TWI403836B - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

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Dong-Min Kim
Hyoc-Min Youn
Ki-Hyuk Koo
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Ui-Cheol Jeong
Dong-Myung Kim
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Description

感光性樹脂組成物
本發明係有關於一種感光性樹脂組成物，更詳而之，本發明係有關於一種感光性樹脂組成物，其不只靈敏度、穿透率、絕緣性、耐化學性等性能優異，尤使平坦性及塗層性明顯提昇，適於LCD製程之層間絕緣膜之形成者。
對於TFT型液晶顯示裝置或積體電路元件，為了使配置於層間之佈線間呈絕緣之狀態，乃使用層間絕緣膜。為得到如此形成層間絕緣膜時所需之圖案(pattern)形狀之層間絕緣膜，便使用步驟數少且平坦性優異之感光性材料。
最近，適用於液晶顯示器(LCD)製程之層間絕緣膜係由於基板大型化，而需要低黏度之抗光蝕(photoresist；光阻)。
習知層間絕緣膜係由PAC、黏合劑、溶媒等成分所構成，前述溶媒主要是採用乙酸酯(acetate)系。惟，前述乙酸酯系時，則有層間絕緣膜之非平坦化或塗層不均等問題存在，藉此，引起曝光步驟後平坦性不良等問題點。
因此，實際上乃有必要研究為了提昇適用LCD製程之層間絕緣膜之平坦性。
本發明係為了解決如前述之習知技術之問題點而所構建成者，其目的係於提供一種不只在靈敏度、穿透率、絕緣性、耐化學性等性能優異，特別是平坦性及塗層性明顯提昇，且適用膜厚較厚之LCD製程之層間絕緣膜之感光性樹脂組成物、含有感光性樹脂之固化物之LCD基板及利用前述感光性樹脂組成物之LCD基板之圖案形成方法。
本發明之另一目的係於提供一種感光性樹脂組成物，其具有優異之平坦性及塗層性，且不對於在曝光步驟後的LCD製程之層間絕緣膜引起圖案不良者。
為達成前述目的，本發明提供一種感光性樹脂組成物，其係包含有：：a)將i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、或其等混合物、ii)含有環氧之不飽和化合物、及iii)烯烴系不飽和化合物經過共聚所得到之丙烯酸系共聚物；b)1,2－苯醌二疊氮化合物；及c)選自由苄醇(benzyl alcohol)、正己醇、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇甲基乙基醚、及二丙二醇二乙醚所構成之群中1種以上之溶媒。
本發明係下列感光性樹脂組成物，且其中固形部分的含量係於10重量%~50重量%範圍內者為佳；該感光性樹脂組成物係包含有：a)將i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、或其等之混合物5重量%至40重量%；ii)含有環氧之不飽和化合物10重量%至70重量%；及iii)烯烴系不飽和化合物10重量%至70重量%共聚後所得之丙烯酸系共聚物100重量份；b)1,2－苯醌二疊氮化合物5重量份至100重量份；及c)使感光性樹脂組成物內之固形部分含量為10重量%至50重量%之選自由苄醇、正己醇、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇甲基乙基醚及二丙二醇二乙醚所構成之群中1種以上之溶媒。
進而，本發明係提供一種LCD，該LCD係含有前述感光性樹脂之固化物。
進而，本發明係提供一種圖案形成方法，該圖案形成方法係利用有前述感光性樹脂組成物者。
以下詳細說明本發明。
本發明之感光性樹脂組成物之特徵係於包含有：：a)將i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、或其等混合物、ii)含有環氧之不飽和化合物、及iii)烯烴系不飽和化合物經過共聚所得到之丙烯酸系共聚物；b)1,2－苯醌二疊氮化合物；及c)選自由苄醇(benzyl alcohol)、正己醇、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇甲基乙基醚、及二丙二醇二乙醚所構成之群中1種以上之溶媒。
本發明所使用之前述a)丙烯酸系共聚物係具有一作用，即，於顯影時，可在不產生浮渣(scum)之狀態下易於形成預定圖案者。
前述a)之丙烯酸系共聚物係可由以下過程得到，即：使i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、或其等混合物、ii)含有環氧之不飽和化合物、及iii)烯烴系不飽和化合物為單體，在溶媒及聚合起始劑之存在下進行游離基反應後合成，且透過沉澱及過濾、真空乾燥(vacuum drying)步驟，除去未反應單體後即可得之。
本發明所使用之前述a)i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、或其等混合物係亦可使用丙烯酸、甲代丙烯酸等之不飽和單羧酸等之不飽和單羧酸；馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、伊康酸等不飽和二羧酸；或其等之不飽和二羧酸酐等單獨或混合2種以上使用，特別對於共聚反應性及顯影劑之鹼水溶液之溶解性中，其等是使用丙烯酸、甲代丙烯酸或馬來酸酐者較佳。
前述不飽和羧酸酐或其等混合物係對於全體總單體而言，以含有5重量%至40重量%範圍內者為佳，較佳者為含有10重量%至30重量%範圍內者。其含量低於5重量%時，有難以溶解於鹼水溶液之問題存在，超過40重量%時，則對於鹼水溶液之溶解性過大之問題存在。
本發明所使用之前述a)ii)之含有環氧之不飽和化合物係亦可使用丙烯酸縮水甘油酯、甲代丙烯酸縮水甘油酯、α－乙基丙烯酸縮水甘油酯、α－正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α－正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸－β－甲基縮水甘油酯、甲代丙烯酸－β－甲基縮水甘油酯、丙烯酸－β－乙基縮水甘油酯、甲代丙烯酸－β－乙基縮水甘油酯、丙烯酸－3,4－環氧丁酯、甲代丙烯酸－3,4－環氧丁酯、丙烯酸－6,7－環氧庚酯、甲代丙烯酸－6,7－環氧庚酯、α－乙基丙烯酸－6,7－環氧庚酯、鄰乙烯基苯甲基縮水甘油醚、間乙烯基苯甲基縮水甘油醚、或對乙烯基苯甲基縮水甘油醚等，亦可單獨使用前述化合物或混合2種以上使用者。
特別是前述含有環氧之不飽和化合物使用甲代丙烯酸縮水甘油酯、甲代丙烯酸－β－甲基縮水甘油酯、甲代丙烯酸-6,7-環氧庚酯、鄰乙烯基苯甲基縮水甘油醚、間乙烯基苯甲基縮水甘油醚或對乙烯基苯甲基縮水甘油醚時，可提昇對共聚反應性及所得之圖案的耐熱性，因此較佳。
前述含有環氧之不飽和化合物係相對於全體單體，是以含有10重量%至70重量%者為佳，較佳者是含有20重量%至60重量%者。其含量是低於10重量%時，則有所得圖案之耐熱性降低之問題，而超過70重量%時，則有降低共聚物的保存穩定性之問題。
本發明所使用之前述a)iii)烯烴系不飽和化合物係可使用甲代丙烯酸酯、乙基甲代丙烯酸酯、正丁基甲代丙烯酸酯、仲丁基甲代丙烯酸酯、叔丁基甲代丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、異丙基丙烯酸酯、環己基甲代丙烯酸酯、2-甲基環己基甲代丙烯酸酯、二環戊烯基丙烯酸酯、二環戊基丙烯酸酯、二環戊烯基甲代丙烯酸酯、二環戊基甲代丙烯酸酯、1-金鋼基丙烯酸酯、1-金鋼基甲代丙烯酸酯、二環戊基羥基甲代丙烯酸酯、異冰片基甲代丙烯酸酯、環己基丙烯酸酯、2-甲基環己基丙烯酸酯、二環戊基羥基羥基乙基丙烯酸酯、異冰片基丙烯酸酯、苯基甲代丙烯酸酯、苯基丙烯酸酯、苄基丙烯酸酯、2-羥基乙基甲代丙烯酸酯、2-羥基乙基丙烯酸酯、苯乙烯、σ-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、異戊二烯、或2,3-二甲基-1,3-異戊二烯等，可單獨使用前述化合物或混合2種以上使用者。
特別是前述烯烴系不飽和化合物係使用苯乙烯、二環戊基甲代丙烯酸酯、或對甲氧基苯乙烯時，對於共聚反應性及顯影劑之鹼水溶液之溶解性方向更佳。
前述烯烴系不飽和化合物係相對於整體總單體，以含有10重量%至70重量%者為佳，較佳者為含有20重量%至50重量%者。其含量在低於10重量%時，有丙烯酸系共聚物之保存穩定性降低之問題，超過70重量%時，則有丙烯酸系共聚物難以溶解於顯影劑之鹼水溶液之問題。
為使前述單體做溶液聚合時所用之溶媒亦可使用甲醇、四氫呋喃、甲苯或二噁烯等。
為使如前述之單體做溶液聚合時所用之聚合起始劑係可使用游離聚合起始劑，具體上可使用2,2－偶氮雙異丁腈、2,2－偶氮雙(2,4－二甲基戊腈)、2,2－偶氮雙(4－甲氧基－2,4－二甲基戊腈)、1,1－偶氮雙(環己烷－1－腈)、或二甲基－2,2'－偶氮雙異丁酸酯等。
在溶媒與聚合起始劑的存在下將如前述之單體做游離反應，且經過沈澱及過濾、真空乾燥步驟，除去未反應單體後所得到之前述a)之丙烯酸系共聚物以換算成聚苯乙烯之重量均分子量(Mw)係於5,000至30,000範圍內者為佳，較佳者為5,000至20,000範圍內者。換算成前述苯乙烯之重量平均分子量係低於5,000時，在層間絕緣膜時，有顯影性、殘膜率等降低或圖案顯影、耐熱性等不佳等之問題存在，而超過30,000時之層間絕緣膜時，則有靈敏度降低或圖案顯影不佳之問題存在。
本發明所用之前述b)之1,2－苯醌二疊氮化合物作為感光性化合物使用。
前述1,2－苯醌二疊氮化合物係使用有1,2－苯醌二疊氮－4－磺酸酯、1,2－苯醌二疊氮－5－磺酸酯、或、1,2－苯醌二疊氮－6－磺酸酯等。
如前述之苯醌二疊氮化合物係可使萘醌二疊氮磺酸鹵素化合物與苯酚化合物在弱鹼下反應製造而成者。
前述苯酚化合物係可使用：2,3,4－三羥基二苯甲酮、2,4,6－三羥基二苯甲酮、2,2'－四羥基二苯甲酮、4,4'－四羥基二苯甲酮、2,3,4,4'－四羥基二苯甲酮、2,3,4,2'－四羥基－4'－甲基二苯甲酮、2,3,4,4'－四羥基－3'－甲氧基二苯甲酮、2,3,4,2'－五羥基二苯甲酮、2,4,6,3'－六羥基二苯甲酮、2,4,6,4'－六羥基二苯甲酮、2,4,6,5'－六羥基二苯甲酮、2,4,5,3'－六羥基二苯甲酮、3,4,5,5'－六羥基二苯甲酮、雙(2,4－二羥基苯基)甲烷、三(對羥基苯基)甲烷、1,1,1－三(對羥基苯基)乙烷、雙(2,3,4－三羥基苯基)甲烷、2,2－雙(2,3,4－三羥基苯基)丙烷、1,1,3－參(2,5－二甲基－4－羥基苯基)－3－苯基丙烷、4,4'－[1－[4－[1－[4－羥基苯基]－1－甲基乙基]苯基]亞乙基]雙苯酚、或雙(2,5－二甲基－4－羥基苯基)－2－羥基苯基甲烷，可單獨使用前述化合物或混合2種以上使用。
如前述將苯酚化合物與萘醌二疊氮磺酸鹵素化合物合成為苯醌二疊氮化合物時，其酯化度係於50%至85%範圍內者為佳。前述酯化度係低於50%時，亦有可能使殘膜率降低，超過85%時，則有使保存穩定性降低之問題存在。
前述1,2－苯醌二疊氮化合物係相對於a)之丙烯酸系共聚物100重量份，以含有5重量份至100重量份者為佳，較佳者為含有10重量份至50重量份者。其含量係低於5重量份時，曝光部與非曝光部間之溶解度的差變小，難以進行圖案形成，超過100重量份時，則有下列問題存在，即：以短時間之感光進行照射時，剩下多量的未反應之1,2－苯醌二疊氮化合物，使相對於顯影劑之鹼水溶液之溶解度過低，使得顯影困難者。
本發明所使用之前述c)溶媒係可維持層間絕緣膜之平坦度及不產生塗層不均，且形成均勻的圖案輪廓(pattern profile)者。
前述溶媒係可使用：苄醇、正己醇、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲基乙基醚、二乙二醇二乙醚、二丙二醇二甲基乙基醚、二丙二醇甲基乙基醚或二丙二醇二乙醚等等。
前述溶媒係使其含量形成使整體感光性樹脂組成物之固形部分含量在10重量%至50重量%範圍內者為佳，較佳者為15至40重量%範圍內者。使前述整體組成物之固形部分含量低於10重量%時，有塗層厚度變小，塗層平坦性降低之問題，超過50重量%時，則有塗層厚度變大，且塗層時，將造成塗層裝置負擔過大等問題。
如前述之成分所構成之本發明的感光性樹脂組成物係因應所需，亦可進而含有d)環氧樹脂、c)黏著劑、f)丙烯酸化合物、或g)界面活性劑。
前述d)環氧樹脂係具有可提昇由感光性樹脂組成物所得之圖案的耐熱性、靈敏度之作用。
前述環氧樹脂係可使用：雙酚A型環氧樹脂、酚醛清漆型環氧樹脂、漆用酚醛型環氧樹脂、環狀脂肪族環氧樹脂、縮水甘油酯型環氧樹脂、縮水甘油胺型環氧樹脂、複小環式樹脂或與a)之丙烯酸系共聚物另外不同之縮水甘油甲代丙烯酸酯(共)聚合而成之樹脂等，尤其是以使用雙酚醛A型環氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環氧樹脂或縮水甘油酯型環氧樹脂者為佳。
前述環氧樹脂係相對於前述a)之丙烯酸系共聚物100重量份，以含有0.1重量份至30重量份者為佳，其含量不在前述範圍時，則有降低對於丙烯酸系共聚物之商用性，未能得到充分的塗佈性能等之問題。
進而，前述e)之黏著劑係具有可提昇與基板間之黏著性之作用，相對於前述a)之丙烯酸系共聚物100重量份時以含有0.1重量份至20重量份者為佳。
前述黏著劑係使用具有如羧基、甲代丙烯基、異氰酸基或環氧等之反應性取代基之矽烷耦合劑等等。具體而言，可使用諸如：γ－甲代丙烯基羥基丙基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙醯氧基矽烷、乙烯基三甲氧基矽烷、γ－異氰酸基丙基三乙氧基矽烷、γ－環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷、或β－(3,4－環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷等等。
進而，前述f)之丙烯酸化合物係具有一可提升由感光性樹脂組成物所得到之圖案的穿透率、耐熱性、靈敏度等之作用。
又，前述丙烯酸化合物係以下列化學式1所示之化合物者為佳。
在前述化學式1中，R為氫原子、碳原子數1~5之烷基、碳原子數1~5之烷氧基或碳原子數1~5之烷醇基，且1<a<6、a＋b＝6。
前述丙烯酸化合物係相對於前述丙烯酸系共聚物100重量份，以含有0.1重量份至30重量份者為佳。較佳者為含有0.1重量份至15重量份者。其含量係於前述範圍內時，便可對於提昇圖案的穿透率、耐熱性、靈敏度等之方面更佳。
進而，g)之界面活性劑係具有一可提昇感光性組成物之塗佈性及顯影性之作用。前述界面活性劑係可使用諸如聚氧乙烯苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、F171、F172、F173(商品名稱：大日本INK化學工業公司)、FC430、FC431(商品名稱：住友3M公司)、或KP341(商品名稱：信越化學工業公司)等產品。
前述界面活性劑係相對於前述a)之丙烯酸系聚合物100重量份，以含有0.0001重量份至2重量份者為佳，其含量係於前述範圍內者時，對於感光性樹脂組成物之塗佈性及顯影性提升之方面更佳。
由如前述之成分所構成之本發明之感光性樹脂組成物之固形部分濃度係以10重量%至50重量%者為佳，具有前述範圍之固形部分之組成物要用0.1μm~0.2μm之米利波亞過濾器等過濾後使用者較好。
進而，本發明係提供一種含有前述感光性樹脂固化物之LCD基板及利用該感光性樹脂組成物之圖案形成方法。
本發明之前述圖案形成方法係指：將感光性樹脂組成物形成為有機絕緣膜，形成LCD基板之圖案之方法，其特徵係於使用前述感光性樹脂組成物者。
具體而言，利用前述感光性樹脂組成物形成LCD基板之圖案之方法乃如下所示者。
首先，藉噴塗法、滾塗法、旋轉塗佈法等方法將本發明之感光性樹脂組成物塗佈於基板表面，且藉預烤除去溶媒，形成塗佈膜。此時，前述預烤係以70~110℃之溫度實施1~15分鐘者為佳。
其次，藉事前準備好之圖案，在前述業經形成之圖案照射可視光、紫外線、遠紅外線、電磁線、X射線等，以顯影劑進行顯影，除去不要的部分，形成預定圖案。
前述顯影劑係宜使用鹼金屬水溶液，具體而言，可使用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉等無機鹼類；乙胺、正丙胺等之1級胺類；二乙胺等之2級胺類；三甲胺、甲基二乙胺、二甲基乙胺、三乙胺等之3級胺類；二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺等之醇胺類；或，氫氧化四甲銨、氫氧化四乙胺等之4級銨鹽之水溶液等等。此時，前述顯影劑係使鹼性化合物以0.1重量%~10重量%之濃度溶解使用，亦可加入適量的甲醇、乙醇等之水溶性有機溶媒及界面活性劑。
進而以前述顯影劑顯影，用超純水洗滌30~90秒鐘，除去不要的部分，且加以乾燥，形成圖案，對前述所形成之圖案照射紫外線等之光線後，藉烤箱等加熱裝置，以溫度150℃~250℃，對圖案加熱30~90秒鐘，得到最後的圖案。
依本發明之感光性樹脂組成物及使前述感光性樹脂組成物固化之固化物係具有優異之靈敏度、穿透率、絕緣性、耐化學性等之性能，且可顯著地提昇平坦性及塗層性，不僅適於作為膜厚較大之LCD製程之層間絕緣膜使用，進而，特徵在於具有一優點，即，利用有前述感光性樹脂組成物之本發明的LCD基板之圖案形成方法，可形成一適於做曝光步驟後LCD製程之層間絕緣膜之優異圖案者。
以下，為理解本發明，而提供較佳實施例，但下列實施例僅為例子罷了，本發明並不限於下列實施例者。
[實施例] 實施例1 (製造丙烯酸系共聚物)
在具備有冷卻管及攪拌器之燒瓶放入2,2'－偶氮雙(2,4－二甲基戊腈)10重量份、四氫呋喃500重量份、甲代丙烯酸20重量份、甲代丙烯酸縮水甘油酯25重量份、苯乙烯40重量份、2－羥基乙基丙烯酸酯5重量份及異丙基丙烯酸酯10重量份，進行氮取代後，再慢慢地攪拌。將前述半反應溶液昇溫到62℃，一邊維持這溫度5小時，一邊製造含有丙烯酸系共聚物之聚合物溶液。
為除去前述聚合物溶液之未反應單體，便相對於醚與正己烷以1：1混合而成之稀釋溶劑100重量份，使前述聚合物溶液100重量份沈澱。接著透過使用篩網(mesh)之過濾(filtering)步驟，將溶解有未反應物之稀釋溶劑除去。其次，在30℃下進行真空乾燥，將含有經過過濾步驟後還殘留之未反應單體之溶劑完成除去，製得重量均分子量為10,000之丙烯酸系共聚物。此時，重量均分子量為使用GPC所測之聚苯乙烯換算均分子量。
(製造1,2－苯醌二疊氮化合物)
使4,4'－[1－[4－[1－[4－羥基苯基]－1－甲基乙基]苯基]亞乙基]雙苯酚1莫耳及1,2－苯醌二疊氮－5－磺酸[氯化物]2莫耳做測定反應，製得4,4'－[1－[4－[1－[4－羥基苯基]－1－甲基乙基]苯基]乙叉基]雙苯酚1,2－苯醌二疊氮－5－磺酸酯。
(製造感光性樹脂組成物)
將前述製得之丙烯酸系共聚物100重量份及前述製得之4,4'－[1－[4－[1－[4－羥基苯基]－1－甲基乙基]苯基]亞乙基]雙苯酚1,2－苯醌二疊氮－5－磺酸酯25重量份予以混合。用苄醇溶解，俾使前述混合物之固形部分含量成為20重量%者，接著再用0.2μm之米利波亞過濾器進行過濾，製得感光性樹脂組成物。
實施例2
除了使用己醇，以代替前述實施例1中做為溶媒之苄醇外，其餘以與前述實施例1同一之方法實施，製得感光性樹脂組成物。
實施例3
除了使用二乙二醇甲基乙基醚，以代替前述實施例1中做為溶媒之苄醇外，其餘以與前述實施例1同一之方法實施，製得感光性樹脂組成物。
實施例4
除了使用二乙二醇二乙醚，以代替前述實施例1中做為溶媒之苄醇外，其餘以與前述實施例1同一之方法實施，製得感光性樹脂組成物。
實施例5
除了使用二丙二醇甲醚，以代替前述實施例1中做為溶媒之苄醇外，其餘以與前述實施例1同一之方法實施，製得感光性樹脂組成物。
比較例1
除了使用丙二醇甲醚乙酸酯，以代替前述實施例1中做為溶媒之苄醇外，其餘以與前述實施例1同一之方法實施，製得感光性樹脂組成物。
利用前述實施例1至5及比較例1所製得之感光性樹脂組成物，以如下之方法評價物性，並將其結果列於下列表1中。
1)塗層RPM－使用旋塗器在玻璃(glass)基板上塗佈前述實施例1至5及比較例1製得之感光性樹脂組成物後，再於烤盤上以90℃預烤2分鐘，形成膜厚3.0μm之膜。
2)平坦度－為測定前述1)中所形成之膜的塗層平坦度(uniformity)，利用膜厚橢圓偏光量測儀(ellipsometer)測定之。此時，以全基板為基準，平坦度超過95%時為○、95~90%內時為△、小於90%時則以×表示。
3)靈敏度－在前述1)中所形成之膜上，藉預定之圖案光罩(pattern mask)，用365nm之強度為15mW/cm2 之紫外線照射15秒。以下，以氫氧化四甲基銨0.38重量%之水溶液在25℃下顯影2分鐘後，用超純水洗淨1分鐘。
接著，對前述業經顯影之圖案上用365nm之強度為15mW/cm2 之紫外線照射34秒鐘，以120℃中烤後，再於烤箱中以220℃加熱60分鐘使之固化，得到一圖案膜。
4)解像度－測定前述3)中測定靈敏度時業經顯影之圖案膜的最小尺寸。
5)耐熱性－測定前述3)之靈敏度測試時業經顯影之圖案膜的上、下及左、右的寬度。此時，各變化率係以中烤前為準，在0~20%時為○、在20~40%時為△、超過40%時，則以×表示。
6)透明性－利用評價透明性之分光光度器，測定圖案膜400nm時之穿透率。
7)耐熱變色性－將評價耐熱變色性之測試基板放在220℃的烤箱加熱1小時，藉加熱前及加熱後之圖案膜的穿透率變化，評價耐熱變色性。此時，令變化率在5%時為○、5~10%時為△、超過10%時，則以×表示。
透過前述表1，藉本發明在實施例1至5所製得之感光性樹脂組成物係於靈敏度、解像度、耐熱性、透明性及耐熱變色性全部優異，尤其是製造低黏度感光性樹脂組成物時，其塗層性及平坦度全部遠優於比較例1，因此可知適於漸趨基板大型化之LCD製程之層間絕緣膜者。
反之，比較例1時，對於靈敏度及解像度造成若干不良，且平坦度不佳，亦難以適用於層間絕緣膜者。
[發明之效果]
依本發明之感光性樹脂組成物及使感光性樹脂組成物固化之固化物係於靈敏度、穿透率、絕緣性、耐化學性等性能同時兼具，特別是顯著地提昇平坦性及塗層性，具有可在膜厚較大之LCD製程中形成層間絕緣膜優異之圖案之效果。

Claims (8)

  1. 一種LCD層間絕緣膜用感光性樹脂組成物，其特徵係於該組成物包含有：a)100重量份之使下列物質共聚而得之丙烯酸系共聚物，其以聚苯乙烯換算之重量平均分子量(Mw)為5,000至30,000：i)5至40重量%之不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、或其等混合物、ii)10至70重量%之含環氧基不飽和化合物、及iii)10至70重量%之烯烴系不飽和化合物；b)5至100重量份之1,2-苯醌二疊氮化合物；及c)選自由苄醇及正己醇所構成之群組中1種以上之溶劑，且該感光性樹脂組成物所含溶劑係使前述感光性樹脂組成物內之固形物的含量為10至50重量%者。
  2. 如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中該a)i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、或其等混合物係選自於由丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、伊康酸及其等不飽和二羧酸酐所構成之群組中之1種以上者。
  3. 如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中該a)ii)之含環氧基不飽和化合物係選自於由丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮 水甘油酯、丙烯酸-β-甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基縮水甘油酯、丙烯酸-β-乙基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-β-乙基縮水甘油酯、丙烯酸-3,4-環氧丁酯、甲基丙烯酸-3,4-環氧丁酯、丙烯酸-6,7-環氧庚酯、甲基丙烯酸-6,7-環氧庚酯、α-乙基丙烯酸-6,7-環氧庚酯、鄰乙烯基苯甲基縮水甘油醚、間乙烯基苯甲基縮水甘油醚、或對乙烯基苯甲基縮水甘油醚所構成之群組中之一種以上者。
  4. 如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中該前述a)iii)烯烴系不飽和化合物係選自於由甲基甲基丙烯酸酯、乙基甲基丙烯酸酯、正丁基甲基丙烯酸酯、仲丁基甲基丙烯酸酯、叔丁基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、異丙基丙烯酸酯、環己基甲基丙烯酸酯、2-甲基環己基甲基丙烯酸酯、二環戊烯基丙烯酸酯、二環戊基丙烯酸酯、二環戊烯基甲基丙烯酸酯、二環戊基甲基丙烯酸酯、1-金鋼基丙烯酸酯、1-金鋼基甲基丙烯酸酯、二環戊基羥基乙基甲基丙烯酸酯、異冰片基甲基丙烯酸酯、環己基丙烯酸酯、2-甲基環己基丙烯酸酯、二環戊基羥基羥基乙基丙烯酸酯、異冰片基丙烯酸酯、苯基甲基丙烯酸酯、苯基丙烯酸酯、苄基丙烯酸酯、2-羥基乙基甲基丙烯酸酯、2-羥基乙基丙烯酸酯、苯乙烯、σ-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、異戊二烯、或2,3-二甲基-1,3-異戊二烯所構成之群組中之一種以上者。
  5. 如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中該b)之1,2-苯醌二疊氮化合物係選自於由1,2-苯醌二疊氮-4-磺酸酯、1,2-苯醌二疊氮-5-磺酸酯、及1,2-苯醌二疊氮-6-磺酸酯所構成之群組中之一種以上者。
  6. 如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中該感光性樹脂組成物係進而可含有選自於由d)0.1重量份至30重量份之環氧樹脂、c)0.1重量份至20重量份之黏著劑、f)0.1重量份至30重量份之丙烯酸化合物、及g)0.0001重量份至2重量份之界面活性劑所構成之群組中一種以上之添加劑。
  7. 一種LCD基板，係含有如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物的固化物者。
  8. 一種LCD基板之圖案形成方法，係利用如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物者。
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