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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine lichtempfindliche Harzzusammensetzung
und einen Farbfilter, der mit einer Schutzschicht ausgestattet ist,
die aus der lichtempfindlichen Harzzusammensetzung ausgebildet ist,
und insbesondere einen Farbfilter, mit dem Flüssigkristall-Farbanzeigen realisiert
werden können,
die eine hervorragende Anzeigequalität und eine hohe Zuverlässigkeit
aufweisen. Die vorliegende Erfindung betrifft auch ein neues Epoxy-haltiges Copolymerharz,
das in der lichtempfindlichen Harzzusammensetzung verwendet werden
kann.
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In
den letzten Jahren haben Flüssigkristall-Farbanzeigen
als Flachbildschirme bzw. -anzeigen Bedeutung erlangt. Sie weisen
im Allgemeinen eine Struktur auf, die einen Farbfilter, ein Gegenelektrodensubstrat, das
auf den Farbfilter gerichtet ist, und eine Flüssigkristallschicht umfasst,
die in einem Spalt (1 bis 10 μm)
zwischen dem Farbfilter und dem Gegenelektrodensubstrat bereitgestellt
ist. Die Struktur des Farbfilters ist derart, dass eine farbige
Schicht aus einer schwarzen Matrix und einer Mehrzahl von Farben
(im Allgemeinen drei Primärfarben,
Rot (R), Grün
(G) und Blau (B)), oder, in den letzten Jahren, ein Farbhologramm
auf einem transparenten Substrat bereitgestellt ist und eine Schutzschicht
und eine transparente Elektrode in dieser Reihenfolge darauf gestapelt
sind. Diese Flüssigkristall-Farbanzeigen
sind so aufgebaut, dass ein Farbbild durch Steuern des Lichtdurchgangs
der Flüssigkristallschicht
in ihren Abschnitten, die Pixeln von jeweiligen gefärbten Abschnitten
R, G und B oder eines Farbhologramm entsprechen, erhalten wird.
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In
dem Farbfilter wirkt die Schutzschicht, wenn der Farbfilter die
gefärbte
Schicht umfasst, dahingehend, dass der Farbfilter geschützt und
eingeebnet wird. Im Allgemeinen weisen Flüssigkristall-Farbanzeigen das
Problem auf, dass die Gegenwart eines ungleichmäßigen Spalts, der auf die Welligkeit
der Oberfläche
des transparenten Substrats in dem Farbfilter zurückzuführen ist,
eines ungleichmäßigen Spalts
zwischen R-, G-und B-Pixeln, oder eines ungleichmäßigen Spalts
innerhalb von Pixeln von R, G und B die Ebenheit der transparenten
Elektrode vermindert. Dies führt
zu ungleichmäßigen Farben
und einem ungleichmäßigen Kontrast,
was zu einer verminderten Bildqualität führt. Insbesondere bei Flüssigkristall-Farbanzeigen des STN-Systems
(super-twisted nematisch) beeinflusst die Ebenheit die Bildqualität stark.
Dies macht die Einebnung durch die Schutzschicht sehr wichtig.
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Im
Gebrauch wird der Farbfilter an der Gegenelektrode angebracht. Die
Anordnung wird dann bezüglich
der Anzeigequalität
getestet. Unter Berücksichtigung
der Wiederverwendbar keit des Farbfilters, wenn die Anordnung bei
dem Anzeigequalitätstest
als nicht akzeptabel bewertet wird, wird die Schutzschicht vorzugsweise
nur in spezifischen Bereichen derart bereitgestellt, dass sie die
farbigen Schichten auf dem transparenten Substrat bedeckt. Zu diesem
Zweck wurde die Schutzschicht unter Verwendung eines photohärtbaren
Harzes gebildet, wodurch zu härtende
Abschnitte einfach durch eine Maske begrenzt werden können.
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Bei
der Bildung der Schutzschicht unter Verwendung des herkömmlichen
Harzes wird bei der Entwicklung nach der Belichtung ein organisches
Lösungsmittel
verwendet. Dieses ist bezüglich
der Handhabbarkeit und der Abwasserbehandlung problematisch und
weist ferner Mängel
bezüglich
der Wirtschaftlichkeit und der Stabilität auf. Um dieses Problem zu
lösen,
wurde ein photohärtbares
Harz entwickelt, das aufgrund der Einführung einer sauren Gruppe in
das photohärtbare
Harz nach der Belichtung eine Alkali-Entwicklung ermöglicht.
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Bei
dieser Art von lichtempfindlicher Harzzusammensetzung wird nach
der Strukturierung durch eine ultraviolette Bestrahlung eine Entwicklung
mit einem Alkali durchgeführt,
worauf eine Wärmebehandlung durchgeführt wird,
um einen Farbfilter herzustellen. Bei der Entwicklung mit einem
Alkali wird die Strukturierung durch die Wirkung von Carboxylgruppen
in dem Copolymerharz durchgeführt.
Nach der Entwicklung muss dass Copolymerharz eine Wasserbeständigkeit
und Alkalibeständigkeit
aufweisen. Daher sollten die in der photogehärteten Struktur verbleibenden
Carboxylgruppen in der Gegenwart eines Epoxyharzes oder dergleichen
wärmebehandelt
werden, um eine Wasserbeständigkeit
und eine Strukturfestigkeit zu verleihen.
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Aus
diesem Grund haben die Erfinder der vorliegenden Erfindung in der
japanischen Patentanmeldung Nr. 99240/1998 ein Copolymerharz vorgeschlagen,
das als Alkali-entwickelbares, photohärtbares Copolymerharz die Regulierung
von Alkali-löslichen
Gruppen, wie z.B. von Carbonsäuregruppen,
und von radikalisch polymerisierbaren Gruppen, welche die Härtbarkeit
festlegen, wie z.B. Acryloylgruppen, unter Berücksichtigung der Härtbarkeit,
der Alkali-Löslichkeit
und der gleichen ermöglicht.
Ferner haben die Erfinder der vorliegenden Erfindung in der japanischen
Patentanmeldung Nr. 216868/1998 eine lichtempfindliche Harzzusammensetzung,
welche dieses Alkali-entwickelbare, photohärtbare Copolymerharz und ein
Epoxyharz, wie z.B. ein Epoxyharz des Kresol-Novolak-Typs, umfasst,
und einen Farbfilter vorgeschlagen. In dem Fachgebiet bestand jedoch
ein Bedarf hinsichtlich der Bereitstellung einer lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung, die eine hervorragende Härtbarkeit, Alkalibeständigkeit
und andere Eigenschaften aufweist, und eines Farbfilters, der mit
einem einfachen Verfahren hergestellt werden kann, eine hervorragende
Ebenheit aufweist und mit dem sehr zuverlässige Flüssigkristall-Farbanzeigen mit
hervorragender Anzeigequalität
realisiert werden können.
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Demgemäß ist es
eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine lichtempfindliche
Harzzusammensetzung, die eine hervorragende Beständigkeit gegen heißes reines
Wasser, eine hervorragende Lösungsmittelbeständigkeit,
Wärmebeständigkeit,
Alkalibeständigkeit,
Empfindlichkeit und Bleistiftritzhärte aufweist, und einen Farbfilter
bereitzustellen, der mit einem einfachen Verfahren hergestellt werden
kann, eine hervorragende Ebenheit sowie eine hervorragende Anzeigequalität und Zuverlässigkeit
aufweist.
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Es
ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein neues Epoxy-haltiges
Copolymerharz bereitzustellen, das in der lichtempfindlichen Harzzusammensetzung
verwendbar ist.
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Zur
Lösung
der vorstehend beschriebenen Aufgaben der vorliegenden Erfindung
wird gemäß eines Aspekts
der vorliegenden Erfindung ein Epoxy-haltiges Copolymerharz bereitgestellt,
welches 0 bis 55 mol% durch Formel (1) dargestellte aufbauende Einheiten,
5 bis 95 mol% durch Formel (2) dargestellte aufbauende Einheiten
und 5 bis 95 mol% durch Formel (3) dargestellte aufbauende Einheiten
umfasst, wobei die durch Formel (1) dargestellten aufbauenden Einheiten
teilweise, über
deren Carboxylgruppen, mit einer (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung umgesetzt
worden sind, wobei die durch Formel (2) dargestellten aufbauenden
Einheiten teilweise, über
deren Hydroxylgruppen, mit einer (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung umgesetzt worden
sind, wobei das Copolymerharz 5 bis 95 mol% (Meth)acryloylgruppen
enthält
und eine Säurezahl
von 0 bis 400 mg KOH/g und ein Gewichtsmittel des Molekulargewichts
von 5000 bis 1000000, bestimmt unter Verwendung von Polystyrol als
Standard, aufweist:
![Figure 00030001](https://patentimages.storage.googleapis.com/27/ed/03/fd7aedc9f52d01/00030001.png)
![Figure 00040001](https://patentimages.storage.googleapis.com/71/94/51/f962cf950ff520/00040001.png)
wobei
R Wasserstoff oder eine Alkylgruppe mit 1 bis 5 Kohlenstoffatomen
darstellt, R
1 eine Alkylengruppe mit 2 bis
4 Kohlenstoffatomen darstellt, R
2 eine Alkylengruppe
mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen darstellt, Z eine 1,2-Epoxy-, 1,3-Epoxy-
oder 1,4-Epoxygruppe darstellt und a, b und c ganze Zahlen sind,
welche jeweils den Molprozentgehalten entsprechen.
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Vorzugsweise
umfasst das Copolymerharz ferner 0 bis 75 mol% durch Formel (4)
dargestellte aufbauende Einheiten und 0 bis 75 mol% durch Formel
(5) dargestellte aufbauende Einheiten:
wobei
R Wasserstoff oder eine Alkylgruppe mit 1 bis 5 Kohlenstoffatomen
darstellt, R
2 einen aromatischen Kohlenstoffring
darstellt und R
3 eine Alkyl- oder Aralkylgruppe
darstellt, und d und e ganze Zahlen sind, welche jeweils Gehalten,
ausgedrückt
in mol%, der aufbauenden Einheiten entsprechen.
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Gemäß eines
weiteren Aspekts der vorliegenden Erfindung wird eine lichtempfindliche
Harzzusammensetzung bereitgestellt, die das vorstehend beschriebene
Epoxy-haltige Copolymerharz, ein Alkali-entwickelbares, photohärtbares
Copolymerharz, ein bifunktionelles oder höher mehrfunktionelles, photopolymerisierbares
Acrylatmonomer und einen Initiator umfasst, wobei das Alkali-entwickelbare,
photohärtbare
Copolymerharz 5 bis 55 mol% durch Formel (1) dargestellte aufbauende
Einheiten und 5 bis 95 mol% durch Formel (2) dargestellte aufbauende
Einheiten umfasst, wobei die durch Formel (1) dargestellten aufbauenden
Einheiten teilweise, über
deren Carboxylgruppen, mit einer (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung umgesetzt
worden sind, wobei die durch Formel (2) dargestellten aufbauenden
Einheiten teilweise, über
deren Hydroxylgruppen, mit einer (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung umgesetzt
worden sind, wobei das Copolymerharz 5 bis 95 mol% (Meth)acryloylgruppen
enthält
und eine Säurezahl
von 5 bis 400 mg KOH/g und ein Gewichtsmittel des Molekulargewichts
von 5000 bis 1000000, bestimmt unter Verwendung von Polystyrol als
Standard, aufweist.
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In
der lichtempfindlichen Harzzusammensetzung umfassen das Alkali-entwickelbare,
photohärtbare Copolymerharz
und das Epoxy-haltige Copolymerharz jeweils ferner 0 bis 75 mol%
durch Formel (4) dargestellte aufbauende Einheiten und 0 bis 75
mol% durch Formel (5) dargestellte aufbauende Einheiten.
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Gemäß eines
weiteren Aspekts der vorliegenden Erfindung wird ein Farbfilter
bereitgestellt, der ein transparentes Substrat, eine auf dem transparenten
Substrat angeordnete farbige Schicht und eine Schutzschicht, die
so angeordnet ist, dass sie die farbige Schicht abdeckt, umfasst,
wobei die Schutzschicht durch Beschichten der vorstehend beschriebenen
lichtempfindlichen Harzzusammensetzung, Belichten der Beschichtung,
Entwickeln der belichteten Beschichtung mit einem Alkali und Erwärmen der
entwickelten Beschichtung gebildet wird.
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Verglichen
mit herkömmlichen
Epoxyharzen des Phenol-Novolak-Typs und dergleichen weist das erfindungsgemäße Epoxy-haltige
Copolymerharz aufgrund der Ähnlichkeit
der Struktur eine bessere Mischbarkeit mit einem Alkali-entwickelbaren,
photohärtbaren
Copolymerharz auf und es kann, wenn es in einer Schutzschicht eines
Farbfilters verwendet wird, bei der Vernetzung zum Zeitpunkt der
Hitzehärtung
eine Struktur bilden, die eine hervorragende Festigkeit, Alkalibeständigkeit
und Wasserbeständigkeit
aufweist.
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Die
erfindungsgemäße lichtempfindliche
Harzzusammensetzung weist aufgrund der Verwendung eines Alkali-entwickelbaren,
photohärtbaren
Copolymerharzes mit einer gesteuerten Alkali-Löslichkeit und Härtbarkeit,
und eines Epoxy-haltigen Copolymerharzes, das eine hervorragende
Mischbarkeit mit dem Alkali-entwickelbaren, photohärtbaren
Copolymerharz aufweist, eine hervorragende Beständigkeit gegen heißes, reines Wasser,
eine hervorragende Lösungsmittelbeständigkeit,
Wärmebeständigkeit,
Alkalibeständigkeit,
Empfindlichkeit und Bleistiftritzhärte auf. Durch die Verwendung
dieser lichtempfindlichen Harzzusammensetzung bei der Bildung einer
Schutzschicht kann ein Farbfilter realisiert werden, der mit einem
einfachen Verfahren hergestellt werden kann, eine hervorragende
Ebenheit und eine hervorragende Anzeigequalität und Zuverlässigkeit
aufweist.
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Die 1 ist
ein schematisches Diagramm, das den Aufbau einer Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Farbfilters
zeigt.
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Die
erfindungsgemäße lichtempfindliche
Harzzusammensetzung umfasst ein Alkalientwickelbares, photohärtbares
Copolymerharz, ein Epoxy-haltiges Copolymerharz, ein bifunktionelles
oder höher
mehrfunktionelles, photopolymerisierbares Acrylatmonomer und einen
Initiator. Wie es nachstehend beschrieben wird, umfassen das Alkali-entwickelbare,
photohärtbare
Copolymerharz und das Epoxy-haltige Copolymerharz jeweils im Wesentlichen
aufbauende Einheiten, die (Meth)acryloylgruppen umfassen, die in
aufbauende Einheiten der Formel (1) eingeführt worden sind, und aufbauende
Einheiten, die (Meth)acryloylgruppen umfassen, die in aufbauende
Einheiten der Formel (2) eingeführt
worden sind. Gegebenenfalls können
diese Copolymerharze ferner aufbauende Einheiten, die durch die
Formel (4) dargestellt sind, und aufbauende Einheiten, die durch
die Formel (5) dargestellt sind, enthalten. Der hier verwendete
Begriff "(Meth)acryloylgruppe" bezieht sich auf
eine Methacryloylgruppe oder eine Acryloylgruppe und der Begriff "(Meth)acrylsäure" bezieht sich auf Methacrylsäure oder
Acrylsäure.
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Das
erfindungsgemäße Epoxy-haltige
Copolymerharz wird als erstes beschrieben.
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In
den Formeln (1) bis (5) stellt R Wasserstoff oder eine Alkylgruppe
mit 1 bis 5 Kohlenstoffatomen dar. Beispiele für Alkylgruppen, die hier verwendet
werden können,
umfassen Methyl-, Ethyl-, n-Propyl-, Isopropyl-, n-Butyl-, Isobutyl-,
sec-Butyl-, tert-Butyl- und n-Pentylgruppen.
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Die
aufbauende Einheit, die durch die Formel (1) dargestellt ist, ist
eine optionale Komponente in dem Epoxy-haltigen Copolymerharz. Das
Epoxy-haltige Copolymerharz, das die aufbauenden Einheiten enthält, die
durch die Formel (1) dargestellt sind, wird jedoch beispielhaft
beschrieben. Monomere, die zur Einführung der aufbauenden Einheiten,
die durch die Formel (1) dargestellt sind, verwendet werden können, umfassen z.B.
Acrylsäure,
Methacrylsäure,
2-Carboxy-1-buten, 2-Carboxy-1-penten, 2-Carboxy-1-hexen und 2-Carboxy-1-hepten.
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Entsprechend
der lichtempfindlichen Harzzusammensetzung, bei der das erfindungsgemäße Epoxy-haltige
Copolymerharz eingesetzt wird, werden die Photohärtbarkeit und die Alkali-Löslichkeit durch das nachstehend
beschriebene Alkali-entwickelbare, photohärtbare Copolymerharz verliehen.
Das Epoxy-haltige Copolymerharz kann durch Hinzufügen der
aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (1) dargestellt sind, zu
dem Epoxy-haltigen Copolymerharz auch die Alkali-Löslichkeit
verbessern. Der Gehalt der aufbauenden Einheiten, die durch die
Formel (1) dargestellt sind, ist vorzugsweise derart, dass die Stabilität des Epoxy-haltigen Copolymerharzes
nicht verschlechtert wird, d.h. 0 bis 55 mol%, vorzugsweise 5 bis
30 mol%.
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Die
aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (2) dargestellt sind,
sind im Wesentlichen diejenigen, in die (Meth)acryloylgruppen eingeführt worden
sind. Beispiele für
R1 umfassen Ethylen-, Propylen- und Butylengruppen.
Spezifische Beispiele für
Monomere, die zum Einführen
der aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (2) dargestellt
sind, verwendbar sind, umfassen 2-Hydroxyethylacrylat, 2-Hydroxyethylmethacrylat, 2-Hydroxypropylacrylat,
2-Hydroxypropylmethacrylat,
4-Hydroxybutylacrylat und 4-Hydroxybutylmethacrylat. Die aufbauenden
Einheiten, die durch die Formel (2) dargestellt sind, wurden teilweise, über deren
Hydroxylgruppen, mit der (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung
umgesetzt, um (Meth)acryloylgruppen in die aufbauenden Einheiten
einzuführen.
Der Gehalt der aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (2) dargestellt sind,
wird gemäß dem Niveau
der Photopolymerisierbarkeit eingestellt, die für das Copolymerharz erforderlich ist,
und beträgt
5 bis 95 mol%, vorzugsweise 10 bis 50 mol%.
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Die
aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (3) dargestellt sind,
sind diejenigen zur Einführung von
Epoxygruppen in das Copolymerharz. In der Formel (3) kann R2 eine Alkylengruppe mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen
wie z.B. eine Methylen-, Ethylen-, Propylen- oder Butylengruppe
darstellen und Z kann eine 1,2-Epoxy-, 1,3-Epoxy- oder 1,4-Epoxygruppe
darstellen. Die aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (3) dargestellt
sind, können
als Substituenten eine raumerfüllende
Ballastgruppe, wie z.B. einen aromatischen Ring, aufweisen, welche
die mechanischen Eigenschaften der Beschichtung verbessern kann.
Monomere, die zur Einführung
der Epoxygruppe in das Copolymerharz geeignet sind, umfassen: Oxetanacrylate,
wie z.B. Glycidylmethacrylat, (3-Methyl-3-oxetanyl)methylacrylat
und (3-Ethyl-3-oxetanyl)methylacrylat;
Oxetanmethacrylate, wie z.B. (3-Methyl-3-oxetanyl)methylmethacrylat
und (3-Ethyl-3-oxetanyl)methylmethacrylat; und 2-Tetrahydropyranylacrylat
und 2-Tetrahydropyranylmethacrylat. Da die aufbauenden Einheiten,
die durch die Formel (3) dargestellt sind, nicht mit der zur Einführung der
(Meth)acryloylgruppe in die aufbauenden Einheiten, die durch die
Formeln (1) und (2) dargestellt sind, verwendeten (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung reagieren,
bleibt die Epoxygruppe zurück.
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In
der lichtempfindlichen Harzzusammensetzung, die das erfindungsgemäße Epoxy-haltige
Copolymerharz enthält,
wird der Gehalt der aufbauenden Einheiten, die durch die Formel
(3) dargestellt sind, durch die Menge der Carboxylgruppen reguliert,
die in der Struktur nach der Entwicklung mit einem Alkali zurückbleiben.
Der Gehalt beträgt
5 bis 95 mol%, vorzugsweise 10 bis 50 mol%.
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Das
erfindungsgemäße Epoxy-haltige
Copolymerharz umfasst die aufbauenden Einheiten, die durch die Formeln
(1), (2) und (3) dargestellt sind. Andere aufbauende Einheiten,
die in dem Epoxy-haltigen Copolymerharz enthalten sein können, umfassen
die aufbauenden Einheiten, die durch die Formeln (4) und (5) dargestellt
sind.
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Die
aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (4) dargestellt sind,
wirken dahingehend, dem Copolymerharz ein Beschichtungsvermögen zu verleihen.
Beispiele für
R2, die hier verwendbar sind, umfassen aromatische
Ringe, wie z.B. Phenyl- und Naphthylgruppen. Monomere, die zur Einführung der
aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (4) dargestellt sind,
verwendbar sind, umfassen z.B. Styrol und α-Methylstyrol. Der aromatische
Ring kann durch ein Halogenatom, wie z.B. Chlor oder Brom, eine
Alkylgruppe, wie z.B. eine Methyl- oder Ethylgruppe, eine Aminogruppe,
wie z.B. eine Amino- oder Dialkylaminogruppe, eine Cyanogruppe,
eine Carboxylgruppe, eine Sulfonsäuregruppe, eine Phosphorsäuregruppe
oder dergleichen substituiert sein. Der Gehalt der aufbauenden Einheiten,
die durch die Formel (4) dargestellt sind, beträgt 0 bis 75 mol%, vorzugsweise
5 bis 50 mol%.
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Die
aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (5) dargestellt sind,
hemmen die Alkali-Entwicklung. Beispiele
für R3, die hier verwendbar sind, umfassen Alkylgruppen
mit 1 bis 12 Kohlenstoffatomen und Aralkylgruppen, wie z.B. Benzyl-
und Phenylethylgruppen. Monomere, die zur Einführung der aufbauenden Einheiten, die
durch die Formel (5) dargestellt sind, verwendbar sind, umfassen
z.B. (Meth)acrylester, wie z.B. Methyl(meth)acrylat, Ethyl(meth)acrylat,
Butyl(meth)acrylat, 2-Ethylhexyl(meth)acrylat, Phenyl(meth)acrylat,
Cyclohexyl(meth)acrylat, Dicyclopentanyl(meth)acrylat, Dicyclopentanyloxyethyl(meth)acrylat,
Isobornyl(meth)acrylat, Benzyl(meth)acrylat und Phenylethyl(meth)acrylat.
Der Gehalt der aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (5) dargestellt
sind, beträgt
0 bis 75 mol%, vorzugsweise 5 bis 50 mol%.
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Zur
Einführung
der aufbauenden Einheiten, die durch die Formeln (1) bis (5) dargestellt
sind, können die
vorstehend für
diese aufbauenden Einheiten jeweils beispielhaft angegebenen Monomere
allein oder als Gemisch von zwei oder mehr verwendet werden.
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Bevorzugte
Polymerisationslösungsmittel,
die zur Herstellung des Copolymerharzes verwendbar sind, das aufbauende
Einheiten, die durch die Formeln (1) bis (5) dargestellt sind, umfasst,
umfassen Lösungsmittel, die
keinen aktiven Wasserstoff, wie z.B. Hydroxyl- und Aminogruppen,
aufweisen. Beispiele dafür
umfassen Ether, wie z.B. Tetrahydrofuran; Glykolether, wie z.B.
Diethylenglykoldimethylether, Diethylenglykoldiethylether, Diethylenglykolmethylethylether;
Cellosolveester, wie z.B. Methylcellosolveacetat; Propylenglykolmonomethyletheracetat;
und 3-Methoxybutylacetat. Aromatische Kohlenwasserstoffe, Ketone,
Ester und dergleichen sind ebenfalls verwendbar.
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Polymerisationsinitiatoren,
die gewöhnlich
als Radikalpolymerisationsinitiatoren bekannt sind, können verwendet
werden. Spezielle Beispiele dafür
umfassen: Azoverbindungen, wie z.B. 2,2'-Azobisisobutyronitril, 2,2'-Azobis-(2,4-dimethylvaleronitril),
2,2'-Azobis-(4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitril);
organische Peroxide, wie z.B. Benzoylperoxid, Lauroylperoxid, tert-Butylperoxypivalat
und 1,1'-Bis-(tert-butylperoxy)cyclohexan; und
Wasserstoffperoxid. Wenn ein Peroxid als Radikalpolymerisationsinitiator
verwendet wird, kann das Peroxid in einer Kombination mit einem
Reduktionsmittel zur Verwendung als Polymerisationsinitiator des
Redox-Typs eingesetzt werden.
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Bei
der Herstellung des Copolymerharzes, das aufbauende Einheiten, die
durch die Formeln (1) bis (5) dargestellt sind, umfasst, können Molekulargewichtsmodifiziermittel
zur Modifizierung des Gewichtsmittels des Molekulargewichts verwendet
werden. Beispiele für
Molekulargewichtsmodifiziermittel, die hier verwendbar sind, umfassen:
halogenierte Kohlenwasserstoffe, wie z.B. Chloroform und Kohlenstofftetrabromid;
Mercaptane, wie z.B. n-Hexylmercaptan,
n-Octylmercaptan, n-Dodecylmercaptan, tert-Dodecylmercaptan und Thioglykolsäure; Xanthogene,
wie z.B. Dimethylxanthogendisulfid und Diisopropylxanthogendisulfid;
Terpinolen und α-Methylstyrol-Dimer.
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Das
Copolymerharz, das die aufbauenden Einheiten, die durch die Formeln
(1) bis (5) dargestellt sind, umfasst, kann ein statistisches Copolymer
oder ein Blockcopolymer aus Monomeren für die aufbauenden Einheiten
sein, die durch die Formeln (1) bis (5) dargestellt sind. Das statistische
Copolymer kann durch tropfenweises Zugeben einer Zusammensetzung,
die Monomere und einen Katalysator umfasst, zu einem Polymerisationsbehälter, der
ein Lösungsmittel
bei einer Temperatur von 80 bis 110°C enthält, während eines Zeitraums von 2
bis 5 Stunden, und anschließendem
Reifenlassen erzeugt werden.
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Das
Copolymerharz, das die aufbauenden Einheiten, die durch die Formeln
(1) bis (5) dargestellt sind, umfasst, weist ein Gewichtsmittel
des Molekulargewichts, bestimmt unter Verwendung von Polystyrol
als Standard (nachstehend einfach als "Gewichtsmittel des Molekulargewichts" oder "Mw" bezeichnet), im
Bereich von 5000 bis 1000000, eine Säurezahl von 0 bis 400 mg KOH/g
und eine Hydroxylzahl von 5 bis 400 mg KOH/g auf.
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Das
erfindungsgemäße Epoxy-haltige
Copolymerharz wird durch Umsetzen des Copolymers, das die aufbauenden
Einheiten, die durch die Formeln (1) bis (5) dargestellt sind, umfasst,
mit einer (Meth)acryloyl-haltigen Isocyanatverbindung erhalten.
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Die
(Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindungen, die hier verwendbar sind,
sind Verbindungen, bei denen eine (Meth)acryloylgruppe über eine
Alkylengruppe mit 2 bis 6 Kohlenstoffatomen an eine Isocyanatgruppe
(-NCO) gebunden ist. Spezielle Beispiele dafür umfassen 2-Acryloylethylisocyanat
und 2-Methacryloylethylisocyanat. 2-Methacryloylethylisocyanat ist
von Showa Denko K.K. unter der Bezeichnung "Karenz MOI" erhältlich,
usw.
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Die
Reaktion des Copolymers, das die aufbauenden Einheiten, die durch
die Formeln (1) bis (5) dargestellt sind, umfasst, mit der (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung
kann durch tropfenweises Zugeben der Isocyanatverbindung zu einer
Lösung
des Copolymers in der Gegenwart einer geringen Menge eines Katalysators
durchgeführt
werden. Katalysatoren, die hier verwendbar sind, umfassen Dibutylzinnlaurat.
Bei der Reaktion können
gegebenenfalls Polymerisationsinhibitoren, wie z.B. p-Methoxyphenol,
Hydrochinon, Naphthylamin, tert-Butylbrenzkatechin
und 2,3-Di-tert-butyl-p-kresol verwendet werden.
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Die
(Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung wird mittels einer Urethanbindung
an die Hydroxylgruppen der aufbauenden Einheiten, die durch die
Formel (2) dargestellt sind, und über eine Amidobindung unter Bildung
von Kohlendioxidgas an einen Teil der Carboxylgruppen in den aufbauenden
Einheiten, die durch die Formel (1) dargestellt sind, gebunden.
Ein Produkt der Reaktion zwischen dem Copolymer, das die aufbauenden
Einheiten umfasst, die durch die Formeln (1) und (2) dargestellt
sind, und der (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung ist durch die Formel (6)
dargestellt. Wenn die aufbauenden Einheiten, die durch die Formel
(1) dargestellt sind, nicht erforderlich sind, wird die (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung vollständig an
die aufbauenden Einheiten gebunden, die durch die Formel (2) dargestellt
sind. Die aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (3) dargestellt
sind, sind nicht reaktiv, weshalb sie nicht beschrieben werden.
worin
R und R
1 jeweils die vorstehende, im Zusammenhang
mit den Formeln (1) bis (4) angegebene Bedeutung haben, R" eine Alkylengruppe
mit 2 bis 6 Kohlenstoffatomen darstellt, a
1 +
a
2 a ist, das in der Formel (1) definiert
ist, und b
1 + b
2 b
ist, das in der Formel (2) definiert ist.
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Die
Geschwindigkeit der Reaktion der (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung
mit Hydroxylgruppen in den aufbauenden Einheiten, die durch die
Formel (2) dargestellt sind, ist etwa 20-fach höher als die Geschwindigkeit
der Reaktion der (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung mit Carboxylgruppen in den
aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (1) dargestellt sind.
Daher wird die (Meth)acryloylgruppe vorwiegend in die aufbauenden
Einhei ten, die durch die Formel (2) dargestellt sind, eingeführt, und
in den aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (1) dargestellt
sind, verbleiben die meisten Carboxylgruppen im nicht umgesetzten Zustand,
obwohl die (Meth)acryloylgruppe in einen Teil der Carboxylgruppen
eingeführt
wird.
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Im
Hinblick auf die Formel (6) kann bezüglich des Teils, der von der
Formel (2) abgeleitet ist, der Anteil von Einheiten mit einem Index
b1 in dem Copolymerharz 0 bis 10 mol% betragen,
und der Anteil von Einheiten mit einem Index b2 in
dem Copolymerharz kann 5 bis 95 mol% betragen, mit der Maßgabe, dass
die Gesamtheit des Anteils von Einheiten mit einem Index b1 und des Anteils von Einheiten mit einem
Index b2 5 bis 95 mol% beträgt, während bezüglich des
Teils, der von der Formel (1) abgeleitet ist, der Anteil von Einheiten
mit einem Index a1 in dem Copolymerharz
5 bis 55 mol% betragen kann, und der Anteil von Einheiten mit einem Index
a2 in dem Copolymerharz 0 bis 10 mol% betragen
kann, mit der Maßgabe,
dass die Gesamtheit des Anteils von Einheiten mit einem Index a1 und des Anteils von Einheiten mit einem
Index a2 5 bis 55 mol% beträgt. Folglich
kann die Menge der eingeführten
(Meth)acryloylgruppen reguliert werden.
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Das
Gewichtsmittel des Molekulargewichts des erfindungsgemäßen Copolymerharzes
liegt im Allgemeinen bei 5000 bis 1000000, vorzugsweise bei 10000
bis 100000, und zwar im Hinblick auf die Eignung zur Verwendung
bei der Bildung einer Schutzschicht für einen Farbfilter, und darüber hinaus
im Hinblick auf die Alkali-Löslichkeit
und die Photohärtbarkeit.
Wenn das Gewichtsmittel des Molekulargewichts kleiner als 5000 ist,
ist das Entwicklungsvermögen übermäßig gut.
Dies macht es schwierig, die Strukturformen zum Zeitpunkt der strukturweisen
Belichtung zu steuern. Obwohl Strukturen gebildet werden könnten, tritt
ein Problem wie z.B. eine Verminderung der Endbeschichtungsdicke
auf. Wenn andererseits das Gewichtsmittel des Molekulargewichts über 1000000
liegt, ist die Viskosität
des Copolymerharzes in der Form eines Photolacks so hoch, dass das
Beschichtungsvermögen
vermindert wird. Ferner wird in diesem Fall das Entwicklungsvermögen verschlechtert.
Dies macht es schwierig, scharfe Muster zu bilden.
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Die
Menge der eingeführten
(Meth)acryloylgruppe beträgt
im Allgemeinen 5 bis 95 mol%, vorzugsweise 10 bis 50 mol%. Wenn
die Menge weniger als 5 mol% beträgt, ist die Photohärtbarkeit
gering und der Effekt der Verbesserung der Beschichtungshaftung
und der Photolackeigenschaften ist gering.
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Die
Säurezahl
des Epoxy-haltigen Copolymerharzes beträgt 0 bis 400 mg KOH/g. Die
Säurezahl
kann durch Berücksichtigung
der Beziehung zwischen der Säurezahl
des Epoxy- haltigen
Copolymerharzes und der Säurezahl
des Alkali-entwickelbaren, photohärtbaren Copolymerharzes, das
nachstehend beschrieben wird, bestimmt werden. Wenn die Säurezahl übermäßig hoch
ist, wird die Stabilität
des Epoxy-haltigen Copolymerharzes in ungünstiger Weise vermindert. In
dem Epoxy-haltigen Copolymerharz muss die Hydroxylgruppe in den
aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (2) dargestellt sind,
nicht immer beibehalten werden, und die Hydroxylzahl kann 0 bis
200 mg KOH/g betragen. Die Hydroxylgruppe kann jedoch beibehalten
werden, um die Löslichkeit
des Copolymerharzes in dem Lösungsmittel
effektiv zu regulieren.
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Beim
Erhitzen nach dem Belichten und der Entwicklung wird das erfindungsgemäße Epoxy-haltige Copolymerharz
mit den sauren Gruppen umgesetzt, die nicht reagiert haben. Folglich
wird der Schutzschicht eine Alkalibeständigkeit verliehen. Verglichen
mit dem herkömmlichen
Phenol-Novolak-Epoxyharz oder dergleichen weist das Epoxy-haltige
Copolymerharz aufgrund der Strukturähnlichkeit eine sehr gute Mischbarkeit
mit dem Alkali-entwickelbaren, photohärtbaren Copolymerharz auf und
kann nach dem Vernetzen zum Zeitpunkt des Hitzehärtens in eine feste Struktur überführt werden.
Ferner kann das Epoxy-haltige Copolymerharz eine Struktur bilden,
die eine hervorragende Alkalibeständigkeit und Wasserbeständigkeit
aufweist und es kann somit als lichtempfindliche Harzzusammensetzung
ausgebildet werden, die eine hervorragende Empfindlichkeit aufweist.
Der Gehalt des Epoxy-haltigen Copolymerharzes in der Harzzusammensetzung
beträgt
5 bis 60 Gew.-% auf einer Feststoffbasis. Wenn der Gehalt des Epoxy-haltigen
Copolymerharzes weniger als 5 Gew.-% beträgt, kann der Schutzschicht
keine zufrieden stellende Alkalibeständigkeit verliehen werden.
Wenn der Gehalt andererseits 60 Gew.-% übersteigt, wird die Menge des
Epoxyharzes, das nicht zur Photohärtung beiträgt, übermäßig erhöht. Dies verschlechtert in
ungünstiger
Weise die Lagerstabilität
und das Entwicklungsvermögen
der Harzzusammensetzung.
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Als
nächstes
wird das Alkali-entwickelbare, photohärtbare Copolymerharz gemäß der vorliegenden Erfindung
beschrieben. In dem Alkali-entwickelbaren, photohärtbaren
Copolymerharz wird ein Copolymerharz verwendet, das in der japanischen
Patentanmeldung Nr. 99240/1998 beschrieben ist. Das Alkali-entwickelbare,
photohärtbare
Copolymerharz umfasst die gleichen aufbauenden Einheiten wie das
Epoxy-haltige Copolymerharz, mit der Ausnahme, dass die aufbauenden
Einheiten, die durch die Formel (3) dargestellt sind, von den aufbauenden
Einheiten, die durch die Formeln (1) bis (5) dargestellt sind, weggelassen
werden. D.h., das Alkali-entwickelbare, photohärtbare Copolymerharz umfasst
5 bis 55 mol% aufbauende Einheiten, die durch die Formel (1) dargestellt
sind, und 5 bis 95 mol% aufbauende Einheiten, die durch die Formel
(2) dargestellt sind, wobei die durch die Formel (1) dargestellten
aufbauenden Einheiten teilweise, über deren Carboxylgruppen,
mit einer (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung umgesetzt worden
sind, wobei die durch die Formel (2) dargestellten aufbauenden Einheiten
teilweise, über
deren Hydroxylgruppen, mit einer (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung
umgesetzt worden sind, wobei das Copolymerharz 5 bis 95 mol% (Meth)acryloylgruppen enthält und eine
Säurezahl
von 5 bis 400 mg KOH/g und ein Gewichtsmittel des Molekulargewichts
von 5000 bis 1000000, bestimmt unter Verwendung von Polystyrol als
Standard, aufweist.
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In
dem Alkali-entwickelbaren, photohärtbaren Copolymerharz sind
die aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (1) dargestellt
sind, unverzichtbar und wirken dahingehend, dass sie das Copolymerharz
alkalilöslich
machen. Monomere für
die aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (1) dargestellt
sind, umfassen diejenigen, die vorstehend im Zusammenhang mit dem
Epoxy-haltigen Copolymerharz beschrieben worden sind. Der Gehalt
der aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (1) dargestellt
sind, beträgt
5 bis 55 mol%, vorzugsweise 10 bis 25 mol%.
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Die
aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (2) dargestellt sind,
sind mit denjenigen identisch, die vorstehend im Zusammenhang mit
dem Epoxy-haltigen Copolymerharz beschrieben worden sind, und wurden
teilweise über
Hydroxylgruppen mit einer (Meth)acryloylalkylisocyanat-Verbindung
umgesetzt, um (Meth)acryloylgruppen in die aufbauenden Einheiten
einzuführen.
Der Gehalt an aufbauenden Einheiten, die durch die Formel (2) dargestellt
sind, wird gemäß dem Niveau
der für
das Copolymerharz erforderlichen Photopolymerisierbarkeit reguliert,
und beträgt
5 bis 95 mol%, vorzugsweise 10 bis 50 mol%.
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Das
Alkali-entwickelbare, photohärtbare
Copolymerharz umfasst die aufbauenden Einheiten, die durch die Formeln
(1) und (2) dargestellt sind. Andere aufbauende Einheiten, die für das Alkali-entwickelbare, photohärtbare Copolymerharz
verwendet werden können,
umfassen aufbauende Einheiten, die durch die Formeln (4) und (5)
dargestellt sind, die mit denjenigen identisch sind, die vorstehend
im Zusammenhang mit dem Epoxy-haltigen Copolymerharz beschrieben
worden sind. Der Gehalt der aufbauenden Einheiten, die durch die Formel
(4) dargestellt sind, beträgt
0 bis 75 mol%, vorzugsweise 5 bis 50 mol%. Der Gehalt der aufbauenden Einheiten,
die durch die Formel (5) dargestellt sind, beträgt 0 bis 75 mol%, vorzugsweise
5 bis 50 mol%.
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Das
Alkali-entwickelbare, photohärtbare
Copolymerharz kann in der gleichen Weise, wie es vorstehend im Zusammenhang
mit dem Epoxy-haltigen Copolymerharz beschrieben worden ist, hergestellt
werden, und der gleiche Katalysator, der gleiche Polymerisationsinitiator
und das gleiche Molekulargewichtsreguliermittel, wie sie bei der
Herstellung des Epoxy-haltigen Copolymerharzes verwendet worden
sind, können
bei der Herstellung des Alkali-entwickelbaren,
photohärtbaren
Copolymerharzes verwendet werden.
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Das
Gewichtsmittel des Molekulargewichts des Alkali-entwickelbaren Copolymerharzes,
das die aufbauenden Einheiten, die durch die Formeln (1), (2), (4)
und (5) dargestellt sind, umfasst, bestimmt unter Verwendung von
Polystyrol als Standard (nachstehend einfach als "Gewichtsmittel des
Molekulargewichts" oder "Mw" bezeichnet) kann
mit dem Gewichtsmittel des Molekulargewichts des Epoxy-haltigen
Copolymerharzes identisch sein. Das Copolymerharz weist eine Säurezahl
von 5 bis 400 mg KOH/g und eine Hydroxylzahl von 5 bis 400 mg KOH/g
auf.
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Das
Alkali-entwickelbare, photohärtbare
Copolymerharz kann durch Umsetzen des Copolymerharzes, das die aufbauenden
Einheiten, die durch die Formeln (1), (2), (4) und (5) dargestellt
sind, umfasst, mit einer (Meth)acryloyl-haltigen Isocyanatverbindung
hergestellt werden.
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Die
(Meth)acryloyl-haltige Isocyanatverbindung kann mit derjenigen identisch
sein, die vorstehend im Zusammenhang mit dem Epoxy-haltigen Copolymerharz
beschrieben worden ist, und die (Meth)acryloylgruppe kann mit der
gleichen Reaktion eingeführt
werden.
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Das
Gewichtsmittel des Molekulargewichts des Alkali-entwickelbaren,
photohärtbaren
Copolymerharzes beträgt
5000 bis 1000000, vorzugsweise 10000 bis 100000. Wenn das Gewichtsmittel
des Molekulargewichts kleiner als 5000 ist, ist das Entwicklungsvermögen übermäßig gut.
Dies macht es schwierig, bei der strukturweisen Belichtung die Strukturformen
zu steuern. Obwohl Strukturen gebildet werden könnten, tritt ein Problem wie
z.B. eine Verminderung der Endbeschichtungsdicke auf. Wenn andererseits
das Gewichtsmittel des Molekulargewichts über 1000000 liegt, ist die
Viskosität
des Copolymerharzes in der Form eines Photolacks so hoch, dass das
Beschichtungsvermögen
vermindert wird. Ferner wird in diesem Fall das Entwicklungsvermögen verschlechtert.
Dies macht es schwierig, scharfe Muster zu bilden.
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Die
Menge der eingeführten
(Meth)acryloylgruppe beträgt
im Allgemeinen 5 bis 95 mol%, vorzugsweise 10 bis 50 mol%. Wenn
die Menge weniger als 5 mol% beträgt, ist die Photohärtbarkeit
gering und der Effekt der Verbesserung der Beschichtungshaftung
und der Photolackeigenschaften ist gering.
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Die
Säurezahl
des Alkali-entwickelbaren, photohärtbaren Copolymerharzes beträgt 5 bis
400 mg KOH/g, vorzugsweise 10 bis 200 mg KOH/g. Die Säurezahl
korreliert mit dem Alkali- Entwicklungsvermögen. Insbesondere
führt eine
Säurezahl
unter der Untergrenze des vorstehend genannten Bereichs zu Problemen wie
z.B. einem schlechten Entwicklungsvermögen und einer schlechten Haftung
an dem Substrat und dem Farbfilterharz. Andererseits stellt eine
Säurezahl über der
Obergrenze des vorstehend genannten Bereichs ein übermäßig gutes
Entwicklungsvermögen
bereit, was Probleme einschließlich
der Schwierigkeit einer Regulierung von Strukturformen zum Zeitpunkt
der strukturweisen Belichtung erzeugt. In dem Copolymerharz muss die
Hydroxylgruppe in den aufbauenden Einheiten, die durch die Formel
(2) dargestellt sind, nicht immer beibehalten werden, und die Hydroxylzahl
kann 0 bis 200 mg KOH/g betragen. Die Hydroxylgruppe kann jedoch beibehalten
werden, um die Löslichkeit
des Copolymerharzes in dem Lösungsmittel
effektiv zu regulieren.
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Alkali-entwickelbare,
photohärtbare
Copolymerharze, die für
die vorliegende Erfindung geeignet sind, werden beispielhaft angegeben.
Für alle
nachstehend beispielhaft angegebenen Copolymerharze sind die aufbauenden
Einheiten, die durch die Formel (1) dargestellt sind, von 2-Hydroxyethylmethacrylat
(HEMA) als Monomer abgeleitet, und die aufbauenden Einheiten, die
durch die Formel (2) dargestellt sind, sind von Acrylsäure (AA)
als Monomer abgeleitet. Ferner wurden die aufbauenden Einheiten,
die durch die Formel (1) dargestellt sind, teilweise, über deren
Carboxylgruppen, mit 2-Methacryloylethylisocyanat umgesetzt (Karenz
MOI, von Showa Denko K.K. hergestellt), und die aufbauenden Einheiten,
die durch die Formel (2) dargestellt sind, wurden teilweise, über deren
Hydroxylgruppen, mit 2-Methacryloylethylisocyanat
umgesetzt (Karenz MOI, von Showa Denko K.K. hergestellt). Die aufbauenden
Einheiten, die durch die Formel (3) dargestellt sind, sind von Styrol
(St) als Monomer abgeleitet, und die aufbauenden Einheiten, die
durch die Formel (4) dargestellt sind, sind von Benzylmethacrylat
(BzMA) als Monomer abgeleitet.
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Für die Copolymerharze
ist die chemische Zusammensetzung (mol%) in der Tabelle 1 gezeigt,
und der Acryloylgruppengehalt (mol%), die Säurezahl (mg KOH/g) und das
Gewichtsmittel des Molekulargewichts (Mw), bestimmt unter Verwendung
von Polystyrol als Standard, sind in der Tabelle 2 gezeigt.
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-
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Der
Gehalt des Alkali-entwickelbaren, photohärtbaren Copolymerharzes in
der erfindungsgemäßen lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung beträgt
5 bis 80 Gew.-%, vorzugsweise 10 bis 50 Gew.-%, auf einer Feststoffbasis.
Wenn der Gehalt des Copolymerharzes mehr als 80 Gew.-% beträgt, ist
die Viskosität
der Zusammensetzung übermäßig hoch,
was zu einer verminderten Fluidität führt. Dies führt zu einem Problem des Beschichtungsvermögens. Wenn
der Gehalt des Copolymers andererseits weniger als 5 Gew.-% beträgt, ist die
Viskosität
der Zusammensetzung übermäßig niedrig,
was zu einer nicht zufrieden stellenden Stabilität einer Beschichtung der Zusammensetzung
nach dem Beschichten und Trocknen führt. Dies führt zu Problemen wie z.B. einer
verschlechterten Eignung zur Belichtung und Entwicklung.
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Bifunktionelle
oder höher
mehrfunktionelle polymerisierbare Acrylatmonomere, die hier verwendet werden
können,
umfassen Ethylenoxid-(3 mol)-Addukte, Ethylenoxid-(6 mol)-Addukte,
Propylenoxid-(3 mol)-Addukte und Propylenoxid-(6 mol)-Addukte von
Dipentaerythrithexaacrylat (DPHA), Dipentaerythritpentaacrylat (DPPA),
Pentaerythrittriacrylat (PETTA), Trimethylolpropantriacrylat (TMPTA)
und Trimethylolpropantriacrylat (TMPTA). Der Gehalt des bifunktionellen
oder höher
mehrfunktionellen polymerisierbaren Acrylatmonomers in der lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung beträgt
im Allgemeinen 3 bis 50 Gew.-%, vorzugsweise 5 bis 20 Gew.-%, auf
einer Feststoffbasis. Wenn der Gehalt des bifunktionellen oder höher mehrfunktionellen
polymerisierbaren Acrylatmonomers mehr als 50 Gew.-% beträgt, ist
die Viskosität
der Zusammensetzung übermäßig niedrig,
was zu einer nicht zufrieden stellenden Stabilität einer Beschichtung der Zusammensetzung
nach dem Beschichten und Trocknen führt. Dies führt zu Problemen wie z.B. einer
verschlechterten Eignung zur Belichtung und Entwicklung. Andererseits
führt ein
Gehalt des bifunktionellen oder höher mehrfunktionellen polymerisierbaren
Acrylatmonomers von weniger als 3 Gew.-% zu einem Problem dahingehend, dass
nicht belichtete Abschnitte bei der Entwicklung nicht vollständig entfernt
werden können.
-
Initiatoren,
die hier verwendet werden können,
umfassen: Radikalpolymerisationsinitiatoren und photoinduzierte
Säureerzeuger,
die beim Aussetzen gegenüber
Licht (insbesondere Licht mit Wellenlängen von 190 bis 410 nm) Säuren erzeugen
können.
Radikalpolymerisati onsinitiatoren umfassen 2-Methyl-1-[(4-methylthio)phenyl]-2-morpholinopropanon-1,2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanon-1,2,2'-bis(o-chlorphenyl)-4,5,4',5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazol, 2,4-Diethylthioxanthon
und 4,4-Bisdiethylaminobenzophenon. Die Menge des verwendeten Radikalpolymerisationsinitiators
beträgt
im Allgemeinen 0,1 bis 100 Gewichtsteile, vorzugsweise 0,5 bis 50
Gewichtsteile, bezogen auf 100 Gewichtsteile des Copolymerharzes.
Wenn die Menge des verwendeten Radikalpolymerisationsinitiators
weniger als 0,1 Gewichtsteile beträgt, läuft eine Photohärtungsreaktion
nicht ab. Dies führt
zu einer verminderten Dicke der fertigen Beschichtung, einer verminderten
Wärmebeständigkeit,
chemischen Beständigkeit
oder verschlechterten anderen Eigenschaften. Wenn die Menge des
verwendeten Radikalpolymerisationsinitiators andererseits 100 Gewichtsteile übersteigt,
ist dessen Löslichkeit
in dem Copolymerharz gesättigt.
Dies führt
zu einer Abscheidung von Kristallen des Initiators zum Zeitpunkt
der Schleuderbeschichtung oder dem Verlaufen der Beschichtung. Dies
wiederum macht es unmöglich,
die Homogenität
der Beschichtung in deren Oberfläche
aufrechtzuerhalten und raut die Beschichtung auf.
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Photoinduzierte
Säureerzeuger
umfassen die folgenden Verbindungen:
- 1) Trichlormethyl-s-triazine:
Tris(2,4,6-trichlormethyl)-s-triazin, 2-Phenyl-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin, 2-(4-Chlorphenyl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin,
2-(3-Chlorphenyl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin, 2-(2-Chlorphenyl)-bis-(4,6-trichlormethyl)-s-triazin,
2-(4-Methoxyphenyl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin, 2-(3-Methoxyphenyl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin, 2-(2-Methoxyphenyl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin, 2-(4-Methylthiophenyl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin,
2-(3-Methylthiophenyl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin, 2-(2-Methylthiophenyl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin,
2-(4-Methoxynaphthyl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin, 2-(3-Methoxynaphthyl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin,
2-(2-Methoxynaphthyl)-bis-(4,6-trichlormethyl)-s-triazin, 2-(4-Methoxy-β-styryl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin,
2-(3-Methoxy-β-styryl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin,
2-(2-Methoxy-β-styryl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin,
2-(4-Methylthio-β-styryl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin,
2-(3-Methylthio-β-styryl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin, 2-(2-Methylthio-β-styryl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin und dergleichen.
- (2) Diaryliodoniumsalze: Diphenyliodoniumtetrafluorborat, Diphenyliodoniumhexafluorphosphonat,
Diphenyliodoniumhexafluorarsenat, Diphenyliodoniumhexafluormethansulfonat,
Diphenyliodoniumtrifluoracetat, Diphenyliodonium-p-toluolsulfonat,
4-Methoxyphenylphenyliodoniumtetrafluorborat, 4-Methoxyphenylphenyliodoniumhexafluorphosphonat,
4-Methoxyphenylphenyliodoniumhexafluorarsenat, 4-Methoxyphenylphenyliodoniumtrifluormethansulfonat,
4-Methoxyphenylphenyliodoniumtrifluoracetat, 4-Methoxyphenylphenyliodonium-p-toluolsulfonat,
Bis(4-tert-butylphenyl)iodoniumtetrafluorborat, Bis(4-tert-butylphenyl)- iodoniumhexafluorphosphonat,
Bis(4-tert-butylphenyl)iodoniumhexafluorarsenat, Bis(4-tert-butylphenyl)iodoniumhexafluormethansulfonat,
Bis(4-tert-butylphenyl)iodoniumtrifluoracetat, Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium-p-toluolsulfonat
und dergleichen.
- (3) Triarylsulfoniumsalze: Triphenylsulfoniumtetrafluorborat,
Triphenylsulfoniumhexafluorphosphonat, Triphenylsulfoniumhexafluorarsenat,
Triphenylsulfoniumhexafluormethansulfonat, Triphenylsulfoniumtrifluoracetat,
Triphenylsulfonium-p-toluolsulfonat, 4-Methoxydiphenylsulfoniumtetrafluorborat,
4-Methoxydiphenylsulfoniumhexafluorphosphonat, 4-Methoxydiphenylsulfoniumhexafluorarsenat,
4-Methoxydiphenylsulfoniumhexafluormethansulfonat, 4-Methoxydiphenylsulfoniumtrifluoracetat,
4-Methoxydiphenylsulfonium-p-toluolsulfonat, 4-Phenylthiophenyldiphenyltetrafluorborat,
4-Phenylthiophenyldiphenylhexafluorphosphonat, 4-Phenylthiophenyldiphenylhexafluorarsenat,
4-Phenylthiophenyldiphenylhexafluormethansulfonat, 4-Phenylthiophenyldiphenyltrifluoracetat,
4-Phenylthiophenyldiphenyl-p-toluolsulfonat
und dergleichen.
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Von
diesen Verbindungen umfassen bevorzugte Trichlormethyl-s-triazine
2-(3-Chlorphenyl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin,
2-(4-Methoxyphenyl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin, 2-(4-Methylthiophenyl)-bis-(4,6-trichlormethyl)-s-triazin,
2-(4-Methoxy-β-styryl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin
und 2-(4-Methoxynaphthyl)-bis(4,6-trichlormethyl)-s-triazin.
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Bevorzugte
Diaryliodoniumsalze umfassen Diphenyliodoniumtrifluoracetat, 4-Methoxyphenylphenyliodoniumtrifluormethansulfonat,
4-Methoxyphenylphenyliodoniumtrifluorphosphonat, und 4-Methoxyphenylphenyliodoniumtrifluoracetat.
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Bevorzugte
Triarylsulfoniumsalze umfassen Triphenylsulfoniumtrifluormethansulfonat,
Triphenylsulfoniumtrifluoracetat, 4-Methoxydiphenylsulfoniumtetrafluormethansulfonat,
4-Methoxydiphenylsulfoniumtetrafluoracetat
und 4-Phenylthiophenyldiphenylsulfoniumtrifluoracetat.
-
Die
Menge des zugesetzten photoinduzierten Säureerzeugers beträgt im Allgemeinen
0,001 bis 30 Gewichtsteile, vorzugsweise 0,01 bis 10 Gewichtsteile,
bezogen auf 100 Gewichtsteile des Copolymerharzes. Wenn die Menge
des zugesetzten photoinduzierten Säureerzeugers weniger als 0,001
Gewichtsteile beträgt, ist
die Menge der Säure,
die bei der Belichtung des photoinduzierten Säureerzeugers erzeugt wird,
zu gering, um eine Photohärtungsreaktion
oder eine Vernetzung ablaufen zu lassen. Es ist wahrscheinlich,
dass dies eine verminderte Dicke der fertigen Beschichtung, eine
verminderte Wärmebeständigkeit,
chemische Beständigkeit oder
verschlechterte andere Eigenschaften verursacht. Wenn die Menge
des zugesetzten photoinduzierten Säureerzeugers andererseits 30
Gewichtsteile übersteigt,
wird des sen Löslichkeit
in der Zusammensetzung (die ein Lösungsmittel enthält) gesättigt. Es
ist wahrscheinlich, dass dies die Abscheidung von Kristallen auf der
Beschichtung oder eine Dimerisierung oder Trimerisierung des photoinduzierten
Säureerzeugers
verursacht, was die Lichtabsorptionseffizienz und folglich die Empfindlichkeit
vermindert. Photoinduzierte Säureerzeuger
können
allein oder als Gemisch von zwei oder mehr verwendet werden.
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Käufliche
photoinduzierte Säureerzeuger
umfassen diejenigen, die von Midori Kagaku Co., Ltd. hergestellt
werden, wie z.B. Triazine, einschließlich TAZ-100, TAZ-101, TAZ-102,
TAZ-104, TAZ-106,
TAZ-107, TAZ-110, TAZ-111, TAZ-113, TAZ-114, TAZ-118, TAZ-119 und
TAZ-120, und Oniumsalze, wie z.B. Triphenylsulfoniumsalze, einschließlich TPS-102,
TPS-103, TPS-105,
MDS-103, MDS-105, MDS-305, BDS-105, DTS-102, DTS-103, MAT-103, MAT-105,
NDS-103 und NDS-105.
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Silanhaftvermittler
können
zur Verbesserung der Haftung der Farbfilterschicht an dem Glassubstrat zugesetzt
werden. Silanhaftvermittler, die hier verwendet werden können, umfassen
Vinylsilane, Acrylsilane, Epoxysilane und Aminosilane. Insbesondere
umfassen Beispiele für
Vinylsilane, die hier verwendet werden können, Vinyltrichlorsilan, Vinyltris(β-methoxyethoxysilan),
Vinyltriethoxysilan und Vinyltrimethoxysilan. Beispiele für Acrylsilane,
die hier verwendet werden können,
umfassen γ-Methacryloxypropyltrimethoxysilan
und γ-Methacryloxypropylmethyldimethoxysilan.
Beispiele für
Epoxysilane, die hier verwendet werden können, umfassen β-(3,4-Epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilan, γ-Glycidoxypropyltrimethoxysilan
und γ-Glycidoxypropylmethyldiethoxysilan.
Beispiele für
Aminosilane, die hier verwendet werden können, umfassen N-β-(Aminoethyl)-γ-aminopropyltrimethoxysilan,
N-β-(Aminoethyl)-γ-aminopropylmethylditrimethoxysilan, γ-Aminopropyltriethoxysilan
und N-Phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilan.
Beispiele für
andere Silanhaftvermittler, die hier verwendet werden können, umfassen γ-Mercaptopropyltrimethoxysilan, γ-Chlorpropyltrimethoxysilan, γ-Chlorpropylmethyldimethoxysilan, γ-Chlorpropylmethyldimethoxysilan
und γ-Chlorpropylmethyldiethoxysilan.
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Zur
Verbesserung der Eignung zur Beschichtung kann ein grenzflächenaktives
Mittel zugesetzt werden und Beispiele für grenzflächenaktive Mittel, die hier
verwendet werden können,
umfassen grenzflächenaktive
Fluorverbindungen und grenzflächenaktive
Silikonverbindungen.
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Entsprechend
der erfindungsgemäßen lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung können
z.B. Diethylenglykoldimethylether, 3-Methoxybutylacetat, Propylenglykolmonomethylether acetat
und 3-Methyl-3-methoxybutanol als Lösungsmittel so verwendet werden,
dass eine Konzentration von 5 bis 50 Gew.-% auf einer Feststoffbasis
erhalten wird.
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Entsprechend
der erfindungsgemäßen lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung wird ein Alkali-entwickelbares, photohärtbares
Copolymerharz mit einer gesteuerten Alkalilöslichkeit und Härtbarkeit
in Kombination mit einem Epoxy-haltigen Copolymerharz mit einer
hervorragenden Mischbarkeit mit dem Harz verwendet. Daher weist
die erfindungsgemäße lichtempfindliche
Harzzusammensetzung eine hervorragende Beständigkeit gegen heißes, reines
Wasser, eine hervorragende Lösungsmittelbeständigkeit,
Wärmebeständigkeit, Alkalibeständigkeit,
Empfindlichkeit und Bleistiftritzhärte auf.
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Als
nächstes
wird der erfindungsgemäße Farbfilter
beschrieben. Die 1 ist ein schematisches Diagramm,
das den Aufbau einer Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Farbfilters
zeigt. In der 1 umfasst ein erfindungsgemäßer Farbfilter 1 ein
transparentes Substrat 2, eine farbige Schicht 3 und
eine schwarze Matrix 4, die jeweils eine auf dem transparenten
Substrat 2 bereitgestellte vorgegebene Struktur aufweisen; eine
Schutzschicht 5, die so bereitgestellt ist, dass sie die
farbige Schicht 3 bedeckt; und eine transparente Elektrode 6,
die auf der Schutzschicht 5 bereitgestellt ist, für eine Flüssigkristallansteuerung.
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In
dem Farbfilter 1 können
zum Aufbau des transparenten Substrats 2 nicht-flexible
starre Materialien, wie z.B. Quarzglas, Pyrexglas und synthetische
Quarzplatten, oder flexible Materialien, wie z.B. transparente Harzfilme
und Harzplatten für
optische Zwecke verwendet werden. Von diesen Materialien weist das
Glas 7059, das von Corning hergestellt wird, einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten,
eine hervorragende Abmessungsstabilität und eine hervorragende Bearbeitbarkeit
bei der Wärmebehandlung
bei hohen Temperaturen auf, und es ist, da es sich um ein Alkali-freies
Glas handelt, besonders für
Farbfilter geeignet, die in Flüssigkristall-Farbanzeigen
verwendet werden.
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Die
farbige Schicht 3 in dem Farbfilter 1 weist eine
rote Struktur 3R, eine grüne Struktur 3G und
eine blaue Struktur 3B auf, die in einer gewünschten
Form wie z.B. einer Mosaik-, Streifen-, Dreieck- oder Vier-Pixel-Anordnung
angeordnet sind. Die schwarze Matrix 4 ist zwischen angrenzenden
Farbstrukturen und der Außenseite
des Bereichs, der die farbige Schicht 3 bildet, in dessen
vorgegebenen Bereich bereitgestellt.
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Die
farbige Schicht 3 kann mit einem beliebigen Verfahren gebildet
werden, z.B. mit einem Färbeverfahren,
welches das Aufbringen eines Färbesubstrats,
das Belichten des Färbesubstrats
durch eine Photomaske, das Entwickeln des belichteten Färbesubstrats
zur Bildung einer Struktur, und das Färben der Struktur umfasst,
mit einem Pigmentdispergierverfahren, welches das vorherige Dispergieren
eines Farbpigments in einem lichtempfindlichen Photolack, das Belichten
des Photolacks durch eine Photomaske, und das Entwickeln des belichteten
Photolacks umfasst, mit einem Druckverfahren, bei dem jede Farbe
unter Verwendung von Druckfarben aufgedruckt wird, oder ein Elektroabscheidungsverfahren,
welches das vorherige Bilden einer transparenten leitfähigen Schicht
auf einem transparenten Substrat, das Bilden einer Positiv-Photolackschicht auf
der transparenten leitfähigen
Schicht, das Belichten der Photolackschicht durch eine Photomaske,
das Entwickeln der belichteten Photolackschicht zur Belichtung vorgegebener
Abschnitte der transparenten leitfähigen Schicht, das Eintauchen
des transparenten Substrats in eine Elektroabscheidungsflüssigkeit,
und in diesem Zustand das Zuführen
von Energie zu der transparenten leitfähigen Schicht zur Durchführung einer
Elektroabscheidung umfasst, wodurch eine farbige Schicht gebildet
wird.
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Die
schwarze Matrix 4 kann auch mit einem Verfahren gebildet
werden, das aus dem Färbeverfahren, dem
Pigmentdispergierverfahren, dem Druckverfahren und dem Elektroabscheidungsverfahren
ausgewählt ist.
Ferner kann zur Bildung der schwarzen Matrix 4 eine Chromdampfabscheidung
oder dergleichen verwendet werden.
-
Die
Schutzschicht kann durch Aufbringen der erfindungsgemäßen lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung auf das transparente Substrat, auf dem die farbige
Schicht und die schwarze Matrix ausgebildet sind, durch Schleuderbeschichten,
Walzenbeschichten, Sprühbeschichten,
Drucken oder dergleichen bis zu einer Dicke von 0,5 bis 20 μm, vorzugsweise
von 1 bis 8 μm
auf einer Trockenbasis, Belichten der Beschichtung durch eine vorgegebene
Photomaske, und dann Entwickeln der belichteten Beschichtung gebildet
werden. Wenn ein Schleuderbeschichten verwendet wird, beträgt die Drehzahl
der Schleuderbeschichtungsvorrichtung vorzugsweise 500 bis 1500
U/min.
-
Das
Belichten der Beschichtung wird durch Anwenden von ultraviolettem
Licht durch eine Photomaske durchgeführt. Nach dem Belichten wird
eine Alkali-Entwicklung durchgeführt,
worauf eine Wärmebehandlung (Wärmenachbehandlung)
durchgeführt
wird. Auf diese Weise wird die Schutzschicht gebildet. Die Schutzschicht 5 weist
nach dem Eintauchen der Schutzschicht in eine 1 %ige wässrige Natriumhydroxidlösung (Lösungstemperatur
= 25°C)
für 24
Stunden eine Filmfestigkeit von nicht weniger als eine Bleistiftritzhärte von
4H auf. Ferner wird die Schutzschicht nach dem Eintauchen in die
Alkali-Lösung
nicht abgelöst.
D.h., die Schutzschicht 5 weist eine sehr hohe Alkalibeständigkeit
auf.
-
Nach
dem Belichten und der Entwicklung mit einem Alkali liegen in der
lichtempfindlichen Harzzusammensetzung nicht umgesetzte Säuregruppen
vor. Da jedoch erfindungsgemäß das Epoxyharz,
das in der lichtempfindlichen Harzzusammensetzung enthalten ist,
bei der Wärmebehandlung
mit den restlichen Säuregruppen
umgesetzt wird, fehlt in der gebildeten Schutzschicht jegliche Säuregruppe,
die mit einem Alkali eine Reaktivität aufweist. Daher weist die
Schutzschicht eine hervorragende Alkalibeständigkeit auf.
-
Die
Wärmebehandlung
(Wärmenachbehandlung)
nach dem Abschluss der Belichtung der Beschichtung der lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung und der Alkali-Entwicklung kann im Allgemeinen
bei 120 bis 250°C
für etwa
5 bis 90 min durchgeführt
werden. Diese Wärmebehandlung
ermöglicht
es, dass das Epoxyharz, das in der lichtempfindlichen Harzzusammensetzung
enthalten ist, mit den verbleibenden Säuregruppen reagiert.
-
Die
transparente Elektrode kann auf der Schutzschicht mit einem herkömmlichen
Filmbildungsverfahren, wie z.B. Sputtern, Vakuumabscheidung oder
CVD unter Verwendung von Indiumzinnoxid (ITO), Zinkoxid (ZnO), Zinnoxid
(SnO) oder einer Legierung davon, und gegebenenfalls Ätzen unter
Verwendung eines Photolacks zur Bildung einer vorgegebenen Struktur
bereitgestellt werden. Die Dicke der transparenten Elektrode beträgt etwa
20 bis 500 nm, vorzugsweise etwa 100 bis 300 nm.
-
Die
folgenden Beispiele veranschaulichen die vorliegende Erfindung weiter.
-
Synthese eines Epoxy-haltigen
Copolymerharzes ➀
-
Es
wurde die folgende Zusammensetzung bereitgestellt.
Methylmethacrylat | 571
g |
2-Hydroxyethylmethacrylat | 163
g |
Glycidylmethacrylat | 81
g |
-
Diese
Zusammensetzung wurde zusammen mit 5 g Azobisisobutyronitril in
650 g 3-Methoxybutylacetat
gelöst.
Die Lösung
wurde dann tropfenweise einem Polymerisierbehälter, der 1000 g 3-Methoxybutylacetat bei
100°C enthielt,
während
eines Zeitraums von 6 Stunden zugesetzt. Auf diese Weise wurde eine
Polymerisation zur Herstellung einer Polymerlösung durchgeführt.
-
Die
Polymerlösung
wies einen Feststoffgehalt von 33 Gew.-% und eine Viskosität von 31,8
mPa·s
auf (25°C,
Brookfield-Viskosimeter). Das Polymer wies ein Gewichtsmittel des
Molekulargewichts von 10000 auf, bestimmt unter Verwendung von Polystyrol
als Standard.
-
Das
so erhaltene Copolymer umfasste 75,8 mol% Methylmethacrylateinheiten,
16,7 mol% 2-Hydroxyethylmethacrylateinheiten
und 7,5 mol% Glycidylmethacrylateinheiten.
-
Der
Polymerlösung
wurde während
eines Zeitraums von 5 Stunden ein Gemisch mit der folgenden Zusammensetzung
tropfenweise zugesetzt.
2-Methacryloylethylisocyanat | 270
g |
Dibutylzinnlaurat | 1
g |
3-Methoxybutylacetat | 2230
g |
-
Der
Fortschritt der Reaktion wurde mittels IR (ein Infrarotabsorptionsspektrum) überwacht
und die Reaktion wurde fortgesetzt, bis der Peak, welcher der Isocyanatgruppe
bei 2200 cm-1 zugeordnet werden konnte, verschwunden
war.
-
Die
so erhaltene Reaktionslösung
wies einen Feststoffgehalt von 22 Gew.-% und eine Viskosität von 20
mPa·s
auf (25°C,
Brookfield-Viskosimeter). Das Polymer wies ein Gewichtsmittel des
Molekulargewichts von 11000 auf, bestimmt unter Verwendung von Polystyrol
als Standard.
-
Synthese eines
Epoxy-haltigen Copolymerharzes ➁
-
Es
wurde die folgende Zusammensetzung bereitgestellt.
Benzylmethacrylat | 204
g |
Styrol | 286
g |
2-Hydroxyethylmethacrylat | 163
g |
Glycidylmethacrylat | 163
g |
-
Diese
Zusammensetzung wurde zusammen mit 5 g Azobisisobutyronitril in
650 g 3-Methoxybutylacetat
gelöst.
Die Lösung
wurde dann tropfenweise einem Polymerisierbehälter, der 1000 g 3-Methoxybutylacetat bei
100°C enthielt,
während
eines Zeitraums von 6 Stunden zugesetzt. Auf diese Weise wurde eine
Polymerisation zur Herstellung einer Polymerlösung durchgeführt.
-
Die
Polymerlösung
wies einen Feststoffgehalt von 33 Gew.-% und eine Viskosität von 41,3
mPa·s
auf (25°C,
Brookfield-Viskosimeter). Das Polymer wies ein Gewichtsmittel des
Molekulargewichts von 11000 auf, bestimmt unter Verwendung von Polystyrol
als Standard.
-
Das
so erhaltene Copolymer umfasste 18,3 mol% Benzylmethacrylateinheiten,
43,6 mol% Styroleinheiten, 19,9 mol% 2-Hydroxyethylmethacrylateinheiten
und 18,2 mol% Glycidylmethacrylateinheiten.
-
Der
Polymerlösung
wurde während
eines Zeitraums von 5 Stunden ein Gemisch mit der folgenden Zusammensetzung
tropfenweise zugesetzt.
2-Methacryloylethylisocyanat | 270
g |
Dibutylzinnlaurat | 1
g |
3-Methoxybutylacetat | 2230
g |
-
Der
Fortschritt der Reaktion wurde mittels IR (ein Infrarotabsorptionsspektrum) überwacht
und die Reaktion wurde fortgesetzt, bis der Peak, welcher der Isocyanatgruppe
bei 2200 cm-1 zugeordnet werden konnte, verschwunden
war.
-
Die
so erhaltene Reaktionslösung
wies einen Feststoffgehalt von 21 Gew.-% und eine Viskosität von 25
mPa·s
auf (25°C,
Brookfield-Viskosimeter). Das Polymer wies ein Gewichtsmittel des
Molekulargewichts von 12000 auf, bestimmt unter Verwendung von Polystyrol
als Standard.
-
Synthese eines
Epoxy-haltigen Copolymerharzes ➂
-
Es
wurde die folgende Zusammensetzung bereitgestellt.
Methylmethacrylat | 489
g |
2-Hydroxyethylmethacrylat | 163
g |
Oxetanmethacrylat
(OXE-30, von Osaka Organic Chemical Industry Ltd. hergestellt) | 163
g |
-
Diese
Zusammensetzung wurde zusammen mit 5 g Azobisisobutyronitril in
650 g 3-Methoxybutylacetat
gelöst.
Die Lösung
wurde dann tropfenweise einem Polymerisierbehäl ter, der 1000 g 3-Methoxybutylacetat bei
100°C enthielt,
während
eines Zeitraums von 6 Stunden zugesetzt. Auf diese Weise wurde eine
Polymerisation zur Herstellung einer Polymerlösung durchgeführt.
-
Die
Polymerlösung
wies einen Feststoffgehalt von 33 Gew.-% und eine Viskosität von 40,3
mPa·s
auf (25°C,
Brookfield-Viskosimeter). Das Polymer wies ein Gewichtsmittel des
Molekulargewichts von 10000 auf, bestimmt unter Verwendung von Polystyrol
als Standard.
-
Das
so erhaltene Copolymer umfasste 69,5 mol% Methylmethacrylateinheiten,
17,9 mol% 2-Hydroxyethylmethacrylateinheiten
und 12,6 mol% Oxetanmethacrylateinheiten.
-
Der
Polymerlösung
wurde während
eines Zeitraums von 5 Stunden ein Gemisch mit der folgenden Zusammensetzung
tropfenweise zugesetzt.
2-Methacryloylethylisocyanat | 270
g |
Dibutylzinnlaurat | 1
g |
3-Methoxybutylacetat | 2230
g |
-
Der
Fortschritt der Reaktion wurde mittels IR (ein Infrarotabsorptionsspektrum) überwacht
und die Reaktion wurde fortgesetzt, bis der Peak, welcher der Isocyanatgruppe
bei 2200 cm-1 zugeordnet werden konnte, verschwunden
war.
-
Die
so erhaltene Reaktionslösung
wies einen Feststoffgehalt von 21 Gew.-% und eine Viskosität von 27
mPa·s
auf (25°C,
Brookfield-Viskosimeter). Das Polymer wies ein Gewichtsmittel des
Molekulargewichts von 12000 auf, bestimmt unter Verwendung von Polystyrol
als Standard.
-
Synthese eines
Epoxy-haltigen Copolymerharzes
-
Es
wurde die folgende Zusammensetzung bereitgestellt.
Methylmethacrylat | 530
g |
2-Hydroxyethylmethacrylat | 163
g |
Methacrylsäure | 41
g |
Oxetanmethacrylat
(OXE-30, von Osaka Organic Chemical Industry Ltd. hergestellt) | 184
g |
-
Diese
Zusammensetzung wurde zusammen mit 5 g Azobisisobutyronitril in
800 g 3-Methoxybutylacetat
gelöst.
Die Lösung
wurde dann tropfenweise einem Polymerisierbehälter, der 1000 g 3-Methoxybutylacetat bei
80°C enthielt,
während
eines Zeitraums von 5 Stunden zugesetzt. Auf diese Weise wurde eine
Polymerisation zur Herstellung einer Polymerlösung durchgeführt.
-
Die
Polymerlösung
wies einen Feststoffgehalt von 34 Gew.-% und eine Viskosität von 34,7
mPa·s
auf (25°C,
Brookfield-Viskosimeter). Das Polymer wies ein Gewichtsmittel des
Molekulargewichts von 8600 auf, bestimmt unter Verwendung von Polystyrol
als Standard.
-
Das
so erhaltene Copolymer umfasste 70,9 mol% Methylmethacrylateinheiten,
16,8 mol% 2-Hydroxyethylmethacrylateinheiten,
6,4 mol% Methacrylsäureeinheiten
und 5,9 mol% Oxetanmethacrylateinheiten.
-
Der
Polymerlösung
wurde während
eines Zeitraums von 5 Stunden ein Gemisch mit der folgenden Zusammensetzung
tropfenweise zugesetzt.
2-Methacryloylethylisocyanat | 270
g |
Dibutylzinnlaurat | 1
g |
3-Methoxybutylacetat | 2230
g |
-
Der
Fortschritt der Reaktion wurde mittels IR (ein Infrarotabsorptionsspektrum) überwacht
und die Reaktion wurde fortgesetzt, bis der Peak, welcher der Isocyanatgruppe
bei 2200 cm-1 zugeordnet werden konnte, verschwunden
war.
-
Die
so erhaltene Reaktionslösung
wies einen Feststoffgehalt von 21 Gew.-% und eine Viskosität von 24
mPa·s
auf (25°C,
Brookfield-Viskosimeter). Das Polymer wies eine Säurezahl
von 23,2 mg KOH/g und ein Gewichtsmittel des Molekulargewichts von
9300 auf, bestimmt unter Verwendung von Polystyrol als Standard.
-
Synthese
eines Alkali-entwickelbaren, photohärtbaren Copolymerharzes (1),
das in der Tabelle 1 gezeigt ist
-
Es
wurde die folgende Zusammensetzung bereitgestellt.
Styrol | 385
g |
Acrylsäure | 216
g |
2-Hydroxyethylmethacrylat | 234
g |
-
Diese
Zusammensetzung wurde zusammen mit 5 g Azobisisobutyronitril in
650 g 3-Methoxybutylacetat
gelöst.
Die Lösung
wurde dann tropfenweise einem Polymerisierbehälter, der 1000 g 3-Methoxybutylacetat bei
100°C enthielt,
während
eines Zeitraums von 6 Stunden zugesetzt. Auf diese Weise wurde eine
Polymerisation zur Herstellung einer Polymerlösung durchgeführt.
-
Die
Polymerlösung
wies einen Feststoffgehalt von 40 Gew.-% und eine Viskosität von 1050
mPa·s
auf (30°C,
Brookfield-Viskosimeter). Das Polymer wies eine Säurezahl
von 152 mg KOH/g, eine Hydroxylzahl von 90 mg KOH/g und ein Gewichtsmittel
des Molekulargewichts von 37000 auf, bestimmt unter Verwendung von Polystyrol
als Standard.
-
Das
so erhaltene Copolymer umfasste 15 mol% Styroleinheiten, 37 mol%
Benzylmethacrylateinheiten, 30 mol% Acrylsäureeinheiten und 18 mol% 2-Hydroxyethylmethacrylateinheiten.
-
Der
Polymerlösung
wurde während
eines Zeitraums von 5 Stunden ein Gemisch mit der folgenden Zusammensetzung
tropfenweise zugesetzt.
2-Methacryloylethylisocyanat | 270
g |
Dibutylzinnlaurat | 1
g |
3-Methoxybutylacetat | 2230
g |
-
Der
Fortschritt der Reaktion wurde mittels IR (ein Infrarotabsorptionsspektrum) überwacht
und die Reaktion wurde fortgesetzt, bis der Peak, welcher der Isocyanatgruppe
bei 2200 cm-1 zugeordnet werden konnte, verschwunden
war.
-
Die
so erhaltene Reaktionslösung
wies einen Feststoffgehalt von 26 Gew.-% und eine Viskosität von 500
mPa·s
auf (30°C,
Brookfield-Viskosimeter). Das Polymer wies eine Säurezahl
von 120 mg KOH/g, eine Hydroxylzahl von 5 mg KOH/g und ein Gewichtsmittel
des Molekulargewichts von 45000 auf, bestimmt unter Verwendung von
Polystyrol als Standard, und enthielt 17 mol% (Meth)acryloylgruppen.
-
Beispiel 1
-
Ein
rotes lichtempfindliches Harz mit der folgenden Zusammensetzung
wurde mittels Schleuderbeschichten auf ein 1,1 mm dickes Glassubstrat
(AL-Material, von Asahi Glass Co., Ltd., hergestellt) bis zu einer Beschichtungsdicke
von 1,5 μm
aufgebracht. Das beschichtete Substrat wurde 30 min in einem Ofen
bei 70°C getrocknet.
Als nächstes
wurde die beschichtete Oberfläche
dem Licht einer Quecksilberlampe durch eine Photomaske mit einer
vorgegebenen Struktur ausgesetzt, worauf 1 min eine Sprühentwicklung
mit Wasser durchgeführt
wurde, um eine rote Reliefstruktur in Bereichen zu bilden, bei denen
rote Pixel gebildet werden sollen. Danach wurde 30 min eine Härtungsbehandlung
bei 150°C
durchgeführt.
-
Als
nächstes
wurde das gleiche Verfahren, wie es zur Bildung der roten Reliefstruktur
verwendet worden ist, wiederholt, jedoch wurde ein grünes lichtempfindliches
Harz mit der folgenden Zusammensetzung eingesetzt. Auf diese Weise
wurde in Bereichen, bei denen grüne
Pixel gebildet werden sollen, eine grüne Reliefstruktur gebildet.
-
Das
gleiche Verfahren, wie es zur Bildung der roten Reliefstruktur verwendet
worden ist, wurde dann wiederholt, jedoch wurde ein blaues lichtempfindliches
Harz mit der folgenden Zusammensetzung verwendet. Auf diese Weise
wurde in Bereichen, bei denen blaue Pixel gebildet werden sollen,
eine blaue Reliefstruktur gebildet. Folglich wurden farbige Schichten
der drei Farben Rot (R), Grün
(G) und Blau (B) hergestellt.
-
- Zusammensetzung
des roten, lichtempfindlichen Harzes
Pyrazolonrot
(rotes Pigment) | 10
Gewichtsteile |
Polyvinylalkohol/5
% Stilbazoliumchinolium (lichtempfindliches Harz) | 5
Gewichtsteile |
Wasser | 85
Gewichtsteile |
Zusammensetzung
des grünen,
lichtempfindlichen Harzes Lionolgrün 2Y-301
(grünes
Pigment) | 9
Gewichtsteile |
Polyvinylalkohol/5
% Stilbazoliumchinolium (lichtempfindliches Harz) | 5
Gewichtsteile |
Wasser | 86
Gewichtsteile |
Zusammensetzung
des blauen, lichtempfindlichen Harzes Fastogenblau
(blaues Pigment) | 3
Gewichtsteile |
Polyvinylalkohol/5
% Stilbazoliumchinolium (lichtempfindliches Harz) | 5
Gewichtsteile |
Wasser | 92
Gewichtsteile |
-
Eine
lichtempfindliche Harzzusammensetzung, die mit dem folgenden Verfahren
hergestellt worden ist, wurde mittels Schleuderbeschichten auf das
Glassubstrat aufgebracht, wobei die farbigen Schichten bis zu einer
Beschichtungsdicke von 1,2 μm
auf einer Trockenbasis darauf aufgebracht wurden.
-
Herstellung einer lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung A
-
Die
folgenden Verbindungen wurden bereitgestellt.
Alkali-entwickelbares,
photohärtbares
Copolymerharz (1), das wie vorstehend synthetisiert worden ist (Feststoffgehalt
26 Gew.-%) | 8,1
Gewichtsteile |
Dipentaerythritpentaacrylat
(SR 399, von Sartomer hergestellt) | 6,3
Gewichtsteile |
Epoxy-haltiges
Copolymerharz ➀, das wie vorstehend synthetisiert worden
ist (auf einer Feststoffbasis) | 10,8
Gewichtsteile |
2-Methyl-1-((4-methylthio)phenyl]-2-morpholinopropanon-1 | 1,2
Gewichtsteile |
2,2'-Bis(o-chlorphenyl)-4,5,4',5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazol | 0,9
Gewichtsteile |
Triazin
(TAZ 110, von Midori Kagaku Co., Ltd., hergestellt) | 0,3
Gewichtsteile |
Diethylenglykoldimethylether | 34,6
Gewichtsteile |
3-Methoxybutylacetat | 37,0
Gewichtsteile |
-
Diese
Verbindungen wurden bei Raumtemperatur unter Rühren gemischt, um eine erfindungsgemäße lichtempfindliche
Harzzusammensetzung A herzustellen.
-
Schritt der Belichtung
und der Entwicklung
-
Die
Beschichtungen der lichtempfindlichen Harzzusammensetzungen wurden
vollständig
luftgetrocknet und dann auf einer heißen Platte bei 80°C für 5 min
vorgewärmt.
Danach wurde eine Photomaske an einer Position 100 μm entfernt
von der Beschichtung der lichtempfindlichen Harzzusammensetzung
angeordnet. Ultraviolettes Licht wurde von einer Abstandsjustier-
und Belichtungsanlage von einer 2,0 kW-Ultrahochdruckquecksilberlampe
bei einer Belichtung von 100 mJ/cm2 nur
auf die Bereiche angewandt, die den Bildungsbereichen der farbigen
Schicht entsprachen. Die belichtete Anordnung wurde dann in eine
0,05 %ige wässrige Kaliumhydroxidlösung (Flüssigkeitstemperatur
23°C) für 1 min
eingetaucht, um eine Alkali-Entwicklung durchzuführen. Folglich wurden nur die
ungehärteten
Abschnitte in der Beschichtung der lichtempfindlichen Harzzusammensetzung
entfernt.
-
Danach
wurde die Anordnung zur Durchführung
einer Endhärtung
in einem Reinofen in einer Atmosphäre von 180°C 30 min stehengelassen, wodurch
eine transparente Schutzschicht gebildet wurde. Die Dicke der transparenten
Schutzschicht nach der Endhärtung
betrug etwa 1,5 μm.
-
Beispiel 2
-
Eine
lichtempfindliche Harzzusammensetzung B wurde in der gleichen Weise
wie im Beispiel 1 hergestellt, jedoch wurde anstelle des Epoxy-haltigen
Copolymerharzes ➀ das wie vorstehend hergestellte Epoxy-haltige
Copolymerharz ➁ verwendet. Ein Farbfilter wurde
dann in der gleichen Weise wie im Beispiel 1 hergestellt, jedoch
wurde die wie vorstehend hergestellte lichtempfindliche Harzzusammensetzung
B verwendet.
-
Beispiel 3
-
Eine
lichtempfindliche Harzzusammensetzung C wurde in der gleichen Weise
wie im Beispiel 1 hergestellt, jedoch wurde anstelle des Epoxy-haltigen
Copolymerharzes ➀ das wie vorstehend hergestellte
Epoxy-haltige Copolymerharz ➂ verwendet. Ein Farbfilter
wurde dann in der gleichen Weise wie im Beispiel 1 hergestellt,
jedoch wurde die wie vorstehend hergestellte lichtempfindliche Harzzusammensetzung
C verwendet.
-
Vergleichsbeispiel 1
-
Ein
Farbfilter wurde in der gleichen Weise wie im Beispiel 1 hergestellt,
jedoch wurde anstelle der lichtempfindlichen Harzzusammensetzung
in Beispiel 1 die folgende lichtempfindliche Harzzusammensetzung
D verwendet.
-
Die
folgenden Verbindungen wurden bereitgestellt.
Alkali-entwickelbares,
photohärtbares
Copolymerharz (1), das wie vorstehend synthetisiert worden ist (Feststoffgehalt
26 Gew.-%) | 10,0
Gewichtsteile |
Dipentaerythritpentaacrylat
(SR 399, von Sartomer hergestellt) | 15,2
Gewichtsteile |
2-Methyl-1-[(4-methylthio)phenyl]-2-morpholinopropanon-1 | 1,2
Gewichtsteile |
2,2'-Bis(o-chlorphenyl)-4,5,4',5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazol | 0,9
Gewichtsteile |
Triazin
(TAZ 110, von Midori Kagaku Co., Ltd., hergestellt) | 0,3
Gewichtsteile |
Diethylenglykoldimethylether | 34,6
Gewichtsteile |
3-Methoxybutylacetat | 37,0
Gewichtsteile |
-
Diese
Verbindungen wurden bei Raumtemperatur unter Rühren gemischt.
-
Vergleichsbeispiel 2
-
Ein
Farbfilter wurde in der gleichen Weise wie im Beispiel 1 hergestellt,
jedoch wurde anstelle der lichtempfindlichen Harzzusammensetzung
in Beispiel 1 die folgende lichtempfindliche Harzzusammensetzung
E verwendet.
-
Die
folgenden Verbindungen wurden bereitgestellt.
Alkali-entwickelbares,
photohärtbares
Copolymerharz (1), das wie vorstehend synthetisiert worden ist (Feststoffgehalt
26 Gew.-%) | 8,1
Gewichtsteile |
Dipentaerythritpentaacrylat
(SR 399, von Sartomer hergestellt) | 6,3
Gewichtsteile |
Epoxyharz
des Bisphenol A-Typs (als Feststoffgehalt) | 10,8
Gewichtsteile |
2-Methyl-1-[(4-methylthio)phenyl]-2-morpholinopropanon-1 | 1,2
Gewichtsteile |
2,2'-Bis(o-chlorphenyl)-4,5,4',5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazol | 0,9
Gewichtsteile |
Diethylenglykoldimethylether | 34,6
Gewichtsteile |
3-Methoxybutylacetat | 37,0
Gewichtsteile |
-
Diese
Verbindungen wurden bei Raumtemperatur unter Rühren gemischt.
-
Die
lichtempfindlichen Harzzusammensetzungen A bis E wurden in der gleichen
Weise, wie es vorstehend beschrieben worden ist, direkt auf ein
1,1 mm dickes Glassubstrat (AL-Material,
von Asahi Glass Co., Ltd., hergestellt) aufgebracht, und die Beschichtungen
wurden in der gleichen Weise, wie es vorstehend beschrieben worden
ist, behandelt, um Schutzschichten zu bilden. Die Schutzschichten
auf den Farbfiltern und die Schutzschichten auf der Glasplatte wurden
bezüglich
der Beständigkeit
gegen heißes,
reines Wasser, der Lösungsmittelbeständigkeit,
der Wärmebeständigkeit,
der Alkalibeständigkeit,
der Empfindlichkeit und der Bleistiftritzhärte unter den folgenden Bedingungen
bewertet.
-
Beständigkeit gegen heißes, reines
Wasser
-
Die
Proben wurden eine Stunde in reines Wasser mit 80°C eingetaucht
und dann wurde ein Kreuzschnitt-Bandablösetest durchgeführt.
-
Lösungsmittelbeständigkeit
-
Die
Proben wurden eine Stunde in N-Methylpyrrolidon mit 40°C eingetaucht
und dann wurde ein Kreuzschnitt-Bandablösetest durchgeführt.
-
Wärmebeständigkeit
Die Proben wurden eine Stunde bei 250°C in einem Reinofen stehen gelassen und
dann wurde ein Kreuzschnitt-Bandablösetest durchgeführt.
-
Alkalibeständigkeit
-
Die
Proben wurden 24 Stunden in eine 1 %ige wässrige Natriumhydroxidlösung mit
23°C eingetaucht und
dann wurde ein Kreuzschnitt-Bandablösetest durchgeführt.
-
Empfindlichkeit
-
Die
Empfindlichkeit wurde als Belichtung bewertet, die eine 30 μm-Linienrasterstruktur
auflösen
kann, welche einer Entwicklung widerstehen kann.
-
Bleistiftritzhärte
-
Die
Bleistiftritzhärte
wurde gemäß dem Testverfahren
8.4.1 in einem Bleistiftkratztest gemäß JIS K 5400-1990 gemessen.
-
Der
Kreuzschnitt-Bandablösetest
bei der Bewertung der Beständigkeit
gegen heißes,
reines Wasser, der Lösungsmittelbeständigkeit,
der Wärmebeständigkeit
und der Alkali-Beständigkeit
wurde nach dem folgenden Verfahren gemäß JIS K 5400-1990 8.5 durchgeführt.
-
Auf
einem im Wesentlichen mittleren Abschnitt eines Prüfkörpers wurden
11 parallel geschnittene Risslinien in Abstandsintervallen von 1
mm in der vertikalen und lateralen Richtung des Prüfkörpers derart
bereitgestellt, dass die geschnittenen Risslinien in der vertikalen
Richtung orthogonal zu den geschnittenen Risslinien in der lateralen
Richtung waren, so dass 100 Kreuzschnitte auf einem cm2 gebildet
wurden. Bei der Bereitstellung der geschnittenen Risslinien wurde
eine Schneidführung
oder dergleichen verwendet und während die
Messerkante eines Schneidmessers bei einem festgelegten Winkel im
Bereich von 35 bis 45° zu
der Oberfläche
der Beschichtung gehalten wurde, wurde das Schneidmesser gezogen,
so dass es durch die Beschichtung des Substrats des Prüfkörpers bei
einer gleichen Geschwindigkeit von 0,5 s pro geschnittener Risslinie hindurchdrang.
Ein druckempfindliches Klebeband wurde auf den Prüfkörper mit
den darin bereitgestellten geschnittenen Rissen geklebt und dann
von dem Prüfkörper getrennt.
Der Zustand der kreuzgeschnittenen Risse wurde untersucht. Die Ergebnisse
wurden gemäß den folgenden
Kriterien bewertet.
-
Bewertungskriterien
-
- 10: Jeder geschnittene Riss war fein, beide Seiten jedes
geschnittenen Risses waren glatt und der Schnittpunkt der geschnittenen
Risse und jeder quadratische Schnitt zeigten keine Ablösung.
- 8: Am Schnittpunkt geschnittener Risse wurde ein geringfügiges Ablösen festgestellt,
jeder quadratische Schnitt zeigte keine Ablösung und der fehlerhafte Teil
lag innerhalb von 5 % der gesamten quadratischen Fläche.
- 6: Ein Ablösen
wurde an beiden Seiten und dem Schnittpunkt geschnittener Risse
festgestellt und der fehlerhafte Teil betrug 5 bis 15 % der gesamten
quadratischen Fläche.
- 4: Die Breite des Ablösens,
das durch geschnittene Risse verursacht worden ist, war groß, und der
fehlerhafte Teil betrug 15 bis 35 % der gesamten quadratischen Fläche.
- 2: Die Breite des Ablösens,
das durch geschnittene Risse verursacht worden ist, war breiter
als 4 Punkte, und der fehlerhafte Teil betrug 35 bis 65 % der gesamten
quadratischen Fläche.
- 0: Der abgelöste
Bereich betrug nicht weniger als 65 % der gesamten quadratischen
Fläche.
-