TWI470540B - 基板處理裝置及基板處理裝置之顯示方法 - Google Patents

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Description

基板處理裝置及基板處理裝置之顯示方法
本發明有關一種對半導體基板及玻璃基板等基板進行處理的基板處理裝置、及基板處理裝置之顯示方法。
迄今為止，使用軟式磁碟片(登錄商標)等作為半導體製造裝置等基板處理裝置的外部記憶體。但是，軟式磁碟片雖然搬運資料便利，但搬運大量資料困難。因此，根據儲存在軟式磁碟片中之有限量的資料來進行充分的資料解析困難，且藉由軟式磁碟片來搬運為了進行充分之資料解析所需之量的資料，相當花費時間。
近年來，變成使用USB(Universal Serial Bus：通用串列匯流排)快閃記憶體作為基板處理裝置的外部記憶體，包括USB快閃記憶體的外部記憶媒體容量增大，變成可搬運大量的資料。
在基板處理裝置中所生成之資訊，被輸出至被插入基板處理裝置中之USB快閃記憶體。此情況，因為在基板處理裝置內係透過快取記憶體來進行延遲寫入，所以若在寫入中取下USB快閃記憶體，則有引起破壞儲存在USB快閃記憶體中之資料的可能性。此外，延遲寫入的時序依基板處理裝置內之狀況(例如，正在執行何種任務)而不同。若為一般電腦，可藉由在Windows(登錄商標)的工作列上所顯示的圖標來執行「安全地移除硬體」，並確認並非在寫入中。但是，在基板處理裝置的操作畫面上，確認資訊(資料)之寫入狀況的功能並不會被顯示。因此，儘管在資訊的寫入中，恐有由於進行與軟式磁碟片相同的處理而誤將USB快閃記憶體移除之虞。
本發明由於上述背景而作成，提供一種基板處理裝置，引起使用者注意同時，在操作畫面上進行可否移除記錄媒體之確認，使得不會誤將可裝卸記錄媒體移除。
為了達成上述目的，本發明之基板處理裝置係具有對操作與基板裝置有關之資訊的操作畫面的顯示進行控制的控制手段、及裝備可裝卸外部記憶裝置的安裝部，該控制手段在該外部記憶裝置被安裝於該安裝部之情況進行控制成，將用於移除已安裝之外部記憶裝置的按鈕配置於可按下的地方，並在該外部記憶裝置未被安裝於該安裝部之情況進行控制成，該按鈕不會被按下。
根據本發明之基板處理裝置，可在操作畫面上確認可裝卸記錄媒體被插入主控制部。另外，可藉由表示已插入此記錄媒體的按鈕(移除按鈕)，進行在操作畫面上移除記錄媒體時的安全確認。藉此，可在不影響已儲存於記錄媒體中之資料下，安全地移除記錄媒體。
以下，根據圖面說明用於實施本發明的形態。
在第1A圖中，利用斜視圖顯示基板處理裝置10。另外，在第1B圖中，利用側面透視圖顯示基板處理裝置10。
基板處理裝置10對作為基板所使用且由矽等所構成的晶圓200進行處理。
如第1A圖及第1B圖所示，在基板處理裝置10中，使用卡箍(基板收容器。以下稱作傳送盒)110，用作為收納晶圓200之晶圓載體。另外，基板處理裝置10具備基板處理裝置本體111。
在基板處理裝置本體111之正面壁111a的正前方部分設置正面維護口103，用作以可維護的方式設置的開口部，且分別設立將正面維護口103打開關閉的維護門104。另外，雖未圖示，在上側之正面維護門104附近，設置作為副操作部之副操作裝置50(參照第1C圖)。作為主操作部之主操作裝置16則配置於背面側之維護門附近。
在基板處理裝置本體111之正面壁111a，以連通基板處理裝置本體111內外的方式設置傳送盒搬入搬出口(基板收容器搬入搬出口)112，傳送盒搬入搬出口112藉由前閘門(基板收容器搬入搬出口開閉機構)113來打開關閉。
在傳送盒搬入搬出口112之正前方側設置裝載盒(基板收容器遞送台)114，而裝載盒114被以載置傳送盒110並予以對位的方式構成。藉由工程內搬送裝置(未圖示)將傳送盒110搬入裝載盒114並從裝載盒114搬出。
在基板處理裝置本體111內之前後方向的略中央部上部設置旋轉式傳送盒架(基板收容器載置架)105，傳送盒架105被以保管複數個傳送盒110的方式構成。即，旋轉式傳送盒架105具備被垂直立設並在水平面內間歇旋轉的支柱116、及在上中下段各位置被放射狀支撐於支柱116的複數塊架板(基板收容器載置台)117，複數塊架板117被構成為在分別載置複數個目標物的狀態下保持傳送盒110。
在位於基板處理裝置本體111內之裝載盒114與旋轉式傳送盒架105之間設置傳送盒搬送裝置(基板收容器搬送裝置)118，傳送盒搬送裝置118由在保持傳送盒110之狀態下可升降之傳送盒升降機(基板收容器升降機構)118a、及作為搬送機構之傳送盒搬送機構(基板收容器搬送機構)118b所構成，傳送盒搬送裝置118被構成為，藉由傳送盒升降機118a與傳送盒搬送機構118b之連續動作，在裝載盒114、旋轉式傳送盒架105及傳送盒開啓器(基板收容器蓋體開閉機構)121之間搬送傳送盒110。
在基板處理裝置本體111內之前後方向的略中央部下部，橫跨後端構築次框體119。在次框體119之正面壁119a，於垂直方向上下兩段排列並設置一對晶圓搬入搬出口(基板搬入搬出口)120，用於對於次框體119內進行搬入搬出，在上下段之晶圓搬入搬出口120、120分別設置一對傳送盒開啓器121、121。傳送盒121具備載置傳送盒110之載置台122、122、及裝卸傳送盒110蓋子(蓋體)之蓋子裝卸機構(蓋體裝卸機構)123、123。傳送盒開啓器121被構成為，藉由蓋子裝卸機構123將載置在載置台122之傳送盒110的蓋子裝卸，藉以開閉傳送盒110之晶圓出入口。
次框體119構成移載室124，其與傳送盒搬送裝置118及旋轉式傳送盒架105的設置空間流體上隔絕的。在移載室124之前側區域設置晶圓移載機構(基板移載機構)125，晶圓移載機構125由可將晶圓200在水平方向旋轉或直接移動的晶圓移載裝置(基板移載裝置)125a、及用以升降晶圓移載裝置125a之晶圓移載裝置升降機構(基板移載裝置升降機構)125b所構成。如示意地在第1A圖所示，晶圓移載裝置升降機構125b設置在耐壓基板處理裝置本體111右側端部分與次框體119之移載室124前方區域右側端部分之間。此等構成為，藉由晶圓移載裝置升降機構125b及晶圓移載裝置125a的連續動作，將晶圓移載裝置125a的鑷子(基板保持體)125c作為晶圓200之載置部，對於晶舟217(基板保持具)裝填(charging)及卸裝(discharging)晶圓200。
在移載室124後側區域構成將晶舟217收容並使其待機的待機部126。在待機部126上方設置處理爐202。處理爐202的下端部分構成為藉由爐口閘門(爐口開閉機構)147來開閉。
如示意地在第1A圖所示，在耐壓基板處理裝置本體111右側端部分與次框體119之待機部126右端部分之間設置用於將晶舟217升降的晶舟升降機構(基板保持具升降機構)115。在作為被連結於晶舟升降機構115的升降台之連結具的臂部128水平安裝作為蓋體的封閉蓋子219，封閉蓋子219被構成為可將晶舟217垂直支撐並封塞處理爐202之下端部。
晶舟217具備複數隻保持構件，且被構成為，在對齊複數片(例如，50~125片左右)晶圓200的中心並使其等在垂直方向排列的狀態下，分別將此等複數片晶圓水平保持。
另外，如示意地在第1A圖所示，在移載室124的晶圓移載裝置升降機構125b側及晶舟升降機構115側的相反側之左側端部分，設置由供給扇及防塵過濾器所構成之清淨單元134，用來供給已清淨化氣體或墮性氣體的清淨氣體133，而在晶圓移載裝置125a與清淨單元134之間，雖未圖示，設置一缺刻整合裝置，作為整合晶圓之圓周方向的位置之基板整合裝置。
從清淨單元134吹出的清淨氣體133被構成為，在流通於位在缺刻整合裝置及晶圓移載裝置125a及待機部126的晶舟217後，被吸入於未圖示之導管，並被排出基板處理裝置本體111的外部，或者循環至是清淨單元134之吸入側的初級側(供給側)，並再度藉由清淨單元134吹出至移載室134內。
其次，說明有關本發明之基板處理裝置10的動作。
如第1A圓及第1B圖所示，當傳送盒110被供給至裝載盒114時，藉由前閘門113開放傳送盒搬入搬出口112，藉由傳送盒搬送裝置118將裝載盒114上之傳送盒110從傳送盒搬入搬出口112搬入基板處理裝置本體111之內部。
所搬入之傳送盒110藉由傳送盒搬送裝置118自動的搬送並遞送到旋轉式傳送盒架105之指定架板117上，在暫時保管後，從架板117搬送並遞送到其中一個傳送盒開啓器121，在暫時保管後從架板117搬送並遞送到其中一個傳送盒開啓器121而移載至載置台122，或者直接搬送到傳送盒開啓器121而移載至載置台122。此時，藉由蓋子裝卸機構123關閉傳送盒開啓器121之晶圓搬入搬出口120，清淨氣體133流通並充滿於移載室124中。例如，藉由使作為清淨氣體133之氮氣充滿於移載室124中，予以設定為氧濃度20ppm以下，此遠低於基板處理裝置本體111內部(大氣氣體)之氧濃度。
載置於載置台122之傳送盒110其開口側端面靠壓在次框體119的正面壁119a之晶圓搬入搬出口120的開口邊緣部分同時，藉由蓋子裝卸機構123移除其蓋子而使晶圓出入口開放。
當藉由傳送盒開啓器121使傳送盒110開放時，晶圓200被從傳送盒110藉由晶圓移載裝置125a的鑷子125c通過晶圓出入口而拾起，在未圖示之缺刻整合裝置對晶圓進行整合後，搬入位在移載室124後方之待機部126，並裝填(charging)於晶舟217。將晶圓200已遞送給晶舟217之晶圓移載裝置125a返回到傳送盒110，並將下個晶圓裝填至晶舟217。
在藉由此其中一個(上段或下段)傳送盒開啓器121之晶圓移載機構125所進行之到晶圓的晶舟217的裝填作業中，藉由傳送盒搬送裝置118從旋轉式傳送盒架105搬送並移載別的傳送盒110到另一個(下段或上段)傳送盒開啓器121，同時進行藉由傳送盒開啓器121之傳送盒110的開放作業。
當預先指定片數的晶圓200被裝填到晶舟217，藉由爐口閘門147而已呈關閉中的處理爐202的下端部分，藉由爐口閘門147而被開放。接著，藉由晶舟升降機構115使封閉蓋子219上升，藉此將保持晶圓200群之晶舟217搬入(載入)處理爐202內。
在載入後，在處理爐202內對晶圓200實施任意處理。
在處理後，除了在未圖示之缺刻整合裝置的晶圓整合步驟以外，以大概與上述相反的順序將晶圓200及傳送盒110轉出框體外部。
其次，參照第1C圖，說明有關在基板處理裝置10中之以主控制器14為中心的硬體之構成。
如第1C圖所示，在基板處理裝置10之基板處理裝置本體111內，配合主控制器14與交換式集線器15，設置搬送控制部230與處理控制部232。搬送控制部230與處理控制部232，代替設置在基板處理裝置本體111內，可被設置在基板處理裝置本體111外。
作為主控制部之主控制器14，利用例如視頻纜線20，連接作為主操作部之主操作裝置16。另外，替代利用視頻纜線20連接主控制器14與主操作裝置16，也可透過通信網路40連接主控制器14與主操作裝置16。
另外，主控制部14透過例如通信網路40而與未圖示之外部操作裝置連接。為此，外部操作裝置可配置在與基板處理裝置10分離之位置。例如，即使將基板處理裝置設置10在無塵室內，外部操作裝置亦可配置在無塵室外的辦公室等。
在主控制器14中安裝有對應USB連接埠之Windows 2003 Server等OS(Operating System：作業系統)，可將對應USB連接埠之外部記憶裝置(例如，USB快閃記憶體)插入基板處理裝置10。
主操作裝置16配置在基板處理裝置10(或處理爐202及基板處理裝置本體111)附近。作成以如本實施形態地安裝在基板處理裝置本體111的方式，以與基板處理裝置10呈一體的方式固定主操作裝置16。
在此，主操作裝置16被配置在基板處理裝置10(或處理爐202及基板處理裝置本體111)附近，表示主操作裝置16被配置在操作者可確認基板處理裝置10之狀態的位置。例如，設置在基板處理裝置本體111被設置的無塵室內。
主操作裝置16具有主顯示裝置18。主顯示裝置18為例如液晶顯示面板，在主顯示裝置18，顯示用於操作基板處理裝置10之操作畫面等。可透過操作畫面，顯示在基板處理裝置10內所生成之資訊，並可使所顯示之資訊輸出至在被插入基板處理裝置10中的USB快閃記憶體等。
副操作裝置50具有副顯示裝置52。與主顯示裝置18相同，副顯示裝置52為例如液晶顯示面板，在副顯示裝置52，顯示用於操作基板處理裝置10之操作畫面等。在副顯示裝置52所顯示之操作畫面具有與在主顯示裝置18所顯示之操作畫面相同之功能。因此，可顯示在基板處理裝置10所生成之資訊，並可使此資訊輸出至被插入基板處理裝置10內的USB快閃記憶體等。
搬送控制部230具有由例如CPU等所構成之搬送系統控制器234，處理控制部232具有由例如CPU等所構成之處理系統控制器236。搬送系統控制器234與處理系統控制器236透過交換式集線器15而分別連接到主控制器14。
另外，在主控制器14設置作為裝卸部的連接埠13，用於進行是作為外部記憶裝置的記錄媒體之USB快閃記憶體等的安裝及移除。
另外，如第1C圖所示，在主操作裝置16內，設置為了對主顯示裝置18之顯示進行控制等所使用的主顯示控制部240。主顯示控制部240利用例如視頻纜線20而連接到主控制器14。
另外，如第1C圖所示，在副操作裝置50內，設置為了對副顯示裝置52之顯示進行控制等所使用的副顯示控制部242。另外，不限於所圖示之形態，副顯示控制部242可透過通信網路40而連接到主控制器14。
第2圖為一例子，係在主顯示裝置18及副顯示裝置52最初被顯示的操作畫面之初始畫面。
在此，操作畫面由標題欄61、資訊欄62、導引欄63及未圖示之指令欄所構成。
標題欄61在操作畫面的最上部分，位於資訊欄62及未圖示之指令欄的上部區域。標題欄61永久顯示，例如在線上通信之情況，顯示與上位控制器之通信狀態、日期、時刻、登入按鈕、登出按鈕及錯誤訊息。另外，為了提升操作效率，也可任意使此等以外之項目顯示。
在資訊欄62中，在各功能區域顯示一或複數資訊或圖畫畫面。在資訊欄62中，為了進行所需之控制或監視，配置圖畫以外之顯示物。另外，在功能區域內之資訊欄62中，適當地，可一次顯示複數資訊。
導引欄63位於在操作畫面最下部分配置各種導引按鈕的區域。在導引按鈕貼附文字標籤，也可以圖像(圖標)顯示其功能。在通知警告及注意時，在對話框顯示於畫面上的情況，以不會與導引欄63重疊的方式顯示對話框。再者，呈使用者可立刻操作而存取各種資訊。另外，在導引欄63配置用於存取確實地實施為了裝置之安全的操作所需的資訊之按鈕。例如，配置用於存取確認已發生之警報、警告及在當下取得結束之事件記錄並解除警報及警告所需的資訊之警報按鈕。另外，與標題欄61同樣地，導引欄63亦可被構成為永久顯示。
此外，在導引欄63中以虛線表示之按鈕表示無法按下之狀態(無效)。各按鈕因應操作畫面之內容及使用者的動作而變成無效及有效。例如，在使用者將USB快閃記憶體插入基板處理裝置10之情況，作為用於進行移除裝置所需的確認之確認部之移除按鈕65變成有效，在使用者從基板處理裝置10移除USB快閃記憶體之情況，移除按鈕65變成無效。若在導引欄63設置移除按鈕65，則可提示操作者確實地按下此移除按鈕65。因此，就尤其是USB快閃記憶體而言，可避免資料的破損及對於主控制器14之OS的影響。
就其他導引按鈕作說明。
在第2圖中，配置於導引欄63之系統按鈕被按下而顯示系統主畫面。圖中雖無法確認，是以分色的方式作顯示。其次，若在此狀態下按下PM按鈕，則會切換成顯示與處理控制部232有關之資訊的PM主畫面。另外，在導引欄63配置編輯按鈕。若按下此編輯按鈕，則會切換到成為編輯對象之檔案的一覽顯示畫面。操作者可在按下此編輯按鈕後，選擇想要的檔案而予以顯示在操作畫面上，並對於想要的檔案進行編輯。另外，成為編輯對象之檔案，是製法(recipe)及各種表格等在基板處理中會使用的檔案。若按下資料記錄按鈕，則會顯示與表示裝置過去的生產狀態之生產資訊(生產資料)、表示障礙發生時的裝置狀態之障礙資訊(障礙資料)、追蹤資訊、按鍵記錄資訊、事件記錄資訊、錯誤記錄資訊等記錄(log)有關之資料框設定畫面。若按下設定按鈕，則會顯示用於進行與參數編輯及檔案維護等設定有關之作業的設定畫面。若按下複製按鈕，則會複製按下時的操作畫面。若按下警報按鈕，則會顯示參照警報監視器及障礙歷程資訊的參照畫面。另外，以亦參照表示障礙發生時的裝置狀態之障礙資訊(障礙資料)的方式來作顯示。
如以上說明，本案發明之實施形態所具有之特徵為，在導引欄63設置移除按鈕65，作為在將安裝於連接埠13之裝置移除時進行確認的確認部。在此，裝置係包含不只USB快閃記憶體等外部記憶媒體，也包含印表機等輸出手段及鍵盤與滑鼠等輸入裝置之總稱。
第3圖係一流程圖，其表示在主控制器14所執行之事件處理(S10)。在此，事件是指裝置的狀態變化，具體而言，指裝置插入連接埠13或被移除。
事件處理伴隨裝置的狀態變化，將WM_DEVICECHANGE訊息傳送至主控制器14作為觸發而開始。另外WM_DEVICECHANGE訊息是指一資料構造體，包含與事件及變更有關的詳細資料，其中此事件及變更，是為了在Windows執行環境中新增裝置而變成利用可能的情況下以及在裝置被移除的情況下進行傳送並顯示裝置的變更而被賦予關聯的事件及變更。
藉由將WM_DEVICECHANGE訊息之傳送作為事件處理之觸發，相較於藉由定時器等而經常進行監視之情況，可減少主控制器14之負荷。
如第3圖所示，於步驟100(S100)，從所傳送之WM_DEVICECHANGE訊息，判斷是否發生新增裝置之事件。在發生新增裝置事件之情況，進至步驟102之處理，在不是的情況，進至步驟104之處理。
於步驟102(S102)，判斷所新增之裝置是否為邏輯驅動。在所新增之裝置為邏輯驅動的情況，進至步驟106之處理，在不是的情況，結束處理。於步驟104(S104)，從所傳送之WM_DEVICECHANGE訊息，判斷是否發生移除裝置之事件。在發生裝置移除事件之情況，進至步驟108之處理，在不是的情況，結束處理。
於步驟106(S106)，判斷所新增之裝置是否可裝卸(可移除)。在所新增之裝置為可移除的情況，進至步驟112，在不是的情況，結束處理。
於步驟108(S108)，進行與步驟102相同之處理，於步驟110(S110)，判斷所移除之裝置是否為可移除。在移除之裝置為可移除的情況，進至步驟118之處理，在不是的情況，結束處理。
於步驟112(S112)，將移除按鈕變成有效，主顯示裝置18及副顯示裝置52之操作畫面被顯示，並進至步驟114之處理。
於步驟114(S114)，將表示移除按鈕被按下的旗標(移除按鈕按下旗標)關閉。
於步驟116(S116)，將表示裝置被插入的旗標(裝置插入旗標)開啓。
於步驟118(S118)，將移除按鈕變成無效，主顯示裝置18及副顯示裝置52之操作畫面被顯示，並進至步驟120之處理。
於步驟120中(S120)，在發生裝置移除事件前，根據移除按鈕按下旗標之狀態，判斷是否按下移除按鈕。在移除按鈕按下旗標為開啓的情況，進至步驟122之處理，在不是的情況，進至步驟124之處理。
於步驟122(S122)，將裝置插入旗標關閉。
於步驟124(S124)，在主顯示裝置18及副顯示裝置52顯示引起使用者注意的警告畫面，表示在今後要移除裝置的情況，在按下移除按鈕後再將裝置移除。
第4圖係一流程圖，表示在主控制器14所執行之計時處理(S20)。
如第4圖所示，於步驟200(S200)，在裝置插入旗標開啓之情況，進至步驟202之處理，在不是的情況，結束處理。
於步驟202(S202)，判斷計數器之計數是否為偶數。在計數器之計數為偶數的情況，進至步驟204之處理，在不是的情況，進至步驟206之處理。
於步驟204(S204)，例如將移除按鈕的顏色設定成淺色來予以顯示，於步驟206(S206)，例如將移除按鈕的顏色設定成深色來予以顯示。即，作成交互顯示淺色之移除按鈕及深色之移除按鈕(閃爍顯示)。
第5圖係一流程圖，表示在主控制器14所執行之移除按鈕按下處理(S30)。
移除按鈕按下處理是將按下操作畫面之移除按鈕65當作觸發而開始。
如第5圖所示，於步驟300(S300)，將移除按鈕按下旗標開啓，並進至步驟302之處理。
於步驟302(S302)，取得裝置實體控制代碼(device instance handle)，並進至步驟304之處理。裝置實體控制代碼是用於唯一地識別裝置(例如USB快閃記憶體)的識別子。在未能取得裝置實體控制代碼之情況，進至步驟320。
於步驟304(S304)，將和被賦予與於步驟302所取得之裝置實體控制代碼對應的裝置連接的裝置表示為節點樹(即，作成裝置樹)，並判斷裝置節點是否在裝置樹。在有裝置節點的情況，進至步驟306之處理，在沒有的情況，進至步驟308之處理。
於步驟306(S306)，取得裝置節點之驅動名稱，並進至步驟310之處理。未能取得驅動名稱之情況，進至步驟308之處理。
於步驟308(S308)，探索裝置樹，並探索子節點(son node/節點深度深之節點)、同級節點(brother node/節點深度相同之節點)及母節點(parent node/節點深度淺之節點)。在有家族節點(family node)之情況，進至步驟306之處理，在沒有的情況，進至步驟320之處理。
於步驟310(S310)，取得裝置節點之裝置名稱，並進至步驟312之處理。在未取得裝置名稱之情況，進至步驟308之處理。
於步驟312(S312)，判定於步驟310所取得之裝置名稱是否為「USB大容量記憶裝置」。在是如此之裝置名稱的情況，進至步驟314之處理，並在不是的情況進至步驟308之處理。
於步驟314(S314)，對於在步驟310取得之裝置名稱的裝置節點，解放裝置內容(device context)，並進至步驟316之處理。裝置內容係儲存在裝置節點所用的資訊之資料構造體，並藉由叫出API等而被解放。在未能解放裝置內容之情況，進至步驟S320之處理。
於步驟316(S316)，確認映射至於步驟310所取得之裝置名稱之裝置節點沒有被存取，並在可確認未存取之情況，結束處理，若非如此則進至步驟320之處理。
於步驟318(S318)，在發生裝置移除事件後，結束處理。
於步驟320(S320)，在送返錯誤訊息後，結束處理。例如，將錯誤訊息顯示於錯誤畫面。
第6圖係一工作圖，其顯示將被顯示於第1C圖之主顯示裝置18及副顯示裝置52中的障礙資訊複製到USB快閃記憶體時之操作畫面的變遷。
如第6圖所示，於步驟400(S400)，顯示在第2圖所顯示之初始畫面，並在標題欄61之登入按鈕被按下之情況，進至步驟402。另外，由於在對基板處理裝置10進行任何操作之情況皆需要認證，所以省略在按下登入按鈕以外之按鈕之情況的說明。
於步驟402(S402)，登入畫面被顯示，提示輸入登入所需要的資訊(例如，使用者名稱及密碼)。
於步驟404(S404)，根據輸入於登入畫面之資訊而進行認證作業。在認證成功之情況進至步驟406，在認證失敗之情況則進至步驟408。
於步驟406(S406)，在按下導引欄63的設定按鈕之情況，顯示受理基板處理裝置10之維護的畫面。
障礙資訊被作為一種記錄檔而保存，例如在基板處理裝置10之維護畫面之中，按下受理檔案的複製及參數的備份和復原的按鈕之情況，則顯示檔案維護畫面。於檔案維護畫面，在按下受理檔案之維護的按鈕之情況，則顯示檔案管理畫面。另外，於檔案管理畫面，在按下受理記錄取得處理之按鈕並顯示記錄檔一覽畫面之情況，於記錄檔一覽畫面，在按下受理障礙資訊之維護的按鈕「障礙資訊」時，則如步驟410(S410)所示，顯示障礙資訊的一覽之畫面被顯示(第7圖所示之障礙資訊一覽畫面)。
於步驟408(S408)，顯示認證失敗的主旨之認證失敗畫面被顯示，並返回步驟402。
於第7圖所示之障礙資訊一覽畫面，將所選擇之障礙資訊複製到作為輸出對象之USB快閃記憶體後，在未按下移除按鈕65而移除USB快閃記憶體之情況，進至步驟412。另一方面，在按下移除按鈕且事件處理之傳回值為錯誤訊息時，進至步驟414，在傳回值為事件發布時，進至步驟416。
於步驟414(S414)，同錯誤訊息，顯示禁止USB快閃記憶體之移除的主旨之禁止畫面被顯示。
於步驟416(S416)，顯示成功複製到USB快閃記憶體的主旨之移除許可畫面被顯示。
以上，雖就障礙資訊輸出到USB快閃記憶體之情況進行說明，但也可輸出到對應USB連接埠之其他裝置，且就在基板處理裝置10內所產生之其他資訊而言，也可進行同樣的輸出。
說明本案發明具體實施例。
製造者側之作業者，藉由從裝置將裝置過去之生產狀態(以下，生產資訊)、障礙發生時之裝置狀態(以下，障礙資訊)、及目前或過去之裝置狀態(以下，追蹤資料)等資料複製到USB快閃記憶體，進行資料解析等。另外，上述之生產資訊、障礙資訊及追蹤資料等被作為檔案而保存，總檔案大小為數百萬位元組。因此，雖然使用以往之軟式磁碟片來從裝置提出此等大容量資料是有困難的，但於本案發明則可安全地提出此等大容量資料，並利用於資料解析。
除了上述之生產資訊、障礙資訊及追蹤資料等以外，亦可將在裝置中進行操作之按鍵的資訊(以下，按鍵記錄)、模組間交換之資訊(以下，事件記錄)、及程式執行中所發生的錯誤資訊(以下，錯誤記錄)等儲存在USB快閃記憶體，並利用於資料解析。因此，盡早查出障礙發生時之因素變得容易，可縮短裝置之停機時間。
另外，在新增製造同種膜之裝置的情況，可從既存之裝置取得生產及維護所需之製法、表格及參數等，並安全地複製到新的裝置。
於以上說明之實施形態，若將裝置插入裝卸部13，則導引欄63之移除按鈕65自動變有效。另外，即使是在基板處理中，亦可將資料輸出至裝置。但是，於本發明，也可作成在裝置是在基板處理中的情況，在操作畫面上顯示無效(即，作成無法按下移除按鈕65)，且不受理用於將各種資料輸出至裝置的操作。
如上述不管是在基板處理中而將裝置插入之情況，在操作畫面上顯示錯誤訊息較佳。即，作成將裝置插入之時序進行監視較佳。於本發明，由於在裝卸部13進行裝置之插入及移除的時序下取得事件記錄，並監視此事件記錄，因而可容易予以達成。
另外，本發明係構成為，使例如實施半導體裝置(IC)之製造方法的半導體製造裝置作為基板處理裝置10，但不僅為半導體製造裝置，亦適用於處理如LCD裝置之玻璃基板的裝置。
於基板處理裝置10所進行之成膜處理，有例如CVP、PVD、形成氧化膜和氮化膜之處理、形成包含金屬之膜的處理。
另外，於本實施形態，雖記載基板處理裝置為縱型處理裝置10，但也可同樣地適用於枚葉式裝置，另外也可同樣地適用於曝光裝置、微影裝置、塗布裝置等。
另外，也可適用於與複數基板處理裝置10連接並管理複數基板處理裝置10之群管理裝置(管理伺服器)、及包含此等基板處理裝置及群管理裝置之基板處理系統。
本發明雖以申請專利範圍所記載之事項為特徵，但另外包含以下附記事項。
[附記1]
一種基板處理裝置，具有：操作部，具備進行基板處理用的檔案之作成或編輯之操作畫面；及控制手段，分別透過通信電路而與用於裝備寫入執行該檔案時所生成之資料的外部記憶手段的安裝部連接，並控制成執行該檔案，該控制手段，在該外部記憶手段未被安裝於該安裝部時，構成為使該操作畫面上之既定按鈕的顏色與背景顏色相同，並為不可按下，在該外部記憶手段被安裝於該安裝部時，構成為該基板處理裝置正在對基板進行處理中，將該既定按鈕明確顯明示於即使在該操作畫面上預定之操作及監視基板處理裝置之操作狀態之畫面的切換顯示操作也不會被切換的部分。
[附記2]
如附記1所記載之基板處理裝置，其中在為了將該外部記憶手段從該安裝部移除而按下該既定按鈕之情況，構成為在對該外部記憶手段之資料的寫入處理尚未結束時，會發生錯誤。
[附記3]
如附記1或2所記載之基板處理裝置，其中在資料寫入該外部記憶手段中的情況，變更該既定按鈕之顏色並予以明確顯示。
[附記4]
如附記1或2所記載之基板處理裝置，其中該控制手段係在令用於使該檔案內之資料記錄於該外部記憶手段之設定畫面顯示於該操作畫面，並選擇既定檔案時，使所選擇之檔案內的資料記錄於該外部記憶手段。
[附記5]
如附記4所記載之基板處理裝置，其中被記錄於該外部記憶手段之資料，係表示裝置過去之生產狀態的生產資訊(生產資料)、顯示障礙發生時之裝置狀態的障礙資訊(障礙資料)、追蹤資料、按鍵記錄資料、事件記錄資料及錯誤記錄資料之中之一者以上。
[附記6]
如附記1所記載之基板處理裝置，其中構成為對於將各資料記錄於該外部記憶手段時被作成之檔案，在檔案寫入該外部記憶手段之處理尚未結束之情況，會發生錯誤。
[附記7]
如附記1所記載之基板處理裝置，其中對於將各資料記錄於該外部記憶手段時被作成之檔案，在檔案寫入該外部記憶手段之處理尚未結束之情況，對每個寫入處理尚未結束之檔案變更顏色並予以明確顯示。
[附記8]
如附記1所記載之基板處理裝置，其中在未按下既定按鈕即從該安裝部移除該外部記憶手段之情況，在該操作畫面上顯示未按下既定按鈕即進行移除。
10‧‧‧基板處理裝置
13‧‧‧連接埠
14‧‧‧主控制器
15‧‧‧交換式集線器
16‧‧‧主操作裝置
18‧‧‧主顯示裝置
20‧‧‧視頻纜線
40‧‧‧通信網路
50‧‧‧副操作裝置
52‧‧‧副顯示裝置
61‧‧‧標題欄
62‧‧‧資訊欄
63‧‧‧導引欄
103‧‧‧正面維護口
104‧‧‧維護門
105‧‧‧旋轉式傳送盒架
110‧‧‧傳送盒
111‧‧‧基板處理裝置本體
111a‧‧‧正面壁
112‧‧‧傳送盒搬入搬出口
113‧‧‧前閘門
114‧‧‧裝載盒
115‧‧‧晶舟升降機構
116‧‧‧支柱
117‧‧‧架板
118‧‧‧傳送盒搬送裝置
118a‧‧‧傳送盒升降機
118b‧‧‧傳送盒搬送機構
119‧‧‧次框體
119a‧‧‧正面壁
120‧‧‧晶圓搬入搬出口
121‧‧‧傳送盒開啟器
122‧‧‧載置台
123‧‧‧蓋子裝卸機構
124‧‧‧移載室
125‧‧‧晶圓移載機構
125a‧‧‧晶圓移載裝置
125b‧‧‧晶圓移載裝置升降機構
125c‧‧‧晶圓移載裝置
126‧‧‧待機部
128‧‧‧臂部
133‧‧‧清淨氣體
134‧‧‧清淨單元
147‧‧‧爐口閘門
200‧‧‧晶圓
202‧‧‧處理室
217‧‧‧晶舟
219‧‧‧封閉蓋子
230‧‧‧搬送控制
232‧‧‧處理控制部
234‧‧‧搬送系統控制器
236‧‧‧處理系統控制器
240‧‧‧主顯示控制部
242‧‧‧副顯示控制部
第1A圖係根據本發明實施形態的基板處理裝置之斜視圖。
第1B圖係根據本發明實施形態的基板處理裝置之剖面圖。
第1C圖係一區塊圖，顯示以根據本發明實施形態的基板處理裝置之控制手段為中心之構成。
第2圖係例示在根據本發明實施形態的基板處理裝置之主顯示畫面中最初顯示的操作畫面之圖。
第3圖係表示事件處理的流程圖。
第4圖係表示計時處理的流程圖。
第5圖係表示移除按鈕按下處理的流程圖。
第6圖係表示操作畫面之轉變的工作圖。
第7圖係例示障礙資訊一覽畫面的之圖。

Claims (14)

  1. 一種基板處理裝置，具有控制手段，係設置以控制操作基板處理資訊的操作畫面之顯示；及安裝部，係連接可裝卸之外部記憶裝置；該操作畫面包括有一具有至少一登入按鈕的初始畫面；當按下該登入按鈕時，一登入畫面顯示一認證作業；當執行該認證作業時，顯示一設定畫面；以及當按下一設定按鈕時，顯示一維護畫面；在藉由按下顯示在該維護畫面的一既定按鈕，而顯示用以將該基板處理資訊寫入該外部記憶裝置的設定畫面時，該控制手段列出該基板處理資訊於該設定畫面上且在該維護畫面上顯示表示該外部記憶裝置連結至該安裝部的一按鈕；當該外部記憶裝置係不與該安裝部連結時，該控制手段無法按下表示該外部記憶裝置連結至該安裝部的一按鈕；當該外部記憶裝置係與該安裝部連結時，該控制手段能夠按下表示該外部記憶裝置連結至該安裝部的一按鈕；以及當顯示在該設定畫面的該基板處理資訊被選取時，該控制手段輸出一被選取的基板處理資訊至該外部記憶裝置。
  2. 如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中在該基板處理資訊完全輸出至該外部記憶裝置 前，當按下該表示該外部記憶裝置連接該安裝部的按鈕以致該安裝部移除該外部記憶裝置時，將產生一錯誤訊息。
  3. 如申請專利範圍第2項之基板處理裝置，其中該基板處理資訊包括至少一個生產資訊，其表示該裝置過去的生產狀態；一障礙資訊，其表示在障礙發生時該裝置的狀態；一追蹤資料；一按鍵記錄資料；一事件記錄資料；以及一錯誤記錄資料。
  4. 如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中該基板處理資訊包括至少一個生產資訊，其表示該裝置過去的生產狀態；一障礙資訊，其表示在障礙發生時該裝置的狀態；一追蹤資料；一按鍵記錄資料；一事件記錄資料；以及一錯誤記錄資料。
  5. 如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中該操作畫面包括有：標題欄，係經常顯示在該操作畫面的上部區域；資訊欄，係用以控制或監視一作業；以及導引欄，位於在操作畫面之下部區域，其配置複數導引按鈕；其中該表示該外部記憶裝置連接該安裝部的按鈕且該設定畫面係顯示在同一個操作畫面；該既定按鈕係設置在導引欄上；以及該設定螢幕係顯示在資訊欄上。
  6. 如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中該外部記憶裝置包括有一USB快閃記憶體、一含有印表機的輸出手段或一含有鍵盤或滑鼠的輸入 手段。
  7. 如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中該安裝部包括有一USB連接埠。
  8. 如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中在藉由該基板處理裝置處理基板的期間，即使當該外部記憶裝置連接至該安裝部時，無法按下該表示該外部記憶裝置連接至該安裝部的按鈕。
  9. 一種基板處理裝置，具有一控制手段，該控制手段連結至：操作部，係設置用提供經由已準備或已編輯一檔案來處理一基板的一操作畫面；安裝部，係當執行該檔案時，連接一外部記憶裝置以儲存資料，該控制手段透過通訊線材來連接該操作單元及該安裝部且設置為執行該檔案；其中該操作單元設置該操作畫面至少含有標題欄，係經常顯示在該操作畫面的上部區域；資訊欄，係用以控制或監視一作業；以及導引欄，位於操作畫面的下部區域，且即使在執行畫面切換操作時，該導引欄也不會改變；其中表示該外部記憶裝置連接至安裝部的一按鈕係設置於該引導欄上；當該外部記憶裝置不與該安裝部連接時，該控制手段不能按下表示該外部記憶裝置連接至該安裝部的該按鈕，其藉由將該表示該外部記憶裝置連接至該安裝部的該按鈕的顏色顯示與該導引欄的背景 顏色一致；以及當該外部記憶裝置與該安裝部連接時，該控制手段顯示表示該外部記憶裝置連接至該安裝部的該按鈕於該引導欄上且在該資訊欄中顯示列出已寫入於該外部記憶裝置的資料的一設定畫面。
  10. 如申請專利範圍第9項之基板處理裝置，其中在該基板處理資訊完全輸出至該外部記憶裝置前，當按下表示該外部記憶裝置連接該安裝部的該按鈕以致該安裝部移除該外部記憶裝置時，將產生一錯誤訊息。
  11. 如申請專利範圍第9項之基板處理裝置，其中在藉由該基板處理裝置處理基板的期間，即使當該外部記憶裝置連接至該安裝部時，無法按下該表示該外部記憶裝置連接至該安裝部的按鈕。
  12. 一種基板處理裝置之顯示方法，該基板處理裝置包括有一控制手段，係設置以控制經由操作基板處理資訊的操作畫面之顯示；以及一安裝部，係連接可裝卸之外部記憶裝置；該基板處理裝置將有能力顯示操作畫面包含有：一標題欄，其經常顯示於該操作畫面的上部區域；一資訊欄，係用以控制或監視一作業；以及一導引欄，位於在操作畫面之下部區域，其配置導引按鈕；該基板處理裝置之顯示方法包括有：當該外部記憶裝置未連接至該安裝部時，藉由顯示表示該外部記憶裝置連接至該安裝部的該導引 按鈕的顏色與該導引欄的背景顏色一致，以不能按下該按鈕；當該外部記憶裝置係與該安裝部連結時，藉由顯示表示該外部記憶裝置連接至該安裝部的一導引按鈕於導引欄上，以能夠按下該按鈕；以及在該資訊欄中顯示列出已寫入至外部記憶裝置的基板處理資訊的一設定畫面。
  13. 一種控制基板處理裝置之方法，該裝置包括有一控制手段，控制手段，係設置以控制操作基板處理資訊的操作畫面之顯示；以及一安裝部，係連接可裝卸之外部記憶裝置；該方法包括有：設置具有至少一標題欄於該操作畫面，該標題欄經常顯示於該操作畫面的上部區域；一資訊欄，係用以控制或監視一作業；以及一導引欄，位於在操作畫面之下部區域，其設置複數導引按鈕；當該外部記憶裝置連接至該安裝部時，藉由顯示表示該外部記憶裝置連接至該安裝部的一導引按鈕於導引欄上，以能夠按下該按鈕；在該資訊欄中顯示列出已寫入至外部記憶裝置的基板處理資訊的一設定畫面；輸出一已選取的基板處理訊息至該外部記憶裝置；以及當該外部記憶裝置未連接至該安裝部時，藉由顯示表示該外部記憶裝置連接至該安裝部的該導引按鈕的顏色與該導引欄的背景顏色一致，以不能按下該按鈕。
  14. 如申請範圍第13項之顯示方法，其中更包括有當移除該外部記憶裝置未按下該按鈕時，在該操作畫面顯示一警告畫面。
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