JP2015072336A - 感光性組成物及びそれを用いた表示素子 - Google Patents
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Abstract
光の平行度の劣る露光機を用いて露光したときにも、マスクサイズと略同じ大きさのパターン状透明体を形成でき、かつ40℃以上における保存又は使用にも耐え得る感光性組成物を提供する。
【解決手段】
アルカリ可溶性重合体(A)、多官能エポキシ化合物(B)、重合性二重結合を有する化合物(C)、光重合開始剤(D)、1,2−キノンジアジド化合物(E)、及び溶剤(F)を含有する感光性組成物:
ここで、アルカリ可溶性重合体(A)は、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)及びその他のラジカル重合性モノマー(a2)を含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合させて得られるが、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)及びその他のラジカル重合性モノマー(a2)は、共にエポキシ基又はオキセタニル基を有しない。
【選択図】 なし
Description
[1] アルカリ可溶性重合体(A)、多官能エポキシ化合物(B)、重合性二重結合を有する化合物(C)、光重合開始剤(D)、1,2−キノンジアジド化合物(E)、及び溶剤(F)を含有する感光性組成物であって、
アルカリ可溶性重合体(A)は、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)及びその他のラジカル重合性モノマー(a2)を含有する、ラジカル重合性モノマーの混合物を重合させて得られ、そして、
カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)及びその他のラジカル重合性モノマー(a2)は、共にエポキシ基又はオキセタニル基を有しない。
ここで、エポキシ基含有重合体(Bc)は、エポキシ基を有するラジカル重合性モノマー(b1)及びその他のラジカル重合性モノマー(b2)を含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合させて得られ、そして、
エポキシ基を有するラジカル重合性モノマー(b1)及びその他のラジカル重合性モノマー(b2)は、共にカルボキシル基を有しない、[1]項に記載の感光性組成物。
脂環式脂肪族エポキシ化合物(Bb)が、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物である、[6]項に記載の感光性組成物。
R14は炭素数1〜15のアルキル基、炭素数2〜15のアルケニル基、又は炭素数2〜15のアルキニル基であり、nはそれぞれ独立に、1〜5の整数である。
本発明の第1の態様は、アルカリ可溶性重合体(A)、多官能エポキシ化合物(B)、重合性二重結合を有する化合物(C)、光重合開始剤(D)、1,2−キノンジアジド化合物(E)、及び溶剤(F)を含有する感光性組成物に関する。
上述したように、本発明で用いるアルカリ可溶性重合体(A)は、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)(以下、「成分(a1)」と称することがある。)、及びラジカル重合性モノマー(a1)と共重合可能な、ラジカル重合性モノマー(a1)以外の、その他のラジカル重合性モノマー(a2)(以下、「成分(a2)」と称することがある。)を含有する、ラジカル重合性モノマーの混合物を重合させて得られる共重合体である。アルカリ可溶性重合体(A)は、1種でも2種以上でもよい。
アルカリ可溶性重合体(A)に含有されるカルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)は、そのような官能性基を有する限り特に限定されない。カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)の具体例は、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、ケイ皮酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート、コハク酸モノ[2−(メタ)アクリロイロキシエチル]、マレイン酸モノ[2−(メタ)アクリロイロキシエチル]、シクロヘキセン−3,4−ジカルボン酸モノ[2−(メタ)アクリロイロキシエチル]である。
本発明のその他のラジカル重合性モノマー(a2)は、カルボキシル基、エポキシ基、及びオキセタニル基を有さず、かつカルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)と共重合可能なラジカル重合性モノマーであれば、特に限定されるものではない。このようなラジカル重合性モノマーの例は、(メタ)アクリル酸エステル、N−置換マレイミド、マクロモノマー、スチレン、メチルスチレン、ビニルトルエン、クロルメチルスチレン、インデン、(メタ)アクリルアミド、及びN−アクリロイルモルホリンである。(メタ)アクリル酸エステルの具体例は、メチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、及びグリセロールモノ(メタ)アクリレートである。N−置換マレイミドの具体例は、N−フェニルマレイミド及びN−シクロヘキシルマレイミドである。マクロモノマーの具体例は、ポリスチレンマクロモノマー及びポリメチルメタクリレートマクロモノマーである。
本発明の多官能エポキシ化合物(B)は、1分子当たり2つ以上のエポキシ基を有する化合物であり、そのような構造の特徴を有する限り特に限定されない。多官能エポキシ化合物は単独で用いてもよく、2つ以上を混合して用いてもよい。
グリシジルエーテル型エポキシ化合物(Ba)の好ましい具体例は、1,3−ビス[4−[1−[4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]−1−[4−[1−[4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチル]フェノキシ]−2−プロパノール、及び2−[4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]−2−[4−[1,1−ビス[4−([2,3−エポキシプロポキシ]フェニル)]エチル]フェニル]プロパンである。
脂環式脂肪族エポキシ化合物(Bb)の好ましい具体例は、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物である。
本発明で用いるエポキシ基含有重合体(Bc)は、上述したように、エポキシ基を有するラジカル重合性モノマー(b1)及びラジカル重合性モノマー(b1)と共重合可能なその他のラジカル重合性モノマー(b2)を含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合させて得られる共重合体である。
エポキシ基含有重合体(Bc)の原料であるエポキシ基を有するラジカル重合性モノマー(b1)は、少なくとも1つのエポキシ基を有する限り特に限定されない。エポキシ基を有するラジカル重合性モノマー(b1)の例は、グリシジル(メタ)アクリレート及びメチルグリシジル(メタ)アクリレートである。これらのラジカル重合性モノマーから選択される少なくとも1つを重合させて得たエポキシ基含有重合体(Bc)を用いた感光性組成物は小さなパターンを形成でき、かつ該感光性組成物を用いて製造されたパターン状透明体は、耐薬品性が高いので好ましい。
エポキシ基を有するラジカル重合性モノマー(b1)と共重合させるその他のラジカル重合性モノマー(b2)は、カルボキシル基、エポキシ基及びオキセタニル基を有さず、かつエポキシ基を有するラジカル重合性モノマー(b1)と共重合可能なラジカル重合性モノマーであれば、特に限定されるものではない。このようなラジカル重合性モノマーの例は、前記のカルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)と共重合させる、その他のラジカル重合性モノマー(a2)の説明において例示したラジカル重合性モノマーを挙げることができる。
本発明の感光性組成物に含有される重合性二重結合を有する化合物(C)は、重合性二重結合を有する限り特に限定されるものではない。
本発明の感光性組成物に含有される光重合開始剤(D)は、アルカリ可溶性重合体(A)、多官能エポキシ化合物(B)、及び重合性二重結合を有する化合物(C)を含有する組成物の重合を開始し得るものであれば特に限定されるものではない。
これらの化合物は単独で用いてもよく、2つ以上を混合して用いてもよい。
本発明の感光性組成物に含有される1,2−キノンジアジド化合物(E)として用いられる化合物の例は、1,2−ベンゾキノンジアジドスルホン酸エステル、1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、1,2−ベンゾキノンジアジドスルホン酸アミド、及び1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸アミドである。
2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル;
2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,3,3’,4−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,3’,4−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル;
ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル;
トリ(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、トリ(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル;
ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,2−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル;
1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル;
ビス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−ヘキサノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−ヘキサノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル;
2,2,4−トリメチル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、及び2,2,4−トリメチル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル。
これらの化合物は単独で用いてもよく、2つ以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明で用いる溶剤(F)は、沸点が100〜200℃である化合物の少なくとも1つ、又はこの化合物を20重量%以上含有する混合溶剤であることが好ましい。沸点が100〜200℃である化合物の例は、水、酢酸ブチル、プロピオン酸ブチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、ジオキサン、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下「PGMEA」と略記)、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、トルエン、キシレン、γ−ブチロラクトン、及びN,N−ジメチルアセトアミドである。
本発明の熱硬化性組成物は、解像度、塗布均一性、現像性、接着性等の、本発明における感光性組成物の特性を向上させる観点から添加剤を含んでいてもよい。添加物の例は、アクリル系、スチレン系、ポリエチレンイミン系及びウレタン系等の高分子分散剤;アニオン系、カチオン系、ノニオン系及びフッ素系等の界面活性剤;シリコン重合体系塗布性向上剤;シラン系カップリング剤及びアルミニウム系カップリング剤等の密着性向上剤;アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤;多官能エポキシ化合物(B)以外の環状エーテル化合物;メラミン化合物及びビスアジド化合物等の熱架橋剤;アルカリ可溶性重合体(A)以外のカルボキシル化合物、カルボン酸無水物、フェノール化合物等のエポキシ硬化剤;並びにヒンダード系フェノール等の酸化防止剤である。
アルカリ可溶性重合体(A)又はエポキシ基含有重合体(Bc)の重合方法は特に限定されないが、溶剤を用いた溶液中でのラジカル重合が好ましい。重合温度は使用する重合開始剤からラジカルが十分発生する温度であれば特に限定されないが、通常50〜150℃の範囲である。重合時間も特に限定されないが、通常1〜24時間の範囲である。又、当該重合は、加圧、減圧又は大気圧のいずれの圧力下でも行うことができる。
アルカリ可溶性重合体(A)の重合反応に用いる溶剤は、使用するカルボキシルを有するラジカル重合性モノマー(b1)、その他のラジカル重合性モノマー(a2)、及び生成するアルカリ可溶性重合体(A)を溶解する溶剤が好ましい。エポキシ基含有重合体(Bc)の重合反応に用いる溶剤は、使用するエポキシ基を有するラジカル重合性モノマー(b1)、その他のラジカル重合性モノマー(b2)、及び生成するエポキシ基含有重合体(Bc)を溶解する溶剤が好ましい。以下、重合反応に用いる溶剤を重合溶剤と称することがある。
アルカリ可溶性重合体(A)又はエポキシ基含有重合体(Bc)の重合には、公知の重合開始剤を用いることができる。本発明で用いられるアルカリ可溶性重合体(A)の重合に用いる重合開始剤、及びエポキシ基含有重合体(Bc)の重合に用いる重合開始剤には、熱によりラジカルを発生する化合物、アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系開始剤、及び過酸化ベンゾイル等の過酸化物系開始剤から適宜選択された少なくとも1つの化合物が用いられる。前記ラジカル重合反応では、生成するアルカリ可溶性重合体(A)、及びエポキシ基含有重合体(Bc)の分子量を調節するために、チオグリコール酸等の連鎖移動剤を適量添加してもよい。
得られたアルカリ可溶性重合体(A)又はエポキシ基含有重合体(Bc)の重量平均分子量は1,000〜100,000であることが好ましく、3,000〜20,000がより好ましい。これらの範囲にあれば、塗布後の膜厚均一性がより良好となる。
本発明の第2の態様は、本発明の感光性組成物を用いて製造したパターン状透明体に関する。本発明のパターン状透明体は、パターニングの際の解像度が高く、小さな径の突起状硬化物を形成するのに最適である。該パターン状透明体は以下のようにして形成される。まず、感光性組成物をスピンコート、ロールコート、及びスリットコート等により、ガラス等の基板上に塗布する。基板の例は、白板ガラス、青板ガラス、及びシリカコート青板ガラス等の透明ガラス基板、ポリカーボネート、ポリエステル、アクリル樹脂、塩化ビニール樹脂、芳香族ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド、及びポリイミド等の合成樹脂製シート、フィルム又は基板、アルミニウム板、銅板、ニッケル板、及びステンレス板等の金属基板、その他セラミック板、並びに光電変換素子を有する半導体基板である。これらの基板には所望により、シランカップリング剤等の薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、及び真空蒸着等の前処理を行うことができる。基板への感光性 樹脂組成物の塗布は、スピンコート法、ロールコート法、及びディッピング法等従来からの公知の方法により行うことができる。
カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1):
a1−1:メタクリル酸
a2−1:ベンジルメタクリレート
a2−2:ジシクロペンタニルメタクリレート
a2−3:ジシクロペンテニルオキシエチルメタクリレート
a2−4:メトキシポリエチレングリコールメタクリレートとして、ファンクリル FA−400M(商品名、日立化成株式会社、以下「FA−400M」と略記)
a2−5:N−フェニルマレイミド
a2−6:N−シクロヘキシルマレイミド
2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)(以下「V−65」と略記)
PGMEA
Ba−1:テクモアVG3101L(商品名、株式会社プリンテック)
Bb−1:EHPE−3150(商品名、株式会社ダイセル)
b1−1:グリシジルメタクリレート
b2−1:N−フェニルマレイミド
V−65
PGMEA
C−1:M−402
C−2:M−450
C−3:M−315
D−1:OXE01
E−1:2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル(以下「NT−200」と略記)
E−2:4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル
攪拌器付4つ口フラスコに、重合溶剤として、PGMEA、成分(a1)として、メタクリル酸、成分(a2)として、ベンジルメタクリレート、ジシクロペンタニルメタクリレート、及びN−フェニルマレイミド、重合開始剤として、V−65を下記の組成で仕込み、90℃で6時間加熱した。
メタクリル酸 6.000g
ベンジルメタクリレート 6.000g
ジシクロペンタニルメタクリレート 9.000g
N−フェニルマレイミド 9.000g
V−65 1.500g
PGMEA 70.000g
反応終了後の溶液を室温まで冷却し、アルカリ可溶性重合体(A−1)の30重量%溶液を得た。GPC分析により求めた重量平均分子量は4,100であった。
合成例1と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
メタクリル酸 6.000g
ベンジルメタクリレート 6.000g
ジシクロペンテニルオキシエチルメタクリレート 9.000g
N−フェニルマレイミド 9.000g
V−65 1.500g
PGMEA 70.000g
合成例1と同様の処理を行い、アルカリ可溶性重合体(A−2)の30重量%溶液を得た。GPC分析により求めた重量平均分子量は4,500であった。
合成例1と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
メタクリル酸 9.000g
ジシクロペンタニルメタクリレート 12.000g
N−シクロヘキシルマレイミド 9.000g
V−65 1.500g
PGMEA 70.000g
合成例1と同様の処理を行い、アルカリ可溶性重合体(A−3)の30重量%溶液を得た。GPC分析により求めた重量平均分子量は3,600であった。
合成例1と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
メタクリル酸 9.000g
ジシクロペンタニルメタクリレート 10.500g
FA−400M 1.500g
N−シクロヘキシルマレイミド 9.000g
V−65 1.500g
PGMEA 70.000g
合成例1と同様の処理を行い、アルカリ可溶性重合体(A−4)の30重量%溶液を得た。GPC分析により求めた重量平均分子量は3,800であった。
合成例1と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。ただし、加熱温度を80℃とした。
グリシジルメタクリレート 24.000g
N−フェニルマレイミド 6.000g
V−65 1.500g
PGMEA 70.000g
合成例1と同様の処理を行い、アルカリ可溶性重合体(Ba−1)の30重量%溶液を得た。GPC分析により求めた重量平均分子量は8,200であった。
合成例1と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
メタクリル酸 6.000g
ジシクロペンタニルメタクリレート 9.000g
N−フェニルマレイミド 6.000g
グリシジルメタクリレート 9.000g
V−65 1.500g
PGMEA 70.000g
合成例1と同様の処理を行い、比較例用重合体(Z−1)の30重量%溶液を得た。GPC分析により求めた重量平均分子量は6,300であった。
合成例1と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
ベンジルメタクリレート 12.000g
ジシクロペンタニルメタクリレート 9.000g
N−フェニルマレイミド 9.000g
V−65 1.500g
PGMEA 70.000g
合成例1と同様の処理を行い、比較例用重合体(Z−2)の30重量%溶液を得た。GPC分析により求めた重量平均分子量は3,200であった。
合成例1と同様にして、下記の成分を下記の重量で仕込み、重合を行った。
メタクリル酸 30.000g
V−65 1.500g
PGMEA 70.000g
合成例1と同様の処理を行い、比較例用重合体(Z−3)の30重量%溶液を得た。GPC分析により求めた重量平均分子量は7,200であった。
アルカリ可溶性重合体(A−1)の30重量%溶液、多官能エポキシ化合物(B)として、テクモアVG3101L及びEHPE−3150、重合性二重結合を有する化合物(C)として、M−402、光重合開始剤(D)として、OXE01、1,2−キノンジアジド化合物(E)として、NT−200、添加剤として、DFX−18、希釈用溶剤として、PGMEAを下記組成にて混合溶解し、感光性組成物を得た。この感光性組成物の粘度は7.8mPa・sであった。
アルカリ可溶性重合体(A−1)の30重量%溶液 10.000g
テクモアVG3101L 1.800g
EHPE−3150 1.200g
M−402 3.000g
OXE01 0.450g
NT−200 0.090g
DFX−18 0.009g
PGMEA 10.717g
なお、この組成物に含まれる溶剤(F)の総量は、アルカリ可溶性重合体(A−1)の30重量%溶液に含まれるPGMEAと希釈用に加えたPGMEAの総量になる。実施例2以下においても同様である。
段差・表面あらさ・微細形状測定装置P−16+(商品名、KLA TENCOR株式会社)を用いて、現像前膜厚及び現像後膜厚を測定し、現像後の残膜率(現像後膜厚×100%/現像前膜厚)を算出した。
得られたパターン状透明体付きガラス基板を、1,000倍の光学顕微鏡で観察し、マスクサイズ10μm角に対応したドットパターンの対角線長さを測定した。パターン太り特性は、対角線長さが、9μm〜11μmの場合を「○」、それ以外の場合を「×」とした。
感光性組成物は、E型粘度計を用いて25℃で測定した。感光性組成物10gを容積20mLのスクリュー管に保管し、封をした後に40℃のオーブンで7日間保管した。1日目の粘度及び8日目の粘度を測定し、増粘率(8日目の粘度×100%/(1日目の粘度×7日))を算出した。保存安定性は、増粘率が−1〜1%/日未満の場合を「○」、それ以外の場合を「×」とした。
実施例1と同様に、下表組成にて感光性組成物を調製した。固形分濃度が35重量%となるように、溶剤の量を調整した。これらの感光性組成物を、ポストベイク後の膜厚が4.0〜4.1μmになるような回転数でスピンコートし、実施例1と同様の評価を行った。粘度の変化の試験も実施例1と同様の評価を行った。結果を表2に示す。
Claims (14)
- アルカリ可溶性重合体(A)、多官能エポキシ化合物(B)、重合性二重結合を有する化合物(C)、光重合開始剤(D)、1,2−キノンジアジド化合物(E)、及び溶剤(F)を含有する感光性組成物であって、
アルカリ可溶性重合体(A)は、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)及びその他のラジカル重合性モノマー(a2)を含有する、ラジカル重合性モノマーの混合物を重合させて得られ、そして、
カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)及びその他のラジカル重合性モノマー(a2)は、共にエポキシ基又はオキセタニル基を有しない。 - アルカリ可溶性重合体(A)が、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)及びその他のラジカル重合性モノマー(a2)の総重量に対し、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)を10〜60重量%、及びその他のラジカル重合性モノマー(a2)を40〜90重量%含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合させて得られる共重合体である、請求項1に記載の感光性組成物。
- カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー(a1)が、アクリル酸及びメタクリル酸から選択される少なくとも1つである、請求項1又は2に記載の感光性組成物。
- その他のラジカル重合性モノマー(a2)が、芳香環を有する(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル基を有する(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル基を有する(メタ)アクリレート、及びN−置換マレイミドから選択される少なくとも1つを含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の感光性組成物。
- その他のラジカル重合性モノマー(a2)が、ベンジル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、N−フェニルマレイミド、及びN−シクロヘキシルマレイミドから選択される少なくとも1つを、その他のラジカル重合性モノマー(a2)の総重量に対し50重量%以上含有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性組成物。
- 多官能エポキシ化合物(B)が、グリシジルエーテル型エポキシ化合物(Ba)、脂環式脂肪族エポキシ化合物(Bb)、及びエポキシ基含有重合体(Bc)から選択される少なくとも1つであり、
エポキシ基含有重合体(Bc)は、エポキシ基を有するラジカル重合性モノマー(b1)及びその他のラジカル重合性モノマー(b2)を含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合させて得られ、そして、
エポキシ基を有するラジカル重合性モノマー(b1)及びその他のラジカル重合性モノマー(b2)は、共にカルボキシル基を有しない、請求項1に記載の感光性組成物。 - グリシジルエーテル型エポキシ化合物(Ba)が、1,3−ビス[4−[1−[4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]−1−[4−[1−[4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチル]フェノキシ]−2−プロパノール、及び2−[4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]−2−[4−[1,1−ビス[4−([2,3−エポキシプロポキシ]フェニル)]エチル]フェニル]プロパンから選択される少なくとも1つであり、
脂環式脂肪族エポキシ化合物(Bb)が、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物である、請求項6に記載の感光性組成物。 - 重合性二重結合を有する化合物(C)が、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、及びイソシアヌル酸エチレンオキシド変性トリアクリレートから選択される少なくとも1つを、重合性二重結合を有する化合物(C)の総重量に対し50重量%以上含有する、請求項1に記載の感光性組成物。
- 重合性二重結合を有する化合物(C)が、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート及びペンタエリスリトールテトラアクリレートから選択される少なくとも1つである、請求項8に記載の感光性組成物。
- 式(D−1)で表される化合物が1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)である、請求項10に記載の感光性組成物。
- 1,2−キノンジアジド化合物(E)が、1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルである、請求項1に記載の感光性組成物。
- 1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルが、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、及び4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステルから選択される少なくとも1つである、請求項12に記載の感光性組成物。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載の感光性組成物を用いて製造されたパターン状透明体。
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