KR100680894B1

KR100680894B1 - 패널 세정장치 및 패널제조방법

Info

Publication number: KR100680894B1
Application number: KR1020050045408A
Authority: KR
Inventors: 스스무 코노; 카즈오 요시다; 켄지 테라모토; 히토시 모리시타; 켄이치로우 사카모토
Original assignee: 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
Priority date: 2004-06-09
Filing date: 2005-05-30
Publication date: 2007-02-09
Also published as: CN1706564A; CN100389891C; KR20060046256A; TW200540495A; JP2005352061A; JP4395012B2

Abstract

2장의 기판으로 이루어지는 액정표시패널의 외주면 및 기판 사이에 부착된 불필요한 액정이나 이물질을 짧은 처리 시간에 효율적으로 제거하는 것을 그 과제로 한다. 이를 해결하기 위한 수단으로, 처리 스테이지(1) 위에 설치된 액정 셀(피세정 패널)(20a)은, 회전 스테이지(4) 위에 설치된 기준 패널(5)과 동기하여 동축 회전된다. 기준 패널(5)의 단면에는, 캠(6)이 상시 접촉하고, 기준 패널(5)의 회전에 따르는 기준 패널(5)의 외주면 위치의 변화에 따라 둘레방향으로 이동한다. 이 캠(6)의 움직임에 따라, 액정 셀(20a)의 외주에 배치된 세정 노즐(9)이 액정 셀(20a)의 둘레방향으로 이동하고, 외주면을 향해 세정액(10)을 분사한다. 이에 따라 액정 셀(20a)외주면 및 기판 사이에 부착된 불필요한 액정이나 이물질을 효율적으로 제거할 수 있다. 또 액정 셀(20a)의 사이즈를 변경할 때는, 기준 패널(5)을 액정 셀(10a)와 동 사이즈로 변경만 하면 되므로, 장치 정지시간을 단축할 수 있어, 액정표시장치의 생산성 향상 및 제조원가를 줄일 수 있다.

패널 세정장치, 기준 패널, 캠, 세정 노즐, 세정액

Description

패널 세정장치 및 패널제조방법{PANEL WASHING APPARATUS AND PANEL MANUFACTURING METHOD}

도 1은 본 발명의 실시예 1∼4에 있어서 제조되는 액정표시장치를 구성하는 액정표시패널을 도시하는 평면도,

도 2는 본 발명의 실시예 1인 패널 세정장치를 도시한 개략도,

도 3은 본 발명의 실시예 1인 패널 세정장치의 동작을 설명하는 도면,

도 4는 본 발명의 실시예 2인 패널 세정장치를 도시한 개략도,

도 5는 본 발명의 실시예 2인 패널 세정장치의 세정 노즐을 도시하는 확대도,

도 6은 본 발명의 실시예 3인 패널 세정장치를 도시한 개략도,

도 7은 본 발명의 실시예 4인 패널 세정장치를 도시한 개략도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※

1: 처리 스테이지 2: 패널 프레스

3: 회전축 3a: 하방 회전축

3b: 상방 회전축 4: 회전 스테이지

5: 기준 패널 5a: 기준 패널 중심

6: 캠

7, 71, 72, 73, 74: 이동 기구

7a: 이동판 7b: 고정대

7c: 홈 8: 연결봉

9,9a,9b,9c,9d,9e,9f: 세정 노즐

10: 세정액

본 발명은, 패널 세정장치 및 패널의 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 2장의 기판으로 이루어지는 액정표시패널의 외주면 및 기판 사이에 부착된 불필요한 액정이나 이물질 등을 제거하는 패널 세정장치 및 패널의 제조 방법에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시장치의 제조에 있어서, 대향 배치된 2장의 기판(예를 들면 TFT어레이 기판과 컬러 필터기판) 사이에 액정을 협지시키는 액정주입 공정에서는, 액정표시패널의 표시영역 외주에 배치된 씨일재의 적어도 1개소에 배치된 주입구로부터 기압의 증감 혹은 모세관 현상을 이용하여 액정을 주입하고, 주입구를 밀봉한다.

상기와 같은 방법에서는, 액정을 주입할 때 모세관 현상에 의해 주입구의 외 측에도 액정이 침입하고, 씨일재 외부로부터 기판 단까지의 간극에 불필요한 액정이 잔존하는 현상을 볼 수 있으며, 그 후 공정의 처리장치를 오염시키거나, 액정표시장치의 품질에 악영향을 줄 염려가 있다. 이 때문에, 주입구 밀봉 후에는, 씨일재 외부의 불필요한 액정을 제거 할 필요가 있다.

또한 액정표시장치의 제조에 있어서는 생산성 향상과 제조비용을 삭감하기 위해, 1장의 유리기판으로부터 복수의 액정표시패널을 제조하는 것이 통상 행해지고 있다. 이러한 경우, 개개의 패널 마다 절단, 분할하는 공정이 필요하며, 그 때, 절단면 부근에 다수의 파편 등의 이물질이 부착되고, 또한 이들의 일부가 2장의 기판 사이로 들어가는 현상도 볼 수 있다. 이러한 파편 등의 이물질도, 액정표시장치의 품질에 악영향을 줄 염려가 있기 때문에, 제거할 필요가 있다.

이와 같이, 2장의 기판으로 이루어지는 액정표시패널의 외주면 및 기판 사이에 부착된 불필요한 액정이나 유리 편 등의 이물질을 제거하기 위한 세정 방법으로서, 종래는 액정표시패널을 유기용제 등의 세정액에 침지하고, 요동 혹은 초음파에 의해 용제를 기판 사이로 진입하도록 하여, 불필요한 액정이나 이물질을 강제적으로 치환시켜서 제거하는 방법이 행해지고 있었다.

또한 종래 그 외의 기판 외주면의 세정 방법으로서, 예를 들면 특허문헌 1에서는, 기판 이면과 표면 각각의 주연부에 대하여 용제를 뿜는 복수의 용제 토출구를 갖는 직사각형의 틀로서 형성된 제 1, 제 2리무버 헤드를 구비한 박막제거 장치가 제시되고 있다. 이 예에서는, 처리 공간인 제 1, 제 2리무버 헤드 사이에 배치된 기판의 주연부에 상기 용제 토출구로부터 용제를 뿜는 것으로, 기판의 전 주연 부를 일괄적으로 처리 할 수 있다.

［특허문헌 1］일본 특허공개2001-345251호 공보(제7-9페이지, 도 4∼도 7)

그러나, 액정표시패널의 기판 사이의 거리는 수 미크론 정도이고, 상기와 같은 용제에 침지하는 세정 방법에서는, 기판 단에서의 거리가 길어지면 용제가 진입할 수 없게 되므로, 씨일재 근방의 불필요한 액정이나 강고하게 부착된 이물질의 제거는 곤란하였다. 또한 세정 효과를 향상시키기 위해 세정 시간의 연장 혹은 초음파의 강도를 높이는 등의 처치를 한 경우, 택트 타임의 연장에 의한 생산성의 저하나 액정표시장치로의 데미지가 발생한다는 문제가 있었다.

또한 특허문헌 1에서 제시된 박막제거 장치에서는, 기판의 전 주연부를 일괄적으로 처리하는 것이 가능하기 때문에 택트 타임은 단축되지만, 복수의 용제 토출구를 갖는 제 1, 제 2리무버 헤드가 직사각형의 틀로서 형성되고 있기 때문에, 다른 사이즈의 기판(패널)에 대응하는 것이 곤란하고, 기판 사이즈를 변경할 때에는 리무버 헤드를 바꾸어야 하므로, 교환이나 조정을 위한 장치 정지시간을 길게 필요로 한다는 문제가 있었다.

본 발명은, 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 행해진 것으로, 2장의 기판으로 이루어지는 액정표시패널의 외주면 및 기판 사이에 부착된 불필요한 액정이나 이물질 등을 짧은 처리 시간으로 효율적으로 제거하는 것이 가능한 패널 세정장치 및 패널의 제조 방법을 제공하고, 액정표시장치의 생산성 향상 및 제조 비용 삭감 을 도모하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 관한 패널 세정장치는, 서로 대향하는 두개의 주표면과 이들의 주표면을 연결하는 외주면을 갖는 패널을 피세정 패널로 하고, 이 피세정 패널의 외주면에 부착된 오물 및 이물질을 제거하는 패널 세정장치에 있어서, 피세정 패널이 설치되는 처리 스테이지와, 피세정 패널에 대한 기준 패널이 설치되는 회전 스테이지와, 처리 스테이지와 회전 스테이지를 서로 동기하여 회전시키는 회전 기구와, 기준 패널의 외주면에 대하여 항상 접촉되고 기준 패널의 회전에 따르는 기준 패널의 외주면 위치의 변화에 따라 둘레방향으로 이동하는 캠과, 캠에 연결되어 캠의 움직임에 따라 기준 패널의 둘레방향으로 이동하는 이동부를 갖는 이동 기구와, 피세정 패널의 외주에 배치되고 이동부에 연동하여 피세정 패널의 둘레방향으로 이동하는 세정 패널을 구비하며, 세정 노즐은, 피세정 패널의 외주면을 따르면서 그 외주면을 향해 세정액을 분사하는 것이다.

또한 본 발명에 관한 패널의 제조 방법은, 서로 대향하는 두개의 주표면과 이들의 주표면을 연결하는 외주면을 갖는 패널의 제조 방법에 있어서, 패널을 피세정 패널로서 그 외주면에 부착된 오물 및 이물질을 제거하는 패널 세정 공정을 포함하고, 이 패널 세정 공정은, 피세정 패널과 그에 대한 기준 패널을 서로 동기하여 회전시키는 것, 기준 패널의 회전에 따른 그 외주면 위치의 변화에 따라 피세정 패널의 외주에 배치된 세정 노즐을 피세정 패널의 둘레방향으로 이동시키는 것 및 세정 노즐로부터 피세정 패널의 외주면을 향해 세정액을 분사하는 것을 포함하는 것이다.

본 발명에 관한 패널 세정장치는, 서로 대향하는 두개의 주표면과 이들의 주표면을 연결하는 외주면을 갖는 패널을 피세정 패널로 하고, 피세정 패널의 외주면에 부착된 오물 및 이물질을 제거하는 것이지만, 이하에 서술하는 실시예 1∼실시예 4에서는, 특히 액정표시장치의 제조에 있어서 이용되고, 액정표시패널을 피세정 패널로 하는 패널 세정장치에 대해 설명한다.

우선, 이들의 실시예에 있어서 제조되는 액정표시장치의 구조에 대해, 도 1을 이용하여 간단하게 설명한다. 도 1은, 액정표시장치를 구성하는 액정표시패널을 도시하는 평면도이다. 액정표시패널(20)의 액정 셀(20a)은, 투명 절연성 기판 위에 박막 트랜지스터, 투명 화소전극, 박막 트랜지스터의 보호막 및 배향막 등이 순차적으로 형성된 TFT어레이 기판(11)과, 투명 절연성 기판 위에 블랙 매트릭스, 컬러필터, 컬러필터의 보호막, 공통 투명화소 전극 및 배향막 등이 순차적으로 형성된 대향 전극기판(12)을 서로 배향막이 마주 향하도록 중첩하고, 이들 기판의 주연부, 즉 표시영역 외주를 씨일재로 접착하여, 양 기판 사이에 액정을 주입하고 밀봉함으로써 형성되고 있다.

또한 액정표시패널(20)의 양쪽 기판의 외측에는, 액정 셀(20a)을 통과하는 빛을 편광하는 편광판(13)이 각각 점착되고 있다. 또한, 액정표시패널(20)의 전극단자부(14)에는, 액정구동용 IC(15)를 탑재한 굴곡성을 갖는 복수의 테이프 캐리어 패키지(TCP)(16)가 접속되고 있다. 이 TCP(16)의 입력용 전극단자부에는 프린트 기판(PWB)(17)이 접속되고, TCP(16)에 입력 신호를 공급한다. 또한, 액정 셀(20a)의 하부기판(TFT어레이 기판(11))측에 면모양의 광원장치가 배치되고, 이들 모든 부품은 프레임 내에 수납된다.

본 발명의 실시예 1 ∼ 실시예 4에서는, 도 1과 같은 액정표시패널(20)의 제조라인의 셀(cell)화 공정에 있어서, 액정주입 장치에 의해 소정량의 액정을 주입한 후, 밀봉 장치로 밀봉된 상태에서 반송 기구에 의해 반송된 액정 셀(20a)을 피세정 패널로 하는 패널 세정장치에 대해 설명한다. 또, 셀화 공정이라 함은, 배향막이 도포된 TFT어레이 기판(11) 및 대향 전극기판(12)에 일정 방향으로 러빙 처리를 실시하고, 이들의 TFT어레이 기판(11)과 대향 전극기판(12)을 서로의 배향막이 마주 향하도록 스페이서를 통해 중첩하고, 기판 주연부를 씨일재로 접착하여, 양 기판 사이에 액정을 주입하고 밀봉하는 공정이다.

실시예 1

도 2는, 본 발명의 실시예 1인 패널 세정장치를 도시한 개략도이다.

본 실시예 1에 있어서의 패널 세정장치(30)의 구조에 대해, 도 2를 이용하여 설명한다. 처리 스테이지(1) 위에는, 도시하지 않은 반송 기구에 의해 반송된 피세정 패널인 액정 셀(20a)이 놓여지게 된다. 액정 셀(20a)은, 대향 배치된 2장의 기판 사이에 액정을 협지한 장방형의 패널이고, 서로 대향하는 두개의 주표면과 이들의 주표면을 연결하는 외주면을 가지며, 이 외주면은 4개의 단면을 갖는 것이다. 또, 이 외주면은, 구체적으로는 액정 셀(20a)을 구성하는 2장의 기판 중 큰 쪽의 기판인 TFT어레이 기판(11)(도 1참조)의 외주면을 가리키고 있다.

이 처리 스테이지(1)와, 처리 스테이지 위쪽에 설치된 패널 프레스(2)에 의해 액정 셀(20a)의 중앙부가 끼워져 고정된다. 또, 처리 스테이지(1) 및 패널 프레스(2)는, 액정 셀(20a)의 위치 이탈이나 낙하가 생기지 않도록 확실하게 고정하기 위해, 예를 들면 진공흡착 등의 기구를 갖는 것이나, 액정 셀(20a)에 대해 소정의 압력을 가하여 고정하는 기구를 갖는 것이 바람직하다.

또한 반송 기구에 의해 액정 셀(20a)이 처리 스테이지(1) 위에 놓여질 때는, 처리 스테이지(1)와 패널 프레스(2) 사이에 소정의 간격이 필요하기 때문에, 패널 프레스(2)는 도시하지 않은 이동 기구에 의해 위쪽으로 수직이동된다. 또한 처리 스테이지(1) 및 패널 프레스(2)는, 각각 하방 회전축(3a) 및 상방 회전축(3b)과 접속되고 있고, 처리 스테이지(1)와 패널 프레스(2)에 의해 액정 셀(20a)을 협지함으로써, 이들의 하방 회전축(3a)과 상방 회전축(3b)이 동축이 되도록 연결되어 회전축(3)을 구성한다.

또한, 패널 프레스(2)에 접속된 상방 회전축(3b) 위에는 회전 스테이지(4)가 부착되고, 이 회전 스테이지(4) 위에는, 액정 셀(20a)에 대한 기준 패널(5)이 설치된다. 기준 패널(5)은, 액정 셀(20a)의 TFT어레이 기판(11)과 외형 사이즈가 대략 동일한 기판이고, 1장의 장방형 모양의 평탄한 판으로 구성된다. 그 재질에 대해서는 특별히 한정하지는 않는다. 또한 기준 패널(5)은 회전 스테이지(4)에 착탈가능 하도록 설치되고 있다. 피세정 패널인 액정 셀(20a)의 사이즈가 변경된 경우에는, 기준 패널(5)을 분리하여, 액정 셀(20a)과 같은 사이즈로 변경할 수 있다.

또한 회전 스테이지(4)는, 기준 패널(5)의 위치 이탈이나 낙하가 생기지 않 도록 확실하게 고정하기 위해서, 예를 들면 진공흡착 등의 기구를 갖는 것이 바람직하다. 또한 처리 스테이지(1), 기판 프레스(2) 및 회전 스테이지(4)의 형상은 특별히 한정하는 것은 아니고, 임의 형상 및 사이즈라도 좋다.

액정 셀(20a)과 기준 패널(5)은, 각각의 중심이 회전축(3)의 중심과 일치하도록 설치된다. 또한 기준 패널(5)로서 액정 셀(20a)과 동일한 외형 사이즈의 것을 이용한 경우에는, 수직방향에서 봤을 때 서로의 외형이 일치하도록 위치결정된다. 단, 기준 패널(5)은 반드시 액정 셀(20a)과 동일한 외형 사이즈일 필요는 없고, 서로 비슷한 모양의 것이라도 좋다. 그 경우도 액정 셀(20a)과 기준 패널(5)의 중심이 회전축(3)의 중심과 일치하도록 설치하여, 수직방향에서 봤을 때, 서로 비슷한 모양의 외형이 일치하도록 위치결정된다.

이와 같이, 액정 셀(20a)이 설치된 처리 스테이지(1)는, 기준 패널(5)이 설치된 회전 스테이지(4)와 회전축(3)에 의해 연결되고, 도시하지 않은 회전 기구에 의해 동기하여 동축 회전된다. 또, 도 2중, 기준 패널(5) 및 액정 셀(20a) 상의 화살표는 회전 방향을 나타내고 있고, 도 2에서는 우회전, 좌회전의 양쪽이 도시되고 있지만, 회전 방향에 대해서는 특별히 한정하는 것은 아니고, 임의로 설정할 수 있다. 예를 들면 우회전 만이나, 좌회전 만으로도 좋고, 우회전과 좌회전을 1회 씩 또는 여러번 씩, 번갈아 행해도 된다.

또한 기준 패널(5)의 외주면에는, 도시하지 않은 가압 기구에 의해 소정의 압력을 가한 캠(6)이, 기준 패널(5)의 외주면에 대하여 상시 접촉하도록 설치되고, 기준 패널(5)의 회전에 따르는 기준 패널(5)의 외주면 위치의 변화에 따라 둘레방 향으로 이동한다.

또한, 캠(6)은, 기준 패널(5)의 외주에 설치된 이동 기구(7)의 이동판(7a)에 연결되고 있다. 이동 기구(7)는, 홈(7c)을 갖는 고정대(7b)와 이 홈(7c)에 수평 이동이 가능하도록 끼워진 이동부인 이동판(7a)으로 구성되어 있다. 캠(6)에 연결된 이동판(7a)은, 캠(6)의 움직임에 따라 기준 패널(5)의 둘레방향으로 이동하는 것이다. 또한, 이동 기구(7)에 대해서는 상기와 같은 구성에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 볼이나 롤러를 이용한 LM가이드 등의 직동 시스템을 이용해도 좋다. 캠(6) 및 이동 기구(7)의 동작에 대해서는 뒤에 상세하게 설명한다.

또한 이동 기구(7)의 이동판(7a)에는 수직 아래쪽으로 연장되는 연결봉(8)이 접속되고, 연결봉(8)의 선단에는 세정 노즐(9)이 부착되고 있다. 세정 노즐(9)은, 액정 셀(20a)의 외주에 배치되고, 이동판(7a)에 연동하여 액정 셀(20a)의 둘레방향으로 이동한다. 즉, 세정 노즐(9)은, 액정 셀(20a)의 외주면을 따르면서 그 외주면 및 기판 사이를 향해 세정액(10)을 분사한다. 또, 세정 노즐(9)에는, 도시하지 않은 세정액 공급장치로부터 유기용제나 순수(純水) 등의 세정액(10)이 공급된다.

세정 노즐(9)은, 높은 세정 효과를 얻기 위해, 액정 셀(20a)과의 거리, 높이, 각도 등을 최적인 조건으로 설정하고 있다. 본 실시예 1에서는, 세정 노즐(9)과 액정 셀(20a)의 거리를 10mm∼30mm, 세정 노즐(9)로부터의 세정액(10)의 분사각을 1°∼ 2°, 액정 셀(20a)에 대한 세정 노즐(9)의 상하각을 0∼5°, 세정 노즐(9)로부터의 세정액(10)의 분사압10Mpa∼15MPa으로 설정했다.

상기와 같은 세정 조건으로 함으로써, 종래는 제거가 곤란했던 수 미크론의 기판 사이에 잔존한 불필요한 액정 및 이물질을 효율적으로 제거할 수 있다. 또, 상기 세정 조건은 변경이 가능한 것으로, 액정 셀(20a)의 상태나 액정 또는 이물질의 부착 상황 등에 의해, 임의로 설정 할 수 있다.

다음에 본 실시예 1에 있어서의 패널 세정장치(30)의 동작에 대해, 도 2 및 도 3을 이용하여 더욱 상세하게 설명한다. 도 3(a)∼ (c)은 기준 패널(5)의 회전에 따른 캠(6) 및 이동 기구(7)의 동작을 도시하는 평면도이다. 도면 중, 기준 패널(5)상의 화살표는 기준 패널(5)의 회전 방향을 나타내고 있고, 여기에서는 왼쪽 방향으로 회전(반시계 방향) 하는 경우를 예로 들어 설명한다. 또, 도 3에서는 연결 기구(7)의 이동판(7a)에 접속된 연결봉(8) 및 세정 노즐(9)은 도시를 생략하고 있다.

피세정 패널인 액정 셀(20a)이 처리 스테이지(1) 위에 놓이고, 패널 프레스(2)에 의해 고정되면, 도시하지 않은 회전 기구에 의해 회전축(3)이 회전되며, 액정 셀(20a)이 설치된 처리 스테이지(1)와 기준 패널(5)이 설치된 회전 스테이지(4)는 동기하여 동축 회전된다. 이때, 외주면에 4개의 정상부 A,B,C,D를 갖는 기준 패널(5)의 4개의 단면(A-B, B-C, C-D, D-A) 중 어느 곳에는, 이동 기구(7)의 이동판(7a)의 일단에 부착된 캠(6)이 접촉하고 있다. 또, 도 3(a)∼ (c)과 같이, 회전중심인 기준 패널(5)의 중심(5a)의 위치는 이동하지 않는다. 또한 이동 기구(7)의 고정대(7b)의 위치도 고정되고 있으며 이동하지 않는 것이다.

세정 개시 시의 상태를 예를 들면 도 3(a)으로 하면, 도 3(a)에서는, 캠(6)이 기준 패널(5)의 4개의 정상부A, B, C, D 중, A와 B의 사이의 단면A-B의 중앙부 부근에 접촉하고 있고, 이 때 캠(6)과 기준 패널 중심(5a)의 거리를 L1로 한다. 계속해서, 도 3(a)의 상태에서 기준 패널(5)이 왼쪽 방향으로 회전하고, 캠(6)이 도 3(b)과 같이, 정상부 B부근에 왔을 때, 캠(6)과 기준 패널 중심(5a)의 거리L2는 L2>L1이 되며, 이에 따라 캠(6)에 연결된 이동판(7a)은, 도 3(a)의 상태에 비해서 거리x(x=L2-L1)만큼 도면 중, 오른쪽 방향으로 수평이동된다. 동시에 이동판(7a)에 연결봉(8)을 통해 접속된 세정 노즐(9)도 거리x만큼 우측 방향으로 수평이동된다.

또한, 도 3(b)의 상태에서 기준 패널(5)이 더욱 왼쪽 방향으로 회전하고, 캠(6)이 도 3(c)과 같이, 정상부B와 C 사이의 단면B-C 중앙부 부근에 왔을 때, 캠(6)과 기준 패널 중심(5a)의 거리L3는 L3 <L2이 되고, 이에 따라 캠(6)에 연결된 이동판(7a)은, 도 3(b)의 상태에 비해 거리y(y=L2-L3)만큼 도면중 왼쪽 방향으로 수평이동된다. 동시에 세정 노즐(9)도 왼쪽 방향으로 거리y만큼 수평이동된다.

이와 같이, 캠(6) 및 이동판(7a)은, 기준 패널(5)의 외주면 위치의 변화에 따라 수평이동 함으로써 기준 패널(5)의 둘레방향으로 이동하고, 이들 캠(6) 및 이동판(7a)에 연동하여 세정 노즐(9)이 수평이동 함으로써 세정 노즐(9)은 피세정 패널인 액정 셀(20a)과의 상대 위치 및 거리를 상시 일정하게 유지하면서 그 둘레방향으로 이동하는 것이다.

이상과 같이, 본 실시예 1에 있어서의 패널 세정장치(30)에 의하면, 기준 패널(5)의 회전에 따르는 외주면 위치의 변화에 따라 캠(6) 및 이동판(7a)이 둘레방향으로 이동하고, 이에 연동하여 세정 노즐(9)이 액정 셀(20a)과의 상호 대향 위치 (거리)를 거의 일정하게 유지하면서 둘레 방향으로 이동하도록 했기 때문에, 항상 일정한 세정력을 유지하면서 액정 셀(20a)의 외주면 및 기판 사이에 부착된 불필요한 액정 또는 이물질 등을 효율적으로 제거할 수 있다. 또한 효율적인 단시간에 세정이 행해지므로, 종래의 용제에 침지하는 타입의 세정 방법에 비해, 세정액(10)의 사용량을 줄일 수 있다. 또한 간단한 기구이므로, 장치 비용 및 러닝 비용이 저가이고 스페이스를 줄일 수 있다.

또한, 제조되는 액정표시패널의 사이즈에 따른 여러가지 사이즈의 기준 패널(5)을 미리 준비해 두는 것으로 피세정 패널인 액정 셀(20a)의 사이즈가 변경된 경우에도, 기준 패널(5)을 액정 셀(10a)과 같은 사이즈로 변경만 하면 된다. 기준 패널(5)은 용이하게 교체가 가능하므로, 노즐 위치의 조정 시간을 포함한 장치 정지시간을 단축할 수 있고, 작업자의 부담을 줄일 수 있다. 이것으로부터, 본 실시예 1에 의한 패널 세정장치(30)를 이용함으로써, 안정된 균일한 표시 품위의 액정표시장치를 제공할 수 있음과 동시에, 액정표시장치의 생산성 향상 및 제조 비용 삭감을 도모할 수 있다.

또한 본 실시예에 있어서의 패널의 제조 방법은, 액정표시패널을 구성하는 액정 셀(20a)을 피세정 패널로서 그 외주면에 부착된 오물 및 이물질을 제거하는 패널 세정 공정을 포함하는 것이다. 이 패널 세정 공정은, 액정 셀(20a)과 그것에 대한 기준 패널(5)을 서로 동기하여 회전시키는 것, 기준 패널(5)의 회전에 따르는 그 외주면 위치 변화에 따라, 액정 셀(20a)의 외주에 배치된 세정 노즐(9)을 액정 셀(20a)의 둘레 방향으로 이동시키는 것 및 세정 노즐(9)로부터 액정 셀(20a)의 외주면을 향해 세정액(10)을 분사하는 것을 포함하고 있다.

본 실시예 1에 있어서의 패널의 제조 방법에 의하면, 액정 셀(20a)과 그것에 대한 기준 패널(5)을 서로 동기하여 동축 회전시키고, 기준 패널(5)의 회전에 따르는 그 외주면 위치의 변화에 따라, 액정 셀(20a)의 외주에 배치된 세정 노즐(9)을 액정 셀(20a)의 둘레방향으로 이동 시킴으로써, 액정 셀(20a)의 외주면과 세정 노즐(9)의 상호 대향 위치(거리)는 늘 거의 일정하게 유지되고 있으며, 일정한 세정력을 유지하면서 액정 셀(20a)의 외주면 및 기판 사이에 부착된 불필요한 액정 또는 이물질 등을 효율적으로 제거 할 수 있다.

또한 피세정 패널인 액정 셀(20a)의 사이즈가 변경된 경우에도, 기준 패널(5)을 액정 셀(10a)과 같은 사이즈로 변경만 하면 된다. 이것으로 부터, 본 실시예 1에 있어서의 패널의 제조 방법에 의하면, 안정된 균일한 표시 품위의 액정표시장치를 제공할 수 있음과 동시에, 액정표시장치의 생산성 향상 및 제조 비용 삭감을 도모할 수 있다.

실시예 2

도 4는, 본 발명의 실시예 2인 패널 세정장치를 도시한 개략도이다.

도면 중, 동일, 상당 부분에는 동일한 부호를 붙이고 있다. 본 실시예 2에 있어서의 패널 세정장치(31)는, 이동 기구(7)의 이동판(7a)에 접속된 연결봉(8)의 선단에, 2개의 세정 노즐(9a)(9b)을 부착한 것을 특징으로 하는 것이다. 즉, 피세정 패널인 액정 셀(20a)의 하나의 단면에 대하여 2개의 세정 노즐(9a)(9b)을 설치하게 된다. 그 이외의 구성 및 동작 등에 대해서는 상기 실시예 1과 동일하므로 설명을 생략한다.

본 실시예 2에 있어서의 패널 세정장치(31)의 세정 노즐(9a)(9b)은, 도 5와 같이, 하나의 연결봉(8)의 선단에 부착되고 있고, 각각 단독으로 각도나 압력 등의 세정 조건을 설정 할 수 있다. 또한 각각의 세정 노즐(9a)(9b)에 종류가 다른 세정액을 공급 할 수도 있고, 그 조합에 의해 여러가지 세정 조건을 실현하는 것이 가능하게 된다. 또 본 실시예 2에서는 2개의 세정 노즐(9a)(9b)을 배치했지만, 2개이상의 세정 노즐을 배치할 수도 있다.

본 실시예 2에 의하면, 상기 실시예 1과 동일한 효과에 덧붙여, 2종류 이상의 세정 조건으로 세정이 행해지므로, 다른 세정 효과의 향상을 기대할 수 있다. 또한, 2개 이상의 세정 노즐(9a)(9b)로 세정을 행함으로써, 1개의 세정 노즐로 세정할 경우에 비해 한번 제거한 불필요한 액정이나 이물질 등이 재부착하거나 들어가는 것을 방지할 수 있다.

실시예 3

도 6은, 본 발명의 실시예 3인 패널 세정장치를 도시하는 개략도이다.

또, 도면 중, 동일, 상당부분에는 동일한 부호를 붙이고 있다. 본 실시예 3에 있어서의 패널 세정장치(32)는, 기준 패널(5)의 대향하는 2개의 단면에 대해 캠(6) 및 이동 기구(71)(72)를 각각 마련하고, 이들의 캠(6) 및 이동 기구(71)(72)에 대응하여, 액정 셀(20a)의 두개의 단면에 대향하는 세정 노즐(9c)(9d)을 배치한 것이다. 그 이외의 구성 및 동작 등에 대해서는 상기 실시예 1과 동일하므로 설명을 생략한다.

본 실시예 3에 의하면, 기준 패널(5)의 대향하는 2개의 단면에 대해 캠(6) 및 이동 기구(71)(72)를 각각 마련하고, 이에 대응하여 액정 셀(20a)의 2개의 단면에 대향하는 2개의 세정 노즐(9c)(9d)을 배치함으로써, 상기 실시예 1과 동일한 효과에 더하여, 상기 실시예 1 및 실시예 2에 비해 세정 시간을 약 절반 정도에 단축할 수 있게 된다. 또한 2개의 세정 노즐(9c)(9d)을 다른 세정 조건으로 할 수도 있으며, 그 경우는 세정 시간의 단축을 이룰 수 없지만, 2종류 이상의 세정 조건으로 세정이 행해지므로, 다른 세정 효과의 향상을 기대할 수 있다.

또, 본 실시예 3에서는, 기준 패널(5)의 대향하는 2개의 단면에 대하여 캠(6) 및 이동 기구(71)(72)를 각각 배치하고, 이에 대응하여 2개의 세정 노즐(9c)(9d)을 배치했지만, 이동 기구 및 세정 노즐의 위치는 기준 패널(5)의 대향하는 2개의 단면에 한정되지 않고, 인접하는 2개의 단면이라도 좋으며, 또 2개 이상의 단면에 대해 배치할 수도 있다. 또한, 2개 이상의 단면에 대향하여 세정 노즐을 배치한 경우에 있어서도, 상기 실시예 2에서 도시한 바와 같이, 연결봉(8)의 선단에 2개 이상의 세정 노즐을 부착해도 좋다.

실시예 4

도 7은, 본 발명의 실시예 4인 패널 세정장치를 도시하는 개략도이다.

또, 도면 중, 동일하거나 상당하는 부분에는 동일 부호를 붙이고 있다. 본 실시예 4에 있어서의 패널 세정장치(33)는, 기준 패널(5)의 4개의 단면에 대향하여 캠(6) 및 이동 기구(71)(72)(73)(74)를 각각 배치하고, 이들의 캠(6) 및 이동 기구(71)(72)(73)(74)에 대응하여, 액정 셀(20a)의 4개의 단면에 대향하는 세정 노즐 (9c)(9d)(9e)(9f)을 배치한 것이다. 그 이외의 구성 및 동작 등에 대해서는 상기 실시예 1과 동일하므로 설명을 생략한다.

본 실시예 4에 의하면, 기준 패널(5)의 4개의 단면에 대하여 캠(6) 및 이동 기구(71)(72)(73)(74)를 각각 배치하고, 이에 대응하여 액정 셀(20a)의 4개의 단면에 대향하는 4개의 세정 노즐(9c)(9d)(9e)(9f)을 배치함으로써, 상기 실시예 1과 동일한 효과에 더하여, 상기 실시예 1 및 실시예 2에 비해 세정 시간을 약 1/4로 단축할 수 있다.. 또한 4개의 세정 노즐(9c)(9d)(9e)(9f)을 각각 다른 세정 조건으로 할 수도 있기 때문에, 다른 세정 효과의 향상을 기대할 수 있다.

또, 상기 실시예 1∼ 실시예 4에서는, 피세정 패널인 액정 셀(20a)의 상부에 기준 패널(5)을 배치했지만, 피세정 패널과 기준 패널(5)의 배치는 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 처리 스테이지(1)를 회전 스테이지(4)의 하부에 배치해도 좋고, 또한 상하 방향에 한하지 않고 평행하게 배치할 수도 있다. 이 경우에는 회전축(3a)(3b)은 동축 회전이 아닌, 서로 평행하게 배치되어 벨트 등으로 연락되고 서로 동기하여 회전된다. 이렇게, 본 발명에 의한 패널 세정장치는, 기준 패널(5)과 액정 셀(20a)을 동기하여 회전시키고, 기준 패널(5)에 접촉된 캠(6)에 연동하여 세정 노즐(9)이 액정 셀(20a)의 외주면을 따르면서 세정액을 분사하도록 한 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 관한 패널 세정장치에 의하면, 피세정 패널의 외주면과 세정 노즐 의 상호 대향 위치 및 거리를 항상 거의 일정하게 유지할 수 있기 때문에, 일정한 세정력을 유지하면서 피세정 패널의 외주면에 부착된 오물이나 이물질을 효율적으로 단시간에 제거 할 수 있고, 세정액의 이용량도 줄일 수 있다. 또한 간단한 기구이기 때문에 장치 비용 및 러닝 비용이 저감되고, 스페이스를 줄일 수 있다. 또한, 피세정 패널의 사이즈에 따른 여러가지 사이즈의 기준 패널을 미리 준비해 두는 것으로, 피세정 패널의 사이즈가 변경된 경우라도, 기준 패널을 피세정 패널과 같은 사이즈로 변경만 하면 되므로, 장치 정지시간을 단축할 수 있다. 이들로부터, 피세정 패널로 이루어지는 제품의 생산성 향상 및 제조 비용 삭감을 도모할 수 있다.

또한 본 발명에 관한 패널의 제조 방법에 의하면, 피세정 패널의 외주면과 세정 노즐의 상호 대향 위치 및 거리가 항상 거의 일정하게 유지되고 있기 때문에, 일정한 세정력을 유지하면서 피세정 패널의 외주면에 부착된 오물이나 이물질을 효율적으로 단시간에 제거 할 수 있고, 피세정 패널로 이루어지는 제품의 생산성 향상 및 제조 비용 삭감을 도모할 수 있다.

본 발명은, 퍼스널 컴퓨터 등의 OA기기나 휴대 전화, 전자 수첩 등의 휴대 정보기기 혹은 액정 모니터를 구비한 카 네비게이션 시스템이나 카메라 일체형 VTR 등에 이용되는 액정표시장치의 제조에 이용할 수 있다.

Claims

서로 대향하는 두개의 주표면과 이들의 주표면을 연결하는 외주면을 갖는 패널을 피세정 패널로 하고, 이 피세정 패널의 외주면에 부착된 오물 및 이물질을 제거하는 패널 세정장치에 있어서,

상기 피세정 패널이 설치되는 처리 스테이지,

상기 피세정 패널에 대한 기준 패널이 설치되는 회전 스테이지,

상기 처리 스테이지와 상기 회전 스테이지를 서로 동기하여 회전시키는 회전 기구,

상기 기준 패널의 외주면에 대하여 항상 접촉되고 상기 기준 패널의 회전에 따르는 상기 기준 패널의 외주면 위치의 변화에 따라 둘레방향으로 이동하는 캠,

상기 캠에 연결되어 상기 캠의 움직임에 따라 상기 기준 패널의 둘레방향으로 이동하는 이동부를 갖는 이동 기구 및

상기 피세정 패널의 외주에 배치되고 상기 이동부에 연동하여 상기 피세정 패널의 둘레방향으로 이동하는 세정 노즐을 구비하고,

상기 세정 노즐은, 상기 피세정 패널의 외주면을 따르면서 그 외주면을 향해 세정액을 분사하는 것을 특징으로 하는 패널 세정장치.
제 1항에 있어서,

상기 피세정 패널은, 대향 배치된 2장의 기판 사이에 액정을 협지한 장방형의 액정 패널이며, 이 액정 패널의 외주면은 4개의 단면을 갖고, 또한 상기 기준 패널도 장방형이 되며, 그 외주면도 상기 액정 패널의 각 변과 거의 같은 길이의 4개의 단면을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 세정장치.
제 2항에 있어서,

상기 세정 노즐을 상기 액정 패널의 한 단면에 대응하여 적어도 2개 이상 설치한 것을 특징으로 하는 패널 세정장치.
제 2항에 있어서,

상기 캠 및 상기 이동 기구를, 상기 기준 패널의 서로 다른 변에 대향하도록 하고, 각각 적어도 2개 이상 설치 한 것을 특징으로 하는 패널 세정장치.
제 4항에 있어서,

상기 2개 이상의 캠과 이동 기구에 대응하고, 상기 액정 패널의 서로 다른 변에 대향하는 2개 이상의 세정 노즐을 배치 한 것을 특징으로 하는 패널 세정장치.
제 2항에 있어서,

상기 기준 패널은 1장의 판으로 구성되는 것을 특징으로 하는 패널 세정장치.
서로 대향하는 두개의 주표면과 이들의 주표면을 연결하는 외주면을 갖는 패널의 제조 방법에 있어서, 상기 패널을 피세정 패널로서 그 외주면에 부착된 오물 및 이물질을 제거하는 패널 세정 공정을 포함하고, 이 패널 세정 공정은,

상기 피세정 패널과 그에 대한 기준 패널을 서로 동기하여 회전시키는 것,

상기 기준 패널의 회전에 따른 그 외주면 위치의 변화에 따라, 상기 피세정 패널의 외주에 배치된 세정 노즐을 상기 피세정 패널의 둘레방향으로 이동시키는 것 및

상기 세정 노즐로부터 상기 피세정 패널의 외주면을 향해 세정액을 분사하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.
제 7항에 있어서,

상기 피세정 패널은, 대향 배치된 2장의 기판 사이에 액정을 협지한 장방형 의 액정 패널이며, 이 액정 패널의 외주면은 4개의 단면을 갖고, 또 상기 기준 패널은 장방형의 1장의 판으로 구성되며, 그 외주면도 상기 액정 패널의 각 변과 거의 같은 길이의 4개의 단면을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널의 제조 방법.