TWI453539B - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Description

感光性樹脂組成物 技術領域

本發明係有關於一種感光性樹脂組成物，更詳而言之係有關於一種不僅顯像後的平坦度、解析度、耐熱性、透射度等性能優異，特別是可藉由實現高感度有機絕緣膜使生產性透過製程時間縮短而增加，並且同時使膜軟化而增加耐衝擊性的感光性樹脂組成物。

背景技術

在TFT型液晶顯示元件及積體電路元件中，會使用有機絕緣膜以使配置於層間的配線之間呈絕緣。最近，因顯示器市場擴大而被迫切要求增加生產性及降低成本。現在適用於顯示器製造製程的有機絕緣膜雖在開口率提高等各方面上是有利的，但製程時間變長、感度降低等缺點依舊被視為問題所在。

因此，事實上進一步需要用以開發顯示器製程中之高感度有機絕緣膜的研究。

為解決此種習知技術問題，本發明之目的在於提供一種不僅顯像後的平坦度、解析度、耐熱性、透射度等性能優異，特別是可藉由實現高感度有機絕緣膜使生產性透過 製程時間縮短而增加，並且同時使膜軟化而增加耐衝擊性的感光性樹脂組成物。

又，本發明之目的亦在於提供一種利用前述感光性樹脂組成物使顯像後的平坦度、解析度、耐熱性、透射度等性能優異，特別是可藉由實現高感度有機絕緣膜使生產性透過製程時間縮短而增加的顯示器圖案形成方法及含有作為有機絕緣膜之前述感光性樹脂組成物之硬化體的顯示器。

為達成前述目的，本發明提供一種感光性樹脂組成物，其特徵在於含有作為感度增進劑之選自於由鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二異壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯、及2,2,4-三甲基-1,3-單異丁酸戊二醇酯所構成之群組之1種以上之化合物0.1至10重量%。

又，本發明提供一種利用前述感光性樹脂組成物的顯示器圖案形成方法。

又，本發明提供一種含有作為有機絕緣膜之前述感光性樹脂組成物之硬化體的顯示器。

本發明之感光性樹脂組成物，不僅顯像後的平坦度、解析度、耐熱性、透射度等性能優異，特別是可藉由實現高感度有機絕緣膜使生產性透過製程時間縮短而增加，並且同時使膜軟化而增加耐衝擊性。

實施發明之最佳態樣

以下，詳細說明本發明。

本發明人在為了增進有機絕緣膜的感度而進行研究的期間，確認使有機絕緣膜用感光性樹脂組成物含有作為感度增進劑之選自於由鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二異壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯、及2,2,4-三甲基-1,3-單異丁酸戊二醇酯所構成之群組之1種以上之化合物時，感度會明顯增加，且顯像的平坦度、解析度、耐熱性、透射度等性能優異，並且同時使膜軟化而可增加耐衝擊性，因而完成本發明。

本發明之感光性樹脂組成物，其特徵在於含有作為感度增進劑之選自於由鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二異壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯、及2,2,4-三甲基-1,3-單異丁酸戊二醇酯所構成之群組之1種以上之化合物0.1至10重量%。

前述鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二異壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯、及2,2,4-三甲基-1,3-單異丁酸戊二醇酯在以往雖被作為可塑劑或溶劑使用，但在本發明之感光性樹脂組成物中作為感度增進劑而發揮作用，且以使用2,2,4-三甲基-1,3-單異丁酸戊二醇酯為佳。前述感度增進劑在本發明之感光性樹脂組成物中含有0.1至10重量%，不足0.1重量%時，感度會降低而難以期待透過縮短製程時間來增加生產性；超過10重量%時，則會有耐熱性降低且成 本上升的問題。宜含有2至10重量%，在前述範圍內時，不僅感度，亦可同時滿足平坦度、解析度、耐熱性、透射度、耐衝擊性。

本發明之感光性樹脂組成物宜由a)丙烯酸系共聚合物5至40重量%;b)1,2-二疊氮醌5-磺酸酯化合物1至20重量%;c)前述感度增進劑0.1至10重量%；及d)剩餘量的溶劑所構成。

前述a)丙烯酸系共聚合物在顯像時會發揮可輕易地形成不產生殘膜(scum)的預定圖案之作用。本發明之感光性樹脂組成物中，前述a)丙烯酸系共聚合物的含量以5至40重量%為佳。在前述範圍內時，不僅感度，亦可同時滿足平坦度、解析度、耐熱性、透射度、耐衝擊性。

作為具體範例，前述a)丙烯酸系共聚合物可在溶劑及聚合引發劑存在的狀態下，以i)不飽和羧酸或其酸酐、ii)含環氧基不飽和化合物、及iii)烯烴系不飽和化合物作為單體，在自由基合成後，藉由沉澱及過濾、真空乾燥製程來除去未反應單體而獲得。

本發明所使用之前述a)i)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、或該等混合物，可將丙烯酸、甲基丙烯酸等不飽和單羧酸；順丁烯二酸、反丁烯二酸、檸康酸、中康酸、伊康酸等不飽和二羧酸；或該等不飽和二羧酸酐等單獨或混合2種以上使用，特別是使用丙烯酸、甲基丙烯酸、或順丁烯二酸酐，就共聚合反應性及針對顯像液之鹼水溶液的溶解性方面而言係為更佳。

前述不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、或該等混合物以相對於全體總單體含有15至45重量份為佳。其含量在前述範圍內時，對鹼水溶液的溶解性係為最理想。

本發明所使用之前述a)ii)含環氧基不飽和化合物可使用丙烯酸環氧丙酯、甲基丙烯酸環氧丙酯、α-乙基丙烯酸環氧丙酯、α-正丙基丙烯酸環氧丙酯、α-正丁基丙烯酸環氧丙酯、丙烯酸-β-甲基環氧丙酯、甲基丙烯酸-β-甲基環氧丙酯、丙烯酸-β-乙基環氧丙酯、甲基丙烯酸-β-乙基環氧丙酯、丙烯酸-3,4-環氧丁酯、甲基丙烯酸-3,4-環氧丁酯、丙烯酸-6,7-環氧庚酯、甲基丙烯酸-6,7-環氧庚酯、α-乙基丙烯酸-6,7-環氧庚酯、鄰乙烯基苯甲基環氧丙基醚、間乙烯基苯甲基環氧丙基醚、或對乙烯基苯甲基環氧丙基醚、甲基丙烯酸3,4-環氧環己酯等，前述化合物可單獨或混合2種以上使用。

特別是前述含環氧基不飽和化合物使用甲基丙烯酸環氧丙酯、甲基丙烯酸-β-甲基環氧丙酯、甲基丙烯酸-6,7-環氧庚酯、鄰乙烯基苯甲基環氧丙基醚、間乙烯基苯甲基環氧丙基醚、或對乙烯基苯甲基環氧丙基醚、甲基丙烯酸3,4-環氧環己酯等，就共聚合反應性及提高所獲得之圖案的耐熱性方面而言係為更佳。

前述含環氧基不飽和化合物以相對於全體總單體含有15至45重量份為佳。其含量在前述範圍內時，可同時滿足有機絕緣膜的耐熱性及感光性樹脂組成物的保存穩定性。

本發明所使用之前述a)iii)烯烴系不飽化合物可使用甲 基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸二級丁酯、甲基丙烯酸三級丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸環己酯、甲基丙烯酸2-甲基環己酯、丙烯酸二環戊烯酯、丙烯酸二環戊酯、甲基丙烯酸二環戊烯酯、甲基丙烯酸二環戊酯、丙烯酸1-金剛烷酯、甲基丙烯酸1-金剛烷酯、甲基丙烯酸二環戊烷基氧乙酯、甲基丙烯酸異冰片酯、丙烯酸環己酯、丙烯酸2-甲基環己酯、乙基丙烯酸二環戊烷基氧乙酯、丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸2-羥乙酯、苯乙烯、σ-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、異戊二烯及2,3-二甲基1,3-丁二烯等，前述化合物可單獨或混合2種以上使用。

特別是前述烯烴系不飽化合物使用苯乙烯、甲基丙烯酸二環戊酯或對甲氧基苯乙烯，就共聚合反應性及針對顯像液之鹼水溶液的溶解性方面而言係為更佳。

前述烯烴系不飽和化合物以相對於全體總單體含有25至70重量份為佳，且以含有25至45重量份為更佳。其含量在前述範圍內時，顯像後不會產生膨脹(Swelling)，且可理想地維持針對顯像液之鹼水溶液的溶解性。

用以使前述單體進行溶液聚合的溶劑可使用甲醇、四氫呋喃、甲苯或二氧陸圜等。

用以使前述單體進行溶液聚合的聚合引發劑可使用自由基聚合引發劑，具體而言可使用2,2-偶氮雙異丁腈、2,2- 偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、2,2-偶氮雙(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、1,1-偶氮雙(環己烷-1-腈)、或二甲基2,2'-偶氮雙異丁酯等。

使前述單體在溶劑及聚合引發劑存在的狀態下進行自由基反應，並藉由沈澱及過濾、真空乾燥製程除去未反應單體而獲得之a)丙烯系共聚合物，其聚苯乙烯換算重量平均分子量(Mw)以5,000至20,000為佳。前述聚苯乙烯換算重量平均分子量不足5,000的有機絕緣膜可能會有顯像性、殘膜率等降低，且圖案顯像、耐熱性變差的問題；超過20,000的有機絕緣膜則可能會有感度降低，且圖案顯像變差的問題。

又，本發明所使用之前述b)1,2-二疊氮醌5-磺酸酯化合物可在弱鹼基下使二疊氮萘醌磺酸鹵化物與酚化合物反應而製得。

前述酚化合物可使用2,3,4-三羥基二苯基酮、2,4,6-三羥基二苯基酮、2,2'-四羥基二苯基酮、4,4'-四羥基二苯基酮、2,3,4,3'-四羥基二苯基酮、2,3,4,4'-四羥基二苯基酮、2,3,4,2'-四羥基4'-甲基二苯基酮、2,3,4,4'四羥基3'-甲氧基二苯基酮、2,3,4,2'-五羥基二苯酮、2,3,4,6'-五羥基二苯酮、2,4,6,3'-六羥基二苯酮、2,4,6,4'-六羥基二苯酮、2,4,6,5'-六羥基二苯酮、3,4,5,3'-六羥基二苯酮、3,4,5,4'-六羥基二苯酮、3,4,5,5'-六羥基二苯酮、雙(2,4-二羥基苯基)甲烷、雙(對羥基苯基)甲烷、三(對羥基苯基)甲烷、1,1,1-三(對羥基苯基)乙烷、雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷、2,2-雙(2,3,4-三 羥基苯基)丙烷、1,1,3-三(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷、4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚或雙(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷等，前述化合物可以單獨或混合2種以上來使用。

以前述酚化合物與二疊氮萘醌磺酸鹵化合物合成二疊氮醌化合物時，酯化度以50至85%為佳。在前述範圍內時，同時具有殘膜率及穩定性優異的效果。

前述b)1,2-二疊氮醌5-磺酸酯化合物以在本發明之感光性樹脂組成物中含有1至20重量%為佳。其含量在前述範圍內時，具有可輕易形成圖案，且針對顯像液之鹼水溶液的溶解性呈理想的優點。

本發明所使用之前述c)感度增進劑如前述記載所示。

又，為了有機絕緣膜的平坦性與不產生塗佈斑，令本發明所使用之前述d)溶劑可形成均勻的圖案輪廓。

前述溶劑有甲醇、乙醇、苯甲醇、己醇等醇類；乙二醇甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯類；乙二醇甲基醚丙酸酯、乙二醇乙基醚丙酸酯等乙二醇烷基醚丙酸酯類；乙二醇甲基醚、乙二醇乙基醚等乙二醇單烷基醚類；二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚等二乙二醇烷基醚類；丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯等丙二醇烷基醚乙酸酯類；丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯類；丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙 二醇丙基醚、丙二醇丁基醚等丙二醇單烷基醚類；二丙二醇二甲基醚、二丙二醇二乙基醚等二丙二醇烷基醚類；丁二醇單甲基醚、丁二醇單乙基醚等丁二醇單烷基醚類；二丁二醇二甲基醚、二丁二醇二乙基醚等二丁二醇烷基醚類等。

全體感光性樹脂組成物的剩餘量中含有前述溶劑，且以含有50至90重量%為佳。在前述範圍內時，可同時提高感光性樹脂組成物的塗佈性及穩定性。

由前述成分所構成之本發明之感光性樹脂組成物可視需要更含有e)環氧樹脂、f)接著劑、g)丙烯酸化合物、及h)界面活性劑。

前述e)環氧樹脂可發揮使從感光性樹脂組物所獲得之圖案的耐熱性、感度等提高的作用。

前述環氧樹脂可使用雙酚A型環氧樹脂、酚醛樹脂型環氧樹脂、甲酚酚醛型環氧樹脂、環狀脂肪族環氧樹脂、環氧丙酯型環氧樹脂、環氧丙胺型環氧樹脂、雜環式環氧樹脂、或是(共)聚合與a)丙烯酸系共聚合物相異之甲基丙烯酸環氧丙酯之樹脂，特別是以使用雙酚A型環氧樹脂、甲酚酚醛型環氧樹脂或環氧丙酯型環氧樹脂為佳。

前述環氧樹脂以相對於本發明之感光性樹脂組成物含有0.01至10重量%為佳，且其含量在前述範圍內時，可提高塗佈性及接著性。

又，前述f)黏著劑可發揮提高與基板之接著性的作用，且以相對於本發明之感光性樹脂組成物含有0.01至10重量 %為佳。

前述接著劑可使用具有羧基、甲基丙烯基、異氰酸酯基或環氧基等反應性取代基之矽烷偶合劑等。具體而言可使用，γ-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙醯氧基矽烷、乙烯基三甲氧基矽烷、γ-異氰酸酯丙基三乙氧基矽烷、γ-環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷或β-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷等。

又，前述g)丙烯酸化合物可發揮使從感光性樹脂組物所獲得之圖案的透射率、耐熱性、感度等提高的作用。

前述丙烯酸化合物宜為以下述化學式1表示之化合物。

前述化學式1的式中，R為氫原子、碳數1~5的烷基、碳數1~5的烷氧基、或碳數1~5的烷醇基，1<a<6，且a+b=6。

前述丙烯酸化合物以相對於本發明之感光性樹脂組成物含有0.01至10重量份為佳，且以含有0.1至5重量%為更佳。其含量在前述範圍內時，就提高圖案的透射率、耐熱性、感度等方面而言係為更佳。

又，前述h)界面活性劑可發揮使感光性組成物之塗佈性或顯像性提高的作用。

前述界面活性劑可使用聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、F171、F172、F173(商品名：大日本油墨社)、FC430、FC431(商品名：住友3M社)、或KP341(商品名：信越化學工業社)等。

前述界面活性劑以相對於本發明之感光性樹脂組成物含有0.0001至2重量%為佳，且其含量在前述範圍內時，就提高感光性組成物之塗佈性或顯像性方面而言係為更佳。

由前述成分所構成之本發明之感光性樹脂組成物的固體成分濃度以10至50重量%為佳，且具有前述範圍之固體成分的組成物可先用0.1~0.2μm的微孔濾器等過濾之後再使用。

又，本發明提供一種利用前述感光性樹脂組成物的顯示器圖案形成方法及含有作為有機絕緣膜之前述感光性樹脂組成物之硬化體的顯示器。

本發明之顯示器製程下的圖案形成方法的特徵在於，將感光性樹脂組成物形成為有機絕緣膜，且在形成顯示器製程下的圖案的方法中，使用前述感光性樹脂組成物。

具體而言，利用前述感光性樹脂組成物形成顯示器製程下的圖案的方法如下所示。

首先，以噴塗法、輥塗法、旋轉塗佈法等將本發明之感光性樹脂組成物塗佈於基板表面，再藉由預烤(pre-bake)除去溶劑而形成塗佈膜。此時，前述預烤以在80~115℃的溫度下實施1~15分鐘為佳。

然後，透過預先準備好的圖案將可見光、紫外線、遠 紫外線、電子射線、X光等照射在前述所形成之塗佈膜，並以顯像液顯像除去不必要的部分，藉此形成預定的圖案。

前述顯像液可使用鹼水溶液，具體而言可使用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉等無機鹼類；乙胺、正丙胺等1級胺類；二乙胺、二正丙胺等2級胺類；三甲胺、甲基二乙胺、二甲基乙胺、三乙胺等3級胺類；二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺等醇胺類；或氫氧化四甲銨、氫氧化四乙銨等4級銨鹽的水溶液等。此時，前述顯像液係將鹼性化合物以0.1~10重量%的濃度溶解後再使用，且亦可適量地添加如甲醇、乙醇等水溶性有機溶劑及界面活性劑。

又，以前述顯像液顯像後，用超純水清洗30~90秒鐘來除去不必要的部分，並使之乾燥而形成圖案，再將紫外線等光線照射於前述所形成之圖案後，藉由烤箱等加熱裝置將圖案以150~250℃的溫度加熱處理30~90分鐘，即可獲得最終圖案。

本發明之感光性樹脂組成物不僅顯像後的平坦度、解析度、耐熱性、透射度等性能優異，特別是可藉由實現高感度有機絕緣膜使生產性透過製程時間縮短而增加，並且同時使膜軟化而增加耐衝擊性。

以下，將提供理想實施例以增進對於本發明之理解，但下述實施例僅為舉例說明本發明者，本發明之範圍不受限於下述實施例。

[實施例] 實施例1

(製造丙烯酸系共聚合物)

在配備了冷卻管與攪拌機之燒瓶中加入2,2'-偶氮雙(2,4,二甲基戊腈)10重量份、四氫呋喃400重量份、甲基丙烯酸30重量份、甲基丙烯酸環氧丙酯45重量份、苯乙烯25重量份，進行氮取代後，緩慢地攪拌。使前述反應溶液昇溫到62℃並維持該溫度10小時，同時進行自由基反應來製造聚合物溶液。

相對於正己烷100重量份使前述聚合物溶液沉澱10重量份，以除去聚合物溶液的未反應單體。沉澱後，藉由利用篩網的過濾製程來除去溶解有未反應物的不良溶劑。然後，為了除去含有經過濾製程後仍殘留未反應單體的溶劑，在30℃下透過真空乾燥完全除去，來製造丙烯酸系共聚合物。

前述丙烯酸系共聚合物的重量平均分子量為10,000。此時，重量平均分子量係使用GPC測定之聚苯乙烯換算平均分子量。

(製造1,2-二疊氮醌化合物)

使4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚1莫耳與1,2-二疊氮萘醌-5-磺酸[氯化物]2莫耳進行縮合反應，來製造4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚1,2-二疊氮萘醌-5-磺酸酯。

(製造感光性樹脂組成物)

混合前述製造之丙烯酸系共聚合物15重量%、4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚1,2-二疊氮萘醌-5-磺酸酯4重量%、及鄰苯二甲酸二辛酯3重量%。溶解於二乙二醇二甲基醚使前述混合物之固體成分含量呈20重量%後，以0.2μm的微孔濾器過濾，來製造感光性樹脂組成物。

實施例2

除了使用己二酸二辛酯取代在前述實施例1製造感光性樹脂組成物時使用的鄰苯二甲酸二辛酯以外，實施與前述實施例1同樣的方法，來製造感光性樹脂組成物。

實施例3

除了使用磷酸三甲苯酯取代在前述實施例1製造感光性樹脂組成物時使用的鄰苯二甲酸二辛酯以外，實施與前述實施例1同樣的方法，來製造感光性樹脂組成物。

實施例4

除了使用2,2,4-三甲基-1,3-單異丁酸戊二醇酯取代在前述實施例1製造感光性樹脂組成物時使用的鄰苯二甲酸二辛酯以外，實施與前述實施例1同樣的方法，來製造感光性樹脂組成物。

比較例1

除了不使用在前述實施例1製造感光性樹脂組成物時使用的鄰苯二甲酸二辛酯以外，實施與前述實施例1同樣的方法，來製造感光性樹脂組成物。

比較例2

除了使用15重量%在前述實施例1製造感光性樹脂組成物時使用的鄰苯二甲酸二辛酯以外，實施與前述實施例1同樣的方法，來製造感光性樹脂組成物。

如下述般測定前述實施例1至4以及比較例1至2的感光性樹脂組成物的物性，並顯示於下述表1。

使用旋轉塗佈法將在前述實施例1至4以及比較例1至2中製造的感光性樹脂組成物塗佈於玻璃基板上後，在熱板上以90℃預烤2分鐘，來形成厚度3.0μm的膜。

A)顯像後平坦度-利用橢圓偏光計測定依前述般形成之膜的顯像後平坦度。此時，平坦度超過全體基板基準95%時以○表示，90~95%時以△表示，不足90%時以×表示。

B)感度-在前述A)形成之膜上使用預定的圖案遮罩，以感度為10μm線與間隙(Line & Space)1：1CD基準用量的量照射波長435nm下之強度為20mW/cm² 的紫外線後，在氫氧化四甲銨2.38重量%之水溶液以23℃顯像1分鐘後，用超純水清洗1分鐘。

然後，將435nm下之強度為20mW/cm² 的紫外線於前述經顯像之圖案上照射500mJ/cm² ，並在烤箱中以230℃加熱60分鐘使之硬化，來獲得圖案膜。

C)解析度-依測定前述B)感度時所形成之圖案膜的最小尺寸來測定。

D)耐熱性-對測定前述B)感度時所形成之圖案膜的上、下及左、右的寬度進行測定。此時，以中烤(mid-bake) 前為基準，角變化率為0~20%時以○表示，20~40%時以△表示，超過40%時以×表示。

E)透射度-透射度係利用分光光度計測定圖案膜之400nm的透射率來進行評價。

透過前述表1可確認，根據本發明在實施例1至4中製造的感光性樹脂組成物在顯像後的平坦度、解析度、耐熱性、透射度方面均很優異，且感度優於比較例1，可使生產性透過製程時間縮短而增加，特別是可確認實施例4的情形中，其感度非常優異。又，使用過多感度增進劑的比較例2的情形中，其感度雖優異但耐熱性卻降低，故可確認難以適用於有機絕緣膜。

Claims (8)

1. 一種感光性樹脂組成物，其特徵在於含有：a)丙烯酸系共聚合物10至40重量%；b)1,2-二疊氮醌5-磺酸酯化合物1至20重量%；c)選自於由鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二異壬酯、己二酸二辛酯及磷酸三甲苯酯所構成之群組之1種以上之感度增進劑0.1至10重量%；及d)剩餘量的溶劑。
2. 如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中前述丙烯酸系共聚合物係精製使i)不飽和羧酸或其酸酐15至45重量份；ii)含環氧基不飽和化合物15至45重量份；及iii)烯烴系不飽和化合物25至70重量份共聚合而得之丙烯酸系共聚合物，且其聚苯乙烯換算重量平均分子量為5000~20000。
3. 如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中在前述b)1,2-二疊氮醌5-磺酸酯化合物中構成其本體之酚化合物係選自於由2,3,4-三羥基二苯基酮、2,4,6-三羥基二苯基酮、2,2’-四羥基二苯基酮、4,4’-四羥基二苯基酮、2,3,4,3’-四羥基二苯基酮、2,3,4,4’-四羥基二苯基酮、2,3,4,2’-四羥基4’-甲基二苯基酮、2,3,4,4’-四羥基3’-甲氧基二苯基酮、2,3,4,2’-五羥基二苯基酮、2,3,4,6’-五羥基二苯基酮、2,4,6,3’-六羥基二苯基酮、2,4,6,4’-六羥基二苯基酮、2,4,6,5’-六羥基二苯基酮、3,4,5,3’-六羥基二 苯基酮、3,4,5,4’-六羥基二苯基酮、3,4,5,5’-六羥基二苯基酮、雙(2,4-二羥基苯基)甲烷、雙(對羥基苯基)甲烷、三(對羥基苯基)甲烷、1,1,1-三(對羥基苯基)乙烷、雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷、2,2-雙(2,3,4-三羥基苯基)丙烷、1,1,3-三(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷、4,4’-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚、及雙(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷所構成之群組之1種以上者。
4. 如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中前述d)溶劑係選自於由甲醇、乙醇、苯甲醇、己醇等醇類；乙二醇甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯類；乙二醇甲基醚丙酸酯、乙二醇乙基醚丙酸酯等乙二醇烷基醚丙酸酯類；乙二醇甲基醚、乙二醇乙基醚等乙二醇單烷基醚類；二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚等二乙二醇烷基醚類；丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯等丙二醇烷基醚乙酸酯類；丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯類；丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚、丙二醇丁基醚等丙二醇單烷基醚類；二丙二醇二甲基醚、二丙二醇二乙基醚等二丙二醇烷基醚類；丁二醇單甲基醚、丁二醇單乙基醚等丁二醇單烷基醚類；二丁二醇二甲基醚、二丁二醇二乙基醚等二丁二醇烷基醚類所構成之群組之1 種以上者。
5. 如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中前述感光性樹脂組成物更含有添加劑，且該添加劑係選自於由e)環氧樹脂0.1至30重量份、f)接著劑0.1至20重量份、g)丙烯酸化合物0.1至30重量份，及h)界面活性劑0.0001至2重量份所構成之群組之1種以上者。
6. 如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中前述感光性樹脂組成物係用於形成顯示器之有機絕緣膜。
7. 一種顯示器圖案形成方法，係利用申請專利範圍第1至6項中任一項之感光性樹脂。
8. 一種顯示器，係含有作為有機絕緣膜之申請專利範圍第1至6項中任一項之感光性樹脂之硬化體者。