JP2013162119A - 基板エッチング装置 - Google Patents

Abstract

【課題】カセット上の複数の基板を上部からエッチング液を噴射するメンテナンスが容易な噴射手段を備えた基板エッチング装置を提供する。
【解決手段】基板エッチング装置は、エッチングチャンバー３０と、前記エッチングチャンバー３０内に配置された複数の基板１を垂直に載置したカセット２０と、前記カセット２０の上部でエッチング液を噴射噴射手段１０とを含み、前記噴射手段１０は４本のフレーム管１３は四角形状に水平に配置され、外部からエッチング液が供給されるフレーム供給管１３と、互いに対向するフレーム管１３ｂを前記エッチングチャンバー３０の内壁に安着させる支持バー３１と、対向する前記フレーム管１３に両端が連通するように結合され、前記フレーム供給管１３からエッチング液が供給され、前記基板１にエッチング液を噴射する複数の噴射モジュール１１とを備えたことを特徴とする。
【選択図】図３

Description

本発明は、基板エッチング装置に関し、特に、垂直に載置される複数の基板に対して上部下向き方式でエッチング液を噴射し、前記基板の表面に沿ってエッチング液を流すことにより、基板の厚さをスリム化することができ、前記垂直に載置される複数の基板に対してエッチング液を噴射する噴射手段を、エッチングチャンバー内で引き出し可能に配置することにより、メンテナンスを容易にし、前記噴射手段を構成する複数の噴射モジュールに装着されるノズルの結合位置を改善することで、ノズルバーの内部にスラッジが蓄積するのを防ぐことができる基板エッチング装置に関する。

近年、半導体、ディスプレイ装備業界の発展と軽薄短小化製品を望む消費者の要求に応じて、ガラス自体又はガラス合着形態で製造されたディスプレイパネルの薄型化技術の開発が要望されている。

即ち、ＬＣＤの基板などに用いられるグラスの厚さは、機器の薄型化の流れに合わせて超薄型化が要求されており、このような薄型化技術は、ディスプレイパネルのエッチングにより左右される。従来、化学的エッチング方法を用いたパネルの薄型化技術としては、沈積法(Ｄｉｐ)、噴射法(Ｓｐｒａｙ)などがある。

しかし、このような構造のエッチング方法は、外部で必然的にエッチング液を噴射するか、もしくは浸漬を行い、エッチングのためのバブルを提供しなければならないので、エッチング面に微細なパーティクルやスクラッチが発生し、精密なガラスエッチング及びそれによる薄型化工程の実現が難しいという欠点があった。

これを解決するために、本出願人は、２０１０年２月２３日に「上部下向き噴射式の基板エッチング装置」(大韓民国特願１０−２０１０−００１６０７８号）を特許出願して現在特許登録されている状態である。

前記韓国登録特許の「上部下向き噴射式の基板エッチング装置」は、噴射部材を用いてカセットに載置されている複数の基板にエッチング液を噴射する。具体的には、図１に示すように、少なくとも１つの基板が垂直方向に載置されるカセット２０と、前記カセット２０の上方に配置され、前記カセット２０に垂直方向に載置されている基板に対してエッチング液を噴射する噴射手段１０とを含んで構成されている。

このように、前記基板を垂直方向に載置した後、前記基板の上方でエッチング液を噴射することにより、前記エッチング液が前記基板に噴射され、噴射されたエッチング液が自重によって落下することから、前記基板の両面がエッチングされる。

ここで、前記噴射部材１０は、エッチングチャンバー上側に配置され、前記カセット２０は、前記エッチングチャンバー内に配置され、前記噴射手段１０の下側に位置する。このような配置構造において、前記噴射手段１０は、前記カセット２０に載置された複数の基板に対して垂直下向き方式でエッチング液を噴射する。

前記噴射手段１０は定期的に作業者により掃除作業が行われるが、上記のような構造において、前記噴射手段１０は、前記エッチングチャンバーの内部に固定配置されるため、前記噴射手段１０の掃除など維持管理のためには、作業者がやむを得ず前記エッチングチャンバー内に入らなければならない場合も発生し、前記エッチングチャンバー内に作業者が入らず掃除をするためには、かなり面倒で複雑な過程を経なければならないという問題点がある。

なお、図２に示すように、従来の一般的な噴射手段１０に適用される噴射モジュール１１は、ノズルバー１１ａに形成された噴射孔１１ａ'にノズル１１ｂが結合されて構成される。

ところで、図２に示すように、前記ノズルバー１１ａの外径と内径間の厚さが薄いため、前記噴射孔１１ａ'に前記ノズル１１ｂが結合されると、前記ノズルバー１１ａの内部に前記ノズル１１ｂの結合部位が突出することになる。

それにより、前記ノズルバー１１ａの内部にエッチング液を供給して前記ノズル１１ｂによりエッチング液を噴射する過程で、前記エッチング液は、継続的に前記ノズルバー１１ａの内部に突出したノズル１１ｂの結合部位に当たることになり、前記ノズルバー１１ａの内部に突出したノズル１１ｂの結合部位の周りのエッチング液の流れが弱くなるため、前記ノズルバー１１ａの内部に突出したノズル１１ｂの結合部位にスラッジが蓄積する問題が生じる。

大韓民国特願１０−２０１０−００１６０７８号

本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、垂直に載置される複数の基板に対して上部下向き方式でエッチング液を噴射し、前記基板の表面に沿ってエッチング液を流すことにより、基板の厚さをスリム化することができ、前記垂直に載置される複数の基板に対してエッチング液を噴射する噴射手段をエッチングチャンバー内で引き出し可能に配置することにより、メンテナンスを容易にし、前記噴射手段を構成する複数の噴射モジュールに装着されるノズルの結合位置を改善することで、ノズルバーの内部にスラッジが蓄積するのを防ぐことができる基板エッチング装置を提供することを目的とする。

上記のような課題を解決するためになされた本発明の基板エッチング装置の構成手段は、基板エッチング装置において、エッチングチャンバーと、少なくとも１つの基板を垂直に載置した状態で前記エッチングチャンバー内に配置されるカセットと、前記カセットの上部でエッチング液を噴射するために、前記エッチングチャンバー内に配置される噴射手段とを含んで構成され、
前記噴射手段は、前記エッチングチャンバー内で４本のフレーム管が互いに結合して形成され、四角形状に水平に配置され、外部からエッチング液が供給されるフレーム供給管と、前記フレーム供給管を構成する４本のフレーム管のうち、互いに対向するフレーム管をそれぞれ支持して前記エッチングチャンバーの内壁に安着させる支持バーと、前記フレーム供給管を構成する４本のフレーム管のうち、互いに対向するフレーム管に両端がそれぞれ連通するように結合され、前記フレーム供給管からエッチング液が供給され、前記基板にエッチング液を噴射する複数の噴射モジュールとを含んで構成されることを特徴とする。

ここで、前記支持バーは、前記エッチングチャンバーの内壁に固定結合されることを特徴とする。

なお、前記支持バーは、前記噴射手段が前記エッチングチャンバーの側壁に形成される装脱着ドアを通じて引き出しが可能なように、前記エッチングチャンバーの内壁に摺動可能に結合されることを特徴とする。

ここで、前記支持バーの下端には、スライダーが備えられ、前記エッチングチャンバーの内壁には、前記スライダーの水平移動を可能にするガイドが形成されることを特徴とする。

なお、前記噴射モジュールは、前記支持バーにより支持されて安着される前記互いに対向するフレーム管以外の他の互いに対向するフレーム管に結合されることを特徴とする。

ここで、前記噴射モジュールは、前記互いに対向するフレーム管にそれぞれ形成された締結具に両端がそれぞれ結合され、長さ方向に一列に互いに離隔されて形成される複数の噴射孔を備えるノズルバーと、前記ノズルバーの長さ方向に付着され、前記複数の噴射孔とそれぞれ垂直に連通する複数のノズル結合孔を備えるノズル結合板と、前記ノズル結合孔に結合され、前記噴射孔を通じて出るエッチング液を前記基板に噴射するノズルとを含んで構成されることを特徴とする。

ここで、前記ノズル結合孔に結合される前記ノズルの上端は、前記噴射孔の位置よりも下方に位置することを特徴とする。

上記のような課題及び解決手段を有する本発明の基板エッチング装置によれば、垂直に載置される複数の基板に対して上部下向き方式でエッチング液を噴射し、前記基板の表面に沿ってエッチング液を流すことにより、基板の厚さをスリム化することができ、前記垂直に載置される複数の基板に対してエッチング液を噴射する噴射手段をエッチングチャンバー内に引き出し可能に配置するので、メンテナンスが容易であり、前記噴射手段を構成する複数の噴射モジュールに装着されるノズルの結合位置を改善し、ノズルバーの内部にスラッジが蓄積するのを防ぐことができる利点がある。

従来の上部下向き方式の基板エッチング装置の概略図である。 従来の上部下向き方式の基板エッチング装置に適用される噴射モジュールの詳細図である。 本発明の実施例による基板エッチング装置の斜視図である。 本発明の実施例による基板エッチング装置に適用される噴射手段の第１の構成図である。 本発明の実施例による基板エッチング装置に適用される噴射手段の第２の構成図である。 本発明の実施例による基板エッチング装置に適用される噴射手段の摺動状態を示す概略図である。 本発明の実施例による基板エッチング装置に適用される噴射手段に含まれる噴射モジュールの分離斜視図である。 本発明の実施例による基板エッチング装置に適用される噴射手段に含まれる噴射モジュールの結合図及び部分詳細図である。

以下、添付の図面を参照して上記のような課題、解決手段と効果を有する本発明の基板エッチング装置に関する望ましい実施例について詳しく説明する。

但し、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。

図３は、本発明の実施例による基板エッチング装置の斜視図である。図３に示すように、本発明の実施例による基板エッチング装置は、エッチングチャンバー３０と、前記エッチングチャンバー３０内に配置されるカセット２０と、前記エッチングチャンバー３０内に配置され、前記カセット２０の上部に配置される噴射手段１０とを含んで構成される。

前記エッチングチャンバー３０は、前記カセット２０に載置される基板に対してエッチング工程又はスリム化工程を行う空間である。前記エッチングチャンバー３０は、独立して構成しても良く、ロード/アンロードチャンバー(図示せず)及び水洗チャンバー(図示せず)とインラインで連結されて基板に対して様々な工程を行っても良い。

前記エッチングチャンバー３０が、前記ロード/アンロードチャンバー及び水洗チャンバーとインラインで連結される場合には、前記水洗チャンバー又はロード/アンロードチャンバーと連結される部分に、前記カセット２０の出入りが可能な開閉ドアが形成される。

なお、後述するが、前記エッチングチャンバー３０には、前記噴射手段１０をエッチングチャンバー３０の外部へ引き出すことができるように、所定形状の装脱着ドア(図６に符号３３で表する)が形成されている。前記装脱着ドア３３により前記噴射手段１０を外部に引き出すことにより、前記噴射手段１０のメンテナンス作業を容易にすることができる。

前記エッチングチャンバー３０の内部には、前記カセット２０と前記噴射手段１０とが配置されている。具体的には、前記エッチングチャンバー３０の内部底面には前記カセット２０が、前記カセット２０の上方には前記噴射手段１０が配置されている。

前記カセット２０は、エッチング工程が行われる基板を載置するために、様々な構造で形成できる。但し、前記カセット２０は、少なくとも１つの基板を垂直に載置することが可能な構造を有する。このように前記カセット２０が少なくとも１つの基板を垂直方向に載置する理由は、カセットの上部に配置される前記噴射手段１０から噴射されるエッチング液が前記基板１に噴射され、基板に噴射された前記エッチング液が自重によって落下し、前記基板１がエッチングされるようにするためである。

したがって、前記カセットは、複数の基板１を垂直方向に載置できる構造からなり、さらに複数のチャンバーで構成されている場合(前記エッチングチャンバー３０がロード/アンロードチャンバー及び水洗チャンバーとインラインで連結されて構成される場合)、前記チャンバー間を移動できるように構成される。例えば、前記カセット２０の下部面に輪が形成され、チャンバーの底面にレールが形成されると、前記カセット２０に駆動力を提供することで、前記カセットはチャンバー間を移動できるようになる。

上記のように、少なくとも１つの基板を垂直に載置した状態で、前記エッチングチャンバー３０内に配置されるカセット２０の上方には噴射手段１０が配置される。前記噴射手段１０は、前記カセット２０の上部でエッチング液を噴射できるように構成されて配置される。

前記噴射手段１０は、前記カセット２０上側で前記カセットに載置されている複数の基板に対してエッチング液を噴射できる構造であれば特に制限されない。本発明では、製作及び構造が簡易であり、スラッジへの影響を少なく受け、メンテナンスが容易な噴射手段１０の構造について説明する。

本発明に係る噴射手段１０の構成は、図４および図５に示す通りである。図４では、本発明に係る噴射手段１０が前記エッチングチャンバー３０内に固定された構造を示し、図５では、本発明に係る噴射手段１０が前記エッチングチャンバー３０内で水平方向に移動が可能であり、外部に引き出すことができる構造を示す。

図４および図５に示すように、前記噴射手段１０は、前記エッチングチャンバー３０内で４本のフレーム管１３ａ、１３ｂが互いに結合されて形成され、四角形状に水平に配置され、外部からエッチング液が供給されるフレーム供給管１３と、前記フレーム供給管１３を構成する４本のフレーム管のうち、互いに対向するフレーム管をそれぞれ支持して前記エッチングチャンバー３０の内壁に安着させる支持バー１５と、前記フレーム供給管１３を構成する４本のフレーム管のうち、互いに対向するフレーム管に両端がそれぞれ連通するように結合され、前記フレーム供給管１３からエッチング液が供給され、前記基板１にエッチング液を噴射する複数の噴射モジュール１１とを含んで構成される。

前記フレーム供給管１３は、図４および図５に示すように、前記エッチングチャンバー３０の４つの壁面にそれぞれ平行に配置される４本のフレーム管１３ａ、１３ｂが互いに連結されて構成される。前記４本のフレーム管１３ａ、１３ｂが互いに連結されて四角形状のフレーム供給管１３を形成し、前記エッチングチャンバー３０内で水平に配置される。

即ち、前記フレーム供給管１３は、互いに対向する２本のフレーム管が対になって第１対フレーム管１３ａを構成し、前記第１対フレーム管１３ａ以外の他の互いに対向する２本のフレーム管が対になって第２対フレーム管１３ｂを構成する。

前記フレーム供給管１３は、内部にエッチング液が満たされ、エッチング液の流動空間を形成している四角形状のパイプと類似する。そして、前記フレーム供給管１３は、前記エッチングチャンバー３０の外部からエッチング液が供給される。

具体的に、前記エッチングチャンバー３０の外部に配置されるエッチング液タンク(図示せず)内のエッチング液は、エッチング液供給ポンプ(図示せず)をポンピングすることから、前記フレーム供給管１３に供給される。前記フレーム供給管１３には、互いに対向するように配置され、前記外部から供給されるエッチング液が流入されて、前記フレーム供給管１３に案内するエッチング液流入管１３ｄが形成されている。

即ち、図４および図５に示すように、前記エッチング液流入管１３ｄは、前記第１対フレーム管１３ａ又は第２対フレーム管１３ｂを構成する互いに対向するフレーム管にそれぞれ一端が連結され、外部から供給されるエッチング液が流入されて前記フレーム供給管１３に案内する。前記エッチング液流入管１３ｄの他端は、前記エッチングチャンバー３０の外部に配置されるエッチング液供給ポンプに連結されるエッチング液配送管(図示せず)と連結される。それにより、前記エッチング液供給ポンプによりポンピングされるエッチング液は、前記エッチング液配送管を通じて前記エッチング液流入管１３ｄに供給され、前記エッチング液流入管１３ｄに供給される前記エッチング液は、前記フレーム供給管１３に案内される。このように前記フレーム供給管１３に案内されるエッチング液は、前記フレーム供給管１３に連通して連結される噴射モジュール１１に分岐して供給される。

前記フレーム供給管１３は、前記エッチングチャンバー３０の上側に水平に配置されるため、前記エッチングチャンバー３０に安定して連結及び装着する必要がある。これのために、前記支持バー１５は、前記フレーム供給管１３を構成する４本のフレーム管のうち、互いに対向する２本のフレーム管をそれぞれ支持して前記エッチングチャンバー３０の内壁に安着させる。

具体的に、前記支持バー１５は、前記第１対フレーム管１３ａ又は第２対フレーム管１３ｂを構成する互いに対向する２本のフレーム管のそれぞれを支持し、前記エッチングチャンバー３０の内壁に安着させる。後述するが、前記フレーム供給管１３を安着及び支持する前記支持バー１５は、前記エッチングチャンバー３０の内壁に固定結合されたり(図４に示す構造)、摺動可能に結合される(図５に示す構造)。

前記支持バー１５により支持及び安着される前記フレーム供給管１３を上述したように、前記エッチング液の供給を受けて前記噴射モジュール１１に分岐して供給する。これのために、前記噴射モジュール１１は、図４および図５に示すように、複数で構成され、前記フレーム供給管１３にそれぞれ連通するように結合される。

具体的に、前記複数の噴射モジュール１１のそれぞれは、前記フレーム供給管１３を構成する４本のフレーム管のうち、互いに対向して配置される２本のフレーム管に両端がそれぞれ連通するように結合され、前記フレーム供給管１３からエッチング液が供給され、前記カセット２０に垂直方向に載置されている複数の基板に噴射するように配置される。

前記それぞれの噴射モジュール１１は、図４および図５に示すように、前記互いに対向するように配置される２本のフレーム管にそれぞれ対向して形成されている締結具１３ｃに両端がそれぞれ締結される。図４および図５では、第２対フレーム管１３ｂを構成する互いに対向するフレーム管にそれぞれ前記締結具１３ｃが形成されていることを例示している。即ち、互いに対向するフレーム管のそれぞれには、水平方向に一列に複数の締結具１３ｃが形成され、各フレーム管に形成される締結具１３ｃは、互いに対応して対向するように形成される。そして、互いに対応して対向するように形成される両側の締結具１３ｃに、前記噴射モジュール１１の両端がそれぞれ締結される。

したがって、前記フレーム供給管１３内のエッチング液は、各噴射モジュール１１に分岐して供給されると同時に、各噴射モジュール１１の両端を通じて供給される。即ち、後述するが、前記各噴射モジュール１１は、両端から流入されるエッチング液を下方に配置される基板に噴射する。前記噴射モジュール１１の具体的な構造については後述する。

以上で説明したように、前記噴射モジュール１１は、前記フレーム供給管１３に形成されている締結具１３ｃにより両端が連通するように結合されるので、前記エッチング液流入管１３ｄを通じて流入される前記エッチング液は、前記フレーム供給管１３を通って直に前記噴射モジュール１１に供給され、前記基板に噴射される。

即ち、前記噴射モジュール１１のそれぞれに１対１でエッチング液配送管(図示せず)が連結され、複雑な構造により前記エッチング液を基板に噴射せず、１つのエッチング液配送管にエッチング液を供給し、このエッチング液は、エッチング液流入管１３ｄと１つのフレーム供給管１３を通じて複数の噴射モジュール１１に供給されるようにすることで、簡単な構造により前記複数の基板にエッチング液が噴射されるようにする。

以上で説明した噴射手段１０は、上述のように、前記エッチングチャンバー３０の内壁に安着及び支持される。具体的は、前記噴射手段１０を構成する支持バー１５が前記エッチングチャンバー３０の内壁に安着及び結合されることにより、前記噴射手段１０は、前記エッチングチャンバー３０の内壁に安着及び支持されるように配置される。

上記のように、前記支持バー１５が前記エッチングチャンバー３０の内壁に安着及び結合されるように、図４および図５に示すように、前記エッチングチャンバー３０の互いに対向する内壁のそれぞれには水平方向に突出して形成される安着部３１が形成されている。

前記支持バー１５は、前記エッチングチャンバー３０の内壁の安着部３１に完全に固定結合されるか、もしくは摺動するように結合される。即ち、図４に示すように、前記支持バー１５が前記エッチングチャンバー３０の安着部３１に固定結合されるか、もしくは図５に示すように、摺動可能に結合することができる。

前記支持バー１５は、図４に示すように、前記エッチングチャンバー３０の内壁に固定結合されても良いが、前記噴射手段１０のメンテナンスを容易にするために摺動が可能なように結合されることがより望ましい。

即ち、前記支持バー１５は、図５及び図６に示すように、前記噴射手段１０が、前記エッチングチャンバー３０の側壁に形成される装脱着ドア３３を通じて引き出しが可能なように、前記エッチングチャンバー３０の内壁に摺動可能に結合されることがより望ましい。

具体的には、前記支持バー１５の下端には、スライダー１７が備えられ、前記エッチングチャンバー３０の内壁に形成される安着部３１上には、前記スライダー１７の水平移動を可能にするガイド１９が形成される。それにより、前記支持バー１５によって安着及び支持される前記噴射手段１０が、前記エッチングチャンバー３０の内壁に形成される安着部３１上で摺動するように構成することができる。

前記噴射手段１０が、前記エッチングチャンバー３０の外部に引き出されるように、前記エッチングチャンバー３０の側壁には、図６に示すように、所定形状の装脱着ドア３３が形成されている。したがって、前記装脱着ドア３３を開放した後、作業者が前記フレーム供給管１３を直接手で又は器具を用いて外部に引っ張ることにより、前記噴射手段１０を、図６に示すように、前記エッチングチャンバー３０の外部に引き出すことができる。

前記装脱着ドア３３の形状は、前記噴射手段１０を外部に引き出し可能にするものであれば特に制限されない。例えば、図６に示すように、前記フレーム供給管１３にエッチング液流入管１３ｄが結合された状態で、前記噴射手段１０を外部に引き出すように設計された場合には、「ｎ」字型に前記装脱着ドア３３を形成することができる。この際、前記エッチング液流入管１３ｄの他端とエッチング液供給ポンプ(図示せず)に連結されるエッチング液配送管(図示せず)は、前記噴射手段１０の外部への引き出し前に分離されるため、前記噴射手段１０の外部への引き出しには邪魔にならない。

このように、前記噴射手段１０は、エッチングチャンバー３０の外部に容易に引き出されるので、作業者の安全を図ることができ、噴射手段１０の分離によりメンテナンス作業を容易に行うことができる。

一方、前記噴射手段１０のメンテナンス作業が終了すると、前記噴射手段１０を正常的に結合した後、再度前記エッチングチャンバー３０の内部に押し込むことにより、元の状態に復帰させることができる。この際、前記装脱着ドア３３は、オーリングと蓋を使用して閉鎖させる。

以上で説明したように、本発明に係る基板エッチング装置は、基板に対してエッチング液を噴射する噴射手段１０の構造を単純化させ、噴射手段１０のメンテナンスを容易にするという利点を有する。

一方、本発明に係る噴射手段１０を構成する複数の噴射モジュール１１は、上述のように、互いに対向する２本のフレーム管１３ａ又は１３ｂのそれぞれに両端が１つずつ締結されて結合される。前記噴射モジュール１１は、前記支持バー１５により支持及び安着されるフレーム管に締結されても良いが、前記支持バー１５により支持及び安着されるフレーム管以外の他のフレーム管に締結されることが、配置構造上望ましい。

即ち、前記噴射モジュール１１は、前記支持バー１５により支持及び安着される前記互いに対向するフレーム管以外の互いに対向するフレーム管に結合されることが望ましい。例えば、図４および図５に示すように、前記フレーム供給管１３を構成する第１対フレーム管１３ａは、前記支持バー１５により支持及び安着され、前記噴射モジュール１１は、前記第１対フレーム管１３ａ以外の他のフレーム管に該当する第２対フレーム管１３ｂに締結されることが、配置の容易性を考慮して望ましい。

本発明に適用される前記噴射モジュール１１は、従来の一般的な噴射モジュールとは異なる構造からなっている。即ち、本発明に適用される前記噴射モジュール１１は、スラッジの蓄積現象を最小化させる構造からなっている。

具体的は、図７及び図８に示すように、本発明に適用される前記噴射モジュール１１は、前記互いに対向するフレーム管にそれぞれ形成された締結具１３ｃに両端がそれぞれ結合され、長さ方向に一列に互いに離隔されて形成される複数の噴射孔１１ａ'を備えるノズルバー１１ａと、前記ノズルバー１１ａの長さ方向に付着され、前記複数の噴射孔１１ａ'とそれぞれ垂直に連通する複数のノズル結合孔１１ｃ'を備えるノズル結合板１１ｃと、前記ノズル結合孔１１ｃ'に結合され、前記噴射孔１１ａ'を通じて出るエッチング液を前記基板に噴射するノズル１１ｂとを含んで構成される。

前記ノズルバー１１ａは、一般的な噴射モジュール１１のノズルバーと略同一に形成されている。即ち、エッチング液に耐えられる材質からなるパイプ形状である。但し、本発明に係る前記ノズルバー１１ａは、一端ではない、両端が前記フレーム供給管１３に連結されるため、両端に、それぞれ前記フレーム供給管１３に連結される締結具１３ｃに締結される結合具１１ａ''が形成されている。したがって、前記ノズルバー１１ａの両端をそれぞれ前記締結具１３ｃに接触させた後、前記結合具１１ａ''を回転させることで、前記結合具１１ａ''を前記締結具１３ｃに螺合させて前記ノズルバー１１ａを固定させることができる。

なお、前記ノズルバー１１ａの長さ方向に所定間隔で離隔されて形成される複数の噴射孔１１ａ'は、前記ノズル１１ｂが螺合される既存のノズルバーとは異なり、前記ノズル１１ｂが螺合される部分ではなく、単純にエッチング液を前記ノズル１１ｂに案内する通路の役割を遂行する。

前記ノズルバー１１ａに付着結合される前記ノズル結合板１１ｃは、前記噴射孔１１ａ'が形成されている前記ノズルバー１１ａの長さ方向に長く付着される。そして、前記ノズル結合板１１ｃには複数のノズル結合孔１１ｃ'が形成されており、このノズル結合孔１１ｃ'が前記噴射孔１１ａ'に垂直に連通されるように、前記ノズル結合板を前記ノズルバーに結合する。即ち、前記ノズル結合孔１１ｃ'の個数及び相互離隔距離は、前記噴射孔１１ａ'の個数及び相互離隔距離と同一である。

前記ノズル結合孔１１ｃ'は、前記ノズル１１ｂが結合される部分である。即ち、前記ノズル１１ｂは、前記ノズルバー１１aに螺合されるのではなく、新たに追加される前記ノズル結合板１１ｃに形成されるノズル結合孔１１ｃ'に螺合されて装着される。したがって、前記ノズル１１ｂは、前記ノズル結合孔１１ｃ’に結合され、前記噴射孔を通じて出るエッチング液を前記基板に噴射する。

前記ノズル１１ｂが前記ノズル結合板１１ｃのノズル結合孔１１ｃ'に結合されるので、図８に示すように、前記ノズル結合孔１１ｃ'に結合される前記ノズル１１ｂの上端１１ｂ'は、前記噴射孔１１ａ'の位置より下方に位置するようになる。即ち、前記ノズル１１ｂの上端１１ｂ'は、前記ノズルバー１１ａの内部に突出しない。したがって、従来の噴射モジュールとは異なり、本発明に係る噴射モジュールは、前記ノズルバー１１ａの内部にスラッジが蓄積するのを防ぐことができる。

結局、前記噴射モジュール１１の掃除の周期を延長させることができ、これにより、メンテナンスのための時間、コスト、および手間を低減することができる。また、前記ノズルバーに蓄積するスラッジが従来に比べ著しく少ないため、スラッジの除去が容易であり、スラッジの除去のための手間、時間及びコストがさらに低減するという利点がある。

１ 基板
１０ 噴射手段
１１ 噴射モジュール
１１ａ ノズルバー
１１ａ' 噴射孔
１１ａ'' 結合具
１１ｂ ノズル
１１ｂ' ノズルの上端
１１ｃ ノズル結合板
１１ｃ' ノズル結合孔
１３ フレーム供給管１３ａ
第１対フレーム管
１３ｂ 第２対フレーム管
１３ｃ 締結具
１３ｄ エッチング液流入管
１５ 支持バー
１７ スライダー
１９ ガイド
２０ カセット
３０ エッチングチャンバー
３１ エッチングチャンバー内壁の安着部
３３ エッチングチャンバーの装脱着ドア

Claims (7)

1. 基板エッチング装置において、
   エッチングチャンバーと、
   少なくとも１つの基板を垂直に載置した状態で前記エッチングチャンバー内に配置されるカセットと、
   前記カセットの上部でエッチング液を噴射するために、前記エッチングチャンバー内に配置される噴射手段と、を含んで構成され、
   前記噴射手段は、
   前記エッチングチャンバー内で４本のフレーム管が互いに結合して形成され、四角形状に水平に配置され、外部からエッチング液が供給されるフレーム供給管と、前記フレーム供給管を構成する４本のフレーム管のうち、互いに対向するフレーム管をそれぞれ支持して前記エッチングチャンバーの内壁に安着させる支持バーと、前記フレーム供給管を構成する４本のフレーム管のうち、互いに対向するフレーム管に両端がそれぞれ連通するように結合され、前記フレーム供給管からエッチング液が供給され、前記基板にエッチング液を噴射する複数の噴射モジュールとを含んで構成されることを特徴とする基板エッチング装置。
2. 前記支持バーは、前記エッチングチャンバーの内壁に固定結合されることを特徴とする請求項１に記載の基板エッチング装置。
3. 前記支持バーは、前記噴射手段が前記エッチングチャンバーの側壁に形成される装脱着ドアを通じて引き出しが可能なように、前記エッチングチャンバーの内壁に摺動可能に結合されることを特徴とする請求項１に記載の基板エッチング装置。
4. 前記支持バーの下端には、スライダーが備えられ、前記エッチングチャンバーの内壁には、前記スライダーの水平移動を可能にするガイドが形成されることを特徴とする請求項３に記載の基板エッチング装置。
5. 前記噴射モジュールは、前記支持バーにより支持及び安着される前記互いに対向するフレーム管以外の他の互いに対向するフレーム管に結合されることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の基板エッチング装置。
6. 前記噴射モジュールは、前記互いに対向するフレーム管にそれぞれ形成された締結具に両端がそれぞれ結合され、長さ方向に一列に互いに離隔されて形成される複数の噴射孔を備えるノズルバーと、前記ノズルバーの長さ方向に付着され、前記複数の噴射孔とそれぞれ垂直に連通する複数のノズル結合孔を備えるノズル結合板と、前記ノズル結合孔に結合され、前記噴射孔を通じて出るエッチング液を前記基板に噴射するノズルとを含んで構成されることを特徴とする請求項５に記載の基板エッチング装置。
7. 前記ノズル結合孔に結合される前記ノズルの上端は、前記噴射孔の位置より下方に位置することを特徴とする請求項６に記載の基板エッチング装置。