KR101068114B1 - 유리기판 에칭장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 본 발명의 유리기판 에칭장치에 있어서 플레이트의 저면을 보여주는 도면,
도 3은 본 발명의 도 2의 A-A 선의 단면도,
도 4는 본 발명의 유리기판 에칭장치에 있어서 플레이트의 다른 실시예들을 보여주는 도면.
200 : 플레이트 201 : 에칭액 저장조
300 : 회전 구동부 210 : 원형 노즐부
Claims (5)
- 유리기판의 두께를 얇게 만들기 위한 유리기판 에칭장치에 있어서,
다수의 유리기판이 수직하게 배열되어 수납이 이루어지는 카세트와;
상기 카세트 상부에 배치되어 에칭액 저장조로부터 에칭액이 연속적으로 공급이 이루어지게 되는 플레이트와;
상기 플레이트를 회전 구동시키기 위한 회전 구동부와;
상기 플레이트의 하부에 돌출 구비되며, 하방으로 에칭액을 흘려주기 위한 노즐홈이 형성된 다수의 원형 노즐부가 일정한 패턴을 갖고 구비되는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치. - 제1항에 있어서, 상기 플레이트는 원형으로 상기 카세트의 평면 면적보다는 큰 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
- 제1항에 있어서, 상기 원형 노즐부들 각각은 수직 하방으로 갈수록 출구가 좁아지는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
- 제1항에 있어서, 상기 다수의 원형 노즐부들은 정방형의 패턴을 갖고 배치되는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
- 제1항에 있어서, 상기 다수의 원형 노즐부들은 마름모의 패턴을 갖고 배치되는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020110051876A KR101068114B1 (ko) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 유리기판 에칭장치 |
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KR1020110051876A KR101068114B1 (ko) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 유리기판 에칭장치 |
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KR1020110051876A KR101068114B1 (ko) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 유리기판 에칭장치 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101292648B1 (ko) * | 2012-01-18 | 2013-08-02 | 주식회사 엠엠테크 | 상부 하향식 기판 에칭 장치 |
KR101368193B1 (ko) | 2011-12-07 | 2014-02-27 | (주)에스티아이 | 유리기판 식각장치 |
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JP2010204335A (ja) | 2009-03-03 | 2010-09-16 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造装置、該製造装置を用いた電気光学装置の製造方法 |
JP2010243752A (ja) | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法、製造装置 |
-
2011
- 2011-05-31 KR KR1020110051876A patent/KR101068114B1/ko active IP Right Grant
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