JP5173234B2 - 放射線撮像装置及び放射線撮像システム - Google Patents
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Description
[第1の実施形態]
図1は、本発明の好適な実施の形態に係る放射線撮像装置の平面図である。図2は、図1に示す1画素の破線部A−A’の断面図である。図3は、図1に示すSig接続ホール103、Vs線及びSig線の交差部102の破線部B−B’の断面図である。なお、図1には3列×2行の画素が示されているが、画素数はこれに限定されない。
[第2の実施形態]
図4は、本発明の好適な実施の形態に係る放射線撮像装置の平面図である。図5は、図4に示す1画素の破線部C−C’の断面図である。図6は、図4に示すSig接続ホール403、Vs線及びSig線の交差部402の破線部D−D’の断面図である。なお、図4には3列×2行の画素が示されているが、画素数はこれに限定されない。
[第3の実施形態]
図7は、本発明の好適な実施の形態に係る放射線撮像装置の平面図である。図8は、図7に示す1画素の破線部E−E’の断面図である。図9は、図7に示すSig接続ホール702、Vs線及びSig線の交差部701の破線部F−F’の断面図である。なお、図1には3列×2行の画素が示されているが、画素数はこれに限定されない。
[応用例]
図10は、本発明の好適な実施の形態に係る放射線撮像装置を放射線診断システムへ適用した場合の応用例を示す図である。
1101 基板
1103 画素領域
Claims (13)
- 電極と半導体層と不純物半導体層とをこの順に含んで放射線を電荷に変換する変換素子と、前記変換素子の前記電極に電気的に接続されたスイッチ素子と、を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域と、
前記スイッチ素子に電気的に接続され、前記変換素子の前記電極に所定の電圧を与えるための第1の電圧が与えられる第1の線と、
前記変換素子の前記不純物半導体層に電気的に接続され、前記所定の電圧との差により前記変換素子の前記半導体層を空乏化する第2の電圧が与えられる第2の線と、
前記画素領域の外で、前記第1の線と前記第2の線とが交差する交差部と、
を基板上に備える放射線撮像装置であって、
前記交差部では、前記第1の線と前記第2の線との間に半導体層が配置され、前記交差部の前記半導体層と前記第2の線との間に前記変換素子の前記不純物半導体層と同じ型の不純物半導体層が配置され、前記交差部の前記半導体層と前記第1の線との間にキャリア阻止部が配置されていることを特徴とする放射線撮像装置。 - 前記第1の線は、前記基板と前記第2の線との間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の放射線撮像装置。
- 前記変換素子の前記不純物半導体層及び前記交差部の前記不純物半導体層は、n型半導体層であることを特徴とする請求項1又は2に記載の放射線撮像装置。
- 前記変換素子で放射線を電荷に変換する際に、前記第1の線のフェルミ準位が前記第2の線のフェルミ準位よりも高くなるように構成されていることを特徴とする請求項3に記載の放射線撮像装置。
- 前記変換素子で放射線を電荷に変換する際に、前記第1の線に前記第1の電圧を与え、前記第2の線に前記第2の電圧を与えるよう構成され、前記第2の電圧が前記第1の電圧よりも高いことを特徴とする請求項4に記載の放射線撮像装置。
- 前記変換素子の前記不純物半導体層及び前記交差部の前記不純物半導体層は、p型半導体層であることを特徴とする請求項1又は2に記載の放射線撮像装置。
- 前記キャリア阻止部と前記交差部の前記半導体層との間にn型半導体層が配置されていることを特徴とする請求項6に記載の放射線撮像装置。
- 前記第2の線と前記交差部の前記半導体層との間に電極層が配置されていることを特徴とする請求項6又は7に記載の放射線撮像装置。
- 前記変換素子で放射線を電荷に変換する際に、前記第1の線のフェルミ準位が前記第2の線のフェルミ準位よりも低くなるように構成されていることを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。
- 前記変換素子で放射線を電荷に変換する際に、前記第1の線に前記第1の電圧を与え、前記第2の線に前記第2の電圧を与えるよう構成され、前記第2の電圧が前記第1の電圧よりも低いことを特徴とする請求項9に記載の放射線撮像装置。
- 前記キャリア阻止部は、第1の絶縁層及び第2の絶縁層を含むことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。
- 前記交差部の前記半導体層は、アモルファスシリコンで形成されていることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。
- 請求項1乃至12のいずれか1項に記載の放射線撮像装置と、
前記放射線撮像装置からの信号を処理する信号処理手段と、
を備えることを特徴とする放射線撮像システム。
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