TWI450039B - 正型感光性樹脂組成物 - Google Patents

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Description

正型感光性樹脂組成物
本發明是有關於一種可以在光阻(resist)領域等中使用的正型感光性樹脂組成物。
圖案化的透明膜，被用於間隙控制材料(spacer)、絕緣膜、保護膜等顯示元件的許多部分，迄今為止，上述用途中提出了多種正型感光性樹脂組成物(例如參照日本專利特開昭51－34711號公報、日本專利特開昭56－122031號公報以及日本專利特開平5－165214號公報)。另外，已知一種含有聚合物的正型感光性樹脂組成物，上述聚合物以4－羥基苯乙烯為單體(例如參照日本專利特公昭52－41050號公報)。
通常，在薄膜電晶體型液晶顯示元件或固體攝像元件等電子部件中，為了使層狀配置的配線之間絕緣而設置絕緣膜。作為形成絕緣膜的材料，廣泛使用正型感光性樹脂組成物，使用此組成物時，用於得到所需圖案形狀的絕緣膜的製程數少。在形成絕緣膜的過程中，要求正型感光性樹脂組成物具有寬闊的製程裕度(Process Margin)。而且，使用正型感光性樹脂組成物製作的絕緣膜或顯示元件，在其製造後製程中，必不可少地要浸漬在溶劑、酸、鹼溶液等中等以進行接觸與進行熱處理。
鑒於上述狀況，要求開發具有高耐溶劑性、高耐水性、高耐酸性、高耐鹼性、高耐熱性、高透明性、與基底的密合性等優異、可以形成藉由以鹼性水溶液進行顯影而得到的圖案化樹脂膜、即圖案化透明膜(圖案狀透明膜)的正型感光性樹脂組成物等。
同樣，還要求開發具有高耐溶劑性、高耐水性、高耐酸性、高耐鹼性、高耐熱性、高透明性、與基底的密合性等優異的圖案狀透明膜或絕緣膜以及顯示元件等。
本發明人發現了一種正型感光性樹脂組成物，該組成物含有共聚物(A)和1,2－醌二疊氮化合物(B)，上述共聚物(A)是將下述通式(I)表示的單體(a1)和其他自由基聚合性單體(a2)聚合而得到。本發明人基於以上認識，從而完成了本發明。本發明包括以下各項。
1)一種感光性樹脂組成物，該組成物包括：共聚物(A)和1,2－醌二疊氮化合物(B)，上述共聚物(A)是將通式(I)表示的自由基聚合性單體(a1)和其他自由基聚合性單體(a2)聚合而得到。
(式中，R1 表示氫或任意的氫可以被氟取代的碳原子數為1~5的烷基；R2 、R3 以及R4 各自獨立地表示羥基、碳原子數為1~5的烷基、碳原子數為1~5的烷氧基或－O(Si(Cl H2l＋1 )2 O)m Si(Cp H2p＋1 )3 ；l為1~5的整數；m為0或1~10的整數；n為1~5的整數；p為1~5的整數)
2)項1所記載之感光性樹脂組成物，其中還含有鹼可溶性共聚物(C)，上述鹼可溶性共聚物(C)是將選自具有不飽和羧酸的自由基聚合性單體、具有不飽和羧酸酐的自由基聚合性單體以及具有酚性OH的自由基聚合性單體中的一種或一種以上聚合而得到。
3)項1或項2所記載之感光性樹脂組成物，其特徵在於：其他自由基聚合性單體(a2)包括選自具有環氧基的自由基聚合性單體中的一種或一種以上。
4)項1或項2所記載之感光性樹脂組成物，其特徵在於，其他自由基聚合性單體(a2)包括：選自具有不飽和羧酸的自由基聚合性單體、具有不飽和羧酸酐的自由基聚合性單體以及具有酚性OH的自由基聚合性單體中的一種或一種以上。
5)項1~4中任一項所記載之感光性樹脂組成物，其特徵在於：其他自由基聚合性單體(a2)選自通式(II)表示的具有酚性OH的自由基聚合性單體。 (通式(II)中，R5 、R6 以及R7 各自獨立地表示氫或任意的氫可以被氟取代的碳原子數為1~3的烷基；R8 、R9 、R10 、R11 以及R12 各自獨立地表示氫、鹵素、－CN、－CF3 、－OCF3 、－OH、任意的－CH2 －可以被－COO－、－OCO－、－CO－取代或者任意的氫可以被鹵素取代的碳原子數為1~5的烷基、或任意的氫可以被鹵素取代的碳原子數為1~5的烷氧基。其中，R8 ~R12 中至少有一個為－OH。)
6)項2~5中任一項所記載之感光性樹脂組成物，其特徵在於：鹼可溶性共聚物(C)是將通式(II)表示的具有酚性OH的自由基聚合性單體聚合而得到。
7)項2~5中任一項所記載之感光性樹脂組成物，其特徵在於：鹼可溶性共聚物(C)是將通式(I)表示的自由基聚合性單體聚合而得到。
8)項1~7中任一項所記載之感光性樹脂組成物，其特徵在於：自由基聚合性單體(a1)為選自3－甲基丙烯醯氧丙基三甲氧基矽烷和甲基丙烯醯氧丙基－三－三甲基甲矽烷氧基矽烷中的一種或一種以上。
9)項3所記載之感光性樹脂組成物，其特徵在於，具有環氧基的自由基聚合性單體包括：選自(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸甲基縮水甘油酯、3,4－環氧環己基甲基(甲基)丙烯酸酯、3－甲基－3－(甲基)丙烯醯氧甲基氧雜環丁烷、3－乙基－3－(甲基)丙烯醯氧甲基氧雜環丁烷、3－甲基－3－(甲基)丙烯醯氧乙基氧雜環丁烷和3－乙基－3－(甲基)丙烯醯氧乙基氧雜環丁烷中的一種或一種以上的化合物。
10)項1~9中任一項所記載之感光性樹脂組成物，其特徵在於，其他自由基聚合性單體(a2)包括：選自(甲基)丙烯酸、馬來酸酐、羥基苯乙烯以及4－羥苯基乙烯基酮中的一種或一種以上。
11)項2~10中任一項所記載之感光性樹脂組成物，其特徵在於：鹼可溶性共聚物(C)是將選自(甲基)丙烯酸、馬來酸酐、羥基苯乙烯以及4－羥苯基乙烯基酮中的一種或一種以上的自由基聚合性單體聚合而得到。
12)項2~11中任一項所記載之感光性樹脂組成物，其特徵在於，鹼可溶性共聚物(C)包括：選自具有N取代馬來醯亞胺的自由基聚合性單體和含有二環戊基的自由基聚合性單體中的一種或一種以上。
13)項12所記載之感光性樹脂組成物，其特徵在於，N取代馬來醯亞胺選自：N－甲基馬來醯亞胺、N－乙基馬來醯亞胺、N－丁基馬來醯亞胺、N－環己基馬來醯亞胺、N－苄基馬來醯亞胺、N－苯基馬來醯亞胺、N－(4－乙醯苯基)馬來醯亞胺、N－(2,6－二乙基苯基)馬來醯亞胺、N－(4－二甲胺基－3,5－二硝基苯基)馬來醯亞胺、N－(1－苯胺基萘基－4)馬來醯亞胺、N－[4－(2－苯並噁唑基)苯基]馬來醯亞胺和N－(9－吖啶基)馬來醯亞胺。
14)項1~13中任一項所記載之感光性樹脂組成物，其特徵在於：含有二環戊基的自由基聚合性單體為(甲基)丙烯酸二環戊酯。
15)項1~14中任一項所記載之正型感光性樹脂組成物的圖案狀透明膜。
16)一種絕緣膜，該絕緣膜使用項15所記載之圖案狀透明膜。
17)一種顯示元件，該顯示元件包括項15所記載之圖案狀透明膜。
本說明書中，有時為了表示丙烯酸和甲基丙烯酸兩者，而表述成「(甲基)丙烯酸」。同樣，有時為了表示丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯兩者，而表述成「(甲基)丙烯酸酯」。
本說明書中，「烷基」是指直鏈或支鏈烷基，可以列舉如：甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基等。
本發明之正型感光性樹脂組成物，具有優異的透明性、低介電常數性、耐溶劑性、耐酸性、耐鹼性及耐熱性，因此使用該正型感光性樹脂組成物製作的透明膜、絕緣膜、顯示元件等的樹脂膜，在其製造後製程中，即使接觸或浸漬於溶劑、酸、鹼溶液等液體中、以及進行熱處理等後處理，樹脂膜表面也不易產生皸裂。其結果，使用本發明之正型感光性樹脂組成物製作的透明膜等樹脂膜的光透過率高；使用該樹脂膜的顯示元件的顯示品質提高。
為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。
 <1－1.共聚物(A)>
本發明之共聚物(A)是使通式(I)表示的自由基聚合性單體(a1)和其他自由基聚合性單體(a2)聚合而得到。即，此共聚物(A)是使單體混合物聚合而得到的共聚物。
上述共聚物(A)可以使用多個自由基聚合性單體作為其他自由基聚合性單體(a2)。
<1－1－1.通式(I)表示的單體(a1)>通式(I)表示的自由基聚合性單體(a1)的具體例子可以列舉出：3－甲基丙烯醯氧丙基三甲氧基矽烷或甲基丙烯醯氧丙基－三－三甲基甲矽烷氧基矽烷等。當使用使用了上述自由基聚合性單體的共聚物時，初期透明性高，並且幾乎不存在因高溫燒結而引起的透明性劣化，另外顯影時相對於鹼性水溶液的溶解性高，即顯影性高，容易得到圖案狀透明膜，並且顯示出耐溶劑性、高耐水性、耐酸性、耐鹼性及耐熱性，而且與基底的密合性變高。
<1－1－2.具有環氧基的自由基聚合性單體(a2)>本發明中使用的具有環氧基的自由基聚合性單體(a2)的具體例子可以列舉出：(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸甲基縮水甘油酯、α－乙基丙烯酸縮水甘油酯、3,4－環氧環己基(甲基)丙烯酸酯、3－甲基－3－(甲基)丙烯醯氧甲基氧雜環丁烷、3－乙基－3－(甲基)丙烯醯氧甲基氧雜環丁烷、3－甲基－3－(甲基)丙烯醯氧乙基氧雜環丁烷或3－乙基－3－(甲基)丙烯醯氧乙基氧雜環丁烷等。當採用使用了上述自由基聚合性單體的共聚物時，耐濺鍍性良好，透明性變高。
上述具體例中，從容易獲取及提高所得圖案狀透明膜的耐溶劑性、耐水性、耐酸性、耐鹼性、耐熱性、透明性方面考慮，較佳的是(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸甲基縮水甘油酯、3,4－環氧環己基甲基(甲基)丙烯酸酯以及3－乙基－3－(甲基)丙烯醯氧甲基氧雜環丁烷。
另外，上述具有環氧基的自由基聚合性單體，可以僅使用一種，也可以是多種混合使用。
<1－1－3.其他自由基聚合性單體(a2)>本發明中可以使用的較佳的自由基聚合性單體(a2)為：具有不飽和羧酸的自由基聚合性單體、具有不飽和羧酸酐的自由基聚合性單體以及具有酚性OH的自由基聚合性單體。自由基聚合性單體(a2)的具體例子可以列舉出：(甲基)丙烯酸、馬來酸酐、羥基苯乙烯或4－羥苯基乙烯基酮等。從鹼可溶性方面考慮，較佳的是採用使用了上述自由基聚合性單體的共聚物。
上述具體例中，較佳的是甲基丙烯酸、羥基苯乙烯或4－羥苯基乙烯基酮。甲基丙烯酸和羥基苯乙烯容易獲取，而使用4－羥苯基乙烯基酮時，在透明性、耐熱性方面可以得到良好的特性。
上述共聚物(A)可以包括除了具有不飽和羧酸的自由基聚合性單體、具有不飽和羧酸酐的自由基聚合性單體、具有酚性OH的自由基聚合性單體以外的自由基聚合性單體作為自由基聚合性單體(a2)。
本發明之共聚物(A)是藉由使上述單體(a1)和(a2)進行自由基聚合而得到。該自由基聚合可以使用公知的聚合起始劑來進行。
<1－2.鹼可溶性共聚物(C)>
本發明之鹼可溶性共聚物(C)，可以使用：具有不飽和羧酸的自由基聚合性單體、具有不飽和羧酸酐的自由基聚合性單體、具有酚性OH的自由基聚合性單體。共聚物(C)的具體例子可以列舉出：(甲基)丙烯酸、馬來酸酐、羥基苯乙烯或4－羥苯基乙烯基酮等。從鹼可溶性方面考慮，較佳的是採用使用了上述自由基聚合性單體的共聚物。
上述鹼可溶性共聚物(C)，可以使用：N－取代馬來醯亞胺和含有二環戊基的自由基聚合性單體。從耐熱性、低介電常數性方面考慮，較佳的是使用上述自由基聚合性單體。
上述N取代馬來醯亞胺的具體例子可以列舉出：N－甲基馬來醯亞胺、N－乙基馬來醯亞胺、N－丁基馬來醯亞胺、N－環己基馬來醯亞胺、N－苄基馬來醯亞胺、N－苯基馬來醯亞胺、N－(4－乙醯苯基)馬來醯亞胺、N－(2,6－二乙基苯基)馬來醯亞胺、N－(4－二甲胺基－3,5－二硝基苯基)馬來醯亞胺、N－(1－苯胺基萘基－4)馬來醯亞胺、N－[4－(2－苯並噁唑基)苯基]馬來醯亞胺或N－(9－吖啶基)馬來醯亞胺等。
上述含有二環戊基的自由基聚合性單體的具體例可以列舉出：丙烯酸二環戊酯或甲基丙烯酸二環戊酯等。
並且，在不損及本發明效果的範圍內，上述鹼可溶性共聚物(C)可以包括除上述N取代馬來醯亞胺、含有二環戊基的自由基聚合性單體以外的自由基聚合性單體。
此外，本發明之鹼可溶性聚合物，例如在將其熱分解時，藉由使用GC－MS測定熱分解產生的氣體，可以推測單體成分。
使用上述鹼可溶性聚合物(C)時，本發明之感光性樹脂組成物相對於鹼性水溶液的溶解性高，即顯影性高，容易得到圖案狀透明膜。另外，從低介電常數性、耐溶劑性、高耐水性、高耐酸性、高耐鹼性、高耐熱性方面考慮，其是較佳的。
<1－3.共聚物(A)和鹼可溶性共聚物(C)的聚合方法>
對共聚物(A)和鹼可溶性共聚物(C)的聚合方法沒有特別限定，對於共聚物(A)，可以使自由基聚合性單體(a1)與自由基聚合性單體(a2)的混合物聚合而得到，較佳的是使用溶劑在溶液中進行自由基聚合。聚合溫度只要是自使用的聚合起始劑充分產生自由基的溫度即可，其沒有特別限定，通常為50℃~150℃的範圍。聚合時間也沒有特別限定，通常為1~24小時的範圍。該聚合可以在加壓、減壓或大氣壓等任一種壓力下進行。
上述聚合反應中使用的溶劑，較佳的是溶解所使用的自由基聚合性單體和生成的共聚物(A)以及鹼可溶性共聚物(C)的溶劑。該溶劑的具體例子可以列舉出：甲醇、乙醇、1－丙醇、2－丙醇、丙酮、2－丁酮、乙酸乙酯、乙酸丙酯、四氫呋喃、乙腈、二噁烷、甲苯、二甲苯、環己酮、乙二醇單乙基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、二甘醇二甲醚、二甘醇甲基乙基醚、3－甲氧基丙酸甲酯、3－乙氧基丙酸乙酯、N,N－二甲基甲醯胺、乙酸或水等。上述溶劑可以使用其中的一種，也可以使用其中兩種或兩種以上的混合物。
合成共聚物(A)和鹼可溶性共聚物(C)時使用的聚合起始劑，可以使用藉由熱而產生自由基的化合物、偶氮二異丁腈等偶氮系起始劑或苯甲醯過氧化物等過氧化物系起始劑。為了調節分子量，可以適量添加巰基乙酸等鏈轉移劑。
對共聚物(A)和鹼可溶性共聚物(C)而言，當以聚氧化乙烯為標準進行GPC分析時，若求得的重量平均分子量為1,000~100,000的範圍，則直至曝光部分被鹼顯影液溶解為止的顯影時間適宜，且顯影時膜表面不易皸裂，因此分子量較佳的是為上述範圍。並且，若重量平均分子量為1,500~50,000的範圍，則直至未曝光部分被鹼顯影液溶解為止的顯影時間適宜，且顯影時膜表面不易皸裂，顯影殘渣也變得極少，因此分子量更佳的是為此範圍。根據同樣的理由，重量平均分子量特別佳的是為2,000~20,000的範圍。
共聚物(A)和鹼可溶性共聚物(C)的重量平均分子量，例如可以按下述條件進行測定：標準聚氧乙烯使用分子量為1,000~510,000的聚氧乙烯(例如TOSHO(股)製的TSK standard)，柱使用Shodex KD－806M(昭和電工(股)製)，流動相使用DMF。
<2.本發明之正型感光性樹脂組成物>
本發明之正型感光性樹脂組成物，其中包括共聚物(A)和1,2－醌二疊氮化合物(B)，上述共聚物(A)是使通式(I)表示的單體(a1)和其他自由基聚合性單體(a2)共聚而得到。上述正型感光性樹脂組成物中還可以包括鹼可溶性共聚物(C)。
<2－1. 1,2－醌二疊氮化合物(B)>
1,2－醌二疊氮化合物(B)中，可以使用例如光阻領域中用作感光劑的化合物。1,2－醌二疊氮化合物(B)可以列舉出：酚類化合物與1,2－苯醌二疊氮－4－磺酸或1,2－苯醌二疊氮－5－磺酸的酯、酚類化合物與1,2－萘醌二疊氮－4－磺酸或1,2－萘醌二疊氮－5－磺酸的酯、酚類化合物的羥基被胺基取代的化合物與1,2－苯醌二疊氮－4－磺酸或1,2－苯醌二疊氮－5－磺酸的磺醯胺、酚類化合物的羥基被胺基取代的化合物與1,2－萘醌二疊氮－4－磺酸或1,2－萘醌二疊氮－5－磺酸的磺醯胺等。上述化合物可以單獨使用，也可以是兩種或兩種以上組合使用。
酚類化合物的具體例子有：2,3,4－三羥基二苯甲酮、2,4,6－三羥基二苯甲酮、2,2’,4,4’－四羥基二苯甲酮、2,3,3’,4－四羥基二苯甲酮、2,3,4,4’－四羥基二苯甲酮、雙(2,4－二羥苯基)甲烷、雙(對羥苯基)甲烷、三(對羥苯基)甲烷、1,1,1－三(對羥苯基)乙烷、雙(2,3,4－三羥苯基)甲烷、2,2－雙(2,3,4－三羥苯基)丙烷、1,1,3－三(2,5－二甲基－4－羥苯基)－3－苯基丙烷、4,4’－[1－[4－[1－[4－羥苯基]－1－甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚、雙(2,5－二甲基－4－羥苯基)－2－羥苯基甲烷、3,3,3’,3’－四甲基－1,1’－螺二茚－5,6,7,5’,6’,7’－己醇或2,2,4－三甲基－7,2’,4’－三羥基黃烷等。
作為1,2－醌二疊氮化合物(B)，從提高正型感光性樹脂組成物的透明性方面考慮，較佳的是使用：2,3,4－三羥基二苯甲酮與1,2－萘醌二疊氮－4－磺酸的酯、2,3,4－三羥基二苯甲酮與1,2－萘醌二疊氮－5－磺酸的酯、4,4’－[1－[4－[1－[4－羥苯基]－1－甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚與1,2－萘醌二疊氮－4－磺酸的酯或4,4’－[1－[4－[1－[4－羥苯基]－1－甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚與1,2－苯醌二疊氮－5－磺酸的酯等。上述化合物可以單獨使用，也可以是兩種或兩種以上組合使用。
本發明之正型感光性樹脂組成物中，相對於共聚物(A)和鹼可溶性共聚物(C)的總計100重量份，1,2－酉昆二疊氮化合物較佳為5~50重量份。
<2－2.溶劑>
本發明之正型感光性樹脂組成物，除了其中所含的共聚物和1,2－醌二疊氮化合物以外，較佳的是進一步含有溶劑。此時使用的溶劑，較佳的是溶解共聚物(A)和鹼可溶性共聚物(C)以及1,2－醌二疊氮化合物的溶劑。
本發明中使用的溶劑，較佳的是沸點為100℃~300℃的化合物。上述沸點為100℃~300℃的溶劑的具體例子可以列舉出：水、乙酸丁酯、丙酸丁酯、乳酸乙酯、氧乙酸甲酯、氧乙酸乙酯、氧乙酸丁酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁配、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3－氧丙酸甲酯、3－氧丙酸乙酯、3－甲氧基丙酸甲酯、3－甲氧基丙酸乙酯、3－乙氧基丙酸甲酯、3－乙氧基丙酸乙酯、2－氧丙酸甲酯、2－氧丙酸乙酯、2－氧丙酸丙酯、2－甲氧基丙酸甲酯、2－甲氧基丙酸乙酯、2－甲氧基丙酸丙酯、2－乙氧基丙酸甲酯、2－乙氧基丙酸乙酯、2－氧－2－甲基丙酸甲酯、2－氧－2－甲基丙酸乙酯、2－甲氧基－2－甲基丙酸甲酯、2－乙氧基－2－甲基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2－氧丁酸甲酯、2－氧丁酸乙酯、二噁烷、乙二醇、二甘醇、三甘醇、丙二醇、二丙二醇、三丙二醇、1,4－丁二醇、乙二醇單異丙醚、乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、環己酮、環戊酮、二甘醇單甲醚、二甘醇單甲醚乙酸酯、二甘醇單乙醚、二甘醇單乙醚乙酸酯、二甘醇單丁醚、二甘醇單丁醚乙酸酯、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇甲基乙基醚、甲苯、二甲苯、γ－丁內脂或N,N－二甲基乙醯胺等。上述溶劑可以單獨使用，也可以是兩種或兩種以上組合使用。
本發明中使用的溶劑可以是混合溶劑，此混合溶劑中含有大於等於20重量百分比(wt%)的上述沸點為100℃~300℃的溶劑。混合溶劑中，除沸點為100℃~300℃的溶劑以外的溶劑，可以使用一種或兩種或兩種以上公知的溶劑。
作為正型感光性樹脂組成物中所含的溶劑，若使用選自丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、3－甲氧基丙酸甲酯、3－乙氧基丙酸乙酯、二甘醇單乙醚乙酸酯、二甘醇單丁醚乙酸酯、二甘醇二甲醚、二甘醇甲基乙基醚、乳酸乙酯以及乙酸丁酯中的至少一種，則塗佈均勻性變高，因此更佳。並且，從提高五型感光性樹脂組成物的塗佈均勻性和對人體的安全性方面考慮，更佳的是使用選自丙二醇單甲醚乙酸酯、3－甲氧基丙酸甲酯、3－乙氧基丙酸乙酯、二甘醇甲基乙基醚、乳酸乙酯以及乙酸丁酯中的至少一種。
本發明之正型感光性樹脂組成物中，溶劑的添加量較佳的是：使相對於共聚物、1,2－醌二疊氮化合物和溶劑的總量，作為固體成分的共聚物和感光劑以總量計算為5~50wt%。
<2－3.其他成分>
<2－3－1.添加劑>為了提高解析度、塗佈均勻性、顯影性、黏合性，可以向本發明之正型感光性樹脂組成物中添加各種添加劑。添加劑可以列舉出：丙烯酸系、苯乙烯系、聚乙烯亞胺系或聚氨酯系高分子分散劑；陰離子系、陽離子系、非離子系或氟系表面活性劑；矽樹脂系塗佈性提高劑、矽烷耦合劑等密合性提高劑；烷氧基二苯甲酮類等紫外線吸收劑；聚丙烯酸鈉等抗凝聚劑；環氧化合物、三聚氰胺化合物或二疊氮化合物等熱交聯劑；有機羧酸等鹼可溶性促進劑等。
添加劑的具體例子可以列舉出：POLY－FLOW－No.45、POLY－FLOW－KL－245、POLY－FLOW－No.75、POLY－FLOW－No.90、POLY－FLOW－No.95(以上均為商標，共榮社化學工業(股)公司製)、Disperbyk161、Disperbyk162、Disperbyk163、Disperbyk164、Disperbyk166、Disperbyk170、Disperbyk180、Disperbyk181、Disperbyk182、BYK300、BYK306、BYK310、BYK320、BYK330、BYK344、BYK346(以上均為商標，BYK－Chemie Japan(股)公司製)、KP－341、KP－358、KP－368、KF－96－50CS、KF－50－100CS(以上均為商標，信越化學工業(股)公司製)、SurflonSC－101、Surflon KH－40(以上均為商標，Seimi Chemical(股)公司製)、Ftergent222F、Ftergent251、FTX－218(以上均為商標，(股)公司NEOS製)、EFTOP EF－351、EFTOP EF－352、EFTOP EF－601、EFTOP EF－801、EFTOP EF－802(以上均為商標，三菱Material(股)公司製)、MegafaceF－171、MegafaceF－177、MegafaceF－475、MegafaceR－08、MegafaceR－30(以上均為商標，大日本油墨化學工業(股)公司製)、氟代烷基苯磺酸鹽、氟代烷基羧酸鹽、氟代烷基聚氧乙烯醚、氟代烷基碘化銨、氟代烷基三甲甘胺酸鹽、氟代烷基磺酸鹽、二丙三醇四(氟代烷基聚氧乙烯醚)、氟代烷基三甲基銨鹽、氟代烷基胺基磺酸鹽、聚氧乙烯壬基苯醚、聚氧乙烯辛基苯醚、聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯十二烷基醚、聚氧乙烯油醚、聚氧乙烯十三烷基醚、聚氧乙烯十六烷基醚、聚氧乙烯十八烷基醚、聚氧乙烯月桂酸酯、聚氧乙烯油酸酯、聚氧乙烯硬脂酸酯、聚氧乙烯月桂胺、脫水山梨糖醇月桂酸酯、脫水山梨糖醇棕櫚酸酯、脫水山梨糖醇硬脂酸酯、脫水山梨糖醇油酸酯、脫水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯脫水山梨糖醇月桂酸酯、聚氧乙烯脫水山梨糖醇棕櫚酸酯、聚氧乙烯脫水山梨糖醇硬脂酸酯、聚氧乙烯脫水山梨糖醇油酸酯、聚氧乙烯萘基醚、烷基苯磺酸鹽或烷基二苯醚二磺酸鹽等。較佳的是將選自上述添加劑中的至少一種用於上述添加劑。
上述添加劑中，當添加選自氟代烷基苯磺酸鹽、氟代烷基羧酸鹽、氟代烷基聚氧乙烯醚、氟代烷基碘化銨、氟代烷基三甲甘胺酸鹽、氟代烷基磺酸鹽、二丙三醇四(氟代烷基聚氧乙烯醚)、氟代烷基三甲基銨鹽或氟代烷基胺基磺酸鹽等氟系表面活性劑，BYK306、BYK344、BYK346、KP－341、KP－358或KP－368等矽樹脂系塗佈性提高劑中的至少一種添加劑時，正型感光性樹脂組成物的塗佈均勻性提高，因此較佳。
<2－3－2.多元羧酸>可以向本發明之正型感光性樹脂組成物中添加：偏苯三酸酐、鄰苯二甲酸酐或4－甲基環己烷－1,2－二羧酸酐等多元羧酸。上述多元羧酸中，較佳的是偏苯三酸酐。
向本發明之正型感光性樹脂組成物中添加上述多元羧酸並進行加熱時，若正型感光性樹脂組成物中含有環氧基，則上述多元羧酸的羧基與該環氧基反應，可以進一步提高耐熱性及耐化學性。另外，若向本發明之正型感光性樹脂組成物中添加上述多元羧酸，則保存時可以抑制1,2－醌二疊氮化合物分解，可以防止正型感光性樹脂組成物著色。
當向本發明之正型感光性樹脂組成物中添加多元羧酸時，相對於共聚物(A)和鹼可溶性共聚物(C)的總計100重量份，多元羧酸較佳的是為1~30重量份，更佳的是為2~20重量份。
<2－4.正型感光性樹脂組成物的保存>
本發明之正型感光性樹脂組成物，若在溫度－30℃~25℃的範圍內遮光保存，則組成物的經時穩定性變得良好，因此較佳。保存溫度為－20℃~10℃時，無析出物，因此更佳。
<3.由本發明之正型感光性樹脂組成物形成的樹脂膜>
本發明之感光性樹脂組成物，適於形成透明樹脂膜，由於圖案化時的解析度較高，因此最適於形成開有小於等於10μm的小孔的絕緣膜。這裏，所謂絕緣膜，例如是指為了使層狀配置的配線間絕緣而設置的膜(層間絕緣膜)等。
上述透明膜以及絕緣膜等樹脂膜，可以按照光阻領域中形成樹脂膜的常規方法來形成，例如按以下方式形成。
首先，使用旋塗、輥塗、狹縫式塗佈等公知方法，於玻璃等基板上塗佈本發明之正型感光性樹脂組成物。基板可以列舉如：白板玻璃、青板玻璃、鍍矽青板玻璃等透明玻璃基板；聚碳酸酯、聚醚碸、聚酯、丙烯酸樹脂、氯乙烯樹脂、芳香族聚醯胺樹脂、聚醯胺醯亞胺、聚醯亞胺等合成樹脂製薄片、薄膜或基板；鋁板、銅板、鎳板、不銹鋼板等金屬基板；其他陶瓷板、具有光電轉換元件的半導體基板等。可以根據需要，對上述基板進行矽烷耦合劑等化學品處理、電漿處理、離子噴鍍、濺鍍、氣相反應法、真空蒸鍍等前處理。
接下來，以熱板或烘箱等乾燥基板上的正型感光性樹脂組成物膜。通常，在60℃~120℃下乾燥1~5分鐘。對已乾燥的基板上的上述膜，經由所需圖案形狀的光罩照射紫外線等放射線。照射條件因正型感光性樹脂組成物中的感光劑的種類而異，例如感光劑為1,2－醌二疊氮化合物時，使用i線以5~1,000mJ/cm2 的強度照射是適合的。紫外線照射部分的1,2－醌二疊氮化合物成為茚基羧酸，迅速溶解於顯影液中。
對放射線照射之後的膜，使用鹼溶液等顯影液進行顯影。藉由此顯影，上述膜中被放射線照射的部分迅速溶解於顯影液中。顯影方法沒有特別限定，可以採用浸漬顯影、混拌(puddle)顯影、噴淋顯影中的任一種。
上述顯影液較佳的是鹼溶液。鹼溶液中所含的鹼的具體例子可以列舉出：氫氧化四甲銨、氫氧化四乙銨、氫氧化2－羥乙基三甲銨、碳酸鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀、碳酸氧鉀、氫氧化鈉或氫氧化鉀等。適當使用上述鹼的水溶液作為顯影液。即，顯影液可以列舉出：氫氧化四甲銨、氫氧化四乙銨或氫氧化2－羥乙基三甲銨等有機鹼類等的水溶液；碳酸鈉、氫氧化鈉或氫氧化鉀等無機鹼類的水溶液。
可以向顯影液中添加甲醇、乙醇或表面活性劑，以減少顯影殘渣或使圖案形狀適合。表面活性劑例如可以使用：選自陰離子系、陽離子系以及非離子系的表面活性劑。上述表面活性劑中，從提高解析度的角度考慮，特別佳的是添加非離子系的聚氧乙烯烷基醚。
進行了上述顯影的上述膜，經純水充分洗涮後，再次對基板上膜的整面照射放射線。例如當放射線為紫外線時，以100~1,000mJ/cm2 的強度對上述膜進行照射。最後，將基板上經放射線再次照射的上述膜在180℃~250℃下燒結10~120分鐘。如此操作，可以得到所需的圖案化透明膜。
如此操作而得到的圖案狀透明膜，也可以用作圖案狀絕緣膜。於絕緣膜上形成的孔的形狀，從正上方觀察時較佳的是正方形、長方形、圓形或橢圓形。並且，可以於該絕緣膜上形成透明電極，並藉由蝕刻進行圖案化後，進行配向處理而形成膜。由於該絕緣膜耐濺鍍性高，即使於其上形成透明電極，該絕緣膜也不會產生褶皺，可以保持高透明性。
<4.包括上述樹脂膜的顯示元件>
上述透明膜及絕緣膜等上述樹脂膜，用於使用液晶等的顯示元件。上述顯示元件例如可以如下製作：將設有如上操作於基板上圖案化的透明膜或絕緣膜的元件基板和對向基板即彩色濾光片基板對準位置並進行壓合，之後進行熱處理使之組合，向對向的基板之間注入液晶，之後封閉注入口而製得顯示元件。
或者，上述顯示元件可以如下製作：於上述元件基板上散佈液晶後，將元件基板重疊，並進行密封使液晶不至於漏出，從而製作顯示元件。
如此操作，使用本發明之正型感光性樹脂組成物形成的、具有優異的透明性的絕緣膜，可以用於液晶顯示元件。應說明的是，本發明之液晶顯示元件中使用的液晶、即液晶化合物以及液晶組成物，沒有特別限定，可以使用任一種液晶化合物以及液晶組成物。
本發明之較佳方案所關於的正型感光性樹脂組成物，具有例如通常對圖案化透明膜及絕緣膜所要求的高耐溶劑性、高耐水性、高耐酸性、高耐鹼性、高耐熱性、高透明性、與基底的密合性等各種特性。
另外，本發明之較佳方案所關於的正型感光性樹脂組成物，具有優異的耐溶劑性、耐酸性、耐鹼性、耐熱性和透明性，因此使用該正型感光性樹脂組成物製作的透明膜、絕緣膜及顯示元件等，在其製造後製程中，即使接觸或浸漬於溶劑、酸、鹼溶液等中以及進行熱處理等，樹脂膜表面也不易發生皸裂。其結果，使用本發明之較佳方案所關於的正型感光性樹脂組成物製作的透明膜等的光透過率提高，並能夠提高使用了上述透明膜的顯示元件等製品的顯示品質。
[實施例]
以下，藉由實施例進一步說明本發明，但本發明並不受限於此。
[合成例1]共聚物(A1)的合成
按下述重量，向帶有攪拌器的四頸燒瓶中裝入以下成分：作為聚合溶劑的3－甲氧基丙酸甲酯、作為單體(a1)的3－甲基丙烯醯氧丙基三甲氧基矽烷、作為單體(a2)的4－羥苯基乙烯基酮以及甲基丙烯酸縮水甘油酯、(3－乙基－3－氧雜環丁烷基)甲基丙烯酸酯以及作為聚合起始劑的2,2’－偶氮二(2,4－二甲基戊腈)，在80℃的聚合溫度下加熱4小時，進行聚合。
將反應液冷卻至室溫，得到共聚物(A1)。
以一部分溶液作為樣品，藉由GPC分析(以聚氧乙烯為標準)測定重量平均分子量。其結果，共聚物(A1)的重量平均分子量為5,800。
[合成例2]共聚物(A2)的合成
利用與合成例1相同之方式進行操作，按下述重量裝入下述成分，進行聚合。
利用與合成例1相同之方式進行處理，得到共聚物(A2)，藉由GPC分析(以聚氧乙烯為標準)求得其重量平均分子量為5,000。
[合成例3]共聚物(A3)的合成
利用與合成例1相同之方式進行操作，按下述重量裝入下述成分，進行聚合。
利用與合成例1相同之方式進行處理，得到共聚物(A3)，藉由GPC分析(以聚氧乙烯為標準)求得其重量平均分子量為6,000。
[合成例4]共聚物(A4)的合成
利用與合成例1相同之方式進行操作，按下述重量裝入下述成分，進行聚合。
利用與合成例1相同之方式進行處理，得到共聚物(A4)，藉由GPC分析(以聚氧乙烯為標準)求得其重量平均分子量為5,100。
[合成例5]共聚物(A5)的合成
利用與合成例1相同之方式進行操作，按下述重量裝入下述成分，進行聚合。
利用與合成例1相同之方式進行處理，得到共聚物(A5)，藉由GPC分析(以聚氧乙烯為標準)求得其重量平均分子量為4,700。
[合成例6]共聚物(A6)的合成
利用與合成例1相同之方式進行操作，按下述重量裝入下述成分，進行聚合。
利用與合成例1相同之方式進行處理，得到共聚物(A5)，藉由GPC分析(以聚氧乙烯為標準)求得其重量平均分子量為5,100。
[合成例7]鹼可溶性共聚物(C1)的合成
利用與合成例1相同之方式進行操作，按下述重量裝入下述成分，進行聚合。
利用與合成例1相同之方式進行處理，得到鹼可溶性共聚物(C1)，藉由GPC分析(以聚氧乙烯為標準)求得其重量平均分子量為8,900。
[合成例8]鹼可溶性共聚物(C2)的合成
使用與合成例1相同的裝置，採用下述組成，以3－甲氧基丙酸甲酯為聚合溶劑，在80℃下加熱4小時，進行聚合。
利用與合成例1相同之方式進行處理，得到鹼可溶性共聚物(C2)，藉由GPC分析(以聚氧乙烯為標準)求得其重量平均分子量為7,600。
[合成例9]鹼可溶性共聚物(C3)的合成
利用與合成例1相同之方式進行操作，按下述重量裝入下述成分，進行聚合。
利用與合成例1相同之方式進行處理，得到鹼可溶性共聚物(C3)，藉由GPC分析(以聚氧乙烯為標準)求得其重量平均分子量為8,300。
[合成例10]鹼可溶性共聚物(C4)的合成
利用與合成例1相同之方式進行操作，按下述重量裝入下述成分，進行聚合。
利用與合成例1相同之方式進行處理，得到鹼可溶性共聚物(C4)，藉由GPC分析(以聚氧乙烯為標準)求得其重量平均分子量為8,600。
[比較合成例1]比較共聚物(D1)的合成
利用與合成例1相同之方式進行操作，按下述重量裝入下述成分，進行聚合。
利用與合成例1相同之方式進行處理，得到比較共聚物(D1)，藉由GPC分析(以聚氧乙烯為標準)求得其重量平均分子量為6,200。
[比較合成例2]比較共聚物(D2)的合成
利用與合成例1相同之方式進行操作，按下述重量裝入下述成分，進行聚合。
利用與合成例1相同之方式進行處理，得到比較共聚物(D2)，藉由GPC分析(以聚氧乙烯為標準)求得其重量平均分子量為7,900。
[比較合成例3]比較共聚物(D3)的合成
利用與合成例1相同之方式進行操作，按下述重量裝入下述成分，進行聚合。
利用與合成例1相同之方式進行處理，得到比較共聚物(D3)，藉由GPC分析(以聚氧乙烯為標準)求得其重量平均分子量為7,800。
[實施例1] [正型感光性樹脂組成物的製備]
按下述重量，將合成例1得到的共聚物(A1)、1,2－醌二疊氮化合物即4,4’－[1－[4－[1－[4－羥苯基]－1－甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚與1,2－萘醌二疊氮－5－磺醯氯的縮合物(平均酯化率58%，以下也稱作「PAD」)、作為添加劑的氟系表面活性劑大日本油墨化學工業(股)公司製R－08(以下簡記作「R－08」)、作為溶劑的3－甲氧基丙酸甲酯混合溶解，得到正型感光性樹脂組成物。
[正型感光性樹脂組成物的評價方法]
1)圖案狀透明膜的形成以800rpm的塗佈速度，於玻璃基板上旋塗實施例1合成的正型感光性樹脂組成物10秒鐘，並於100℃的熱板上乾燥2分鐘。對於該基板，於空氣中經由孔圖案(hole pattern)形成用光罩，使用(股)公司TOPCON製PROXYMITI曝光機TME－150PRC，通過波長截止濾波器截止小於等於350nm的光，以獲取g、h、i線，以曝光狹縫100μm進行曝光。以USHIO電機(股)公司製累計光量計UIT－102、光敏檢測器UVD－365PD測定曝光量，結果為150mJ/cm2 。將曝光後的玻璃基板用氫氧化四甲銨水溶液浸漬顯影60秒鐘，除去曝光部分的樹脂組成物。顯影後的基板以純水洗滌60秒鐘，之後用100℃的熱板乾燥2分鐘。使用上述曝光機，不經由光罩，以300mJ/cm2 的曝光量將上述基板整面曝光，之後於烘箱中、230℃下後烘30分鐘，形成膜厚為3μm的圖案狀透明膜。關於膜厚，使用KLA－Tencor Japan(股)公司製觸針式膜厚計α STEP 200，以測定的三處膜厚的平均值作為膜厚。
2)顯影後殘膜率於顯影前、後測定膜厚，由下式計算殘膜率。
(顯影後的膜厚/顯影前的膜厚)×100(%)
3)解析度使用光學顯微鏡，在400倍下觀察上述1)得到的後烘之後的圖案狀透明膜的基板，確認孔圖案的最下層有玻璃露出的光罩尺寸。未形成孔圖案的情形記作不良(NG：No Good)。
4)透明性使用有限公司東京電色製TC－1800，以未形成透明膜的玻璃基板為標準，測定波長400nm處的光透過率。
5)耐溶劑性將上述1)得到的圖案狀透明膜的基板於100℃的N－甲基－2－吡咯烷酮中浸漬5分鐘，測定膜厚的變化。於浸漬前、後測定膜厚，由下式計算膜厚的變化率。
(浸漬後的膜厚/浸漬前的膜厚)×100(%)
膜厚變化率為－2~2%時，可以判定為良好。因膨潤而超過2%或因溶解而低於－2%時，可以判定為不良。
6)耐酸性將上述1)得到的圖案狀透明膜的基板於50℃的鹽酸/硝酸/水＝4/2/4(重量比)中浸漬3分鐘，測定膜厚的變化。於浸漬前、後測定膜厚，由下式計算膜厚變化率。
(浸漬後的膜厚/浸漬前的膜厚)×100(%)
膜厚變化率為－2~2%時，可以判定為良好。因膨潤而超過2%或因溶解而低於－2%時，可以判定為不良。
7)耐鹼性將上述1)得到的圖案狀透明膜的基板於60℃的5%氫氧化鉀水溶液中浸漬10分鐘，測定膜厚的變化。於浸漬前、後測定膜厚，由下式計算膜厚變化率。
(浸漬後的膜厚/浸漬前的膜厚)×100(%)
膜厚變化率為－2~2%時，可以判定為良好。因膨潤而超過2%或因溶解而低於－2%時，可以判定為不良。
8)耐熱性將上述1)得到的圖案狀透明膜的基板於230℃的烘箱中追加焙烤1小時，加熱前後利用與上述4)相同之方式測定光透過率，以後烘之後(追加焙烤前)的光透過率為T1、追加焙烤之後的光透過率為T2。從後烘之後到追加焙烤後光透過率下降越少，可以判定耐熱性越好。於加熱前、後測定膜厚，由下式計算膜厚變化率。
(追加焙烤後的膜厚/後烘之後的膜厚)×100(%)
9)密合性藉由基底網孔剝離試驗(劃格試驗)，評價上述1)得到的圖案狀透明膜的基板。評價表示100個1mm的四方形基底網孔中帶剝離後的殘留基底網孔數。
10)耐濺鍍性200℃下，藉由濺鍍於上述1)得到的圖案狀透明膜的基板上形成膜厚為150nm的ITO(氧化銦)透明電極，回復至室溫後，目視觀察膜面是否有褶皺。膜面未出現褶皺時，判定耐濺鍍性良好(G：Good)；膜面上出現褶皺時，判定耐濺鍍性不好(NG：No Good)。
11)介電常數使用Agilent Technology公司製LCR儀(4284A)，於透明膜的上下製作電極，測定介電常數。以1kHz進行評價。
藉由上述評價方法對實施例1合成的正型感光性樹脂組成物進行評價，所得結果如表1所示。
[實施例2]
除了使用合成例2得到的共聚物(A2)：合成例7得到的鹼可溶性共聚物(C1)＝1：1的混合物代替實施例1中使用的共聚物(A1)以外，按照與實施例1相同之方式製備正型感光性樹脂組成物，並進行評價。結果如表1所示。
[實施例3]
除了使用合成例3得到的共聚物(A3)：合成例8得到的鹼可溶性共聚物(C2)＝1：1的混合物代替實施例1中使用的共聚物(A1)以外，按照與實施例1相同之方式製備正型感光性樹脂組成物，並進行評價。結果如表1所示。
[實施例4]
除了使用合成例4得到的共聚物(A4)：合成例9得到的鹼可溶性共聚物(C3)＝1：1的混合物代替實施例1中使用的共聚物(A1)以外，按照與實施例1相同之方式製備正型感光性樹脂組成物，並進行評價。結果如表1所示。
[實施例5]
除了使用合成例5得到的共聚物(A5)：合成例10得到的鹼可溶性共聚物(C4)＝1：1的混合物代替實施例1中使用的共聚物(A1)以外，按照與實施例1相同之方式製備正型感光性樹脂組成物，並進行評價。結果如表1所示。
[比較例1]
除了使用比較合成例1得到的比較共聚物(D1)：合成例7得到的鹼可溶性共聚物(C1)＝1：1的混合物代替實施例1中使用的共聚物(A1)以外，按照與實施例1相同之方式製備正型感光性樹脂組成物，並進行評價。結果如表2所示。
[比較例2]
除了使用比較合成例2得到的比較共聚物(D2)：合成例8得到的鹼可溶性共聚物(C2)＝1：1的混合物代替實施例1中使用的共聚物(A1)以外，按照與實施例1相同之方式製備正型感光性樹脂組成物，並進行評價。結果如表2所示。
[比較例3]
除了使用比較合成例3得到的比較共聚物(D3)：合成例7得到的鹼可溶性共聚物(C1)＝1：1的混合物代替實施例1中使用的共聚物(A1)以外，按照與實施例1相同之方式製備正型感光性樹脂組成物，並進行評價。結果如表2所示。
本發明之正型感光性樹脂組成物，例如可以用於液晶顯示元件。
雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

Claims (18)

  1. 一種感光性樹脂組成物，包括：共聚物(A)、1,2-醌二疊氮化合物(B)以及鹼可溶性共聚物(C)，上述共聚物(A)是將通式(I)表示的自由基聚合性單體(a1)和其他自由基聚合性單體(a2)聚合而得到，其他自由基聚合性單體(a2)包含選自通式(II)表示的具有酚性OH的自由基聚合性單體的一種或一種以上， 式中，R1 表示氫或任意的氫可以被氟取代的碳原子數為1~5的烷基；R2 、R3 以及R4 各自獨立地表示羥基、碳原子數為1~5的烷基、碳原子數為1~5的烷氧基或-O(Si(C1 H2l+1 )2 O)m Si(Cp H2p+1 )3 ；l為1~5的整數；m為0或1~10的整數；n為1~5的整數；p為1~5的整數； 通式(II)中，R5 、R6 以及R7 各自獨立地表示氫或任意的氫可以被氟取代的碳原子數為1~3的烷基；R8 、R9 、R10 、R11 以及R12 各自獨立地表示氫、鹵素、-CN、-CF3 、 -OCF3 、-OH、任意的-CH2 -可以被-COO-、-OCO-、-CO-取代或者任意的氫可以被鹵素取代的碳原子數為1~5的烷基、或任意的氫可以被鹵素取代的碳原子數為1~5的烷氧基；其中，R8 ~R12 中至少有一個為-OH；上述鹼可溶性共聚物(C)是將選自具有不飽和羧酸的自由基聚合性單體、具有不飽和羧酸酐的自由基聚合性單體和具有酚性OH的自由基聚合性單體中的一種或一種以上聚合而得到。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於：其他自由基聚合性單體(a2)包括選自具有環氧基的自由基聚合性單體中的一種或一種以上。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於：其他自由基聚合性單體(a2)包括選自具有環氧基的自由基聚合性單體中的一種或一種以上。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於：鹼可溶性共聚物(C)是將通式(II)表示的具有酚性OH的自由基聚合性單體聚合而得到。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於：鹼可溶性共聚物(C)是將通式(I)表示的自由基聚合性單體聚合而得到。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於：自由基聚合性單體(a1)為選自3-甲基丙烯醯氧丙基三甲氧基矽烷和甲基丙烯醯氧丙基-三-三甲基甲矽烷氧基矽烷中的一種或一種以上。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於：自由基聚合性單體(a1)為選自3-甲基丙烯醯氧丙基三甲氧基矽烷和甲基丙烯醯氧丙基-三-三甲基甲矽烷氧基矽烷中的一種或一種以上。
  8. 如申請專利範圍第2項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於，具有環氧基的自由基聚合性單體包括：選自(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸甲基縮水甘油酯、3,4-環氧環己基甲基(甲基)丙烯酸酯、3-甲基-3-(甲基)丙烯醯氧甲基氧雜環丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯醯氧甲基氧雜環丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯醯氧乙基氧雜環丁烷以及3-乙基-3-(甲基)丙烯醯氧乙基氧雜環丁烷中的一種或一種以上的化合物。
  9. 如申請專利範圍第3項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於，具有環氧基的自由基聚合性單體包括：選自(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸甲基縮水甘油酯、3,4-環氧環己基甲基(甲基)丙烯酸酯、3-甲基-3-(甲基)丙烯醯氧甲基氧雜環丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯醯氧甲基氧雜環丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯醯氧乙基氧雜環丁烷以及3-乙基-3-(甲基)丙烯醯氧乙基氧雜環丁烷中的一種或一種以上的化合物。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於，其他自由基聚合性單體(a2)包括：選自(甲基)丙烯酸、馬來酸酐、羥基苯乙烯以及4-羥苯基乙烯基酮中的一種或一種以上。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於，其他自由基聚合性單體(a2)包括：選自(甲基)丙烯酸、馬來酸酐、羥基苯乙烯以及4-羥苯基乙烯基酮中的一種或一種以上。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於：鹼可溶性共聚物(C)是將選自(甲基)丙烯酸、馬來酸酐、羥基苯乙烯以及4-羥苯基乙烯基酮中的一種或一種以上的自由基聚合性單體聚合而得到。
  13. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於，鹼可溶性共聚物(C)包括：選自具有N取代馬來醯亞胺的自由基聚合性單體以及包括二環戊基的自由基聚合性單體中的一種或一種以上。
  14. 如申請專利範圍第13項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於，N取代馬來醯亞胺選自：N-甲基馬來醯亞胺、N-乙基馬來醯亞胺、N-丁基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺、N-苄基馬來醯亞胺、N-苯基馬來醯亞胺、N-(4-乙醯苯基)馬來醯亞胺、N-(2,6-二乙基苯基)馬來醯亞胺、N-(4-二甲胺基-3,5-二硝基苯基)馬來醯亞胺、N-(1-苯胺基萘基-4)馬來醯亞胺、N-[4-(2-苯並噁唑基)苯基]馬來醯亞胺以及N-(9-吖啶基)馬來醯亞胺。
  15. 如申請專利範圍第13項所述之感光性樹脂組成物，其特徵在於：具有二環戊基的自由基聚合性單體為(甲基)丙烯酸二環戊酯。
  16. 一種正型感光性樹脂組成物的圖案狀透明膜，使用 申請專利範圍第1項至第15項中任一項所述之感光性樹脂組成物。
  17. 一種絕緣膜，該絕緣膜使用如申請專利範圍第16項所述之圖案狀透明膜。
  18. 一種顯示元件，該元件包括如申請專利範圍第16項所述之圖案狀透明膜。
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