DE19605602C1 - Vorrichtung zur Oberflächenbeschichtung bzw. zum Lackieren von Substraten - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Oberflächenbeschichtung insbesondere zum Lackieren von Substra­ ten bzw. scheibenförmigen Substraten wie einem schei­ benförmigen Informationsträger, der auf einen Substrat­ träger aufbringbar und über eine Antriebsvorrichtung antreibbar bzw. in eine Rotationsbewegung versetzbar ist, wobei das aufzutragende Mittel bzw. die Lackflüs­ sigkeit über eine Zuführeinrichtung auf das Substrat aufgegeben wird.

Es ist bereits eine Vorrichtung zur Oberflächen­ beschichtung bzw. zum Lackieren scheibenförmiger Sub­ strate bzw. Compact Disks bekannt (DE 295 12 500 U1), die hierzu auf einem Substratträger angeordnet sind, der mittels einer An­ triebsvorrichtung in Rotationsbewegung versetzt wird. Derartige Vorrichtungen arbeiten nicht zufriedenstel­ lend, insbesondere deshalb, weil sich die in der Vor­ richtung befindliche Filtereinrichtung relativ leicht zusetzt und weil Lackflüssigkeiten mit hoher Viskosität nicht so ohne weiteres einsetzbar sind, da sie oft dazu neigen, den in der Anlage vorgesehenen Filter zuzuset­ zen.

Demgemäß besteht die Erfindungsaufgabe darin, eine ver­ besserte Vorrichtung zur Oberflächenbeschichtung bzw. zum Lackieren von Substraten zu schaffen, bei der auch bei Flüssigkeiten hoher Viskosität ein einwandfreier Betrieb der gesamten Vorrichtung aufrechterhalten wer­ den kann.

Gelöst wird die Aufgabe erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1. Da die vom Substratträger abgeschleuderte Flüssigkeit bzw. das flüssige Lackmedium über einen er­ sten Auffangbehälter an einen ersten Filter geleitet wird, wobei an das System eine Unterdruckeinrichtung angeschlossen ist bzw. ein Unterdruck erzeugt wird, läßt sich auch Flüssigkeitsmedium bzw. Lack hoher Vis­ kosität durch die Filteranlage bewegen und für die Flüssigkeit die gewünschte Reinheit und störungsfreier Förderbetrieb erreichen. Durch den Vakuumbetrieb können auch Filter mit sehr engmaschigen Filterelementen ein­ gesetzt werden, ohne daß dadurch die Durchlaufzeit des Lacks in der gesamten Vorrichtung nachteilig beeinflußt wird. Durch das vorteilhafte Einsetzen des Unterdruck­ betriebs können derartige Filter auch wesentlich länger im Einsatz bleiben, da neben der Pumpe in Verbindung mit dem Unterdruck eine hohe Durchlaufgeschwindigkeit der Lackflüssigkeit sichergestellt wird.

Es ist vorteil­ haft, an den zweiten Behälter zur Aufnahme des flüssigen Mediums zusätzlich eine Vakuumpumpe anzuschließen. Da die Vakuumpumpe, die auch als Venturi-Düse ausgebil­ det sein kann, sich hinter dem Filter befindet, wird die Lackflüssigkeit in den sich an den Filter anschlie­ ßenden Sammelbehälter gezogen, so daß neben der geodä­ tischen Höhe als Förderdruck zusätzlich der Unterdruck, der durch die Vakuumpumpe erzeugt wird, als Fördermit­ tel eingesetzt werden kann. In vorteilhafter Weise ist die Vakuumpumpe oder das Venturi-Rohr an die Oberseite des zweiten Sammelbehälters angeschlossen, so daß ober­ halb des Flüssigkeitsspiegels des Lacks das Gasmedium bzw. die Luft aus dem zweiten Sammelbehälter zumindest teilweise evakuiert und dadurch das Flüssigkeitsmedium aus dem Filter in den zweiten Sammelbehälter gezogen werden kann. In vorteilhafter Weise ist die Auslaßlei­ tung des Filters an den zweiten Sammelbehälter ange­ schlossen, so daß das beispielsweise Gaseinschluß auf­ weisende Medium durch diese Einrichtung zusätzlich ent­ gast werden kann und Fehlerquellen in der Lackschicht auf dem Substrat fast vollständig ausgeschlossen werden können.

Da der erste Behälter von dem Filter mit einem Ventil absperrbar ist, kann der Filter auch während des Arbeitseinsatzes der gesamten Vorrichtung ohne Stillegung der Anlage ausgetauscht werden, da der obere Sammelbehälter durch entsprechende Einrichtungen ausreichend mit Lackmedium für die War­ tungsarbeiten aufgefüllt werden kann, so daß eine Un­ terbrechung des Arbeitsprozesses bzw. der Lackierung vermieden werden kann.

Durch den Einsatz eines Tanks, der ebenfalls mit dem Versorgungssystem verbunden ist, läßt sich der Anlage automatisch Lack zuführen, wenn im zweiten Sammelbehäl­ ter die Lackflüssigkeit auf ein Minimum abgesenkt wurde.

Vorteilhaft ist es ferner, daß das über die Pumpe ge­ förderte Flüssigkeitsmittel bzw. der Lack über eine Heizung mit der Düse der Zuführeinrichtung verbunden ist. Durch den Einsatz einer Heizung in der Zuführlei­ tung zum Sammelbehälter wird es auf einfache Weise mög­ lich, die Lackflüssigkeit so aufzuheizen, daß ein gleichmäßiger Lackauftrag auf der Oberfläche des Sub­ strats gewährleistet ist. Durch Herabsetzen der Visko­ sität werden ferner Unebenheiten in der Schichtoberflä­ che vermieden, und dadurch die Fehlerquote beim Lack­ auftrag reduziert.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sind in den Patentansprüchen und in der Beschreibung erläutert und in den Figuren dargestellt, wobei bemerkt wird, daß alle Einzelmerkmale und alle Kombinationen von Einzel­ merkmalen erfindungswesentlich sind. Es zeigt:

Fig. 1 eine schematische Darstellung der ge­ samten Vorrichtung zum Lackieren von Substraten bzw. Compact Disks (CD),

Fig. 2 einen Lackierkopf mit einer zugehörigen Leitvorrichtung zum Auffangen des abge­ schleuderten Lacks und zum Absaugen des Lacknebels,

Fig. 3 eine Zuführeinrichtung mit einer Düse, die über eine Kulissenführung in hori­ zontaler und vertikaler Richtung ver­ stellt werden kann,

Fig. 4 eine Schnittdarstellung entlang der Li­ nie A-A gemäß Fig. 3.

In der Zeichnung ist in Fig. 1 die gesamte Vorrichtung zur Oberflächenbeschichtung bzw. zum Lackieren von Sub­ straten 2 mit 1 bezeichnet, zu der ein Lackierkopf 49 gehört, der in Fig. 2 näher veranschaulicht ist.

Der Lackierkopf 49 ist gemäß Fig. 1 und 2 über eine Welle 54 mit einem Antriebsmotor 60 antriebsverbunden.

Der Lackierkopf 49 weist eine Leitvorrichtung 18 auf, die aus zwei pyramidenstumpfförmigen, gegeneinander an­ liegenden, fest miteinander verbundenen Leitelemen­ ten 19, 20 besteht, die über Öffnungen aufweisende Stege 56 mit einem Substratträger bzw. Teller 14 fest verbunden sind. Der obere Teil des Leitelements 19 der Leitvorrichtung 18 verläuft mit Bezug auf die Mittel­ achse R geneigt und nach oben pyramidenförmig zu. An die Leitvorrichtung 18 schließt sich, wie bereits er­ wähnt, das untere, sich ebenfalls zur Mittelachse R verjüngende Leitelement 20 an. Die Leitvorrichtung 18 mündet in einen Ringkanal 57, der über eine Leitung ge­ mäß Fig. 1 in einen ersten Sammel- oder Auffangbehälter 27 mündet.

Eine Flüssigkeit bzw. ein Lack 4 (Fig. 3) gelangt über eine Zuführeinrichtung 6, wie aus der nachstehend näher beschriebenen Vorrichtung gemäß Fig. 3 und 4 hervor­ geht, und eine zugehörige Düse 5 auf das Substrat 2, während das Substrat 2 über den Motor 60 in Rotation versetzt wird. Bei diesem Vorgang fließt der Lack 4 in­ folge der Zentrifugalkraft auf der Oberfläche des Sub­ strats 2 radial nach außen und gelangt über den Rand des Substrats und die Leitvorrichtung 18 in den Ring­ kanal 57. Weitere überschüssige Lackpartikel werden in Form eines Lacknebels von der Oberfläche des Sub­ strats 2 abgeschleudert. Diese Lackteile werden von einer zweiten ringförmig ausgebildeten, sich an die Außenkontur des Leitelements 19 anschließenden Leitvor­ richtung 22 abgesaugt, die im unteren Bereich eine Ab­ saugöffnung 24 aufweist, so daß die über die Leitvor­ richtung 22 aufgefangenen Lackteilchen ebenfalls dem ersten Sammelbehälter 27 zugeführt werden können. Die abgeschleuderte Lackflüssigkeit gelangt über den Lackierkopf 49 bzw. die zugehörigen Leitelemente 19, 20 und die zugehörige Auslaßöffnungen 23 in den ersten Sammelbehälter 27. Der erste Sammelbehälter 27 ist über eine Flüssigkeitsleitung 33, die als Rücklaufleitung ausgebildet ist, und über ein erstes Steuerventil 34 an eine Flüssigkeitsleitung 59 angeschlossen, die mit dem oberen Ende eines dritten Sammelbehälters in Form eines Tanks 35 und mit ihrem unteren Ende an eine Einlaßöffnung 74 eines Fil­ ters 28 angeschlossen ist.

In der Leitung 59 befindet sich ein zweites Ventil 36, über das der Tank 35 über die Leitung 59 mit der Ein­ laßöffnung 74 des Filters 28 verbunden werden kann, wenn Lackflüssigkeit 4 aus dem Tank 35 über den Fil­ ter 28 einem zweiten Sammel- oder Auffangbehälter 31 zugeführt wer den soll. Hierzu ist die Auslaßöffnung 61 des Fil­ ters 28 über eine Leitung 43 an das obere Ende des zweiten Sammelbehälters 31 angeschlossen. Das untere Ende des zweiten Sammelbehälters 31 steht ferner über ein Ven­ til 37 und eine Leitung 39 mit einer zweiten Einlaßöff­ nung 62 des Filters 28 in Verbindung, so daß die im Filter verbleibende, gefilterte Flüssigkeit in den zweiten Sammelbehälter 31 ablaufen kann, wenn die Fil­ terpatrone des Filters 28 gewechselt werden soll. Der Filter 28 ist mit einem zentrisch angeordneten Rohr 75 ausgestattet, das gewährleisten soll, daß Flüssigkeit über das obere Ende des Rohrs fließt und somit die Fil­ terpatrone immer vollständig in Flüssigkeit liegt.

Von dem zweiten Sammelbehälter 31 gelangt die Lackflüs­ sigkeit 4′ über eine Leitung 47 zu einer Pumpe, die als Dosierpumpe 29 ausgebildet sein kann. Die Pumpe 29 wird über einen Schrittmotor 63 angetrieben, so daß bei einem entsprechenden Steuerimpuls Lackflüssigkeit aus dem zweiten Sammelbehälter 31 über die Dosierpumpe 29 sowie eine Leitung 46, ein Steuerventil 51, eine elektrische Heizung 39 und über die Leitung 47 dem Lackierkopf 49 zuge­ führt werden kann.

Die Pumpe bzw. die Dosierpumpe 29 steht außerdem über eine Leitung 45 und ein Steuerventil 52 mit dem ersten Auffangbehälter 27 in Verbindung. Damit die Pumpe bzw. Membranpumpe 29 einwandfrei arbeiten kann, ist unter der Dosierpumpe 29 ein Rückschlagventil 38 vorgesehen. Das Rückschlagventil 38 stellt sicher, daß lediglich die Lackflüssigkeit 4′ aus dem zweiten Auffangbehäl­ ter 31 zum ersten Auffangbehälter 27 gefördert wird.

Damit eine einwandfreie Versorgung der beiden Auffangbehälter 27 und 31 mit Lackflüssig­ keit sichergestellt wird, weist die gesamte Vorrich­ tung 1 eine bzw. zwei Füllstandsanzeigevorrichtungen 40 auf, die über eine elektrische Leitung 71 mit einer Auswerteinheit bzw. Steuer- oder Regeleinrichtung 69 verbunden ist, über die die einzelnen Ventile bzw. elektrisch oder pneumatisch betreibbaren Ven­ tile 34, 36, 37, 51, 52 sowie 30 angesteuert werden können, um die Lackflüssigkeit in die gewünschte Rich­ tung bzw. zu den einzelnen Sammelbehältern 27, 31 und dem Substrat 2 zu leiten.

Die Füllstandsanzeige 40 besteht gemäß Fig. 1 unter anderem aus zwei mit Abstand zueinander angeordneten Meßfühlern 41, 42, die in dem oberen ersten Auffangbehälter 27 und in dem unteren Auffangbehälter 31, der auch als zweiter Behälter 27 bezeichnet wird, untergebracht sind. Der erste Meßfühler 41 weist eine Höhe H₁ und der zweite Meßfühler 42 eine Höhe H₂ mit Bezug auf einen Behälterboden 53 auf.

Im zweiten Sammelbehälter 31 sind ebenfalls zwei gleiche Meß­ fühler 41, 42 angeordnet, die mit Bezug auf den Bo­ den 53 einen oberen Meßpunkt mit der Höhe H₁ und eine Höhe H₂ aufweisen. Diese beiden Meßpunkte der beiden Meßfühler 41, 42 können vom Lack benetzt werden. Die Fühler 41, 42 werden mit einer Gleichspannung versorgt, wobei der Widerstandswert zum Gehäuse gemessen wird. Die unterschiedliche Füllhöhe im Sammelbehälter 27 oder 31 beeinflußt den Widerstandswert. Die Signalauswertung der Meßwerte der beiden Meßfühler 41, 42 kann jederzeit dann neu kalibriert werden, wenn die im Auffangbehäl­ ter 27, 31 eingebrachte Flüssigkeit die beiden Meß­ punkte benetzt.

Die Meßfühler 41, 42 und der Auffangbehälter 27, 31 sind über je eine elektrische Leitung 71 an die Aus­ werteinheit 69 angeschlossen, die die Meßwerte mittels der Fühler 41 und 42 erfaßt und die so ermittelten Meß­ werte aus den unterschiedlichen Höhen als Steuergröße zur Ansteuerung der einzelnen Ventile einsetzt, um bei­ spielsweise die beiden Auffangbehälter 27 und 31 mit Flüssigkeitsmedium zu versorgen und bei einem bestimm­ ten Verschmutzungsgrad das Schaltventil 34 zum Fil­ ter 28 zu schließen.

Beim Einfüllvorgang der Flüssigkeit bzw. des Lacks 4 in einen Sammelbehälter kann auf empirische Weise eine so­ genannte Hintergrundkurve bzw. Meßkurve (Widerstand über der Einfüllhöhe) ermittelt werden, so daß diese Kurve später bei der Höhenmessung der Flüssigkeit im Sammelbehälter als relative Referenzgröße zur Verfügung steht. Da nach längerem Einsatz der umlaufenden Lack­ flüssigkeit sich der Feuchtigkeitsgehalt im Lack verän­ dern kann, ist es wichtig, daß eine fortlaufende Kali­ brierung der Widerstandselemente bzw. Meßfühler vorge­ nommen wird. Nach einer derartigen Kalibrierung kann auch mit lediglich einem Meßfühler, beispielsweise mit dem Meßfühler 42, jeweils die Ist-Größe bzw. die Füll­ höhe im Sammelbehälter 27 und/oder 31 ermittelt werden. Die so ermittelten Meßpunkte oder Widerstandsmeßwerte über den jeweiligen Befüllungszustand geben der Bedie­ nungsperson Auskunft darüber, wann beispielsweise der untere Sammelbehälter 31 wieder über den Tank 35 mit neuem Lack oder über den Auffangbehälter 27 mit ge­ brauchtem Lack versorgt werden soll. Dadurch besteht die Möglichkeit, daß die Bedienungsperson beispiels­ weise einen freiwählbaren maximalen Füllstand im Lack­ tank einstellen kann, bevor Lack aus dem oberen Behäl­ ter 27 oder aus dem Tank 35 nachgefüllt wird. Hierzu wird über die Steuereinheit 69 das Ventil 36 des Tanks 35 geöffnet, und die Lackflüssigkeit kann dann über die Leitung 59 und die Einlaßöffnung 74 zum Fil­ ter 28 geleitet werden, von dem dann die gereinigte Lackflüssigkeit über die Auslaßöffnung 61 und die Lei­ tung 43 in den oberen Bereich des Sammelbehälters 31 eingefüllt wird. Auf diese Weise wird dem zweiten Sam­ melbehälter 31 jeweils gereinigte Lackflüssigkeit zuge­ führt.

Der Zeitpunkt des Filteraustauschs läßt sich ebenfalls mittels der Meßfühler 41, 42 ermitteln. Da bei Kenntnis über den Füllstand beider Auffangbehälter 27 und 31 die zu ermittelnde Rücklaufgeschwindigkeit der gereinigten Flüssigkeit aus dem Filter 28 bestimmt werden kann, kann auch die Rücklaufmenge eine Größe zur Ansteuerung der Ventile 34, 36 sein, das dann geschlossen werden muß, wenn der Filter 28 bei erheblicher Verschmutzung ausgetauscht werden muß. Durch die reduzierte Rücklauf­ menge aus dem Filter 28 wird auch der Auffangbehäl­ ter 31 nicht mehr so schnell nachgefüllt, so daß dieser Zeitfaktor in Verbindung mit der Füllhöhe im Sammelbe­ hälter 31 eine Stellgröße darstellt, anhand derer, wie bereits erwähnt, der beschriebene Filteraustausch sinn­ voll ist.

Auch der obere Auffangbehälter 27 soll in vorteilhafter Weise lediglich eine minimale Menge an Lackflüssigkeit aufweisen, damit in der Gesamtanlage nur wenig Lack­ flüssigkeit fortlaufend umgewälzt wird. Hierdurch wird sichergestellt, daß in der Lackflüssigkeit kein Alte­ rungsprozeß eintritt, da nach relativ kurzer Zeit der Lack größtenteils aufgebraucht wird bevor ungebrauchter Lack aus dem Tank 35 dem Sammelbehälter 31 zugeleitet wird. Hierzu wird das Steuerventil 36 über die Auswert- bzw. Steuereinheit 69 geöffnet und der Lack fließt über den Filter 28 in den Sammelbehälter 31, bis die ge­ wünschte maximale Füllhöhe erreicht und der Meßfüh­ ler 41 für die automatische Kalibrierung mit Flüssig­ keit in Berührung gebracht wird. Nach diesem Zeitpunkt wird das Steuerventil 34 oder 36 wieder automatisch in eine Schließstellung gebracht.

Durch die vorteilhafte Anordnung der beiden jeweils in einem Sammelbehälter angeordneten Meßfühler 41, 42 las­ sen sich fortlaufend Meßwerte bzw. Widerstandsmeßwerte ermitteln und an die beschriebene Auswerteinheit 69 weiterleiten, so daß dann je nach Betriebszustand die einzelnen Ventile 34, 36, 37, 51, 52, 30 gleichzeitig oder mit zeitlichem Abstand versetzt zueinander an­ steuerbar sind, um auf diese Weise die Zuführeinrich­ tung 6 und somit auch die bereits beschriebenen Auf­ fangbehälter 27, 31 rechtzeitig mit Lackflüssigkeit zu versorgen.

Die beiden Meßfühler 41, 42 können als Widerstandsmeß­ fühler ausgebildet sein.

Ferner ist es möglich, im Bereich der Heizung 39 einen Sensor für die Lacktemperatur vorzusehen, so daß hier­ über die Heizung 39 entsprechend angesteuert werden kann.

Ist beispielsweise der untere Auffangbehälter 31 nicht entsprechend aufgefüllt, so wird über den unteren Meß­ fühler 42 eine entsprechende Stellgröße an die Auswert­ einheit 69 übermittelt, über die dann das Steuerven­ til 34, 36 geöffnet werden kann.

Im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3, 4 ist die Zuführ­ einrichtung 6 zur Aufbringung der Flüssigkeit bzw. des Lacks 4 im Bereich des Lackierkopfs 49 bzw. des Sub­ strats 2 dargestellt. Die Zuführeinrichtung 6 besteht aus einer mit Bezug auf Fig. 3 und 4 horizontal ver­ laufenden Tragvorrichtung, die an einer in der Zeich­ nung nicht dargestellten Halterung bzw. an einem Ge­ häuse angeordnet ist. Die Halterung weist ein in etwa kastenförmiges, aus Seitenteilen 76′ bis 76′′′′ gebil­ detes Gehäuse auf, in dem eine Antriebsvorrichtung 3 mit einem Schrittmotor 9 zum Antrieb eines Getriebes bzw. Zahnstangen- oder Schneckenschrauben-Getriebes 15 vorgesehen ist. Der Schrittmotor 9 treibt also über das Getriebe 9 die Zuführeinrichtung 6 an, so daß diese parallel zur Oberfläche des Substrats 2 verstellt wer­ den kann.

Die Tragvorrichtung besteht aus einem sich mit Bezug auf den Tragarm 8 vertikal erstreckenden Teil mit einer am oberen Ende vorgesehenen Halterung 68 zur Aufnahme einer Versorgungsleitung 17, an deren oberen Ende die Düse 5 angeschlossen ist, so daß über diese der Lack 4 auf das Substrat 2 abgegeben werden kann. Die Versor­ gungsleitung 17 ist über die Leitungen 47, die Hei­ zung 39 sowie die Leitung 46 und die Pumpe 29 an den unteren Sammelbehälter 31 angeschlossen.

Wie insbesondere aus Fig. 3 hervorgeht, ist die Zu­ führeinrichtung 6 in der Tragvorrichtung zwischen einer extrem rechten und einer extrem linken Stellung in horizontaler und vertikaler Höhe verstellbar.

Damit ein horizontales und vertikales Verstellen der Zuführeinrichtung 6 möglich ist, weist die Tragvorrich­ tung eine erste Kulissenführung 7 auf, die aus einem horizontal verlaufenden Teil 11, einem sich daran an­ schließenden, geneigt verlaufenden Teil 12 sowie einem sich wiederum daran anschließenden, ebenfalls horizon­ tal verlaufenden Teil 13 gebildet ist, die zur Aufnahme von Gleitelementen bzw. Rollenlagern 10 dienen. Befin­ det sich die Zuführeinrichtung 6 in der Stellung gemäß Fig. 3, so hat sie ihre untere Position bzw. die Posi­ tion eingenommen, in der die Düse 5 Lack an das Sub­ strat 2 abgeben kann. Der Lackauftrag über die Düse 5 beginnt am Innendurchmesser des Substrats 2, so daß durch die Rotationsbewegung des Substratträgers 14 das mit der Düse 5 auf das Substrat 2 abgegebene Medium bzw. der Lack gleichmäßig nach außen verteilt und der Rest über den Lackierkopf 49 aufgefangen wird. Der ho­ rizontal verlaufende Teil 11 der Kulissenführung 7 ist dabei in vorteilhafter Weise so groß wie der entspre­ chende Lackierradius verschiedener Substrat formen, so daß die Möglichkeit besteht, bei jedem beliebigen Durchmesser das Substrat mit Lack zu beschichten, ohne daß beim Verstellen der Zuführeinrichtung 6 der Abstand zwischen dem unteren Ende der Düse 5 und der Oberfläche des Substrats 2 verändert wird. Auf diese Weise kann die Fallhöhe des aus der Düse 5 austretenden Lacks kon­ stant gehalten und sichergestellt werden, daß ein gleichmäßiger Lackauftrag erfolgt.

Der untere, horizontal verlaufende Teil 13 der Kulis­ senführung 7 gewährleistet also auch, daß über den Schrittmotor 9 eine exakte Positionierung der Düse 5 an jeder beliebigen Stelle oberhalb des Substrats 2 mög­ lich ist, ganz gleich an welcher Stelle der Lackauftrag auf die Oberfläche des Substrats 2 erfolgen soll. Wird die Zuführeinrichtung 6 über das geneigt verlaufende Teil 12 in das horizontal verlaufende Teil 11 bewegt, so führt die Zuführeinrichtung 6 zuerst eine horizon­ tale und dann eine horizont-vertikale, anschließend wieder eine horizontale Bewegung aus. Bei diesem Stell­ vorgang wird mittels eines Sensors die Referenzstellung erfaßt.

In den beiden an die Zuführeinrichtung 6 angeschlosse­ nen Gleitelementen bzw. Rollenlagern 10, die in der er­ sten Kulissenführung 7 aufgenommen sind, können zwei weitere mit Abstand zu den ersten Rollenlagern angeord­ nete Rollenlager 10′ vorgesehen werden, die in einer weiteren Kulissenführung 7′ aufgenommen sind. Die Ku­ lissenführung 7′ verläuft parallel zum Teil 11, 13 der Kulissenführung 7 und stellt sicher, daß ein Kippen der Zuführeinrichtung 6 vermieden wird. Wird also der Schrittmotor 9 angetrieben, so wird über eine Spindel und eine zugehörige Kulisse bzw. Mutter 70 die Zuführ­ einrichtung 6 entweder nach rechts oder nach links be­ wegt.

Damit eine Beschädigung der Versorgungsleitung 17 aus­ geschlossen wird, ist diese durch entsprechende in der Zuführeinrichtung 6 vorgesehene Bohrungen bzw. einen Freiraum geführt.

Da alle wesentlichen Bauteile, insbesondere die An­ triebsvorrichtung 3, ein großer Teil der Zuführeinrich­ tung 6 sowie die Versorgungsleitung 17, in der Tragvor­ richtung untergebracht sind, werden diese nicht nur vor Beschädigung, sondern auch vor Verschmutzungen mit Lack geschützt.

Wie aus Fig. 1 insbesondere hervorgeht, kann, wie be­ reits beschrieben, das vom Substratträger 14 abge­ gebene, flüssige Medium bzw. der Lack 4 über Leitele­ mente 19, 20 zumindest an den ersten Auffangbehälter 27 abgegeben werden, der mit mindestens einem Filter 28 verbunden ist, von dem die Flüssigkeit mittel- oder un­ mittelbar über eine Pumpe 29 an den ersten Auffangbe­ hälter 27 geleitet wird, wobei zwischen der ersten Ab­ flußleitung 33 des ersten Auffangbehälters 27 und der Pumpe 29 ein Unterdruck über eine als Venturi-Düse aus­ gebilde Vakuumpumpe 30 einstellbar ist.

Die Vakuumpumpe 30 ist an eine Rücklaufeinrichtung 32 angeschlossen, die aus den Leitungen 33, 59 und 39 und dem Filter 28 besteht. Die Vakuumpumpe 30 steht über eine Leitung 44 mit dem zweiten Auffangbehälter 31 in Verbindung. Die vom Substratträger 14 abgeschleuderte Flüssigkeit bzw. das flüssige Lackmedium wird über den ersten Auffangbehälter 27 an den ersten Filter 28 ge­ leitet, wobei in der Anlage die Rücklaufeinrichtung 32 an die Unterdruckeinrichtung bzw. das Venturi-Rohr 44 angeschlossen ist, über das der Unterdruck erzeugt wird. Dadurch läßt sich auch Flüssigkeitsmedium bzw. Lack mit hoher Viskosität durch die Filteranlage be­ wegen und für die Flüssigkeit die gewünschte Reinheit bei störungsfreiem Förderbetrieb erreichen. Durch den Vakuumbetrieb können auch Filter 28 mit sehr engmaschi­ gen Filterelementen 28 eingesetzt werden, ohne daß da­ durch die Durchlaufzeit des Lacks in der gesamten Vor­ richtung nachteilig beeinträchtigt wird. Durch das vor­ teilhafte Einsetzen des Unterdruckbetriebs können der­ artige Filter 28 auch wesentlich länger im Einsatz bleiben, da neben der Pumpe 29 in Verbindung mit dem Unterdruck eine hohe Durchlaufgeschwindigkeit der Lack­ flüssigkeit sichergestellt wird.

Im Ausführungsbeispiel ist das Venturi-Rohr oder die Vakuumpumpe 30 an den Auffangbehälter 31 angeschlossen. Die Vakuumpumpe 30 kann auch an jeder anderen geeigne­ ten Stelle zwischen dem ersten Auffangbehälter 27 und der Pumpe oder Dosierpumpe 29 angeschlossen werden. Die Dosierpumpe 29 ist über ein Stellventil 37 der Rück­ führeinrichtung 32 zuschaltbar.

Claims (10)

1. Vorrichtung zur Oberflächenbeschichtung bzw. zum Lackieren von Substraten insbesondere scheibenförmigen Substraten (2) wie einem scheibenförmigen Infor­ mationsträger, der auf einen Substratträger (14) aufbringbar und über eine Antriebsvorrichtung (3) antreibbar bzw. in eine Rotationsbewegung ver­ setzbar ist, wobei das aufzutragende Mittel bzw. die Lackflüssigkeit (4) über eine Zuführeinrich­ tung (6) auf das Substrat (2) aufgegeben wird, dadurch gekennzeichnet, daß das vom Subtratträger (14) abgegebene, flüssige Medium bzw. der Lack (4) zumindest an einen ersten Auffangbehälter (27) abgegeben wird, der über mindestens einen Filter (28), einen zweiten Behälter (31) und über eine Pumpe (29) wieder mit dem ersten Auffangbehälter (27) und mit der Lackzuführeinrichtung (5, 6) verbunden ist, wobei an der Vorrichtung zwischen dem ersten (27) und zweiten Auffangbehälter (31) und/oder zwischen den Auffangbehältern (27, 31) und der Pumpe (29) ein Unterdruck einstellbar ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß das flüssige Medium bzw. der Lack (4) vom Filter (28) mittel- oder unmittelbar über die Pumpe (29) dem ersten Auf­ fangbehälter (27) zugeführt wird, wobei zwischen dem ersten Auffangbehälter (27) und der Pumpe (29) eine Vakuumpumpe (30) vorgesehen ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Vakuum­ pumpe (30) an eine Rücklaufeinrichtung (32) für den zweiten Auffangbehälter (31) angeschlossen ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeich­ net, daß die Vakuumpumpe (30) an den zweiten Behälter (31) angeschlossen ist.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumpumpe (30) als Venturi-Düse ausgebildet ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß zwischen dem ersten Auffangbehälter (27) und dem Fil­ ter (28) ein Steuerventil (34) vorgesehen ist.

7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Auffangbehälter (27) und das Steuerventil (34) ent­ weder mit dem zweiten Auffangbehälter (31) oder ein weiteres Ventil (36) mit dem Tank (35) verbindbar ist.

8. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Filter (28) und dem zweiten Behäl­ ter (31) ein Absperrventil (37) vorgesehen ist.

9. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem zweiten Auffangbehälter (31) und der Pumpe (29) ein Rückschlagventil (38) vorgesehen ist.

10. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorher­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das über die Pumpe (29) geförderte Flüssigkeits­ mittel bzw. der Lack (4) über eine Heizung (39) mit der Düse (5) der Zuführeinrichtung (6) ver­ bunden ist.