KR101607663B1 - 유리 기판 식각 장치 - Google Patents

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KR101607663B1
KR101607663B1 KR1020120080132A KR20120080132A KR101607663B1 KR 101607663 B1 KR101607663 B1 KR 101607663B1 KR 1020120080132 A KR1020120080132 A KR 1020120080132A KR 20120080132 A KR20120080132 A KR 20120080132A KR 101607663 B1 KR101607663 B1 KR 101607663B1
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한관영
이아람
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삼성디스플레이 주식회사
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments

Abstract

유리 기판 식각 장치가 제공된다. 유리 기판 식각 장치는 식각액을 수용하는 용기, 용기 내에 배치되며 유리 기판이 수평으로 안착되는 제 1 플레이트, 및 유리 기판과 마주보도록 용기 내에 배치되며 제 1 플레이트 위 또는 아래에서 식각액을 유동시키는 유동부를 포함한다.

Description

유리 기판 식각 장치{APPARATUS OF ETCHING A GLASS SUBSTRATE}
본 발명은 식각 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유리 기판 식각 장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이는 실리콘 산화물로 이루어지는 유리 기판을 포함한다. 유리 기판은 평판 디스플레이에서 차지하는 중량이 가장 크기 때문에, 평판 디스플레이의 경량화 및 박막화의 일환으로서 유리 기판의 중량을 줄이는 연구가 활발히 진행되고 있다.
유리 기판의 중량을 줄이는 방법의 대표적인 예는 유리 기판의 두께를 얇게 만드는 박판화이다. 유리 기판의 박판화는 식각 공정을 수행한 후, 표면이 매끄러워야 한다. 즉, 유리 기판의 박판화는 균일도가 중요하며, 균일도가 확보되지 못하면 평판 디스플레이의 화질에 결함이 발생할 수 있다.
본 발명의 목적은 균일하고 효율적으로 유리 기판을 식각할 수 있는 유리 기판 식각 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치는 식각액을 수용하는 용기, 상기 용기 내에 배치되며, 유리 기판이 수평으로 안착되는 제 1 플레이트 및 상기 유리 기판과 마주보도록 상기 용기 내에 배치되며, 상기 제 1 플레이트 위 또는 아래에서 상기 식각액을 유동시키는 유동부를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따른 유동부는 상기 제 1 플레이트에 대향하는 제 2 플레이트 및 상기 제 2 플레이트의 하부면에 부착된 회전 날개를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유동부는 상기 제 2 플레이트를 제어하는 구동부를 더 포함하되, 상기 구동부는 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트의 이격거리를 조절하며, 상기 제 2 플레이트의 회전속도를 조절할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치는 상기 제 1 플레이트에 인접한 용기의 측벽에 배치되며, 상기 유리 기판의 두께를 측정하는 센서 및 상기 센서로부터 수신 신호를 전달받아 상기 구동부에 구동 신호를 전달하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치는 상기 용기의 바닥면에 연결되어, 상기 식각액을 배출하는 회수관을 더 포함하되, 상기 유리 기판의 식각물은 상기 식각액의 흐름에 의하여 상기 회수관에 도달할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치는 상기 회수관의 식각액 흐름을 조절하는 밸브, 상기 밸브를 통과한 식각액을 정화하는 필터, 상기 용기에 상기 식각액을 공급하는 공급관 및 상기 필터에서 정화된 식각액을 상기 공급관에 전달하는 펌프를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 상기 제 1 플레이트 및 상기 제 2 플레이트는 평면적으로 원형의 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 상기 유동부는 상기 제 1 플레이트 상에서 수평 이동하여 상기 식각액을 유동시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 상기 유동부는 바디, 상기 바디에 부착된 수평이동 날개 및 상기 바디의 동작을 제어하는 구동부를 포함하되, 상기 구동부는 상기 제 1 플레이트와 상기 바디의 이격거리를 조절하며, 상기 바디의 수평 이동속도를 조절할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 상기 제 1 플레이트는 평면적으로 사각형의 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치는 식각액을 수용하는 용기 및 상기 용기 내에 배치되며, 유리 기판이 수평으로 안착되는 플레이트를 포함하되, 상기 제 1 플레이트는 회전되어 상기 식각액의 상대적 유동을 유도한다.
본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치는 상기 플레이트를 제어하는 구동부를 더 포함하되, 상기 구동부는 상기 플레이트의 수직 이동과 상기 플레이트의 회전 속도를 조절할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치는 상기 플레이트에 인접한 용기의 측벽에 배치되며, 상기 유리 기판의 두께를 측정하는 센서 및 상기 센서로부터 수신 신호를 전달받아 상기 구동부에 구동 신호를 전달하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치는 식각액의 상대적 유동을 유도할 수 있다. 또한, 플레이트의 수직 방향으로 이동이 가능하다. 또한, 유리 기판의 식각 속도를 조절할 수 있다. 또한, 식각액을 재사용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치의 용기 및 플레이트의 형상을 상세히 보여주기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플레이트와 회전 날개를 자세히 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치의 용기, 플레이트 및 유동부의 형상을 상세히 보여주기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치를 설명하기 위한 도면이다.
이상의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 사시도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다.
본 명세서의 다양한 실시예들에서 제 1, 제 2, 제 3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 여기에 설명되고 예시되는 실시예들은 그것의 상보적인 실시예들도 포함한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소는 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치의 용기 및 플레이트의 형상을 상세히 보여주기 위한 사시도이다. 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플레이트와 회전 날개를 자세히 보여주는 도면이다.
도 1 내지 3을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치(100)는 식각액(115)을 수용하는 용기(110), 상기 용기(110) 내에 배치되며, 유리 기판(125)이 수평으로 안착되는 제 1 플레이트(120) 및 상기 용기(110) 내에 배치되며, 상기 제 1 플레이트(120) 상에서 상기 식각액(115)을 유동시키는 유동부(130)를 포함한다.
상기 유리 기판(125)은 진공 흡착 방식으로 상기 제 1 플레이트(120)에 안착될 수 있다. 상기 제 1 플레이트(120)에 안착된 상기 유리 기판(125)은 복수 개일 수 있다. 복수 개의 유리 기판(125)이 동시에 박형화되어 제조 비용을 감소시킬 수 있다. 상기 식각액(115)은 불화물염, 황산염, 질산염, 술폰산염, 불산, 황산 또는 질산 등을 포함할 수 있다. 상기 식각액(115)은 식각 속도를 증가시키기 위하여 가열될 수 있다. 상기 유리 기판(125)은 디스플레이 장치, 예를 들면 터치 스크린 패널(touch screen panel)에 사용될 수 있다.
상기 유동부(130)는 상기 제 1 플레이트(120)에 대향하는 제 2 플레이트(132) 및 상기 제 2 플레이트(132)의 하부면에 부착된 회전 날개(135)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 플레이트(120) 및 상기 제 2 플레이트(132)는 평면적으로 원형의 형상을 가질 수 있다. 상기 용기(110)는 원통형일 수 있다.
상기 유동부(130)는 상기 제 2 플레이트(132)를 제어하는 구동부(138)를 더 포함할 수 있다. 상기 구동부(138)는 상기 제 2 플레이트(132)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 제 2 플레이트(132)가 수직 방향으로 이동되어, 상기 제 2 플레이트(132)와 상기 제 1 플레이트(120)의 이격 거리(L)를 조절할 수 있다. 또한, 상기 구동부(138)는 상기 제 2 플레이트(132)의 회전속도를 조절할 수 있다. 상기 회전 날개(135)는 와류를 일으킬 수 있으며, 상기 와류는 상기 유리 기판(125)에 접촉하는 식각액(115)의 유동에 영향을 미칠 수 있다.
상기 구동부(138)는 상기 제 2 플레이트(132)의 수직 방향 이동 및 회전 속도를 제어하여 상기 유리 기판(125)의 식각 속도를 조절할 수 있다. 상기 구동부(138)는 상기 회전 날개(135)를 이용하여 식각액(115)을 일정 속도로 유동시킬 수 있으며, 상기 유리 기판(125)의 일면을 식각할 수 있다.
상기 유리 기판 식각 장치(100)는 상기 제 1 플레이트(120)에 인접한 용기(110)의 측벽에 배치되며, 상기 유리 기판(125)의 두께를 측정하는 센서(140)를 더 포함할 수 있다. 상기 센서(140)는 레이저 센서일 수 있다. 상기 센서(140)는 반사된 신호에 의하여 유리 기판(125)의 두께를 측정할 수 있다. 상기 유리 기판 식각 장치(100)는 상기 센서(140)로부터 수신 신호를 전달받아 상기 구동부(130)에 구동 신호를 전달하는 제어부(145)를 더 포함할 수 있다. 상기 센서(140)에 의하여 유리 기판(125)의 식각된 두께를 측정하고 상기 제어부(145)의 구동 신호를 이용하여, 상기 구동부(130)는 식각 속도를 조절할 수 있다. 상기 센서(140), 상기 구동부(130) 및 제어부(145)를 이용하여, 상기 유리 기판(125)을 얇은 두께, 예를 들면 약 0.02㎜까지 식각할 수 있다. 상기 유리 기판(125)이 얇은 두께를 가지므로, 디스플레이 장치(예를 들면, 터치 스크린 패널의 기판, 액정 표시 소자의 기판 또는 유기 전계 발광소자의 기판)의 두께 및 무게를 줄일 수 있다. 상기 유리 기판(125)은 얇은 두께를 가지므로 휘어질 수 있다. 상기 유리 기판(125)은 예를 들면, 플렉서블 디스플레이(flexible display)에 적용할 수 있다.
상기 유리 기판 식각 장치(100)는 상기 용기(110)에 식각액(115)을 공급하는 공급관(160), 상기 용기(110)의 바닥면에 연결되어 상기 식각액(115)을 배출하는 회수관(175) 및 상기 제 1 플레이트(120)과 상기 용기(110) 사이의 배출구(150)를 더 포함할 수 있다. 이와 다르게, 상기 배출구(150)는 상기 제 1 플레이트(120)를 관통하도록 형성될 수 있다. 상기 공급관(160)에 의하여 공급된 식각액(115)은 상기 유동부(130)에 의하여 유동되며, 상기 배출구(150)를 경유하여 상기 회수관(175)에 도달할 수 있다. 이러한 식각액(115)의 흐름에 의하여 상기 유리 기판(125)이 식각되며, 이는 유체 흐름 그라인딩(fluid flow grinding)이라고 명명할 수 있다.
상기 유리 기판 식각 장치(100)는 상기 회수관(175)의 식각액(115) 흐름을 조절하는 밸브(172), 상기 밸브(172)를 통과한 식각액(115)을 정화하는 필터(174) 및 상기 필터(174)에서 정화된 식각액(115)을 상기 공급관(160)에 전달하는 펌프(176)를 더 포함할 수 있다. 상기 필터(174)는 상기 유리 기판(125)의 식각물(127)를 걸러낼 수 있다. 상기 식각액(115)은 상기 회수관(175), 필터(174), 펌프(176) 및 공급관(160)에 의하여 순환될 수 있다. 따라서, 식각액(115)은 재사용될 수 있다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 1 내지 3을 참조하여 제 1 실시예에서 설명된 기술적 특징은 설명의 간략함을 위하여 생략하기로 한다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치(200)는 식각액(215)을 수용하는 용기(210), 상기 용기(210) 내에 배치되며, 유리 기판(225)이 수평으로 압착되는 제 1 플레이트(220) 및 상기 용기(210) 내에 배치되며, 상기 제 1 플레이트(220) 아래에서 상기 식각액(215)을 유동시키는 유동부(230)를 포함한다.
상기 유리 기판(225)은 진공 흡착 방식으로 상기 제 1 플레이트(220)에 안착될 수 있다. 상기 유리 기판(225)은 상기 제 1 플레이트(220)의 하부면에 흡착될 수 있다. 상기 유리 기판(225)은 디스플레이 장치, 예를 들면 터치 스크린 패널(touch screen panel)에 사용될 수 있다.
상기 유동부(230)는 상기 제 1 플레이트(220)에 대향하는 제 2 플레이트(232) 및 상기 제 2 플레이트(232)의 상부면에 부착된 회전 날개(235)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 플레이트(220) 및 상기 제 2 플레이트(232)는 평면적으로 원형의 형상을 가질 수 있다. 상기 용기(210)는 원통형일 수 있다.
상기 유동부(230)는 상기 제 2 플레이트(232)를 제어하는 구동부(238)를 더 포함할 수 있다. 상기 구동부(238)는 상기 제 2 플레이트(232)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 제 2 플레이트(232)가 수직 방향으로 이동되어, 상기 제 2 플레이트(232)와 상기 제 1 플레이트(220)의 이격 거리(L)를 조절할 수 있다. 또한, 상기 구동부(238)는 상기 제 2 플레이트(232)의 회전속도를 조절할 수 있다.
상기 구동부(238)는 상기 제 2 플레이트(232)의 수직 방향 이동 및 회전 속도를 제어하여 상기 유리 기판(225)의 식각 속도를 조절할 수 있다. 상기 식각액(215)의 유동에 의하여, 상기 유리 기판(225)의 노출된 일면을 식각할 수 있다.
상기 유리 기판 식각 장치(200)는 상기 제 1 플레이트(220)에 인접한 용기(210)의 측벽에 배치되며, 상기 유리 기판(225)의 두께를 측정하는 센서(240)를 더 포함할 수 있다. 상기 센서(240)는 레이저 센서일 수 있다. 상기 센서(240)는 반사된 수신 신호에 의하여 유리 기판(225)의 두께를 측정할 수 있다. 상기 유리 기판 식각 장치(200)는 상기 센서(240)로부터 수신 신호를 전달받아 상기 구동부(230)에 구동 신호를 전달하는 제어부(245)를 더 포함할 수 있다. 상기 센서(240)에 의하여 유리 기판(225)의 식각된 두께를 측정하고 상기 제어부(245)의 구동 신호를 이용하여, 상기 구동부(230)는 식각 속도를 조절할 수 있다.
상기 유리 기판 식각 장치(200)는 상기 용기(210)에 식각액(215)을 공급하는 공급관(260), 상기 용기(210)의 바닥면에 연결되어 상기 식각액(215)을 배출하는 회수관(275) 및 상기 제 1 플레이트(220)과 상기 용기(210) 사이의 배출구(250)를 더 포함할 수 있다. 이와 다르게, 상기 배출구(250)는 상기 제 1 플레이트(220)를 관통하도록 형성될 수 있다.
상기 유리 기판 식각 장치(200)는 상기 회수관(275)의 식각액(215) 흐름을 조절하는 밸브(272), 상기 밸브(272)를 통과한 식각액(215)을 정화하는 필터(274) 및 상기 필터(274)에서 정화된 식각액(215)을 상기 공급관(260)에 전달하는 펌프(276)를 더 포함할 수 있다. 상기 필터(274)는 상기 유리 기판(225)의 식각물(227)를 걸러낼 수 있다. 상기 식각액(215)은 상기 회수관(275), 필터(274), 펌프(276) 및 공급관(260)에 의하여 순환될 수 있다. 따라서, 식각액(215)은 재사용될 수 있다.
도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 6은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치의 용기, 플레이트 및 유동부의 형상을 상세히 보여주기 위한 도면이다. 도 1 내지 3을 참조하여 제 1 실시예에서 설명된 기술적 특징은 설명의 간략함을 위하여 생략하기로 한다.
도 5 및 6을 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치(300)는 식각액(315)을 수용하는 용기(310), 상기 용기(310) 내에 배치되며 유리 기판(325)이 수평으로 안착되는 제 1 플레이트(320) 및 상기 용기(310) 내에 배치되며, 상기 제 1 플레이트(320) 위에서 상기 식각액(315)을 유동시키는 유동부(330)를 포함한다.
상기 유리 기판(325)은 진공 흡착 방식으로 상기 제 1 플레이트(320)에 안착될 수 있다. 상기 유리 기판(325)은 상기 제 1 플레이트(320)의 상부면에 안착될 수 있다. 상기 유리 기판(325)은 터치 스크린 패널(touch screen panel)에 사용될 수 있다.
상기 유동부(330)는 상기 제 1 플레이트(320) 상의 바디(332) 및 상기 바디(332)의 하부면에 부착된 수평이동 날개(335)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 플레이트(320)는 평면적으로 사각형의 형상을 가질 수 있다.
상기 유동부(330)는 상기 바디(232)의 이동을 제어하는 구동부(338)를 더 포함할 수 있다. 상기 구동부(338)는 상기 바디(332)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 바디(332)가 수직 방향으로 이동되어, 상기 바디(332)와 상기 제 1 플레이트(320)의 이격 거리(L)를 조절할 수 있다. 또한, 상기 구동부(338)는 상기 제바디(332)의 수평 이동속도를 조절할 수 있다.
상기 구동부(338)는 상기 바디(332)의 수직 방향 이동과 수평방향 이동 속도를 제어하여 상기 유리 기판(325)의 식각 속도를 조절할 수 있다. 상기 식각액(315)의 유동에 의하여, 상기 유리 기판(325)의 노출된 일면을 식각할 수 있다.
상기 유리 기판 식각 장치(300)는 상기 제 1 플레이트(320)에 인접한 용기(310)의 측벽에 배치되며, 상기 유리 기판(325)의 두께를 측정하는 센서(340)를 더 포함할 수 있다. 상기 센서(340)는 레이저 센서일 수 있다. 상기 센서(340)는 반사된 수신 신호에 의하여 유리 기판(325)의 두께를 측정할 수 있다. 상기 유리 기판 식각 장치(300)는 상기 센서(340)로부터 수신 신호를 전달받아 상기 구동부(330)에 구동 신호를 전달하는 제어부(345)를 더 포함할 수 있다. 상기 센서(340)에 의하여 유리 기판(325)의 식각된 두께를 측정하고 상기 제어부(345)의 구동 신호를 이용하여, 상기 구동부(330)는 식각 속도를 조절할 수 있다.
상기 유리 기판 식각 장치(300)는 상기 용기(310)에 식각액(315)을 공급하는 공급관(360), 상기 용기(310)의 바닥면에 연결되어 상기 식각액(315)을 배출하는 회수관(375) 및 상기 제 1 플레이트(320)과 상기 용기(310) 사이의 배출구(350)를 더 포함할 수 있다. 이와 다르게, 상기 배출구(350)는 상기 제 1 플레이트(320)를 관통하도록 형성될 수 있다.
상기 유리 기판 식각 장치(300)는 상기 회수관(375)의 식각액(315) 흐름을 조절하는 밸브(372), 상기 밸브(372)를 통과한 식각액(315)을 정화하는 필터(374) 및 상기 필터(374)에서 정화된 식각액(315)을 상기 공급관(360)에 전달하는 펌프(376)를 더 포함할 수 있다. 상기 필터(374)는 상기 유리 기판(325)의 식각물(327)를 걸러낼 수 있다. 상기 식각액(315)은 상기 회수관(375), 필터(374), 펌프(376) 및 공급관(360)에 의하여 순환될 수 있다. 따라서, 식각액(315)은 재사용될 수 있다.
본 발명의 제 3 실시예에 따르면, 유리 기판 식각 장치(300)는 상기 유리 기판(325)을 얇은 두께로 식각할 수 있다. 또한, 유리 기판 식각 장치(300)는 수평 이동하는 유동부(330)를 가지므로, 균일성이 확보되어 상기 유리 기판(325)이 동일한 두께로 식각될 수 있다.
도 7은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치(400)는 식각액(415)을 수용하는 용기(410) 및 상기 용기(410) 내에 배치되며 유리 기판(425)이 수평으로 안착되는 플레이트(420)를 포함한다. 상기 플레이트(420)는 회전되어 상기 식각액(415)의 상대적 유동을 유도할 수 있다.
상기 유리 기판(425)은 진공 흡착 방식으로 상기 플레이트(420)에 안착될 수 있다. 상기 유리 기판(425)은 상기 플레이트(420)의 상부면에 안착될 수 있다. 상기 유리 기판(425)은 터치 스크린 패널(touch screen panel)에 사용될 수 있다.
상기 유리 기판 식각 장치(400)는 상기 플레이트(420)를 제어하는 구동부(430)를 더 포함할 수 있다. 상기 구동부(430)는 상기 플레이트(420)의 회전 속도를 조절할 수 있다. 또한, 상기 구동부(430)는 상기 플레이트(420)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 구동부(430)는 상기 플레이트(420)의 수직 방향 이동과 회전 속도를 제어하여 상기 유리 기판(425)의 식각 속도를 조절할 수 있다. 상기 식각액(415)의 상대적 유동에 의하여, 상기 유리 기판(425)의 노출된 일면을 식각할 수 있다.
상기 유리 기판 식각 장치(400)는 상기 플레이트(420)에 인접한 용기(410)의 측벽에 배치되며, 상기 유리 기판(425)의 두께를 측정하는 센서(440)를 더 포함할 수 있다. 상기 센서(440)는 레이저 센서일 수 있다. 상기 유리 기판 식각 장치(400)는 상기 센서(440)로부터 수신 신호를 전달받아 상기 구동부(430)에 구동 신호를 전달하는 제어부(445)를 더 포함할 수 있다. 상기 센서(440)에 의하여 유리 기판(425)의 식각된 두께를 측정하고 상기 제어부(445)의 구동 신호를 이용하여, 상기 구동부(430)는 식각 속도를 조절할 수 있다.
상기 유리 기판 식각 장치(400)는 상기 용기(410)에 식각액(415)을 공급하는 공급관(460), 상기 용기(410)의 바닥면에 연결되어 상기 식각액(415)을 배출하는 회수관(475) 및 상기 플레이트(420)과 상기 용기(410) 사이의 배출구(450)를 더 포함할 수 있다. 이와 다르게, 상기 배출구(450)는 상기 플레이트(420)를 관통하도록 형성될 수 있다.
상기 유리 기판 식각 장치(400)는 상기 회수관(475)의 식각액(415) 흐름을 조절하는 밸브(472), 상기 밸브(472)를 통과한 식각액(415)을 정화하는 필터(474) 및 상기 필터(474)에서 정화된 식각액(415)을 상기 공급관(460)에 전달하는 펌프(476)를 더 포함할 수 있다. 상기 필터(474)는 상기 유리 기판(425)의 식각물(427)를 걸러낼 수 있다. 상기 식각액(415)은 상기 회수관(475), 필터(474), 펌프(476) 및 공급관(460)에 의하여 순환될 수 있다. 따라서, 식각액(415)은 재사용될 수 있다.
표 1은 본 발명의 실시예와 비교예에 따른 유리 기판의 두께를 비교하는 표이다. S1은 유리 기판을 식각액에 단순히 침적시켜 식각하는 비교예이며, S2는 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 식각 장치를 이용한 경우이다.
아래의 표에서 보여주는 바와 같이, 비교예에 비하여 두께를 1/10 정도까지 줄일 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따라 제작된 유리 기판은 플레서블 특성이 우수하여, 곡률반경이 약 10㎝로 측정되었다.
S1 S2
1 0.213㎜ 0.019㎜
2 0.201㎜ 0.020㎜
3 0.199㎜ 0.021㎜
4 0.208㎜ 0.018㎜
5 0.219㎜ 0.022㎜
6 0.188㎜ 0.021㎜
평균 0.205㎜ 0.020㎜
110: 용기 120: 제 1 플레이트
130: 유동부 132: 제 2 플레이트
135: 회전 날개 138: 구동부
145: 제어부

Claims (5)

  1. 식각액을 수용하는 용기;
    상기 용기 내에 배치되며, 복수 개의 유리 기판이 수평으로 안착되는 플레이트;
    상기 플레이트의 수직 이동과 상기 플레이트의 회전 속도를 조절하는 구동부;
    상기 플레이트에 인접한 용기의 측벽에 배치되며, 상기 복수 개의 유리 기판의 두께를 측정하는 센서; 및
    상기 센서로부터 수신 신호를 전달받아 상기 구동부에 구동 신호를 전달하는 제어부를 포함하고,
    상기 플레이트는 회전되어 상기 식각액의 상대적 유동을 유도하는 유리 기판 식각 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 용기의 바닥면에 연결되어, 상기 식각액을 배출하는 회수관을 더 포함하되,
    상기 복수 개의 유리 기판의 식각물은 상기 식각액의 흐름에 의하여 상기 회수관에 도달하는 유리 기판 식각 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 회수관의 식각액 흐름을 조절하는 밸브;
    상기 밸브를 통과한 식각액을 정화하는 필터;
    상기 용기에 상기 식각액을 공급하는 공급관; 및
    상기 필터에서 정화된 식각액을 상기 공급관에 전달하는 펌프를 더 포함하는 유리 기판 식각 장치.
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