TWI349998B - Radiation imaging apparatus and radiation imaging system - Google Patents

Radiation imaging apparatus and radiation imaging system

Info

Publication number
TWI349998B
TWI349998B TW096120554A TW96120554A TWI349998B TW I349998 B TWI349998 B TW I349998B TW 096120554 A TW096120554 A TW 096120554A TW 96120554 A TW96120554 A TW 96120554A TW I349998 B TWI349998 B TW I349998B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
radiation imaging
imaging system
imaging apparatus
radiation
imaging
Prior art date
Application number
TW096120554A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Other versions
TW200814309A (en
Inventor
Chiori Mochizuki
Minoru Watanabe
Takamasa Ishii
Masakazu Morishita
Original Assignee
Canon Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Kk filed Critical Canon Kk
Publication of TW200814309A publication Critical patent/TW200814309A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI349998B publication Critical patent/TWI349998B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/16—Measuring radiation intensity
    • G01T1/24—Measuring radiation intensity with semiconductor detectors
    • G01T1/241—Electrode arrangements, e.g. continuous or parallel strips or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/011—Manufacture or treatment of image sensors covered by group H10F39/12
    • H10F39/026—Wafer-level processing
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/10—Integrated devices
    • H10F39/12—Image sensors
    • H10F39/18—Complementary metal-oxide-semiconductor [CMOS] image sensors; Photodiode array image sensors
    • H10F39/189—X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/10—Integrated devices
    • H10F39/12—Image sensors
    • H10F39/18—Complementary metal-oxide-semiconductor [CMOS] image sensors; Photodiode array image sensors
    • H10F39/189—X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers
    • H10F39/1892—Direct radiation image sensors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/10—Integrated devices
    • H10F39/12—Image sensors
    • H10F39/18—Complementary metal-oxide-semiconductor [CMOS] image sensors; Photodiode array image sensors
    • H10F39/189—X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers
    • H10F39/1898—Indirect radiation image sensors, e.g. using luminescent members

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
TW096120554A 2006-06-09 2007-06-07 Radiation imaging apparatus and radiation imaging system TWI349998B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006161643A JP5196739B2 (ja) 2006-06-09 2006-06-09 放射線撮像装置及び放射線撮像システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200814309A TW200814309A (en) 2008-03-16
TWI349998B true TWI349998B (en) 2011-10-01

Family

ID=38801586

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW096120554A TWI349998B (en) 2006-06-09 2007-06-07 Radiation imaging apparatus and radiation imaging system

Country Status (6)

Country Link
US (2) US7897930B2 (enExample)
EP (1) EP2033221A4 (enExample)
JP (1) JP5196739B2 (enExample)
CN (1) CN101467256B (enExample)
TW (1) TWI349998B (enExample)
WO (1) WO2007142342A1 (enExample)

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5196739B2 (ja) * 2006-06-09 2013-05-15 キヤノン株式会社 放射線撮像装置及び放射線撮像システム
JP2011238897A (ja) 2010-04-13 2011-11-24 Canon Inc 検出装置及びその製造方法並びに検出システム
JP2012026932A (ja) * 2010-07-26 2012-02-09 Fujifilm Corp 放射線検出器
JP2012079820A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Canon Inc 検出装置及び放射線検出システム
JP2012079860A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Canon Inc 検出装置及び放射線検出システム
JP5954983B2 (ja) 2011-12-21 2016-07-20 キヤノン株式会社 撮像装置及び放射線撮像システム、並びに撮像装置の製造方法
JP6057511B2 (ja) 2011-12-21 2017-01-11 キヤノン株式会社 撮像装置及び放射線撮像システム
JP5923972B2 (ja) 2011-12-26 2016-05-25 三菱電機株式会社 光電変換装置の製造方法および当該光電変換装置を用いた撮像装置の製造方法
JP5997512B2 (ja) 2012-06-20 2016-09-28 キヤノン株式会社 放射線検出装置及び撮像システム
TWI479175B (zh) 2013-01-15 2015-04-01 Architek Material Co Ltd 轉換結構、影像偵測裝置以及轉換結構之製備方法
JP6164924B2 (ja) * 2013-05-15 2017-07-19 キヤノン株式会社 検出装置、及び、検出システム
US9093347B2 (en) 2013-05-15 2015-07-28 Canon Kabushiki Kaisha Detecting apparatus and detecting system
JP6463136B2 (ja) 2014-02-14 2019-01-30 キヤノン株式会社 放射線検出装置及び放射線検出システム
JP6339853B2 (ja) 2014-05-01 2018-06-06 キヤノン株式会社 放射線撮像装置および放射線撮像システム
JP6480670B2 (ja) 2014-05-01 2019-03-13 キヤノン株式会社 放射線撮像装置および放射線撮像システム
JP6585910B2 (ja) 2014-05-01 2019-10-02 キヤノン株式会社 放射線撮像装置および放射線撮像システム
JP6478538B2 (ja) 2014-09-10 2019-03-06 キヤノン株式会社 放射線撮像装置および放射線撮像システム
JP6570315B2 (ja) 2015-05-22 2019-09-04 キヤノン株式会社 放射線撮像装置及び放射線撮像システム
EP3322342B1 (en) * 2015-07-14 2023-11-22 DOSE Smart Imaging Apparatus for radiation detection in a digital imaging system
US10126165B2 (en) * 2015-07-28 2018-11-13 Carrier Corporation Radiation sensors
JP6649775B2 (ja) 2016-01-13 2020-02-19 キヤノン株式会社 放射線撮像装置、その駆動方法及び放射線撮像システム
JP6415488B2 (ja) 2016-07-08 2018-10-31 キヤノン株式会社 放射線撮像システム
US10818718B2 (en) * 2016-07-20 2020-10-27 Sony Corporation Light receiving element, method of manufacturing light receiving element, imaging device, and electronic apparatus
JP2018084485A (ja) 2016-11-24 2018-05-31 コニカミノルタ株式会社 放射線画像撮影装置
JP6929104B2 (ja) 2017-04-05 2021-09-01 キヤノン株式会社 放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法及びプログラム
JP6990986B2 (ja) 2017-04-27 2022-01-12 キヤノン株式会社 放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法及びプログラム
JP6853729B2 (ja) 2017-05-08 2021-03-31 キヤノン株式会社 放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法及びプログラム
JP6788547B2 (ja) 2017-05-09 2020-11-25 キヤノン株式会社 放射線撮像装置、その制御方法、制御装置、及び、放射線撮像システム
JP6877289B2 (ja) 2017-07-31 2021-05-26 キヤノン株式会社 放射線検出装置、放射線検出システム、及び放射線出装置の製造方法
JP7045834B2 (ja) 2017-11-10 2022-04-01 キヤノン株式会社 放射線撮像システム
JP7079113B2 (ja) 2018-02-21 2022-06-01 キヤノン株式会社 放射線撮像装置及び放射線撮像システム
JP7198003B2 (ja) 2018-06-22 2022-12-28 キヤノン株式会社 放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法およびプログラム
JP6659182B2 (ja) 2018-07-23 2020-03-04 キヤノン株式会社 放射線撮像装置、その製造方法及び放射線撮像システム
EP3661190B1 (en) 2018-11-27 2024-05-22 Canon Kabushiki Kaisha Radiation imaging apparatus and radiation imaging system
JP7344769B2 (ja) 2019-11-22 2023-09-14 キヤノン株式会社 放射線検出装置及び出力方法
JP7397635B2 (ja) 2019-11-22 2023-12-13 キヤノン株式会社 放射線検出装置、放射線検出システム、制御方法及びプログラム
CN118872061A (zh) * 2022-02-01 2024-10-29 株式会社日本显示器 检测装置
JP2023117956A (ja) 2022-02-14 2023-08-24 キヤノン株式会社 センサ基板、放射線撮像装置、放射線撮像システム、および、センサ基板の製造方法
US20240271997A1 (en) * 2022-04-27 2024-08-15 Beijing Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. Detection substrate and detection device
US12493128B2 (en) * 2023-08-09 2025-12-09 GE Precision Healthcare LLC Medical imaging detector

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS645058A (en) * 1987-06-26 1989-01-10 Canon Kk Photoelectric converting device
EP0296603A3 (en) 1987-06-26 1989-02-08 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric converter
DE4005494C2 (de) * 1989-02-21 1994-10-20 Canon Kk Halbleiter-Vorrichtung sowie Bildlesegerät mit dieser Halbleitervorrichtung mit optimierten elektrischen Eigenschaften
JP2625540B2 (ja) * 1989-02-21 1997-07-02 キヤノン株式会社 半導体装置、光電変換装置、およびそれらの製造方法
US5262649A (en) 1989-09-06 1993-11-16 The Regents Of The University Of Michigan Thin-film, flat panel, pixelated detector array for real-time digital imaging and dosimetry of ionizing radiation
JP3066944B2 (ja) 1993-12-27 2000-07-17 キヤノン株式会社 光電変換装置、その駆動方法及びそれを有するシステム
JPH07254724A (ja) * 1994-03-15 1995-10-03 Toshiba Corp Ｘ線検出器
JP3604831B2 (ja) * 1996-09-06 2004-12-22 キヤノン株式会社 半導体装置及び光電変換装置
JP3719786B2 (ja) 1996-09-11 2005-11-24 株式会社東芝 光検出器の製造方法
JPH11125840A (ja) * 1997-10-24 1999-05-11 Sharp Corp 液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置
US6373062B1 (en) * 1999-06-30 2002-04-16 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Interdigital photodetector for indirect x-ray detection in a radiography imaging system
US6489618B1 (en) * 1999-07-30 2002-12-03 Canon Kabushiki Kaisha Radiation image pickup device
JP5016746B2 (ja) * 2000-07-28 2012-09-05 キヤノン株式会社 撮像装置及びその駆動方法
JP4018461B2 (ja) * 2002-06-11 2007-12-05 キヤノン株式会社 放射線検出装置及びその製造方法並びに放射線撮像システム
JP4054612B2 (ja) 2002-06-11 2008-02-27 キヤノン株式会社 放射線撮像装置
US7214945B2 (en) * 2002-06-11 2007-05-08 Canon Kabushiki Kaisha Radiation detecting apparatus, manufacturing method therefor, and radiation image pickup system
JP4211435B2 (ja) * 2002-08-30 2009-01-21 株式会社島津製作所 放射線検出器
EP1420453B1 (en) * 2002-11-13 2011-03-09 Canon Kabushiki Kaisha Image pickup apparatus, radiation image pickup apparatus and radiation image pickup system
WO2004073068A1 (en) * 2003-02-14 2004-08-26 Canon Kabushiki Kaisha Radiation image pickup device
JP4323827B2 (ja) * 2003-02-14 2009-09-02 キヤノン株式会社 固体撮像装置及び放射線撮像装置
JP4266656B2 (ja) * 2003-02-14 2009-05-20 キヤノン株式会社 固体撮像装置及び放射線撮像装置
JP4845352B2 (ja) * 2004-06-15 2011-12-28 キヤノン株式会社 放射線撮像装置、その製造方法及び放射線撮像システム
US7557355B2 (en) * 2004-09-30 2009-07-07 Canon Kabushiki Kaisha Image pickup apparatus and radiation image pickup apparatus
JP5043373B2 (ja) 2005-07-11 2012-10-10 キヤノン株式会社 変換装置、放射線検出装置、及び放射線検出システム
JP5043374B2 (ja) * 2005-07-11 2012-10-10 キヤノン株式会社 変換装置、放射線検出装置、及び放射線検出システム
JP5043380B2 (ja) * 2005-07-25 2012-10-10 キヤノン株式会社 放射線検出装置および放射線検出システム
JP5159065B2 (ja) * 2005-08-31 2013-03-06 キヤノン株式会社 放射線検出装置、放射線撮像装置および放射線撮像システム
JP2007201246A (ja) 2006-01-27 2007-08-09 Canon Inc 光電変換装置及び放射線撮像装置
JP5173234B2 (ja) * 2006-05-24 2013-04-03 キヤノン株式会社 放射線撮像装置及び放射線撮像システム
JP5196739B2 (ja) * 2006-06-09 2013-05-15 キヤノン株式会社 放射線撮像装置及び放射線撮像システム
JP5235350B2 (ja) * 2007-08-07 2013-07-10 キヤノン株式会社 撮像装置及び放射線撮像システム

Also Published As

Publication number Publication date
US20110114846A1 (en) 2011-05-19
US20090230443A1 (en) 2009-09-17
EP2033221A1 (en) 2009-03-11
US8084745B2 (en) 2011-12-27
CN101467256A (zh) 2009-06-24
TW200814309A (en) 2008-03-16
CN101467256B (zh) 2012-02-15
JP5196739B2 (ja) 2013-05-15
JP2007329434A (ja) 2007-12-20
US7897930B2 (en) 2011-03-01
WO2007142342A1 (en) 2007-12-13
EP2033221A4 (en) 2013-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI349998B (en) Radiation imaging apparatus and radiation imaging system
EP1981404A4 (en) RADIATION IMAGING APPARATUS
GB2452124B (en) Imaging apparatus and imaging method
EP2191292A4 (en) IMAGING SYSTEM AND METHOD
GB0617945D0 (en) Imaging apparatus and methods
TWI371663B (en) Radiation system and lithographic apparatus comprising the same
GB0718291D0 (en) Imaging apparatus and method
GB2452944B (en) An imaging system and method
IL186884A0 (en) System and method for imaging objects
GB2459223B (en) Document imaging and processing system
EP2186345A4 (en) IMAGING APPARATUS AND ILLUSTRATIVE PROCESS
IL184909A0 (en) Method and apparatus for imaging using multiple imaging detectors
GB0611435D0 (en) Place-shifting apparatus and system
EP2050396A4 (en) RADIATION IMAGING DEVICE
ZA200804709B (en) Method and apparatus for radiation imaging
IL187945A0 (en) Methods and systems for medical imaging
EP2340467A4 (en) SYSTEM AND METHOD FOR CALIBRATING IMAGING DEVICE
GB2451548B (en) Radiation imaging system
EP2203772A4 (en) LENS APPARATUS AND IMAGING APPARATUS
TWI365661B (en) Imaging apparatus and imaging method
EP2085031A4 (en) X-RAY PRESENTATION METHOD AND X-RAY PRESENTATION SYSTEM
GB0623475D0 (en) Imaging method and apparatus
EP2178441A4 (en) METHOD AND APPARATUS FOR RADIOGRAPHIC IMAGING
GB0608016D0 (en) Imaging System And Method
EP2033034A4 (en) LENS CONTROL UNIT AND ILLUMINATING DEVICE WITH LENS SCREENING DEVICE

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees