TWI342400B - Apparatus for rotating a test tray in a handler - Google Patents

Description

hUU 九'發明說明： 【發明所屬之技術領域】 =發明係關於-種操作用於㈣之封裝晶片之操作裝置，尤 直種用於旋制試托盤之裝置，使其處於操作褒置之垂 直或水平位置，此操作裝置用於操作測試之封裝晶片。 【先前技術】 =健鱗，綱-㈣的環境、 %軋和可靠性測試。這此測續仂 客和封裝裝置之使用。^卜 規範而變化’取決於顧 擇取樣之上。 ^试可完成於大批量的全部封裝或道 =酬如放人測試托盤内，並且供應測試托盤至 =封= 之測— 測試。操料置、4被插人峨板之承口岐成電氣 於測他心 片放入測試托盤即夹具内，並且將容納 於’則6式托盤中的封梦Β μ , 辦果八^ 測試板之承口卜操作裳置依照測 並Ρ翁裝置贼財麵上移紗裝晶片， 二' #放人測試托㈣紐模 ::=(被稱…*。。_ = 用者托盤（被卿並且移動此測試封裝晶片至使 載^载出作業完成於交換場地。交換場地處，封裝晶片被 1342400 並且從_盤上卸載。測試托盤旋轉裝置 垂直或。測試托盤旋财置旋轉測試托盤以使其處於 轴連接裝置包含疑轉轴、沿旋轉軸之軸線方向與旋轉 測；^板、賴，各自被提供至旋轉軸之關，透過與 之輕私而引導測試托盤m馬達，用於旋 轉疋轉軸。當馬達作業時，旋轉軸被旋轉，從而 支樓的測試托盤。 $被_仗而紅轉引導器所 測試方法係增加在既定時間或某時間内 έ. 數里。為了做到這點，測試托盤需要盡可能容 .納更多數量㈣如，㈣峨椒蝴加 用於載入封裝晶片至戦托盤之 試托盤上卸載輕曰片*早兀以及用於從測 盤旋轉裝置之離此旋她越遠，則測試托 〜裝置之_半徑則越大。因此增加了馬達 【發明内容】 、秋 置，=t’本發明的目的在於提供一種大尺寸測試托盤之旋轉裝 …、須應用對應負載至驅動單元。 本發明提供一種操作裝 作測試之雜7… _托盤认顧置，用於操 (-uatoO ： 支擇此购讀.’對過細咖魏行向滑動， 盤，一對弟—引導器，位於支撐板之下表面之上， 6 可沿支撐板之既定方向滑動； ± 以及—對弟二引導器，位於基本框 木之上表面之上，可相料1料器而滑動。 在标月之⑴述以及其他目的、特徵、方面和優點將結合附圖 t發明之町詳細描射得叫加日_之體現。 【實施方式】 明 現在將結合義之實例對本發明的較佳實施方式作詳細說 第1 11」所TFk為本發明實施例之裝配有戦托盤旋轉裝 操作裝置之簡化配置圖。 人/「第1圖」所心齡操作待測試封裝“之猶裝置包 δ載入平台10、載出平台2Q、交換 Υ又換％地30、測試單元50以及拾 取器70。 載入平台10位於操作裝置之主妒 — 體之月'j 。谷納封裝晶片之使 用者托盤位於載入平台1〇中。載出 α 20與載入平台10鄰接。 依照測試絲’選擇性地容納測試封裝^之使用者托盤位於載 出平台财。每，者托盤容納包含相同__果 封裝晶片。 交換場地30位於載入平台1〇知# 卞口川和载出平台20之後部。測試托 盤丁位於交換場地30中。待測試封梦曰 了衣日日片伙載入平台10被供應 ^交換場綠錢場地财，待峨封裝“被載人到馳 盤Τ上。交換場地3〇中，經過測試的封裝晶片從測試托盤丁中却 1342400 載，並且被傳送至載出平台2〇。 載入緩衝⑽41和載出緩衝II 42分別鄰接於交換場地如之兩 * 、封裝曰曰片暫日卞等待於載入緩衝器41和載出緩衝器42中。載 • 入緩衝态41和載出緩衝器42可前後移動。 賴單it 50倾賴場地3G讀部。_私％從交換場 G中接收錢待測試封裝晶片之測試托盤。測試單元％中， ^ <σσ AH#於待測朗裝晶>5之上。測試單元提供測試環 境’其中在極高或極低的溫度以及室溫下測試封裝晶片。 測試單元50包含第一腔室5卜第二腔室^以及第三腔室。 .2封裝晶片之測試托盤依序通過第—腔室、第二腔室以及第三 帛中’賴托盤τ中的封裝晶片被加熱至極高或 極低的溫度。 ^ 至52中，測试器完成測試於被加熱至極高溫度或者被 φ =錄低溫度之封裝W之上。提供試器之測試板如位於 弟一腔至之後部的垂直位置。測試板⑹包含複數個承口。一個封 裝晶片插入一個承口。 J a推動早凡55被提供至第二腔室U。推動單元55向測試板方 '°推動暮T ’以分舰插人封裝晶片至測試板之承口中。 推動單元％可被前後移動’從而推拉測試托盤τ。 第三腔官 測°式的封裝晶片被冷卻或加熱至室溫。當第 腔至和第—腔室之間被提供第二腔室時，可以提供第一托盤傳 1342400 送裝置61。 第托盤傳达裝置61將測試托盤丁從第一腔室 # -腔室52’然後從第二腔室52傳送至第三腔室54。第—腔^弟 室第：室：碟腔室54彼此之間的排列沒有限制。“ 序或者伊Γ腔^ % ^*三腔室％可贿照行_或依照_ 序或者依照行和列的順序排列。 、 拾取器7G在交換場地3Q之間前後移動，載人平台川和載出 盤^。2〇從測試托盤上拾取封裝晶片或者放置封裝晶片於測試托 七取。。70包含·第—載人拾取器71;在操作裝置的前部上移 動的第1出拾取器72 ;以及，在交換場地3G和載人緩衝器Μ 載出緩衝為42之上移動的第二載入拾取器73以及第二載出拾 取盗74。 ，第一載入拾取器7ί沿X軸和γ軸方向在载入平台】〇和載入 緩衝益41之間移動’從而拾取、傳送以及放置封裝晶片。第一載 出拾取器72沿Χ軸和Υ軸方向在載出平台20和載出緩衝器42 之間移動’從而拾取、傳送以及放置封裝晶片。第二載入拾取器 ,以及第二載出拾取器74沿X軸方向在載入緩衝器41和載出緩 衝益42與交換場地％之間移動，從而拾取、傳送以及放置封裝 晶片。 依‘日、?、本發明實施例’錢場地t提伽彳試托盤旋轉裝置 9 1342400 100。當測試托盤T相地固定之後，測試托盤旋轉裝置】n 軸方向在既定距離内傳送測試托盤τ。此時，待測 /σ γ 從載入緩衝器41被載入測試托盤Τ上，經過測試的封裝曰曰片 試托盤Τ被卸載至載出緩衝器42上。 曰曰片彳之測 測試托盤旋轉裝置100旋轉此水平放置 κ列蜮托盤Τ 90卢，

在第二托盤傳送裝置62傳送垂直放置的測試牦盤丁之前彳〜& 平放置之賴域Τ處於垂餘置。第二托盤傳送^

直放置的職托盤制試單元5G至測試托_轉裝置1⑽二 後’測試托盤旋轉裝置旋轉此垂直放置的測試托盤W度，在= 試托盤T被傳送回交換場&3〇之前使其處於水平位置。 、J 如弟2圖」以及「第3圖」所示，測試托盤旋轉裝置⑽ 包含基本框架110、支撐板12〇、第一第一引導器13〇、一對第二 引導器140、線性促動n 15〇以及旋轉促動器]6〇。 — 基本框架U0和測試托盤τ 一樣是矩形，但是限制於矩形形 狀。線性促動器150被提供至基本框架u〇。 基本框架1H)從上表面到下表面包含一個大開口。從而減少 了應用至旋轉促動器16G之負載。因此，旋轉促動器i6G可旋轉 更輕的基本框架ii〇。 请測單元和載人/載出單驗於開σ所產生的空間。僧測單 兀用於偵測封裝晶>}是否恰當地置於順托盤中。載人/載出單 兀用於載人封裝aaa >{至職減之上以及制試滅上載出封裝 丄342400

支樓板120用於支撐測試托盤τ。支撐板i2〇位於基本框架 110之上。支樓板120和測試托盤τ —樣係為矩形。支撐板. 的形狀隨著測試托盤τ的形狀而變化。 和基本框架110 i，支撐板12G從上表面到下表面包含一 個大開口。從而減少應用至旋轉促動器，16〇之負載。因此，旋轉

^動、器160可旋轉更輕的支稽板12〇。旋轉促動器16〇旋轉基本框 架11〇和支樓板120。支撐板120連接於基本框架11〇，而一對第 —引導器130和一對第二引導器14〇位於兩者之間。 用於支撐測試托盤T之支碰12〇可透過雜促動器15〇沿 一個方向滑動。例如，如「第！圖」所示，支撐板12Q可沿χ轴 方向滑動。現在為了便於解釋，描述在γ軸方向前後滑動之支撐 板 120 〇 % 支撐托架丨21被提供至支撐板120’以支撐垂直放置或水平放 置之測試托盤Τ。 支撐托架121位於一個支樓板120之上表面之前端和後端部 - h，且處於與支樓板12〇的方向垂直的方向。支撐托架121支擇 . 垂直放置的測試托盤T，垂直放置的測試托盤τ透過第二托盤傳 送裝置62在支撐板120之間傳送。支撐托架121的兩端部份縱向 曾曲以覆蓋測試托盤T的兩側，從而支撐測試托盤T。 第一引導器130和第二引導器140協力引導線性促動器15〇 1342400 所產生的支《 12G之滑動。至少兩㈣一引導關隔著彼此排 列於支撐板120之下。 ' *支樓板12Q包含從上表面至下表面之開口時，第一引導器 .130可刀別地被提供至支擇板120之下表面之兩端。第一引導器 130和支撐板12〇被形成作為一個整體。第一引導器⑽透過緊固 件連接於支撐板120。 第-引導器130沿支樓板12〇滑動。如「第3圖」所示，第 二引導器13G的長度等於或大於支#板12()之長度較佳。從而使 仔支樓板120可滑動到距離基本框架11〇最遠並且第二引導器_ 比第一引導器13〇短。 °° 第二引導器140的長度比第一引導器13〇短的情況下，即使 支樓板120之長度由於測試托盤τ白勺尺寸增加 框架no的長度可铺不變。 基本 • 舉一個比較的例子，第二引導器⑽的長度比第-引導器⑽ 長的情況下’當支撐板120的長度變長時，基本购⑽的長度 需要更長以允許支撐板〗20滑動。 — - 總之，倾本發明實補’與以上的味實例她較，即使 由於大尺寸測試托盤丁的尺寸增加而導致支標板12〇的尺寸變 長’也可能減少基本框架110之尺寸。因此，與以上的比較實例 相比較’可能減少基本框架110之重量，從而減少旋轉促動器16〇 旋轉基本框架110之驅動力。 1342400 對第二引導器140被提供至基本框架110之上表面之上， 以分別與此對第-引導器130對應。此對第二引導器140被提供 以分別地相對此對第一引導器130而滑動。 第—引導140在支撐板120的滑動方向包含連接凹槽14卜 产第-引導器130插人連接凹槽⑷中。因此，第—引導器13〇和 第一引導器· 140彼此喷合。第—引導器、】3〇而並非第二引導器 140，也可能包含連接凹槽14卜 第一引導益140比第-引導器13〇短。然而，第二引導器⑽ —的長度可使得第二引導器140可穩定地支撐支撐板12〇。 就是說，支樓板12G的長度必敎夠長，從而即使當支樓板 120滑到距離基本框架11(^遠時，第—引導器13()和第二料器 140仍然保持嚙合。 第二引導器140和基本框架】1〇可以形成一個整體。第二引 導态14〇可以透過緊固件被固定至基本框架110。 如「第4圖」所示，線性促動器15G相對於基本框架⑽滑 動支撐板120。 線性促動器150包含馬達151以及運動轉換單元152。馬達 ⑸被提供至基本框架110，能夠產生順時針或者逆時針的旋轉運 動。運動轉鮮元152難_勒為雜縣並戏供此線性 運動至支魏120。m此，支撐板I2G可如「第5圖」所示而滑動。 運動轉換單元丨52包含滑輪15如至153f、滑動帶〗％至15和 13 1342400 以及連接杆155a和155b。 第一滑輪153a和第二滑輪153b被提供至基本框架11〇之一 側，而第三滑輪153c和第四滑輪153d被提供至基本框架11〇之 另一側。 第一滑動帶154a連接第一滑輪153a和第二滑輪丨53b。第二 /月動*Jr 154b連接弟二滑輪i53c和第四滑輪153d。移動塊156a和 156b分別地被固定至第—滑動帶15知和第二滑動帶15牝。第一 移動塊156a和第二移動塊佩分別地被固定至支撐板12〇兩側。 第一連接杆155a連接第一滑輪153a和第三滑輪15孔。因此， 第-滑輪153&和第三滑輪153e同時補。第二連接杆⑽連接 第二滑輪1531)和第四滑輪153d。因此，第二滑輪153b和第四滑 輪153d同時旋轉。第五滑輪153e位於第二連接杆⑽的中間。 口此第五^輪153e隨著第二連接杆155b的旋轉而旋轉。第六 滑輪153f被提供至馬達151之旋轉軸。第三滑動帶队連接第六 滑輪153f和第五滑輪i53e。 現在描述運動轉換單元152之作業。馬達旋轉此旋轉轴。旋 轉軸的旋轉則伴隨著第六滑輪而之旋轉。第六滑輪咖之旋轉 則伴隨著第三滑動帶154c之旋轉。第三滑動帶15如之旋轉則伴 隨著第五滑輪153e之旋轉。第五滑輪153e之旋轉則伴隨著第二 連接杆155b的旋轉。第二連胁155b的旋轉則伴隨著第二滑輪 咖和第四滑輪153d之旋轉。第二滑輪⑽和第四滑輪哪 14 1342400 之旋轉則伴隨著第一滑動帶154a和苐二滑動帶154b之旋轉。第 滑動帶154a和第二滑動帶154b之旋轉則伴隨著第一滑輪i53a 和第三滑輪153c之旋轉。 虽滑輪153a、滑輪153b、滑輪153c以及滑輪153d旋轉時， 第:滑動帶154a和第二滑動帶】54b沿直線移動既定距離。此時， 固定至第-滑動帶154a和第二滑動帶⑽之第—移動塊】施和 第-移動塊156b分別地沿直線移動既定距離。因此，如「第5圖」 所不’固定至第-移動塊156a和第二義塊⑽之支撐板⑽ 可滑動。 如「第6圖」所示，旋轉促動器⑽旋轉支撐板⑽所支樓 的^式托盤τ。此時，支额12G倾於基本框架中，而益須 仗土本框架⑽中滑動出來。從而保持支_ 的旋轉半徑最小。 土桃术110 :ΓΓ°被設定以在90度範圍内順時針或逆時針旋轉 職盤了。舉例說明，旋轉促動器16 之後：，_時針或逆時針旋_之基r 軸161轉換旋轉促動器16〇 旋轉運動。因此，基本框架可被 動=時針或逆時針之 器130和第二弓丨導@ 14() ' ^ τ針旋轉。第-引導 托盤。:二=支標板120所支㈣試 軸⑹。 讀縣獅独傳錢置被傳送至 1342400 運動傳送裝置包含至少—對滑輪l63a和163b以及滑動帶 164 〇 雖然本發明以前述之較佳實施例揭露如上，然其並非用以限 疋本發明。本領域之技術人員應當意識到在不脫離本發明所附之 申。月專利圍所赫之本發明之精神和範圍的情況下，所作之更 動與潤飾，均屬本發明之專利保護範L關於本發明 之保護範圍請參照所附之申請專利範圍。 |弋 【圖式簡單說明】 第1圖所示為本發明實施例之裳配有測試托 作裝置之簡化配置圖； 盤旋轉裝薏 ^桑 第2圖所㈣本發明實施例之職域旋轉裝置 第3圖所示為第2圖所示之測試托盤旋轉裝置之分解^; 弟4圖所示為第2圖所示之測試托盤旋 ，；

透視圖； 罝之下層部件之 盤旋轉震置滑動，托舞 第5圖所示為弟2圖所示之測試托 之透視圖；以及 盤旋轉裝置旋轉測 弟6圖所示為第2圖所示之測試托 之透視圖。 【主要元件符號說明】 載入平台 載出平台 1342400 30 交換場地 41 載入緩衝器 42 載出緩衝器 50 測試單元 51 第一腔室 52 第二腔室 54 第三腔室 55 推動單元 61 第一托盤傳送裝置 62 第二托盤傳送裝置 70 拾取器 71 第一載入拾取器 72 第一載出拾取器 73 第二載入拾取器 74 第二載出拾取器 80 測試板 100 測試托盤旋轉裝置 T 測試托盤 110 基本框架 120 支樓板 121 支撐托架 17 1342400

130 第一引導器 140 第二引導器 141 連接凹槽 150 線性促動器 151 馬達 152 運動轉換單元 153a 、 153b 、 153c 、153d 、 153e 、 154a、154b、154c 滑動帶 155a、155b 連接杆 156a ' 156b 移動塊 160 旋轉促動器 161 轴 162 馬達 163a、163b、164b 滑輪 164 滑動帶 滑輪 18

Claims (1)

1342400 十、申請專利範圍： I. -種測試托盤之旋轉裝置，-操作裝置中以操作用於一測 試之一封裝晶片，該測試托盤之旋轉裝置包含有： 一基本框架，可透過一旋轉促動器而旋轉； 一支樓板’祕支#_試托盤’可透過—雜促動器而 沿一既定方向滑動； 一對第一5丨導器，位於該支擒板之-下表面之上，可沿該 支樓板向該既定方向滑動；以及 -對第二料|| ’位於該基本框架之—上表面之上，可相 對該對該第一引導器而滑動。 2.如申請專利範圍第〗項所述之測試托盤之旋轉裝置，其中該第 —引導益的各自長度短於該第一引導器。 如申°月專利範圍第2項所述之測試托盤之旋轉裝置，其中該第 引導器的各自長度等於或大於該支撐板之長度。 申叫專利範圍第丨項所述之測試托盤之旋轉裝置，1 性促動哭句人.w , ’、〜線 轉·、°° 3 . 一馬達，該馬達之一旋轉軸順時針及逆時針旋 乂及一馬達轉換單元，用於轉換該馬達所產生的該旋轉軸 $之&轉運動為該切板之線性運動，從而滑動該支撐板。 申明專利範圍第丨項所述之測試托盤之旋轉裝置，其中 轉促動写^ 一 /、 °/万疋 。—90度範圍内旋轉該基本框架，從而在一 9〇疮a 圍内_夺針或逆時針旋轉該測試托盤。 减 19