KR20130022936A - 유리기판 식각장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박판의 유리기판을 제조하기 위해 유리기판을 식각하는 유리기판 식각장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치는 유리기판을 식각액으로 식각하여 박판의 유리기판을 제조하는 유리기판 식각장치에 있어서, 상기 식각액을 분사하는 노즐이 복수 개가 구비된 분사부, 상기 분사부의 하부에 위치되어 상기 식각액에 의해 식각되는 복수 개의 상기 유리기판을 지지하고, 상기 유리기판의 중앙부분을 중심으로 회전가능하도록 회전축이 구비된 캐리어, 및 상기 회전축에 결합되어 상기 유리판이 상하반전되도록 상기 캐리어를 회전시키는 구동부를 포함한다. 따라서, 유리기판의 상부 및 하부의 편차 없이 균일한 두께의 박판의 유리기판을 제조할 수 있다.

Description

유리기판 식각장치{Etching apparatus of glass panel}
본 발명은 박판의 유리기판을 제조하기 위해 유리기판을 식각하는 유리기판 식각장치에 관한 것이다.
최근에는 디스플레이의 개발이 활발하게 진행되어 부피가 많이 차지하는 브라운관에서 벗어나 평판형의 액정 디스플레이(LED)로 교체되고 있다.
액정 디스플레이는 전력을 적게 소모하기 때문에 휴대기기 예컨대, 휴대폰, 노트북, PMP, 게임기뿐만 아니라 텔레비전과 모니터까지 널리 사용되고 있다.
이러한 액정 디스플레이는 정보가 표시되는 액정 면을 보호하기 위해 유리기판이 설치되는 데, 유리기판의 무게가 상대적으로 무거워 액정 디스플레이의 중량이 증대되는 문제점이 있었다.
이를 해결하기 위해 유리기판의 두께를 감소시켜 액정 디스플레이의 중량을 감소시킬 수 있는 한국등록특허 제10-0889949호(등록일자 2009.03.16)의 "하향식 기판 박형화장치 및 이를 이용한 박형화 시스템"와 같은 장치가 개시된 바가 있다.
상기한 종래의 하향식 기판 박형화 장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 적어도 1 이상의 기판(20)을 고정시키는 고정부(30); 상기 기판(20)의 수직 상부에 형성되며, 상기 기판(20)의 표면을 따라 에칭액을 흘려 내려주는 노즐부(10)를 포함하여 구성되었다.
이러한 구성의 하향식 기판 박형화 장치는 기판(20)을 에칭액으로 부식시켜 기판(20)의 두께를 감소시키는 형태로 기판(20)의 무게를 용이하게 감소시킬 수 있었다.
하지만, 종래의 하향식 기판 박형화 장치는 상부에서 에칭액을 분사시키는 형태로 기판(20)을 박형화하기 때문에 기판(20)이 상대적으로 크게 제작되는 경우, 에칭액이 기판(20)의 상부에서만 활발히 화학반응을 일으켜 기판(20)의 상부와 하부의 두께의 편차가 발생되는 문제점이 있었다.
또한, 에칭액에 혼합된 이물질에 의해 노즐부(10)가 막혀 에칭액이 고르게 분사되지 못함으로써, 기판의 두께가 불균일한 불량이 발생될 뿐만 아니라, 노즐부(10)의 고장을 유발하여 하향식 기판 박형화 장치의 내구성이 하락되는 문제점이 있었다.
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점들을 해결하기 위해 창출된 것으로서, 본 발명이 해결하기 위한 과제는 상부 및 하부 두께의 편차를 최소화하여 균일한 두께를 가지는 박판의 유리기판을 제조할 수 있으며, 유리기판을 세정할 수 있는 동시에 노즐의 막힘을 방지하여 내구성 향상 및 유리기판의 불량의 발생을 최소화할 수 있는 유리기판 식각장치를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치는 유리기판을 식각액으로 식각하여 박판의 유리기판을 제조하는 유리기판 식각장치에 있어서, 상기 식각액을 분사하는 노즐이 복수 개가 구비된 분사부, 상기 분사부의 하부에 위치되어 상기 식각액에 의해 식각되는 복수 개의 상기 유리기판을 지지하고, 상기 유리기판의 중앙부분을 중심으로 회전가능하도록 회전축이 구비된 캐리어, 및 상기 회전축에 결합되어 상기 유리판이 상하반전되도록 상기 캐리어를 회전시키는 구동부를 포함한다.
상기 분사부는 상기 분사부의 내부로 압축공기를 공급하여 상기 노즐에 끼인 이물질을 제거하는 압축공기 공급부를 더 포함할 수 있다.
상기 압축공기 공급부는 상기 압축공기의 압력이 주기적으로 변화되는 맥동식으로 상기 압축공기가 상기 분사부에 공급될 수 있다.
상기 캐리어는 한 쌍의 마주보도록 서로 이격되는 측판과, 상기 측판의 중앙부분에 결합되는 상기 회전축, 상기 복수 개의 유리판의 측면을 지지하고 상기 한 쌍의 측판을 서로 연결하는 연결대, 및 상기 측판의 상부 또는 하부 중 어느 한곳 또는 둘 모두에 탈착 가능하도록 결합되어 상기 유리판이 상기 캐리어에서 이탈되는 것을 방지하는 클램프를 포함할 수 있다.
상기 분사부의 하부 바닥에는 랙기어가 형성된 레일 설치되고, 상기 캐리어에는 상기 랙기어와 맞물리는 회전가능하게 결합되는 반송기어가 설치되어 상기 캐리어가 기어 맞물림에 의해 상기 레일을 따라 이동할 수 있다.
상기 구동부는 상기 구동부는 모터에 의해 회전하는 구동로더, 상기 구동로더를 상기 회전축이 위치되는 방향으로 수평이동시키는 수평이동부, 및 상기 구동로더를 상하 방향으로 수직이동시키는 수직이동부를 포함할 수 있다.
상기 구동부는 상기 수평이동부의 작동으로 상기 구동로더가 상기 회전축과 결합되도록 상기 회전축이 위치되는 방향으로 이동하는 단계, 상기 구동로드가 상기 회전축에 결합되면 상기 수직이동부가 작동하여 상기 캐리어를 상향 이동시키는 단계, 상기 캐리어가 상향이동되면 상기 구동로드가 회전하여 상기 캐리어가 상하 반전되도록 회전시키는 단계, 상기 캐리어가 회전하면 상기 수직이동부가 작동하여 상기 캐리어가 초기 위치로 복귀되도록 하향시키는 단계, 상기 캐리어가 하향되면 상기 수평이동부가 작동하여 상기 구동로더를 상기 회전축에서 이탈시키는 단계로 순차적으로 동작할 수 있다.
본 발명에 따르면 유리기판이 수용되는 캐리어를 회전시킬 수 있기 때문에 유리기판의 상부 및 하부의 두께의 편차 없이 균일한 두께를 가지는 박판의 유리기판을 제조할 수 있다.
또한, 캐리어를 자동으로 회전시켜 캐리어를 회전시키기 위한 번거로움과 인건비를 감소시킬 수 있으며, 작업자가 유해한 식각액에 노출되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 분사부에 압축공기가 공급되어 이물질의 제거 및 유리기판을 제정할 수 있기 때문에 식각장치의 내구성 향상 및 노즐의 막힘으로 인해 제조되는 박판의 유리기판에서 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 캐리어가 기어 맞물림에 의해 반입되어 유리기판 식각장치의 내부로 반입되어 유리기판 식각장치의 내부 정확한 위치에 캐리어를 위치시킬 수 있다.
도 1은 종래의 하향식 기판 박형화 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치를 개략적으로 도시한 정면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치를 구성하는 캐리어를 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치를 구성하는 구동부의 작동순서를 개략적으로 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하도록 한다.
먼저, 본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치(100)는 예컨대, LED패널에 사용되는 TFT 유리기판을 제조하기 위해 대략 1.26mm의 두께를 가지는 유리기판을 식각액(유리기판을 식각할 수 있는 화학성분의 혼합액)으로 식각하여 대략 0.4mm 내지 0.6mm의 두께의 두께를 가지는 박판의 유리기판(200)을 제조할 수 있는 가공장치이다.
도 2 내지 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치(100)는 분사부(110)를 포함할 수 있다. 이 분사부(110)는 유리기판(200)을 식각할 수 있는 식각액을 분사시킬 수 있다.
한편, 분사부(110)는 복수 개의 식각액이 공급되는 공급관(111)이 나란하게 배치되고, 각각의 공급관(111)에는 식각액을 분사시키는 노즐(113)이 복수 개가 구비될 수 있다.
여기서, 실시예에서의 노즐(113)은 공급관(111)의 하부에 구비되어 식각액이 노즐(113)의 하부로 배출되도록 구성되지만, 측면에서 분사되거나 하부에서 분사되는 형태로도 구성될 수 있다.
그리고, 분사부(110)는 압축공기 공급부(139)를 포함할 수 있다. 이 압축공기 공급부(139)는 분사부(110)의 내부로 압축공기를 공급하여 분사부(110)의 공급관(111) 및 노즐(113)에 끼인 이물질 예컨대, 슬러지(sludge)를 제거할 수 있다.
즉, 압축공기 공급부(139)는 식각액에 혼입되는 슬러지가 공급관(111) 및 노즐(113)에 끼어 식각액의 분사를 방해할 수 있기 때문에 압축공기의 압력으로 공급관(111) 및 노즐(113)에 끼인 슬러지를 제거함으로써, 식각액이 용이하게 분사되도록 할 수 있다.
또한, 압축공기 공급부(139)는 압축공기를 노즐(113)을 통해 분사함으로써, 식각될 유리기판(200)을 세정할 수 있다.
여기서, 압축공기 공급부(139)는 공지된 컴프레서(compressor)로 구현될 수 있다.
그리고, 압축공기 공급부(139)는 압축공기를 분사부(110)에 맥동식으로 공급할 수 있다. 여기서, 맥동식이란 압축공기의 압력이 예컨대, 펄스파(pulse wave)와 같이 주기적으로 변화되는 것을 의미한다.
이렇게 압축공기가 맥동식으로 공급되면, 일정압력으로 압축공기를 주입하는 것보다 효과적으로 분사부(110)에 끼인 이물질을 제거할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치(100)는 캐리어(130)를 포함할 수 있다. 이 캐리어(130)는 식각액에 의해 식각될 복수 개의 유리기판(200)을 수용하여 한번에 복수 개의 유리기판(200)을 운반할 수 있다.
그리고, 캐리어(130)는 복수 개의 유리기판(200)이 탈착 가능하게 삽입되도록 구성될 수 있으며, 캐리어(130)는 공지된 식각장치의 카세트형태 또는 지그형태로도 구현될 수 있다.
여기서, 카세트형태는 복수 개의 유리기판(200)이 세워진 상태에서 마치, 공지된 카세트에 카세트를 끼우듯이 결합되는 형태의 구성을 의미하며, 지그형태는 복수 개의 유리기판(200)의 일측만 끼워져 고정되는 형태로 구성되는 것을 의미한다.
본 발명의 실시예에서의 캐리어(130)는 카세트형태인 것으로 설명한다.
한편, 캐리어(130)는 측판(131), 연결대(132) 및 클램프(135)를 포함할 수 있다. 측판(131)은 사각의 판의 형태로 바닥과 수직하게 한 쌍이 서로 이격되어 마주보도록 구비되며, 한 쌍의 측판(131)은 복수 개의 연결대(132)로 서로 연결될 수 있다.
이때, 연결대(132)는 막대형상으로 형성되어 유리기판(200)의 양측 단을 각각 지지하도록 한 쌍의 측판(131)의 양측 단에 복수 개가 나란하게 결합될 수 있다.
그리고, 연결대(132)에는 복수 개의 유리기판(200)이 각각 끼워질 수 있는 복수 개의 끼움홈(132a)이 일정 간격으로 형성될 수 있다.
클램프(135)는 막대형상으로 형성되어 한 쌍의 측판(131)의 하부 또는 상부 둘 중 어느 한 곳 또는 상부 및 하부 둘 모두를 각각 연결하도록 측판(131)에 탈착 가능하게 결합될 수 있다.
한편, 클램프(135)에는 캐리어(130)에 클램프(135)를 결합 시 복수 개의 유리기판(200)의 상단 또는 하단을 각각 지지하도록 각각의 유리기판(200)을 지지하는 복수 개의 지지구(136)가 일정간격 이격되는 형태로 구비될 수 있다.
그리고, 클램프(135)의 양단에는 측판(131)의 상단 또는 하단에 탈착 가능하게 결합될 수 있는 결합부(137)가 구비될 수 있다. 이 결합부(137)는 예컨대, 실시예에서와 같이, 클램프(135)의 양단에 탈착홈이 형성되고, 이 탈착홈에 측판(131)이 끼워지는 형태로 구성(도 5 참조)되거나 측판(131)의 상단 또는 하단에 안착홈이 형성되고, 클램프(135)의 양단에는 안착돌기가 형성되어 안착홈에 안착돌기가 끼워지는 형태로도 구성될 수 있다.
한편, 결합부(137)는 클램프(135)의 양단에 예컨대, 탈착 가능하게 결합할 수 있는 클립과 같은 부재가 결합되는 형태로도 구성되는 등 다양한 형태로 구성될 수 있기 때문에 결합부(137)의 구조를 한정하지는 않는다.
이렇게 구성된 캐리어(130)는 한 쌍의 측판(131)을 연결하여 캐리어(130)의 하부로 유리기판(200)이 이탈되지 않도록 측판(131)의 하단에 클램프(135)를 결합시키고, 연결대(132)에 형성된 끼움홈(132a)에 맞춰 복수 개의 유리기판(200)을 세워진 상태로 삽입하여 복수 개의 유리기판(200)을 한번에 운반할 수 있다.
이때, 한 쌍의 측판(131)의 상단 부분에도 클램프(135)를 결합하여 복수 개의 유리기판(200)이 캐리어(130)의 상부로 이탈되는 것을 방지할 수도 있지만, 식각액의 분사 시에는 상단 부분에 결합되는 클램프(135)는 제거되는 것이 바람직하다.
한편, 캐리어(130)에는 회전축(133)을 구비될 수 있다. 이 회전축(133)은 캐리어(130)에 세워진 상태로 삽입된 유리기판(200)의 중앙부분에 위치되는 가상의 가로축을 중심으로 유리기판(200)이 상하반전 즉, 180°로 회전 가능하도록 회전축(133)을 중심으로 캐리어(130)를 회전시킬 수 있다.
그리고 회전축(133)은 캐리어(130) 더 구체적으로는 한 쌍의 측판(131)의 외측으로 돌출되는 형태로 각각의 측판(131)에 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치(100)는 구동부(150)를 포함할 수 있다.
이 구동부(150)는 캐리어(130)에 구비된 회전축(133)을 중심으로 캐리어(130)를 회전시킬 수 있다.
한편, 구동부(150)는 구동로더(151)를 포함할 수 있다. 이 구동로더(151)는 모터에 의해 회전하며, 구동로더(151)에는 회전축(133)이 결합될 수 있는 축결합홈(153)이 형성될 수 있다.
그리고, 구동로더(151)는 한 쌍의 측판(131)에 구비된 각각의 회전축(133)에 각각 결합될 수 있도록 캐리어(130)의 양측에 각각 위치될 수 있으며, 캐리어(130)의 양측에 위치되는 구동로더(151)는 캐리어(130)의 중앙방향 즉, 회전축(133)과 결합하기 위해 회전축(133)이 위치된 방향으로 이동 및 양측으로 벌어지는 형태로 초기 위치로 복귀되도록 구성될 수 있다.
그리고, 구동부(150)는 수직이동부(미도시)와 수평이동부(미도시)를 포함할 수 있다. 이 수직이동부는 상기 구동로더(151)를 상하의 방향의 수직으로 이동시킬 수 있다. 예컨대, 수직이동부는 모터에 의해 회전하는 나사봉이 수직으로 배치되고, 이 나사봉과 구동로더(151)가 서로 나사체결되어 나사봉의 정회전 또는 역회전의 방향에 따라 구동로더(151)가 상향 또는 하향되도록 구성될 수 있다.
하지만, 수직이동부는 구동로더(151)를 수직으로 이동시킬 수 있는 다양한 형태의 구조 및 구성으로 구현될 수 있기 때문에 수직이동부의 구조 및 구성을 한정하지는 않는다.
수평이동부는 구동로더(151)를 수평방향 즉, 캐리어(130)와 일직선 상에 위치되는 구동로더(151)를 회전축(133)이 위치되는 방향의 수평방향으로 이동시킬 수 있다.
예컨대, 수평이동부는 모터에 의해 회전하는 나사봉이 수평으로 배치되고, 이 나사봉과 구동로더(151)가 서로 나사체결되어 나사봉의 정회전 또는 역회전의 방향에 따라 구동로더(151)가 캐리어(130)의 회전축(133) 방향으로 이동하여 회전축(133)에 결합되거나 그 반대방향으로 이동하여 회전축(133)에서 이탈되도록 구성될 수 있다.
하지만, 수평이동부는 구동로더(151)를 수평으로 이동시킬 수 있는 다양한 형태의 구조 및 구성으로 구현될 수 있기 때문에 수평이동부의 구조 및 구성을 한정하지는 않는다.
본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치(100)는 레일(170)과 반송기어(134)를 포함할 수 있다.
레일(170)은 캐리어(130)가 가이드되어 이동할 수 있는 것으로서, 분사부(110)의 하부 바닥에 나란하게 한 쌍이 설치될 수 있으며, 레일(170)의 상면에는 랙기어(171)가 형성될 수 있다.
그리고, 반송기어(134)는 캐리어(130)에 구비되어 캐리어(130)가 레일(170)에 형성된 랙기어(171)와 맞물려 캐리어(130)를 분사부(110)가 위치되는 방향으로 이동시킬 수 있다.
한편, 반송기어(134)는 캐리어(130) 더 구체적으로는 캐리어(130)의 한 쌍의 측판(131)의 외측으로 측판(131)의 네모서리 부분에 각각 회전가능하도록 설치될 수 있다.
이렇게 캐리어(130)의 반송기어(134)가 레일(170)과 맞물려 유리기판 식각장치(100)로 캐리어(130)가 반입 및 반출됨으로써, 캐리어(130)를 분사부(110)의 하부에 정확한 위치와, 캐리어(130)의 구비된 회전축(133)이 구동로더(151)의 위치가 정확히 일치되도록 캐리어(130)를 위치시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치(100)는 하우징(190)을 포함할 수 있다. 이 하우징(190)은 분사부(110)에서 분사되는 식각액이 외부로 유출되는 것을 방지하도록 분사부(110)와 캐리어(130)를 밀폐할 수 있다. 이때, 하우징(190)에는 캐리어(130)가 반입 및 반출되는 도어(미도시)가 설치될 수 있으며, 레일(170)은 하우징(190)의 바닥에 설치될 수 있다.
이상에서 설명한 각 구성 간의 작용과 효과를 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치(100)는 캐리어(130)의 하부로 유리기판(200)이 이탈되지 않도록 한 쌍의 측판(131)의 바닥부분을 연결하도록 클램프(135)를 체결한다. 이때, 클램프(135)의 결합부(137)가 측판(131)에 결합되어 견고하게 고정된다.
그리고, 한 쌍의 측판(131) 사이에 복수 개의 유리판이 마주보는 연결대(132)의 끼움홈(132a)에 수직된 상태로 끼운다.
이렇게 캐리어(130)에 유리기판(200)이 끼워지면 하우징(190)의 도어를 개방하여 측판(131)에 구비된 반송기어(134)가 레일(170)의 랙기어(171)와 맞물리도록 캐리어(130)를 유리기판 식각장치(100)에 반입한다.
이때, 캐리어(130)는 레일(170)의 랙기어(171)와 캐리어(130)의 반송기어(134)가 맞물려 유리기판 식각장치(100)에 캐리어(130)가 반입되면 분사부(110)의 하부에 위치되는 구동로더(151)와 캐리어(130)의 구비된 회전축(133)이 일직선상에 정확히 일치되도록 삽입된다.
이후, 하우징(190)의 도어를 폐쇄하고 유리기판 식각장치(100)를 작동시키면 분사부(110)의 공급관(111)으로 식각액이 공급되어 노즐(113)을 통해 분사부(110)의 하부에 위치되는 캐리어(130)에 삽입된 유리기판(200)으로 식각액이 분사된다.
한편, 식각액은 유리판의 상부에서 분사되어 유리판을 타고 하부로 이동하면서 유리기판(200)과 화학반응 함으로써, 유리기판(200)을 식각하여 유리기판(200)의 두께를 감소시키는 형태로 박판의 유리기판을 제조한다.
이때, 유리기판(200)이 일정크기 이상일 경우, 식각액이 유리기판(200)의 상부에서 분사되어 하부로 흐르기 때문에 유리기판(200)의 하부보다 상부에서 먼저 식각액에 의해 식각되어 유리기판(200)의 상부와 하부의 두께의 편차가 발생된다.
이를 방지하기 위해 본 발명의 실시예에 따른 유리기판(200) 시각장치는 캐리어(130)가 반입되면 임의의 시간동안만 식각액을 분사하고, 식각액의 분사가 멈추면 캐리어(130)의 회전 시 캐리어(130)에 삽입된 유리기판(200)이 캐리어(130)에서 이탈되지 않도록 캐리어(130)의 양 측판(131)의 상단부분을 클램프(135)로 체결한다.
그리고, 구동부(150)를 작동하여 유리기판(200)이 상하반전되도록 캐리어(130)를 회전시킨다.
여기서, 도 6에 도시된 바와 같이, 구동부(150)는 수평이동부가 작동하여 구동로더(151)를 캐리어(130)의 회전축(133)이 위치되는 방향으로 이동시켜 회전축(133)에 구동로더(151)를 결합하고, 구동로더(151)가 회전축(133)에 결합되면, 수직이동부가 작동하여 캐리어(130)를 레일(170)에서 이격되도록 상향 이동시킨다.
이 후, 캐리어(130)에 수용된 유리기판(200)이 반전되도록 구동로더(151)가 모터에 의해 회전하여 캐리어(130)를 180˚로 회전시킨다.
그리고, 캐리어(130)가 회전하면 다시 구동로더(151)가 하향이동하도록 수직이동부가 작동하여 캐리어(130)의 초기 위치인 레일(170)에 다시 안착시킨다. 이때, 캐리어(130)의 네모서리의 부분에 반송기어(134)가 구비되기 때문에 캐리어(130)를 180°회전시킨 상태에서도 반송기어(134)와 레일(170)의 랙기어(171)가 서로 맞물릴 수 있다.
그리고, 캐리어(130)가 레일(170)에 안착되면 수평이동부가 작동하여 회전축(133)에 결합된 구동로더(151)를 회전축(133)의 양측으로 벌어지도록 수평 이동시켜 회전축(133)에서 이탈시킨다.
이와 같이, 순차적인 구동부(150)의 작동으로 캐리어(130)가 회전하여 유리기판(200)이 상하반전된 상태가 되면, 다시 분사부(110)에서 노즐(113)을 통해 식각액을 임의의 시간동안 분사함으로써, 유리기판(200)의 상부 및 하부의 두께 편차없이 균일한 두께를 가지는 박판의 유리기판을 제조할 수 있다.
여기서, 분사부(110)에서 다시 식각액을 분사하기 전, 캐리어(130)의 상부에 결합된 클램프(135)를 제거하여 클램프(135)에 의해 식각액이 불균일하게 유리기판(200)에 도포되는 것을 방지하는 것이 바람직하다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치(100)는 캐리어(130)를 회전시켜 캐리어(130)에 수용된 유리기판(200)을 상하반전시킬 수 있기 때문에 유리기판(200)의 두께를 상부 및 하부의 편차 없이 균일하도록 제조할 수 있다.
또한, 캐리어(130)를 자동으로 회전시킴으로써, 작업자가 캐리어(130)를 회전시키기 위한 번거로움과 인건비를 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 작업자가 식각액에 노출되는 문제점을 해결할 수 있다.
또한, 분사부(110)에 압축공기 공급부(139)가 구비되어 분사부(110)에 끼인 이물질을 용이하게 제거하는 동시에 유리기판(200)을 세정할 수 있으며, 노즐(113)이 막혀 식각액이 배출되지 못함으로써, 유리기판 식각장치(100)의 내구성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 유리기판(200)의 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 캐리어(130)가 레일(170)과 기어 맞물려 유리기판 식각장치(100)에 반입되기 때문에 정확한 위치에 캐리어(130)를 위치시킬 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이 같은 특정 실시예에만 한정되지 않으며, 해당분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 청구범위 내에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경이 가능할 것이다.
100: 유리기판 식각장치 110: 분사부
111: 공급관 113: 노즐
130: 캐리어 131: 측판
132: 연결대 132a: 끼움홈
133: 회전축 134: 반송기어
135: 클램프 136: 지지구
137: 결합부 139: 압축공기 공급부
150: 구동부 151: 구동로더
153: 축결합홈 170: 레일
171: 랙기어 190: 하우징
200: 유리기판

Claims (7)

  1. 유리기판을 식각액으로 식각하여 박판의 유리기판을 제조하는 유리기판 식각장치에 있어서,
    상기 식각액을 분사하는 노즐이 복수 개가 구비된 분사부,
    상기 분사부의 하부에 위치되어 상기 식각액에 의해 식각되는 복수 개의 상기 유리기판을 지지하고, 상기 유리기판의 중앙부분을 중심으로 회전가능하도록 회전축이 구비된 캐리어, 및
    상기 회전축에 결합되어 상기 유리판이 상하반전되도록 상기 캐리어를 회전시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 분사부는
    상기 분사부의 내부로 압축공기를 공급하여 상기 노즐에 끼인 이물질을 제거하는 압축공기 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 압축공기 공급부는
    상기 압축공기의 압력이 주기적으로 변화되는 맥동식으로 상기 압축공기가 상기 분사부에 공급되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어는
    한 쌍의 마주보도록 서로 이격되는 측판과,
    상기 측판의 중앙부분에 결합되는 상기 회전축,
    상기 복수 개의 유리판의 측면을 지지하고 상기 한 쌍의 측판을 서로 연결하는 연결대, 및
    상기 측판의 상부 또는 하부 중 어느 한곳 또는 둘 모두에 탈착 가능하도록 결합되어 상기 유리판이 상기 캐리어에서 이탈되는 것을 방지하는 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 분사부의 하부 바닥에는 랙기어가 형성된 레일 설치되고,
    상기 캐리어에는 상기 랙기어와 맞물리는 회전가능하게 결합되는 반송기어가 설치되어 상기 캐리어가 기어 맞물림에 의해 상기 레일을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는
    모터에 의해 회전하는 구동로더,
    상기 구동로더를 상기 회전축이 위치되는 방향으로 수평이동시키는 수평이동부, 및
    상기 구동로더를 상하 방향으로 수직이동시키는 수직이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 구동부는
    상기 수평이동부의 작동으로 상기 구동로더가 상기 회전축과 결합되도록 상기 회전축이 위치되는 방향으로 이동하는 단계,
    상기 구동로드가 상기 회전축에 결합되면 상기 수직이동부가 작동하여 상기 캐리어를 상향 이동시키는 단계,
    상기 캐리어가 상향이동되면 상기 구동로드가 회전하여 상기 캐리어가 상하 반전되도록 회전시키는 단계,
    상기 캐리어가 회전하면 상기 수직이동부가 작동하여 상기 캐리어가 초기 위치로 복귀되도록 하향시키는 단계,
    상기 캐리어가 하향되면 상기 수평이동부가 작동하여 상기 구동로더를 상기 회전축에서 이탈시키는 단계로 순차적으로 동작하는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각장치.
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017005264A (ja) * 2016-08-30 2017-01-05 株式会社Ｎｓｃ スプレイエッチング装置
CN109896751A (zh) * 2019-04-24 2019-06-18 合肥伟仕泰克电子材料有限公司 一种底支撑件及玻璃减薄治具
CN110989224A (zh) * 2019-12-25 2020-04-10 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种玻璃基板减薄用点胶冶具及其使用方法
CN111453997A (zh) * 2020-04-14 2020-07-28 拓米(成都)应用技术研究院有限公司 单面蚀刻制造超薄玻璃的方法及超薄玻璃
WO2021170016A1 (zh) * 2020-02-25 2021-09-02 成都拓米双都光电有限公司 高精度超薄玻璃的旋转蚀刻装置及旋转蚀刻方法
KR102315637B1 (ko) * 2020-05-26 2021-10-20 추명자 초박막 외면 식각용 카세트 및 이를 이용한 초박막 외면 식각 방법
KR20220027487A (ko) * 2020-08-27 2022-03-08 이영수 글라스 식각용 랙 카세트를 이용한 글라스 식각 시스템
KR20220027486A (ko) * 2020-08-27 2022-03-08 이영수 글라스 식각용 랙 카세트
KR20220002544U (ko) * 2021-04-15 2022-10-24 이클랫 포에버 머시너리 컴퍼니 리미티드 랙 삽입 설비
KR102466383B1 (ko) * 2022-06-27 2022-11-11 차재현 유리판 가공장치
US11878931B2 (en) 2020-11-02 2024-01-23 Samsung Display Co., Ltd. Load carrier and window manufacturing system having the same

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017005264A (ja) * 2016-08-30 2017-01-05 株式会社Ｎｓｃ スプレイエッチング装置
CN109896751A (zh) * 2019-04-24 2019-06-18 合肥伟仕泰克电子材料有限公司 一种底支撑件及玻璃减薄治具
CN109896751B (zh) * 2019-04-24 2024-06-11 合肥伟仕泰克电子材料有限公司 一种底支撑件及玻璃减薄治具
CN110989224A (zh) * 2019-12-25 2020-04-10 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种玻璃基板减薄用点胶冶具及其使用方法
WO2021170016A1 (zh) * 2020-02-25 2021-09-02 成都拓米双都光电有限公司 高精度超薄玻璃的旋转蚀刻装置及旋转蚀刻方法
CN111453997A (zh) * 2020-04-14 2020-07-28 拓米(成都)应用技术研究院有限公司 单面蚀刻制造超薄玻璃的方法及超薄玻璃
KR102315637B1 (ko) * 2020-05-26 2021-10-20 추명자 초박막 외면 식각용 카세트 및 이를 이용한 초박막 외면 식각 방법
KR20220027487A (ko) * 2020-08-27 2022-03-08 이영수 글라스 식각용 랙 카세트를 이용한 글라스 식각 시스템
KR20220027486A (ko) * 2020-08-27 2022-03-08 이영수 글라스 식각용 랙 카세트
US11878931B2 (en) 2020-11-02 2024-01-23 Samsung Display Co., Ltd. Load carrier and window manufacturing system having the same
KR20220002544U (ko) * 2021-04-15 2022-10-24 이클랫 포에버 머시너리 컴퍼니 리미티드 랙 삽입 설비
KR102466383B1 (ko) * 2022-06-27 2022-11-11 차재현 유리판 가공장치

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