CN113144706A - 老化装置、处理系统和老化方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种老化装置、处理系统和老化方法，能够抑制处理液的使用量，并且减少从过滤器产生的初始粉尘。该老化装置(2)具有第一罐(40)、第二罐(50)、第一分支配管(63)和第二分支配管(64)。第一分支配管(63)和第二分支配管(64)在第一罐(40)和第二罐(50)之间并列地延伸。在第一分支配管(63)和第二分支配管(64)的路径上能够安装过滤器(F1、F2)。控制部(80)交替地执行从第一罐(40)通过第一分支配管(63)向第二罐(50)输送处理液的处理和从第二罐(50)通过第二分支配管(64)向第一罐(40)输送处理液的处理。由此，能够抑制处理液的使用量，并且减少从过滤器产生的初始粉尘。

Description

老化装置、处理系统和老化方法

技术领域

本发明涉及一种在使用用于过滤高粘度的处理液的过滤器之前进行清洗的技术。

背景技术

以往，在有机EL显示装置、液晶显示装置的制造工序中，使用了向基板的表面涂覆光致抗蚀剂等的处理液的涂覆装置。关于以往的涂覆装置，在例如专利文献1中有所记载。在专利文献1的涂覆装置中，对于在水平方向上移动自如的载物台所吸附保持的基板，从具有狭缝状的喷出口的狭缝模具喷出处理液。

专利文献1：日本特开2018-43219号公报

这种涂覆装置具备用于在喷出和涂覆处理液之前去除涂覆液中所含的异物的过滤器。新的过滤器一般预先用清洗液进行清洗。因此，即使将具有与清洗液相同程度的粘度的处理液通过过滤器，也不会从过滤器产生粉尘。但是，在高粘度的处理液通过新的过滤器的情况下，有时粉尘从过滤器脱离。

因此，在使用高粘度的处理液的涂覆装置中，进行所谓的老化(AGING)处理，即，在涂覆装置安装过滤器之后，在一段时间内使处理液通过过滤器。老化处理有时花费例如一天至两周左右进行。在该老化处理期间，涂覆装置不能进行对基板的涂覆处理。由此，涂覆装置的生产效率降低。此外，消耗大量高价的处理液。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种能够一边抑制处理液的使用量，一边减少从过滤器产生的初始粉尘的技术。

为了解决上述课题，本申请的第一发明为一种老化装置，其在使用用于过滤高粘度的处理液的过滤器前对该过滤器进行清洗，其中，所述老化装置具备：第一罐；第二罐；第一流路和第二流路，在所述第一罐和所述第二罐之间并列地延伸；第一输液部，从所述第一罐通过所述第一流路向所述第二罐输送所述处理液；第二输液部，从所述第二罐通过所述第二流路向所述第一罐输送所述处理液；以及控制部，使所述第一输液部和第二输液部交替地动作，能够在所述第一流路和所述第二流路中的至少一个路径上安装所述过滤器。

本申请的第二发明是第一发明的老化装置，所述第一输液部通过向第一罐内供给高压气体，从所述第一罐压出所述处理液，所述第二输液部通过向第二罐内供给高压气体，从所述第二罐压出所述处理液。

本申请的第三发明是第二发明的老化装置，所述老化装置还包括调整所述气体压力的压力调整部。

本申请的第四发明是第一发明至第三发明中任一种发明的老化装置，所述老化装置还包括冲洗液供给部，该冲洗液供给部向所述第一流路和所述第二流路供给粘度比所述处理液低的冲洗液。

本申请的第五发明是第一发明至第四发明中任一种发明的老化装置，所述老化装置还包括减压部，所述减压部从所述第一罐吸引气体，以使所述第一罐内的气压降低。

本申请的第六发明是第五发明的老化装置，所述老化装置还包括搅拌所述第一罐内的处理液的搅拌机构。

本申请的第七发明是第一发明至第六发明中任一种发明的老化装置，所述处理液是含有聚酰亚胺前体的清漆，所述过滤器是用于安装在所述清漆的涂覆装置的过滤器。

本申请的第八发明是一种处理系统，具备第七发明的老化装置；以及所述涂覆装置，所述老化装置和所述涂覆装置是不同的装置。

本申请的第九发明是一种老化方法，在使用用于过滤高粘度的处理液的过滤器前对该过滤器进行清洗，其中，所述老化方法交替地执行：a)工序，从第一罐通过第一流路向第二罐输送处理液；以及b)工序，从所述第二罐通过与所述第一流路不同的第二流路向第一罐输送处理液，在所述第一流路和所述第二流路中的至少一个设置有所述过滤器。

根据本申请的第一发明～第九发明，使用与过滤器的使用环境相同的高粘度的处理液，去除从新的过滤器产生的粉尘。此外，交替地执行从第一罐向第二罐的处理液的输液和从第二罐向第一罐的处理液的输液。由此，能够抑制处理液的使用量，并且减少从过滤器产生的初始粉尘。

特别地，根据本申请的第二发明，与利用在流路中设置的泵输液的情况相比，能够抑制从输液部产生的粉尘。

特别地，根据本申请的第三发明，能够用高于或等于过滤器的使用环境的压力输送处理液。由此，能够适当地去除在过滤器的使用环境中可能产生的粉尘。

特别地，根据本申请的第四发明，通过向过滤器供给冲洗液，能够去除过滤器内的细微的气泡。由此，能够提高过滤器的通液性。

特别地，根据本申请的第五发明，能够通过减压使第一罐内的处理液脱气。

特别地，根据本申请的第六发明，能够进一步促进第一罐内的处理液的脱气。

特别地，根据本申请的第八发明，在不停止涂覆装置的动作的情况下，能够在不同的老化装置中进行过滤器的清洗处理。

附图说明

图1是表示涂覆装置的结构的概略图。

图2是涂覆单元的立体图。

图3是表示第一控制部和涂覆装置内的各部之间的连接的框图。

图4是表示老化装置的结构的图。

图5是第一安装部和第一过滤器的剖面图。

图6是表示第二控制部和老化装置内的各部之间的连接的框图。

图7是表示将第一过滤器和第二过滤器更换为新的过滤器时的处理的流程的流程图。

图8是表示第一变形例的老化装置的结构的图。

图9是表示第二变形例的老化装置的结构的图。

图10是表示第三变形例的老化装置的结构的图。

图11是表示第四变形例的老化装置的结构的图。

图12是表示第五变形例的老化装置的结构的图。

其中，附图标记说明如下：

1：涂覆装置

2：老化装置

10：供液单元

20：涂覆单元

30：第一控制部

40：第一罐

43：搅拌机构

50：第二罐

60：配管部

61：第一主配管

62：第二主配管

63：第一分支配管

64：第二分支配管

65：第一安装部

66：第二安装部

70：加压机构

73：调节器

80：第二控制部

100：冲洗液供给部

110：冲洗液排出部

120：减压部

C：载体基板

F1：第一过滤器

F2：第二过滤器

F3：集尘用过滤器

具体实施方式

以下，参照附图，说明本发明的实施方式。

＜1.关于涂覆装置＞

图1是表示本发明的一实施方式的处理系统所包括的涂覆装置1的结构的图。该涂覆装置1是在成为柔性显示器的基底材料的聚酰亚胺薄膜的制造工序中使用的装置。在聚酰亚胺薄膜的制造工序中，首先，在该涂覆装置1中，在玻璃制成的载体基板C的上表面涂覆含有聚酰亚胺前体(聚酰胺酸)的高粘度的处理液即清漆(varnish)。然后，在其他装置中，通过进行清漆的加热、减压、烧结等的处理，来制造聚酰亚胺薄膜。

如图1所示，本实施方式的涂覆装置1具有供液单元10、涂覆单元20和第一控制部30。

供液单元10具有供给罐11、第一供液配管12、脱气罐13、第二供液配管14、加压机构15和减压机构16。

供给罐11是贮存供给前的清漆的容器。供给罐11中贮存的清漆可以是未使用的清漆，也可以是使用之后再生处理的清漆。如上所述，清漆是高粘度的处理液。清漆的粘度是例如1000～10000cP(1～10Pa·s)左右。在以下的说明中，“高粘度”表示1000cP(1～10Pa·s)以上的粘度。

另外，在图1的例子中，供液单元10具有一个供给罐11。但是，供液单元10也可以具有多个供给罐11。在这种情况下，多个供给罐11可切换地连接到第一供液配管12即可。

第一供液配管12是将供给罐11和脱气罐13连接的配管。第一供液配管12的上游侧的端部与供给罐11连接。第一供液配管12的下游侧的端部与脱气罐13连接。此外，在第一供液配管12的路径上设置有第一供液阀V11、第一过滤器F1。若打开第一供液阀V11和后述的第一加压阀V21，则借助从加压机构15供给的气体压力，供给罐11内的清漆通过第一供液配管12向脱气罐13输送。此时，清漆被第一过滤器F1过滤。由此，清漆所含的细微的粉尘被第一过滤器F1捕集而被去除。

另外，在图1的例子中，供液单元10具有一个第一过滤器F1。但是，供液单元10也可以具有多个第一过滤器F1。在这种情况下，在第一供液配管12的路径上并列地连接有多个第一过滤器F1即可。

脱气罐13是用于使清漆中的气体的溶解量减少的容器。脱气罐13与后述的减压机构16连接。若打开减压机构16的减压阀V23使减压泵162动作，则脱气罐13的内部空间被减压，脱气罐13内的气压成为低于大气压的负压。由此，脱气罐13内的清漆中所含的溶解气体成为气泡。此外，在脱气罐13内设置有搅拌机构131。若使搅拌机构131旋转，则脱气罐13内的清漆被搅拌，清漆中的气泡向清漆的液面上浮。上浮后的气泡从脱气罐13被吸引到减压机构16而被除去。由此，减少清漆中的气体的溶解量。

这样，在本实施方式的涂覆装置1中，预先去除涂覆前的清漆中所含的溶解气体。由此，在后工序中加热·烧结涂覆于载体基板C的清漆时，能够防止在清漆中产生气泡。

另外，在图1的例子中，供液单元10具有一个脱气罐13。但是，供液单元10也可以具有多个脱气罐13。在这种情况下，多个脱气罐13可切换地连接到在第一供液配管12和第二供液配管14之间即可。

第二供液配管14是将脱气罐13和涂覆单元20连接的配管。第二供液配管14的上游侧的端部与脱气罐13的下部连接。第二供液配管14的下游侧的端部与涂覆单元20的后述的第三供液配管23连接。此外，在第二供液配管14的路径上设置有第二供液阀V12、第二过滤器F2和辅助泵P1。

若关闭减压阀V23，打开第二供液阀V12和后述的第二加压阀V22，则借助从加压机构15供给的气体压力，脱气罐13内的清漆通过第二供液配管14向第三供液配管23输送。此时，通过驱动辅助泵P1，辅助清漆的输液力。第二过滤器F2是具有比第一过滤器F1小的孔径(细目)的过滤器。第二供液配管14中流动的清漆被第二过滤器F2过滤。由此，清漆中所含的细微的粉尘被第二过滤器F2捕集而被去除。

另外，在图1的例子中，供液单元10具有一个第二过滤器F2。但是，供液单元10也可以具有多个第二过滤器F2。在这种情况下，在第二供液配管14的路径上并列地连接有多个第二过滤器F2即可。

加压机构15是向供给罐11和脱气罐13供给用于输液的压力的机构。如图1所示，加压机构15具有高压气体供给源151、加压配管152、调节器153、第一加压阀V21和第二加压阀V22。高压气体供给源151填充有高压的气体(例如氮气)。加压配管152的上游侧的端部与高压气体供给源151连接。调节器153设置在加压配管152的路径上。加压配管152的下游侧的端部分支为2条，分别与供给罐11和脱气罐13连接。第一加压阀V21和第二加压阀V22分别设置于分支后的2条加压配管152。

从高压气体供给源151供给的气体由调节器153降压调整为比大气压高的规定压力。若关闭第二加压阀V22，打开第一加压阀V21，则该规定压力的气体从加压配管152向供给罐11供给。由此，从供给罐11向第一供液配管12压出清漆。此外，若关闭第一加压阀V21，打开第二加压阀V22，则该规定压力的气体从加压配管152向脱气罐13供给。由此，从脱气罐13向第二供液配管14压出清漆。

减压机构16是用于对脱气罐13的内部进行减压的机构。如图1所示，减压机构16具有减压配管161、减压泵162和减压阀V23。减压配管161的一端与脱气罐13连接。减压配管161的另一端与工厂内的排气管连接。减压阀V23和减压泵162设置在减压配管161的路径上。若打开减压阀V23，使减压泵162动作，则脱气罐13内的气体通过减压配管161被吸引到排气管。由此，脱气罐13内的气压降低。

图2是涂覆单元20的立体图。如图1和图2所示，涂覆单元20具有载物台21、狭缝喷嘴22、第三供液配管23、喷嘴保持部24和行进机构25。另外，为了便于说明，以下将涂覆单元20中的狭缝喷嘴22的移动方向称为“前后方向”，将与前后方向正交的水平方向称为“左右方向”。

载物台21是载置并保持载体基板C的大致长方体状的保持台。载物台21由例如一体的石材形成。载物台21的上表面成为平坦的基板保持面211。在基板保持面211设置有多个真空吸附孔(省略图示)。若在基板保持面211载置载体基板C，则借助真空吸附孔的吸引力，载体基板C的下表面被吸附于基板保持面211。由此，载体基板C以水平姿势固定在载物台21上。此外，在载物台21的内部设置有多个升降销(省略图示)。在从载物台21搬出载体基板C时，在基板保持面211上突出多个升降销。由此，载体基板C从基板保持面211分离。

狭缝喷嘴22是喷出清漆的喷嘴。狭缝喷嘴22具有沿着左右方向延伸的喷嘴主体221。在喷嘴主体221的下端部设置有沿着左右方向延伸的狭缝状的喷出口223。喷出口223与载物台21上载置的载体基板C的上表面相对。

第三供液配管23是用于向狭缝喷嘴22供给清漆的配管。第三供液配管23的上游侧的端部与上述第二供液配管14的下游侧的端部连接。第三供液配管23的下游侧的端部与狭缝喷嘴22连接。此外，在第三供液配管23的路径上设置有主泵P2。若使主泵P2动作，则从第二供液配管14供给的清漆被导入狭缝喷嘴22的内部。然后，从狭缝喷嘴22的喷出口223向载体基板C的上表面喷出清漆。

喷嘴保持部24是用于将狭缝喷嘴22保持于基板保持面211的上方的机构。喷嘴保持部24具有：架桥部241，在载物台21的上方沿着左右方向延伸；一对支撑部242，支撑架桥部241的两端。此外，喷嘴保持部24具有升降机构243。若使升降机构243动作，则架桥部241的高度变化。由此，能够调节狭缝喷嘴22的高度。

行进机构25是用于使狭缝喷嘴22向前后方向移动的机构。行进机构25具有一对轨道251和一对线性马达252。一对轨道251在载物台21的左右的侧部附近沿着前后方向延伸。一对轨道251作为在前后方向上限制一对支撑部242的移动方向的线性导轨发挥功能。一对线性马达252借助磁力，使一对支撑部242沿着轨道251向前后方向移动。由此，狭缝喷嘴22与喷嘴保持部24一同向前后方向移动。

在进行涂覆处理时，涂覆单元20在载体基板C的上方一边使狭缝喷嘴22向前后方向移动，一边从喷出口223喷出清漆。由此，在载体基板C的上表面涂覆清漆。

第一控制部30是用于控制涂覆装置1内的各部的动作的机构。图3是表示第一控制部30和涂覆装置1内的各部之间的连接的框图。第一控制部30由例如计算机实现。如图3中概念性所示，第一控制部30具有CPU等的处理器31、RAM等的存储器32和硬盘驱动器等的存储部33。此外，第一控制部30与上述的搅拌机构131、调节器153、减压泵162、第一供液阀V11、第二供液阀V12、第一加压阀V21、第二加压阀V22、辅助泵P1等的、供液单元10内的各部电连接。此外，第一控制部30还与上述的升降销、主泵P2、升降机构243、线性马达252等的、涂覆单元20内的各部电连接。

第一控制部30将存储部33中存储的计算机程序、数据暂时读取到存储器32中，使处理器31基于该计算机程序和数据进行运算处理，从而控制涂覆装置1内的各部的动作。由此，对载体基板C进行涂覆处理。

＜2.关于老化装置＞

图4是表示与上述的涂覆装置1一同使用的老化装置2的结构的图。若在涂覆装置1的供液单元10直接安装新的第一过滤器F1和第二过滤器F2，则开始使用后有可能粉尘(以下称为“初始粉尘”)从这些过滤器F1、F2脱离。因此，在本实施方式的处理系统中，在涂覆装置1中使用新的第一过滤器F1和第二过滤器F2之前预先在老化装置2中清洗。

如图4所示，老化装置2具备第一罐40、第二罐50、配管部60、加压机构70和第二控制部80。

第一罐40和第二罐50是用于贮存清洗过滤器F1、F2的清漆的容器。第一罐40和第二罐50是彼此不同的罐。此外，第一罐40和第二罐50是能够承受利用后述的加压机构70的加压的、耐压性的密闭容器。第一罐40经由供给配管41与清漆供给源42连接。若打开在供给配管41的路径上设置的供给阀V30，则从清漆供给源42通过供给配管41向第一罐40供给清漆。

从清漆供给源42供给的清漆是与上述的涂覆装置1中使用的清漆相同的处理液。因此，从清漆供给源42供给的清漆的粘度与涂覆装置1中使用的清漆的粘度相同。

配管部60具有第一主配管61、第二主配管62、第一分支配管63和第二分支配管64。

第一主配管61的一端与第一罐40的下部连接。第一分支配管63和第二分支配管64的一端与第一主配管61的另一端连接。第一分支配管63和第二分支配管64的另一端与第二主配管62的一端连接。第二主配管62的另一端与第二罐50的下部连接。即，第一分支配管63和第二分支配管64在第一罐40和第二罐50之间并列地延伸。第一分支配管63是本发明中的“第一流路”的一例。第二分支配管64是本发明中的“第二流路”的一例。

在第一分支配管63的路径上设置有第一切换阀V31和第二切换阀V32。此外，第一分支配管63在第一切换阀V31和第二切换阀V32之间具有能够安装第一过滤器F1的第一安装部65。在第二分支配管64的路径上设置有第三切换阀V33和第四切换阀V34。此外，第二分支配管64在第三切换阀V33和第四切换阀V34之间具有能够安装第二过滤器F2的第二安装部66。

加压机构70是向第一罐40和第二罐50供给用于输液的压力的机构。如图4所示，加压机构70具有高压气体供给源71、加压配管72、调节器73、第五切换阀V35和第六切换阀V36。在高压气体供给源71填充有高压的气体(例如氮气)。加压配管72的上游侧的端部与高压气体供给源71连接。调节器73设置在加压配管72的路径上。加压配管72的下游侧的端部分支为2条，分别与第一罐40和第二罐50连接。第五切换阀V35和第六切换阀V36分别设置于分支后的2条加压配管72。

从高压气体供给源71供给的气体由调节器73降压调整为比大气压高的规定压力。若关闭第六切换阀V36，打开第五切换阀V35，则该规定压力的气体从加压配管72向第一罐40供给。由此，从第一罐40向第一主配管61压出清漆。此外，若关闭第五切换阀V35，打开第六切换阀V36，则该规定压力的气体从加压配管72向第二罐50供给。由此，从第二罐50向第二主配管62压出清漆。

即，在本实施方式中，加压机构70兼具：第一输液部的功能，从第一罐40向第二罐50输送清漆；第二输液部的功能，从第二罐50向第一罐40输送清漆。

图5是第一安装部65和安装于第一安装部65的第一过滤器F1的剖面图。如图5所示，第一安装部65具有能够将第一过滤器F1连接的保持架650。

第一过滤器F1具有壳体91、过滤器滤芯92和罩93。壳体91是沿着上下方向延伸的圆筒形状的框体。过滤器滤芯92被收容于壳体91的内部。罩93覆盖壳体91的外表面。罩93由例如金属等的、刚性比壳体91高的材料形成。由此，抑制壳体91变形。

过滤器滤芯92具有过滤器本体921和上盖922。过滤器本体921具有沿着上下方向延伸的圆筒状的外形。过滤器本体921由聚丙烯、聚乙烯，PTF E(Poly Tetra FluoroEthylene，聚四氟乙烯)等的树脂纤维形成。但是，过滤器本体921也可以由树脂以外的材料形成。上盖922覆盖过滤器本体921的上部。

在壳体91的底部设置有流入口911和流出口912。流入口911与壳体91的内部空间中的、过滤器滤芯92外部的空间连通。流出口912与壳体91的内部空间中的、过滤器滤芯92内部的空间连通。

保持架650具有流入连接孔651和流出连接孔652。流入连接孔651和流出连接孔652分别是在上下方向上贯通保持架650的贯通孔。流入连接孔651与上游侧的第一分支配管63连接。流出连接孔652与下游侧的第一分支配管63连接。此外，若在第一安装部65安装第一过滤器F1，则上述的流入口911与流入连接孔651连接，上述的流出口912与流出连接孔652连接。

因此，若清漆向第一分支配管63流动，则清漆从流入连接孔651经由流入口911导入壳体91的内部。然后，如图5中的虚线箭头所示，该清漆通过过滤器本体921。此外，通过过滤器本体921的清漆从过滤器本体921的内侧通过流出口912和流出连接孔652，向下游侧的第一分支配管63流出。

此外，如图5所示，在壳体91的上部连接第一排气配管94。在壳体91的上部滞留的气泡通过第一排气配管94，向工厂内的排气管排出。此外，在过滤器滤芯92的上部连接有第二排气配管95。在过滤器滤芯92的上部滞留的气泡通过第二排气配管95，向工厂内的排气管排出。

另外，关于第二安装部66和第二过滤器F2的结构，由于与第一安装部65和第一过滤器F1的结构相同，因此省略重复的说明。

第二控制部80是用于控制老化装置2内的各部的动作的机构。图6是表示第二控制部80和老化装置2内的各部之间的连接的框图。第二控制部80由例如计算机实现。如图6中概念性所示，第二控制部80具有CPU等的处理器81、RAM等的存储器82和硬盘驱动器等的存储部83。此外，第二控制部80与上述的供给阀V30、第一切换阀V31、第二切换阀V32、第三切换阀V33、第四切换阀V34、第五切换阀V35、第六切换阀V36、调节器73等的、老化装置2内的各部电连接。

第二控制部80将存储部83中存储的计算机程序、数据暂时读取到存储部82中，使处理器81基于该计算机程序和数据进行运算处理，从而控制老化装置2内的各部的动作。由此，对第一过滤器F1和第二过滤器F2进行清洗处理。

＜3.关于过滤器的清洗和更换＞

接着，参照图7的流程图，说明在包括上述的涂覆装置1和老化装置2的处理系统中，将第一过滤器F1和第二过滤器F2更换为新的过滤器时的处理流程。

在涂覆装置1的第一控制部30预先设定有第一过滤器F1和第二过滤器F2的更换时间。在本例子中，在相同时机更换第一过滤器F1和第二过滤器F2。如图7所示，第一控制部30一边执行涂覆处理，一边始终监控是否到了第一过滤器F1和第二过滤器F2的更换时间的规定时间前(例如24小时前)(步骤S11：否)。

若到了更换时间的规定时间前(步骤S11：是)，则第一控制部30通过画面显示、语音等来通知操作者到了规定时间前(步骤S12)。操作者若确认该通知，则在老化装置2的第一安装部65安装新的第一过滤器F1，并且在老化装置2的第二安装部66安装新的第二过滤器F2(步骤S21)。然后，使老化装置2开始动作。

老化装置2的第二控制部80首先打开供给阀V30。由此，从清漆供给源42向第一罐40供给清洗用的清漆(步骤S22)。若在第一罐40中贮存规定量的清漆，则第二控制部80关闭供给阀V30。

接着，第二控制部80打开第一切换阀V31、第二切换阀V32和第五切换阀V35。然后，从加压配管72向第一罐40供给高压的气体。由此，第一罐40内的清漆被压出到第一主配管61。然后，如图4中的虚线箭头A1所示，从第一主配管61通过第一分支配管63和第二主配管62向第二罐50输送清漆(步骤S23)。

在该步骤S23中，清漆通过第一过滤器F1。因此，在第一过滤器F1的下游侧的面存在初始粉尘的情况下，该初始粉尘从第一过滤器F1的下游侧的面脱离，与清漆一同流向第二罐50。

接着，第二控制部80关闭第一切换阀V31、第二切换阀V32和第五切换阀V35，打开第三切换阀V33、第四切换阀V34和第六切换阀V36。然后，从加压配管72向第二罐50供给高压气体。由此，第二罐50内的清漆被压出到第二主配管62。然后，如图4中的虚线箭头A2所示，从第二主配管62通过第二分支配管64和第一主配管61向第一罐40输送清漆(步骤S24)。

在该步骤S24中，清漆通过第二过滤器F2。因此，从第一过滤器F1脱离的上述初始粉尘被第二过滤器F2的上游侧的面接收。第二过滤器F2的孔径比初始粉尘的粒径足够小，因此初始粉尘不会通过第二过滤器F2。此外，在第二过滤器F2的下游侧的面附着有初始粉尘的情况下，该初始粉尘从第二过滤器F2的下游侧的面脱离，与清漆一同流向第一罐40。

然后，第二控制部80判断从第一罐40向第二罐50的清漆的输液和从第二罐50向第一罐40的清漆的输液是否执行了预先设定的规定次数(步骤S25)。然后，在未达到规定次数的情况下(步骤S25：否)，重新执行上述步骤S23～S24的输液处理。

在第二次以后的步骤S23中，从第二过滤器F2脱离的上述初始粉尘被第一过滤器F1的上游侧的面接收。第一过滤器F1的孔径比初始粉尘的粒径足够小，因此初始粉尘不会通过第一过滤器F1。

最终，若完成规定次数的输液处理(步骤S25：是)，则第二控制部80停止老化装置2的动作。然后，从第一安装部65取出清洗完的第一过滤器F1，并且从第二安装部66取出清洗完的第二过滤器F2(步骤S26)。

另一方面，涂覆装置1的第一控制部30在完成老化装置2中的第一过滤器F1和第二过滤器F2的清洗处理之后，在适当的时机，停止涂覆装置1的动作(步骤S13)。然后，将第一供液配管12上的第一过滤器F1更换为在老化装置2中清洗过的第一过滤器F1。此外，将第二供液配管14上的第二过滤器F2更换为在老化装置2中清洗过的第二过滤器F2(步骤S14)。

在完成第一过滤器F1和第二过滤器F2的更换之后，第一控制部30使涂覆装置1重新开始动作(步骤S15)。

如上所述，该老化装置2使用具有与第一过滤器F1和第二过滤器F2的使用环境相同的高粘度的清漆，来清洗新的第一过滤器F1和第二过滤器F2。因此，能够良好地去除从第一过滤器F1和第二过滤器F2产生的初始粉尘。此外，在该老化装置2中，交替地执行从第一罐40向第二罐50的清漆的输液和从第二罐50向第一罐40的清漆的输液。由此，能够抑制清漆的使用量，并且减少从第一过滤器F1和第二过滤器F2产生的初始粉尘。

特别地，该老化装置2是与使用第一过滤器F1和第二过滤器F2的涂覆装置1不同的装置。因此，能够在不停止涂覆装置1的动作的情况下，在另外的老化装置2中进行第一过滤器F1和第二过滤器F2的清洗处理。因此，能够缩短涂覆装置1的停止时间，从而提高生产效率。

老化装置2的调节器73是本发明中的“压力调整部”的一例。通过调节器73调整的气体压力，优选设为高于或等于通过涂覆装置1的调节器153调整的气体压力。因此，能够适当地去除在第一过滤器F1和第二过滤器F2的使用环境中可能产生的初始粉尘。

＜4.变形例＞

以上，说明了本发明的一实施方式，但是本发明并不限于上述实施方式。以下，关于各种变形例，主要说明与上述实施方式的不同点。

＜4-1.第一变形例＞

图8是表示第一变形例的老化装置2的结构的图。图8的老化装置2与上述的实施方式不同点在于，具备冲洗液供给部100和冲洗液排出部110。

如图8所示，冲洗液供给部100具有冲洗液供给配管101和冲洗液供给源102。冲洗液供给配管101的上游侧的端部与冲洗液供给源102连接。冲洗液供给配管101的下游侧的端部与第一主配管61连接。此外，在冲洗液供给配管101的路径上设置有第七切换阀V37。

冲洗液排出部110具有冲洗液排出配管111和排液管罐112。冲洗液排出配管111的上游侧的端部与第二主配管62连接。冲洗液排出配管111的下游侧的端部与排液管罐112连接。此外，在冲洗液排出配管111的路径上设置有第八切换阀V38。

此外，在图8的例子中，在第一主配管61的、比与冲洗液供给配管101的连接部更靠第一罐40侧的位置设置有第九切换阀V39。此外，在第二主配管62的、比与冲洗液排出配管111的连接部更靠第二罐50侧的位置设置有第十切换阀V40。

在本变形例的老化装置2中，在进行清漆的输液之前，进行冲洗液的输液。具体来说，首先，关闭第九切换阀V39和第十切换阀V40，并且打开第一切换阀V31、第二切换阀V32、第三切换阀V33、第四切换阀V34、第七切换阀V37和第八切换阀V38。因此，如图8中的虚线箭头所示，冲洗液从冲洗液供给源102通过冲洗液供给配管101、第一主配管61、第一分支配管63、第二分支配管64、第二主配管62和冲洗液排出配管111向排液管罐112流动。此时，冲洗液通过第一过滤器F1和第二过滤器F2。

冲洗液是粘度比清漆低的液体。因此，通过在清漆之前流通冲洗液，去除新的第一过滤器F1和第二过滤器F2中包括的细微的气泡。由此，能够提高第一过滤器F1和第二过滤器F2的通液性。因此，能够通过之后输送的清漆，更好地清洗第一过滤器F1和第二过滤器F2。

＜4-2.第二变形例＞

图9是表示第二变形例的老化装置2的结构的图。图9的老化装置2与上述的实施方式不同点在于，具备减压部120。

如图9所示，减压部120具有减压配管121、减压泵122和减压阀V41。减压配管121的一端与第一罐40连接。减压配管121的另一端与工厂内的排气管连接。减压阀V41和减压泵122设置在减压配管121的路径上。若打开减压阀V41，使减压泵122动作，则第一罐40内的气体通过减压配管121被吸引到排气管。由此，第一罐40内的气压成为比大气压低的负压。

若第一罐40的内部空间被减压，则第一罐40内的清漆中所含的溶解气体成为气泡。此外，在图9的例子中，在第一罐40内设置有搅拌机构43。若使搅拌机构43旋转，则第一罐40内的清漆被搅拌，清漆中的气泡向清漆的液面上浮。上浮后的气泡从第一罐40通过减压配管121，被吸引到排气管。由此，清漆中的气体的溶解量减少。

在本变形例的老化装置2中，在第一罐40中贮存清漆之后，首先，使用减压部120和搅拌机构43进行清漆的脱气。然后，使用脱气完的清漆，进行第一过滤器F1和第二过滤器F2的清洗。这样，能够抑制清洗中在第一过滤器F1和第二过滤器F2起泡。因此，能够更好地清洗第一过滤器F1和第二过滤器F2。

＜4-3.第三变形例＞

图10是表示第三变形例的老化装置2的结构的图。图10的老化装置2与上述的实施方式不同点在于，在第二分支配管64上具备集尘用过滤器F3来替代第二安装部66。

集尘用过滤器F3不是涂覆装置1中使用的过滤器，而是用于捕集从第一过滤器F1和第二过滤器F2产生的初始粉尘的过滤器。在本变形例的老化装置2中，上述步骤S23中从第一过滤器F1脱离的初始粉尘在步骤S24中被集尘用过滤器F3捕集。若第一过滤器F1的清洗处理结束，则在第一安装部65安装第二过滤器F2来代替第一过滤器F1，来进行第二过滤器F2的清洗处理。从第二过滤器F2脱离的初始粉尘也被集尘用过滤器F3捕集。

这样，没必要在第一过滤器F1和第二过滤器F2的上游侧的面接收初始粉尘。因此，由于无需将初始粉尘带入涂覆装置1中，因此进一步提高第一过滤器F1和第二过滤器F2的可靠性。

＜4-4.第四变形例＞

图11是表示第四变形例的老化装置2的结构的图。图11的老化装置2与上述的实施方式不同点在于，分别具有多个第一分支配管63和第二分支配管64。

多个第一分支配管63彼此并列地连接。此外，多个第二分支配管64也彼此并列地连接。这样，在涂覆装置1中，在分别使用多个第一过滤器F1和第二过滤器F2的情况下，能够统一清洗多个第一过滤器F1和多个第二过滤器F2。因此，能够更高效地进行第一过滤器F1和第二过滤器F2的清洗·更换处理。

＜4-5.第五变形例＞

图12是表示第五变形例的老化装置2的结构的图。图12的老化装置2与上述的实施方式不同点在于，不具有第一主配管61和第二主配管62。

在本变形例的老化装置2中，第一分支配管63和第二分支配管64的一端直接与第一罐40连接。此外，第一分支配管63和第二分支配管64的另一端直接与第二罐50连接。根据这种结构，也能够通过与上述图7相同的处理，进行第一过滤器F1和第二过滤器F2的清洗。

＜4-6.其他变形例＞

在上述的实施方式中，从第一罐40向第二罐50的清漆的输液和从第二罐50向第一罐40的清漆的输液均借助加压机构70的气压进行。但是，也可以在第一分支配管63的路径上设置泵作为第一输液部。此外，也可以在第二分支配管64的路径上设置泵作为第二输液部。而且，也可以借助泵的压力输送清漆。但是，若如上述实施方式所示，使用气体压力，则能够防止由泵引起的粉尘产生。因此，能够以更洁净的状态输送清漆。

此外，在上述的实施方式中，涂覆装置1的第一控制部30监控是否到了第一过滤器F1和第二过滤器F2的更换时间的规定时间前。但是，第一控制部30也可以不用判断是否到了第一过滤器F1和第二过滤器F2的更换时间的规定时间前，而由涂覆装置1的用户管理该时间。

此外，上述的实施方式的老化装置2是用于清洗要在涂覆装置1使用的过滤器的装置。但是，本发明的老化装置也可以是清洗要在进行涂覆以外的处理的装置中使用的过滤器的装置。

此外，在上述的实施方式中，处理液是含有聚酰亚胺前体的清漆。但是，本发明的处理液也可以是清漆以外的高粘度的处理液。

此外，第一过滤器F1和第二过滤器F2也可以具有与图5不同的结构。

此外，关于老化装置和涂覆装置的细节，也可以与本申请的各个图中所示的结构不同。此外，在不产生矛盾的范围内，可以适当地组合上述的实施方式、变形例中出现的各要素。

Claims (9)

1.一种老化装置，其在使用用于过滤高粘度的处理液的过滤器前对该过滤器进行清洗，其中，所述老化装置具备：

第一罐；

第二罐；

第一流路和第二流路，在所述第一罐和所述第二罐之间并列地延伸；

第一输液部，从所述第一罐通过所述第一流路向所述第二罐输送所述处理液；

第二输液部，从所述第二罐通过所述第二流路向所述第一罐输送所述处理液；以及

控制部，使所述第一输液部和第二输液部交替地动作，

能够在所述第一流路和所述第二流路中的至少一个路径上安装所述过滤器。

2.根据权利要求1所述的老化装置，其中，

所述第一输液部通过向第一罐内供给高压的气体，从所述第一罐压出所述处理液，

所述第二输液部通过向第二罐内供给高压的气体，从所述第二罐压出所述处理液。

3.根据权利要求2所述的老化装置，其中，

所述老化装置还具备调整所述气体的压力的压力调整部。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的老化装置，其中，

所述老化装置还具备冲洗液供给部，所述冲洗液供给部向所述第一流路和所述第二流路供给粘度比所述处理液低的冲洗液。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的老化装置，其中，

所述老化装置还具备减压部，所述减压部从所述第一罐吸引气体，以使所述第一罐内的气压降低。

6.根据权利要求5所述的老化装置，其中，

所述老化装置还具备搅拌所述第一罐内的处理液的搅拌机构。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的老化装置，其中，

所述处理液是含有聚酰亚胺前体的清漆，

所述过滤器是用于安装在所述清漆的涂覆装置的过滤器。

8.一种处理系统，其中，具备：

权利要求7所述的老化装置；以及

所述涂覆装置，

所述老化装置和所述涂覆装置是不同的装置。

9.一种老化方法，在使用用于过滤高粘度的处理液的过滤器前对该过滤器进行清洗，其中，所述老化方法交替地执行：

a)工序，从第一罐通过第一流路向第二罐输送处理液；以及

b)工序，从所述第二罐通过与所述第一流路不同的第二流路向第一罐输送处理液，

在所述第一流路和所述第二流路中的至少一个设置有所述过滤器。

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