JP4924226B2 - 表面加工方法及び表面加工装置 - Google Patents
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Description
ノズル基板間距離:350μm
フッ酸循環流量:25L/h
吸引:31.4L/min
基板保持姿勢:垂直保持
走査速度:240mm/min
走査距離:120mm
加工量測定範囲:10〜110mm(20mm間隔)。
1A エッチャント循環装置
1B 加工ヘッド走査装置
2 加工ヘッド
3 ガラス基板(加工物)
4 エッチャントタンク
5 エッチャント
6 エッチャント供給系
7 エッチャント回収管
8 ガス排気管
9 ガス排気ポンプ
10 濃度コントローラ
11 水
12 補給管
13 送液ポンプ
14 熱交換器
15 測温体
16 流量調節バルブ
17 流量計
18 フッ酸濃度センサー
19 供給管
20 温調ユニット
31 装置基台
32 2方向移動ステージ
33 加工ヘッド走査速度制御部
34 装置カバー
35 垂直フレーム
36 垂直フレーム部材
37 直線移動案内機構
38 水平フレーム部材
39 主走査方向駆動用のボールねじ
40 副走査方向用のボールねじ
41 ノズルブロック体
42 背面ブロック体
43 固定ねじ
44 供給ノズル部
45 排出孔
46 第1周溝
47 開口
48 第2周溝
49 排出路
51 姿勢制御機構
52 固定部
53 ヘッド取り付け部
54 ボール部材
55 第1アクチュエータ
56 第2アクチュエータ
57 コイルバネ
58 距離センサー
59 姿勢制御駆動装置
60 X軸ステージ
61 距離センサーコントローラ
62 デジタルパネルメータ(DPM)
63 X軸ステージコントローラ
64 モータドライバー
65 制御装置
Claims (13)
- 加工ヘッドによりエッチャントを垂直姿勢に保持した被加工物の表面に供給し、吸引することにより、該加工ヘッドと被加工物との隙間に、前記被加工物の主走査方向および副走査方向における全長よりも短い長さで囲まれる一定面積のエッチング領域をなすエッチャントの流路を形成し、該加工ヘッドと該被加工物とを主走査方向と副走査方向について相対的に走査して被加工物の表面を加工する表面加工方法であって、
前記加工ヘッドと前記被加工物との主走査方向への相対走査時に、前記加工ヘッド表面と前記被加工物表面との間の距離を計測しながら前記加工ヘッド表面と前記被加工物表面との隙間を前記エッチャント流路が安定形成される所定範囲内を維持すべく前記被加工物表面に対して前記加工ヘッドの向きを3次元で変更することを特徴とする表面加工方法。 - 前記エッチャント流路を安定形成する所定範囲は、エッチャントの液ダレ、液引きを発生させない隙間と、前記加工ヘッドが前記被加工物に接触しない隙間の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の表面加工方法。
- 前記加工ヘッドは、対向する前記被加工物表面に対して任意の向きに変更可能であることを特徴とする請求項1または2に記載の表面加工方法。
- 前記加工ヘッドの表面と、対向する前記被加工物の表面との距離を複数点で計測し、各計測値が所定の範囲内に収まるように該加工ヘッドの向きを変更させることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の表面加工方法。
- 前記加工ヘッドの表面と前記被加工物の表面との距離を計測する複数の計測点は前記エッチング領域を取り囲むことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の表面加工方法。
- 前記被加工物を垂直姿勢に保持した状態を維持して、該被加工物の表面形状を計測し、その後該表面形状計測データに基づいて前記加工ヘッドと該被加工物とを相対的に走査させて加工することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の表面加工方法。
- 前記被加工物は、矩形平板形状の合成石英ガラスであることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の表面加工方法。
- 前記合成石英ガラスは、フォトマスク用のガラス基板であることを特徴とする請求項7に記載の表面加工方法。
- 前記フォトマスク用のガラス基板は、1辺が300mm角以上であることを特徴とする請求項8に記載の表面加工方法。
- 加工ヘッドによりエッチャントを垂直姿勢に保持した被加工物の表面に供給し、吸引することにより、該加工ヘッドと被加工物との隙間に、前記被加工物の主走査方向および副走査方向における全長よりも短い長さで囲まれる一定面積のエッチング領域をなすエッチャントの流路を形成し、該加工ヘッドと該被加工物とを主走査方向と副走査方向について相対的に走査して被加工物の表面を加工する表面加工装置であって、
前記被加工物の表面に対向する垂直平面内を上下および左右方向に移動部材が移動する前記加工ヘッドを該被加工物に対して走査させるための二次元移動ステージと、
前記二次元移動ステージの前記移動部材に設けられ、前記被加工物に向けて前記加工ヘッドを取り付け、該被加工物の表面に対して該加工ヘッドの向きを3次元で変更可能に姿勢制御を行う姿勢制御機構と、
前記加工ヘッドの表面と前記被加工物の表面との距離を複数点で計測する距離センサーと、
前記距離センサーの計測結果に基づいて、前記姿勢制御機構を駆動制御する姿勢制御駆動手段と、
を有し、
前記姿勢制御駆動手段は、前記加工ヘッド表面と前記被加工物表面との距離が前記エッチャント流路を安定形成する所定範囲内を維持すべく前記被加工物表面に対して前記加工ヘッドの向きを変更することを特徴とする表面加工装置。 - 前記エッチャント流路を安定形成する所定範囲は、エッチャントの液ダレ、液引きを発生させない隙間と、前記加工ヘッドが前記被加工物に接触しない隙間の範囲であることを特徴とする請求項10に記載の表面加工装置。
- 前記加工ヘッドは、対向する前記被加工物表面に対して任意の向きに変更可能であることを特徴とする請求項10または11に記載の表面加工装置。
- 前記距離センサーは、前記加工ヘッドのエッチング領域を取り囲む複数点に配置したことを特徴とする請求項10から12のいずれかに記載の表面加工装置。
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