TWI567312B

TWI567312B - 低發塵暨耐粉塵減震筒

Info

Publication number: TWI567312B
Application number: TW103111031A
Authority: TW
Inventors: 宮里英考; 三田剛; 吉永耕大; 高桑洋二; 金子純也
Original assignee: Ｓｍｃ股份有限公司
Priority date: 2013-06-28
Filing date: 2014-03-25
Publication date: 2017-01-21
Also published as: KR20160024864A; CN105339699B; CN105339699A; US20160369863A1; WO2014208151A1; JP5984101B2; DE112014003044B4; DE112014003044T5; TW201510387A; JPWO2014208151A1; US9909639B2; KR102151464B1

Description

低發塵暨耐粉塵減震筒

本發明是關於減震筒，其可將欲使移動物體停止時所產生的衝擊，利用黏性流體的流動阻尼，來使其緩衝停止下來，尤其是關於：可抑制因為要使上述移動物體停止時所產生的衝擊、滑動等而導致的發塵，同時又可抑制油膜透過筒芯桿表面而流出和粉塵的侵入，因而亦可提高耐久性的低發塵暨耐粉塵規格的減震筒。

以往，將欲使移動物體停止時所產生的衝擊，利用黏性流體的流動阻尼來進行緩衝的減震筒，例如：專利文獻1和專利文獻2等所揭示的減震筒，係極為一般所知悉的。

這種減震筒的結構，是在活塞室內充填著礦物油之類的油狀液，並且將制動用的活塞，以保有油狀液的流通間隙的狀態收容在活塞室，將連結於該活塞的筒芯桿，延伸出去到上述圓筒外殼的外部，當移動物體撞擊到該筒芯桿的前端而對於活塞進行推壓的話，充填在活塞室內的油狀液就會往與活塞的滑動方向相反的方向移動，利用在這個時候流過上述流通間隙的油狀液的流動阻尼，來吸收上述移動物體的動能。

上述的減震筒的結構，通常都是：當移動物體撞擊到從圓筒外殼的前端部的筒芯桿外罩突伸出去的筒芯桿的前端，而導致該筒芯桿後退移動時，該移動物體在接觸到筒芯桿外罩的前端面之前，會一直進行移動，而將該前端面作為停止位置來進行定位。

並且，通常該筒芯桿外罩是不鏽鋼等的金屬製，當活塞因移動物體的撞擊而後退移動，每當該移動物體撞擊到筒芯桿外罩的時候，將會因為移動物體與該筒芯桿外罩之間彼此的移位滑動所產生的摩擦等因素，而發生了細微的金屬粉塵，而且一般而言，在此之前，當移動物體撞擊到筒芯桿的前端時，也會發生粉塵。此外，在上述筒芯桿與用來可滑動地支承該筒芯桿的圓筒外殼的筒芯桿軸襯和軸承構件之間，也會發生磨損粉末。因此，在處理例如：半導體元件等的設備環境中，若有金屬粉附著的話，元件的特性會有受到影響的可能性，因此，並不適合將以往的減震筒，不經過改造就直接使用在半導體製造業界等之需要極力避免金屬粉塵的環境下。

作為用來對應這種問題的對策，是可藉由在減震筒中採用：盡量地可減少移動物體撞擊筒芯桿、筒芯桿外罩時的粉塵，而且在筒芯桿與圓筒外殼的筒芯桿軸襯、軸承構件之間也不發生磨損粉末的結構等的對應方案，或者，將上述的發塵部位予以包覆起來以抑制粉塵飛散，或者對於該發塵部位的粉塵進行強制吸引，甚至於有必要採用：將會與移動物體撞擊而發生粉塵之減震筒的發塵部位，移設到可使得設備整體受到該發塵的影響較少的場所之類的對應方案，前者的對應方案，係可期待以低成本來實現，相對地，後者的對應方案，會有設備高成本化的可能性，因此，最好還是採用前者的對應方案來減少粉塵的發生。

此外，上述的這種減震筒，當移動物體撞擊到由圓筒外殼往外部突出的筒芯桿時，因上述的理由而發生的粉塵等，如果附著在該筒芯桿的話，該粉塵將會侵入到圓筒外殼內，而成為導致內部構造發生磨損等的原因，因此，有必要在筒芯桿的周圍配設防塵刮片等，用來抑制異物的侵入，另一方面，上述筒芯桿是藉由潤滑用的油膜，而可滑動地被圓筒外殼的軸承所支承著，因此，在抑制上述異物侵入到圓筒外殼內的同時，也必須避免潤滑用的油膜通過上述軸承而流出到外部。而且，如果上述潤滑用的油膜持續地流出的話，甚至於包括充填在圓筒外殼內利用流動阻尼來吸收移動物體的動能的油狀液也都會流出去，將會損及作為減震筒使用的性能。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2004-11786號公報

[專利文獻2]日本特開2010-7765號公報

本發明所欲解決的技術課題，是要提供：一種低發塵暨耐粉塵減震筒，是製作成：基本上是可防止移動物體撞擊到圓筒外殼，以資防止粉塵的發生，除此之外，防止粉塵等的異物被筒芯桿帶入到圓筒外殼的內部，並且可抑制潤滑用的油膜通過軸承而流出到外部。

為了解決上述課題，根據本發明，是提供一種低發塵暨耐粉塵減震筒，係在具備：具有密封著油狀液的活塞室之金屬製的圓筒外殼；可在上述活塞室內，以保有可對於上述油狀液賦予流動阻尼的間隙的狀態，朝軸線方向移動的活塞；基端部是連結於上述活塞，前端部是保持液密狀態而從上述圓筒外殼的筒芯桿導出孔突出到外部，該前端部可供想要制動的移動物體撞擊之筒芯桿；將該筒芯桿朝向從上述圓筒外殼突出的方向進行彈推的回復機構的減震筒中，其特徵為：在形成於上述圓筒外殼的上述筒芯桿導出孔的端部，安裝了由具有緩衝性的合成樹脂所做成的筒狀的軸承，將上述筒芯桿可滑動地插通於該軸承的中心孔內，並且將該軸承的前端突出到較之上述圓筒外殼的外端面更外側，以作為供上述移動物體抵接用的抵接部，藉此，使該軸承兼具有：導引上述筒芯桿的功能、以及作為可防止上述移動物體抵接到上述圓筒外殼的外端面之止動件的功能，在上述筒芯桿導出孔之較上述軸承更靠近活塞室側的位置，設有：用來防止粉塵侵入的集塵構件、以及可保持著潤滑油而將該潤滑油供給到筒芯桿的表面之潤滑構件。

在具備上述結構的低發塵暨耐粉塵減震筒中，由具有緩衝性的合成樹脂所做成的筒狀的軸承，除了是將筒芯桿樞支成可以自由滑動之外，也具有作為止動件的功能，當移動物體對於筒芯桿前端撞擊之後，可使得該移動物體不必抵接到圓筒外殼，就可以停止下來，而且即使移動物體撞擊到上述之由具有緩衝性的合成樹脂所形成的軸承，也不會發生粉塵，可使得移動物體受到緩衝而停止於預定的停止位置。

此外，浸含在潤滑構件內的黃油等的潤滑劑將會逐漸地供給到筒芯桿表面而形成油膜，該筒芯桿可順暢地進行滑動，另一方面，利用上述集塵構件，可捕捉附著在筒芯桿上的粉塵而防止其侵入到內部，不僅如此，可利用該集塵構件來刮集原本附著在筒芯桿而流出到外部的油膜，並且加以保持，因而可以防止因油膜的流出所導致的外部環境受到污染，同時又可減緩油膜的耗損。

此外，當原本浸含在上述潤滑構件內的黃油等的潤滑劑，因逐漸地供給到筒芯桿表面而使其剩餘量變少，而實質上無法再進行該潤滑劑的供給時，原本被充填在活塞室內的油狀液，可當作上述潤滑劑的代用品來使用以形成油膜，而可維持與具有潤滑劑的情況之同樣的功能。

在本發明中，上述軸承的軸線方向長度，是以大於等於上述筒芯桿的直徑為宜。

此外，在本發明中，上述圓筒外殼是具備：具有上述活塞室的筒身本體、以及結合在該筒身本體的筒芯桿外罩，並且是將上述軸承和集塵構件和潤滑構件設置在該筒芯桿外罩為宜。

上述集塵構件以及潤滑構件，分別是以多孔質素材所形成，並且上述集塵構件是保持在乾燥狀態為宜。

在本發明中，是在筒芯桿導出孔的活塞室側端的位置，配設有：可與上述筒芯桿的外周面進行滑動接觸的筒芯桿軸襯，並且將該筒芯桿軸襯的位置與上述筒芯桿的行程之間的關係，設定成處於：當該筒芯桿被完全推入上述軸承內時之該筒芯桿之與上述筒芯桿軸襯進行接觸的部分，當上述筒芯桿突出時，並不會從上述軸承露出到外部的這種關係。

這種結構，對於用來抑制附著在筒芯桿上的粉塵侵入到圓筒外殼內，也是有效的結構，此外，對於用來抑制油膜附著在筒芯桿而流出到外部，也是有效的結構。

此外，在本發明中，亦可在上述筒芯桿的外表面，形成有：用來減少該筒芯桿對於上述軸承的接觸面積的溝。

上述溝是形成在：當上述筒芯桿處於初期位置時，是從上述軸承露出來，並且當該筒芯桿被移動物體往上述軸承內推入時，是與該軸承的內周面接觸的位置為宜，此外，上述溝的深度，是以：朝向上述筒芯桿的基端側逐漸地變深為宜。

上述溝，可以是圓形，也可以是螺旋形。此外，亦可在上述溝的內部，設有用來捕捉附著在上述軸承的內周面的粉塵之粉塵捕捉材。

上述之本發明的減震筒，可防止移動物體撞擊圓筒外殼，因而可防止粉塵的發生，除此之外，可防止粉塵等的異物被筒芯桿帶入到圓筒外殼的內部，並且可抑制潤滑用的油膜通過軸承而流出到外部，因此，不僅可以在應極力避免粉塵的環境下使用，也因為具備了可抑制粉塵等的異物侵入的結構，所以即使在粉塵很多的環境下使用，也可以維持長壽命。

1‧‧‧圓筒外殼

2‧‧‧筒身本體

3‧‧‧筒芯桿外罩

3a‧‧‧外端面

4‧‧‧移動物體

5‧‧‧活塞室

5a‧‧‧壓縮側室

5b‧‧‧開放側室

6‧‧‧活塞

6b‧‧‧側面

7‧‧‧筒芯桿

7a‧‧‧細徑部(7a+7b=基端部)

7b‧‧‧段部(7a+7b=基端部)

8‧‧‧復位彈簧

10‧‧‧筒芯桿導出孔

10a‧‧‧軸承收容孔

12‧‧‧軸承

12a‧‧‧中心孔

12b‧‧‧抵接部

14‧‧‧注入孔

14a‧‧‧圓筒部

15‧‧‧孔塞

15a‧‧‧油封構件

18‧‧‧支承具

19‧‧‧O環

20‧‧‧筒芯桿軸襯

21‧‧‧缺口部

22a‧‧‧恆開間隙

22b‧‧‧開閉間隙

24‧‧‧集塵構件

25‧‧‧潤滑構件

27‧‧‧彈簧承受件

29‧‧‧套筒部

30‧‧‧蓄壓室

31‧‧‧彈性構件

33，33a‧‧‧溝

50A，50B，50C，50D，50E‧‧‧減震筒

L‧‧‧軸線

S‧‧‧長度

W‧‧‧溝寬度

第1圖是顯示本發明的低發塵暨耐粉塵減震筒之第1實施方式的活塞及筒芯桿處於初期位置的狀態之剖面圖。

第2圖是顯示上述減震筒的活塞及筒芯桿移動到緩衝停止位置時的作動狀態的剖面圖。

第3圖是顯示本發明的低發塵暨耐粉塵減震筒之第2 實施方式的活塞及筒芯桿處於初期位置的狀態之剖面圖。

第4圖是顯示第2實施方式的減震筒的活塞及筒芯桿移動到緩衝停止位置時的作動狀態的剖面圖。

第5圖是形成於筒芯桿的溝的局部擴大剖面圖。

第6圖是顯示本發明的減震筒的第3實施方式的重要部位剖面圖。

第7圖是顯示本發明的減震筒的第4實施方式的重要部位剖面圖。

第8圖是顯示本發明的減震筒的第5實施方式的重要部位剖面圖。

第1圖及第2圖係顯示本發明的低發塵暨耐粉塵減震筒之第1實施方式。這個減震筒50A的主要構件，包括：具有被密封著油狀液的活塞室5之圓筒外殼1、在上述活塞室5內，以保有可對於上述油狀液賦予流動阻尼的間隙的狀態，朝軸線L方向移動的活塞6、基端被連結於上述活塞6，前端是保持液密狀態從圓筒外殼1的筒芯桿導出孔10被導出的筒芯桿7、可對於該筒芯桿7朝向從上述圓筒外殼1突出的方向進行彈推之作為回復機構的復位彈簧8，可將對於上述筒芯桿7的前端進行撞擊的移動物體4，利用上述活塞6在活塞室5內移動時的上述油狀液的流動阻尼，緩衝性地令其停止下來。

上述圓筒外殼1，係如圖所示，雖然是以藉由：將具有上述活塞室5的金屬製的筒身本體2、與可將上述筒芯桿7保持液密地導出到外部的金屬製的筒芯桿外罩3結合在一起的方式，來構成該圓筒外殼1為宜，但是並不限定於這種結構。

形成在上述圓筒外殼1的筒芯桿外罩3之上述筒芯桿導出孔10，在其外側端的位置，係具有孔徑被擴大的軸承收容孔10a，在該軸承收容孔10a內，是以緊密地被插入狀態，裝設有一個由具有緩衝性的合成樹脂所做成的筒狀的軸承12，上述筒芯桿7是可滑動地插通在該軸承12的中心孔12a內。又，上述軸承12在軸線L方向上的兩端面，是形成與該軸線L成正交的平坦面，其中一方的前端面，是較之上述筒芯桿外罩3的外端面3a往外側更突出，而構成可供上述移動物體4抵接用的抵接部12b。該軸承12從圓筒外殼1突出的突出長度，係為：當移動物體4撞擊上述筒芯桿7的前端，使得該筒芯桿7被推入圓筒外殼1內，即使上述移動物體4抵接到上述抵接部12b而使得該軸承12產生壓縮變形時，還是可以防止該移動物體4撞擊到圓筒外殼1的外端面，亦即，上述筒芯桿外罩3的外端面3a的這種程度的長度。

根據這種結構，由具有緩衝性的合成樹脂所做成的上述軸承12，除了可滑動地支承上述筒芯桿7而且加以導引之外，也兼具有：讓移動物體4撞擊到該筒芯桿7的前端之後，最終並不必讓該移動物體4抵接到上述筒芯桿外罩3即可使其停止下來之作為止動件的功能。而且，上述之由具有緩衝性的合成樹脂所形成的軸承12，即使移動物體4與其進行撞擊也不會發生粉塵，可具有緩衝性地讓移動物體4停止在預定的停止位置。適用於上述軸承12之具備滑動性和耐衝擊性的素材，係可採用例如：聚苯硫醚(PPS)樹脂等。

為了可穩定地導引上述筒芯桿7，上述軸承12之在軸線L方向上的長度S，是與上述筒芯桿7的直徑同等程度或者較其更大為宜。

又，在上述筒身本體2的一側，也就是在與被安裝有上述筒芯桿外罩3的這一側呈反對側的筒頭側端部，是形成有用來將油狀液充填到上述活塞室5的注入孔14，該注入孔14是利用將一個兼作為用來對於上述油狀液施加預壓的調壓構件的孔塞15螺合鎖緊在該處而被封閉起來。這個孔塞15是藉由將公螺紋部螺合在上述注入孔14的母螺紋部，而被安裝於該注入孔14，使該孔塞15往前進而將油封構件15a沿著注入孔14內的圓筒部14a往內推入，藉此，來對於上述圓筒外殼1內的油狀液進行加壓，利用這種方式，可預先將油狀液的洩漏量的油，預先壓入到活塞室5。

在上述筒身本體2之安裝有上述筒芯桿外罩3的這一側也就是筒芯桿側端部，是保持著一個用來形成後述的蓄壓器之支承具18。該支承具18係在圓筒外殼1的內部空間之筒芯桿側端部的外周面，具有O環19，而且在該支承具18之上述筒芯桿外罩3側的端部，形成有缺口部21，是用來收容筒芯桿軸襯20，該筒芯桿軸襯20是與上述筒芯桿7的外周面做滑動接觸而將該外周面予以密封起來。

在形成於上述圓筒外殼1的筒芯桿外罩3之上述筒芯桿導出孔10的內部，係如以下所詳細說明地，將用來防止粉塵侵入的集塵構件24、以及保持著潤滑油來供給到上述筒芯桿7的外周面之潤滑構件25，設置於較之軸承收容孔10a更為靠近圓筒外殼1的內側的位置，亦即，設在上述活塞室5側的位置。即使將上述筒身本體2與筒芯桿外罩3做成一體化的情況下，也是只要將上述集塵構件24以及潤滑構件25設在：較之筒芯桿導出孔10的軸承收容孔10a更靠近於活塞室5側的位置即可。

在上述活塞室5內，上述活塞6是以在該活塞6的外周面與上述活塞室5的內周面之間，保有用來對於上述油狀液賦予流動阻尼的間隙的狀態，可朝往軸線L方向進行移動地被收容於其中。

上述活塞6是安裝在：上述筒芯桿7的基端部之被細徑化的細徑部7a，在該筒芯桿7與活塞6之間，設有單向流路。這個單向流路，是當上述活塞6如第2圖所示地，被朝向壓縮側室5a側推進時，可以阻止油狀液從該壓縮側室5a往開放側室5b的流動，當上述活塞6如第1圖所示地，朝向開放側室5b側回復時，可以允許油狀液從該開放側室5b往上述壓縮側室5a流動，該單向流路的形成方式，係如下列所詳述。

亦即，在上述筒芯桿7的細徑部7a的外周面與活塞6的中心孔6a的內周面之間，中介著一個可讓該活塞6的表面側與裏面側一直保持連通狀態的恆開間隙22a，而且將上述筒芯桿7的上述細徑部7a的一端側的段部7b、以及與上述活塞6的該段部7b相對面的側面6b，分別形成為平坦面，藉由將該平坦面是根據上述活塞6之在軸線L方向上的若干的移動，而可在彼此之間做互相接觸或分離，而在於上述段部7b與側面6b之間形成開閉間隙22b，如第2圖所示般地，當上述段部7b抵接到該活塞6的時候，上述開閉間隙22b被封閉而可阻止油狀液的流動，如第1圖所示般地，當上述段部7b離開了活塞6的時候，就將上述開閉間隙22b予以開放，上述油狀液即可進行流動，如此一來，可利用上述恆開間隙22a與開閉間隙22b來形成上述單向流路。

又，在上述筒芯桿7上之較活塞6更為靠近基端部的位置，利用止環安裝著圓環狀的彈簧承受件27，在該彈簧承受件27與活塞室5中的筒頭側端之間，裝設有可對於上述活塞6朝向上述開放側室5b側進行彈推的上述復位彈簧8，利用這個復位彈簧8，使得上述活塞6及筒芯桿7恆時地被朝向回復到第1圖的初期位置的方向受到彈推。並且上述筒芯桿7的細徑部7a之軸線方向上的長度，是較之上述活塞6的厚度稍微大一點，而且活塞6在上述筒芯桿7的細徑部7a上之可朝向軸線方向進行滑動的長度，是藉由上述彈簧承受件27在筒芯桿7 前端的安裝位置來進行設定，是以流過該處的油狀液可確保適合活塞6的回復動作之圓滑順暢的流動之方式來形成該長度。

上述之用來形成蓄壓器的支承具18，是具備：圍繞在筒芯桿7的外周之圓筒狀的套筒部29，在該套筒部29的周圍，隔間形成蓄壓室30，在這個蓄壓室30的內部，收容著：由獨立氣泡的發泡體所做成的彈性構件31，而構成蓄壓器。該彈性構件31在處於非壓縮狀態時之在軸方向上的長度，是與上述蓄壓室30之在軸線L方向上的長度幾乎相同，位於第1圖的初期位置的狀態下，利用從前述活塞室5的注入孔14所壓入的油狀液之壓力，該彈性構件31是處於被彈性壓縮的狀態。又，上述蓄壓室30的內部，是透過連通路來與上述活塞室5互相連通，因此被密封在上述活塞室5的內部的油狀液，也因為承受到呈壓縮狀態的上述彈性構件31的彈性恢復力量，而處於被加壓的狀態。

當上述活塞6及筒芯桿7，從第1圖所示的初期位置朝向第2圖所示的緩衝停止位置進行移動的時候，上述壓縮側室5a的油狀液雖然是朝向開放側室5b進行移動，但是隨著上述活塞6及筒芯桿7的移動，筒芯桿7將會進入開放側室5b，因此，必須在圓筒外殼1內具備有：用來收容與該進入的筒芯桿7的體積量相當的油狀液之空間。這個空間是藉由收容在上述蓄壓室30的內部之彈性構件31的壓縮變形而生成的，相反地，當活塞6從上述緩衝停止位置回復到初期位置的時候，上述開放側室5b的油狀液雖然是回到上述壓縮側室5a，但是這個油狀液是因為：被壓入在上述蓄壓室30的內部的油狀液，受到先前被壓縮的彈性構件31的復原膨脹力量所推回去而獲得的。

如上所述，在上述筒芯桿導出孔10內，用來防止粉塵侵入的上述集塵構件24，是被配設在該筒芯桿導出孔10內的軸承收容孔10a側。該集塵構件24，是由多孔質素材所形成的，被保持在乾燥狀態，具有吸附粉塵的性能，可用來防止附著在上述筒芯桿7身上的粉塵侵入到上述筒芯桿軸襯20側。此外，為了使得形成上述集塵構件24之多孔質素材，也具有：可將附著在筒芯桿7而流出到外部的油膜刮落下來並且加以保持的功能，該素材是具有液體吸收性為佳。

此外，在上述筒芯桿導出孔10內，用來保持潤滑油的上述潤滑構件25是被配設在：較之上述集塵構件24更靠近活塞室5側的位置。該潤滑構件25是由多孔質素材所形成的，浸含有潤滑劑而可將該潤滑劑供給到上述筒芯桿表面。

構成上述集塵構件24及潤滑構件25的多孔質素材，是以毛氈狀構件等來形成的為佳。

利用上述的結構，含浸在上述潤滑構件25內的黃油之類的潤滑劑會逐漸被供給到筒芯桿7的表面而形成油膜，因此該筒芯桿7可圓滑順暢地滑動，另一方面，在上述筒芯桿導出孔10內之軸承收容孔10a側，是設有：由保持乾燥狀態之可吸附粉塵的多孔質素材所做成的上述集塵構件24，所以可將附著在筒芯桿7的粉塵，利用該集塵構件24來加以捕捉，因而不僅可抑制粉塵侵入到內部，亦可將附著在上述筒芯桿7而流出到外部的油膜，利用該集塵構件24予以刮落下來並且加以保持，能夠盡可能地防止因油膜的流出所造成的外部環境受到污染，同時可大幅地延緩油膜的耗損。

此外，含浸在上述潤滑構件25內的黃油之類的潤滑劑，因逐漸被供給到筒芯桿表面，而其剩餘量變少，當該潤滑劑的供給，實質上無法再進行的時候，原先充填在活塞室5內的油狀液，就可以作為上述潤滑劑的代用品，被用來形成油膜，藉此，可以維持與具有潤滑劑的情況同樣的功能。

又，在具備了上述集塵構件24及潤滑構件25之筒芯桿導出孔10的活塞室5側端，配設有可將上述筒芯桿7的外周面與套筒部29的內周面之間予以密封的筒芯桿軸襯20。該筒芯桿軸襯20的配設位置與上述筒芯桿7的作動行程之間的關係，係如第2圖所示般地，被設定成：當筒芯桿7被完全推入到上述軸承12內時之該筒芯桿7的外周面之與上述筒芯桿軸襯20接觸的部分，係如第1圖所示般地，在上述筒芯桿7後退而從上述軸承12突出時，並不會露出到上述軸承12的外部之這種關係。這種結構也是可以有效地抑制：附著在筒芯桿7上的粉塵侵入到圓筒外殼1內，而且，亦可有效地抑制附著在筒芯桿7身上的油膜流出到外部。

一般而言，在減震筒中，移動物體4不一定是沿著筒芯桿7的軸線L方向來撞擊該筒芯桿7的前端，有時候，是以對於上述軸線L方向偏移若干角度的的方式來進行撞擊，在這種情況下，如上所述，若在圓筒外殼1的筒芯桿導出孔10配設上述集塵構件24和潤滑構件25的話，筒芯桿7必須增加其長度，因此被推測為：來自於以偏移角度進行撞擊的移動物體4的衝擊力的影響，對於筒芯桿7及軸承12的影響將會變得更大。然而，移動物體4若是以這種方式，朝向對於筒芯桿的軸線方向形成某些角度傾斜的方向來進行撞擊的情況下，因為有緊密地嵌合在筒芯桿導出孔10的軸承收容孔10a之合成樹脂製軸承12的存在，來自於朝向傾斜方向的撞擊力量之對於筒芯桿的影響會被降低，如此一來，可以減輕對於上述筒芯桿的負荷，而可使該筒芯桿的滑動保持穩定，並且可使上述集塵構件和潤滑構件的作動趨於穩定，最終結果是可以減少磨損粉末等進入到筒芯桿軸襯，亦可減少該筒芯桿軸襯的磨損。

是以，根據上述低發塵暨耐粉塵減震筒50A，可以抑制在移動物體4與筒芯桿或圓筒外殼進行撞擊時發生粉塵的情事，除此之外，可抑制粉塵等的異物的侵入，並且可抑制潤滑用的油膜通過軸承而流出到外部，所以即使在應極力避免金屬粉塵的環境下，亦可使用這種減震筒，而且即使在較多粉塵的環境下，也可以維持長壽命。

第3圖和第4圖是顯示本發明的減震筒的第2實施方式。這個第2實施方式的減震筒50B之與上述第1實施方式的減震筒50A的差異點，是在於：在筒芯桿7的外周面，形成有：用來縮小該筒芯桿7對於上述軸承12的中心孔12a的內周面的接觸面積的溝33。除此之外的其他的結構，實質上都是與上述第1實施方式的減震筒50A相同，因此，針對於主要的同一結構部分都標註與該第1實施方式的減震筒50A相同的元件符號，並且省略其說明，以下，將僅就與上述溝33相關連的結構進行說明。

一般而言，在使用減震筒的作業環境下，粉塵的粒徑若微小到數μm程度的話，該粉塵的粒子受到靜電所支配的程度是大於受到重力所支配的程度，因此，已經附著在筒芯桿7的表面的粒子是變得很難利用上述集塵構件24來除去。因此，附著在筒芯桿7表面的粒子，是變得很容易附著到上述合成樹脂製的軸承12的中心孔12a內周面而很容易堆積。

為了解決這種問題，這個第2實施方式的減震筒50B，是藉由在筒芯桿7的外表面，形成有溝33，來使該筒芯桿7對於軸承12的接觸面積變小，以資減少被帶入該軸承12內的粉塵的量。

上述溝33是環繞在上述筒芯桿7的外周面之圓形的溝，該溝寬度W是小於上述軸承12的長度S，且在溝33的整個周長上的寬度都是一定，但是該溝33的深度，在該溝33的寬度W方向上並非一定，而是如第5圖所示般地，朝向筒芯桿7的基端側(第5圖的右側)逐漸地加深。亦即，上述溝33的剖面形狀，有如被三角形的兩個邊所圍繞，係具備：朝向從筒芯桿前端側的第1溝端33a往筒芯桿基端側的第2溝端33b，該溝的深度逐漸變深的方向傾斜的底壁33c、以及形成在上述第2溝端33b的側壁33d，上述底壁33c的上述第1溝端33a側的端部是位於：與上述筒芯桿7的外周面7c相同位置，上述底壁33c之上述第2端33b側的端部，係連接到上述側壁33d的下端，也就是內徑端。

形成在上述第2溝端33b側的最深部之溝的深度D，是依據筒芯桿7的直徑而有不同的較佳深度，通常是以該筒芯桿7的直徑的0.5至20%程度的深度為宜，更好是0.5至5%程度的深度。

又，上述側壁33d不一定要對於軸線L形成直角，亦可形成：愈往外徑側的話，愈是逐漸地靠近筒芯桿7的基端側的這種傾斜角度。

筒芯桿7上之形成有上述溝33的位置，係為：當該筒芯桿7處於第3圖的初期位置的情況下，亦即，處於從軸承12露出的最大限度突出狀態的情況下，該溝33是露出在上述軸承12之外，上述筒芯桿7被移動物體推入到上述軸承12內時，該溝33可以接觸到上述軸承12的中心孔12a的內周面之這種位置。

這種情況下，用來形成上述溝33的位置，係如第4圖所示般地，當上述筒芯桿7被移動物體4最大限度地推入軸承12內而抵達緩衝停止位置時，是通過上述軸承12而停止在集塵構件24之稍前的位置，或者如第6圖的第3實施方式的減震筒50C所示般地，是在與上述集塵構件24重疊的位置，亦即，停止在該集塵構件24的內部的這種位置為佳。但是，上述溝33亦可形成在：停止在上述軸承12的內部的這種位置。換言之，上述溝33最好是被形成在：即使上述筒芯桿7被推到上述緩衝停止位置的情況下，也不會與上述潤滑構件25接觸的位置，如此一來，就可以防止：浸含在上述潤滑構件25內的潤滑油被這個溝33帶出到外部。

又，如第7圖的第4實施方式的減震筒50D所示般地，亦可在筒芯桿7形成複數個前述溝33。這種情況下，複數個溝33係可做等間隔的配置，也可以做不規則間隔的配置，又，該複數個溝33的配置，係如第7圖中的鏈線所示般地，是配置成：當上述筒芯桿7被推進到緩衝停止位置時，設在筒芯桿7之最靠近基端側的溝33a，是佔據在上述集塵構件24的稍前一點的位置或者與該集塵構件24重疊的位置，其他的溝33則是剛好通過上述軸承12或者停止在該軸承12的內部為佳。

是以，如上述第2至第4實施方式的減震筒50B至50D所示般地，藉由在上述筒芯桿7的外周面形成溝33，當該筒芯桿7被推入到上述軸承12內的時候，筒芯桿7之對於該軸承12的接觸面積，可將上述溝33寬度的部分減掉而變小，因此，與並未在上述筒芯桿7形成有溝33的情況相比較，附著在該筒芯桿7的外周面而被帶進上述軸承12內的粉塵的量變少，因粉塵附著在該軸承12的內周面而導致筒芯桿7的滑動性變差的情事不易發生。

又，被推入到上述軸承12內的上述筒芯桿7回復到初期位置的時候，附著在上述軸承12的內周面的粉塵，可利用上述溝33的邊緣，尤其是第2溝端33b側的邊緣予以刮落而排出到外部，因此也具有可獲得對於軸承12的除塵效果之優點。

此外，在上述溝33的內部，係如第5圖中的鏈線所示般地，亦可設置做成毛氈狀的粉塵捕捉材35，藉此，可將附著在上述軸承12的內周面的粉塵，利用該粉塵捕捉材35予以刮落並且捕捉起來，可有效率地排出到外部。

在上述第2至第4實施方式中，上述溝33雖然是採用圓形的，但是，這種溝33亦可如第8圖所示的第5實施方式的減震筒50E的這樣地，採用：螺旋形。形成這種螺旋形的溝33的情況下，該溝33的長度，至少是捲繞在筒芯桿7的外周面一周以上的長度為宜。

此外，上述溝33可以是在寬度W方向上具有一定的深度的溝，或者也可以是剖面形成U字形的溝。

再者，用來取代環繞在筒芯桿7的外周面之上述圓形或螺旋形的溝33，亦可在筒芯桿7的外表面形成：與軸線L保持平行地延伸的直線狀的溝、構成螺旋的局部之呈曲線狀的溝等，這種情況下，是將複數個溝在上述軸線L的外圍，做等間隔地配置為宜。