TWI361836B - Method for fabricating aluminum alloy thick plate and aluminum alloy thick plate - Google Patents
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Description
1361836 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於鋁合金厚板之製造方法以及 【先前技術】 一般而言，鋁合金厚板等的鋁合金材係被β 了底座基板、搬運裝置、真空裝置用工作腔室笔 相關聯的裝置之外，也被使用在電機電子零件、 • 零件之製造裝置、生活用品、機械零件等的各種 ν —般而言，這種鋁合金材的製造方法，係}Η 是鋁合金加以熔融、鑄造以製造成鑄塊，再因挺 _ 均質化熱處理之後，再將這個鑄塊輥軋至預定纪 • (例如：請參考專利文獻1 )。 此外，使用於衝壓用金屬模的金屬模具素和 ΦΦ 言，作爲量産生産用的係採用：鋼鐵、鑄鋼等， 作品用的係採用：鋅合金鑄物材、鋁合金鑄物和 ，隨著近年來的多品項少量生產化的趨勢，作赁 産用的金屬模具素材，鋁合金的輥軋材或锻造和 材的使用也已經普及化了》 [專利文獻1 ] • 日本特開2005-344173號公報（段落0037〜 【發明內容】 合金厚板 用在：除 的半導體 電機電子 用途。 原料也就 必要進行 厚度爲止 ，一般而 而作爲試 等。再者 中少量生 等的伸展 -5- 0045 ) (2) 1361836 [發明所欲解決之課題] 然而，前述之輥軋的鋁合金材之製造方法，係有下列 的問題點。 鑄造後才進行輥軋的方法，輥軋板的表面狀態以及平 坦度（尤其是長軸方向的平坦度）的控制，變成只能夠單 純依賴輥軋輥子來控制，而且因執行熱軋而導致在輥軋板 材表面形成厚的氧化皮膜，因此存有：不易控制表面狀態 以及平坦度之問題。此外，只根據輥軋輥子的話，不易控 制板厚，所以具有：板厚精度欠佳的問題，在板厚方向中 * 心部，因爲金屬間化合物的大小變大，因此如果實施了防 ν 蝕處理的話，將會有：在板厚方向斷面上的表面產生顏色 不均勻（色斑）的問題。此外，對於鑄塊進行輥軋的情況 _ ，將會因輥軋次數的増加而增加了作業過程，進而會有導 • 致成本増大之問題。 本發明係有鑒於前述技術課題而開發完成的，目的係 φφ 在於提供：具有優異的生産性，容易控制表面狀態以及平 坦度，可提昇板厚精度的鋁合金厚板之製造方法以及利用 這種製造方法所製得的鋁合金厚板。 [用以解決課題之手段] 爲了解決前述課題，本發明的第一種技術方案係： 一種鋁合金厚板之製造方法，其特徵爲：係依序執行 下列過程： 將鋁合金予以熔融之熔融過程； -6- (3)1361836 氫 夾 鑄 以 * 板 塊 5 . 鑄 而 _在 的 少 坦 % 從在前述熔融過程已經熔融的鋁合金中除去氫氣的脫 氣過程； 從在前述脫氫氣過程已經除去了氫氣的鋁合金中除去 雜物的過濾過程； 對於在前述過瀘過程已經除去了夾雜物的鋁合金進行 造以製造鑄塊之鑄造過程；以及 將前述鑄塊切割成預定的厚度之切割過程。 根據這種製造方法，藉由將鋁合金厚板的Μη含量、 及預定的元素的含量限定在預定的範圍，可將鋁合金厚 的金屬間化合物予以細微化、而提昇強度。 又，藉由利用脫氫氣過程來將氫氣予以除去，使得鑄 中的氫濃度受到限定，即使鑄塊中的結晶粒變得粗大化 氫也不會在鑄塊表面附近的粒界累積濃密化，而可抑制 塊的膨凸以及因膨凸所引起的鋁合金厚板的鑄疵面泡， 可抑制被當作厚板的表面缺陷呈現出來的厚板表面的潛 性缺陷。此外，可提昇鋁合金厚板的強度。 又’利用過濾過程可從鋁合金中將氧化物、非金屬等 夾雜物予以除去。此外’藉由將鑄塊予以切割’可以減 氧化皮膜厚度’並且可提昇鋁合金厚板的表面狀態、平 度以及板厚精度，又可提昇生産性。 則述銘合金的組成分係含有：Μη ·· 〇.3質量％以上 6貞量％以下，此外，又含有：Si: 〇7質量％以下、Fe 〇. 8質量％以下、Cu : 〇.5質量％以下、Mg :】5質量 以下Cr. 0.3質重％以下、Zn: 〇4質量％以下、丁】 (4) 1361836 :〇·1質量％以下、Zr: 0.3質量％以下，之中的至少一種 以上，且其餘部分係由A1以及不可避免的雜質所組成的 爲宜。 這種情況下，係在前述鑄造過程之後，對於鑄塊實施 將其保持在400 °C〜63 0 °C的溫度，一個小時以上之熱處 理爲宜。 " 根據這種製造方法，係可除去鋁合金的内部應力，而 且可使其内部組織均一化（一致化）。 前述鋁合金的組成分係以含有：Mg: 1.5質量％以上 . 12.0質量％以下，此外，又含有：Si: 〇.7質量％以下、 . Fe: 0.8質量％以下、Cu: 0.6質量％以下、Μη: 1.0質量 %以下、Cr : 0.5質量％以下' Ζη : 0·4質量％以下、Ή ' :〇.1質量％以下'Zr:0_3質量％以下，之中的至少一種 * 以上，且其餘部分係由A1以及不可避免的雜質所組成的 爲宜。
這種情況下，係在前述鑄造過程之後，對於鑄塊實施 將其保持在400 °C〜未達熔點的溫度，—個小時以上之熱 處理爲宜。 根據這種製造方法，係可除去鋁合金的内部應力，而 且可使其内部組織均一化。 前述鋁合金的組成分係以含有：Si : 0.2質量％以上 1.6質量％以下、Mg: 0.3質量％以上1.5質量％以下， 此外，又含有Fe : 0.8質量％以下、Cu : 1.〇質量％以下 、Μη: 0.6質量％以下、Cr: 〇·5質量％以下、Zn: 0.4質 -8 - (5) 1361836 量％以下、Ti: o.l質量％以下' Zr: 0.3質量％以下，之 中的至少一種以上，且其餘部分係由A1以及不可避免的 雜質所組成的爲宜。 這種情況下，係在前述鑄造過程之後，對於鑄塊實施 將其保持在400°C〜未達熔點的溫度，一個小時以上之熱 處理爲宜。 根據這種製造方法，係可除去鋁合金的内部應力，而 φφ且可使其内部組織均一化。 前述鋁合金的組成分係以含有：Mg : 0.4質量％以上 • 4·0質量％以下' Zn: 3.0質量％以上9.0質量％以下，此 . 外，又含有Si: 0.7質量％以下、Fe: 0.8質量％以下、
Cu: 3.0質量％以下、Μη: 0.8質量％以下、Cr: 0_5質量 %以下、Ti: 0.1質量％以下、Zr: 0.25質量％以下，之 中的至少一種以上，且其餘部分係由 AI以及不可避免的 雜質所組成的爲宜。
這種情況下，係在前述鑄造過程之後，對於鑄塊實施 將其保持在3 5 0t〜未達熔點的溫度，一個小時以上之熱 處理爲宜。 根據這種製造方法，係可除去鋁合金的内部應力，而 且可使其内部組織均一化》 在前述切割過程之後，又對於切割後的預定的厚度的 鋁合金厚板的表面，實施表面平滑化處理爲宜。 根據這種製造方法，可更爲提昇鋁合金厚板的表面狀 態以及平坦度。又，藉由對於表面的平滑化處理，可使得 -9- (6) 1361836 厚板表面的氣結消失。 前述表面平滑化處理係以實施從：切削法、硏削法以 及硏磨法所選出的一種以上的方法爲宜。 根據這種製造方法，可更爲提昇鋁合金厚板的表面狀 態以及平坦度。又，藉由對於表面的平滑化處理，可使得 厚板表面的氣結消失。 本發明的第二種技術方案，係根據前述鋁合金厚板之 製造方法所製造的鋁合金厚板，其特徵爲：氫氣量爲 0.2ml/100g以下、板厚斷面上的表面附近與板厚中央部的 * 晶析物的面積率的差値係1 0 %以内》 . 根據這種鋁合金厚板，係可提昇鋁合金厚板的表面狀 態、平坦度以及板厚精度，此外，藉由厚板表面的平滑化 ' 處理可使氣結消失。 [發明之效果]
根據本發明的鋁合金厚板之製造方法，係從熔融狀態 的具有預定的組成分的鋁合金中除去氫氣、氧化物、非金 屬等的夾雜物，藉此，可防止鋁合金厚板的表面缺陷，並 且可提昇強度，此外，在鑄造過程中又可製作出高品質的 鑄塊。 又，因爲是將鑄塊予以切割來製造鋁合金，所以不必 再採用：傳統的鋁合金那樣的以熱軋方式來使得厚度減少 ，因此可謀求省略作業過程而可提昇生産性。此外，可消 除在厚板的端面處的表面的顏色不均勻（色斑）’可容易 -10- (7) 1361836 控制表面狀態以及平坦度，可提昇板厚精度。 又，藉由對於鑄塊實施熱處理，可除去鋁合金厚板的 内部應力，以謀求内部組織的均一化。因此，可提昇表面 狀態、平坦度，又可防止鋁合金厚板在進行切削時的變形 ，因此，可以提昇切削性。 此外，對於切割後的鋁合金厚板的表面又實施表面平 滑化處理，所以可更爲提昇鋁合金厚板的表面狀態以及平 坦度。又，藉由表面的平滑化處理’可使氣結消失，因此 將其使用於真空裝置用工作腔室的情況下，係可提昇工作 ·· 腔室的真空度。 . 此外，係可製作出：鋁合金厚板的表面狀態' 平坦度 以及板厚精度均良好，且藉由表面的平滑化處理而使得氣 . 結消失之高品質的鋁合金厚板。而且，即使實施了防蝕處 ' 理’板厚斷面上的表面外觀也變得不易產生顏色不均勻現 象。因此’可使用於各式各樣的用途，而且亦可回收使用 φφ 到其他的用途。 【實施方式】 [用以實施本發明之最佳形態] [第1實施形態] 其次’佐以圖面詳細說明本發明的鋁合金厚板之製造 方法以及鋁合金厚板。此外，在圖面當中，第1圖係顯示 鋁合金厚板之製造方法的流程之流程圖。 如第1圖所示’鋁合金厚板（以下，有時候單純稱爲 「厚板」）之製造方法係依序地執行：熔融過程（S1)、 -11 - (8) 1361836 脫氫氣過程（S2)、過濾過程（S3)、鑄造過程（S4)、 切割過程（S6 )。此外，因應必要，在鑄造過程（S4 )之 後，亦可包含：熱處理過程（S5):而且在切割過程（S6 )之後，亦可包含：表面平滑化處理過程（S7)。 這種製造方法，首先係將原料也就是鋁合金利用熔融 過程（S1)加以熔融。在熔融過程（S1)中被熔融後的鋁 ' 合金係在脫氫氣過程（S2)中被除去氫氣，在過濾過程（ φφ S3 )中被除去氧化物、非金屬等的夾雜物。其次，這個鋁 合金係在鑄造過程（S4)中被進行鑄造而成爲鑄塊，這個 * 鑄塊再因應必要而在熱處理過程（S5)中被執行熱處理， . 然後，在切割過程（S6 )中被切割成預定的厚度。此外， 亦可因應必要，在切割過程（S6 )之後，利用表面平滑化 . 處理過程（S7)來執行表面平滑化處理。 ' 其次，說明鋁合金厚板之製造方法中的各過程。 φφ <熔融過程> 熔融過程（S1)係將含有：預定量的Μη，此外，又 含有：預定量的Si、Fe、Cu、Mg、Cr、Zn、Ti之中的至 少一種以上，且其餘部分係由：A1以及不可避免的雜質 所組成的鋁合金予以熔融的過程。 茲說明將各種成分的含量加以數値限定的理由如下。 [Μη: 0.3質量％以上].6質量％以下] Μη係固熔在鋁合金中，具有提昇強度的效果。Μη的 -12- (9) 1361836 含量若未達〇·3質量％的話，這種效果很小，另 的含量若超過6質量％的話，將會生成粗大的爸 合物，在防蝕處理後的表面外觀上容易產生顏色3 因此，Μη的含量係選定在0.3質量％以上1 .6 | 下。 鋁合金係將前述的Μη當作必要成分來含有 又含有以下的Si、Fe、Cu、Mg' Cr、Zn、Ti之 外，Μη :屬間化 均勻。 量％以 此外， 的至少
一種以上。 • [Si: 0.7質量％以下] . Si係具有提昇銘合金的強度的效果》Si通常 基底金屬的雜質混入在鋁合金中，而會在鑄造過程 等之中，與鑄塊中的Mn、Fe —起生成Al-(Fe: • ) -Si系金屬間化合物。Si的含量若超過0.7質量 ，將會在鑄塊中生成粗大的金屬間化合物，在防餅 φφ 的表面外觀上容易產生顏色不均勻》因此，Si的 選定在0.7質量％以下* [Fe : 0.8質量％以下] F e係可使得銘合金的結晶粒細微化、穩定化 具有提昇強度的效果。Fe通常也是作爲基底金屬 混入在鋁合金中，而會在鑄造過程（S4)等之中， 中與 Mn、Si —起生成 Al-Fe-(Mn) - (Si)系金 合物。Fe的含量若超過0.8質量％的話，將會在鑄 係作爲 (S4 ) -(Μη %的話 處理後 含量係 ，並且 的雜質 在鑄塊 屬間化 塊中生 -13- (10) 1361836 成粗大的金屬間化合物，在防飩處理後的表面外觀上容胃 產生顏色不均勻。因此，Fe的含量係選定在0.8質量％以 下。 [Cu : 0.5質量％以下]
Cu係具有提昇鋁合金板的強度的效果。惟，爲了 ^ 確保可耐得住作爲厚板來使用的強度，Cu的含量只要〇 5 質量％就夠了。因此，Cu的含量係選定在0.5質量％以 下。 [Mg : 1 _5質量％以下]
Mg係具有提昇鋁合金的強度的效果。惟，爲了要確 保可耐得住作爲厚板來使用的強度，Mg的含量只要15 質量％就夠了。因此，Mg的含量係選定在1.5質量％以 下。
[Cr: 〇_3質量％以下]
Cr係在鑄造過程（S4 )以及熱處理過程（S5 )中， 作爲細微的化合物晶析出來，具有抑制結晶粒成長之效果 。Cr的含量若超過〇.3質量％的話，將會生成粗大的A1-Cr系金屬間化合物作爲初結晶，在防蝕處理後的表面外 觀上容易產.生顏色不均勻。因此’ Cr的含量係選定爲〇.3 質量％以下。 • 14 - (11) 1361836 [Zn : 0_4質量％以下] zn係具有提昇鋁合金的強度的效果。惟，爲了要確 保可耐得住作爲厚板來使用的強度，Zn的含量只要〇.4 質量％就夠了。因此，Zn的含量係選定爲0.4質量％以 下。 [Ti : 0.1質量％以下]
τ i係具有可使得鑄塊的結晶粒細微化的效果。T i的 含量如果超過0.1質量％的話，這種效果將會飽和。因此 ’ Ti的含量係選定爲〇」質量％以下。 [Zr : 0.3質量％以下]
Zr係具有可使得鋁合金的結晶粒細微化以及穩定化 • 的效果。Zr的含量若超過〇.3質量％的話，將會生成粗大 的晶析物’在防蝕處理後的表面外觀上容易產生顏色不均 勻。因此’ Zr的含量係選定爲〇.3質量％以下。 又’不可避免的雜質之中的V、B等的含量分別爲 〇.〇1質量％以下的話，對於本發明的鋁合金厚板的特性並 不會造成影響。 <脫氫氣過程> 脫氫氣過程（S2)係將在熔融過程（S1)中被熔融後 的鋁合金’除去氫氣的過程。 氫氣係從燃料中的氫元素、附著在基底金屬等的水分 -15- (12) 1361836 、其他的有機物等所產生的。如果含太多的氫氣的話，將 會產生氣孔，而減弱製品的強度。此外，如果氫氣集中於 鑄塊的表面附近的粒界，而氫濃度過大的話，在製作成鋁 合金厚板的時候，將會產生鑄疵面泡（blister)，並且會 產生被視爲厚板的表面缺陷來呈現的厚板表面的潛在性缺 陷。 因此，氫氣在鋁合金l〇〇g中係以選定爲0.2ml以下 爲宜，0 . 1 m 1以下更佳。 在脫氫氣過程中除去氫氣的方法，雖然可採用：將熔 • 融絕合金以加助溶劑精煉（fluxing process )、加氯精鍊 . 、或直接插入（in line )精鍊法等的方法來進行，但是， 如果是在脫氫氣裝置使用：插入旋轉噴嘴浮選法（SNIF ( Spinning Nozzle Inert Flotation)或多孔塞（porous plug :請參考日本特開2002-146447號公報）來執行的話，可 獲得更好的除去效果。
在此，鑄塊的氫氣濃度係將例如：從均質化熱處理前 的鑄塊裁切出來的樣品，以乙醇和丙酮進行超音波洗浄後 ，再利用例如：鈍氣氣流熔解熱傳導度法（LIS A06-1 993 )來求出來。又，鋁合金厚板的氫濃度係將例如：從鋁合 金厚板裁切出來的樣品，浸泡在NaOH之後，以硝酸除去 表面的氧化皮膜，再以乙醇和丙酮進行超音波洗浄後，利 用真空加熱抽出容量法（L1SA06-1993)來求出來。 <過據過程> -16- (13) 1361836 過濾過程（S3)主要是利用過濾裝置從鋁合金中除去 氧化物、非金屬的夾雜物之過程。 過濾裝置中係設置了例如：採用1 m m程度的粒子的 氧化鋁之陶瓷管，藉由將熔融鋁合金通過這個陶瓷管，即 可除去前述的氧化物、夾雜物。 藉由這些脫氫氣過程、過濾過程，在鑄造過程（S4) * 中就可以將已經確保了高品質的鋁合金製造成鑄塊。此外 φφ ，可以抑制氧化物的堆積物（dross ;泥渣）的堆積，因 此可以減少除去泥渣的麻煩作業。 <鑄造過程> 鑄造過程（S4 )係利用例如：以包含有水冷鑄模而構 成的鑄造裝置，將鋁合金的熔融液形成直立方體形狀等的 預定的形狀且讓其硬化而製造成鑄塊的過程。 至於鑄造方法係可採用：半連續鑄造法。
半連續鑄造法係對於底部呈開放的金屬製的水冷_申莫 ，從上方將金屬的熔融液注入，從水冷鑄模的底部連續性 地取出已經凝固的金屬，以製得預定的厚度之鑄塊。此外 ，半連續鑄造法，無論是縱向或横向的哪一種方向的胃@ 法都可以採用》 <切割過程> 切割過程（S 6 )係將鑄造過程（S4 )所鑄造的» $ @ 割成預定的厚度的過程。 -17 - (14) 1361836 至於切割方法，係可採用：胚材切割法。 胚材切割法係將利用前述的半連續鑄造法所製造的鑄 塊，利用帶鋸切割機等進行切割，將鑄塊朝鑄造方向切開 的方法，藉此，可以製造出預定的厚度的鋁合金厚板。此 處，鋁合金厚板的厚度雖然係以15〜200mm爲宜，但是 並未特別地限定，係可依鋁合金厚板的用途，適當地改變
關於切割的方法，雖然係以使用帶鋸爲宜，但是並未 特別地限定，亦可利用圓鋸切割機來進行切割。此外，亦 可利用雷射、高壓水刀等來進行切割。 藉由以這種方式來將鑄塊予以切割，係可獲得較之輥 軋材，無論是在表面狀態、平坦度、或板厚精度等各方面 都更優異的鋁合金厚板，例如：在平坦性的評比方面，可 將在鑄造方向上的每一公尺的平坦度（反翹量）抑制在 0.4mm以下/Im長度：且將板厚精度控制在±100// m以 下。 在將前述鑄造過程（S4)所製造的鑄塊進行切割之前 ，亦可因應必要，先實施以去除内部應力、將内部組織均 —化爲目的之熱處理。 <熱處理過程> 熱處理過程（S5 )係對於鑄造過程（S4 )所製造的鑄 塊實施熱處理（均質化熱處理）的過程。 均質化熱處理係依照一般常用的方法’在處理溫度爲 -18- (15) 1361836 400〜63 0°C的條件下，保持一個小時以上的時間，來進行 的。 均質化熱處理的處理溫度若未達400t的話，内部應 力的除去量很小，鑄造中偏析出來的溶質元素的均質化不 夠充分，反而導致熱處理後的效果變得很小。因此，處理 溫度係選定在400 °C以上。又，處理溫度若超過630°C的 « 話，鑄塊表面的一部分將會熔融而產生所謂的「燒焦（ burning)現象」，易成爲在鋁合金厚板的表面發生缺陷 的原因。因此，處理溫度係選定在630 °C以下。又，處理 • 時間若未達一小時的話，金屬間化合物的固熔不足而容易 . 晶析出來。因此’處理時間係選定爲一個小時以上。 以前述的製造方法所製造出來的鋁合金厚板，爲了因 應必要而欲除去厚板表面所形成的晶析物、氧化物，或者 • 爲了消除在厚板表面的氣結，亦可實施表面平滑化處理。 φφ <表面平滑化處理過程> 表面平滑化處理過程（S7)係對於切割過程（S6)所 切割後的鋁合金厚板的表面進行平滑化處理的過程。 至於表面平滑化處理法，係可採用：銑床切削 '鑽石 車刀切削等的切削法；將表面利用磨輪等加以硏磨的硏削 法 '拋光硏磨等的硏磨法等等，但是並未限定於這些方法 〇 此處’鋁合金厚板的用途之一的真空裝置用工作腔室 ’當減壓到高真空狀態時’將會因爲原本吸附的氣體從工 -19- (16) (16)
1361836 作腔室的内側表面釋放出來、原本固 子釋放到表面等等的因素，而導致真 到達目標真空度爲止的時間會變長， 此’對於使用於工作腔室的鋁合金厚 位在工作腔室的内側部分的厚板的表 ，即使處在高真空狀態下，原本固溶 也不會釋放出來。 因此，想要將鋁合金厚板作爲工 實施表面平滑化處理的做法是特別 依前述的製造方法所製得的鋁合 ，表面狀態、平坦度以及板厚精度均 底座基板、搬運裝置、真空裝置用工 關聯裝置之外，亦可使用於電機電子 之製造裝置、生活用品、機械零件等 而且亦可回收使用到其他用途。 其次，説明本發明的鋁合金厚板 <銘合金厚板〉 鋁合金厚板係由前述的鋁合金（ 成，合金中的氫濃度係〇.2ml/l〇〇g 的表面附近與板厚中央部的金屬間化 積率的差値在】〇%以内。 此外，對於氫濃度的控制係可採 進行。 熔於厚板內的氣體原 空度的降低。因此， 生産效率會降低。因 板所要求的條件是： 面所吸附的氣體要少 在厚板內的氣體原子 作腔室使用的情況下 有效的。 金厚板，係如前所述 爲良好。因此，除了 作腔室等的半導體相 零件、電機電子零件 的各式各樣的用途， A1 - Μ η系合金）所組 以下、且板厚斷面上 合物（晶析物）的面 用前述的製造方法來 -20- (17) 1361836 此處，依Al-Fe-Mn系晶析物的面積率的不同，防蝕 處理後的色調會改變，因此面積率的差値若超過10%的 話，防蝕處理後將會產生色調不均勻現象（irregularity of color tone)。另外，如果是10%以内的話，就不會產 生色調不均勻現象。
換言之，如果是輥軋材的話，在板厚方向中心部，金 屬間化合物的大小較大，所以實施了防蝕處理的情況下， 將會在斷面上產生色調不均勻的現象，但是如果是從鑄塊 切割下來的情況下，金屬間化合物的分布狀態已經平均化 了，表面附近與板厚中央部的晶析物的面積率的差値很小 ，所以不會產生色調不均勻的現象。 這種面積率的測定方法，係藉由測定：板厚斷面上的 板厚表面附近（例如：定義在板厚1 /8的位置）與板厚中 央部（例如：定義在板厚1 /2的位置）處的晶析物的面積 率而進行的。 具體而言，係針對於板厚斷面，利用SEM的組成像 進行畫像處理，以1 〇〇〇倍的觀察倍率、觀察20視野以上 的條件，求出Al-Fe-Mn系的晶析物的面積率。 此外，針對於耐腐蝕性，因爲底座基板用、搬運裝置 用的鋁合金厚板係在無塵室内使用的，所以不必具有一般 的耐腐蝕性。又’使用在真空裝置用工作腔室的情況下， 也是很少會暴露在腐蝕性氣體的環境，所以也不必具有優 異的耐腐蝕性。 以上係就本發明的較佳實施形態加以説明，但是本發 -21 - (18) 1361836 明並不限定在前述的實施形態。 其次’將針對於符合本發明的申請專利範圍的實施例 的效果’與本發明的申請專利範圍以外的比較例的效果進 行比較，並且具體地説明如後。 [實施例1] 首先’將具有表1所示的組成分的鋁合金予以熔融， ΦΦ 進行脫氫氣處理、過濾之後，鑄造成板厚50〇mm的鑄塊 。將所製成的鑄塊以5 80°C進行四個小時的加熱，實施均 ' 質化熱處理。再將這個鑄塊切割或者進行熱軋，以製成厚 . 度爲20mm的鋁合金厚板（切割材、熱軋材）。 針對這個切割材以及熱軋材，分別進行以下的試驗。 ' <平坦性評比試驗> .平坦性評比試驗，針對於切割材係測定：鑄造方向上 每1公尺的反翹量（平坦度）：針對於熱軋材係測定：輥 軋方向上每一公尺的反翹量（平坦度）。平坦度爲 長度以下者，標示爲合格（〇）：平坦度爲超 過〇.4mm/lm長度者，標示爲不合格（X)。 將其結果標示於表2。 <強度試驗> 強度試驗’係從鋁合金厚板製作出s 5號試驗片， 進行拉伸試驗’來測定出：拉伸強度以及〇 · 2 %耐力。 -22- (19) 1361836 拉伸強度爲90N/mm2以上者，標示爲合格（〇）； 拉伸強度爲未達90N/mm2者，標示爲不合格（X)。 <防蝕性評比試驗> 防蝕性評比試驗係藉由觀察：鋁合金厚板的表面以及 斷面的外觀來進行的。 在鋁合金厚板（切割材、熱軋材）的表面以及斷面， 藉由硫酸防蝕處理（1 5 %硫酸' 20°C、電流密度2A/dm2 )而形成了厚度爲l〇/zm的防蝕皮膜。觀察這個厚板的 • 表面以及斷面的外觀，外觀上沒有顏色不均勻者，標示爲 . 合格（〇）：有顏色不均勻者，標示爲不合格（X)。 此外，板厚斷面上的表面附近與板厚中央部的晶析物 . 的面積率的差値對於防蝕性會造成影響，因此，也求出： ' 表面附近與板厚中央部的晶析物的面積率。面積率的測定 .方法，係對於板厚斷面，利用SEM的組成像進行畫像處 φ· 理，以1 〇〇〇倍的觀察倍率 '觀察20視野以上的條件，測 定出：板厚斷面上的板厚表面附近（板厚1/8的位置）與 板厚中央部（板厚1/2的位置）處的晶析物的面積率而進 行的。 將其結果標示於表2。 [實施例2 ] 首先，將表1所示之具有第2號組成分的鋁合金（合 金成分2 )加以熔融，進行脫氫氣處理、過濾之後，進行 -23- (20) 1361836 鑄造而成爲板厚度爲500mm 表3所示的條件，實施均質化 切割而製作出厚度爲20mm的 針對於這個切割材，進行 <平坦性評比試驗> 平坦性評比試驗，係測定 φφ反翹量（平坦度）。平坦度爲 示爲合格（〇）；平坦度爲< • 示爲良好（◎)。 - 將其結果標不於表3。 的鑄塊。將所製得的鑄塊依 熱處理。再對這個鑄塊進行 銘合金厚板（切割材）° 平坦性評比試驗° 了：鑄造方向上每一公尺的 0.4mm/lm長度以下者標 3.25mm/lm長度以下者，標 -24 - 1361836
【15 備考 JIS 3 003 合金 JIS 3 004 合金 _ m κ- m 张 C _ m m m c s S i超過上限値 Fe超過上限値 Cu超過上限値 Mg超過上限値 Cr超過上限値 Zn超過上限値 Ti超過上限値 :質量％) - 麵 ο ο ο ο Ο ο 〇 〇 〇 〇 - 〇 〇 o o ο ο Ο ο w ·· Ο ο »_ · ο ο 〇 〇 〇 〇 〇 C N 1 1 I 1 1 < 1 1 1 1 1 1 Ι^Ί 〇 1 Ui U I I I 1 1 1 1 1 I 1 1 寸 〇 1 1 GD I I I 1 〇 1 1 I I 1 卜 r__ 1 1 1 元素（ U I I I 〇 〇 1 1 1 I 卜 ο 咖 1 1 1 υ Ρη 寸 Ο 寸 Ο 寸 Ο 〇 寸 〇 寸 〇 寸 o 寸 ο Ο 寸 ο 寸 ο 寸 〇 寸 〇 寸 〇 ο ο Ι'·Ν ο CN 〇 (N 〇 Η 〇 o 00 Ο < ο _ ο ο 〇 1 ' * 〇 〇 c s ο ο ^-Η 〇 〇 (Ν 〇 卜 ο (Ν ν〇 ο ο ο VO 〇 〇 VO 〇 編號 F· _ (Ν m 寸 ν〇 卜 00 ο (N m 寸 區分 {_ 習 jj m -25- 1361836
斷面組織晶析物面稂率差値 (%即 <N 〇〇 卜 NO m 卜 v〇 Ό rN 寸 00 (Ν 〇 tN ΓΊ <N (Ν s 00 3· 00 防鈾處理後外觀 斷面外觀 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X X X X X X X X X X X X X X 表面外觀 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X X X 〇 〇 X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X X X 〇 〇 X 〇 〇 強度 判定 〇 〇 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 £ % * P； ο 90 «〇 〇i ΓΛ On Ό ES 卜 〇 Qi μ 0C m VO \〇 Γ〇 •Λ g 00 ON sp s〇 rn 麗 Z. 锻 fr m 5； •ο CM <N 00 S rvi g v〇 〇 〇〇 Vi ON 00 〇〇 r- (Ν 210 r- m *η Ο 平坦度 判定 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X X X X X X X X X X X X X X (mm/m) I 0.18 1 0.22 0.32 0.23 0.30 0.17 0.34 0.22 0.23 0.24 0.36 0.23 0.22 0.22 1 0.42 1 0.44 0.48 0.43 0.46 0.42 0.46 0.42 0.43 0.44 0.49 1 0.44 1 0.44 0.43 編號 合金成分丨 合金成分2 合金成分3 合金成分4 合金成分5 合金成分6 合金成分7 合金成分8 合金成分9 合金成分10 合金成分Π 合金成分12 合金成分13 合金成分Η 1合金成分1 合金成分2 合金成分3 合金成分4 合金成分5 合金成分6 合金成分7 合金成分8 合金成分9 合金成分10 合金成分11 1合金成分12 合金成分13 合金成分Μ £挺匡 § loolx(<N/(a+v))/(a-v)l=1一}糊§锊JaE盔迄蜡杓話崁-B- BsMiag瞄璐B些S糾胆S: 一※ * -26 - (23) 1361836 [表3] 區分 編號 鑄塊之均質化熱處理 平坦度 (mm/m) 判定 切 實施例 1 合金成分2 430〇Cx2 小時 0.24 ◎ 割 2 合金成分2 580〇Cx4 小時 0.22 ◎ 材 實施例 3 合金成分2 無 0.28 〇 4 合金成分2 370°Cx4 小時 0.26 〇 5 合金成分2 640°Cx2 小時 發生燒焦現象，無法製造
如表2所示，切割材（合金成分1〜1 4 )的加工變形 很少，反翹也很小。亦即，平坦度係良好。 合金成分6’因爲Μη的含量未達下限値，所以強度 不足。 合金成分 1〜6、10、11、13、14，則是在鋁合金厚 板的防蝕處理之後，在表面的外觀上並未產生顏色不均勻 合金成分7、8、9、12，分別是Mn、Si、Fe、Cr的 φφ 含量超過上限値，所以，產生了金屬間化合物，在鋁合金 厚板的防蝕處理之後，在表面的外觀上產生了顔色不均勻 合金成分1〜14’在鋁合金厚板的防蝕處理之後，在 斷面的外觀上並未產生顏色不均勻（irregularity )。 另外，熱軋材（合金成分1〜1 4 )則是因爲加工變形 的累積，導致在輥軋方向上的反翹量很大。亦即，平坦度 不良。 合金成分6，Μη的含量未達下限値，所以強度。 -27 - (24) 1361836 合金成分7、8、9、12，分別是Μη、Si、Fe、Cr的 含量超過上限値，所以產生了金屬間化合物，在防飩處理 後的表面的外觀上產生了顏色不均勻。 合金成分]〜14,係在鋁合金厚板的防蝕處理後的斷 面的外觀上產生了顏色不均勻。 又，經過熱軋之後的熱軋材，在板厚斷面上的板厚表 面附近與板厚中央部的晶析物面積率的差値係超過了 1 0 ·· 96 ° 此外，切割材的合金成分1 〇、1 1、1 3、1 4，分別是 • Cu、Mg、Zn、Ti的含量超過上限値，其效果已經飽和了 . ，經濟性不佳。 如表3所示，實施例1、2的均質化熱處理的條件都 - 符合本發明的範圍，因此，平坦度都是良好的。實施例3 _ 則並未實施均質化熱處理，所以平坦度雖然是合格値，但 .是，與經過均質化熱處理者比較的話，還是差了一些。實 施例4的均質化熱處理的處理溫度係未達4〇〇〇c，所以， 平坦度雖然是合格値，但是，與符合處理溫度的條件者比 較的話’還是差了 一些。實施例5的均質化熱處理的處理 溫度係超過了 630°C，所以產生了燒焦現象，無法製造。 [第2實施形態] 本發明的第2實施形態的厚板之製造方法係如第1圖 所示’係依序地執行：熔融過程（S 1 )、脫氫氣過程（S 2 )、過濾過程（S 3 )、鑄造過程（S 4 )、切割過程（S 6 ) -28- (25) 1361836 ◊此外，因應必要，在鑄造過程（S4 )之後’亦可包含： 熱處理過程（S5);而且在切割過程（S6)之後’亦可包 含：表面平滑化處理過程（S7)。 這些過程之中，脫氫氣過程（S2)、過濾過程（S3)· 、鑄造過程（S4)、切割過程（S6)、以及表面平滑化處 理過程（S7)都是與前述第1實施形態之製造方法相同’ 所以省略其説明，以下將僅就熔融過程（S1)與熱處理過 程（S 5 )加以説明。 - <熔融過程> . 熔融過程（S1)係將含有：預定量的Mg’此外’又 含有：預定量的Si、Fe、Cu、Mn、Cr、Zn、Ti之中的至 . 少一種以上，且其餘部分係由 A1以及不可避免的雜質所 組成的鋁合金予以熔融的過程。 以下，將說明對於各成分的含量做數値限定之理由。
[Mg: 1.5質量％以上12_〇質量％以下]
Mg係具有提昇鋁合金的強度的效果。Mg的含量未達 1 . 5質量％的話，這種效果很小，相對地，Mg的含量若超 過1 2.0質量％的話，鑄造性將會明顯地降低，無法進行 製品的製造。 鋁合金係將前述的Mg當作必要成分來含有，此外， 又含有以下的Si、Fe、Cu、Mn、Cr' Zn、Ti之中的至少 一種以上。 -29- (26) 1361836 [S i : Ο · 7質量％以下]
Si係具有提昇鋁合金的強度的效果。Si通 基底金屬的雜質混入在鋁合金中，在鑄造過程（ 中，在鑄塊中會與Mn、Fe —起生成Al-(Fe) Si系金屬間化合物。Si的含量若超過0.7質量％ 大的金屬間化合物會在鑄塊中產生，在防蝕處理 外觀上容易產生顏色不均勻。因此，Si的含量 〇 . 7質量％以下。 . [Fe : 0·8質量％以下]
Fe係具有可使鋁合金的結晶粒細微化、穩 . 且提昇強度的效果。Fe通常也是作爲基底金屬 • 入在銘合金中，在鑄造過程（S4)等之中’在鑄
Mn、Si —起生成Al-Fe-(Mn) - (Si)系金屬間 Fe的含量若超過0.8質量％的話’會在鑄塊中生 * 金屬間化合物，在防蝕處理後的表面外觀上容易 不均勻。因此，Fe的含量係選定爲0.8質量％以 [Cu:0.6質量％以下]
Cu係具有提昇鋁合金板的強度的效果。惟 確保可耐得住作爲厚板來使用的強度’ Cu的含i 質量％就夠了。因此’ Cu的含量係選定爲0·6 下。 常是作爲 S4 )等之 -(Μη)-的話，粗 後的表面 係選定爲 定化，並 的雜質混 塊中會與 化合物。 成粗大的 產生顏色 下。 ' 爲了要 t只要〇.6 質量％以 -30- (27) I361836 [Μη : 質量％以下] Μη係固熔在鋁合金中而具有提昇強度的效果。另外 ’ Μη的含量若超過】·〇質量％的話，將會生成粗大的金 屬間化合物’在防蝕處理後的表面外觀上容易產生顏色不 . 均勻。因此，Μη含量係選定爲1.〇質量％以下。 » [Cr : 〇.5質量％以下]
Cr在鑄造過程（S4 )以及熱處理過程（S5 )之中， ' 會作爲細微的化合物晶析出來，具有抑制結晶粒成長的效 ' 果。Cr的含量若超過0.5質量％的話，將會生成粗大的 Al-Cr系金屬間化合物作爲初結·晶，在防蝕處理後的表面 • 外觀上容易產生顏色不均勻。因此，Cr的含量係選定爲 、· 〇. 5質量％以下。 φ# Un : 0.4質量％以下]
Zn係具有提昇鋁合金的強度的效果。惟，爲了要確 保可耐得住作爲厚板來使用的強度，Zn的含量只要0.4 質量％就夠了。因此，Zn的含量係選定爲0.4質量％以 下。 [Ti : 0.1質量％以下]
Ti係具有使得鑄塊的結晶粒細微化的效果。ΤΊ的含 量即使超過了 0.1質量％，其效果就已經飽和了。因此， -31 - (28) 1361836
Ti的含量係選定爲0.1質量％以下。 [Zr : 0.3質量％以下]
Zr係具有可使鋁合金的結晶粒細微化以及穩定化的 效桌。Ζι·的含量若超過〇_3質量％的話，將會生成粗大的 晶析物，在防蝕處理後的表面外觀上容易產生顏色不均勻 。因此，Zr的含量係選定爲0.3質量％以下。
此外，不可避免的雜質的V、B等的含量，分別是 O.tn質量％以下的話，對於本發明的鋁合金厚板的特性並 不會造成影響。 <熱處理過程> 熱處理過程（S5)係對於鑄造過程（S4)所製作的禱 ' 塊進行熱處理（均質化熱處理）的過程。 均質化熱處理係依照通常的方法，藉由以400。(：至$ φφ 達熔點的處理溫度，保持一個小時以上來進行的。 均質化熱處理的處理溫度若未達400 °C的話，内部應 力的去除量很小，鑄造中所偏析出來的溶質元素的均質化 也不夠充分’反而會導致實施熱處理的效果變小。因此， 處理溫度係選疋爲400C以上。又’處理溫度若超過熔點 的話，鑄塊表面的一部分將會熔融，而產生所謂的「燒隹 ^ *V\ 現象」’易成爲鋁合金厚板的表面缺陷的原因。因此，處 理溫度係選定在熔點以下。又，處理時間若只是—個小時 的話’金屬間化合物的固熔不夠充分，容易晶析出來。因 -32- (29) 1361836 此’處理時間係選定爲一個小時以上。 其次’說明本發明的第2實施形態的鋁合金厚板。 <鋁合金厚板> 銘合金厚板係由前述的絕合金（Al-Mg系合金）所構 成，合金中的氫濃度係0.2ml/100g以下，且板厚斷面上 的表面附近與板厚中央部的金屬間化合物（晶析物）的面 積率的差値係1 〇 %以内。 此外，氫濃度的控制係可藉由前述之製造方法來執行 此處，會因爲 Al-Fe-Mn系晶析物的面積率的不同而 使得防蝕處理後的色調發生變化，所以如果面積率的差値 超過的話，防蝕處理後，將會產生色調不均勻的現 象。另外’差値若是10%以内的話，就不會產生色調不 均勻的現象。
換言之，如果是輥軋材的話，在板厚方向中心部，金 屬間化合物的大小較大，所以實施了防蝕處理的情況下， 將會在斷面上產生色調不均勻的現象，但是如果是從鑄塊 切割下來的情況下，金屬間化合物的分布狀態已經平均化 了 '表面附近與板厚中央部的晶析物的面積率的差値很小 ，所以不會產生色調不均勻的現象。 .這種面積率的測定方法，係藉由測定：板厚斷面上的 板厚表面附近（例如：定義在板厚1 /8的位置）與板厚中 央部（例如：定義在板厚1 /2的位置）處的晶析物的面積 -33- (30) 1361836 率而進行的。 具體而言，係針對於板厚斷面，利用SEM的組成像 進行畫像處理’以1 000倍的觀察倍率、觀察20視野以上 的條件，求出Al-Fe-Μη系的晶析物的面積率。 此外，針對於耐腐蝕性，因爲底座基板用、搬運裝置 用的鋁合金厚板係在無塵室内使用的，所以不必具有一般 的耐腐蝕性。又，使用在真空裝置用工作腔室的情況下， φφ也是很少會暴露在腐蝕性氣體的環境，所以也不必具有優 異的耐腐蝕性。 * 以上係就本發明的較佳實施形態加以説明，但是本發 - 明並不限定在前述的實施形態。 其次，將針對於符合本發明的申請專利範圍的實施例 • 的效果，與本發明的申請專利範圍以外的比較例的效果進 行比較，並且具體地説明如後。 ··[實施例3] 首先，將表4所示之組成分的鋁合金加以熔融，進行 脫氫氣處理、過濾之後，進行鑄造而成爲板厚度爲 5 00mm的鑄塊。將所製得的鑄塊以500°C進行4個小時的 加熱，實施均質化熱處理。再對這個鑄塊進行切割或熱軋 而製作出厚度爲20mm的鋁合金厚板（切割材、熱軋材） 〇 針對這個切割材以及熱軋材，進行平坦性評比試驗、 強度試驗、防蝕性評比試驗 -34- (31) 1361836 各個試驗係與前述第1實施形態所説明過的試驗相同 ，因此’在此省略其説明。惟，強度試驗中，係將拉伸強 度是180N/mm2以上者，標示爲合格（〇）；拉伸強度未 達180N/mm2者，標示爲不合格（X) ^ 將其結果標示於表5。 [實施例4]
首先，將表4所示之具有第3號組成分的鋁合金（合 金成分3)加以熔融，進行脫氫氣處理、過濾之後，進行 鑄造而成爲板厚度爲500mm的鑄塊。將所製得的鑄塊依 表6所示的條件，實施均質化熱處理。再對這個鑄塊進行 切割而製作出厚度爲20mm的鋁合金厚板（切割材）。 針對於這個切割材，進行平坦性評比試驗。這種試驗 係與前述第1實施形態所説明過的試驗相同，因此，此處 省略其説明。 將其結果顯示於表6。 -35- 1361836
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-37- (34) 1361836 [表6] 區分 鑄塊之均質化熱處理 平坦度 (mm/m) 判定 切 割 材 實施例 1 合金成分3 430°Cx2 小時 0.22 ◎ 2 合金成分3 480°Cx4 小時 0.19 ◎ 實施例 3 合金成分3 紐 /«>\ 0.29 〇 4 合金成分3 370°Cx4 小時 0.26 0 5 合金成分3 540°Cx2 小時 發生燒焦現象，而無法製造
如表5所示，切割材（合金成分1〜13、15〜21)的 加工變形很少，反翹也很小。亦即，平坦度係良好。 合金成分14’因爲Mg超過了上限，所以產生鑄造裂 痕，而無法製造.。 合金成分I 3 ’則因爲M g的含量未達下限値，所以強 度不足。 合金成分1〜13、17、20、21，鋁合金厚板在防蝕處
理後，其表面的外觀上並未產生顏色不均勻。 合金成分15、16、18、19，分別是 Si、Fe Μη
Cr 的含量超過了上限値，所以生成金屬間化合物，在防蝕處 理後的表面的外觀上產生顏色不均勻。 另外，熱軋材（合金成分1〜13、15〜21)，因爲加 工變形的累積而導致在輥軋方向上的反翹很大。亦即，平 坦度不良。 合金成分]4係因爲Mg 裂痕，而無法製造。 合金成分13係因爲Mg 超過了上限，所以產生鑄造 的含量未達下限値，所以強 -38- (35) 1361836 度不足。 合金成分 15、16' 18、19，分別是 Si、Fe、Μη、Cr 的含量超過了上限値’所以會生成金屬間化合物，在防蝕 處理後的表面的外觀上產生顏色不均勻。 合金成分1〜13、15〜21，鋁合金厚板在防蝕處理後 的斷面的外觀上產生顏色不均勻。 又，熱軋後的熱軋材，板厚斷面上的板厚表面附近與 板厚中央部的晶析物面積率的差値超過了 10%。 此外，切割材的合金成分17、20、21，分別是Cu、 * Zn、Ti的含量超過了上限値，其效果已經飽和了，所以 • 經濟性不佳。 如表6所示，實施例】、2的均質化熱處理的條件都 符合本發明的範圍’因此’平坦度都是良好的。實施例3 ' 則因爲並未實施均質化熱處理，所以雖然平坦度係屬於合 格値，但是，與實施過均質化熱處理者比較時，還是稍微 差了 一些。實施例4則是因爲均質化熱處理的處理溫度未 達4 0 0 °C，所以雖然平坦度係屬於合格値，但是，與符合 處理溫度的條件者比較時，還是稍微差了一些。實施例5 則是產生了「燒焦現象」，因此無法製造。 [第3實施形態] 本發明的第3實施形態的厚板之製造方法，係如第1 圖所示般地’依序地執行：熔融過程（S 1 )、脫氫氣過程 (S 2 )、過濾，過程（S 3 ) '鑄造過程（S 4 )、切割過程（ -39- (36)1361836 S6 ) 包含 含表 、鑄 理過 以省 ••程（ • <熔 ，又 一種 * 組成
[Si ： 基底 中， 。Si ，另 成粗 上容 。此外，可因應必要’在鑄造過程（S 4 )之後，亦可 熱處理過程（S5) ’在切割過程（S6)之後’亦可包 面平滑化處理過程（S7)。 這些過程之中，脫氫氣過程（S2)、過濾過程（S3) 造過程（S4)、切割過程（S6)、以及表面平滑化處 程（S 7 )係與前述第1實施形態之製造方法相同，所 略其説明，以下將只說明熔融過程（S1)與熱處理過 S5 ) ° 融過程> 熔融過程（S1)係將含有：預定量的Si、Mg，此外 含有預定量的Fe、Cu、Μη、Cr、Zn、Ti之中的至少 以上，且其餘部分係由：A1以及不可避免的雜質所 的鋁合金予以熔融的過程。 以下將說明將各成分的含量予以數値限定之理由。 0.2質量％以上1.6質量％以下]
Si係具有提昇鋁合金的強度的效果。Si通常是作爲 金屬的雜質混入在鋁合金中，在鑄造過程（S4)等之 會在鑄塊中生成Al-Fe-Si系與Si系的金屬間化合物 的含量若未達〇. 2質量％的話，提昇強度的效果很小 外，Si的含量若超過1.6質量％的話，會在鑄塊中生 大的S i系金屬間化合物，在防蝕處理後的表面外觀 易產生顏色不均勻。因此，Si的含量係選定爲0.2質 -40 - (37) 1361836 量％以上1.6質量％以下。 [Mg: 0.3質量％以上1.5質量％以下]
Mg係與Si共存而形成Mg2 Si，具有提昇 強度的效果。Mg的含量若未達0.3質量％的話 果很小，另外，Mg的含量即使'超過1.5質量％ * 強度的效果已經飽和了。因此，Mg的含量係選 質量％以上1.5質量％以下。 鋁合金係以含有前述的Si、Mg當作必要成 * ，又含有以下的Fe、Cu、Mn、Cr、Zn、Ti之中 . 種以上。 [Fe ·· 0.8質量％以下] ' Fe係具有可使得鋁合金的結晶粒細微化、 及提昇強度的效果。Fe通常也是作爲基底金屬 入在鋁合金中，在鑄造過程（S4)等之中，會使 生成Al-Fe系金屬間化合物。Fe的含量若超過〇 的話，將會在鑄塊中生成粗大的Al-Fe系金屬間 在防蝕處理後的表面外觀上容易產生顏色不均勻 Fe的含量係選定爲〇.8質量％以下。 [Cu : 1.0質量％以下]
Cii係具有提昇纟g合金板的強度的效果。Cu 超過】· 〇質量％的話，耐腐蝕性會降低。因此， 銘合金的 ，這種效 ，其提昇 定爲0.3 分，此外 的至少一 穩定化以 的雜質混 得鑄塊中 .8質量％ 化合物， 。因此， 的含量若 Cu的含 -41 - (38) (38)1361836 量係選定在1.0質量％以下。 [Μη : 0.6質量％以下] Μη會固熔在鋁合金中而具有提昇強度的效果。Μη的 含量若超過0.6質量％的話，將會生成粗大的金屬間化合 物’防蝕處理後的表面外觀上容易產生顏色不均勻。因此 Μη含量係選定爲0.6質量％以下。
[Cr : 0.5質量％以下]
Cr會在鑄造過程（S4 )以及熱處理過程（S5 )之中 ’作爲細微的化合物晶析出來，具有抑制結晶粒成長的效 果。Cr的含量若超過0.5質量％的話，將會生成粗大的 A1-Cr系金屬間化合物作爲初結晶，在防蝕處理後的表面 外觀上容易產生顏色不均勻。因此，Cr的含量係選定爲 0 · 5質量％以下。
[Zn : 0.4質量％以下]
Zn雖然具有提昇鋁合金的強度的效果，但是，若超 過0.4質量％的話，耐腐蝕性會降低。因此，Zn的含量 係選定爲0.4質量％以下。 [Ti : 0.1質量％以下]
Ti具有使得鑄塊的結晶粒細微化的效果。ή的含量 即使超過0 · 1質量％，其效果已經飽和了。因此，Ti的含 -42- (39) (39)
1361836 量係選定爲0.1重量％以下。 [Zr: 0.3質量％以下]
Zr係具有使得鋁合金的結晶粒細微化、 果。Zr的含量若超過0.3質量％的話，將會否 析物，在防蝕處理後的表面外觀上容易產生彦 因此，Zr的含量係選定爲0.3質量％以下。 此外，作爲不可避免的雜質之V、B等& 〇.〇1質量％以下的話，並不會影響本發明的金 特性。 <熱處理過程> 熱處理過程（S5 )係將鑄造過程（S4 ) ' 予以熱處理（均質化熱處理）的過程。 均質化熱處理係依照通常的方法，藉由 達熔點的處理溫度，保持一個小時以上來進行 均質化熱處理的處理溫度若未達400 °C 偏析出來的溶質元素的均質化不夠充分，熱 小。因此，處理溫度係選定爲4 0 0 °C以上。 若超過熔點的話，鑄塊表面的一部分將會熔 謂的「燒焦現象」，亦成爲鋁合金厚板的表 。因此，處理溫度係選定爲未達熔點溫度。 間若只是一個小時的話，金屬間化合物的固 容易晶析出來。因此，處理時間係選定爲一 穩定化的效 成粗大的晶 色不均勻。 含量分別爲 合金厚板的 製作的鑄塊 4 00°C至未 的。 話，鑄塊中 理的效果很 ，處理溫度 ，而產生所 缺陷的原因 外，處理時 不夠充分， 小時以上。 -43- (40)1361836 其次，說明本發明的第3實施形態的鋁合金厚板。 <鋁合金厚板> 鋁合金厚板係由前述的鋁合金（AMVlg-Si系合金） 所構成，合金中的氫濃度係0.2ml/100g以下，且板厚斷 面上的表面附近與板厚中央部的金屬間化合物（晶析物） 的面積率的差値係10%以内。
此外，氫濃度的控制係可藉由前述之製造方法來執行 * 此處，會因爲 Al-Fe-Si系晶析物的面積率的不同， - 防蝕處理後的色調會發生變化，因此，面積率的差値若超 過10%的話，防蝕處理後會產稱色調不均勻現象。另外 '，如果是10%以内的話，就不會產生色調不均勻現象。 ' 換言之，如果是輥軋材的話，在板厚方向中心部，金 屬間化合物的大小較大，所以實施了防蝕處理的情況下’ 將會在斷面上產生色調不均勻的現象’但是如果是從鑄塊 切割下來的情況下，金屬間化合物的分布狀態已經平均化 了，表面附近與板厚中央部的晶析物的面積率的差値很小 ，所以不會產生色調不均勻的現象。 這種面積率的測定方法，係藉由測定：板厚斷面上的 板厚表面附近（例如：定義在板厚1 /8的位置）與板厚中 央部（例如：定義在板厚1 /2的位置）處的晶析物的面積 率而進行的。 具體而言，係針對於板厚斷面’利用SEM的組成像 -44- (41) 1361836 進行畫像處理，以1 000倍的觀察倍率、觀察20視野以上 的條件，求出Al-Fe-Si系的晶析物的面積率。 此外，針對於耐腐蝕性，因爲底座基板用、搬運裝置 用的鋁合金厚板係在無塵室内使用的，所以不必具有一般 的耐腐蝕性。又，使用在真空裝置用工作腔室的情況下， 也是很少會暴露在腐蝕性氣體的環境，所以也不必具有優 異的耐腐蝕性。
以上係就本發明的較佳實施形態加以説明，但是本發 明並不限定在前述的實施形態。 其次，將針對於符合本發明的申請專利範圍的實施例 的效果，與本發明的申請專利範圍以外的比較例的效果進 行比較，並且具體地説明如後。 ' [實施例5] 首先，將具有表7所示的組成分的鋁合金予以熔融， 利用脫氬氣處理將氫濃度控制成0.2ml/100g以下。其次 ，進行過濾之後，進行鑄造以製作成板厚爲5 00mm的鑄 塊。將所製作的鑄塊以520°C進行8個小時的加熱之後， 將這個鑄塊進行切割或者熱軋，以製作出厚度爲20mm的 鋁合金厚板（切割材、熱軋材）。對於所製得的厚板，以 5 2 0°C進行熔體化處理，再以175 °C進行8個小時的時效 處理。 針對這個切割材以及熱軋材，進行強度試驗以及防蝕 性評比試驗。 -45- (42) 1361836 各項試驗係與前述第1實施形態所説明過 此，此處省略其説明。惟，在強度試驗中，係 爲200N/mm2以上且0.2%耐力爲150N/mm2以 爲合格（〇）；將拉伸強度未達200N/mm2且 未達l5〇N/mm2者，標示爲不合格（X)。 將其結果標示於表8。 的相同，因 將拉伸強度 上者，標示 0.2%耐力 -46- 1361836
備考 VO ο ν〇 6Κ21合金 606 3合金 s i未達下限 S i超過上限 Mg超過上限 m _ϋ m m CD Uh Μη超過上限 m m Urn u :質量％) • 一 <Ν Ο ο <Ν Ο Ο (Ν Ο Ο (Ν Ο Ο (Ν Ο Ο (Ν Ο Ο CN Ο ο (Ν Ο Ο (Ν Ο Ο (Ν Ο Ο (Ν Ο ο C ΚΪ (Ν Ο I ϊ- Ο I I I I I I I 1 (Ν Ο 1 ο I I I I I I I ν〇 ο ο U Ο 1 ο I W"i Ο 1 1 1 (Ν Ο 咖 I 元素< C ο Ο ο Ο Ο ^•Η ο Ο Ο m ο ΟΟ Ο Ο <ύ pH Ο (Ν Ο 寸 ο 呀 Ο ο ο ^"1 Ο 寸 Ο ο 呀 ο ο ΟΧ) s ο t-H Ο Ο ο ο ο < Ο (Ν Ο ο ο οο ο in Ο ο Ν 寸 ο Ο ο < ο οο κη ο ΙΟ ο ο 寸 ο i編號 一 (Ν m 寸 υη Ό οο ΟΝ ο 1—< 區分 {Η 習 m 另ί 畜fi -47- 1361836
m - 鬆※ S每 8¾ S| m3 一 ro On v〇 (Ν \〇 〇〇 〇〇 (N v〇 〇〇 CN CM (N Ό (N (N VO (N Ό 防蝕處理後外觀 斷面外觀 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X X X X X X X X X X X 表面外觀 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X 〇 X X X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X 〇 X X X 強度 判定 〇 〇 〇 〇 〇 X 〇 X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X 〇 X 〇 〇 〇 ε & 只 m 〇〇 r5 Γ- (Ν u-> ON v〇 OO (N o ON (N s s OO 252 00 (N 244 292 〇 205 300 S m 5〇 318 5 265 295 256 ri"*'' £ % 乸 m * i »〇 (N m Ο OO <N <N ON <N m to no 芬 r"i ο π m On (N m S cn ν-ϊ r*-) 239 (Ν m ΓΊ 〇 3 m On m m 317 編號 合金成分1 合金成分2 合金成分3 合金成分4 合金成分5 合金成分6 合金成分7 合金成分8 合金成分9 合金成分10 合金成分11 合金成分1 合金成分2 合金成分3 合金成分4 合金成分5 合金成分6 合金成分7 合金成分8 合金成分9 合金成分10 合金成分Π 螽 loox((N/(a+v))/(DD-v)lr—S101m%^sfr 0:¾¾¾銮陋漱ft驺 S-Hta迤：一※ —®lH0a§il 5-Hi - < -48 - (45) 1361836 如表8所示，在切割材之中的合金成分6、8，因爲 Si、Mg的含量未達下限値，所以強度不足。 合金成分1〜6、8，在鋁合金厚板的防蝕處理之後的 表面的外觀上並未產生顔色不均勻現象。 合金成分7、9〜11，分別是Si' Fe、Mn、Cr的含量 超過上限値，所以會產生金屬間化合物，防蝕處理後的表 面的外觀上產生了顏色不均勻現象。
合金成分1〜11，在鋁合金厚板的防蝕處理之後的斷 面的外觀上並未產生顏色不均勻現象。 • 另外，在熱軋材之中的合金成分6、8，因爲Si、Mg - 的含量未達下限値，所以強度不足。 合金成分1〜6、8，在鋁合金厚板的防蝕處理之後的 表面的外觀上並未產生顏色不均勻現象。 合金成分7、9〜11，分別是Si、Fe、Mn、Cr的含量 超過上限値，所以產生了金屬間化合物，防蝕處理之後的 •0 表面的外觀上產生了顏色不均勻現象。 合金成分1〜11 ’在銘合金厚板的防触處理之後的斷 面的外觀上產生了顏色不均勻現象。 又，熱軋後的熱軋材，板厚斷面上的板厚表面附近與 板厚中央部的晶析物面積率的差値係超過1 0 %。 [第4實施形態] 本發明的第4實施形態的厚板之製造方法係如第1圖 所示般地，依序地執行：熔融過程（S 1 )、脫氫氣過程（ -49- (46) 1361836 S2)、過濾過程（S3)、鑄造過程（S4)、切割過程（ S6 )。而且亦可因應必要，在鑄造過程（S4)之後’又包 含：熱處理過程（S5):在切割過程（S6)之後’又包含 :表面平滑化處理過程（S7 ) ° 這些過程之中，脫氫氣過程（S2)、過濾過程（S3) '鑄造過程（S4)、切割過程（S6)、以及表面平滑化處 理過程（S 7 )係與前述第1實施形態之製造方法相同’所 φφ以省略其説明，以下將只說明熔融過程（si)與熱處理過 程（S 5 )。 <熔融過程> 熔融過程（S1)係將含有：預定量的Mg、Ζη’此外 ，又含有：預定量的Si、Fe、Cu、Μη、Cr' Ti、Zr之中 的至少一種以上，且其餘部分係由A1以及不可避免的雜 質所組成的鋁合金予以熔融的過程。
以下將說明對於各成分的含量予以數値限定的理由。 [Mg : 0.4質量％以上4.0質量％以下]
Mg係具有提昇鋁合金的強度的效果。Mg的含量若未 達〇.4質量％的話，這種效果很小，另外，Mg的含量若 超過4.0質量％的話，耐SCC (耐應力腐蝕裂痕）性會降 低。因此，Mg的含量係選定爲0.4質量％以上4.0質量 %以下。 -50- (47) 1361836 [Zn: 3.0質量％以上9.0質量％以下]
Zn係具有提昇鋁合金的強度的效果。zn的含量若未 達3_0質量％的話，這種效果很小，另外，zn的含量若 超過9.0質量％的話，耐SCC (耐應力腐蝕裂痕）性會降 低。因此，Zn的含量係選定爲3.0質量％以上9.0質量％ 以下。
鋁合金係含有前述的Mg、Zn作爲必要成分，此外， 又含有以下的Si、Fe、Cu' Mn、Cr' Ti、Zr之中的至少 —種以上。 ‘ [Si: 0.7質量％以下]
Si通常是作爲基底金屬的雜質混入在鋁合金中，在 鑄造過程（SO等之中，會使得鑄塊中產生 Al-Fe-Si系 ' 金屬間化合物。Si的含量若超過0.7質量％的話，鑄塊中 將會生成粗大的 Al-Fe-Si系金屬間化合物，在防蝕處理 後的表面外觀上容易產生顏色不均勻。因此，Si的含量 係選定爲〇 . 7質量％以下。 [Fe : 0.8質量％以下]
Fe通常也是作爲基底金屬的雜質混入在鋁合金中， 在鑄造過程（S4)等之中，會使鑄塊中產生Al-Fe系金屬 間化合物。Fe的含量若超過0.8質量％的話，會在鑄塊中 產生粗大的Al-Fe系金屬間化合物，在防蝕處理後的表面 外觀上容易產生顔色不均勻。因此，Fe的含量係選定爲 -51 - (48) (48)
1361836 〇 · 8質量％以下。 [Cu : 3.0質量％以下]
Cu係具有提昇鋁合金板的強度的效果。Cu的含 超過3.0質量％的話，耐腐蝕性會降低。因此，Cu 量係選定爲3.0質量％以下。 φφ [Μη : 0.8質量％以下] Μ η係具有使得結晶組織細微化的效果。μ η的含 • 超過〇 · 8質量％的話’會產生粗大的金屬間化合物， - 蝕處理後的表面外觀上容易產生顏色不均勻。因此 含量係選定爲0.8質量％以下。 [Cr : 0.5質量％以下]
Cr會在鑄造過程（S4 )以及熱處理過程（S5 ) ’作爲細微的化合物晶析出來，具有抑制結晶粒成長 果。Cr的含量若超過0.5質量％的話，將會產生粗 A1 - C r系金屬間化合物作爲初結晶，在防蝕處理後的 外觀上容易產生顏色不均勻。因此，Cr的含量係選 〇 · 5質量％以下。 [Ti : 0.1質量％以下]
Ti係具有使得結晶粒細微化的效果Ti的含量 超過0.1質量％ ’其效果已經飽和了。 量若 的含 量若 在防 ，Μ η 之中 的效 大的 表面 疋爲 即使 -52- (49)1361836 因此，Ti的含量係選定爲〇_〗重量％以下。 [Zr: 0.25質量％以下]
Zr係具有可使鋁合金的結晶粒細微化、穩定化的效 果。Zr的含量若超過〇·25質量％的話’將會產生粗大的 晶析物，在防蝕處理後的表面外觀上容易產生顏色不均勻
因此，Zr的含量係選定爲0.25重量％以下。 此外，作爲不可避免的雜質的V、B等的含量，分別 爲0.01質量％以下的話，並不會影響本發明的鋁合金厚 板的特性。 <熱處理過程> 熱處理過程（S 5 )係對於鑄造過程（S 4 )所製作的鑄 塊進行熱處理（均質化熱處理）的過程。
均質化熱處理係依照通常方法，以3 5 0 °C至未達熔點 溫度的處理溫度，保持一個小時以上來進行的。 均質化熱處理的處理溫度若未達3 5 (TC的話，鑄塊中 偏析出來的溶質元素的均質化不夠充分，熱處理的效果很 小。因此，處理溫度係選定爲3 5 0 t以上。又，處理溫度 若超過熔點的話，鑄塊表面的一部分將會熔融，而產生所 謂的『燒焦現象』，易成爲鋁合金厚板的表面缺陷的原因 。因此’處理溫度係選定爲未達熔點。又，處理時間只是 一個小時的話，金屬間化合物的固熔不夠充分，容易晶析 -53- (50) 1361836 出來。因此，處理時間係選定爲一個小時以上。 其次，說明本發明的鋁合金厚板。 <鋁合金厚板> 鋁合金厚板係由前述的鋁合金（Al-Zn-Mg系合金） 所構成，合金中的氫濃度係〇‘2ml/100g以下；且板厚斷 面上的表面附近與板厚中央部的金屬間化合物（晶析物） ίρφ 的面積率的差値係10%以内。 此外，氫濃度的控制係可藉由前述之製造方法來執行 此處，依據 Al-Fe-Si- ( Cu)與 Al-Zn-Mg-Cu 系晶析 物的面積率的差異，防蝕處理後的色調會產生變化，因此 ，面積率的差値若超過10%的話，防蝕處理後會產生色 調不均勻現象。另外，若爲10%以内的話，就不會產生 色調不均勻現象。
換言之，如果是輥軋材的話，在板厚方向中心部，金 屬間化合物的大小較大，所以實施了防蝕處理的情況下， 將會在斷面上產生色調不均勻的現象，但是如果是從鑄塊 切割下來的情況下，金屬間化合物的分布狀態已經平均化 了，表面附近與板厚中央部的晶析物的面積率的差値很小 ，所以不會產生色調不均勻的現象。 這種面積率的測定方法，係藉由測定：板厚斷面上的 板厚表面附近（例如：定義在板厚1/8的位置）與板厚中 央部（例如：定義在板厚1 /2的位置）處的晶析物的面積 -54- (51) 1361836 率而進行的。 具體而言，係針對於板厚斷面，利用SEM的組成像 進行畫像處理，以1〇〇〇倍的觀察倍率、觀察20視野以上 的條件，求出Al-Fe-Si-(Cu)與Al-Zn-Mg-Cu系的晶析 物的面積率。 以上係就本發明的較佳實施形態加以説明，但是本發 明並不限定在前述的實施形態。
其次，將針對於符合本發明的申請專利範圍的實施例 的效果，與本發明的申請專利範圍以外的比較例的效果進 行比較，並且具體地説明如後。 [實施例6] 首先，將具有表9所示的組成分的銘合金予以熔融， * 藉由脫氫氣處理以將氫濃度控制成〇.2ml/100g以下。其 次，進行過濾之後，進行鑄造以製作成板厚爲300mm的 00 鑄塊。將所製作的鑄塊以4 5 0 °C進行8個小時的加熱之後 ，進行均質化熱處理。將這個鑄塊予以切割或熱軋，以製 作成厚度爲20mm的鋁合金厚板（切割材、熱軋材）。對 於所製得的厚板以4 7 0 °C進行熔體化處理，再以1 2 0 °C進 行4 8小時的時效處理。 針對這個切割材以及熱軋材，進行強度試驗以及防蝕 性評比試驗。 各項試驗係與前述第1實施形態所説明過的相同，此 處將省略其説明。惟，在強度試驗中，將拉伸強度爲 -55- (52) 1361836 上者，標示爲 0.2 %耐力未 2 5 0N/mm2以上且0.2%耐力爲2 00N/mm2以 合格（〇）：將拉伸強度未達2 5 0N/mm2且 達20 ON/mm2者，標示爲不合格（X)。 將其結果標示於表10。 -56- 1361836
【i 備考 7075合金 Zn.Mg 增 Zn.Mg 減 Si.Fe 增 Μη添加 Mg未達下限 Zn未達下限 Si超過上限 Fe超過上限 Μη超過上限 Cr超過上限 Zr超過上限 元素(質量％) 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 1 1 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 N 1 (N Ο I I I 1 < 1 1 寸 Ο CN 〇 1 1 I 1 Τ Η I vq r1 Ή 1 1 1 1 卜 Ο 1 1 1 Η t < i 1 1 U 〇〇 Ο (Ν 1 m d> ιπ ο KTi 1 (N Ο (Ν v〇 p (Ν (Ν £ CN 〇 (Ν Ο (Ν Ο 卜 ο 寸 Ο (Ν Ο • 1 Η Ον Ο o 寸 o Ο (Ν Ο Ο ο <Ν Ο (Ν Ο Ο (Ν Ο rn o (N 1—Η <η od ν〇 … ο … οο 寸 m 寸 (Ν 寸 寸 寸 Ο <η (Ν 00 ο ο (Ν οο CN m Ο 卜 (Ν CN CN 寸 (Ν ON (N (Ν (Ν 編號 >« (Ν ΓΟ 寸 νΊ v〇 卜 oo Os 〇 (Ν 區分 -57- 1361836
陧一 菘※ ®gg m il mu m v〇 Os (N 〇 v〇 00 m v〇 cs (N 00 (N 〇〇 00 <N (N (N 〇〇 ίΝ 〇〇 VO 防蝕處理後外觀 斷面外觀 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X X X X X X X X X X X X 表面外觀 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X X X X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X X X X X m m 判定 〇 〇 〇 〇 〇 X X 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X X 〇 〇 〇 〇 〇 ^r- ε % 只 m. 410 224 Ο ^1 ΘΟ ο 5 386 422 344 〇〇 OS m 435 9 〇〇 235 357 453 VO 2 405 443 νΞ 418 457 rO E 5 feS 搜 -s- i 486 Ό 279 442 498 ON 456 492 389 452 512 510 v〇 «ο 293 464 m (N <〇 207 222 479 517 408 475 00 m 編號 合金成分1 合金成分2 合金成分3 合金成分4 合金成分5 合金成分6 合金成分7 合金成分8 合金成分9 合金成分10 合金成分11 合金成分12 合金成分1 合金成分2 合金成分3 合金成分4 合金成分5 合金成分6 合金成分7 合金成分8 合金成分9 合金成分10 合金成分11 合金成分12 Ιϋ辑匡
I loolx(c!(a+v))/(e-v)lr 1}糊s褂薛陷趁右蜡忉锸琪旮it^Msg®嗽tf^sq-胆一※ - ω Illii - < -58- (55) 1361836 如表10所示，切割材之中的合金成分6、7，因爲 Mg、Zn的含量未達下限値，所以強度不足。 合金成分1〜7，在鋁合金厚板之防蝕處理後的表面 的外觀上並未產生顏色不均勻的現象。 合金成分8〜12，分別是Si、Fe、Mn、Cr'Zr的含 量超過了上限値，因此，產生了金屬間化合物，防蝕處理 後的表面的外觀上產生顏色不均勻的現象。
合金成分1〜12，在鋁合金厚板之防蝕處理後的斷面 的外觀上並未產生顏色不均勻的現象。 • 另外，熱軋材之中的合金成分6、7，因爲Mg、Zn的 . 含量未達下限値，所以強度不足。 合金成分1〜7，在鋁合金厚板之防蝕處理後的表面 的外觀上並未產生顏色不均勻的現象。 • 合金成分8〜12，分別是Si、Fe、Mn、Cr、Zr的含 量超過了上限値，所以產生了金屬間化合物，在防蝕處理 後的表面的外觀上產生了顏色不均勻的現象。 合金成分1〜12’在鋁合金厚板之防蝕處理後的斷面 的外觀上產生了顏色不均勻的現象。 此外，熱軋後的熱軋材，其板厚斷面上的板厚表面附 近與板厚中央部的晶析物面積率的差値係超過1 〇 %。 以上雖然是就本發明的較佳實施形態加以説明，但是 本發明並不侷限在前述的實施形態，只要是在不脫離本發 明的範圍之範圍內，都可以進行各種之變更。 -59- (56) 1361836 【圖式簡單説明】 第1圖係顯示鋁合金厚板之製造方法的流程之流程圖 【主要元件符號說明】 S 1 :熔融過程 S 2 :脫氣氣過程
S 3 :過濾過程 S 4 :鑄造過程 S 5 :熱處理過程 S 6 :切割過程 S 7 :表面平滑化處理過程 -60 -
Claims (1)
1361836 公告本I 年t月曰修 1------- 第096Π5587號專利申請案中文申請專利範圍修正本 十、申請專利範圍 民國100年8月丨1日修正 1. 一種鋁合金厚板之製造方法， 前述銘合金的組成分係含有Μη: 〇·3霄量％以上J 6 質量％以下，此外’又含有Si: 0.7質量％以下、Fe: 〇8 質量％以下、Cu : 0.5質量％以下、Mg :丨·5質量％以下 修、Cr· 0.3質里％以下、Ζη· 0_4質量％以下、丁}: 〇 1質 量％以下、Zr : 0.3質量％以下’之中的至少—種以上， 且其餘部分係由A1以及不可避免的雜質所組成的； 前述製造方法， 係依序執行下列過程： 將鋁合金予以熔融之熔融過程； 從在前述熔融過程已經熔融的鋁合金中除去氫氣的脫 氫氣過程；
從在前述脫氫氣過程已經除去了氫氣的鋁合金中除去 夾雜物的過濾過程； 對於在前述過濾過程已經除去了夾雜物的鋁合金進行 鑄造以製造鑄塊之鑄造過程；以及 將前述鑄塊朝鑄造方向切割成預定的厚度之切割過程 2.如申請專利範圍第1項所述之鋁合金厚板之製造 方法，其中，在前述鑄造過程之後，又實施了將鑄塊保持 在400。(：〜630。(：的溫度下，一個小時以上的熱處理。 1361836 3. —種鋁合金厚板之製造方法，前述鋁合金的組成 分係含有Mg: I·5質量％以上12.0質量％以下，此外， 又含有Si: 0.7質量％以下、Fe: 0.8質量％以下、Cu: 〇·6質量％以下、Μη: 1.0質量％以下、Cr: 0.5質量％以 下、Zn : 0.4質量％以下、Ti : 0.1質量％以下、zr : 0.3 質量％以下，之中的至少一種以上，且其餘部分係由A1 以及不可避免的雜質所組成的； 前述製造方法， 係依序執行下列過程： 將鋁合金予以熔融之熔融過程； 從在前述熔融過程已經熔融的鋁合金中除去氫氣的脫 氯氣過程； 從在前述脫氫氣過程已經除去了氫氣的鋁合金中除去 夾雜物的過濾過程； 對於在前述過濾過程已經除去了夾雜物的鋁合金進行 鑄造以製造鑄塊之鑄造過程；以及 Φ 將前述鑄塊朝鑄造方向切割成預定的厚度之切割過程 〇 4. 如申請專利範圍第3項所述之鋁合金厚板之製造 方法，其中，在前述鑄造過程之後，又實施了將鑄塊保持 在400°C〜未達熔點的溫度下，一個小時以上的熱處理》 5. —種鋁合金厚板之製造方法，前述鋁合金的組成 分係含有Si: 0.2質量％以上1.6質量％以下、Mg: 0.3 質量％以上1.5質量％以下，此外，又含有Fe: 0.8質量 S -2- 1361836 %以下、Cu: 1.0質量％以下、Μη: 0.6質量％以下、Cr :0.5質量％以下、Ζη: 0·4質量％以下、Ti: 0.1質量％ 以下、Zr : 0.3質量％以下，之中的至少一種以上，且其 餘部分係由A1以及不可避免的雜質所組成的； 前述製造方法， 係依序執行下列過程： 將鋁合金予以熔融之熔融過程；
從在前述熔融過程已經熔融的鋁合金中除去氫氣的脫 氮氣過程； 從在前述脫氫氣過程已經除去了氫氣的鋁合金中除去 夾雜物的過濾過程； 對於在前述過濾過程已經除去了夾雜物的鋁合金進行 鑄造以製造鑄塊之鑄造過程；以及 將前述鑄塊朝鑄造方向切割成預定的厚度之切割過程 6. 如申請專利範圍第5項所述之鋁合金厚板之製造 方法，其中，在前述鑄造過程之後，又實施了將鑄塊保持 在40(TC〜未達熔點的溫度下，一個小時以上的熱處理。 7. —種鋁合金厚板之製造方法，前述鋁合金的組成 分係含有Mg : 0.4質量％以上4.0質量％以下、Zn : 3.0 質量％以上9.0質量％以下，此外，又含有Si: 0.7質量 %以下、Fe : 0·8質量％以下、Cu : 3_0質量％以下、Μη :0.8質量％以下、Cr: 0.5質量％以下、Ti: 0.1質量％ 以下、Zr: 0.25質量％以下，之中的至少一種以上，且其 -3 - 1361836 餘部分係由A1以及不可避免的雜質所組成的； 前述製造方法， 係依序執行下列過程： 將鋁合金予以熔融之熔融過程： 從在前述熔融過程已經熔融的鋁合金中除去氫氣的脫 氣氣過程； 從在前述脫氫氣過程已經除去了氫氣的鋁合金中除去 夾雜物的過濾過程； _ 對於在前述過濾過程已經除去了夾雜物的鋁合金進行 鑄造以製造鑄塊之鑄造過程；以及 將前述鑄塊朝鑄造方向切割成預定的厚度之切割過程 〇 8.如申請專利範圍第7項所述之鋁合金厚板之製造 方法’其中，在前述鑄造過程之後，又實施了將鑄塊保持 在3 5〇°C〜未達熔點的溫度下，一個小時以上的熱處理。 9·如申請專利範圍第1、3、5或7項所述之鋁合金 ♦ 厚板之製造方法，其中，在前述切割過程之後，又對於切 割後的預定的厚度的鋁合金厚板的表面，進行表面平滑化 處理。 10.如申請專利範圍第9項所述之鋁合金厚板之製造 方法’其中，前述表面平滑化處理係從：切削法、硏削法 以及硏磨法所選出的至少一種方法。 η·—種鋁合金厚板，係依申請專利範圍第1、3、5 或7項所述的鋁合金厚板之製造方法所製造出來的鋁合金 S -4- 1361836 厚板，其中的氫氣量係〇. 2 ml/100g以下；板厚斷面上的表 面附近與板厚中央部的晶析物的面積率的差値係10%以內 «
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