JP4395012B2 - パネル洗浄装置およびパネルの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、パネル洗浄装置およびパネルの製造方法に関し、特に二枚の基板からなる液晶表示パネルの外周面および基板間に付着した不要な液晶や異物等を除去するパネル洗浄装置およびパネルの製造方法に関するものである。

一般に、液晶表示装置の製造において、対向配置された二枚の基板（例えばＴＦＴアレイ基板とカラーフィルタ基板）間に液晶を挟持させる液晶注入工程では、液晶表示パネルの表示領域外周に配置されたシール材の少なくとも一箇所に設けられた注入口から、気圧の増減あるいは毛細管現象を利用して液晶を注入し、注入口を封止する。

上記のような方法では、液晶を注入する際の毛細管現象により注入口の外側にも液晶が侵入し、シール材外部から基板端までの隙間に不要な液晶が残存する現象が見られ、その後の工程の処理装置を汚染したり、液晶表示装置の品質に悪影響を与えたりする恐れがある。このため、注入口封止後は、シール材外部の不要な液晶を除去する必要がある。

また、液晶表示装置の製造においては生産性向上と製造コスト削減のために、１枚のガラス基板から複数の液晶表示パネルを製造することが通常行われている。このような場合、個々のパネル毎に切断、分割する工程が必要であり、その際、切断面付近に多数の破片等の異物が付着し、さらにこれらの一部が二枚の基板間に入り込む現象も見られる。このような破片等の異物も、液晶表示装置の品質に悪影響を与える恐れがあるため、除去する必要がある。

このように、二枚の基板からなる液晶表示パネルの外周面および基板間に付着した不要な液晶やガラス片等の異物を除去するための洗浄方法として、従来は、液晶表示パネルを有機溶剤等の洗浄液に浸漬し、揺動あるいは超音波により溶剤を基板間に進入させ、不要な液晶や異物と強制的に置換させて除去する方法が行われていた。

また、従来のその他の基板外周面の洗浄方法として、例えば特許文献１では、基板裏面と表面それぞれの周縁部に対して溶剤を噴き付ける複数の溶剤吐出口を有する矩形の枠体として形成された第１、第２のリムーバヘッドを備えた薄膜除去装置が提示されている。この例では、処理空間である第１、第２のリムーバヘッド間に配置された基板の周縁部に前記溶剤吐出口から溶剤を噴き付けることにより、基板の全周縁部を一括して処理することができる。
特開２００１−３４５２５１号公報（第７−９頁、図４〜図７）

しかしながら、液晶表示パネルの基板間の距離は数ミクロン程度であり、上記のような溶剤に浸漬する洗浄方法では、基板端からの距離が長くなると溶剤が進入できないため、シール材近傍の不要な液晶や強固に付着した異物の除去は困難であった。また、洗浄効果を向上させるために洗浄時間の延長あるいは超音波の強度を上げる等の処置をした場合、タクトタイムの延長による生産性の低下や液晶表示装置へのダメージが発生するという問題があった。

また、特許文献１で提示された薄膜除去装置では、基板の全周縁部を一括して処理することが可能であるためタクトタイムは短縮されるが、複数の溶剤吐出口を有する第１、第２のリムーバヘッドが矩形の枠体として形成されているため、異なるサイズの基板（パネル）に対応することが困難であり、基板サイズを変更する際にはリムーバヘッドを取替えなければならず、取替えや調整のための装置停止時間を長く要するという課題がある。

本発明は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、二枚の基板からなる液晶表示パネルの外周面および基板間に付着した不要な液晶や異物等を短い処理時間で効率的に除去することが可能なパネル洗浄装置およびパネルの製造方法を提供し、液晶表示装置の生産性向上および製造コスト削減を図ることを目的とする。

本発明に係わるパネル洗浄装置は、相対向する二つの主面とこれらの主面を繋ぐ外周面を有するパネルを被洗浄パネルとし、この被洗浄パネルの外周面に付着した汚れおよび異物を除去するパネル洗浄装置であって、被洗浄パネルが設置される処理ステージと、被洗浄パネルに対する基準パネルが設置される回転ステージと、処理ステージと回転ステージとを互いに同期して回転させる回転機構と、基準パネルの外周面に対して常時当接され基準パネルの回転に伴う基準パネルの外周面位置の変化に追従して周方向に移動するカムと、カムに連結されカムの動きに応じて基準パネルの周方向に移動する移動部を有する移動機構と、被洗浄パネルの外周に配置され移動部に連動して被洗浄パネルの周方向に移動する洗浄ノズルを備え、洗浄ノズルが、被洗浄パネルの外周面に追従しながらその外周面に向かって洗浄液を噴射するものである。

また、本発明に係わるパネルの製造方法は、相対向する二つの主面とこれらの主面を繋ぐ外周面を有するパネルの製造方法であって、パネルを被洗浄パネルとしてその外周面に付着した汚れおよび異物を除去するパネル洗浄工程を含み、このパネル洗浄工程は、被洗浄パネルとそれに対する基準パネルとを互いに同期して回転させること、基準パネルの回転に伴うその外周面位置の変化に追従して、被洗浄パネルの外周に配置された洗浄ノズルを被洗浄パネルの周方向に移動させること、および洗浄ノズルから被洗浄パネルの外周面に向かって洗浄液を噴射することを含むものである。

本発明に係わるパネル洗浄装置によれば、被洗浄パネルの外周面と洗浄ノズルの相対位置および距離を常にほぼ一定に保つことができるため、一定の洗浄力を維持しながら被洗浄パネルの外周面に付着した汚れや異物を効率的に短時間で除去することができ、洗浄液の使用量も削減できる。また、簡単な機構であるため装置コストおよびランニングコストが安価であり、省スペース化も図られる。さらに、被洗浄パネルのサイズに応じた様々なサイズの基準パネルを予め用意しておくことで、被洗浄パネルのサイズが変更した場合にも、基準パネルを被洗浄パネルと同じサイズに変更するだけでよいため、装置停止時間を短縮できる。これらのことから、被洗浄パネルからなる製品の生産性向上および製造コスト削減が図られる。

また、本発明に係わるパネルの製造方法によれば、被洗浄パネルの外周面と洗浄ノズルの相対位置および距離が常にほぼ一定に保たれているため、一定の洗浄力を維持しながら被洗浄パネルの外周面に付着した汚れや異物を効率的に短時間で除去することができ、被洗浄パネルからなる製品の生産性向上および製造コスト削減が図られる。

本発明に係わるパネル洗浄装置は、相対向する二つの主面とこれらの主面を繋ぐ外周面を有するパネルを被洗浄パネルとし、被洗浄パネルの外周面に付着した汚れおよび異物を除去するものであるが、以下に述べる実施の形態１〜実施の形態４では、特に液晶表示装置の製造において用いられ、液晶表示パネルを被洗浄パネルとするパネル洗浄装置について説明する。

まず、これらの実施の形態において製造される液晶表示装置の構造について、図１を用いて簡単に説明する。図1は、液晶表示装置を構成する液晶表示パネルを示す平面図である。液晶表示パネル２０の液晶セル２０ａは、透明絶縁性基板上に薄膜トランジスタ、透明画素電極、薄膜トランジスタの保護膜及び配向膜等が順次形成されたＴＦＴアレイ基板１１と、透明絶縁性基板上にブラックマトリクス、カラーフィルタ、カラーフィルタの保護膜、共通透明画素電極及び配向膜等が順次形成された対向電極基板１２とを互いに配向膜が向き合うように重ね合わせ、これらの基板の周縁部、すなわち表示領域外周をシール材にて接着し、両基板間に液晶を注入し、封止することにより形成されている。

また、液晶表示パネル２０の両基板の外側には、液晶セル２０ａを通過する光を偏光する偏光板１３がそれぞれ貼り付けられている。さらに、液晶表示パネル２０の電極端子部１４には、液晶駆動用ＩＣ１５を搭載した屈曲性を有する複数のテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１６が接続されている。このＴＣＰ１６の入力用電極端子部にはプリント基板（ＰＷＢ）１７が接続され、ＴＣＰ１６に入力信号を供給する。さらに、液晶セル２０ａの下部基板（ＴＦＴアレイ基板１１）側に面状光源装置が配置され、これらすべての部品はフレーム内に収納される。

本発明の実施の形態１〜実施の形態４では、図１に示すような液晶表示パネル２０の製造ラインのセル化工程において、液晶注入装置により所定量の液晶を注入後、封止装置にて封止された状態で、搬送機構により搬送された液晶セル２０ａを被洗浄パネルとするパネル洗浄装置について説明する。なお、セル化工程とは、配向膜が塗布されたＴＦＴアレイ基板１１および対向電極基板１２に一定の方向にラビング処理を施し、これらのＴＦＴアレイ基板１１と対向電極基板１２とを互いの配向膜が向き合うようにスペーサを介して重ね合わせ、基板周縁部をシール材にて接着し、両基板間に液晶を注入し封止する工程である。

実施の形態１．
図２は、本発明の実施の形態１であるパネル洗浄装置を示す概略図である。本実施の形態１におけるパネル洗浄装置３０の構造について、図２を用いて説明する。処理ステージ１上には、図示しない搬送機構により搬送された被洗浄パネルである液晶セル２０ａが載置される。液晶セル２０ａは、対向配置された二枚の基板間に液晶を挟持した長方形のパネルであり、相対向する二つの主面とこれらの主面を繋ぐ外周面を有し、この外周面は４つの端面を有するものである。なお、この外周面とは、具体的には液晶セル２０ａを構成する二枚の基板のうち大きい方の基板であるＴＦＴアレイ基板１１（図１参照）の外周面を指している。

この処理ステージ１と、処理ステージ２上方に設置されたパネル押さえ２により、液晶セル２０ａの中央部が挟み込まれ固定される。なお、処理ステージ１およびパネル押さえ２は、液晶セル２０ａの位置ずれや落下が生じないよう確実に固定するために、例えば真空吸着等の機構を有するものや、液晶セル２０ａに対して所定の圧力を加えて固定する機構を有するものであることが望ましい。

また、搬送機構により液晶セル２０ａが処理ステージ１上に載置される際には、処理ステージ１とパネル押さえ２の間に所定の間隔が必要であるため、パネル押さえ２は図示しない移動機構により上方へ垂直移動される。また、処理ステージ１およびパネル押さえ２は、それぞれ下方回転軸３ａおよび上方回転軸３ｂと接続されており、処理ステージ１とパネル押さえ２により液晶セル２０ａを挟持することにより、これらの下方回転軸３ａと上方回転軸３ｂが同軸となるように連結され、回転軸３を構成する。

さらに、パネル押さえ２に接続された上方回転軸３ｂ上には回転ステージ４が取り付けられており、この回転ステージ４上には、液晶セル２０ａに対する基準パネル５が設置される。基準パネル５は、液晶セル２０ａのＴＦＴアレイ基板１１と外形サイズが略同一の基板であり、１枚の長方形形状の平坦な板で構成されている。その材質については特に限定するものではない。また、基準パネル５は回転ステージ４に着脱可能に設置されている。被洗浄パネルである液晶セル２０ａのサイズが変更になった場合には、基準パネル５を取り外し、液晶セル２０ａと同じサイズのものに変更することができる。

また、回転ステージ４は、基準パネル５の位置ずれや落下が生じないよう確実に固定するために、例えば真空吸着等の機構を有するものであることが望ましい。また、処理ステージ１、基板押さえ２及び回転ステージ４の形状は特に限定するものではなく、任意の形状及びサイズであってよい。

液晶セル２０ａと基準パネル５は、それぞれの中心が回転軸３の中心と一致するよう設置される。また、基準パネル５として液晶セル２０ａと同一の外形サイズのものを用いた場合には、垂直方向から見た時に互いの外形が一致するように位置決めされる。ただし、基準パネル５は必ずしも液晶セル２０ａと同一の外形サイズである必要はなく、相似形のものであってもよい。その場合も液晶セル２０ａと基準パネル５の中心が回転軸３の中心と一致するよう設置し、垂直方向から見た時に、相似形の外形が一致するように位置決めされる。

このように、液晶セル２０ａが設置された処理ステージ１は、基準パネル５が設置された回転ステージ４と回転軸３により連結され、図示しない回転機構により同期して同軸回転される。なお、図２中、基準パネル５及び液晶セル２０ａ上の矢印は回転方向を示しており、図２では右回転、左回転の両方が示されているが、回転方向については特に限定するものでなく、任意に設定することができる。例えば、右回転のみ、左回転のみでも良いし、右回転と左回転を１回ずつ、または複数回ずつ、交互に行ってもよい。

また、基準パネル５の外周面には、図示しない加圧機構により所定の圧力を加えられたカム６が、基準パネル５の外周面に対して常時当接するように設置され、基準パネル５の回転に伴う基準パネル５の外周面位置の変化に追従して周方向に移動する。

さらに、カム６は、基準パネル５の外周に設置された移動機構７の移動板７ａに連結されている。移動機構７は、溝７ｃを有する固定台７ｂとこの溝７ｃに水平移動可能に嵌め込まれた移動部である移動板７ａから構成されている。カム６に連結された移動板７ａは、カム６の動きに応じて基準パネル５の周方向に移動するものである。なお、移動機構７については上記のような構成に限定されるものではなく、例えばボールやコロを利用したＬＭガイド等の直動システムを用いてもよい。カム６および移動機構７の動作については後に詳しく説明する。

また、移動機構７の移動板７ａには垂直下方に延びる連結棒８が接続され、連結棒８の先端には洗浄ノズル９が取り付けられている。洗浄ノズル９は、液晶セル２０ａの外周に配置され、移動板７ａに連動して液晶セル２０ａの周方向に移動する。すなわち、洗浄ノズル９は、液晶セル２０ａの外周面に追従しながらその外周面および基板間に向かって洗浄液１０を噴射する。なお、洗浄ノズル９には、図示しない洗浄液供給装置から有機溶剤や純水等の洗浄液１０が供給される。

洗浄ノズル９は、高い洗浄効果を得るために、液晶セル２０ａとの距離、高さ、角度等を最適な条件に設定されている。本実施の形態１では、洗浄ノズル９と液晶セル２０ａとの距離を１０ｍｍ〜３０ｍｍ、洗浄ノズル９からの洗浄液１０の噴射角を１°〜２°、液晶セル２０ａに対する洗浄ノズル９の上下角０〜５°、洗浄ノズル９からの洗浄液１０の噴射圧１０Ｍｐａ〜１５ＭＰａに設定した。

上記のような洗浄条件にすることにより、従来は除去が困難であった数ミクロンの基板間に残存した不要な液晶および異物を効率的に除去することができる。なお、上記洗浄条件は変更可能なものであり、液晶セル２０ａの状態や液晶または異物の付着状況等により、任意に設定することができる。

次に、本実施の形態１におけるパネル洗浄装置３０の動作について、図２および図３を用いてさらに詳しく説明する。図３（ａ）〜（ｃ）は、基準パネル５の回転に伴うカム６および移動機構７の動作を示す平面図である。図中、基準パネル５上の矢印は基準パネル５の回転方向を示しており、ここでは左方向に回転（反時計まわり）する場合を例に挙げて説明する。なお、図３では、連結機構７の移動板７ａに接続された連結棒８および洗浄ノズル９は図示を省略している。

被洗浄パネルである液晶セル２０ａが処理ステージ１上に載置され、パネル押さえ２により固定されると、図示しない回転機構により回転軸３が回転され、液晶セル２０ａが設置された処理ステージ１と基準パネル５が設置された回転ステージ４は同期して同軸回転される。この時、外周面に４つの頂部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを有する基準パネル５の４つの端面（Ａ−Ｂ、Ｂ−Ｃ、Ｃ−Ｄ、Ｄ−Ａ）のいずれかには、移動機構７の移動板７ａの一端に取り付けられたカム６が当接している。なお、図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、回転中心である基準パネル５の中心５ａの位置は移動しない。また、移動機構７の固定台７ｂの位置も固定されており移動しないものである。

洗浄開始時の状態を例えば図３（ａ）とすると、図３（ａ）では、カム６が基準パネル５の４つの頂部Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄのうち、ＡとＢの間の端面Ａ−Ｂの中央部付近に当接しており、この時のカム６と基準パネル中心５ａとの距離をＬ１とする。続いて、図３（ａ）の状態から基準パネル５が左方向に回転し、カム６が図３（ｂ）に示すように頂部Ｂ付近にきた時、カム６と基準パネル中心５ａとの距離Ｌ２はＬ２＞Ｌ１となり、これに伴いカム６に連結された移動板７ａは、図３（ａ）の状態に比べて距離ｘ（ｘ＝Ｌ２−Ｌ１）だけ図中右方向に水平移動される。同時に移動板７ａに連結棒８を介して接続された洗浄ノズル９も距離ｘだけ右方向に水平移動される。

さらに、図３（ｂ）の状態から基準パネル５がさらに左方向に回転し、カム６が図３（ｃ）に示すように頂部ＢとＣの間の端面Ｂ−Ｃの中央部付近にきた時、カム６と基準パネル中心５ａとの距離Ｌ３はＬ３＜Ｌ２となり、これに伴いカム６に連結された移動板７ａは、図３（ｂ）の状態に比べて距離ｙ（ｙ＝Ｌ２−Ｌ３）だけ図中左方向に水平移動される。同時に洗浄ノズル９も左方向に距離ｙだけ水平移動される。

このように、カム６および移動板７ａが、基準パネル５の外周面位置の変化に追従して水平移動することにより基準パネル５の周方向に移動し、これらカム６および移動板７ａに連動して洗浄ノズル９が水平移動することにより、洗浄ノズル９は被洗浄パネルである液晶セル２０ａとの相対位置および距離を常に一定に保ちながらその周方向に移動するものである。

以上のように、本実施の形態１におけるパネル洗浄装置３０によれば、基準パネル５の回転に伴う外周面位置の変化に追従してカム６および移動板７ａが周方向に移動し、これに連動して洗浄ノズル９が液晶セル２０ａとの相対位置（距離）をほぼ一定に保ちながら周方向に移動するようにしたので、常に一定の洗浄力を維持しながら液晶セル２０ａの外周面および基板間に付着した不要な液晶または異物等を効率的に除去することができる。また、効率良く短時間で洗浄が行えるため、従来の溶剤に浸漬するタイプの洗浄方法に比べて、洗浄液１０の使用量を削減することができる。また、簡単な機構であるため装置コストおよびランニングコストが安価であり、省スペース化も図られる。

さらに、製造される液晶表示パネルのサイズに応じた様々なサイズの基準パネル５を予め用意しておくことで、被洗浄パネルである液晶セル２０ａのサイズが変更した場合にも、基準パネル５を液晶セル１０ａと同じサイズに変更するだけでよい。基準パネル５は容易に取り替え可能であるため、ノズル位置の調整時間を含む装置停止時間を短縮でき、作業者の負担を軽減することができる。これらのことから、本実施の形態１によるパネル洗浄装置３０を用いることにより、安定した均一な表示品位の液晶表示装置を提供できるとともに、液晶表示装置の生産性向上および製造コスト削減が図られる。

また、本実施の形態におけるパネルの製造方法は、液晶表示パネルを構成する液晶セル２０ａを被洗浄パネルとしてその外周面に付着した汚れおよび異物を除去するパネル洗浄工程を含むものである。このパネル洗浄工程は、液晶セル２０ａとそれに対する基準パネル５とを互いに同期して回転させること、基準パネル５の回転に伴うその外周面位置の変化に追従して、液晶セル２０ａの外周に配置された洗浄ノズル９を液晶セル２０ａの周方向に移動させること、および洗浄ノズル９から液晶セル２０ａの外周面に向かって洗浄液１０を噴射することを含んでいる。

本実施の形態１におけるパネルの製造方法によれば、液晶セル２０ａとそれに対する基準パネル５とを互いに同期して同軸回転させ、基準パネル５の回転に伴うその外周面位置の変化に追従して、液晶セル２０ａの外周に配置された洗浄ノズル９を液晶セル２０ａの周方向に移動させることにより、液晶セル２０ａの外周面と洗浄ノズル９の相対位置（距離）は常にほぼ一定に保たれており、一定の洗浄力を維持しながら液晶セル２０ａの外周面および基板間に付着した不要な液晶または異物等を効率的に除去することができる。

また、被洗浄パネルである液晶セル２０ａのサイズが変更した場合にも、基準パネル５を液晶セル１０ａと同じサイズに変更するだけでよい。これらのことから、本実施の形態１におけるパネルの製造方法によれば、安定した均一な表示品位の液晶表示装置を提供できるとともに、液晶表示装置の生産性向上および製造コスト削減が図られる。

実施の形態２．
図４は、本発明の実施の形態２であるパネル洗浄装置を示す概略図である。なお、図中、同一、相当部分には同一符号を付している。本実施の形態２におけるパネル洗浄装置３１は、移動機構７の移動板７ａに接続された連結棒８の先端に、２個の洗浄ノズル９ａ、９ｂを取り付けたことを特徴とするものである。すなわち、被洗浄パネルである液晶セル２０ａの一つの端面に対して２個の洗浄ノズル９ａ、９ｂを設置したことになる。それ以外の構成および動作等については上記実施の形態１と同様であるので説明を省略する。

本実施の形態２におけるパネル洗浄装置３１の洗浄ノズル９ａ、９ｂは、図５に示すように、１本の連結棒８の先端に取り付けられており、それぞれ単独に角度や圧力等の洗浄条件を設定することができる。また、それぞれの洗浄ノズル９ａ、９ｂに種類の異なる洗浄液を供給することもでき、その組み合わせにより様々な洗浄条件を実現することが可能となる。また、本実施の形態２では２個の洗浄ノズル９ａ、９ｂを設けたが、２個以上の洗浄ノズルを設けることもできる。

本実施の形態２によれば、上記実施の形態１と同様の効果に加え、２種類以上の洗浄条件で洗浄が行えるため、さらなる洗浄効果の向上が期待できる。さらに、２個以上の洗浄ノズル９ａ、９ｂで洗浄を行うことにより、１個の洗浄ノズルで洗浄する場合に比べて一度除去した不要な液晶や異物等が再付着したり回り込んだりすることを防止できる。

実施の形態３．
図６は、本発明の実施の形態３であるパネル洗浄装置を示す概略図である。なお、図中、同一、相当部分には同一符号を付している。本実施の形態３におけるパネル洗浄装置３２は、基準パネル５の対向する２つの端面に対してカム６および移動機構７１、７２をそれぞれ設け、これらのカム６および移動機構７１、７２に対応して、液晶セル２０ａの二つの端面に対向する洗浄ノズル９ｃ、９ｄを配置したものである。それ以外の構成および動作等については上記実施の形態１と同様であるので説明を省略する。

本実施の形態３によれば、基準パネル５の対向する２つの端面に対してカム６および移動機構７１、７２をそれぞれ設け、これに対応して液晶セル２０ａの２つの端面に対向する２つの洗浄ノズル９ｃ、９ｄを配置したことにより、上記実施の形態１と同様の効果に加え、上記実施の形態１及び実施の形態２に比べて洗浄時間を約半分に短縮することが可能である。また、２つの洗浄ノズル９ｃ、９ｄを異なる洗浄条件にすることもでき、その場合は洗浄時間の短縮は図られないが、２種類以上の洗浄条件で洗浄が行えるため、さらなる洗浄効果の向上が期待できる。

なお、本実施の形態３では、基準パネル５の対向する２つの端面に対してカム６および移動機構７１、７２をそれぞれ設け、これに対応して２つの洗浄ノズル９ｃ、９ｄを配置したが、移動機構および洗浄ノズルの位置は基準パネル５の対向する２つの端面に限らず、隣接する２つの端面でもよく、また２つ以上の端面に対して配置することもできる。さらに、２つ以上の端面に対向して洗浄ノズルを設けた場合においても、上記実施の形態２で示したように、連結棒８の先端に２個以上の洗浄ノズルを取り付けてもよい。

実施の形態４．
図７は、本発明の実施の形態４であるパネル洗浄装置を示す概略図である。なお、図中、同一、相当部分には同一符号を付している。本実施の形態４におけるパネル洗浄装置３３は、基準パネル５の４つの端面に対向してカム６および移動機構７１、７２、７３、７４をそれぞれ設け、これらのカム６および移動機構７１、７２、７３、７４に対応して、液晶セル２０ａの４つの端面に対向する洗浄ノズル９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆを配置したものである。それ以外の構成および動作等については上記実施の形態１と同様であるので説明を省略する。

本実施の形態４によれば、基準パネル５の４つの端面に対してカム６および移動機構７１、７２、７３、７４をそれぞれ設け、これに対応して液晶セル２０ａの４つの端面に対向する４つの洗浄ノズル９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆを配置したことにより、上記実施の形態１と同様の効果に加え、上記実施の形態１及び実施の形態２に比べて洗浄時間を約１／４に短縮することが可能である。また、４つの洗浄ノズル９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆをそれぞれ異なる洗浄条件にすることもできるため、さらなる洗浄効果の向上が期待できる。

なお、上記実施の形態１〜実施の形態４では、被洗浄パネルである液晶セル２０ａの上部に基準パネル５を配置したが、被洗浄パネルと基準パネル５の配置はこれに限定されるものではない。例えば処理ステージ１を回転ステージ４の下部に配置してもよいし、また、上下方向に限らず並行に配置することもできる。この場合は回転軸３ａ、３ｂは同軸回転ではなく、互いに並行して配置されベルト等で連絡され互いに同期して回転される。このように、本発明によるパネル洗浄装置は、基準パネル５と液晶セル２０ａを同期して回転させ、基準パネル５に当接されたカム６に連動して洗浄ノズル９が液晶セル２０ａの外周面を追従しながら洗浄液を噴射するようにしたことを特徴とするものである。

本発明は、パーソナルコンピュータ等のＯＡ機器や携帯電話、電子手帳等の携帯情報機器、あるいは液晶モニタを備えたカーナビゲーションシステムやカメラ一体型ＶＴＲ等に用いられる液晶表示装置の製造に利用することができる。

本発明の実施の形態１〜４において製造される液晶表示装置を構成する液晶表示パネルを示す平面図である。 本発明の実施の形態１であるパネル洗浄装置を示す概略図である。 本発明の実施の形態１であるパネル洗浄装置の動作を説明する図である。 本発明の実施の形態２であるパネル洗浄装置を示す概略図である。 本発明の実施の形態２であるパネル洗浄装置の洗浄ノズルを示す拡大図である。 本発明の実施の形態３であるパネル洗浄装置を示す概略図である。 本発明の実施の形態４であるパネル洗浄装置を示す概略図である。

符号の説明

１ 処理ステージ、２ パネル押さえ、３ 回転軸、３ａ 下方回転軸、３ｂ 上方回転軸、４ 回転ステージ、５ 基準パネル、５ａ 基準パネル中心、６ カム、
７、７１、７２、７３、７４ 移動機構、７ａ 移動板、７ｂ 固定台、７ｃ 溝、
８ 連結棒、９、９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ 洗浄ノズル、１０ 洗浄液、
１１ ＴＦＴアレイ基板、１２ 対向電極基板、１３ 偏光板、１４ 電極端子部、
１５ 液晶駆動用ＩＣ、１６ テープキャリアパッケージ、１７ プリント基板、
２０ 液晶表示パネル、２０ａ 液晶セル（被洗浄パネル）、
３０、３１、３２、３３ パネル洗浄装置。

Claims (8)

1. 相対向する二つの主面とこれらの主面を繋ぐ外周面を有するパネルを被洗浄パネルとし、この被洗浄パネルの外周面に付着した汚れおよび異物を除去するパネル洗浄装置であって、
   前記被洗浄パネルが設置される処理ステージ、
   前記被洗浄パネルに対する基準パネルが設置される回転ステージ、
   前記処理ステージと前記回転ステージとを互いに同期して回転させる回転機構、
   前記基準パネルの外周面に対して常時当接され前記基準パネルの回転に伴う前記基準パネルの外周面位置の変化に追従して周方向に移動するカム、
   前記カムに連結され前記カムの動きに応じて前記基準パネルの周方向に移動する移動部を有する移動機構、および
   前記被洗浄パネルの外周に配置され前記移動部に連動して前記被洗浄パネルの周方向に移動する洗浄ノズルを備え、
   前記洗浄ノズルが、前記被洗浄パネルの外周面に追従しながらその外周面に向かって洗浄液を噴射することを特徴とするパネル洗浄装置。
2. 請求項１記載のパネル洗浄装置であって、前記被洗浄パネルは、対向配置された二枚の基板間に液晶を挟持した長方形の液晶パネルであり、この液晶パネルの外周面は４つの端面を有し、また前記基準パネルも長方形とされ、その外周面も前記液晶パネルの各辺とほぼ同じ長さの４つの端面を含むことを特徴とするパネル洗浄装置。
3. 請求項２記載のパネル洗浄装置であって、前記洗浄ノズルを前記液晶パネルの一つの端面に対応して少なくとも２個以上設置したことを特徴とするパネル洗浄装置。
4. 請求項２記載のパネル洗浄装置であって、前記カムおよび前記移動機構を、前記基準パネルの互いに異なる辺に対向するようにして、それぞれ少なくとも２個以上設置したことを特徴とするパネル洗浄装置。
5. 請求項4記載のパネル洗浄装置であって、前記２個以上のカムと移動機構に対応して、前記液晶パネルの互いに異なる辺に対向する２個以上の洗浄ノズルを配置したことを特徴とするパネル洗浄装置。
6. 請求項2記載のパネル洗浄装置であって、前記基準パネルは１枚の板で構成されていることを特徴とするパネル洗浄装置。
7. 相対向する二つの主面とこれらの主面を繋ぐ外周面を有するパネルの製造方法であって、前記パネルを被洗浄パネルとしてその外周面に付着した汚れおよび異物を除去するパネル洗浄工程を含み、このパネル洗浄工程は、
   前記被洗浄パネルとそれに対する基準パネルとを互いに同期して回転させること、
   前記基準パネルの回転に伴うその外周面位置の変化に追従して、前記被洗浄パネルの外周に配置された洗浄ノズルを前記被洗浄パネルの周方向に移動させること、および
   前記洗浄ノズルから前記被洗浄パネルの外周面に向かって洗浄液を噴射することを含むことを特徴とするパネルの製造方法。
8. 請求項７記載のパネルの製造方法であって、前記被洗浄パネルは、対向配置された二枚の基板間に液晶を挟持した長方形の液晶パネルであり、この液晶パネルの外周面は４つの端面を有し、また前記基準パネルは長方形の１枚の板で構成され、その外周面も前記液晶パネルの各辺とほぼ同じ長さの４つの端面を含むことを特徴とするパネルの製造方法。

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