JP2017170445A - ノズル洗浄装置、塗布装置、ノズル洗浄方法、および塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】密閉空間L1が形成され、スリットノズル30の付着物100を拭き取りにより除去する拭き取り部材41の洗浄が当該密閉空間L1内で行われる。また、密閉空間L1内には密閉空間L1の内部の気液を装置外部に排出する排出口491が設けられている。このため、拭き取り部材41の洗浄に用いられる2流体洗浄液WLや当該洗浄によって発生するミストが、この排出口491から装置外部に排出され、装置内部のうち密閉空間L1の外部に付着することがない。
【選択図】図12
Description
<1.1 塗布装置1の全体構成・全体動作>
図1は、実施形態の塗布装置1の構成を示す斜視図である。なお、図1および以降の各図にはそれらの方向関係を明確にするためZ方向を鉛直方向とし、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系を適宜付している。また、理解容易の目的で、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。
ステージ2は略直方体の形状を有する花崗岩等の石材で構成されており、その上面(+Z側)のうち−Y側には、略水平な平坦面に加工されて基板Gを保持する保持面21を備える(図2)。保持面21には図示しない多数の真空吸着口が分散して形成されている。これらの真空吸着口により基板Gが吸着されることで、塗布処理の際に基板Gが所定の位置に略水平状態に保持される。
塗布処理部3は主として、X方向に延びる長尺状の開口部である吐出口31を有するスリットノズル30と、ステージ2の上方をX方向に横断しスリットノズル30を支持するブリッジ構造のノズル支持体35と、Y方向に延びる一対のガイドレール36に沿ってノズル支持体35およびこれに支持されるスリットノズル30を水平移動させるスリットノズル移動手段37と、から構成される。
ノズル洗浄装置4は、大略的に、拭き取り部材41をスリットノズル30の傾斜面305に沿って水平X方向に摺動させることでスリットノズル30のリップ部303に付着する付着物を除去する除去ユニット4Aと、拭き取り部材41を密閉して密閉空間L1(後述する図11(c)参照)を形成し、その密閉空間L1の内部で拭き取り部材41を洗浄する洗浄ユニット4Bと、X方向に沿って延設される2本のガイドレール44と、を備える装置である(図3)。
プリディスペンス装置5は、ノズル調整エリアAR1のうち−Y側に配される装置であって、その内部に溶剤54を貯留する貯留槽51と、その一部を溶剤54に浸漬しておりスリットノズル30からの塗布液の吐出対象となるプリディスペンスローラ52と、ドクターブレード53とを備える(図2)。
図14に示す制御部6は、塗布装置1に設けられた上記の種々の動作機構を制御する。制御部6のハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様である。すなわち、制御部6は、各種演算処理を行うCPU61、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるROM62、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるRAM63、および処理プログラムやデータなどを記憶しておく固定ディスク64をバスライン69に接続して構成されている。
以下、塗布装置1の基本的な動作の流れについて説明する。
次にノズル洗浄装置4の動作について説明する。
ノズル洗浄装置4では、所定の密閉空間L1が形成され、スリットノズル30の付着物100を拭き取りにより除去する拭き取り部材41の洗浄がこの密閉空間L1内で行われる。また、密閉空間L1にはその内部の気液を装置外部に排出する排出口491が設けられている。
以上、本発明の実施形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。
2 ステージ
3 塗布処理部
4 ノズル洗浄装置
4A,4c 除去ユニット
4B 洗浄ユニット
5 プリディスペンス装置
6 制御部
30 スリットノズル
31 吐出口
41 拭き取り部材
45,45c 支持部材
45a 中空部
46 駆動手段
47 密閉手段
48 洗浄手段
49 排出手段
303 リップ部
305 傾斜面
413 摺接面
RT 塗布領域
WL 2流体洗浄液
Claims (9)
- スリット状の開口から塗布液を吐出するスリットノズルに対して洗浄処理を施すノズル洗浄装置であって、
前記スリットノズルに摺接する摺接面を有し、当該スリットノズルに付着する付着物を前記摺接面を用いて除去する拭き取り部材と、
前記拭き取り部材を支持する支持手段と、
前記支持手段を駆動することによって、前記スリットノズルの開口部に沿って前記拭き取り部材を摺動させるとともに、前記スリットノズルの一方側端部の外側に位置する除去前待機位置から前記スリットノズルの他方側端部の外側に位置する前記拭き取り部材の洗浄位置まで前記スリットノズルの長手方向に沿って前記支持手段を移動させる駆動手段と、
前記洗浄位置上に配置され、前記スリットノズルの前記他方側端部の外側に所定の密閉空間を形成し、前記拭き取り部材、前記支持手段、および前記駆動手段のうち、少なくとも前記拭き取り部材の前記摺接面を、前記密閉空間内に密閉し、前記洗浄位置で前記拭き取り部材を前記スリットノズルから隔離する密閉手段と、
前記密閉空間の内部に開口する供給口を有しており、当該供給口から前記拭き取り部材に洗浄液を供給する洗浄手段と、
前記密閉空間の内部に開口する排出口を有しており、当該密閉空間内の気液を当該装置から排出する排出手段と、
を備え、
前記洗浄手段は、前記拭き取り部材の前記他方側の面である進行面に向けて、前記洗浄液として溶剤と気体とを混合して生成される2流体洗浄液を噴射する第1洗浄部と、前記拭き取り部材の前記一方側の面である背面に向けて、前記2流体洗浄液を噴射する第2洗浄部とを有することを特徴とするノズル洗浄装置。 - 請求項1に記載のノズル洗浄装置であって、
前記駆動手段は前記密閉手段による密閉空間外に存在し、
前記支持手段が前記密閉手段を構成する一部として前記密閉空間を形成することを特徴とするノズル洗浄装置。 - 請求項1または請求項2に記載のノズル洗浄装置であって、
前記支持手段は、水平面視において前記駆動手段と離間する位置に前記拭き取り部材を支持する中空構造の支持手段であり、
前記密閉空間のうち前記支持手段の上方に形成される空間領域である上方空間領域と、前記支持手段の下方に形成される空間領域である下方空間領域とのうち、前記上方空間領域に前記供給口が開口することを特徴とするノズル洗浄装置。 - 請求項3に記載のノズル洗浄装置であって、
前記排出口は、前記下方空間領域に開口していることを特徴とするノズル洗浄装置。 - 請求項4に記載のノズル洗浄装置において、
前記上方空間領域に開口した前記供給口から前記拭き取り部材に向けて下向きに前記2流体洗浄液が供給され、前記下方空間領域に開口した前記排出口から前記密閉空間内の気液を排出することで、前記上方空間領域から前記下方空間領域に向けての一方向気流が生じることを特徴とするノズル洗浄装置。 - 請求項1に記載のノズル洗浄装置において、
前記溶剤と前記気体との供給をそれぞれ制御する制御手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記拭き取り部材に前記2流体洗浄液を供給した後、前記拭き取り部材に前記気体のみを供給して前記拭き取り部材を乾燥させることを特徴とするノズル洗浄装置。 - スリット状の開口から被処理体に向けて塗布液を吐出するスリットノズルと、
前記被処理体を保持する保持手段と、
請求項1ないし請求項6のいずれかに記載のノズル洗浄装置と、
前記スリットノズルを、前記拭き取り部材に対向する位置と前記保持手段に保持される前記被処理体に対向する位置との間で移動させるスリットノズル移動手段と、
前記保持手段に保持される前記被処理体と前記スリットノズルとを相対的に移動させる相対的移動手段と、
を備えることを特徴とする塗布装置。 - スリットノズルの一方側端部の外側に位置する除去前待機位置から前記スリットノズルの他方側端部の外側に位置する洗浄位置まで前記スリットノズルの長手方向に沿って拭き取り部材を移動させて、所定位置に配される前記スリットノズルの開口部に沿って一方側から他方側へ前記拭き取り部材を摺動させ、当該スリットノズルに付着する付着物を除去する除去工程と、
前記拭き取り部材が前記洗浄位置に位置するときに、前記拭き取り部材を覆って前記拭き取り部材を前記スリットノズルから隔離する密閉空間を前記スリットノズルの前記他方側端部の外側に形成する密閉工程と、
前記密閉空間内で前記拭き取り部材に洗浄液を供給する洗浄工程と、
前記密閉空間内の気液を前記密閉空間の外部に排出する排出工程と、
前記密閉空間を開放し密閉状態を解除する開放工程と、
前記他方側から前記一方側へ前記拭き取り部材を移動させる戻り工程と、
を有し、
前記洗浄工程では、第1洗浄部から前記拭き取り部材の前記他方側の面である進行面に向けて、前記洗浄液として溶剤と気体とを混合して生成される2流体洗浄液を噴射するとともに、第2洗浄部から前記拭き取り部材の前記一方側の面である背面に向けて、前記2流体洗浄液を噴射するノズル洗浄方法。 - スリットノズルから塗布液を吐出して被処理体に前記塗布液を塗布する塗布方法であって、
請求項8に記載のノズル洗浄方法における前記各工程に加え、
前記被処理体を前記スリットノズルによって塗布処理を開始される位置に搬送する塗布前搬送工程と、
前記スリットノズルを前記塗布処理の開始可能な位置に移動する塗布前移動工程と、
前記スリットノズルから前記塗布液を吐出した状態で、前記スリットノズルと前記被処理体とを対向配置で相対移動させ、前記被処理体に前記塗布処理を施す塗布工程と、
前記スリットノズルを前記所定位置まで移動する塗布後移動工程と、
前記塗布処理の完了した前記被処理体を次処理の処理部に搬送する塗布後搬送工程と、
を有することを特徴とする塗布方法。
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