CN108296089A - 喷嘴洗涤方法、涂布装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种喷嘴洗涤方法、涂布装置。本发明的喷嘴洗涤方法包括如下工序：在对安装于涂布装置的安装部位的喷嘴的喷出口进行了密封的状态下，使粘度低于涂布液的洗涤液在从喷嘴的排出口出来并回到喷嘴的供给口的第1循环系统中循环；从安装部位拆下借由第1循环系统中的洗涤液的循环而洗涤的喷嘴，对喷嘴执行规定操作之后，将喷嘴安装于安装部位；以及在对执行规定操作而安装于安装部位的喷嘴的喷出口进行了密封的状态下，使洗涤液在从排出口出来并回到供给口并且在排出口到供给口之间具有过滤器的第2循环系统中循环。因此，可以去除为了规定操作而从涂布装置拆下的喷嘴上所附着的微粒。

Description

喷嘴洗涤方法、涂布装置

技术领域

本发明涉及一种对涂布装置的喷嘴的内部进行洗涤的技术，所述涂布装置是对液晶显示装置用玻璃基板、半导体晶片、等离子体显示板(plasma display panel，PDP)用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、聚酰亚胺前体薄膜的支撑用的玻璃基板、彩色滤光片用基板、记录磁盘用基板、太阳能电池用基板、电子纸用基板等精密电子装置用基板(以下简称为“基板”)从喷嘴的喷出口喷出涂布液而进行涂布。

背景技术

先前，已经知道了通过使涂布液从喷嘴喷出，而将涂布液涂布于对象物的涂布装置。所述喷嘴包括形成于其内部的空腔、以及分别与空腔连通的供给口及喷出口。而且，通过使从供给口供给至空腔内的涂布液从喷出口喷出，而将涂布液涂布于对象物。并且，在专利文献1中，记载有洗涤这种喷嘴的技术。所述洗涤技术是通过在对喷嘴的喷出口进行了密封的状态下，将从供给口(药液导入部)供给至空腔的洗涤液从在喷嘴的两侧开口的排出口(药液导出部)排出，而对喷嘴内部的空腔进行洗涤。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利第5258849号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

然而，为了执行喷嘴的分解清扫或喷嘴的构成零件的调整等规定操作(手动操作)，有时操作者会从涂布装置适当拆下喷嘴。这时，操作者通过在进行所述喷嘴的洗涤之后拆下喷嘴，可以对涂布液的附着量少的比较洁净的喷嘴执行规定操作。但是，在如上所述的规定操作的执行过程中，微粒(particle)可能会附着于喷嘴的内部空间(空腔)的内壁。因此，在将喷嘴安装至涂布装置之后所执行的涂布时，有可能使微粒与涂布液一同从喷出口喷出，而污染对象物。

本发明是鉴于所述问题而完成的，目的在于提供一种可以去除为了规定操作而从涂布装置拆下的喷嘴上所附着的微粒的技术。

[解决问题的手段]

本发明的喷嘴洗涤方法包括如下工序：在对安装于涂布装置的安装部位的喷嘴的喷出口进行了密封的状态下，使粘度低于涂布液的洗涤液在从喷嘴的排出口出来并回到喷嘴的供给口的第1循环系统中循环，所述涂布装置的喷嘴具有与内部空间连通的供给口、喷出口及排出口，喷嘴相对于安装部位可拆装，并通过将涂布液从安装于安装部位的喷嘴的供给口供给至内部空间而将从喷嘴的喷出口喷出的涂布液涂布于对象物；从安装部位拆下已借由第1循环系统中的洗涤液的循环而洗涤的喷嘴，对喷嘴执行规定操作之后，将喷嘴安装于安装部位；以及在对执行规定操作而安装于安装部位的喷嘴的喷出口进行了密封的状态下，使洗涤液在从排出口出来并回到供给口并且在排出口至供给口之间具有过滤器的第2循环系统中循环。

在如上所述构成的喷嘴洗涤方法中，在对喷嘴的喷出口进行了密封的状态下，使洗涤液在从排出口出来并回到供给口的第1循环系统中循环之后，将喷嘴从涂布装置的安装部位拆下。由此，操作者可以对涂布液的附着量少的比较洁净的喷嘴执行规定操作。并且，当将执行了规定操作的喷嘴安装于涂布装置的安装部位时，在对喷嘴的喷出口进行了密封的状态下，使洗涤液在从排出口出来并回到供给口的第2循环系统中循环。因此，可以利用在第2循环系统中循环的洗涤液从喷嘴的内部空间冲走微粒。而且，第2循环系统在排出口至供给口之间具有过滤器，所以可以利用过滤器收集被冲走的微粒，抑制所述微粒再次返回到喷嘴的内部空间。这样一来，可以去除为了规定操作而从涂布装置拆下的喷嘴上所附着的微粒。

此外，在本发明中，拆下喷嘴之前的喷嘴的洗涤是使洗涤液在不含过滤器的第1循环系统中循环，与此相对，安装喷嘴后的喷嘴的洗涤是使洗涤液在含有过滤器的第2循环系统中循环。如上所述分开使用过滤器的理由之一如下。即，第1循环系统中的洗涤主要是为了冲走固着于喷嘴的内部空间的内壁等之上的涂布液的成分而执行。而且，第1循环系统中的洗涤的执行时机是在操作者执行规定操作之前，所以在第1循环系统中不存在微粒，本来就不需要过滤器。另一方面，第2循环系统中的洗涤主要是为了去除伴随着喷嘴的拆下而附着于喷嘴的内部空间的内壁等之上的微粒而执行。如果所述微粒伴随着洗涤液的循环回到喷嘴的内部空间，那么后来的涂布受到的影响就大。因此，设为在第1循环系统中的洗涤中，不使用过滤器来抑制过滤器的消耗，并且在第2循环系统中的洗涤中，通过使用过滤器来收集微粒。

此外，在本发明中，通过一边密封喷嘴的喷出口一边使洗涤液循环来进行喷嘴的洗涤，换而言之在喷嘴洗涤中循环利用洗涤液。因此，可以抑制洗涤液的消耗。

因此，也可以如下方式构成喷嘴洗涤方法：使在第1循环系统中循环的洗涤液在第2循环系统中循环。通过如上所述在第1循环系统中的洗涤及第2循环系统中的洗涤中共用洗涤液，可以更有效地抑制洗涤液的消耗。

并且，也可以如下方式构成喷嘴洗涤方法：还包括在第1循环系统中的洗涤液的循环之后，将喷嘴从安装部位拆下之前，将气体导入至第1循环系统的工序。在所述构成中，可以利用已导入至第1循环系统的气体推出洗涤液之后，拆下喷嘴。其结果为，操作者可以对经干燥的喷嘴进行规定操作。

并且，也可以如下方式构成喷嘴洗涤方法：还包括在第2循环系统中的洗涤液的循环之后，将气体导入至第2循环系统的工序。在所述构成中，可以利用已导入至第2循环系统的气体推出喷嘴的内部空间的洗涤液。其结果为，可以抑制残留于喷嘴的内部空间的洗涤液对后来执行的涂布液的涂布造成影响。

并且，也可以如下方式构成喷嘴洗涤方法：涂布液包含聚酰亚胺前体及溶剂，洗涤液是溶剂。即，由于包含聚酰亚胺前体的涂布液具有高粘度，所以容易固着于喷嘴的内部空间的内壁。因此，只借由如专利文献1中所述的洗涤不够，非常需要利用手动操作进行洗涤，从而容易产生微粒附着之类的问题。因此，如上所述，特别优选的是通过在安装喷嘴之后，使溶剂(洗涤液)在具有过滤器的第2循环系统中循环，来从喷嘴的内部空间去除微粒。

本发明的涂布装置的第1形态包括：喷嘴，具有与内部空间连通的供给口、狭缝状的喷出口及排出口，将从供给口供给至内部空间的涂布液从喷出口喷出；喷嘴支撑部，将喷嘴可拆装地支撑于安装部位；洗涤液循环元件，包括构成从排出口出来并回到供给口的循环路径的配管、设置于配管并使粘度低于涂布液的洗涤液在循环路径中循环的输送部、及相对于配管可拆装的过滤器；以及密封元件，可对喷嘴的喷出口进行密封；并且喷嘴通过在密封元件对喷出口未进行密封的状态下从喷出口喷出涂布液，而将涂布液涂布于对象物，洗涤液循环元件可以选择性地执行如下动作，即，在喷出口被密封元件密封并且从配管拆下了过滤器的状态下使洗涤液在循环路径中循环的动作、以及在喷出口被密封元件密封并且在配管上安装有过滤器的状态下使洗涤液在循环路径中循环的动作。

如上所述构成的涂布装置通过从安装于喷嘴支撑体的拆装位置的喷嘴喷出涂布液，而将涂布液涂布于对象物。即，喷嘴具有与其内部空间连通的供给口及狭缝状的喷出口，将从供给口供给至内部空间的涂布液从喷出口喷出。此外，喷嘴具有与所述内部空间连通的排出口，通过洗涤液循环元件经由喷嘴的供给口及排出口使洗涤液循环而对喷嘴进行洗涤。所述洗涤液循环元件包括构成从排出口出来并回到供给口的循环路径的配管、以及使洗涤液在所述循环路径中循环的输送部，过滤器相对于配管可拆装。而且，洗涤液循环元件可以执行在喷出口被密封元件密封并且已从配管拆下过滤器的状态下使洗涤液在循环路径中循环的动作。因此，通过洗涤液循环元件执行所述动作之后从涂布装置的安装部位拆下喷嘴，操作者可以对涂布液的附着量少的比较洁净的喷嘴执行规定操作。并且，洗涤液循环元件可以执行在喷出口被密封元件密封并且在配管上安装有过滤器的状态下使洗涤液在循环路径中循环的动作。因此，通过将喷嘴安装于涂布装置的安装部位之后洗涤液循环元件执行所述动作，可以利用在循环路径中所循环的洗涤液从喷嘴的内部空间冲走微粒。而且，由于在循环路径中安装有过滤器，所以能够利用过滤器收集被冲走的微粒，抑制所述微粒再次回到喷嘴的内部空间。这样一来，可以去除为了规定操作而从涂布装置拆下的喷嘴上所附着的微粒。

本发明的涂布装置的第2形态包括：喷嘴，具有与内部空间连通的供给口、狭缝状的喷出口及排出口，使从供给口供给至内部空间的涂布液从喷出口喷出；喷嘴支撑部，将喷嘴可拆装地支撑于安装部位；洗涤液循环元件，包括构成从排出口出来并回到供给口的循环路径的配管、设置于配管而使粘度低于涂布液的洗涤液在循环路径中循环的输送部、及相对于配管而安装的过滤器；以及密封元件，可对喷嘴的喷出口进行密封；并且喷嘴通过在密封元件对喷出口未进行密封的状态下从喷出口喷出涂布液，而将涂布液涂布于对象物，循环路径包括从排出口出来并且不经由过滤器而回到供给口的第1路径、以及从排出口出来并且穿过过滤器之后回到供给口的第2路径，洗涤液循环元件可以选择性地执行如下动作，即，在喷出口被密封元件密封的状态下使洗涤液在第1路径中循环的动作、以及在喷出口被密封元件密封的状态下使洗涤液在第2路径中循环的动作。

如上所述构成的涂布装置通过从安装于喷嘴支撑体的拆装位置的喷嘴喷出涂布液，而将涂布液涂布于对象物。即，喷嘴具有与所述内部空间连通的供给口及狭缝状的喷出口，使从供给口供给至内部空间的涂布液从喷出口喷出。此外，喷嘴具有与所述内部空间连通的排出口，通过洗涤液循环元件经由喷嘴的供给口及排出口使洗涤液循环而对喷嘴进行洗涤。所述洗涤液循环元件包括构成从排出口出来并回到供给口的循环路径的配管、以及使洗涤液在所述循环路径中循环的输送部。并且，循环路径包括从排出口出来并且不经由过滤器而回到供给口的第1路径、以及从排出口出来并且穿过过滤器之后回到供给口的第2路径。而且，洗涤液循环元件可以执行在喷出口被密封元件密封的状态下使洗涤液在第1路径中循环的动作。因此，操作者可以通过洗涤液循环元件执行所述动作之后从涂布装置的安装部位拆下喷嘴，而对涂布液的附着量少的比较洁净的喷嘴执行规定操作。并且，洗涤液循环元件可以执行在喷出口被密封元件密封的状态下使洗涤液在第2路径中循环的动作。因此，通过将喷嘴安装于涂布装置的安装部位之后洗涤液循环元件执行所述动作，可以利用在第2路径中循环的洗涤液从喷嘴的内部空间冲走微粒。而且，由于在第2路径中设置有过滤器，所以能够利用过滤器收集被冲走的微粒，抑制所述微粒再次回到喷嘴的内部空间。这样一来，可以去除为了规定操作而从涂布装置拆下的喷嘴上所附着的微粒。

[发明的效果]

如上所述，根据本发明，可以去除为了规定操作而从涂布装置拆下的喷嘴上所附着的微粒。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的涂布装置的立体图。

图2是示意性地表示图1所示的涂布装置的侧视图。

图3是概略性地表示图1所示的涂布装置的各部的配置的俯视图。

图4是示意性地表示狭缝喷嘴的立体图。

图5是示意性地表示图4的狭缝喷嘴的分解构造的立体图。

图6是示意性地表示涂布装置所含的处理液供给系统的第1例的图。

图7是表示涂布装置中所执行的喷嘴洗涤处理的一例的流程图。

图8是示意性地表示涂布装置所含的处理液供给系统的第2例的图。

图9是示意性地表示涂布装置所含的处理液供给系统的第3例的图。

[符号的说明]

1：涂布装置

2：狭缝喷嘴

2a：下端部

3：基板

4：平台

5：涂布处理部

6：喷嘴维护单元

7：人机接口

8：供给机构

9：排出机构

10：过滤器

21：喷出口

23、25：喷嘴主体

23a、25a：下端部

23b、25b：上端部

27：喷嘴垫片

31：表面

41：保持面

51：喷嘴支撑体

51a：支撑构件

51b：升降机构

52：导轨

53：狭缝喷嘴移动部

54：线性马达

54a：定子

54b：动子

55：线性编码器

55a：刻度部

55b：检测部

61：待机点

62：密封构件

63：喷嘴清扫装置

81：除气槽

82：减压泵

83：歧管

91：回收槽

100：控制部

271：上边部

272：侧边部

510：安装部位

631：刮板

811、822、832、833、911：输出部

821、831：输入部

A1：侧面开口

A2：侧面开口

A3：上表面开口

CR：循环路径

CR1：第1路径

CR2：第2路径

CV：空腔

F：流路

Fa：横孔部

Fb：纵孔部

G1、G2：压力计

P1～P9：配管

RA：喷嘴调整区域

RT：涂布区域

S：处理液供给系统

U1、U2：涂布液供给源

U3、U4：空气供给源

V1～V7、V9：阀

V8、V10：切换阀

v81、v82：输出部

v101、v102：输出

S101～S112：步骤

具体实施方式

图1是示意性地表示本发明的涂布装置的立体图。并且，图2是示意性地表示图1所示的涂布装置的侧视图。此外，图3是概略性地表示图1所示的涂布装置的各部的配置的俯视图。再者，图1、图2、图3及以后的各图中，为了阐明它们的方向关系，适当标注将Z方向设为垂直方向，将XY平面设为水平面的XYZ正交坐标系，并且根据需要夸张或简化地描绘各部的尺寸或数量。并且，在图2及图3中，省略了喷嘴支撑体等一部分的构成。

涂布装置1是利用狭缝喷嘴2将涂布液涂布于基板3的表面31的被称为狭缝涂布机的涂布装置。涂布液分别包含聚酰亚胺前体即聚酰胺酸(polyamide acid；polyamic acid)作为溶质，包含N-甲基-2-吡咯烷酮(N-Methyl-2-Pyrrolidone，NMP)作为溶剂。并且，基板3是俯视时具有矩形状的玻璃基板。再者，在本说明书中，所谓“基板3的表面31”是指基板3的两主面之中涂布涂布液之侧的主面。

涂布装置1包括能够以水平姿势吸附保持基板3的平台4、利用狭缝喷嘴2对保持于平台4上的基板3实施涂布处理的涂布处理部5、对狭缝喷嘴2实施维护处理的喷嘴维护单元6、人机接口(man-machine interface)7、以及对所述各部进行控制的控制部100。

平台4由具有大致长方体的形状的花岗岩等石材所构成，在其上表面(+Z侧)之中的-Y侧，具有加工成大致水平的平坦面而保持基板3的保持面41。在保持面41上分散地形成有未图示的多个真空吸附口。通过利用这些真空吸附口吸附基板3，而在涂布处理时将基板3水平地保持于规定的位置。再者，基板3的保持形态并不限定于此，例如也可以构成为机械地保持基板3。并且，在平台4上比保持面41所占有的区域更靠+Y侧的位置上设置有喷嘴调整区域RA，在所述喷嘴调整区域RA内配置有后述喷嘴维护单元6。

涂布处理部5包括对狭缝喷嘴2进行支撑的喷嘴支撑体51。所述喷嘴支撑体51包括在平台4的上方沿X方向平行地延伸设置的支撑构件51a、以及对支撑构件51a从X方向上的两侧进行支撑而使支撑构件51a升降的两个升降机构51b。支撑构件51a是由碳纤维强化树脂等构成，具有矩形的截面的棒构件。所述支撑构件51a的下表面成为狭缝喷嘴2的安装部位510，支撑构件51a将狭缝喷嘴2可拆装地支撑于安装部位510。再者，作为用于将狭缝喷嘴2相对于支撑构件51a的安装部位510而拆装的机构，可以适当使用闩锁(latch)或螺钉等各种紧固机构。

两个升降机构51b连结于固定构件51a的长度方向上的两端部，分别具有交流电(alternating current，AC)伺服马达及滚珠螺杆等。利用这些升降机构51b，使固定构件51a及固定于其上的狭缝喷嘴2沿垂直方向(Z方向)升降，对在狭缝喷嘴2的下端开口的喷出口21与基板3的间隔，即，对喷出口21相对于基板3的相对高度进行调整。再者，固定构件51a的垂直方向上的位置虽然例如省略了图示，但是可以通过线性编码器(linear encoder)来检测，所述线性编码器包括设置于升降机构51b的侧面的刻度(scale)部、以及与所述刻度部相对向地设置于狭缝喷嘴2的侧面等的检测传感器。

如上所述构成的喷嘴支撑体51如图1所示，具有沿X方向架设于平台4的左右两端部的跨越保持面41的跨接构造。涂布处理部5包括使所述喷嘴支撑体51沿Y方向移动的狭缝喷嘴移动部53。狭缝喷嘴移动部53作为使作为跨接构造体的喷嘴支撑体51与支撑于其上的狭缝喷嘴2，相对于保持于平台4上的基板3沿Y方向相对移动的相对移动元件而发挥作用。具体而言，狭缝喷嘴移动部53分别在±X侧，具有在Y方向上引导狭缝喷嘴2的移动的导轨(guide rail)52、作为驱动源的线性马达54、以及用于对狭缝喷嘴2的喷出口21的位置进行检测的线性编码器55。

两个导轨52分别设置于平台4的X方向上的两端部，并且以包含设置有喷嘴调整区域RA及保持面41的区间的方式在Y方向上延伸设置。而且，两个导轨52分别在Y方向上引导两个升降机构51b的移动。并且，两个线性马达54分别设置于平台4的两侧，是具有定子54a及动子54b的AC无铁芯线性马达(coreless linear motor)。定子54a沿Y方向设置于平台4的X方向上的侧面。另一方面，动子54b固定设置于升降机构51b的外侧。两个线性马达54分别通过所述定子54a与动子54b之间所产生的磁力，沿Y方向对两个升降机构51b进行驱动。

并且，各线性编码器55分别包含刻度部55a及检测部55b。刻度部55a沿Y方向设置在固定设置于平台4上的线性马达54的定子54a的下部。另一方面，检测部55b固定设置于升降机构51b上所固定设置的线性马达54的动子54b的更外侧，与刻度部55a相对向而配置。线性编码器55基于刻度部55a与检测部55b的相对位置关系，对Y方向上的狭缝喷嘴2的喷出口21的位置进行检测。

如上所述构成的狭缝喷嘴移动部53通过在Y方向上对喷嘴支撑体51进行驱动，可以使狭缝喷嘴2在喷嘴调整区域RA的上方与保持于平台4上的基板3的上方之间移动。而且，涂布装置1通过一边从狭缝喷嘴2的喷出口21喷出涂布液，一边使狭缝喷嘴2相对于基板3相对移动，而在基板3的表面31形成涂布层。再者，从基板3的各边的端部起规定宽度的区域(边框状的区域)成为非涂布区域，不成为涂布液的涂布对象。因此，基板3之中除了所述非涂布区域以外的矩形区域成为应涂布涂布液的涂布区域RT(图3)。因此，从在狭缝喷嘴2的移动区间之中基板3的涂布区域RT的上方区间移动的喷出口21喷出涂布液。

并且，在涂布装置1与外部搬运机构的基板3的交接期间(基板3的搬入及搬出时间)等在平台4上未进行涂布处理的期间，狭缝喷嘴2在从基板3的保持面41向+Y侧偏离的喷嘴调整区域RA内进行避让(图1所示的状态)。而且，喷嘴维护单元6对位于喷嘴调整区域RA的狭缝喷嘴2执行各种维护。

喷嘴维护单元6包括从远离保持面41之侧起依次在Y方向上排列的待机点61、密封构件62及喷嘴清扫装置63。待机点61存积有洗涤液，将狭缝喷嘴2的下端部、即喷出口21的周边浸渍于洗涤液中。因此，通过使狭缝喷嘴2与待机点61相对向，可以抑制干燥的涂布液的成分固着于狭缝喷嘴2的下端部。密封构件62通过从下方抵接于狭缝喷嘴2的下端部而对狭缝喷嘴2的喷出口21进行密封。通过所述密封构件62对喷出口21的密封，而禁止从喷出口21喷出涂布液。所述密封构件62主要用于使用洗涤液对狭缝喷嘴2进行洗涤的后述洗涤处理中。喷嘴清扫装置63去除附着于狭缝喷嘴2的下端部即喷出口21的周边的涂布液。即，喷嘴清扫装置63具有与狭缝喷嘴2的下端部相对应的形状的刮板(scraper)631，通过使所述刮板631向X方向滑动至狭缝喷嘴2的下端部，而从狭缝喷嘴2的下端部刮下涂布液。

图4是示意性地表示狭缝喷嘴的立体图，图5是示意性地表示图4的狭缝喷嘴的分解构造的立体图。狭缝喷嘴2包括两个喷嘴主体23、喷嘴主体25、以及从Y方向夹于所述喷嘴主体23、喷嘴主体25之间的喷嘴垫片(nozzle shim)27。喷嘴主体23、喷嘴主体25分别在X方向上以相同的宽度延伸设置，在YZ截面中具有梯形状的下端部23a、下端部25a及矩形状的上端部23b、上端部25b。喷嘴主体23、喷嘴主体25的内侧(喷嘴垫片27侧)的面分别为与ZX平面平行的平面。另一方面，喷嘴主体23的下端部23a、喷嘴主体25的下端部25a的外侧(喷嘴垫片27的逆侧)的面分别是以越朝向下方越靠近喷嘴垫片27的方式倾斜的倾斜面。因此，由喷嘴主体23的下端部23a、喷嘴主体25的下端部25a构成的狭缝喷嘴2的下端部2a(喷嘴凸缘(nozzle lip)部)具有尖端越向下方越细的形状。

并且，在喷嘴主体25的内侧的面上，形成有涂布液的流路F。所述流路F包括与X方向平行地延伸设置的横孔部Fa、以及从横孔部Fa的中央与Z方向平行地延伸设置的纵孔部Fb。而且，横孔部Fa的X方向上的两端在喷嘴主体25的两侧面打开而分别构成侧面开口A1、侧面开口A2，纵孔部Fb的上端在喷嘴主体25的上表面打开而构成上表面开口A3。

喷嘴垫片27包括以与喷嘴主体23、喷嘴主体25相同的宽度在X方向上延伸设置的平板形状的上边部271、以及从上边部271的两端向Z方向下方延伸设置的平板形状的侧边部272。而且，在上边部271的下方即侧边部272之间的区域作为狭缝喷嘴2的空腔CV而发挥作用。对空腔CV的上端进行规定的上边部271位于比流路F的横孔部Fa更上方的位置，空腔CV与流路F的横孔部Fa连通。并且，空腔CV的下端朝向外侧打开而构成狭缝状的喷出口21。所述空腔CV在X方向上具有与涂布区域RT(图3)相同的宽度。如上所述，喷嘴垫片27作为对喷出口21的涂布宽度进行规定的涂布宽度规定构件而发挥作用。

而且，涂布装置1包括用于将涂布液或洗涤液等处理液供给至狭缝喷嘴2的处理液供给系统S。图6是示意性地表示涂布装置所含的处理液供给系统的第1例的图。如所述图6所示，处理液供给系统S包括对狭缝喷嘴2供给处理液的供给机构8、及从狭缝喷嘴2排出处理液的排出机构9。

供给机构8具有分别经由阀V1、阀V2与附设于涂布装置1上的存积槽即涂布液供给源U1及洗涤液供给源U2连接的除气槽81。所述除气槽81是暂时存积从涂布液供给源U1供给的涂布液或从洗涤液供给源U2供给的洗涤液的构件，去除涂布液中或洗涤液中的溶解气体(dissolved gas)。再者，洗涤液是作为涂布液的溶剂的NMP，具有低于涂布液的粘度。所述洗涤液主要用于后述狭缝喷嘴2的洗涤处理中。

在所述除气槽81内，经由阀V3连接有空气供给源U3(动力)。因此，控制部100可以通过打开阀V1将涂布液存积于除气槽81之后打开阀V3将空气压送至除气槽81内，而从除气槽81的输出部811压出涂布液。并且，控制部100可以通过打开阀V2将洗涤液存积于除气槽81之后打开阀V3将空气压送至除气槽81内，而从除气槽81的输出部811压出洗涤液。

并且，供给机构8具有通过配管P1与除气槽81的输出部811连接的泵82。所述泵82是例如管式泵等定量喷出泵。泵82的输入部821与除气槽81的输出部811通过配管P1而连接，泵82将从除气槽81压出至配管P1的处理液从输入部821吸入并从输出部822输出。

此外，供给机构8具有歧管(manifold)83，所述歧管83的输入部831通过配管P2与泵82的输出部822连接。并且，歧管83所具有的两个输出部832、输出部833之中，输出部832经由阀V4通过配管P3与狭缝喷嘴2的侧面开口A1连接。因此，控制部100可以通过在打开了阀V4的状态下使泵82运转，而经由歧管83将处理液供给至狭缝喷嘴2。

并且，在供给机构8中，将压力计G1安装于配管P1上，并且将压力计G2安装于歧管83上。压力计G1是为了监视泵82的输入侧的负压级别(level)而设置，压力计G2是为了监视泵82的输出侧的正压级别而设置。即，控制部100在所述负压级别或正压级别大于各自的阈值时，通过使泵82的旋转速度下降，来抑制施加至泵82的负荷。

排出机构9包括暂时存积从狭缝喷嘴2排出的处理液的回收槽91。回收槽91经由阀V5通过配管P4而与狭缝喷嘴2的侧面开口A2连接，并且经由阀V6通过配管P5而与狭缝喷嘴2的上表面开口A3连接。再者，配管P4、配管P5的比阀V5、阀V6更靠回收槽91侧的一部分为共同化。因此，控制部100通过打开阀V5、阀V6，可以将从狭缝喷嘴2的侧面开口A2及上表面开口A3排出的处理液排出至回收槽91。

并且，在回收槽91上，经由阀V7连结有空气供给源U4(动力)。因此，控制部100通过打开阀V7将空气压送至回收槽91内，可以从回收槽91的输出部911压出处理液。并且，回收槽91的输出部911经由切换阀V8通过配管P6而与供给机构8的配管P1连接。切换阀V8是选择性地打开两个输出部v81、输出部v82之中的一者的三通阀。这些输出部v81、输出部v82之中，输出部v81与供给机构8的配管P1连接，输出部v82与排水口(drain)连接。因此，控制部100可以通过打开切换阀V8的输出部v81，而使从回收槽91压出至配管P6的处理液回到供给机构8的除气槽81，另一方面，可以通过打开切换阀V8的输出部v82，而从排水口废弃所述处理液。

如上所述，在处理液供给系统S中，利用配管P1～配管P6来构成使从狭缝喷嘴2的侧面开口A2及上表面开口A3出来的处理液回到狭缝喷嘴2的侧面开口A1的循环路径CR(循环系统)(即，在图6中构成了使处理液沿顺时针循环的循环路径CR(循环系统))。并且，在配管P6上可拆装地安装有过滤器10，可以通过从配管P6拆下过滤器10，来构成不含过滤器10的第1循环系统(循环路径CR)，并且可以通过将过滤器10安装于配管P6上，来构成包含过滤器10的第2循环系统(循环路径CR)。

并且，处理液供给系统S具有经由阀V9将歧管83的输出部833与回收槽91加以连接的配管P7。再者，配管P7的比阀V9更靠回收槽91侧的一部分与配管P4、配管P5的比阀V5、阀V6更靠回收槽91侧的一部分共同化。

而且，控制部100在将涂布液涂布于基板3时，在关闭了阀V5及阀V6的状态下，对狭缝喷嘴2的侧面开口A1供给涂布液。由此，在狭缝喷嘴2中，从侧面开口A1供给的涂布液从流路F扩散至空腔CV，而从喷出口21喷出(涂布处理)。

并且，控制部100在涂布装置1从长时间的停止状态起再开始运转时，在关闭了阀V1、阀V2的状态下打开阀V3，由此将残留于除气槽81内的涂布液排出至配管P1。与此同时，控制部100在一边关闭阀V4～阀V6一边打开阀V9的状态下使泵82运转，借此将从配管P1抵达至歧管(manifold)83的涂布液经由配管P2、配管P7输送至回收槽91。然后，控制部100通过一边打开阀V7一边打开切换阀V8的输出部v82，而从排水口废弃送来至除气槽81的涂布液。

此外，控制部100在未进行涂布处理期间，执行图7所示的喷嘴洗涤处理。在这里，图7是表示利用涂布装置而执行的喷嘴洗涤处理的一例的流程图。在这里，以在涂布处理结束后开始喷嘴洗涤处理的情况为例进行说明。因此，在喷嘴洗涤处理开始前，只打开阀V4，而关闭其它阀V2～阀V7、阀V9，并通过切换阀V8而打开输出部v81。并且，泵82停止。

当开始图7的流程图时，狭缝喷嘴2向密封构件62的上方移动，狭缝喷嘴2的喷出口21被密封构件62密封(步骤S101)。接着，打开阀V3，并且打开阀V5、阀V6。由此，在从涂布液供给源U1向除气槽81的涂布液的供给停止的状态下，执行对除气槽81的空气的压送，因此在配管P1～配管P3及狭缝喷嘴2内所残留的涂布液经由配管P4、配管P5而输送至回收槽91(步骤S102)。与此同时，打开阀V7，并且打开切换阀V8的输出部v82，将送来至回收槽91的涂布液从排水口废弃。

接着，执行第1循环洗涤处理(步骤S103)。具体而言，开始泵82的运转，并且打开阀V2，使来自洗涤液供给源U2的洗涤液经由配管P1～配管P3供给至狭缝喷嘴2的侧面开口A1。而且，在狭缝喷嘴2中，从侧面开口A1将洗涤液流入至流路F及空腔CV。这时，喷出口21被密封，所以所流入的洗涤液从侧面开口A2及上表面开口A3流出，并经由配管P4、配管P5输送至回收槽91。与此同时，打开切换阀V8的输出部v81，而抵达至回收槽91的洗涤液经由配管P6回到配管P1。这样一来，可以通过在不含过滤器10的循环路径CR中，即在第1循环系统中循环的洗涤液，来洗涤狭缝喷嘴2的流路F及空腔CV。

当所述第1循环洗涤处理完成时，使泵82停止，并且关闭阀V2、阀V7，一边使在循环路径CR中循环的洗涤液回收至回收槽91，一边从空气供给源U3将空气(干燥空气)导入至配管P1～配管P5(空气净化(air purge))。而且，关闭阀V3而使空气净化停止之后，人机接口7进行通知可拆下狭缝喷嘴2的显示(步骤S105)。

操作者收到所述通知，将狭缝喷嘴2从喷嘴支撑体51的安装部位510拆下，对所述狭缝喷嘴2执行规定的手动操作(规定操作)(步骤S106)。所述手动操作的内容例如可举出将狭缝喷嘴2分解成各部件21、部件23、部件25而分别对各部件进行洗涤的分解洗涤操作、对应于接下来执行的涂布处理中的涂布区域RT而更换喷嘴垫片27的垫片交换操作。当对狭缝喷嘴2的手动操作完成时，操作者将所述狭缝喷嘴2安装于喷嘴支撑体51的安装部位510(步骤S107)。当操作者将已安装狭缝喷嘴2的内容输入至人机接口7时，人机接口7进行请求将过滤器10安装至循环路径CR的显示(步骤S108)。

当操作者将安装有过滤器10的内容输入至人机接口7时，执行第2循环洗涤处理(步骤S109)。具体而言，开始泵82的运转，并且打开阀V7，将回收至回收槽91的洗涤液经由配管P6、配管P1～配管P3供给至狭缝喷嘴2的侧面开口A1。而且，在狭缝喷嘴2中，从侧面开口A1将洗涤液流入至流路F及空腔CV。这时，喷出口21被密封，因此所流入的洗涤液从侧面开口A2及上表面开口A3流出，并输送至回收槽91。这样一来，可以通过在具有过滤器10的循环路径CR中，即在第2循环系统中循环的洗涤液，来洗涤狭缝喷嘴2的流路F及空腔CV。

当所述第2循环洗涤处理完成时，打开切换阀V8的输出部v82，将回到回收槽91的洗涤液从排水口废弃。接着，使泵82停止，并且打开切换阀V8的输出部v81，从空气供给源U4将空气(干燥空气)导入(净化)至配管P6、配管P1～配管P5(步骤S110)。接着，人机接口7进行请求从循环路径CR拆下过滤器10的显示(步骤S111)。然后，当操作者将已拆下过滤器10的内容输入至人机接口7时，通过一边关闭阀V7，一边打开阀V1、阀V3，将涂布液填充于配管P1～配管P5及狭缝喷嘴2(步骤S112)。

如以上所述，在图7所示的喷嘴洗涤处理(喷嘴洗涤方法)中，在对狭缝喷嘴2的喷出口21进行了密封的状态下，使洗涤液在从侧面开口A2及上表面开口A3出来并回到侧面开口A1的第1循环系统中循环之后(第1循环洗涤处理)，从涂布装置1的安装部位510拆下狭缝喷嘴2。由此，操作者可以对涂布液的附着量少的比较洁净的狭缝喷嘴2执行规定的手动操作(步骤S106)。并且，当将已执行手动操作的狭缝喷嘴2安装于涂布装置1的安装部位510时，在对狭缝喷嘴2的喷出口21进行了密封的状态下，使洗涤液在从侧面开口A2及上表面开口A3出来并回到侧面开口A1的第2循环系统中循环(第2循环洗涤处理)。因此，可以利用在第2循环系统中循环的洗涤液从狭缝喷嘴2的流路F及空腔CV中冲走微粒。而且，第2循环系统在侧面开口A2及上表面开口A3至侧面开口A1之间具有滤器10，因而可以利用过滤器10收集被冲走的微粒，从而抑制所述微粒再次回到狭缝喷嘴2的流路F或空腔CV。这样一来，可以去除为了手动操作而从涂布装置1拆下的狭缝喷嘴2上所附着的微粒。

此外，在所述实施方式中，在拆下狭缝喷嘴2之前的狭缝喷嘴2的洗涤(第1循环洗涤处理)中，是使洗涤液在不含过滤器10的第1循环系统中循环，与此相对，在安装狭缝喷嘴2后的狭缝喷嘴2的洗涤(第2循环洗涤处理)中，是使洗涤液在含有过滤器10的第2循环系统中循环。如上所述分开使用过滤器10的理由之一如下。即，第1循环系统中的洗涤主要是为了利用洗涤液(溶剂)冲走固着于狭缝喷嘴2的流路F及空腔CV的内壁等之上的涂布液的成分(溶质)而执行。而且，第1循环系统中的洗涤的执行时机是在操作者执行规定操作之前，所以在第1循环系统中不存在微粒，本来就不需要过滤器10。另一方面，第2循环系统中的洗涤主要是为了去除伴随着狭缝喷嘴2的拆下而附着于狭缝喷嘴2的流路F及空腔CV的内壁等之上的微粒而执行。如果所述微粒伴随着洗涤液的循环而回到狭缝喷嘴2的流路F及空腔CV，那么后来的涂布处理受到的影响就大。因此，在第1循环系统中的洗涤(第1循环洗涤处理)中通过不使用过滤器10来抑制过滤器10的消耗，并且在第2循环系统中的洗涤(第2循环洗涤处理)中通过使用过滤器10来收集微粒。

并且，在所述实施方式中，使粘度低于涂布液的洗涤液在循环路径CR中循环。因此，可以使用网眼比较细的过滤器10，从而可以利用过滤器10有效率地收集微粒。

此外，在所述实施方式中，通过一边对狭缝喷嘴2的喷出口21进行密封，一边使洗涤液循环而进行狭缝喷嘴2的洗涤，换言之，在喷嘴洗涤中循环利用洗涤液。因此，可以抑制洗涤液的消耗。

此外，使在第1循环洗涤处理(步骤S103)中循环的洗涤液在第2循环洗涤处理(步骤pS109)中循环。如上所述通过在第1循环洗涤处理中的洗涤与第2循环洗涤处理中的洗涤中共用洗涤液，可以更有效地抑制洗涤液的消耗。

并且，包括在第1循环洗涤处理(步骤S103)之后，并且从安装部位510拆下狭缝喷嘴2之前，将干燥空气导入至循环路径CR的步骤S104。在所述构成中，可以在利用导入至循环路径CR的气体推出狭缝喷嘴2的流路F及空腔CV的洗涤液之后，拆下狭缝喷嘴2。其结果为，操作者可以对经干燥的狭缝喷嘴2进行手动操作。

并且，包括在第2循环洗涤处理之后，将干燥空气导入至循环路径CR的步骤S110。在所述构成中，可以通过导入至循环路径CR的干燥空气来推出狭缝喷嘴2的流路F及空腔CV的洗涤液。其结果为，可以抑制残留于狭缝喷嘴2的流路F及空腔CV内的洗涤液对后来执行的涂布处理产生影响。

并且，在所述实施方式中，涂布液包含聚酰亚胺前体及溶剂，洗涤液是涂布液的溶剂。如上所述包含聚酰亚胺前体的涂布液具有高粘度，所以容易固着于狭缝喷嘴2的流路F及空腔CV的内壁上。因此，只借由如专利文献1中所述的洗涤还不够，非常需要通过手动操作进行洗涤。因此，容易产生手动操作时微粒附着之类的问题。因此，如图7所示，特别优选的是在安装狭缝喷嘴2之后，使洗涤液(溶剂)在具有过滤器10的循环路径CR(第2循环系统)中循环，借此从狭缝喷嘴2的流路F及空腔CV去除微粒。

图8是示意性地表示涂布装置所含的处理液供给系统的第2例的图。以下，设为以与图6所示的第1例的不同点为中心进行说明，关于共同点标注相同的符号并适当省略说明。但是，当然，因为具备与第1例共同的构成，所以获得与第1例相同的效果。

图8的第2例与图6的第1例不同点在于循环路径CR的构成。即，在第2例的循环路径CR中，在切换阀V8与过滤器10之间在配管P6上安装有切换阀V10。所述切换阀V10是选择性地打开两个输出v101、输出v102之中的一者的三通阀。而且，切换阀V10的两个输出v101、输出v102之中，将输出v101通过配管P8连接于过滤器10的输出侧，将输出v102连接于过滤器10的输入侧。

因此，当打开切换阀V10的输出v101时，从回收槽91压出至配管P6的处理液绕开过滤器10而回到供给机构8的配管P1。另一方面，当打开切换阀V10的输出v102时，从回收槽91压出至配管P6的处理液穿过过滤器10之后回到供给机构8的配管P1。如上所述，循环路径CR(循环系统)包含第1路径CR1及第2路径CR2，作为从狭缝喷嘴2的侧面开口A2及上表面开口A3出来并回到狭缝喷嘴2的侧面开口A1的路径。在这里，第1路径CR1是从狭缝喷嘴2的侧面开口A2及上表面开口A3出来并且不经由(绕开)过滤器10而回到狭缝喷嘴2的侧面开口A1的路径，第2路径CR2是从狭缝喷嘴2的侧面开口A2及上表面开口A3出来并且穿过过滤器10之后回到狭缝喷嘴2的侧面开口A1的路径。

在所述构成的处理液供给系统S中，可以不对过滤器10进行拆装，而对切换阀V10的输出在输出v101与输出v102之间进行切换，来执行图7的喷嘴洗涤方法。即，在步骤S103的第1循环洗涤处理中，通过打开切换阀V10的输出v101，来使洗涤液在第1路径CR1中循环。由此，可以使洗涤液在不含过滤器10的第1循环系统中循环，来对狭缝喷嘴2的流路F及空腔CV进行洗涤。并且，在步骤S109的第2循环洗涤处理中，通过打开切换阀V10的输出v102，来使洗涤液在第2路径CR2中循环。由此，可以使洗涤液在包含过滤器10的第2循环系统中循环，来对狭缝喷嘴2的空腔CV进行洗涤。

图9是示意性地表示涂布装置所含的处理液供给系统的第3例的图。以下，设为以与图6所示的第1例的不同点为中心进行说明，关于共同点则标注相同符号并适当省略说明。但是，当然，因为具备与第1例共同的构成，所以获得与第1例相同的效果。

图9的第3例与图6的第1例的不同点在于在阀V4与狭缝喷嘴2的侧面开口A1之间，配管P3通过配管P9与狭缝喷嘴2的侧面开口A2连接。并且，第1例中所设置的阀V5及配管P4在第3例中并不存在。即，从歧管83的输出部832输出的涂布液是经由阀V4供给至侧面开口A1及侧面开口A2。因此，在执行涂布处理时的狭缝喷嘴2中，从侧面开口A1及侧面开口A2流入至流路F的涂布液扩散至空腔CV，而从喷出口21喷出。另一方面，在执行图7的第1循环洗涤处理(步骤S103)或第2循环洗涤处理(步骤S109)时的狭缝喷嘴2中，是从上表面开口A3排出从侧面开口A1及侧面开口A2流入至流路F的洗涤液。

如上所述在所述实施方式中，涂布装置1相当于本发明的“涂布装置”的一例，狭缝喷嘴2相当于本发明的“喷嘴”的一例，喷出口21相当于本发明的“喷出口”的一例，第1例(图6)的侧面开口A1、第2例(图8)的侧面开口A1、第3例(图9)的侧面开口A1及侧面开口A2分别相当于本发明的“供给口”的一例，第1例(图6)的侧面开口A2、上表面开口A3、第2例(图8)的侧面开口A2、上表面开口A3及第3例(图9)的上表面开口A3分别相当于本发明的“排出口”的一例，流路F及空腔CV相当于本发明的“内部空间”的一例，喷嘴支撑体51相当于本发明的“喷嘴支撑部”的一例，安装部位510相当于本发明的“安装部位”的一例，处理液供给系统S相当于本发明的“洗涤液循环元件”的一例，循环路径CR相当于本发明的“循环路径”的一例，第2例(图8)的第1路径CR1相当于本发明的“第1路径”的一例，第2路径CR2相当于本发明的“第2路径”的一例，配管P1～配管P6相当于本发明的“配管”的一例，泵82相当于本发明的“输送部”的一例，过滤器10相当于本发明的“过滤器”的一例，密封构件62相当于本发明的“密封元件”的一例，基板3相当于本发明的“对象物”的一例，干燥空气相当于本发明的“气体”的一例。

再者，本发明并不限定于所述实施方式，只要不脱离其主旨，除了所述方式以外还可以进行各种变更。例如，在所述实施方式中，将在第1循环洗涤处理(步骤8103)中已使用的洗涤液在第2循环洗涤处理(步骤S109)中再利用。但是，也可以将在第1循环洗涤处理中已使用的洗涤液在第1循环洗涤处理结束后加以废弃，在第2循环洗涤处理中使用新的洗涤液。

并且，使涂布液或处理液在循环路径CR中循环的驱动源即泵82的具体构成可想到各种。因此，也可以将以上所例示的管式泵以外的种类的泵用作所述驱动源。

并且，在步骤S104、步骤S110中导入至循环路径CR的气体的种类并不限于干燥空气，还可以例如是氮气等。

并且，可以用作洗涤液的液体并不限于涂布液的溶剂，即NMP。因此，还可以将例如稀释剂(thinner)等其它液体用作洗涤液。

并且，能够用作涂布液的液体并不限于包含聚酰亚胺前体及NMP的物质。因此，可以使用成为耐蚀刻被膜的光阻液、彩色滤光片用光阻液、包含硅、纳米金属油墨(nanometalink)或导电性材料的浆料(浆糊)等各种涂布液。

此外，关于成为涂布对象的基板3，也可以使用液晶显示装置用玻璃基板、半导体基板、PDP用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、彩色滤光片用基板、记录磁盘用基板、太阳能电池用基板、电子纸用基板等精密电子装置用基板、矩形玻璃基板、薄膜液晶用柔性基板、有机EL用基板等各种基板。

[产业上的可利用性]

本发明可以应用于去除附着于喷嘴上的微粒的所有喷嘴清扫技术。

Claims (7)

1.一种喷嘴洗涤方法，其特征在于，包括如下工序：

在对安装于涂布装置的安装部位的喷嘴的喷出口进行了密封的状态下，使粘度低于涂布液的洗涤液在从所述喷嘴的排出口出来并回到所述喷嘴的供给口的第1循环系统中循环，所述涂布装置的所述喷嘴具有与内部空间连通的所述供给口、所述喷出口、所述排出口，所述喷嘴相对于所述安装部位可拆装，从安装于所述安装部位的所述喷嘴的所述供给口向所述内部空间供给涂布液并将从所述喷嘴的所述喷出口喷出的所述涂布液涂布于对象物；

从所述安装部位拆下借由所述第1循环系统中的所述洗涤液的循环而洗涤的所述喷嘴，对所述喷嘴执行规定操作之后，将所述喷嘴安装于所述安装部位；以及

在对执行所述规定操作而安装于所述安装部位的所述喷嘴的所述喷出口进行了密封的状态下，使所述洗涤液在从所述排出口出来并回到所述供给口并且在所述排出口到所述供给口之间具有过滤器的第2循环系统中循环。

2.根据权利要求1所述的喷嘴洗涤方法，其特征在于：使已在所述第1循环系统中循环的洗涤液在所述第2循环系统中循环。

3.根据权利要求1或2所述的喷嘴洗涤方法，其特征在于，还包括如下工序：所述洗涤液在所述第1循环系统中循环之后，从所述安装部位拆下所述喷嘴之前，将气体导入至所述第1循环系统。

4.根据权利要求1或2所述的喷嘴洗涤方法，其特征在于，还包括如下工序：所述洗涤液在所述第2循环系统中循环之后，将气体导入至所述第2循环系统。

5.根据权利要求1或2所述的喷嘴洗涤方法，其特征在于：所述涂布液包含聚酰亚胺前体及溶剂，所述洗涤液是所述溶剂。

6.一种涂布装置，其特征在于，包括：

喷嘴，具有与内部空间连通的供给口、狭缝状的喷出口及排出口，使从所述供给口供给至所述内部空间的涂布液从所述喷出口喷出；

喷嘴支撑部，将所述喷嘴可拆装地支撑于安装部位；

洗涤液循环元件，包括构成从所述排出口出来并回到所述供给口的循环路径的配管、设置于所述配管而使粘度低于所述涂布液的洗涤液在所述循环路径中循环的输送部、以及相对于所述配管可拆装的过滤器；以及

密封元件，能够对所述喷嘴的所述喷出口进行密封；并且

所述喷嘴通过在所述密封元件未密封所述喷出口的状态下从所述喷出口喷出所述涂布液，而将所述涂布液涂布于对象物，

所述洗涤液循环元件能够选择性地执行如下动作：在所述喷出口被所述密封元件密封并且从所述配管拆下了所述过滤器的状态下使所述洗涤液在所述循环路径中循环的动作、以及在所述喷出口被所述密封元件密封并且在所述配管上安装有所述过滤器的状态下使所述洗涤液在所述循环路径中循环的动作。

7.一种涂布装置，其特征在于，包括：

喷嘴，具有与内部空间连通的供给口、狭缝状的喷出口及排出口，使从所述供给口供给至所述内部空间的涂布液从所述喷出口喷出；

喷嘴支撑部，将所述喷嘴可拆装地支撑于安装部位；

洗涤液循环元件，包括构成从所述排出口出来并回到所述供给口的循环路径的配管、设置于所述配管并使粘度低于所述涂布液的洗涤液在所述循环路径中循环的输送部、以及相对于所述配管而安装的过滤器；以及

密封元件，能够密封所述喷嘴的所述喷出口；并且

所述喷嘴通过在所述密封元件未密封所述喷出口的状态下从所述喷出口喷出所述涂布液，而将所述涂布液涂布于对象物，

所述循环路径包括：第1路径，从所述排出口出来并且不经由所述过滤器而回到所述供给口；以及第2路径，从所述排出口出来并且穿过所述过滤器之后回到所述供给口；

所述洗涤液循环元件能够选择性地执行如下动作：在所述喷出口被所述密封元件密封的状态下使所述洗涤液在所述第1路径中循环的动作、以及在所述喷出口被所述密封元件密封的状态下使所述洗涤液在所述第2路径中循环的动作。