JP2012051801A5 - - Google Patents
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2008-0002456 | 2008-01-09 | ||
KR1020080002456A KR100860294B1 (ko) | 2008-01-09 | 2008-01-09 | 유리기판 에칭 장치와 상기 에칭 장치에 의하여 제조된유리박판 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009003958A Division JP4927884B2 (ja) | 2008-01-09 | 2009-01-09 | 硝子基板のエッチング装置と前記エッチング装置によって製造された硝子薄板 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012051801A JP2012051801A (ja) | 2012-03-15 |
JP2012051801A5 true JP2012051801A5 (ko) | 2013-04-11 |
JP5421979B2 JP5421979B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=40023668
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009003958A Active JP4927884B2 (ja) | 2008-01-09 | 2009-01-09 | 硝子基板のエッチング装置と前記エッチング装置によって製造された硝子薄板 |
JP2011262953A Active JP5421979B2 (ja) | 2008-01-09 | 2011-11-30 | 硝子基板のエッチング装置と前記エッチング装置によって製造された硝子基板 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009003958A Active JP4927884B2 (ja) | 2008-01-09 | 2009-01-09 | 硝子基板のエッチング装置と前記エッチング装置によって製造された硝子薄板 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP4927884B2 (ko) |
KR (1) | KR100860294B1 (ko) |
CN (3) | CN101481217B (ko) |
TW (1) | TWI400205B (ko) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100946215B1 (ko) | 2009-08-17 | 2010-03-08 | 주식회사 지디 | 글라스 식각용 분사 노즐 시스템 |
CN101630635B (zh) * | 2009-08-25 | 2011-11-30 | 满纳韩宏电子科技(南京)有限公司 | 玻璃基板蚀刻装置 |
KR101108974B1 (ko) * | 2009-09-29 | 2012-01-31 | 주식회사 이코니 | 잔류 에칭액 제거 기능을 구비한 유리기판 에칭장치 |
KR101037171B1 (ko) * | 2009-09-29 | 2011-05-26 | 주식회사 이코니 | 잔류 에칭액 제거 기능을 구비한 유리기판 에칭장치 |
KR101007306B1 (ko) * | 2010-02-23 | 2011-01-13 | 주식회사 엠엠테크 | 상부 하향 분사식 기판 에칭 장치 |
KR101195374B1 (ko) | 2010-07-29 | 2012-10-29 | 주식회사 엠엠테크 | 직교형 상부 하향 분사식 기판 에칭 장치 |
KR101026744B1 (ko) | 2010-09-29 | 2011-04-08 | 주식회사 아바텍 | 유리기판 에칭장치 |
KR101168701B1 (ko) | 2010-11-15 | 2012-07-30 | (주)에프아이에스 | 안내 날개를 구비하는 식각 장치 |
KR101182200B1 (ko) * | 2010-11-18 | 2012-09-14 | (주) 청심이엔지 | 기판 슬리밍 장치 |
KR101092471B1 (ko) | 2010-11-26 | 2011-12-13 | 주식회사 지디 | 상부에서 에칭액을 분사하는 유리 식각 장치 |
JP5730241B2 (ja) * | 2011-05-11 | 2015-06-03 | Hoya株式会社 | 電子機器用カバーガラスの製造方法および電子機器用カバーガラスのガラス基板保持具 |
KR101068113B1 (ko) | 2011-05-31 | 2011-09-27 | 주식회사 아바텍 | 유리기판 에칭장치 |
KR101277161B1 (ko) * | 2011-07-08 | 2013-06-20 | 주식회사 엠엠테크 | 글라스 박형화 시스템 |
KR101151296B1 (ko) * | 2012-02-03 | 2012-06-08 | 주식회사 엠엠테크 | 기판 에칭 장치 |
KR101323152B1 (ko) * | 2012-02-08 | 2013-11-04 | 신동수 | 유리 기판의 식각 공정시 두께 모니터링 시스템 |
CN102659321B (zh) * | 2012-05-14 | 2015-03-18 | 汕头市拓捷科技有限公司 | 一种单面多片式的玻璃薄化设备及方法 |
KR102094943B1 (ko) * | 2013-03-22 | 2020-03-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 식각 장치 |
KR101466005B1 (ko) * | 2013-06-28 | 2014-11-27 | 주식회사 위스코하이텍 | 기판연마장치 |
KR101489241B1 (ko) | 2013-10-01 | 2015-02-04 | 주식회사 이코니 | 전처리 공정을 포함한 유리기판 슬림에칭 방법 |
CN105366953A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-03-02 | 武汉华星光电技术有限公司 | 喷淋装置 |
CN107698168A (zh) * | 2017-09-07 | 2018-02-16 | 凯盛科技股份有限公司 | 一种防破片单面减薄蚀刻承载篮具 |
KR102625138B1 (ko) * | 2020-10-22 | 2024-01-15 | (주) 엔피홀딩스 | 롤러블 글라스, 이를 포함하는 롤러블 표시 장치 및 롤러블 글라스의 제조 방법 |
CN113979643A (zh) * | 2020-12-31 | 2022-01-28 | 安徽金龙浩光电科技有限公司 | 一种具有闪光砂效果玻璃的制备工艺 |
WO2023278223A1 (en) * | 2021-07-01 | 2023-01-05 | Corning Incorporated | Methods of etching glass-based sheets |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2103548B (en) * | 1981-08-20 | 1985-01-30 | Glaverbel | Method of reducing light reflection from glass surfaces |
JP2551123B2 (ja) * | 1988-11-04 | 1996-11-06 | 富士通株式会社 | 連続表面処理装置 |
JP3597639B2 (ja) * | 1996-06-05 | 2004-12-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JPH09330661A (ja) * | 1996-06-07 | 1997-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | グラファイト膜の形成方法 |
US6214127B1 (en) * | 1998-02-04 | 2001-04-10 | Micron Technology, Inc. | Methods of processing electronic device workpieces and methods of positioning electronic device workpieces within a workpiece carrier |
JP3686011B2 (ja) * | 2001-06-11 | 2005-08-24 | 住友精密工業株式会社 | 基板処理装置 |
JP3737782B2 (ja) * | 2002-06-18 | 2006-01-25 | 淀川ヒューテック株式会社 | 薄型液晶表示素子の製造方法 |
TWI243407B (en) * | 2003-06-03 | 2005-11-11 | Dainippon Screen Mfg | Method and apparatus for etching a substrate |
JP4398262B2 (ja) * | 2004-01-08 | 2010-01-13 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP4071220B2 (ja) * | 2004-03-17 | 2008-04-02 | 西山ステンレスケミカル株式会社 | ガラス基板の製造方法 |
JP4737709B2 (ja) * | 2004-03-22 | 2011-08-03 | 日本電気硝子株式会社 | ディスプレイ基板用ガラスの製造方法 |
KR100773786B1 (ko) | 2005-08-12 | 2007-11-12 | (주)지원테크 | 유리 기판의 식각 장치 |
KR100741291B1 (ko) * | 2006-02-14 | 2007-07-23 | 에버테크노 주식회사 | Lcd 유리 슬리밍장치 |
KR20070105699A (ko) * | 2006-04-27 | 2007-10-31 | 삼성전자주식회사 | 기판 식각 장치 및 이를 이용한 기판 식각 방법 |
KR20080008729A (ko) * | 2006-07-21 | 2008-01-24 | 삼성전자주식회사 | 평판 표시 장치의 제조 방법 및 그에 사용되는 외면 박형화장치 |
KR200431530Y1 (ko) | 2006-08-23 | 2006-11-23 | 김성삼 | 필기구 고정기 |
KR100865767B1 (ko) * | 2007-03-15 | 2008-10-28 | 우진선행기술 주식회사 | 기판 슬림화 장치 및 기판 슬림화 방법 |
-
2008
- 2008-01-09 KR KR1020080002456A patent/KR100860294B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2009
- 2009-01-06 TW TW098100164A patent/TWI400205B/zh active
- 2009-01-09 JP JP2009003958A patent/JP4927884B2/ja active Active
- 2009-01-09 CN CN2009100014978A patent/CN101481217B/zh active Active
- 2009-01-09 CN CN2012100827496A patent/CN102674701A/zh not_active Withdrawn
- 2009-01-09 CN CN2012100827439A patent/CN102674700A/zh active Pending
-
2011
- 2011-11-30 JP JP2011262953A patent/JP5421979B2/ja active Active
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