에이징 장치에 대해＞
도 4는, 상술한 도포 장치(1)와 함께 사용되는 에이징 장치(2)의 구성을 나타낸 도면이다. 도포 장치(1)의 급액 유닛(10)에, 신품의 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)를 그대로 장착하면, 사용 개시 후에, 이들 필터(F1, F2)로부터 분진(이하 「초기 분진」이라고 칭한다)이 이탈하는 경우가 있다. 이 때문에, 본 실시 형태의 처리 시스템에서는, 신품의 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)를, 도포 장치(1)에서 사용하기 전에, 미리 에이징 장치(2)에서 세정한다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 에이징 장치(2)는, 제1 탱크(40), 제2 탱크(50), 배관부(60), 가압 기구(70), 및 제2 제어부(80)를 구비하고 있다.
제1 탱크(40) 및 제2 탱크(50)는, 필터(F1, F2)를 세정하기 위한 바니시를 저류하는 용기이다. 제1 탱크(40)와 제2 탱크(50)는, 서로 별체의 탱크이다. 또, 제1 탱크(40) 및 제2 탱크(50)는, 후술하는 가압 기구(70)에 의한 가압에 견딜 수 있는, 내압성의 밀폐 용기이다. 제1 탱크(40)는, 공급 배관(41)을 통해, 바니시 공급원(42)과 접속되어 있다. 공급 배관(41)의 경로 상에 설치된 공급 밸브(V30)를 개방하면, 바니시 공급원(42)으로부터 공급 배관(41)을 통과하여 제1 탱크(40)로, 바니시가 공급된다.
바니시 공급원(42)으로부터 공급되는 바니시는, 상술한 도포 장치(1)에 사용되는 바니시와 동일한 처리액이다. 따라서, 바니시 공급원(42)으로부터 공급되는 바니시의 점도는, 도포 장치(1)에 있어서 사용되는 바니시의 점도와 동일하다.
배관부(60)는, 제1 주배관(61), 제2 주배관(62), 제1 분기 배관(63), 및 제2 분기 배관(64)을 갖는다.
제1 주배관(61)의 일단은, 제1 탱크(40)의 하부에 접속되어 있다. 제1 분기 배관(63) 및 제2 분기 배관(64)의 일단은, 제1 주배관(61)의 타단에 접속되어 있다. 제1 분기 배관(63) 및 제2 분기 배관(64)의 타단은, 제2 주배관(62)의 일단에 접속되어 있다. 제2 주배관(62)의 타단은, 제2 탱크(50)의 하부에 접속되어 있다. 즉, 제1 분기 배관(63) 및 제2 분기 배관(64)은, 제1 탱크(40)와 제2 탱크(50)의 사이에 있어서, 병렬로 연장되어 있다. 제1 분기 배관(63)은, 본 발명에 있어서의 「제1 유로」의 일례이다. 제2 분기 배관(64)은, 본 발명에 있어서의 「제2 유로」의 일례이다.
제1 분기 배관(63)의 경로 상에는, 제1 전환 밸브(V31) 및 제2 전환 밸브(V32)가 설치되어 있다. 또, 제1 분기 배관(63)은, 제1 전환 밸브(V31)와 제2 전환 밸브(V32) 사이에, 제1 필터(F1)를 장착 가능한 제1 장착부(65)를 갖는다. 제2 분기 배관(64)의 경로 상에는, 제3 전환 밸브(V33) 및 제4 전환 밸브(V34)가 설치되어 있다. 또, 제2 분기 배관(64)은, 제3 전환 밸브(V33)와 제4 전환 밸브(V34) 사이에, 제2 필터(F2)를 장착 가능한 제2 장착부(66)를 갖는다.
가압 기구(70)는, 제1 탱크(40) 및 제2 탱크(50)로, 송액을 위한 압력을 공급하는 기구이다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 가압 기구(70)는, 고압 기체 공급원(71), 가압 배관(72), 레귤레이터(73), 제5 전환 밸브(V35), 및 제6 전환 밸브(V36)를 갖는다. 고압 기체 공급원(71)에는, 고압의 기체(예를 들면 질소)가 충전되어 있다. 가압 배관(72)의 상류측의 단부는, 고압 기체 공급원(71)에 접속되어 있다. 레귤레이터(73)는, 가압 배관(72)의 경로 상에 설치되어 있다. 가압 배관(72)의 하류측의 단부는, 2개로 분기하여, 각각, 제1 탱크(40)와 제2 탱크(50)에 접속되어 있다. 제5 전환 밸브(V35) 및 제6 전환 밸브(V36)는, 분기 후의 2개의 가압 배관(72)에, 각각 설치되어 있다.
고압 기체 공급원(71)으로부터 공급되는 기체는, 레귤레이터(73)에 의해, 대기압보다 높은 소정의 압력으로 강압 조정된다. 제6 전환 밸브(V36)를 폐쇄하고, 제5 전환 밸브(V35)를 개방하면, 당해 소정의 압력의 기체가, 가압 배관(72)으로부터 제1 탱크(40)로 공급된다. 이에 의해, 제1 탱크(40)로부터 제1 주배관(61)으로, 바니시가 밀려나온다. 또, 제5 전환 밸브(V35)를 폐쇄하고, 제6 전환 밸브(V36)를 개방하면, 당해 소정의 압력의 기체가, 가압 배관(72)으로부터 제2 탱크(50)로 공급된다. 이에 의해, 제2 탱크(50)로부터 제2 주배관(62)으로, 바니시가 밀려나온다.
즉, 본 실시 형태에서는, 가압 기구(70)가, 제1 탱크(40)로부터 제2 탱크(50)로 바니시를 보내는 제1 송액부의 기능과, 제2 탱크(50)로부터 제1 탱크(40)로 바니시를 보내는 제2 송액부의 기능을 겸비하고 있다.
도 5는, 제1 장착부(65)와, 제1 장착부(65)에 장착된 제1 필터(F1)의 단면도이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 제1 장착부(65)는, 제1 필터(F1)를 접속 가능한 홀더(650)를 갖는다.
제1 필터(F1)는, 하우징(91)과, 필터 카트리지(92)와, 커버(93)를 갖는다. 하우징(91)은, 상하 방향으로 연장되는 원통 형상의 하우징이다. 필터 카트리지(92)는, 하우징(91)의 내부에 수용된다. 커버(93)는, 하우징(91)의 외표면을 덮는다. 커버(93)는, 예를 들면 금속 등의, 하우징(91)보다 강성이 높은 재료에 의해 형성된다. 이에 의해, 하우징(91)의 변형이 억제된다.
필터 카트리지(92)는, 필터 본체(921)와 상부 덮개(922)를 갖는다. 필터 본체(921)는, 상하 방향으로 연장되는 원통형의 외형을 갖는다. 필터 본체(921)는, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, PTFE(Poly Tetra Fluoro Ethylene, 폴리테트라플루오로에틸렌) 등의 수지 섬유에 의해 형성된다. 단, 필터 본체(921)는, 수지 이외의 재료에 의해 형성되는 것이어도 된다. 상부 덮개(922)는, 필터 본체(921)의 상부를 덮는다.
하우징(91)의 바닥부에는, 유입구(911)와 유출구(912)가 설치되어 있다. 유입구(911)는, 하우징(91)의 내부 공간 중, 필터 카트리지(92)의 외부의 공간과 연통한다. 유출구(912)는, 하우징(91)의 내부 공간 중, 필터 카트리지(92)의 내부의 공간과 연통한다.
홀더(650)는, 유입 접속 구멍(651)과 유출 접속 구멍(652)을 갖는다. 유입 접속 구멍(651) 및 유출 접속 구멍(652)은, 각각, 홀더(650)를 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍이다. 유입 접속 구멍(651)은, 상류측의 제1 분기 배관(63)에 접속된다. 유출 접속 구멍(652)은, 하류측의 제1 분기 배관(63)에 접속된다. 또, 제1 장착부(65)에 제1 필터(F1)가 장착되면, 상술한 유입구(911)가, 유입 접속 구멍(651)에 접속되고, 상술한 유출구(912)가, 유출 접속 구멍(652)에 접속된다.
따라서, 제1 분기 배관(63)에 바니시가 흐르면, 유입 접속 구멍(651)으로부터 유입구(911)를 통해 하우징(91)의 내부로 바니시가 도입된다. 그리고, 당해 바니시가, 도 5 중의 파선 화살표와 같이, 필터 본체(921)를 통과한다. 또, 필터 본체(921)를 통과한 바니시는, 필터 본체(921)의 내측으로부터, 유출구(912) 및 유출 접속 구멍(652)을 통과하여, 하류측의 제1 분기 배관(63)으로 유출된다.
또, 도 5에 나타내는 바와 같이, 하우징(91)의 상부에는, 제1 배기 배관(94)이 접속된다. 하우징(91)의 상부에 모인 기포는, 제1 배기 배관(94)을 통과하여, 공장 내의 배기 라인으로 배출된다. 또, 필터 카트리지(92)의 상부에는, 제2 배기 배관(95)이 접속된다. 필터 카트리지(92)의 상부에 모인 기포는, 제2 배기 배관(95)을 통과하여, 공장 내의 배기 라인으로 배출된다.
또한, 제2 장착부(66) 및 제2 필터(F2)의 구조에 대해서는, 제1 장착부(65) 및 제1 필터(F1)의 구조와 동등하기 때문에, 중복 설명을 생략한다.
제2 제어부(80)는, 에이징 장치(2) 내의 각 부를 동작 제어하기 위한 수단이다. 도 6은, 제2 제어부(80)와, 에이징 장치(2) 내의 각 부의 접속을 나타낸 블록도이다. 제2 제어부(80)는, 예를 들면, 컴퓨터에 의해 실현된다. 도 6 중에 개념적으로 나타낸 바와 같이, 제2 제어부(80)는, CPU 등의 프로세서(81), RAM 등의 메모리(82), 및 하드 디스크 드라이브 등의 기억부(83)를 갖는다. 또, 제2 제어부(80)는, 상술한 공급 밸브(V30), 제1 전환 밸브(V31), 제2 전환 밸브(V32), 제3 전환 밸브(V33), 제4 전환 밸브(V34), 제5 전환 밸브(V35), 제6 전환 밸브(V36), 레귤레이터(73) 등의, 에이징 장치(2) 내의 각 부와, 전기적으로 접속되어 있다.
제2 제어부(80)는, 기억부(83)에 기억된 컴퓨터 프로그램이나 데이터를, 메모리(82)에 일시적으로 읽어내고, 당해 컴퓨터 프로그램 및 데이터에 의거하여, 프로세서(81)가 연산 처리를 행함으로써, 에이징 장치(2) 내의 각 부를 동작 제어한다. 이에 의해, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 세정 처리가 진행된다.
＜3. 필터의 세정 및 교환에 대해＞
이어서, 상기의 도포 장치(1) 및 에이징 장치(2)를 포함하는 처리 시스템에 있어서, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)를, 신품의 필터로 교환할 때의 처리의 흐름에 대해, 도 7의 플로차트를 참조하면서 설명한다.
도포 장치(1)의 제1 제어부(30)에는, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 교환 시기가 미리 설정되어 있다. 본 예에서는, 제1 필터(F1)와 제2 필터(F2)를, 같은 타이밍으로 교환하는 것으로 한다. 도 7과 같이, 제1 제어부(30)는, 도포 처리를 실행하면서, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 교환 시기의 소정 시간 전(예를 들면 24시간 전)이 되었는지 여부를, 항상 감시하고 있다(단계 S11：no).
교환 시기의 소정 시간 전이 되면(단계 S11：yes), 제1 제어부(30)는, 화면 표시나 음성 등으로, 오퍼레이터에게 소정 시간 전인 취지를 통지한다(단계 S12). 오퍼레이터는, 당해 통지를 확인하면, 에이징 장치(2)의 제1 장착부(65)에, 신품의 제1 필터(F1)를 장착함과 더불어, 에이징 장치(2)의 제2 장착부(66)에, 신품의 제2 필터(F2)를 장착한다(단계 S21). 그리고, 에이징 장치(2)의 동작을 개시시킨다.
에이징 장치(2)의 제2 제어부(80)는, 우선, 공급 밸브(V30)를 개방한다. 이에 의해, 바니시 공급원(42)으로부터 제1 탱크(40)로, 세정용의 바니시가 공급된다(단계 S22). 제1 탱크(40)에, 소정량의 바니시가 저류되면, 제2 제어부(80)는, 공급 밸브(V30)를 폐쇄한다.
다음으로, 제2 제어부(80)는, 제1 전환 밸브(V31), 제2 전환 밸브(V32), 및 제5 전환 밸브(V35)를 개방한다. 그렇게 하면, 가압 배관(72)으로부터 제1 탱크(40)로, 고압의 기체가 공급된다. 이에 의해, 제1 탱크(40) 내의 바니시가, 제1 주배관(61)으로 밀려나온다. 그리고, 도 4 중의 파선 화살표(A1)와 같이, 제1 주배관(61)으로부터, 제1 분기 배관(63) 및 제2 주배관(62)을 통과하여 제2 탱크(50)로, 바니시가 보내진다(단계 S23).
이 단계 S23에 있어서, 바니시는, 제1 필터(F1)를 통과한다. 이 때문에, 제1 필터(F1)의 하류측의 면에 초기 분진이 존재하는 경우, 그 초기 분진은, 제1 필터(F1)의 하류측의 면으로부터 이탈하여, 바니시와 함께 제2 탱크(50)로 흐른다.
이어서, 제2 제어부(80)는, 제1 전환 밸브(V31), 제2 전환 밸브(V32), 및 제5 전환 밸브(V35)를 폐쇄하고, 제3 전환 밸브(V33), 제4 전환 밸브(V34), 및 제6 전환 밸브(V36)를 개방한다. 그렇게 하면, 가압 배관(72)으로부터 제2 탱크(50)로, 고압의 기체가 공급된다. 이에 의해, 제2 탱크(50) 내의 바니시가, 제2 주배관(62)으로 밀려나온다. 그리고, 도 4 중의 파선 화살표(A2)와 같이, 제2 주배관(62)으로부터, 제2 분기 배관(64) 및 제1 주배관(61)을 통과하여 제1 탱크(40)로, 바니시가 보내진다(단계 S24).
이 단계 S24에 있어서, 바니시는, 제2 필터(F2)를 통과한다. 이 때문에, 제1 필터(F1)로부터 이탈한 상기의 초기 분진은, 제2 필터(F2)의 상류측의 면에 받아진다. 제2 필터(F2)의 구멍 지름은, 초기 분진의 입경보다 충분히 작기 때문에, 초기 분진이 제2 필터(F2)를 통과하는 경우는 없다. 또, 제2 필터(F2)의 하류측의 면에, 초기 분진이 부착되어 있는 경우, 그 초기 분진은, 제2 필터(F2)의 하류측의 면으로부터 이탈하여, 바니시와 함께 제1 탱크(40)로 흐른다.
그 후, 제2 제어부(80)는, 제1 탱크(40)로부터 제2 탱크(50)로의 바니시의 송액과, 제2 탱크(50)로부터 제1 탱크(40)로의 바니시의 송액이, 미리 설정된 소정 회수 실행되었는지 여부를 판단한다(단계 S25). 그리고, 소정 회수에 이르지 않았을 경우에는(단계 S25：no), 다시, 상술한 단계 S23~S24의 송액 처리를 실행한다.
제2 필터(F2)로부터 이탈한 상기의 초기 분진은, 2회째 이후의 단계 S23에 있어서, 제1 필터(F1)의 상류측의 면에 받아진다. 제1 필터(F1)의 구멍 지름은, 초기 분진의 입경보다 충분히 작기 때문에, 초기 분진이 제1 필터(F1)를 통과하는 경우는 없다.
이윽고, 소정 회수의 송액 처리가 완료되면(단계 S25：yes), 제2 제어부(80)는, 에이징 장치(2)의 동작을 정지한다. 그리고, 제1 장착부(65)로부터 세정이 끝난 제1 필터(F1)가 떼어내짐과 더불어, 제2 장착부(66)로부터 세정이 끝난 제2 필터(F2)가 떼어내진다(단계 S26).
한편, 도포 장치(1)의 제1 제어부(30)는, 에이징 장치(2)에 있어서의 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 세정 처리가 완료된 후, 끝맺기 좋은 타이밍에서, 도포 장치(1)의 동작을 정지시킨다(단계 S13). 그리고, 제1 급액 배관(12) 상의 제1 필터(F1)가, 에이징 장치(2)에 있어서 세정된 제1 필터(F1)로 교환된다. 또, 제2 급액 배관(14) 상의 제2 필터(F2)가, 에이징 장치(2)에 있어서 세정된 제2 필터(F2)로 교환된다(단계 S14).
제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 교환이 완료된 후, 제1 제어부(30)는, 도포 장치(1)의 동작을 재개시킨다(단계 S15).
이상과 같이, 이 에이징 장치(2)는, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 사용 환경과 같은 고점도의 바니시를 이용하여, 신품의 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)를 세정한다. 이 때문에, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)로부터 발생하는 초기 분진을, 양호하게 제거할 수 있다. 또, 이 에이징 장치(2)에서는, 제1 탱크(40)로부터 제2 탱크(50)로의 바니시의 송액과, 제2 탱크(50)로부터 제1 탱크(40)로의 바니시의 송액을 교대로 실행한다. 이에 의해, 바니시의 사용량을 억제하면서, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 초기 발진을 저감할 수 있다.
특히, 이 에이징 장치(2)는, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)를 사용하는 도포 장치(1)와는, 별체의 장치이다. 이 때문에, 도포 장치(1)의 동작을 정지시키지 않고, 별체의 에이징 장치(2)에 있어서, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 세정 처리를 진행시킬 수 있다. 따라서, 도포 장치(1)의 정지 기간을 단축하여, 생산 효율을 높일 수 있다.
에이징 장치(2)의 레귤레이터(73)는, 본 발명에 있어서의 「압력 조정부」의 일례이다. 레귤레이터(73)에 의해 조정되는 기체의 압력은, 도포 장치(1)의 레귤레이터(153)에 의해 조정되는 기체의 압력과, 동등 또는 그보다 높은 압력으로 하는 것이 바람직하다. 그렇게 하면, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 사용 환경에 있어서 발생할 수 있는 초기 분진을, 적절히 제거할 수 있다.
＜4. 변형예＞
이상, 본 발명의 하나의 실시 형태에 대해 설명했는데, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 이하에서는, 여러 가지의 변형예에 대해, 상기 실시 형태와의 차이점을 중심으로 설명한다.
＜4-1. 제1 변형예＞
도 8은, 제1 변형예에 따른 에이징 장치(2)의 구성을 나타낸 도면이다. 도 8의 에이징 장치(2)는, 린스액 공급부(100)와, 린스액 배출부(110)를 구비하고 있는 점이, 상기의 실시 형태와 상이하다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 린스액 공급부(100)는, 린스액 공급 배관(101)과, 린스액 공급원(102)을 갖는다. 린스액 공급 배관(101)의 상류측의 단부는, 린스액 공급원(102)에 접속되어 있다. 린스액 공급 배관(101)의 하류측의 단부는, 제1 주배관(61)에 접속되어 있다. 또, 린스액 공급 배관(101)의 경로 상에는, 제7 전환 밸브(V37)가 설치되어 있다.
린스액 배출부(110)는, 린스액 배출 배관(111)과, 드레인 탱크(112)를 갖는다. 린스액 배출 배관(111)의 상류측의 단부는, 제2 주배관(62)에 접속되어 있다. 린스액 배출 배관(111)의 하류측의 단부는, 드레인 탱크(112)에 접속되어 있다. 또, 린스액 배출 배관(111)의 경로 상에는, 제8 전환 밸브(V38)가 설치되어 있다.
또, 도 8의 예에서는, 제1 주배관(61)의, 린스액 공급 배관(101)과의 접속부보다 제1 탱크(40)측의 위치에, 제9 전환 밸브(V39)가 설치되어 있다. 또, 제2 주배관(62)의 린스액 배출 배관(111)과의 접속부보다 제2 탱크(50)측의 위치에, 제10 전환 밸브(V40)가 설치되어 있다.
본 변형예의 에이징 장치(2)에서는, 바니시의 송액을 행하기 전에, 린스액의 송액을 행한다. 구체적으로는, 우선, 제9 전환 밸브(V39) 및 제10 전환 밸브(V40)를 폐쇄함과 더불어, 제1 전환 밸브(V31), 제2 전환 밸브(V32), 제3 전환 밸브(V33), 제4 전환 밸브(V34), 제7 전환 밸브(V37), 및 제8 전환 밸브(V38)를 개방한다. 그렇게 하면, 도 8 중의 파선 화살표와 같이, 린스액 공급원(102)으로부터, 린스액 공급 배관(101), 제1 주배관(61), 제1 분기 배관(63), 제2 분기 배관(64), 및 제2 주배관(62), 및 린스액 배출 배관(111)을 통과하여, 드레인 탱크(112)로, 린스액이 흐른다. 그 때, 린스액은, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)를 통과한다.
린스액은, 바니시보다 저점도의 액체이다. 이 때문에, 바니시보다 전에 린스액을 통하게 함으로써, 신품의 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)에 포함되는 미세한 기포가 제거된다. 이에 의해, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 통액성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 그 후에 보내지는 바니시에 의해, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)를, 보다 양호하게 세정할 수 있다.
＜4-2. 제2 변형예＞
도 9는, 제2 변형예에 따른 에이징 장치(2)의 구성을 나타낸 도면이다. 도 9의 에이징 장치(2)는, 감압부(120)를 구비하고 있는 점이, 상기의 실시 형태와 상이하다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 감압부(120)는, 감압 배관(121), 감압 펌프(122), 및 감압 밸브(V41)를 갖는다. 감압 배관(121)의 일단은, 제1 탱크(40)에 접속되어 있다. 감압 배관(121)의 타단은, 공장 내의 배기 라인에 접속되어 있다. 감압 밸브(V41) 및 감압 펌프(122)는, 감압 배관(121)의 경로 상에 설치되어 있다. 감압 밸브(V41)를 개방하고, 감압 펌프(122)를 동작시키면, 제1 탱크(40) 내의 기체가, 감압 배관(121)을 통과하여 배기 라인으로 흡인된다. 이에 의해, 제1 탱크(40) 내의 기압이, 대기압보다 낮은 부압이 된다.
제1 탱크(40)의 내부 공간이 감압되면, 제1 탱크(40) 내의 바니시에 포함되는 용존 기체가 기포가 된다. 또, 도 9의 예에서는, 제1 탱크(40) 내에, 교반 기구(43)가 설치되어 있다. 교반 기구(43)를 회전시키면, 제1 탱크(40) 내의 바니시가 교반되어, 바니시 중의 기포가, 바니시의 액면으로 향하여 부상한다. 부상 후의 기포는, 제1 탱크(40)로부터 감압 배관(121)을 통과하여, 배기 라인으로 흡인된다. 이에 의해, 바니시 중의 기체의 용존량이 저감된다.
본 변형예의 에이징 장치(2)에서는, 제1 탱크(40)에 바니시를 저류한 후, 우선, 감압부(120) 및 교반 기구(43)를 이용하여, 바니시의 탈기를 행한다. 그리고, 탈기가 끝난 바니시를 이용하여, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 세정을 행한다. 이와 같이 하면, 세정 중에 있어서의 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 거품을 억제할 수 있다. 따라서, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)를, 보다 양호하게 세정할 수 있다.
＜4-3. 제3 변형예＞
도 10은, 제3 변형예에 따른 에이징 장치(2)의 구성을 나타낸 도면이다. 도 10의 에이징 장치(2)는, 제2 분기 배관(64)에, 제2 장착부(66)를 대신하여, 집진용 필터(F3)를 구비하고 있는 점이, 상기의 실시 형태와 상이하다.
집진용 필터(F3)는, 도포 장치(1)에 사용되는 필터가 아닌, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)로부터 발생하는 초기 분진을 포집하기 위한 필터이다. 본 변형예의 에이징 장치(2)에서는, 상술한 단계 S23에 있어서 제1 필터(F1)로부터 이탈한 초기 분진이, 단계 S24에 있어서, 집진용 필터(F3)에 포집된다. 제1 필터(F1)의 세정 처리가 종료되면, 제1 장착부(65)에, 제1 필터(F1)를 대신하여 제2 필터(F2)를 장착하고, 제2 필터(F2)의 세정 처리를 행한다. 제2 필터(F2)로부터 이탈한 초기 분진도, 집진용 필터(F3)에 포집된다.
이와 같이 하면, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 상류측의 면에 있어서, 초기 분진을 받을 필요가 없다. 따라서, 도포 장치(1)에 초기 분진을 갖고 들어오지 않아도 되기 때문에, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 신뢰성이, 보다 향상한다.
＜4-4. 제4 변형예＞
도 11은, 제4 변형예에 따른 에이징 장치(2)의 구성을 나타낸 도면이다. 도 11의 에이징 장치(2)는, 제1 분기 배관(63)과, 제2 분기 배관(64)을, 각각 복수 개 갖고 있는 점이, 상기의 실시 형태와 상이하다.
복수의 제1 분기 배관(63)은, 서로 병렬로 접속되어 있다. 또, 복수의 제2 분기 배관(64)도, 서로 병렬로 접속되어 있다. 이와 같이 하면, 도포 장치(1)에 있어서, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)가, 각각 복수 사용되는 경우에, 복수의 제1 필터(F1)와, 복수의 제2 필터(F2)를, 일괄하여 세정할 수 있다. 따라서, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 세정·교환 처리를, 보다 효율적으로 행할 수 있다.
＜4-5. 제5 변형예＞
도 12는, 제5 변형예에 따른 에이징 장치(2)의 구성을 나타낸 도면이다. 도 12의 에이징 장치(2)는, 제1 주배관(61) 및 제2 주배관(62)을 갖지 않은 점이, 상기의 실시 형태와 상이하다.
본 변형예의 에이징 장치(2)에서는, 제1 분기 배관(63) 및 제2 분기 배관(64)의 일단이, 직접 제1 탱크(40)에 접속된다. 또, 제1 분기 배관(63) 및 제2 분기 배관(64)의 타단이, 직접 제2 탱크(50)에 접속된다. 이러한 구성에서도, 상술한 도 7과 동일한 처리에 의해, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 세정을 행할 수 있다.
＜4-6. 다른 변형예＞
상기의 실시 형태에서는, 제1 탱크(40)로부터 제2 탱크(50)로의 바니시의 송액과, 제2 탱크(50)로부터 제1 탱크(40)로의 바니시의 송액을, 모두, 가압 기구(70)에 의한 기체의 압력에 의해 행하고 있었다. 그러나, 제1 분기 배관(63)의 경로 상의 제1 송액부로서의 펌프를 설치해도 된다. 또, 제2 분기 배관(64)의 경로 상에, 제2 송액부로서의 펌프를 설치해도 된다. 그리고, 이러한 펌프의 압력으로, 바니시를 송액해도 된다. 단, 상기 실시 형태와 같이, 기체의 압력을 이용하면, 펌프에 기인하는 발진을 방지할 수 있다. 따라서, 바니시를 보다 청정한 상태로 송액할 수 있다.
또, 상기의 실시 형태에서는, 도포 장치(1)의 제1 제어부(30)가, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 교환 시기의 소정 시간 전이 되었는지 여부를 감시하고 있었다. 그러나, 제1 제어부(30)는, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)의 교환 시기의 소정 시간 전이 되었는지 여부의 판단을 행하지 않고, 도포 장치(1)의 사용자가, 그 시기를 관리해도 된다.
또, 상기의 실시 형태의 에이징 장치(2)는, 도포 장치(1)에 사용되는 필터를 세정하기 위한 장치였다. 그러나, 본 발명의 에이징 장치는, 도포 이외의 처리를 행하는 장치에 사용되는 필터를 세정하는 것이어도 된다.
또, 상기의 실시 형태에서는, 처리액이, 폴리이미드 전구체를 포함하는 바니시였다. 그러나, 본 발명의 처리액은, 바니시 이외의 고점도의 처리액이어도 된다.
또, 제1 필터(F1) 및 제2 필터(F2)는, 도 5와는 상이한 구조를 갖는 것이어도 된다.
또, 에이징 장치 및 도포 장치의 세부에 대해서는, 본원의 각 도면에 나타내어진 구성과 상이해도 된다. 또, 상기의 실시 형태나 변형예에 등장한 각 요소를, 모순이 발생하지 않는 범위에서, 적절하게 조합해도 된다.
1 도포 장치
2 에이징 장치
10 급액 유닛
20 도포 유닛
30 제1 제어부
40 제1 탱크
43 교반 기구
50 제2 탱크
60 배관부
61 제1 주배관
62 제2 주배관
63 제1 분기 배관
64 제2 분기 배관
65 제1 장착부
66 제2 장착부
70 가압 기구
73 레귤레이터
80 제2 제어부
100 린스액 공급부
110 린스액 배출부
120 감압부
C 캐리어 기판
F1 제1 필터
F2 제2 필터
F3 집진용 필터

Claims (9)

  1. 고점도의 처리액을 여과하기 위한 필터를 사용 전에 세정하는 에이징 장치로서,
    제1 탱크와,
    제2 탱크와,
    상기 제1 탱크와 상기 제2 탱크 사이에서 병렬로 연장되는 제1 유로 및 제2 유로와,
    상기 제1 탱크로부터 상기 제1 유로를 통과하여 상기 제2 탱크로, 상기 처리액을 보내는 제1 송액부와,
    상기 제2 탱크로부터 상기 제2 유로를 통과하여 상기 제1 탱크로, 상기 처리액을 보내는 제2 송액부와,
    상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 전환하는 전환 밸브와,
    상기 제1 송액부와 제2 송액부를 교대로 동작시키는 제어부
    를 구비하고,
    상기 제1 유로 및 상기 제2 유로에, 각각, 상기 필터를 장착 가능하고,
    상기 제어부는,
    상기 제1 탱크와 상기 제2 탱크 사이의 유로를, 상기 전환 밸브에 의해 상기 제1 유로로 전환한 상태에서, 상기 제1 송액부를 동작시키고,
    상기 제1 탱크와 상기 제2 탱크 사이의 유로를, 상기 전환 밸브에 의해 상기 제2 유로로 전환한 상태에서, 상기 제2 송액부를 동작시키고,
    상기 제1 송액부의 동작 시에 상기 제1 유로에 장착된 필터로부터 이탈한 분진은, 상기 제2 송액부의 동작 시에, 상기 제2 유로에 장착된 필터의 상류측의 면에 받아지고,
    상기 제2 송액부의 동작 시에 상기 제2 유로에 장착된 필터로부터 이탈한 분진은, 상기 제1 송액부의 동작 시에, 상기 제1 유로에 장착된 필터의 상류측의 면에 받아지는, 에이징 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 송액부는, 제1 탱크 내에 고압의 기체를 공급함으로써, 상기 제1 탱크로부터 상기 처리액을 밀어내고,
    상기 제2 송액부는, 제2 탱크 내에 고압의 기체를 공급함으로써, 상기 제2 탱크로부터 상기 처리액을 밀어내는, 에이징 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 기체의 압력을 조정하는 압력 조정부를 추가로 구비하는, 에이징 장치.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 유로 및 상기 제2 유로에, 상기 처리액보다 저점도의 린스액을 공급하는 린스액 공급부를 추가로 구비하는, 에이징 장치.
  5. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 탱크로부터 기체를 흡인하여, 상기 제1 탱크 내의 기압을 저하시키는 감압부를 추가로 구비하는, 에이징 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 제1 탱크 내의 처리액을 교반하는 교반 기구를 추가로 구비하는, 에이징 장치.
  7. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리액은, 폴리이미드 전구체를 포함하는 바니시이며,
    상기 필터는, 상기 바니시의 도포 장치에 장착되기 위한 필터인, 에이징 장치.
  8. 청구항 7에 기재된 에이징 장치와,
    상기 도포 장치
    를 구비하고,
    상기 에이징 장치와 상기 도포 장치는 별체인, 처리 시스템.
  9. 고점도의 처리액을 여과하기 위한 필터를 사용 전에 세정하는 에이징 방법으로서,
    a) 제1 탱크로부터 제1 유로를 통과하여 제2 탱크로, 처리액을 보내는 공정과,
    b) 상기 제2 탱크로부터, 상기 제1 유로와는 별도의 제2 유로를 통과하여 제1 탱크로, 처리액을 보내는 공정
    을 교대로 실행하고,
    상기 제1 유로 및 상기 제2 유로에, 각각, 상기 필터가 설치되고,
    상기 공정 a)에서, 상기 제1 유로에 장착된 필터로부터 이탈한 분진은, 상기 공정 b)에서, 상기 제2 유로에 장착된 필터의 상류측의 면에 받아지고,
    상기 공정 b)에서, 상기 제2 유로에 장착된 필터로부터 이탈한 분진은, 상기 공정 a)에서, 상기 제1 유로에 장착된 필터의 상류측의 면에 받아지는, 에이징 방법.
KR1020210008049A 2020-01-23 2021-01-20 에이징 장치, 처리 시스템, 및 에이징 방법 KR102640701B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020008887A JP7245795B2 (ja) 2020-01-23 2020-01-23 エージング装置、処理システム、およびエージング方法
JPJP-P-2020-008887 2020-01-23

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210095572A KR20210095572A (ko) 2021-08-02
KR102640701B1 true KR102640701B1 (ko) 2024-02-27

Family

ID=76878503

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210008049A KR102640701B1 (ko) 2020-01-23 2021-01-20 에이징 장치, 처리 시스템, 및 에이징 방법

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP7245795B2 (ko)
KR (1) KR102640701B1 (ko)
CN (1) CN113144706B (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101452608B1 (ko) * 2010-05-06 2014-10-22 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 약액 공급 시스템, 이를 구비하는 기판 처리 장치 및 이 기판 처리 장치를 구비하는 도포 현상 시스템
CN108296089A (zh) * 2016-09-16 2018-07-20 株式会社斯库林集团 喷嘴洗涤方法、涂布装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19605602C1 (de) * 1996-02-15 1997-11-20 Singulus Technologies Gmbh Vorrichtung zur Oberflächenbeschichtung bzw. zum Lackieren von Substraten
JP4313026B2 (ja) * 2002-11-08 2009-08-12 株式会社ヒラノテクシード 毛管現象による塗工ノズルを用いた有機ｅｌパネルの製造装置及び製造方法
JP2007234862A (ja) * 2006-03-01 2007-09-13 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 高圧処理装置および高圧処理方法
JP2011050823A (ja) * 2009-08-31 2011-03-17 Fujifilm Corp 液付与装置及び画像形成装置
FR3009040B1 (fr) * 2013-07-26 2015-07-24 Fluidexpert Systeme et procede de commutation de l'ecoulement d'un fluide dans un circuit de fluide, et circuit de fluide equipe dudit systeme
JP6445893B2 (ja) * 2015-02-18 2018-12-26 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 脱気装置、塗布装置、および脱気方法
US20160311696A1 (en) * 2015-04-24 2016-10-27 Sst Systems, Inc. Fluid filtration system and method
JP6721956B2 (ja) * 2015-07-28 2020-07-15 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 塗布装置および塗布方法
JP6607820B2 (ja) * 2016-04-12 2019-11-20 東京エレクトロン株式会社 フィルタ立ち上げ装置、処理液供給装置、治具ユニット、フィルタの立ち上げ方法
KR20180037368A (ko) * 2016-10-04 2018-04-12 주식회사 케이씨텍 약액 공급부 및 이를 포함하는 기판 코팅 장치
CN106731121A (zh) * 2016-12-22 2017-05-31 新兴铸管（浙江）铜业有限公司 可在线切换的润滑滤芯
JP6984431B2 (ja) * 2018-01-19 2021-12-22 東京エレクトロン株式会社 流路洗浄方法及び流路洗浄装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101452608B1 (ko) * 2010-05-06 2014-10-22 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 약액 공급 시스템, 이를 구비하는 기판 처리 장치 및 이 기판 처리 장치를 구비하는 도포 현상 시스템
CN108296089A (zh) * 2016-09-16 2018-07-20 株式会社斯库林集团 喷嘴洗涤方法、涂布装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210095572A (ko) 2021-08-02
CN113144706B (zh) 2024-06-07
CN113144706A (zh) 2021-07-23
JP7245795B2 (ja) 2023-03-24
JP2021115498A (ja) 2021-08-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5741549B2 (ja) 処理液供給方法、処理液供給装置及び記憶媒体
JP5038378B2 (ja) 薬液供給装置および薬液供給方法
JP6607820B2 (ja) フィルタ立ち上げ装置、処理液供給装置、治具ユニット、フィルタの立ち上げ方法
CN106391358B (zh) 涂布装置及涂布方法
CN205308730U (zh) 脱气装置以及涂布装置
JP6347708B2 (ja) 塗布装置および洗浄方法
JP5524154B2 (ja) 液処理装置及び液処理方法
KR20180022573A (ko) 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기록 매체
KR100337448B1 (ko) 가스 용해수 제조장치 및 가스 용해수 제조 방법 그리고 세정장치
CN112299619A (zh) 废液处理装置
KR102640701B1 (ko) 에이징 장치, 처리 시스템, 및 에이징 방법
CN106140567B (zh) 涂布装置、涂布系统及涂布方法
KR20150007945A (ko) 에어 벤트 시스템
CN103386812A (zh) 丝网印刷装置
KR102649969B1 (ko) 급액 장치, 도포 장치, 에이징 장치, 및 급액 방법
JP2016189493A (ja) 液処理方法、液処理装置及び記憶媒体
JP6837037B2 (ja) 処理装置、処理システム、および処理方法
JP2020044465A (ja) 供給装置、塗布装置、および供給方法
CN112299618B (zh) 废液处理装置
CN116809547A (zh) 一种清洗医用毛细管的装置
CN118595062A (zh) 一种自动循环清洗设备
JP2010000443A (ja) 液滴吐出装置の吐出不良ノズル回復方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant