KR20090038279A - 기판 슬림화 장치와 기판 슬림화 방법 및 기판 슬림화 장치조립체 - Google Patents

기판 슬림화 장치와 기판 슬림화 방법 및 기판 슬림화 장치조립체 Download PDF

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    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

본 발명의 일실시예에 따른 기판 슬림화 장치는 식각될 기판을 수용하는 챔버, 상기 챔버내에 서로 이격되어 배치되는 식각액 유입구 및 식각액 유출구, 상기 식각액 유입구와 상기 식각액 유출구에 연통되어 있는 식각액 저장조를 포함하며, 식각되어질 상기 기판은 상기 챔버내에서 식각액에 침지되어 식각되는 것을 특징으로 한다.
양면, 식각, 슬림화

Description

기판 슬림화 장치와 기판 슬림화 방법 및 기판 슬림화 장치 조립체{Device for slimming of plate, method for slimming of plate, and assembly for sliming of plate}
본 발명은 기판을 슬림화하는 장치 및 방법에 관한 것이며, 특히 대형의 기판을 식각 챔버에 침지하여 기판의 양면을 동시에 식각하도록 식각액을 챔버에 공급하여 기판을 식각하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이용 백라이트나, 디스플레이에 사용되는 유리 기판은 디스플레이 자체의 경량화와 두께의 슬림화를 위하여 얇게 가공할 필요가 있다. 특히, 핸드폰에 사용되는 유리기판을 가공하는 경우, 예를 들어, 초기의 핸드폰 모델의 두께가 약 45mm, 이고 무게가 약 1.3Kg의 크기 및 중량 조건에서, 두께가 약 6.9mm 이고 두께가 약 63g으로 진보적으로 계속하여 유리기판 슬림 기술이 발달되고 있다. 최근에 디스플레이용으로 가장 얇은 LCD(Liquid Crystal Display) 는 유리기판의 두께가 0.82mm 이며, LCD 유리 위에 충격 방지 시트를 직접 부착하는 방식으로 초 경량화, 초슬림화에 박차를 가하고 있다.
이와 관련하여, 유리 기판을 식각을 통하여 슬림화하는 여러 가지 방법이 있 다. 배스(bath)에 유리기판을 수직하게 디핑(dipping)하여 식각하는 디핑 방법과, 수직하게 세워진 유리 기판의 양면에 다수의 분사 노즐을 이용하여 식각을 위한 식각액을 소정의 분사압력으로 분사시켜서 식각하는 스프레이 방법, 수직하게 세워진 기판의 양측면에 식각을 위한 약액을 기판의 상측으로부터 흘러내리게 부어서 식각하는 하향식 유리 박형 방법 등이 있다.
도 1은 유리 기판을 식각하는 디칭 방법의 일례를 설명하는 측단면도이다.
도 1의 기술에서는 유리기판 식각을 위한 약액으로서 고가의 혼합 시스템을 통하여 혼합된 농도의 HF가 사용된다. HF 에칭 베스(1)의 하단부에는 질소 기체를 분출하는 버블판(50) 및 펀칭판(60)이 설치되어 있고, 그 상단부에는 뚜껑(30)이 덮어져 있으며, 뚜껑(30)의 틈새를 없애기 위해서 워터 포켓(40)을 사용하여 밀폐시킨다. 워터 포켓(40)에는 초순수(41)가 고이도록 함으로써, 유독성의 HF 기체가 외부로 발산하는 것을 방지한다.
상기 버블판(50) 및 펀칭판(60)은 QDR(quick dump rinse)배스(미도시)의 하단부에도 설치하여 유리기판을 세척하는 공정에서도 질소기체를 발생시킨다. QDR 배스에서 행해지는 초순수에 의한 세척 공정에서도 질소 기체를 분출시켜 세척하게 된다. HF 에칭 배스(1) 내에서의 유리 기판의 에칭 공정은 HF 에칭 배스(1) 내부에 HF 공급 탱크로부터 농도가 조절된 HF 용액을 공급받고, HF 용액이 채워진 HF 에칭 배스(1)에 유리기판이 장입된 카세트를 투입한 후, 하부의 버블판(50) 및 펀칭판(60)으로부터 질소 기체를 발산시키게 된다.
QDR 배스 내에서의 세척 공정은 그 배스 내부에 설치된 샤워 장치를 통하여 초순수를 분사시켜 글라스 표면에 붙어 있는 식각된 이물질과 HF 용액을 세척한다. QDR 배스 내에서도 세척 공정 중에 그 하부에 설치된 버블판(50) 및 펀칭판(60)으로부터 질소 기체를 발산시켜 세척을 보조하게 된다.
그러나, 이와 같은 디핑 방법의 경우, 두께별로 유리기판을 차별화하여 식각하는 것이 불가능하다. 즉, 식각의 오차가 정밀하지 못하다. 또한, 식각중 발생하는 슬러지 및 백색 파우더의 처리 곤란과 유리 기판에 이러한 불순물이 부착되어 불량률이 높은 문제점이 있다. 또한, 다량의 순수가 필요하며, 약액 회수 재사용율이 저조하고, 다량의 기포 발생기가 필수적이어서, 식각중이나 식각후에 극도로 얇아진 유리기판에 무리한 스트레스를 가하게 됨으로 인하여 식각후 유리기판의 품질에 많은 악영향을 미치게 되는 문제점이 있다.
그 외에 스프레이 방식의 경우에도, 약액을 기판에 때려 스프레이 하게 됨으로써 기판에 강한 응력이 전달되는 문제점이 있으며, 수직으로 교차하는 노즐의 강한 운동성이 새로운 약액과 산화 반응후의 부산물인 각종 염들과의 교반을 일으켜서 약액의 재생율을 극히 불량하게 하는 문제점이 있다.
본 발명의 기판 슬림화 장치 및 기판 슬림화 방법은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 다음과 같은 발명의 목적을 가지고 있다.
첫째, 기판의 양면을 동시에 식각할 수 있는 기판 슬림화 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
둘째, 정밀한 기판 식각 제어가 가능한 기판 슬림화 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
셋째, 식각을 위한 약액의 회수 재사용율을 높일 수 있는 기판 슬림화 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
넷째, 콤팩트한 구조의 기판 슬림화 장치를 제공하는 것이다.
다섯째, 필요에 따라 단면 식각 방식의 기판 슬림화 장치와 양면 식각 방식의 기판 슬림화 장치 조립체를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 슬림화 장치는, 식각될 기판을 수용하는 챔버; 상기 챔버내에 서로 이격되어 배치되는 식각액 유입구 및 식각액 유출구; 상기 식각액 유입구와 상기 식각액 유출구에 연통되어 있는 식각액 저장조를 포함하며, 식각되어질 상기 기판은 상기 챔버내에서 식각액에 침지되어 식각되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 기판의 양면은 동시에 식각된다.
한편, 상기 기판은 상기 챔버내에서 세워져 배치된다.
또한, 기판 슬림화 장치는 상기 기판을 지지하여 이동시키는 이동수단을 추가로 구비한다.
또한, 기판 슬림화 장치는 상기 기판의 모서리를 둘러싸는 프레임을 추가로 구비한다.
한편, 상기 식각액 유입구는 상기 챔버의 상부에 배치되고 상기 식각액 유출구는 상기 챔버의 하부에 배치될 수 있다.
이 경우, 상기 식각액은 챔버의 상부에서 하부로 유동한다.
선택적으로, 상기 식각액 유입구는 상기 챔버의 하부에 배치되고 상기 식각액 유출구는 상기 챔버의 상부에 배치될 수 있다.
이 경우, 상기 식각액은 상기 챔버의 하부에서 상부로 유동한다.
한편, 상기 식각액은 상기 챔버내에서 정상상태 유동(steady state flow)한다.
본 발명의 일실시예에 따른 기판 슬림화 방법은, 식각될 기판을 식각액에 침지시키도록 챔버에 배치하는 단계; 및 상기 챔버내에서 식각액을 유동시키는 단계를 포함한다.
여기서, 상기 챔버는 식각액이 통과하는 유입구와 유출구를 구비하여 상기 식각액은 상기 챔버의 상부에서 상기 챔버의 하부로 유동할 수 있다.
선택적으로, 상기 챔버는 상기 식각액이 통과하는 유입구와 유출구를 구비하여, 상기 식각액은 상기 챔버의 하부에서 상기 챔버의 상부로 유동할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 기판 슬림화 장치 조립체는,
식각될 제 1 기판을 수용하는 제 1 챔버와, 상기 챔버 내에 서로 이격되어 배치되는 식각액 유입구 및 식각액 유출구와, 상기 식각약 유입구와 상기 식각액 유출구에 연통되어 있는 식각액 저장조를 포함하며, 식각되어질 상기 제 1 기판은 상기 챔버내에서 식각액에 침지되어 양면이 식각되는 양면 식각 기판 슬림화 장치와;
식각될 제 2 기판을 지지하는 지지플레이트와, 상기 지지플레이트를 수용하는 제 2 챔버와, 상기 제 2 기판에 식각액을 유동시키는 분사 노즐을 포함하며, 상기 지지플레이트가 경사지게 배치되어 상기 지지플레이트에 지지된 제 2 기판을 경사지게 배향하여 상기 제 2 기판은 상기 챔버내에서 식각액에 의해 일면이 식각되는 단면 식각 기판 슬림화 장치;를 포함한다.
본 발명의 일실시예에 따른 기판 슬림화 장치 및 기판 슬림화 방법에 의하면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 기판 슬림화 장치 및 기판 슬림화 방법에 의하면, 기판의 양면을 동시에 식각할 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 기판 슬림화 장치 및 기판 슬림화 방법에 의하면 정밀한 기판 식각 제어가 가능하게 된다.
셋째, 본 발명에 따른 기판 슬림화 장치에 의하면, 식각을 위한 식각액의 회수후 재사용율을 높일 수 있게 된다.
넷째, 본 발명에 따른 기판 슬림화 장치에 의하면, 콤팩트한 구조의 기판 슬림화 장치를 제공할 수 있게 된다.
다섯째, 본 발명에 따른 기판 슬림화장치 조립체에 의하면, 필요에 따라 단면 식각 방식의 기판 슬림화 장치와 양면 식각 방식의 기판 슬림화 장치 조립체를 동시에 제공하거나 순차적으로 제공할 수 있게 된다.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 슬림화 장치(100)를 개략적으로 도시한 모식도이다.
본 발명에 따른 기판 슬림화 장치(100)는, 식각될 기판(112)과 기판을 둘러싸는 프레임(116)으로 구성된 기판 조립체(115)를 지지하는 지지대(118)와, 지지대(118)와 상기 기판 조립체(115)를 수용하는 챔버(112)와, 기판(112)을 식각하기 위한 식각액을 유입시키고 유출시키는 식각액 유입구(126) 및 식각액 유출구(122)를 구비한 챔버부(110)를 포함한다.
한편, 상기 기판 슬림화 장치(100)는 상기 챔버부(110)에 식각을 공급하고 챔버부(110)로부터 식각액을 회수하도록 식각액 저장조(140)를 구비한다. 상기 식각액 저장조(140)는 상기 챔버부(110)의 챔버 내부에 형성된 다수의 식각액 유입구(126) 및 식각액 유출구(122)에 제 1 유동로(150) 및 제 2 유동로(160)를 통하여 연결된다.
식각액을 공급함에 있어서 강제순환 방식으로 유체를 유동시킬 필요가 있는 경우에는 상기 식각액 저장조(140)와 상기 챔버부(110) 사이의 제 2 유동로(150)와 제 2 유동로(160)에는 각각 제 1 펌프(152) 및 제 2 펌프(162)가 설치될 수 있다.
도 2에서 도시된 기판 슬림화 장치(100)에서, 챔버부(110)의 챔버(112)의 상측에는 노즐부(124)가 배치되어 있고, 상기 노즐부(124)에 다수의 식각액 유입구(126)들이 배치된다. 상기 식각액 유입구(126)은 기판의 양측 표면에 대응되도록 2열로 배열되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 기판 조립체(115)를 지지하고 이동시키기 위한 이동 수단(120)이 상기 챔버부(110)에 구비된다. 상기 이동수단(120)은 로봇 암과 같은 구조로 상기 기판 조립체(115)의 프레임(116)을 지지하게 된다.
상기 기판 조립체(115)는 상기 챔버(112) 내에서 식각액에 잠기게 된다. 적어도 기판 조립체(115)의 기판(114)은 식각액에 완전히 잠기게 된다. 또한, 상기 기판 조립체(115)는 상기 챔버(112) 내부에서 세워져서 배치된다. 상기 기판 조립체(115)는 지지대(118) 상에 배치되게 되는데 상기 지지대(118)에는 상기 기판 조립체(115)를 수직하게 세우기 위한 다양한 고정 수단이 배치될 수 있다. 예를 들어 상기 지지대(118)상에 V형 홈(미도시)이 형성되어 상기 기판 조립체(115)가 홈에 끼워져 고정될 수 있다.
한편, 상기 노즐부(124)는 상기 식각액 저장조(140)에 제 1 유동로(150)에 의해 연결되어 있는데, 상기 노즐부는 소정의 양의 식각액을 보유할 수 있는 내부 부피를 가져서 노즐부에 저장된 식각액이 노즐부(124)의 하부에 형성된 식각액 유입구(126)를 통하여 상기 챔버 내로 유입되게 된다.
상기 식각액 유입구(126)들은 상기 챔버의 내부를 항햐여 배치된다. 따라서, 도 2에 도시된 바와 같이 노즐부(124)의 하측에 형성될 수도 있고 챔버(112)의 내측 벽에 형성될 수도 있다. 식각액 유입구(126)와 식각액 유출구(122)들은 상기 챔버(112) 내부에 유체를 유동시킬 수 있도록 서로 이격 되어 배치된다.
다수의 상기 식각액 유출구(122)들은 식각액 수집관(128)을 통하여 제 2 유동로(160)에 연결된다.
도 3은 도 2에 도시된 챔버부(110)의 부분 사시도이다.
도 3을 참고하면, 상기 챔버(112)의 내부 형상은 챔버(112) 내부에 수용된 기판 조립체(115)를 수용할 수 있도록 형성된다. 상기 챔버(112)의 상부에는 중앙에 노즐부(124)가 장착될 수 있는 구멍이 형성된 커버(130)가 배치된다.
상기 노즐부(124)는 역삼각형의 프리즘 형상으로 형성되며, 노즐부(124) 의 내부는 소정의 양의 식각액을 저장할 수 있도록 비어있다. 전술한 바와 같이, 상기 노즐부(124)의 하부에는 식각액이 유입되게 되는 다수의 식각액 유입구(126)가 형성되어 있다. 도 3에는 식각액 유입구(126)가 노즐부(124)의 하부 꼭지점에 형성된 것으로 도시되어 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 식각액 유입구(126)들은 상기 챔버(112)에 식각액을 유입시킬 수 있는 위치에 배치된다.
상기 커버(130)의 측부에는 이동수단(120)의 연장부가 통과할 있는 개구가 형성되어 있다. 상기 이동수단(120)은 상기 기판 조립체(115)의 상측을 지지하여 상기 챔버부(110) 외부의 이동수단 제어 수단에 의해 제어되어 작동한다.
상기 기판(114)과 상기 기판(114)를 둘러싸고 있는 프레임(116)은 지지 대(118) 상에 놓여지게 되고 상기 지지대(118)의 하부에는 이동의 편리를 위하여 바퀴(119)가 배치될 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 챔버부가 식각액 저장조에 연결된 상태를 도시하는 측면도이다.
도 4를 참조하며, 식각액 저장조(140)에 저장되어 있는 식각액이 제 1 펌프(152)의 펌핑 작용에 의해 상기 제 1 유동로(150)를 통하여 상기 노줄부(124)에 공급된다. 상기 노즐부(124)에 공급된 식각액은 상기 챔버(112)의 상부에 배치된 식각액 유입구(126)을 통하여 상기 챔버(112)을 충진하게 된다.
상기 챔버(112)에 충진된 식각액에 기판 조립체(115)가 침지된다. 상기 기판 조립체(115)를 지지하고 이동시키는 이동수단(120)은 챔버(112) 외부의 이동수단 제어부(170)에 의해 그 작동이 제어된다.
한편, 상기 챔버(112) 내에 유입된 식각액이 참버(112)로부터 유출되기 위한 식각액 유입구(122)는 챔버(112)의 하부에 형성된다. 상기 식각액 유입구(122)는 상기 제 2 유동로(160)을 통하여 상기 식각액 저장조(140)에 연결되어 식각액의 순환 경로가 이루어진다.
도 5에는 도 4에 도시된 구조의 기판 슬림화 장치의 챔버부에서의 시각액의 유동 방향의 일례를 도시하는 도면이다.
도 5를 참조하면, 챔버가 식각액(180)으로 충진되어 있고 상기 기판 조립체(115)는 상기 식각액(180)에 침지되어 있다. 이 상태에서 노즐부(124)를 지나서 식각액이 식각액 유입구(126)를 통하여 챔버의 상부에서 유입되고 챔버의 하부에 형성된 식각액 유출구(122)를 통하여 챔버를 빠져나가게 된다. 따라서, 식각액은 전체적으로 챔버의 상부에서 하부로 유동하게 된다.
도 6은 식각액의 유동경로에 대한 다른 실시예를 도시하는 측면도이다.
도 6을 참조하면, 기판 슬림화 장치(200)의 챔버의 하부에 식각액 유입구(222)가 형성되고 챔버의 상부에 식각액 유출구(290)가 형성되어 있다. 따라서, 식각액은 챔버의 하부로 유입되어 상승하여 챔버의 상부에서 챔버 외부로 빠져나가게 된다. 이때 상기 식각액 유출구(290)는 상기 식각액(280)의 수위 보다는 아래에 배치되게 된다. 즉, 식각액은 참버의 하부에서 상부로 유동하게 된다.
도 5와 도 6에 도시된 식각액 유동의 예에서, 식각액은 상기 챔버내에서 정상상태 유동(steady state flow)하게 된다. 따라서, 일정량으로 챔버내에 충진된 식각액은 계속된 식각액의 유입과 유출과정에서도 충진량이 일정하게 유지된다.
한편, 이러한 구조의 기판 슬림화 장치를 이용하여 기판을 식각할 경우, 식각될 기판을 식각액에 침지시키도록 챔버에 배치하는 단계와 상기 챔버내에서 식각액을 유동시키는 단계를 통하여 기판을 식각하게 된다. 챔버내에서 식각액을 유동시키는 경우 식각액의 유동 방향은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 챔버의 상부에서 하부로 유동될 수도 있고, 반대로 챔버의 하부에서 상부로 유동될 수도 있다.
도 7 및 도 8은 전술한 바와 같은 구조의 양면 식각 방식의 기판 슬림화 장치가 복수개로 구성되거나 단면 식각 방식의 기판 슬림화 장치가 복수개로 구성된 시판 슬림화 장치 조립체를 각각 도시한다.
도 7의 경우, 양면 식각 방식의 기판 슬림화 장치가 복수개로 병렬 배치된 기판 슬림화 장치 조립체(300)를 도시한다. 상기 기판 슬림화 장치 조립체(300)는 챔버에서 서로 이격되어 배치된 식각액 유입구(390)와 식각액 유출구(322)를 구비한 기판 슬림화 장치 내부에 식각될 기판(315)을 배치하고 이러한 구조를 복수개로 구비한다.
도 8의 경우, 전술한 구조의 양면 식각 방식의 기판 슬림화 장치와 기단의 일면만을 식각하는 단면 식각 방식의 기판 슬림화 장치가 병렬적으로 배치된 구조의 기판 슬림화 장치 조립체(400)를 도시한다.
도 8을 참조하면, 기판 슬림화 장치 조립체(400)는, 식각될 제 1 기판(415)을 수용하는 제 1 챔버(412)와, 상기 제 1 챔버(412) 내에 서로 이격되어 배치되는 식각액 유입구(490) 및 식각액 유출구(422)와, 상기 식각액 유입구와 상기 식각액 유출구에 연통되어 있는 식각액 저장조(미도시)를 포함하며, 식각되어질 상기 제 1 기판은 상기 챔버내에서 식각액에 침지되어 양면이 식각되는 양면 식각 기판 슬림화 장치을 포함하고 있다. 또한, 기판 슬림화 장치 조립체(400)는 이러한 양면 식각 기판 슬림화 장치와 함께 단면 식각 기판 슬림화 장치도 구비한다. 단면 식각 기판 슬림화 장치는 식각될 제 2 기판(420)을 지지하는 지지플레이트(410)와, 상기 지지플레이트를 수용하는 제 2 챔버(432)와, 상기 제 2 기판에 식각액을 유동시키는 분사 노즐(440)을 포함한다. 여기서, 상기 지지플레이트가 경사지게 배치되어 상기 지지플레이트에 지지된 제 2 기판을 경사지게 배향하여 상기 제 2 기판은 상기 챔버내에서 식각액에 의해 일면이 식각된다.
따라서, 도 8에 도시된 이러한 기판 슬림화 장치 조립체(400)에서는 필요에 따라 양면 식각과 단면 식각을 동시에 진행할 수 있게 된다.
전술한 기판 슬림화 장치, 기판 슬림화 방법 및 기판 슬림화 장치 조립체의 구체적 구성을 예시적으로 설명되었으며, 청구범위에 기재된 보호범위를 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변형례도 본원 발명의 범위에 포함된다.
본 발명은 기판 식각하여 슬림화하는 기술분야에 이용될 수 있다.
도 1은 종래의 유리기판 슬리밍 장치에 대한 개략적인 측단면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 슬림화 장치의 개략적인 모식도이다.
도 3은 도 2의 기판 슬림화 장치의 식각 챔버에 대한 부분 확대 사시도이다.
도 4는 도 3의 식각 챔버를 측면에서 본 경우의 개략적인 모식도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 슬림화 장치에서의 식각 과정을 설명하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 슬림화 장치에서의 식각 과정을 설명하는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 슬림화 장치를 구비한 기판 슬리밍 시스템의 일례를 개략적으로 도시하는 모식도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 슬림화 장치와 종래의 경사형 기판 슬림화 장치를 구비한 기판 슬리밍 시스템의 또다른 예를 개략적으로 도시하는 모식도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100: 기판 슬림화 장치 110: 챔버부
112: 식각 챔버 114: 기판
115: 기판 조립체 116: 프레임
118: 지지대 120: 이동수단
122: 식각액 유출구 124: 노즐부
126: 식각약 유입구 140: 식각액 저장조
150: 제 1 유동로 152: 제 1 펌프
160: 제 2 유동로 162: 제 2 펌프

Claims (14)

  1. 식각될 기판을 수용하는 챔버;
    상기 챔버내에 서로 이격되어 배치되는 식각액 유입구 및 식각액 유출구
    상기 식각액 유입구와 상기 식각액 유출구에 연통되어 있는 식각액 저장조를 포함하며,
    식각되어질 상기 기판은 상기 챔버내에서 식각액에 침지되어 식각되는 것을 특징으로 하는 기판 슬리화 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판의 양면은 동시에 식각되는 것을 특징으로 하는 기판 슬림화 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 챔버내에서 세워져 배치되는 것을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 슬림화 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판을 지지하여 이동시키는 이동수단을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 슬림화 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 기판의 모서리를 둘러싸는 프레임을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 슬림화 장치
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 식각액 유입구는 상기 챔버의 상부에 배치되고 상기 식각액 유출구는 상기 챔버의 하부에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 슬림화 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 식각액은 챔버의 상부에서 하부로 유동하는 것을 특징으로 하는 기판 슬림화 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 식각액 유입구는 상기 챔버의 하부에 배치되고 상기 식각액 유출구는 상기 챔버의 상부에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 슬림화 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 식각액은 상기 챔버의 하부에서 상부로 유동하는 것을 특징으로 하는 기판 슬림화 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 식각액은 상기 챔버내에서 정상상태 유동(steady state flow)하는 것을 특징으로 하는 기판 슬림화 장치.
  11. 식각될 기판을 식각액에 침지시키도록 챔버에 배치하는 단계;
    상기 챔버내에서 식각액을 유동시키는 단계를 포함하는 기판 슬림화 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 챔버는 식각액이 통과하는 유입구와 유출구를 구비하여 상기 식각액은 상기 챔버의 상부에서 상기 챔버의 하부로 유동하는 것을 특징으로 하는 기판 슬림화 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 챔버는 상기 식각액이 통과하는 유입구와 유출구를 구비하여, 상기 식각액은 상기 챔버의 하부에서 상기 챔버의 상부로 유동하는 것을 특징으로하는 기판 슬림화 방법.
  14. 식각될 제 1 기판을 수용하는 제 1 챔버와, 상기 챔버 내에 서로 이격되어 배치되는 식각액 유입구 및 식각액 유출구와, 상기 식각약 유입구와 상기 식각액 유출구에 연통되어 있는 식각액 저장조를 포함하며, 식각되어질 상기 제 1 기판은 상기 챔버내에서 식각액에 침지되어 양면이 식각되는 양면 식각 기판 슬림화 장치와;
    식각될 제 2 기판을 지지하는 지지플레이트와, 상기 지지플레이트를 수용하는 제 2 챔버와, 상기 제 2 기판에 식각액을 유동시키는 분사 노즐을 포함하며, 상기 지지플레이트가 경사지게 배치되어 상기 지지플레이트에 지지된 제 2 기판을 경사지게 배향하여 상기 제 2 기판은 상기 챔버내에서 식각액에 의해 일면이 식각되는 단면 식각 기판 슬림화 장치;를 포함하는 기판 슬림화 조립체.
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