CN100389891C - 面板清洗装置及面板清洗方法 - Google Patents

Abstract

本发明的课题在于用较短的处理时间、有效地将附着在由两张基板构成的液晶显示面板的外周面上和基板之间的不需要的液晶或异物等除去。使设置在处理台上的液晶单元(被清洗面板)与设置在旋转台上的基准面板同步地进行同轴旋转。使凸轮始终与基准面板的端面抵接、并追随着与基准面板的旋转相伴随的基准面板的外周面位置的变化而沿周向移动。与该凸轮的移动对应地、配置在液晶单元的外周的清洗喷嘴沿着液晶单元的周向而移动，朝外周面喷射清洗液。由此，能有效地将附着在液晶单元外周面上和基板之间的不需要的液晶或异物等除去。而且，在变更液晶单元的尺寸时，只要将基准面板变更成与液晶单元相同尺寸即可，能缩短装置停止时间、提高液晶显示装置的生产率并降低制造成本。

Description

面板清洗装置及面板清洗方法

技术领域

本发明涉及面板清洗装置及面板清洗方法，特别是涉及将附着在由两张基板构成的液晶显示面板的外周面上和基板之间的不需要的液晶或异物等除去的面板清洗装置及面板清洗方法。

背景技术

一般地，在液晶显示装置的制造过程中，在将液晶夹持在两张对置配置的基板(例如TFT阵列基板和色彩过滤器基板)之间的液晶注入工序中，从配置在液晶显示面板的显示区域外周的密封件的至少一个部位上所设置的注入口，利用气压的增减或毛细管现象将液晶注入、然后将注入口封闭起来。

在上述的方法中，由于注入液晶时的毛细管现象的作用、液晶还会浸入到注入口的外侧，从而有从密封件外部到基板端的间隙中有不需要的液晶残存的现象，这就有污染后续工序的处理装置、或对液晶显示装置的品质产生不良影响的问题。为此、在注入口封闭之后，需要将密封件外部的不需要的液晶除去。

而且，在液晶显示装置的制造过程中、为了提高生产率和降低制造成本，通常是利用1张玻璃基板来制造多张液晶显示面板。在这种情况下需要进行切断、分割成各个面板的工序，这时也会产生许多碎片等异物附着在切断面附近、而且一部分碎片还会进入到两张基板之间的现象。由于这样的碎片等异物也会对液晶显示装置的品质产生不良影响，因而需要将其除去。

这样，作为用于将附着在由两张基板构成的液晶显示面板的外周面上和基板之间的、不需要的液晶或玻璃片等异物除去的清洗方法，以前的方法是将液晶显示面板浸渍到有机溶剂等清洗液中、利用摆动或超声波使溶剂进入到基板之间，强制地与不需要的液晶或异物进行置换而将其除去。

作为以前的清洗基板外周面的其他方法，有如专利文献1提出的具有第1、第2去除器头的薄膜去除装置，所述第1、第2去除器头分别形成为矩形框体，该矩形框架体具有多个将溶剂喷到基板背面和正面各自的周缘部上的溶剂排出口。在这个例子中，由于将溶剂从上述溶剂排出口喷到配置在处理空间即第1、第2去除器头之间的空间内的基板的周缘部上，因而能将基板的全部周缘部一并进行处理。

【专利文献1】特开2001-345251号公报(第7-9页、图4～图7)

但是、液晶显示面板的基板之间的距离是几微米左右，根据上述的浸渍到溶剂里的清洗方法，当离基板端的距离较长时、溶剂就不能进入，因而要除去密封件附近的不需要的液晶或牢固附着的异物是困难的。而且，在为了提高清洗效果而采用延长清洗时间或提高超声波强度等处理的情况下，会产生由节拍时间的延长而导致的生产率降低或损伤液晶显示装置的问题。

而且，根据专利文献1提出的薄膜除去装置，虽然能对基板的全部周缘部一并进行处理而缩短节拍时间，但由于将具有多个溶剂排出口的第1、第2去除器头形成为矩形的框体，因而很难与不同尺寸的基板(面板)相对应，当基板尺寸变更时需要替换去除器头，就有要花费较长的使装置停止的时间以进行替换或调整的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述现有技术存在的问题而作出的，其目的是提供一种面板清洗装置及面板清洗方法，其能用较短的处理时间，有效地将附着在由两张基板构成的液晶显示面板的外周面上和基板之间的不需要的液晶或异物等除去，能提高液晶显示装置的生产率并降低制造成本。

本发明面板清洗装置是以具有相互对置的两个主面和连接这两个主面的外周面的面板作为被清洗面板、将附着在该被清洗面板的外周面上的污渍和异物除去的面板清洗装置，其具有：设置被清洗面板的处理台；设置相对于被清洗面板的基准面板的旋转台；使处理台和旋转台彼此同步旋转的旋转机构；始终与基准面板的外周面抵接、追随着与基准面板的旋转相伴随的基准面板的外周面位置的变化而沿着周向移动的凸轮；具有与凸轮连结、与凸轮的移动对应地沿着基准面板的周向移动的移动部的移动机构；以及配置在被清洗面板的外周上、与移动部联动地沿着被清洗面板的周向移动的清洗喷嘴；清洗喷嘴一边追随着被清洗面板的外周面、一边朝其外周面喷射清洗液。

本发明的面板清洗方法，是具有相互对置的两个主面和连接这两个主面的外周面的面板清洗方法，包括以面板作为被清洗面板、将附着在其外周面上的污渍和异物除去的面板清洗工序，该面板清洗工序包括：使被清洗面板和相对于该清洗面板的基准面板彼此同步旋转；使配置在被清洗面板的外周的清洗喷嘴追随着与基准面板的旋转相伴随的其外周面位置的变化、沿着被清洗面板的周向移动；以及从清洗喷嘴朝被清洗面板的外周面喷射清洗液。

根据本发明的面板清洗装置，能将被清洗面板的外周面和清洗喷嘴的相对位置及距离始终保持成大致一定，因而在能维持一定的清洗力的同时，能用较短的时间、有效地将附着在由两张基板构成的被清洗面板的外周面上的污渍或异物等除去、还能减少清洗液的使用量。由于是简单的机构，因而装置的成本和运转成本是便宜的，还能节省空间。此外，通过预先准备与被清洗面板的尺寸相对应的各种各种尺寸的基准面板，即使在被清洗面板变更了的情况下，也只要将基准面板变更成与被清洗面板相同尺寸就可以，因而能缩短装置停止时间。由于有这些优点，因而能提高由被清洗面板构成的制品的生产率并能降低制造成本。

根据本发明的面板清洗方法，将被清洗面板的外周面和清洗喷嘴的相对位置及距离始终保持成大致一定，因而在能维持一定的清洗力的同时，能用较短的时间、有效地将附着在被清洗面板的外周面上的污渍或异物等除去，能提高由被清洗面板构成的制品的生产率并能降低制造成本。

附图说明

图1是表示构成本发明的实施方式1～4中制造的液晶显示装置的液晶显示面板的俯视图。

图2是表示本发明的实施方式1的面板清洗装置的概略图。

图3是说明本发明的实施方式1的面板清洗装置的动作的图。

图4是表示本发明的实施方式2的面板清洗装置的概略图。

图5是表示本发明的实施方式2的面板清洗装置的清洗喷嘴的放大图。

图6是表示本发明的实施方式3的面板清洗装置的概略图。

图7是表示本发明的实施方式4的面板清洗装置的概略图。

具体实施方式

本发明的面板清洗装置是将具有两个互相对置的主面和连接这两个主面的外周面的面板作为被清洗面板，将附着在被清洗面板的外周面上的污渍和异物除去的装置，但在下述的实施方式1～实施方式4中，特别是对用于液晶显示装置的制造的、将液晶显示面板作为被清洗面板的面板清洗装置进行说明。

首先，参照附图1、对在这些实施方式中制造的液晶显示装置的结构进行简单的说明。图1是表示构成液晶显示装置的液晶显示面板的俯视图。液晶显示面板20的液晶单元20a是如下所述地形成的：将在透明绝缘性基板上依次形成有薄膜晶体管、透明象素电极、薄膜晶体管的保护膜和取向膜等的TFT阵列基板11和在透明绝缘性基板上依次形成有黑色矩阵、色彩过滤器、色彩过滤器的保护膜、通用透明象素电极和取向膜等的对置电极基板12以取向膜相对的方式重合，用密封件将这些基板的周缘部即显示区域外周粘接起来，将液晶注入并封闭到两基板之间，由此而形成。

而且，在液晶显示面板20的两基板的外侧，分别粘贴着使通过液晶单元20a的光发生偏振的偏振板13。进而，在液晶显示面板20的电极端子部14上还连接着多个带载封装件(TCP)16，这些封装件搭载有液晶驱动用IC15且具有弯曲性。在该TCP16的输入用电极端子部上连接着印刷基板(PWB)17，将输入信号供给到TCP16。在液晶单元20a的下部基板(TFT阵列基板11)侧配置有面状光源装置，这些部件全部收容在框架内。

在本发明的实施方式1～实施方式4中对以液晶单元20a作为被清洗面板的面板清洗装置进行说明，所述液晶单元20a是在图1所示的液晶显示面板20的制造线的单元化工序中，通过液晶注入装置注入规定量的液晶之后，用封闭装置封闭起来，在这样的状态下由输送机构输送来的。另外，所谓单元化工序是指在涂敷有取向膜的TFT阵列基板11和对置电极基板12上，沿一定方向实施摩擦处理，使TFT阵列基板11和对置电极基板12以相互的取向膜相对的方式经由间隔件重合，用密封件将基板周缘部粘接起来，将液晶注入并封闭到两个基板之间的工序。

实施方式1

图2是表示本发明实施方式1的面板清洗装置的概略图。下面，使用图2，对本实施方式1中的面板清洗装置30的结构进行说明。在处理台1上载置着由未图示的输送机构输送来的作为被清洗面板的液晶单元20a。液晶单元20a是在对置配置的两张基板之间夹持有液晶的长方形的面板，具有相互对置的二个主面和连接这二个主面的外周面，该外周面具有4个端面。所谓外周面，具体是指构成液晶单元20a的两张基板中的较大的一个基板即TFT阵列基板11(参照图1)的外周面。

通过该处理台1和设置在处理台1上方的面板按压件2夹入并固定液晶单元20a的中央部。处理台1和面板按压件2，为了可靠地进行固定而不致发生液晶单元20a的位置偏移或落下，希望具有譬如真空吸附等机构、或具有对液晶单元20a施加规定压力而进行固定的机构。

由于在由输送机构将液晶单元20a载置到处理台1上时，需要使处理台1和面板按压件2之间保持规定的间隔，因而通过未图示的移动机构使面板按压件2向上方垂直移动。而且，处理台1和面板按压件2分别与下方旋转轴3a和上方旋转轴3b相连接，由于通过处理台1和面板按压件2夹持液晶单元20a，因而下方旋转轴3a和上方旋转轴3b以同轴的方式连结起来，构成旋转轴3。

进而，在与面板按压件2相连接的上方旋转轴3b上安装着旋转台4，在该旋转台4上设置着相对于液晶单元20a的基准面板5。基准面板5是外形尺寸与液晶单元20a的TFT阵列基板11大致相同的基板，由1张长方形形状的平坦的板构成。它的材质没有特别的限定。而且，基准面板5可装卸地设置在旋转台4上。在作为被清洗面板的液晶单元20a的尺寸变更时，可以将基准面板5卸下、换成与液晶单元20a相同尺寸的基准面板。

旋转台4，为了可靠地进行固定而不致发生基准面板5的位置偏移或落下，希望具有真空吸附等机构。而且，处理台1、面板按压件2和旋转台4的形状没有特别的限定，可以是任意的形状和尺寸。

液晶单元20a和基准面板5设置成各自的中心与旋转轴3的中心一致。而且，在将外形尺寸与液晶单元20a同样的面板用作基准面板5的情况下，将它们定位成从垂直方向观看时、它们的外形是彼此一致的。但是、基准面板5的外形尺寸不必与液晶单元20a完全同样，可以是相似形的。这时，也是将液晶单元20a和基准面板5设置成各自的中心与旋转轴3的中心一致，定位成从垂直方向观看时、相似形的外形一致。

这样，设置着液晶单元20a的处理台1与设置着基准面板5的旋转台4通过旋转轴3连结，通过未图示的旋转机构而同步地进行同轴旋转。图2中，基准面板5和液晶单元20a上的箭头表示旋转方向，虽然在图2中表示着向右旋转、向左旋转两个方向，但对旋转方向没有特别的限定，可以任意地设定。例如可以只向右旋转、或只向左旋转，也可以各1次或者各多次地交替向右和向左旋转。

在基准面板5的外周面上设置着由未图示的加压机构施加了规定压力的凸轮6，其设置成与基准面板5的外周面始终抵接，追随着伴随基准面板5的旋转产生的基准面板5的外周面位置的变化而在周向上移动。

凸轮6与设置在基准面板5的外周的移动机构7的移动板7a连结着。移动机构7由具有槽7c的固定台7b和作为移动部的移动板7a构成，该移动板7a可水平移动地嵌入在该槽7c中。与凸轮6相连结的移动板7a根据凸轮6的动作而沿着基准面板5的周向移动。移动机构7并不局限于上述的结构，譬如可以采用利用滚珠或滚柱的LM导引件等直动系统。下面、详细地说明凸轮6和移动机构7的动作。

在移动机构7的移动板7a上连接着向垂直下方延伸的连结棒8，在连结棒8的前端安装着清洗喷嘴9。清洗喷嘴9配置在液晶单元20a的外周，与移动板7a联动地沿着液晶单元20a的周向移动。即、清洗喷嘴9一边追随着液晶单元20a的外周面，一边将清洗液10喷向液晶单元20a的外周面以及基板之间。从未图示的清洗液供给装置将有机溶剂或纯净水等清洗液10供给到清洗喷嘴9。

为了得到好的清洗效果，将清洗喷嘴9的、与液晶单元20a的距离、高度、角度等设定成最合适的条件。在本实施方式1中清洗喷嘴9与液晶单元20a之间的距离设定为10mm～30mm、将清洗喷嘴9喷出的清洗液10的喷射角度设定为1°～2°、将清洗喷嘴9相对于液晶单元20a的上下角度设定为0°～5°、将清洗喷嘴9喷出的清洗液10的喷射压力设定为10Mpa～15Mpa。

通过设定成上述的清洗条件，能高效地将以前很难除去的残存在几微米的基板间隙中的、不需要的液晶和异物除去。上述清洗条件是可以变更的，可以根据液晶单元20a的状态、液晶或异物的附着状况等任意地设定。

下面，使用图2和图3，对本实施方式1中的面板清洗装置30的动作进行更详细的说明。图3(a)～(c)是表示凸轮6和移动机构7伴随着基准面板5的旋转而进行的动作的俯视图。图中、基准面板5上的箭头表示基准面板5的旋转方向，这里例举向左方旋转(逆时针旋转)的情况来进行说明。图3中省略了与移动机构7的移动板7a相连接的连结棒8和清洗喷嘴9的图示。

当作为被清洗面板的液晶单元20a被载置在处理台1上、并由面板按压件2固定后，通过未图示的旋转机构使旋转轴3旋转，设置着液晶单元20a的处理台1和设置着基准面板5的旋转台4同步地进行同轴旋转。这时、安装在移动机构7的移动板7a一端上的凸轮6与在外周面上具有4个顶部A、B、C、D的基准面板5的4个端面(A-B、B-C、C-D、D-A)中的某一个抵接。如图3(a)～(c)所示、作为旋转中心的基准面板5的中心5a的位置不移动。而且，移动机构7的固定台7b的位置也被固定而不移动。

将开始清洗时的状态设定成如图3(a)所示时，在图3(a)中、凸轮6与基准面板5的4个顶部A、B、C、D中的A和B之间的端面A-B的中央部附近抵接，这时的凸轮6和基准面板5的中心5a之间的距离设为L1。接着、基准面板5从图3(a)的状态朝左方向旋转，在如图3(b)所示，凸轮6到达顶部B附近时，凸轮6和基准面板5的中心5a之间的距离L2变成L2＞L1，与此同时、与凸轮6相连结的移动板7a与图3(a)的状态相比，向图中的右方水平移动了距离x(x＝L2-L1)。与此同时，经由连结棒8而与移动板7a连接的清洗喷嘴9也向图中的右方、水平移动了距离x。

接着，基准面板5从图3(b)所示的状态进一步向左方旋转，凸轮6如图3(c)所示那样到达顶部B和C之间的端面B-C的中央部附近，此时凸轮6和基准面板5的中心5a之间的距离L3变成L3＜L2，与此同时，与凸轮6相连结的移动板7a与图3(b)的状态相比，向图中的左方水平移动了距离y(y＝L2-L3)。与此同时，清洗喷嘴9也向图中的左方水平移动了距离y。

这样，凸轮6和移动板7a追随着基准面板5的外周面位置的变化而水平移动，由此沿着基准面板5的周向移动，与凸轮6和移动板7a联动地、清洗喷嘴9水平移动，由此清洗喷嘴9在与作为被清洗面板的液晶单元20a的相对位置和距离始终保持一定的状态下，沿着清洗面板的周向移动。

如上所述，根据本实施方式1的面板清洗装置30，凸轮6和移动板7a追随基准面板5的、伴随旋转而产生的外周面位置的变化，沿着周向移动，与其联动地、清洗喷嘴9在与液晶单元20a的相对位置(距离)基本保持一定的状态下，沿着周向移动，因而能够始终维持着一定的清洗力、有效地将附着在液晶单元20a的外周面上和基板之间的不需要的液晶或异物等除去。由于能高效地用较短时间进行清洗，因而与以前的浸渍在溶剂中的类型的清洗方法相比，能减少清洗液10的使用量。而且，由于是简单的机构，因而装置成本和运转成本较低，还能节省空间。

进而，通过预先准备一些与所制造的液晶显示面板的尺寸相对应的各种尺寸的基准面板5，即使在作为被清洗面板的液晶单元20a的尺寸变更了的情况下，也只要将基准面板5变更成与液晶单元10a相同的尺寸即可。由于基准面板5能容易地替换，因而能缩短包括喷嘴位置的调整时间在内的装置停止时间，能减轻作业者的负担。因为有这些优点，所以通过采用本实施方式1的面板清洗装置30，能提供稳定的、均匀的显示品质的液晶显示装置，而且能提高液晶显示装置的生产率并降低制造成本。

本实施方式的面板清洗方法包括以构成液晶显示面板的液晶单元20a作为被清洗面板、将附着在其外周面上的污渍和异物除去的面板清洗工序。该面板清洗工序包括下述内容：使液晶单元20a和与相对于该液晶单元20a的基准面板5彼此同步旋转；使配置在液晶单元20a的外周的清洗喷嘴9追随基准面板5的、伴随着旋转而产生的外周面位置的变化，沿液晶单元20a的周向移动；以及从清洗喷嘴9朝液晶单元20a的外周面喷射清洗液10。

根据本实施方式1的面板清洗方法，使液晶单元20a和与相对于该液晶单元20a的基准面板5相互同步地进行同轴旋转，使配置在液晶单元20a的外周的清洗喷嘴9追随基准面板5的、伴随着旋转而产生的外周面位置的变化，沿液晶单元20a的周向移动，由此液晶单元20a的外周面和清洗喷嘴9的相对位置(距离)始终保持大致一定，能够维持着一定的清洗力、高效地将附着在液晶单元20a的外周面上和基板之间不需要的液晶或异物等除去。

即使在作为被清洗面板的液晶单元20a的尺寸发生了变更的情况下，也只要将基准面板5变更成与液晶单元20a相同的尺寸就可以。因为有这些优点、所以根据本实施方式1的面板清洗方法，能提供稳定的、均匀的显示品质的液晶显示装置，而且能提高液晶显示装置的生产率并降低制造成本。

实施方式2

图4是表示作为本发明实施方式2的面板清洗装置的概略图。图中，对与实施方式1相同或相当的部分都标注相同的标记。本实施方式2中的面板清洗装置31的特征在于，在连接于移动机构7的移动板7a上的连结棒8的前端安装着2个清洗喷嘴9a、9b。即、相对于作为被清洗面板的液晶单元20a的1个端面设置有2个清洗喷嘴9a、9b。由于除此以外的结构和动作等都是与上述实施方式1同样的，因而省略对它们的说明。

本实施方式2中的面板清洗装置31的清洗喷嘴9a、9b如图5所示、安装在1根连结棒8的前端上，能分别单独地设定角度或压力等清洗条件。而且能将不同种类的清洗液供给各个清洗喷嘴9a、9b，根据这些组合能实现多种清洗条件。虽然本实施方式2中设置着2个清洗喷嘴9a、9b，但也可以设置2个以上的清洗喷嘴。

根据本实施方式2，能在产生与上述实施方式1同样效果的基础上，用2种以上的清洗条件进行清洗，因而能进一步提高清洗效果。而且，通过用2个以上的清洗喷嘴9a、9b进行清洗，与用1个清洗喷嘴进行清洗的情况相比，能防止一度被除去了的不需要的液晶或异物等再次附着或返回。

实施方式3

图6是表示作为本发明实施方式3的面板清洗装置的概略图。图中，对与上述实施方式相同或相当的部分都标注相同的标记。本实施方式3中的面板清洗装置32是相对于基准面板5的对置的2个端面、分别设置凸轮6和移动机构71、72，与这些凸轮6和移动机构71、72相对应地、配置与液晶单元20a的二个端面对置的清洗喷嘴9c、9d。由于除此以外的结构和动作等都是与上述实施方式1同样的，因而省略对它们的说明。

根据本实施方式3，相对于基准面板5的对置的2个端面分别设置凸轮6和移动机构71、72，与这些凸轮6和移动机构71、72相对应地、配置与液晶单元20a的二个端面对置的两个清洗喷嘴9c、9d，由此在产生与上述实施方式1同样效果的基础上，与上述实施方式1和实施方式2相比，能将清洗时间大约缩短一半。而且2个清洗喷嘴9c、9d可以设成不同的清洗条件，这时虽然清洗时间不能缩短，但由于可用2种以上的清洗条件进行清洗，因而能使清洗效果更加提高。

虽然本实施方式3中是相对于基准面板5的对置的2个端面、分别设置凸轮6和移动机构71、72，并与此对应地配置2个清洗喷嘴9c、9d，但是移动机构和清洗喷嘴的位置并不限于基准面板5的对置的2个端面，可以是邻接的2个端面，还可以相对于2个以上的端面进行配置。即使是在与2个以上的端面对置地设置清洗喷嘴的情况下，也可以如上述实施方式2所示地、在连结棒8的前端安装2个以上的清洗喷嘴。

实施方式4

图7是表示作为本发明实施方式4的面板清洗装置的概略图。图中，对与上述实施方式相同或相当的部分都标注相同的标记。本实施方式4中的面板清洗装置33是与基准面板5的4个端面对置地分别设置凸轮6和移动机构71、72、73、74，与这些凸轮6和移动机构71、72、73、74相对应地、配置与液晶单元20a的4个端面对置的清洗喷嘴9c、9d、9e、9f。由于除此以外的结构和动作等都是与上述实施方式1同样的，因而省略对它们的说明。

根据本实施方式4，相对于基准面板5的4个端面分别设置凸轮6和移动机构71、72、73、74，与其相对应地配置与液晶单元20a的4个端面对置的清洗喷嘴9c、9d、9e、9f，因而在产生与上述实施方式1同样效果的基础上，与上述实施方式1和实施方式2相比，能将清洗时间缩短到大约1/4。由于4个清洗喷嘴9c、9d、9e、9f可以设成各个不同的清洗条件，因而能使清洗效果更加提高。

虽然在上述实施方式1～实施方式4中，将基准面板5配置在作为被清洗面板的液晶单元20a的上部，但被清洗面板和基准面板5的配置并不局限于这种方式。例如可以将处理台1配置在旋转台4的下部，还可以不局限于上下方向，而是平行地进行配置。这时的旋转轴3a、3b就不是进行同轴旋转、而是用相互平行配置的皮带等联系起来、彼此同步旋转。这样，本发明的面板清洗装置的特征是能使基准面板5和液晶单元20a同步地旋转、并使清洗喷嘴9与抵接于基准面板5的凸轮6联动地、追随着液晶单元20a的外周面进行清洗液的喷射。

工业实用性

本发明能用于个人计算机等OA机器或携带电话、电子记事本等携带信息设备、或具有液晶监示器的汽车导航系统或照相机一体型VTR等设备所用的液晶显示装置的制造。

Claims (8)

1.一种面板清洗装置，以具有相互对置的两个主面和连接这两个主面的外周面的面板作为被清洗面板，将附着在该被清洗面板的外周面上的污渍和异物除去，其特征在于，具有：

设置上述被清洗面板的处理台；

设置相对于上述被清洗面板的基准面板的旋转台；

使上述处理台和上述旋转台彼此同步旋转的旋转机构；

始终与上述基准面板的外周面抵接、追随着与上述基准面板的旋转相伴随的上述基准面板的外周面位置的变化而沿着周向移动的凸轮；

具有与上述凸轮连结、并与上述凸轮的移动对应地沿着上述基准面板的周向移动的移动部的移动机构；

以及配置在上述被清洗面板的外周、与上述移动部联动地沿着上述被清洗面板的周向移动的清洗喷嘴；

上述清洗喷嘴一边追随着上述被清洗面板的外周面、一边朝其外周面喷射清洗液。

2.如权利要求1所述的面板清洗装置，其特征在于，上述被清洗面板是在对置配置的两张基板之间夹持有液晶的长方形的液晶面板，该液晶面板的外周面具有4个端面，而且上述基准面板也作成为长方形、其外周面也包含长度与上述液晶面板的各边大致相同的4个端面。

3.如权利要求2所述的面板清洗装置，其特征在于，与上述液晶面板的1个端面对应地、至少设置有2个上述清洗喷嘴。

4.如权利要求2所述的面板清洗装置，其特征在于，与上述基准面板的相互不同的边对置地、分别至少设置有2个上述凸轮和上述移动机构。

5.如权利要求4所述的面板清洗装置，其特征在于，与上述2个以上的凸轮和移动机构对应地、配置有与上述液晶面板的相互不同的边对置的2个以上的清洗喷嘴。

6.如权利要求2所述的面板清洗装置，其特征在于，上述基准面板由1张板构成。

7.一种面板清洗方法，是具有相互对置的两个主面和连接这两个主面的外周面的面板清洗方法，其特征在于，包括以上述面板作为被清洗面板、将附着在其外周面上的污渍和异物除去的面板清洗工序，该面板清洗工序包括：

使上述被清洗面板和相对于该被清洗面板的基准面板彼此同步旋转；

使配置在上述被清洗面板的外周的清洗喷嘴追随着与前述基准面板的旋转相伴随的其外周面位置的变化、沿着上述被清洗面板的周向移动；

以及从上述清洗喷嘴朝上述被清洗面板的外周面喷射清洗液。

8.如权利要求7所述的面板清洗方法，其特征在于，上述被清洗面板是在对置配置的两张基板之间夹持有液晶的长方形的液晶面板，该液晶面板的外周面具有4个端面，而且上述基准面板由1张长方形的板构成，其外周面也包含与上述液晶面板的各边大致相同长度的4个端面。

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