TWI252053B

TWI252053B - Active matrix type organic EL display, and manufacturing method and device thereof, and liquid crystal array and manufacturing method thereof, and manufacturing method and device of color filter substrate, and color filter device

Info

Publication number: TWI252053B
Application number: TW092126386A
Authority: TW
Inventors: Toshio Tahira; Yasuo Nishi; Kazuhiro Murata; Hiroshi Yokoyama
Original assignee: Sharp Kk; Konica Minolta Holdings Inc; Nat Inst Of Advanced Ind Scien
Priority date: 2002-09-24
Filing date: 2003-09-24
Publication date: 2006-03-21
Also published as: EP1553809B1; AU2003268655A8; KR20050062559A; US20060125363A1; US8932666B2; EP1553809A4; AU2003268655A1; JPWO2004030417A1; EP1553809A1; TW200410591A; WO2004030417A1; JP4225425B2; KR100710760B1

Description

1252053 玖、發明說明：【發明所屬之技術領域】 =發月係關於—種具備發光層之有機電致發光層之主動 =型有機《發光顯示器之製造方法及其裝置，·主動矩 If有機電致發光顯示器，·使用於液晶彩色電視、個人電 &等<液时陣狀製造方法，且利用噴墨法形成設於一對 p基：間〈間隔物之液晶陣列之製造方法及液晶陣列；採用、：、方式《如办色液晶顯示裝置等之彩色滤光器基板之製造万法及其裝置’·及彩色濾、光器基板。【先前技術】，年來’ p遺高度資訊化，迫切需求之體積薄、耗電低、重里輕〈顯示元件中，低電壓驅動、高照度之有機電致發光顯示 ^深受ϋ目。特別是藉由近年來之研究開發，使用有機（向分子）系材料之有機電致發光元件之發光效率顯著提高，而促進有機電致發光顯示器之實用化。、以電極夾著含螢光性有機分子之固體薄膜，於施加電荷時自陽極 >王人電洞，自陰極注人電子，此等載子藉由施加％場，在薄膜中移動而再結合。該再結合時所釋放之能因形成螢光分子之單純激勵狀態（分子激勵子）而消耗，利用隨著對該單純激勵子之基底狀態之緩和而釋放之螢光之元件’即為有機電致發光元件。另外先色#員示器有時以RGB為1組之方式，集合數個於光邵稱為1個像素，不過本說明書中係將各個發光部分別稱為1個像素。 88222.doc 1252053 以下說明先丽之主動矩陣型有機電致發光顯示器（有機電致發光顯π斋）。圖36係顯示先前之有機電致發光元件之 Η固像素構造之縱剖面圖。如該圖所示，有機電致發光元件至少具備：基板301、設於基板3〇1上之第一電極3〇2、有機電致發光層303及第二電極3〇4。於有機電致發光層303與第二電極3〇4之側緣部宜設有隔壁305。此外，從對比之觀點而言，在與基板3〇1中之第一電極302側相反側之面上宜設有偏光板3〇7。此外，從可靠性足觀點而1：，第二電極3〇4上宜設有密封膜或密封基板 306 ° 此時，有機電致發光層303可為有機發光層之單層構造，或亦可為電荷輸送層（電子輸送層或電洞輸送層）與有機發光層之多層構造。先前製造有機電致發光顯示器時之有機電致發光層之形成方法，熟知有光阻法。使用該光阻法時，係藉由光蝕刻及蝕刻，在玻璃基板上形成包含氧化金屬等之黑矩陣（以下稱ΒΜ)後，在整個上述玻璃基板上，#由自旋器塗敷使特足色之顏料分散之感光性樹脂，並使其乾燥後，將該感光性樹脂予以曝光、顯像，而獲得特定色之色像素圖案。將該步驟重複3次，亦即就R，G，Β (紅、綠、藍）3色重複3 次’而形成有機電致發光圖案。，但疋，上述方法存在先形成之有機電致發光層在爾後形成之有機電致發光層之光蝕刻步驟中容易破損的缺點。此外，即使在不需要的位置亦須塗敷有機電致發光材料，導 88222.doc 1252053 =該部分之材料費增加。再者，光㈣步驟之生產設備價 °叩貴，並且無法彈性地對應於設計變更等，而不符生產成本。 ’十、ΐ此日本么開專利公報「特開平1〇七爪號公報」（公 ^曰』· 1998年1月ι6日）中提出—種藉由嘴墨法將發光層 :、圖木化之H其中揭不有：僅於玻璃基板上之特定、置Ρ刷RGBH，來形成色像素圖案之有機電致發光層之製造方法。噴墨法可同時形成RGB之三原色層，可避免因重複光钮刻步驟而破壞有機電致發光元件，可縮短生產時間。此外、’由於僅於色像素位置噴上墨，因此顏料使用量比光独刻去少’可大幅降低材料費。再者，無須複雜之曝光、顯像步驟，且不需要顯像裝置，所以可降低製造成本^匕外，可在常溫、常壓下進行作業，可期待生產性之提高效果及簡化生產設備。然而，採用先前噴墨法之有機電致發光層之製作方法存在以下所述之問題。亦即’先岫之噴墨法並未充分檢討使自噴嘴所排出之液滴乾燥之過程，液滴噴灑至基板後並未立即乾燥。因此，為求獲得所需層厚之有機電致發光層，基板上乾燥前之液滴里較多。導致需要長時間乾燥，乾燥前液滴在基板上移動，因而有機電致發光層之形成精密度降低。為求解決該問題，首先，考慮於基板上面形成親液區域與拒液區域，來約束液滴噴灑後之位置之方法。以下，藉 88222.doc 1252053 由圖37(a)〜圖37(c)說明形成親液區域及拒液區域時之有機電致發光層之形成方法。首先，於基板311之整個表面實施親液處理。而後，藉由光蝕刻步驟製作1個像素尺寸如為丨2 〇 μ m χ丨〇〇 μ m，相鄰之像素間之線I如為1 〇之拒液區域3 13。藉此，如圖37(a) 所示，可區分親液區域312與拒液區域313。其次，向親液區域312排出墨之液滴314。噴灑於基板311 上之液滴314不擴散於拒液區域313内，而保持於親液區域 3 12内。而後，藉由液滴314之溶媒成分乾燥而形成有機電致發光層。但是，該方法具有以下的問題。如有機廷致發光層之所需厚度為〇 ·〇5 時，若墨體積濃度為0.1%，則一次喷灑之液滴尺寸為1〇5 μιη。於液滴314 噴灑於基板311側時，因其撞擊而擴大成液滴直徑之1.5倍。因而如圖37(b)所示，噴灑之液滴314之一部分越過形成像素區域外框之拒液區域3 13，而到達鄰近像素之親液區域3 i 2 。因而噴灑後之液滴314於乾燥前，液滴314一部分之墨移動至其他親液區域3 12内時，如圖37(c)所示，其墨並未回到原來之像素（原來之親液區域312)内，而形成分離。因而，為求避免此種問通’而考慮縮小一次噴灑之液滴直徑。如對於 (像素寬 100 μιη>+ (兩側外框 10 μηι X 2) = 120 μπι 以噴灑之後之液滴3 14(墨）之擴散進入親液區域312中之方式來決定液滴直徑時，自噴嘴排出之液滴3丨4之直徑為i 2〇 88222.doc -10- 1252053 、匕時以一次噴灑液滴314形成之有機電致發光層之厚度為〇·〇2 μιη，為所需厚度之—半以下。因而須將二次嗜灑以後〈硬滴314排出至相同之像素内。但是，由於第二次噴灑、後之液滴係噴灑於前次噴灑所形成之有機電致發光層上因此未形成親液處理，液滴未擴散成所需形狀，而產生不均。此外，於前次喷灑乾燥前即進行下次噴灑時，由於墨將擴散至鄰近像素之親液區域312,因此，須待前次噴灑之液滴314乾燥後，始排出下次之液滴，致使生產性差。此外，為求形成親液區域與拒液區域，須進行光蝕刻步騾，而播法有效產生簡化生產設備之噴墨裝置之優點。再者，為求解決此種問題，考慮採用於像素周園形成隔壁，來阻擋墨擴散之方法。以下藉由圖38及圖39說明藉由此種方法形成有機電致發光層之方法。於有機電致發光顯示器之基板311上，為使像素之對比清晰，而形成黑矩陣（以下稱ΒΜ)。因而提出將該8撾作為隔壁，來阻擋含有機電致發光材料之液滴314之擴散（圖38(a))。但是，使用上述隔壁315之方法，如圖38(b)所示，於乾燥後形成之有機電致發光層3 16之厚度上產生不均一。此時，有機電致發光層316之中央部薄，沿著隔壁315之部分厚。由於此種厚度不均一嚴重影響有機電致發光之發色特性，因此須予以避免。因而提出一種在隔壁3丨5上實施拒液處理，以避免墨附著於隔壁315之方法。但是，該方法仍未能消除中央部之凹陷。 88222.doc -11- 1252053 再者，使用隔壁315之方法亦存在以下之問題。將有機電致發光層形成所需厚度時，須將（1個像素之面積X厚度）邵分之體積之有機電致發光材料溶解於液滴3 Μ 中。一種例子係有機電致發光顯示器之每1個像素之基板 311尺寸係顯示區域為12〇 μιηχ 1〇〇 μηι，厚度為〇〇5 。欲將其以一次噴灑之液滴形成時，若有機電致發光材料之體積濃度為0.1%時，液滴直徑則為1〇5 μιη。因而須使BM (隔壁315)之问度形成有機電致發光層之厚度之1〇〇〇倍。此不但造成BM材料之浪費，且影響整個有機電致發光顯示裝置之設計。另外，使BM之高度與有機電致發光層之高度相同之狀態下，僅縮小液滴直徑並不能解決上述問題。首先如圖39(勾所示’縮小液滴至不致自隔壁3丨5溢出之程度時，須使一次噴灑之大小縮小至1〇 μιη。但是，液滴直徑變小時，採用先 W <噴墨方式，於飛濺中承受空氣阻力之影響大，飛濺速度降低，噴灑精確度惡化。此外，如圖39(b)所示，隨著前 /人噴灑之液滴314之溶質部分（前次噴灑固化部分317)堆疊於隔壁315内之底部，隔壁315内之非填充部分之體積減少，導致爾後噴灑之液滴自隔壁315溢出。為求消除該問題，考慮於最後一次噴灑時，將之前噴灑之液滴之溶媒成分蒸發之方式，儘量增大排出間隔，來提南液滴314之濃度。但是，提高液滴濃度時，墨黏度變大，存在無法以先前之噴墨方式排出等問題。此外為求形成bm ，眉進行光蝕刻步驟，而無法有效產生簡化生產設備之喷 88222.doc -12· 1252053 墨方式之優點。此外，如藉由如下之製造方法來製造液晶陣列。首先，在一對透明玻璃基板之一方形成灯丁（薄膜電晶體）等液晶驅動用兀件，進一步形成透明電極及配向膜，並塗敷間隔物。其次，使該一方之基板與形成著色之彩色濾光器、透明電極及配向膜之另一方基板貼合。而後，在兩基板之以上述間隔物所形成之間隙内注入液晶加以密封。此種製造方法中，上述間隔物之由通常約數卜㈤之二氧化矽及塑膠等構成之球狀粒子散佈。 ;二而此種製^方法之間隔物亦配置於液晶陣列之開口邵（控制光透過或反射之區域），此外間隔物之配置數量及位置上產生不均一及偏差。因而導致因開口率降低造成顯示品質降低，或是顯示不均一。 Q而k出一種以降低開口率之方式，在彩色濾光器基板《黑矩陣(BM)上，使用噴墨裝置配置、形成間隔物。如日本公開專利公報「特開平5_281562號公報」（公開日期1993年1G月29日）中提及：以加熱器將混人間隔物材料之欣晶予以加熱，同時以攪拌機攪拌，藉由具有口直徑為6〇 μπι之排出口之噴墨裝置，滴在液晶用基板之方法。該方法可藉由加熱使液晶黏度降低，並藉由噴墨排出。因而於滴下液晶時，間隔物材料均一地分散。此外，於日本公開專利公報「特開2〇〇1_42338號公報」（公開曰期顧年2月16日）中揭示有：方之基板上，將: 物形成素材作為墨，藉由噴墨方式塗敷，描繪間隔物圖 88222.doc -13- 1252053 案並使其硬化，而形成間隔物之方法。之使用先前之噴墨裝置之間隔物形成方法具有如下並=τ塗敷間隔物形成素材，來描繪間隔物圖案 =其硬化時，若提高間隔物形成素材之濃度，則其黏：噴泡沐方式及使用壓電方式之—般嘴墨方式，可排出者之黏度通常為約2〜2〇批小’而無法排出其以上之黏度者。、此外’雖提出-種料嘴附近加熱以降低排出之墨黏度《万法，但是該方法使用硬化性樹脂作為間隔物材科時二間隔物形成素材在噴嘴内硬化，可能造成噴嘴堵塞。另外，不將噴嘴附近加熱，而欲排出間隔物形成素材，則須增加間隔物形成素材之溶媒量，以降低其黏性。此種情況下，間隔物形成素材之濃度降低。如先前例中，間隔物形成素材之组成係共聚物為1〇重量％，水為8〇重量％，乙二醇為10重量％，乾燥後體積成為數分之一。因而，為求獲得特定厚度之間隔物，須擴大排出之液滴直徑。此時，所形成之間隔物之形狀如為厚度為5 μηι，直徑為50 μηι之扁平形狀。因而無法解決因存在間隔物造成開口率降低之問題。此外，因濃度低，所以需要在1 〇〇它燒成 15分鐘後，再以200°C燒成30分鐘，而導致需要長時間形成間隔物之問題。再者，自基板噴灑墨起至溶媒乾燥為止，含間隔物材料之液滴移動，而無法在所需位置形成間隔物。 88222.doc -14- 1252053 就該問題，此處特別考慮為避免開口率降低，而在8皿上形成間隔物。一種例子考慮對BM寬度為10μιη，所需之間隔物厚度為5 μιπ，可使間隔物形成素材（墨）之濃度提高至5〇%。於βμ表面實施拒液處理，假設液滴喷灑後不擴散，以約液滴直徑之1 · 5倍之直徑的面積保持。此時，液滴可增大至φ6·7μιη之大小。但是，溶媒成分乾燥後保留之間隔物材料之厚度成為丨μΓη，未達到目標厚度。因而必須重複進行來堆疊間隔物材料。此時，若未在前次噴灑之液滴之溶媒成分完全乾燥後。才排出下一次液滴，則液滴將擴散。如此，連續排出間隔（排出動作之時間間隔）變長，作業效率惡化。因而須使用更高濃度之間隔物形成素材（墨），而需要可排出此種高濃度之間隔物形成素材（墨）之液滴之構造。針對此種問題，日本公開專利公報「特開2〇〇〇=刪磁公報」（公開日期2_年9月12日）中揭示有如下之技術。亦即，顯示有一種高黏度物質用分配器之排出方法，其特徵為.於下邵具有5〇pm〜lmm直徑之圓形或多角形之孔，於填充有1〇〇 CPs〜1，000,000 cps之高黏度物質之容器之一部分或整體上配置電極，在使高黏度物質之·f月面自前述^ 出而形成的狀態下，藉由^前述電極上施加電恩，吸出高黏度物負，分離切斷其一部分，而附著於媒體上。該技術係利用藉由施加電壓，f月面自㈣形成圓錐狀。此時，脈衝振幅愈大，彎月面之圓錐形成愈高，因此彎 88222.doc -15- 1252053 月面頂⑽側〈接觸於基板之體積變大，可擴大液滴（Dot)直徑。 '疋上述先珂之方法，於所需之液滴直徑小時，須控成弓月面圓錐之頂端部接觸於基板側。特別是堆疊間隔物/成素材（墨）來形成間隔物之情況下，隨堆叠間隔物，噴嘴與記錄側構件夕诉齡衫再千艾距離.交小。因而液滴直徑之控制非常口難此外’欲使墨之塗敷量穩定之情況下，並非圓錐彎月面’而係至中央附近均與基板碰撞之方式擴大脈衝。因而液滴直徑至少仍在噴嘴直徑之1/2以上。奴在此種狀怨下縮小液滴直徑時，需要縮小噴嘴直徑。但是，此種情況下，同時須縮短噴嘴—基板間之距離。結果因基板厚度不均一及起伏等對喷嘴—基板間距離之誤差影響變大，穩定排出困難。此外，近年來，隨高度資訊化，迫切要求之體積薄、耗電低、重量輕之顯示元件中’低電壓驅動、高照度之液晶顯示器趨於實用化。其中，彩色液晶顯示器係藉由連接於TF 丁之透明電極（IT〇膜）控制液晶之排列，來控制自背照光發出之光之通過量。該彩色液晶顯示器係藉由光通過彩色濾光器而發色。另外，彩色顯示器有時將尺(5；8為1組之方式，將集合數個彩色滤光杏部稱為1個像素，不過，此處係將各個彩色滤光器部稱為1個像素。先前一種製造彩色濾光器基板之方法，熟知有自旋塗敷法。該自旋塗敷法係藉由光蝕刻及蝕刻，在破璃基板上形 88222.doc -16- 1252053 成包含絡等金屬之黑矩陣（以下稱BM)後，在整個上述玻璃基板上，藉由自旋器塗敷使特定色之顏料分散之感光性樹脂:並使其乾燥後，將該感光性樹脂予以曝光、顯像，而獲件特足色之色像素圖案。將該步驟重複3次，亦即就r， B (紅·’彔、監）义二色重複，而形成彩色濾光器圖案。疋上述方法即使在不需要之位置亦須塗敷彩色滤光 =材料，導致材料費增加。再者，光#刻步驟之生產設備價格昂貴’並且無法彈性地對應於設計變更等，而不符生產成本。針對此，日本公開專利公報「特開昭59_752q5號公報」（公月1984年4月27日)中提出一種藉由噴墨法將彩色濾光：予以圖案化之方法。其技術係關於僅於玻璃基板上之特疋位置印刷RGB之墨，而形成色像素圖案之彩色滤光器基板之製造方法。上逑T墨法可同時形成RGB三原色之各層，可縮短生產 :間。此外，由於僅於色像素位置噴上墨，因此顏料使用量比上述自旋塗敷法少，可大幅降低材料費。再者，無須複雜之曝光、顯像步驟，且不需要顯像裝置，所以可降低製造成本。此外，可在常溫、常壓下進行作業，可期待生產性之提高效果及簡化生產設備。 ’ 此外，上述之特開昭59_752〇5號公報之方法，係以浸潤性差之物質，在形成防擴散圖案之基板上，以噴墨方式塗敷含顏料之墨，而形成彩色滤光器。、土万，空然而，採用先前噴墨法之彩色濾光器之製作方法存在以 88222.doc -17- 1252053 下所述之問題。亦即，先前之喷墨法並未充分檢討使自噴嘴所排出之液滴乾燥之過程，液滴噴灑至基板後並未立即乾燥。因此，為求獲得所需層厚之彩色濾光器層，基板上乾燥前之液滴量較多。導致需要長時間乾燥，乾燥前液滴在基板上移動 ’因而彩色濾光器之形成精密度降低。為求解決該問題，首先，考慮於基板上面形成親液區域與拒液區域，來約束液滴噴灑後之位置之方法。以下，藉由前述圖37(a)〜圖37(c)說明形成親液區域及拒液區域時之彩色滤光器之形成方法。首先，於基板311之整個表面實施親液處理。而後，藉由光蝕刻步騾製作丨個像素尺寸如為3〇〇μηιΧ1〇〇μιη，相^之像素間之線寬如為10 μιη之拒液區域313。藉此，如圖”⑷ 所示，可區分親液區域312與拒液區域313。其次，向親液區域312排出墨之液滴314。噴丨麗#芙上之液她擴散於拒液區域⑽，而保持= 312内。而後，藉由液滴314之溶媒成分乾燥而形成彩色濾光器層。但是，該方法具有以下的問題。如办色滤光為層之所需厚度為丨μπι時，若墨體積濃度為 5%，則一次喷灑之液滴尺寸為1〇5μιη。於液滴314噴灑於基板時’因其撞擊而擴大成液滴直徑之15倍。因而如圖 37(b)所示，噴麗之液滴314之—部分越過形成像素區域外框之拒液區域313 ’而到達鄰近像素之親液區域312。因而噴 88222.doc -18- 1252053 灌後之液滴3 14於乾燥前，液滴3 14 —部分之墨移動至其他親液區域312内時，如圖37(c)所示，其墨並未回到原來之像素（原來之親液區域312)内，而形成分離。因而’為求避免此種問題，而考慮縮小一次噴灑之液滴直徑。如對於 (像素寬 100 μιη) + (兩側外框 10 pm X 2) = 120 μιη 以噴灑之後之液滴314 (墨）之擴散進入親液區域312中之方式來決定液滴直徑時，自噴嘴排出之液滴314之直徑為12〇 + 1 ·5 = 80 μπι。此時，以一次噴灑液滴314形成之彩色濾光器層之厚度為〇·45 μιη，為所需厚度之一半以下。因而須將二次噴灑以後之液滴314排出至相同之像素内。但是，由於第二次喷灑以後之液滴係噴灑於前次噴灑所形成之彩色濾光器層上，因此未形成親液處理，液滴未擴散成所需形狀，而產生不均一。此外，於前次噴灑乾燥前即進行下次噴灑時，由於墨將擴散至鄰近像素之親液區域，因此，須待前次噴灑之液滴121乾燥後，始排出下次之液滴，致使生產性差。此外，為求形成親液區域與拒液區域，須進行光蝕刻步驟，而無法有效產生簡化生產設備之喷墨裝置之優點。再者，為求解決此種問題，考慮採用於像素周圍形成隔壁，來阻擋墨擴散之方法。以下藉由圖38及圖外說明藉由此種方法形成彩色濾光器層之方法。於液晶元件之彩色濾光器之基板丨上，為使像素之對比清晰，而形成黑矩陣（以下稱ΒΜ)。因而提出將該3%作為隔壁 88222.doc -19- 1252053 315 ’來阻擋含彩色濾光器材料之液滴314之擴散（圖38(a))。但疋，使用上述隔壁315之方法，如圖38(b)所示，於乾燥後形成之彩色濾光器層316之厚度上產生不均—。此時，彩色濾光器層316之中央部薄，沿著隔壁315之部分厚。由於此種居度不均嚴重影響彩色滤光器層3 16之發色特性，因此須予以避免。因而提出一種在隔壁315上實施拒液處理，以避免墨附著於隔壁315之方法。但是，該方法仍未能消除中央部之凹陷。再者，使用隔壁3 15之方法亦存在以下之問題。將彩色濾光器層形成所需厚度時，須將（1個像素之面積 X厚度）部分之體積之彩色濾光器材料溶解於液滴314中。一種例子係彩色濾光器基板311之彩色濾光器層之每丨個像素之尺寸係顯示區域為300 μιηΧ1〇〇 μηι，厚度為i pm。欲將其以一次噴灑之液滴形成時，若彩色濾光器材料之體積濃度為5%時，液滴直徑則為1〇5 μιη。因而須使βμ (隔壁μ) 之高度形成彩色濾、光器層之厚度之2〇倍。此不但造成腿材料之浪費’且影響整個液晶元件之設計。另外’使ΒΜ之高度與彩色濾4器層之高度相同之狀態下 :僅縮小液滴直徑並不能解決上述問題。首先如圖％⑷所示，縮小液滴至不致自隔壁315溢出之程度時，須使一次噴灑之大小縮小至20，。但是，液滴直徑變小時，㈣先前之嘴墨方式，於飛濺中承受空氣阻力之影響大，飛㈣度降低，噴灑精確度惡化。此外，如圖39(b)所示，隨著前次噴灑之液滴314之溶質部分（前次噴灑固化部分31乃堆疊於 88222.doc -20 - 1252053 隔壁315内之底邵，隔壁315内之非填充部分之體積減少，導致爾後P貧灑之液滴自隔壁3 1 $溢出。

為求消除該問題，考慮於最後一次噴灑時，將之前噴灑之液滴之落媒成分蒸發之方式，儘量增大排出間隔，來提咼液滴314(濃度。但是，提高液滴濃度時，墨黏度變大，存在典法以先前之噴墨方式排出等問題。此外為求形成bM ，須進行光蝕刻步驟，而無法有效產生簡化生產設備之喷墨方式之優點。 (專利文獻1) 特開平HM2377號公報（公開日期1998年〇1月16日） (專利文獻2) 特開平8-238774號公報（公開日期1996年〇9月17日） (專利文獻3) 特開2〇〇(M2741〇號公報（公開日期2〇〇〇年〇5月〇5日） (專利文獻4) 特開平5-281562號公報（公開日期1993年1〇月29日） (專利文獻5) 特開2〇〇1-42338號公報（公開日期2〇〇1年〇2月16日） (專利文獻6) 特開2000-246887號公報（公開日期2000年09月12曰） (專利文獻7) 特開昭59-75205號公報（公開日期1984年〇4月27日）、Q此明之目的在提供一種藉由考慮喷濃後之液滴 (乾燥速度之構造，可於正確位置形成有機電致發光層， 88222.doc -21. 1252053 且產生噴墨万式之優點’無須特別設置像素區域周圍之隔壁、拒液區域及親液區域等，即可形成有機電致發光層之主動矩陣型有機電致發光顯示器之製造方法及主動㈣型有機電致發光顯示器。此外，本發明係在解決上述先前之問題者，其目的在提供一種藉由在各像素具有開口部之TFT基板或彩色濾光器基板等基板上，形成可對開口部與開口部之邊界部等，正確地塗敷、形成間隔物等之構造，不因存在間隔物而降低開口率，可輕易獲得所需厚度（高度）之間隔物之液晶陣列之製造方法及液晶陣列。再者，本發明之目的在提供一種藉由考慮噴灑後之液滴之乾燥速度之構造，可於正確位置形成彩色濾光器，且產生噴墨方式之優點，無須特別設置像素區域周圍之隔壁、拒液區域及親液區域等，即可形成彩色濾光器之彩色濾光器基板之製造方法及彩色濾光器基板。【發明内容】本專利發明人積極研究可控制自喷嘴排出之液滴喷灑後 ’於乾燥前液滴之移動量，正確且輕易地形成厚度厚之有機電致發光層之方法。其過程中，藉由組合含有機電致發光層材料之液體（墨）之液滴直徑與液體（墨）濃度等之參數，預測有於噴灑後瞬間液滴（墨）乾燥之區域。並發現在其條件下可排出之噴墨方式。因而，藉由以此種噴墨方式排出液滴，液滴噴灑後，液滴瞬間乾燥，可避免液滴擴散，藉由連續供給液滴來形成 88222.doc -22- 1252053 有機電致發光層。 ^發明之主動矩陣型有機電致發光顯示器之製造方法，係藉由噴墨方式，將含有機電致發光層材料之液體自喷嘴排出孔作為液滴排*，而形成有機電致發光層，其特徵為 :係使用前述排出孔直徑小於前述㈣直徑之靜電吸引型喷墨裝置，自該噴墨裝置之噴嘴排出㈣之量在ι pi以下之液滴。匕外本發明之主動矩陣型有機電致發光顯示器之製造裝置’係藉由魅方式，將含有機電致發光層材料之液體自喷嘴排出孔作為液滴排出，而形成有機電致發光層，其特徵為：係使用前述排出孔直徑小^前述液滴直徑之嘴嘴 ’藉由靜電吸引型噴墨方式，自前述噴嘴排出m之量在ipi 以下之液滴。採用上述構造’由於自噴嘴排出之液滴之i滴之量係在i pi以下，因此液滴噴灑於基板上之有機電致發光層形成區域後瞬間乾燥。因此液滴噴灑於基板上後不易移動，可在正確之位置形成有機電致發光層。這一點，在排出數個液滴，堆疊此等而形成具有所需厚度之丨個有機電致發光層時亦同，可避免爾後噴灑之液滴被前次噴灑之液滴影響而移動的情況。藉此，採用本發明之製造方法，可產生噴墨方式之優點 ’無須特別在有機電致發光層形成區域（像素區域）周圍形成隔壁及設置拒液區域及親液區域等，可輕易且低成本地形成有機電致發光層。 88222.doc -23- 1252053 此外，由於使用噴嘴之排出孔直徑小於液滴直徑之靜電吸引型噴墨裝置，因此可將產生靜電吸引用之電場而施力^ 之電壓抑制在低值，可排出i pl以下之微小液滴。此外，排出液滴時，電荷容易集中於液滴，液滴周圍之電場強度之變動小，因此可穩定排出。如此無須以高頻進行排出驅動，即可連續排出液滴，生產效率提高。另外，使喷嘴直徑在13 ,以下時，可使液滴量在i pi以下。此外，於製造有機電致發光顯示器時，因塗敷液滴後之有機電致發光層濃度須在特定值以上，所以，如本發明 =用微小液滴時，係對同—個有機電致發光層形成區域數次排出液滴。料型有機電致發域示器之製造方法，前述 u可使用體積濃度係自藉由重複噴灑於同一有機電致發光層形成區域之前述液滴成。】々风<瑩層數求出之值者而構由於排出之液滴小時，藉機電致發光層之厚；n 人貧嚴n筒而形成之有子度淳’因此為求獲得所需 w 數次喷灑之液滴構成之層。予之作業時門、、壳層數增加時，該部分 y研曰加。因而體積濃度係使用自藉由重;P噴、1 於同一個有機電致發光層形成區域之液滴开 4 出之值之液體戈…兩成之疊層數求時，若提h定η 調整液體之體積濃度。此此液滴之排出次數減少… 心層數即減少’因 .. 减乂可提高生產效率。本發明之主動矩陣兩土有機私致發光顯示器之製造 88222.doc -24- 1252053 万法，係藉由噴墨方式，將含有機電致發光層材科之液r 自喷嘴排出孔作為液滴排出，而形成有機電致發光層，：特徵為：係使用自噴嘴排出丨滴之量在丨ρι以下之液滴之靜電吸引型噴墨裝置，藉由重複噴灑於同一個有機電致發光層形成區域之前述液滴形成之疊層數為…液滴直徑與喷灑於有機包致發光層形成區域之㈣之嗜灑直徑之比求出之值^ /5,液滴直徑為D，形成之有機電致發光層之厚度為_ ’前述液體係使用體積濃度《)大致4y5xt/(axD)者。卜本發明之主動矩陣型有機電致發光顯示器之製造裝置’係藉由噴墨方式’將含有機電致發光層材料之液體自贺嘴排出孔作為液滴排出，而形成有機電致發光層，其特徵為：係藉由靜電吸引型噴墨方式，自前述噴嘴排出⑽ 之里在1 pi以下之七述液滴，並且藉由重複噴灑於同一個有機电致發光層形成區域之前述液滴形成之疊層數為“，液滴直徑與喷灑於有機電致發光層形成區域之液滴之喷灑直徑t比求出之值為Θ &滴直徑為D ’ $成之有機電致發光層之厚度為t時，前述液體係使用體積濃度^ (%)大致為^ t/( α X D)者。採用上述構造，由於自喷嘴排出之液滴之1滴之量係在1 pi以下，因此液滴噴灑於基板上之有機電致發光層形成區域後瞬間乾燥。因此液滴噴灑於基板上後不易移動，可在正確（位置形成有機電致發光層。這一點，在排出數個液滴’堆疊此等而形成具有所需厚度之1個有機電致發光層時亦同’可避免爾後噴灑之液滴被前次噴灑之液滴影響而移 88222.doc -25- 1252053 動的情況。藉此，採用本發明之製造方法，可產生嘴墨方式之優寶占，無須特別在有機電致發光層形成區域（像素區域）周園开^成隔壁及設置拒液區域及親液區域等，可輕易且低成本地二成有機電致發光層。％，此外，由於排出之液滴小時’ #由一次噴灑之液滴而形成之有機電致發光層之厚度薄，因此為求獲得所需厚度f 須堆疊數次喷灑之液滴構成之層。此時，，該部分之作業時間亦増加。因而藉由滿足二2式，高濃度地設定液體（墨）之體積濃度時，上述疊層數即減少，因此液滴之排出次數減少，可提高生產效率。另外，2 述大致之範圍考慮液滴量之偏差，如亦可在±1〇%。上述主動矩陣型有機電致發光顯示器之製造方法之靜電吸引型噴墨裝置亦可使用前述排出孔直徑小於前述液滴^ 徑者來構成。知用上述構造，可將產生靜電吸引用之電場而施加之電壓抑制在低值，可排出丨pi以下之微小液滴。此外，排出液滴時，電荷容易集中於液滴，液滴周圍之電場強度之變動小，因此可穩定排出。如此無須以高頻進行排出驅動，即可連續排出液滴，生產效率提高。上述王動矩陣型有機電致發光顯示器之製造方法之前述液體亦可使用黏度在20 cP以上者來構成。知用上述構造，藉由液體（墨）使用黏度在20 cP以上之高黏度之墨，數次噴灑之液滴構成之疊層數減少，因此液滴 88222.doc -26- I252053 之排出次數減少，可提高生產效率。上述主動矩陣型有機電致發光顯示器之製造方法中，前述有機電致發光層亦可構成含有機發光層。則、上述王動矩陣型有機電致發光顯示器之製造方法中，前述有機電致發光層亦可構成含電荷輸送層。則本發明之主動矩陣型有機電致發光顯示器，係藉由上述種主動矩陣型有機電致發光顯示器之製造方法所= 本發明之液晶陣列之製造方法，係在相對配置之—對基 =少一方具有開口部’於此等兩基板間設有形成液: 出間隙之間隔物，藉由噴墨方式自噴嘴之排出孔排 :隔物材料之液滴，並藉由使其硬化而形成前述間隔物 :特徵為：錢用前述排出孔直徑小於前述液滴直徑之 !貧^裝置，自孩賀墨裝置之噴嘴排出丨滴之量在 1 pi以下之液滴。另外’上述開口部係控制顯示部之光透過或反射之區域。二：上述構造:由於自噴嘴排出之液滴之1滴之量係在1 P 目此成滴噴灑於基板上之間隔物形成面後瞬間乾 :::硬斶噴灑於基板上後不易移動，可在正確之位置 :有二：,：這―點，在排出數個液滴，堆疊此等而形成被〜：厚度之1個間隔物時亦同，可避免爾後喷灑之液滴被::次噴源之液滴影響而移動的情況。，無須P夂::用：發明〈製造方法，可產生噴墨方式之優點牛“< 開口率’即可輕易且低成本地形成 88222.doc -27- 1252053 所需厚度之間隔物。此外，由於使用噴嘴之排出孔直徑小於液滴直徑之靜電吸引型嘴墨裝置’因此可將產生靜電吸引用之電場而施加《電壓抑制在低值，可排出丨邮下之微小液滴。此外，排出液滴時’電荷容易集中於液滴，液滴周圍之電場強度之交動小，因此可穩定排出。如此無須以高頻進行排出驅動 ’即可連續排出液滴，生產效率提高。另外，使噴嘴直徑在13_以下時，可使液滴量在^以下。此外，因間隔物之厚度須在特定值以上，所以，如本發明般使用微小液滴時，係對同一個間隔物形成位置數次排出液滴。 ^ 此外，本發明之液晶陣列之製造方法，係在相對配置之 -對基板之至少-方具有開口部，於此等兩基板間設有形成液晶填充用之間隙之間隔物，藉由噴墨方式自噴嘴之排出孔排出間隔物材料，並藉由使其硬化而形成前述間隔物，其特徵為：係使前述噴嘴之頂端部接觸於基板之間隔物形成面，在該狀態下，為使前述間隔物材料凝縮，而在設於噴嘴上之電極上施加電壓，維持該電壓施加狀態，同時自前述喷嘴連續地排出前述間隔物材料，並且分離前述喷嘴與前述基板之位置，於前述基板上形成柱狀之間隔物。採用上述構造，可產生噴墨方式之優點，不降低液晶陣列之開口率，即可輕易且低成本地形成所需厚度之間隔物。上述液晶陣列之製造方法，亦可構成前述噴嘴之排出孔直徑在8 μιη以下。藉此，可進一步穩定地進行間隔物之形 88222.doc -28- 1252053 成。本發明之液晶陣列之製造方法，係在相對配置之—對基板 < 至少一方具有開口部，於此等兩基板間設有形成液晶填充用之間隙之間隔物，其特徵為：係使用噴嘴排出孔^ 技小於排出之液滴直徑之靜電吸引型噴墨裝置，自該噴黑裝置<噴嘴，將含固體間隔物之液體作為丨滴之量在1 pi以下之液滴，排出至間隔物形成面上，而形成前述間隔物。採用上述構造，由於自噴嘴排出之液滴之丨滴之量係在丄 pi以下，因此液滴，亦即溶媒噴灑於基板上之間隔物形成面後0坪間乾燥。因此液滴内所含之固體間隔物噴灑於間隔物形成面上後不易移動，可在正確之位置形成間隔物。藉此’可避免液晶陣列之開口率降低。此外，因溶媒於喷麗後瞬間乾燥’㈣殘留於基板上之溶媒不致對配向膜等造成不良影響。此外，由於使料嘴之排^孔幻以、於液滴直徑之靜電吸引型噴墨裝置’因此可將產生靜電吸引用之電場而施加之電壓抑制在低值，可排幻pi以下之微小液I此外，排出液滴時’電何谷易集巾於H液滴周圍之電場強度之變動小’因此可穩定排出。如此，可高精確度控制間隔物之形成位置。藉此，採用本發明之製造方法，可產生喷墨方式之優點不降低液日日陣列（開η率，即可輕易且低成本地形成所需厚度之間隔物。本發明之液晶陣列之製造方法，係在相對配置之一對基 88222.doc -29- 1252053 板< 土少一方具有開口部，於此等兩基板間設有形成液晶填充用之間隙之間隔物，其特徵為··係於間隔物配置面上配置個體間隔物後，使用喷嘴排出孔直徑小於排出之液滴直徑 < 靜電吸引型噴墨裝置，自該噴墨裝置之噴嘴排出1滴之量在1 pi以下之液滴，並藉由使其液滴撞擊前述固體間隔物來使固體間隔物移動，進行個體間隔物之定位。广用上述構造，由於在間隔物配置面上配置個體間隔物後，藉由自噴嘴排出液滴來調整固體間隔物之位置，可消除間隔物集中於-處之狀態等，因此可避免開口率降低。此外、，由於自噴嘴排出之液滴之1滴之量在i ρ1以/，因此液滴於噴灑後瞬間乾燥。因此殘留於基板上之溶媒不致對配向膜等造成不良影響。此外&於使用貪嘴之排出孔直徑小於液滴直徑之靜電吸引型噴墨裝置，因此可將產生靜電吸引用之電場而施加 (電壓抑制在低值，可排出lpl以下之微小液滴。此外，排出液滴時’電荷容易集中於液滴，液滴周圍之電場強度之變動小’因此可穩定排出。如此，可對間隔物進行高精確度之位置控制。 ’可產生噴墨方式之優點可輕易且低成本地形成所藉此，採用本發明之製造方法 ’不降低液晶陣列之開口率，即需厚度之間隔物。上述u車列<製造方法’亦可構成自前述噴嘴之排出物之黏度在30 cP以上。採用上述構造’由於自嗜唯士、、、目貧角又排出物黏度高達3〇 cP以上 88222.doc -30 - !252053 ，因此可確實提高噴灑後之排出物之溶媒的乾燥速度。藉此，可確實提高間隔物之位置精確度。此外，藉由自噴嘴排出之液滴形成間隔物之情況下，雖因一次噴灑之液滴形成之間隔物厚度小，而須增加排出次數，亦即增加疊層數，但是由於液滴（排出物）為高濃度，因此可抑制排出次數，亦即可抑制疊層數之增加化。如此，生產效率提高。上述液晶陣列之製造方法亦可構成在形成前述間隔物之基板上，形成有於透明基板上至少經三色以上之色著色之彩色濾光器。上述液晶陣列之製造方法，形成前述間隔物之基板構成各像素具備主動元件之主動矩陣基板。此外’本專利發明人積極研究可抑制自噴嘴排出之液滴嘴灑後’於乾燥前之液滴移動量，正確且輕易地形成厚度厚之彩色滤光器之方法。其過程中，藉由組合含彩色滤= 器層材料之液體（墨）之液滴直徑與液體（墨）濃度等之參數，預測有於噴灑後瞬間液滴（墨）乾燥之區域。並發現在其條件下可排出之喷墨方式。 τ 因而，藉由以此種噴墨方式排出液滴，液滴喷後，液滴瞬間乾燥’可避免液滴擴散’藉由連續供給液滴可形成形色濾光器層。本發明之彩色濾光器基板之製造方法，係 ’將含彩色滤光器層材料之液體自嘴嘴排出孔作為^ 料出’而形成彩色誠器層，其特徵為：係使用前述排出孔直技小於前述液滴直徑之靜電吸引型嘴墨裝置，自該喷墨 88222.d〇( -31 - 1252053 裝置之賣％排出1滴之量在1 pi以下之液滴。此外，杉色濾光器基板之製造裝置，係藉由喷墨方式，將含办色濾光器層材料之液體自噴嘴排出孔作為液滴排出，而形成彩色濾光器層，其特徵為：係使用前述排出孔直徑小於W述液滴直徑之噴嘴，藉由靜電吸引型喷墨方式，自前述噴嘴排出1滴之量在1 pi以下之液滴。私用上述構造，由於自噴嘴排出之液滴之1滴之量係在i pi以下，因此液滴噴灑於基板上之彩色濾光器層形成區域後辭間乾燥。因此液滴噴灑於基板上後不易移動，可在正確（位置形成彩色濾光器層。這一點，在排出數個液滴，堆登此等而形成具有所需厚度之1個彩色濾光器層時亦同，可避免爾後噴灑之液滴被前次噴灑之液滴影響而移動的情況。藉此，採用本發明之製造方法，可產生噴墨方式之優點 ’播須特別在彩色濾光器層形成區域（像素區域）周圍形成隔壁及設置拒液區域及親液區域等，可輕易且低成本地形成彩色濾光器層。此外，由於使用喷嘴之排出孔直徑小於液滴直徑之靜電吸引型噴墨裝置，@此可將產生靜電吸引用之電場而施加 4電壓抑制在低值，可排出丨pl以下之微小液滴。此外，排出液滴時，電荷容易集中於液滴，液滴周圍之電場強度之變動小，因此可穩定排出。如此無須以高頻進行排出驅動 ’即可連續排出液滴，生產效率提高。另外使賣、直徑在13 以下時，可使液滴量在丨以 88222.doc -32- 1252053 r。此外，於制、皮色遽光器層濃户=色遽光器基板時’因塗敷液滴後之彩微小液滴時，Γ 足值以上，所以，如本發明般使用液滴。係對同—個彩色濾光器層形成區域數次排出積濃= = = ΐ板之製造方法’前述液體亦可使用體前述液滴形^之於同一彩色滤光器層形成區域之风<邊層數求出之值者而構成。色液滴小時’藉由-次噴灑之液滴而形成之彩次=層之厚度薄，因此為求獲得所需厚度，須堆疊數量Ρ硬滴構成之層。此時，疊層數增加時，該部分之同耶増加。因而體積濃度係使用自藉由重複噴潔於信、、.、1〆色/慮光器層形成區域之液滴形成之疊層數求出之 4 = u)’並因應疊層數調整液體之體積濃度。此時， :提高設定液體之體積濃度，上述疊層數即減少，因此液 /筒 < 排出次數減少，可提高生產效率。里此外’本發明之彩色濾光器基板之製造方法，係藉由噴墨万式，將含彩色遽光器層材料之液體自噴嘴排出孔作為硬滴排出’而形成彩色遽光器層’其特徵為：係使用自噴 :排出1滴之量在i pl以下之液滴之靜電吸引型噴墨裝置，精由重，噴灑於同-個彩色滤光器層形成區域之前述液滴形成之疊層數U ’液滴直徑與嘴漢於彩色滤光器層形成

區域之液滴之噴灑直徑之比求出之值為点，液滴直徑為D ,r成之々色濾光斋層之厚度為t時，前述液體係使用體積濃度7? (%)大致為冷XD)者。 88222.doc -33- l252〇53 此外’本發明之彩色濾光器基板之製造裝置，係藉由喷墨万式，將含彩色濾光器層材料之液體自噴嘴排出孔作為液滴排出，而形成彩色濾光器層，其特徵為：係藉由靜電吸引型喷墨方式，自前述噴嘴排出1滴之量在1 pi以下之前述液滴，並且藉由重複噴灑於同一個彩色濾光器層形成區域之前述液滴形成之疊層數為α，液滴直徑與噴灑於彩色濾光器層形成區域之液滴之喷灑直徑之比求出之值為召，液滴直徑為D，形成之彩色滤光器層之厚度為t時，前述液體係使用體積濃度π (%)大致為/?Xt/(aXD)者。採用上述構造，由於自噴嘴排出之液滴之1滴之量係在i

Pi以下，因此液㈣麗於基板上之彩色濾4器層形成區域後瞬間乾燥。因此液滴噴灑於基板上後不易移動，可在正狀位置形成彩色濾光器層。這_點，在排出數個液滴，堆@此寺而形成具有所需厚度之Hg)彩色濾、光器層時亦同，可避免爾後噴灑之液滴被前次噴潔之液滴影響而移動的情況。藉此，採用本發明之製造方法，可產生噴墨方式之優點典/員特別在:^色濾光器層形成區域（像素區域）周圍形成隔壁及設置拒液區域及親液區域等，可輕易且低成本地形成彩色濾光器層。此外，由於排出之液滴小時’藉由一次噴灑之液滴而形成之彩色濾光器層之厚度薄，因此為求獲得所需厚度，須堆疊數次噴灑之液滴構成之i此時，疊層數增加時，該部分尤作業時間亦增加。因而藉由滿足上述公式之方式， 88222.doc -34- 1252053 高濃度地設定液體（墨因此液滴之排，次數減少，可大致之範圍考岸浚、、禽旦少上迷 … …m差，如亦可在±i〇%。、,述彩上濾光器基板之製造方法之靜電吸引型噴墨裝置不了使用則述排出孔直徑小於前述液滴直徑者來構成。扭用上述構造，可將產生靜電吸引用之電場而施加之雨壓抑制在㈣，可排出lpl以下之微小液滴。此外，排出: /商時包何谷易集中讀滴，液滴周圍之電場強度之變動小因此可鉍疋排出。如此無須以高頻進行排出驅動，即可連績排出液滴，生產效率提高。上述衫色濾光器基板之製造方法之前述液體亦可使用黏度在20 cP以上者來構成。知用上述構造，藉由液體（墨）使用黏度在20 cP以上之高黏度之墨，數次噴灑之液滴構成之疊層數減少，因此液滴之排出次數減少，可提高生產效率。本發明之办色濾光器基板係藉由上述任何一種彩色濾光益基板之製造方法所製出者。本發明之另外目的、特徵及優點，從以下所示之内容即可充分瞭解。此外本發明之利益在參照附圖之以下說明中亦可明瞭。【實施方式】 [第一種實施形態] 以下，參照圖式說明本發明適切之實施形態。首先，按照圖1說明使用於本實施形態之主動矩陣型有機電致發光 88222.doc -35- 1252053 顯不器之製造之靜電吸引型嘴裝置丨5之縱剖面圖。以置。另外，該圖係噴墨喷墨裝置15具備排出貯藏於墨嘴嘴遣由襯塾3而連結於墨室2 嘴卜該致自喑喈1 Μ + 1匕，墨室2内之墨以不致自貧角1與墨室2之連結部分露出至此外，上述噴嘴！具有孔la，Α係万"达封。連結部之相反側，亦即朝向墨排出：成以朝向與墨室2之、側 < 頂端部，内直徑變 :式二入之形狀。上述噴嘴1頂端部之排出之直徑 (以下私噴鳴直徑)，係依與剛排定。又墨〇夜斶之關係來設，另外，為區Λ自噴嘴1所排出之墨，與野藏於墨室2内之墨以後將自1 ?角1所排出之里猛灸出义、王、％為硬馮12。詳細之該排出孔敗直徑與_出後之㈣12之液滴直徑之關係於後述。於上述喷嘴1内部設有對愛说 .、+ 又百對、王、她加靜電場用之噴嘴電極5。㈣嘴電極5上，自處理控制部25施加特定電壓。藉此，處理f制部25可控制喷嘴電極5與相對電極U間之電場強度。藉由控制該電場強度，爽相]敕& — + 反周整自赁嘴1所排出之液滴12之液滴直徑。此外’自噴嘴1所排出之液滴12，以噴嘴電極5 與相對電極13間產生之電場，向相對電極U方向加速。墨1： 2内填充有墨之落液。該墨經由墨供給路徑η，自與墨室2連接之圖上未顯示之墨槽供給。此時，係保持在墨室 2内及喷们内裝滿墨之狀態，並於墨上施加負恩。、於上述tfi之排出之相對面側，在離開特定距離之位置上設有相對電極13。該相對電極13係使配置於與其噴 88222.doc -36- 1252053 嘴1對面之被記錄側基板14之表面，帶有自噴嘴丨之排出孔 1 b排出之液滴12之帶電電位反極性之電位者。藉此，可使自喷嘴1之排出孔lb排出之液滴12穩定地噴灑於被記錄側基板14之表面。如此，由於液滴12需要帶電，因此噴嘴丨之至少頂端部之墨排出面宜以絕緣構件形成，且須形成微細孔直徑之排出孔lb，所以本實施形態之噴嘴丨係使用玻璃毛細管。以下，說明墨自噴嘴丨排出作為液滴12時，形成於排出孔 ib近旁之彎月面（彎月面區域）7之狀態。圖2(a)〜圖2(c)係顯示上述排出孔lb近旁之彎月面7之狀態之模型圖。首先，在墨排出前之狀態，如圖2(a)所示，由於墨22上施加有負壓，因此在噴嘴i之頂端部内部，以凹狀形成有彎月其次，為排出墨22,藉由處理控制部控制施加於噴嘴電極5之電壓，該噴嘴電極5上施加有特定之電壓時，於噴嘴1 之墨22之表面感應電荷，如圖2(b)所示，墨22形成向喷嘴夏之面，亦即向相對電極側（圖上未顯示）

本實施形態使用之噴嘴1之排出孔ib之直徑（以下頂端邵之排出孔1 b表面，亦j 伸出形狀之彎月面7b。此時，月面7b自當初形狀形成Taii〇r 88222.doc -37- 1252053 稱貪馬直徑）在φ8 以下（如5 gm)。如此，於喷嘴1之喷嘴直徑微小時，不致如先前般，彎月面頂端部之曲率半徑因表面電荷之集中而逐漸變小，而可視為大致一定。因此，墨之物性值一定時，液滴分離時之表面張力於施力％壓之排出狀怨下大致一定，此外，由於可集中之表面電荷之量亦為超過墨之表面張力之值，亦即在瑞利分裂值以下，因此單義地定義最大量。另外，因噴嘴直徑微小，電場強度僅在彎月面7之極近旁成為非常強之值，因而在極小區域高電場之放電破壞強度成為非常高之值，所以不致造成問題。本實施形態之喷墨裝置15中使用之墨，可使用含純水之染料系墨及含微粒子之墨。此時含微粒子之墨，因噴嘴部遠比先前小，所以含有之微粒子之粒直徑亦須變小，一般而言，若為噴嘴直徑之約1/20至Ι/loo，即不易發生堵塞。因而，將本實施形態使用之噴嘴1之噴嘴直徑，如上述地形成如φ5 μηι時，對應於該噴嘴直徑之墨之微粒子直徑須在 50 nm以下。此時’墨之微粒子直徑形成比先前使用之最小微粒子直徑φ 100 nm更小。因而，如揭示於日本公開專利公報「特開 2000-127410號公報」（公開日期2000年5月5日）之排出含微粒子之墨之原理’精由微粒子τ電而移動，使彎月面7之/^ 荷集中，並藉由集中之微粒子相互靜電排斥力來排出之方法，墨中之帶電微粒子之移動速度降低，排出之反應速产及記錄速度遲緩。 88222.doc -38- 1252053 反之，本噴墨裝置15並非使用帶電之微粒子相互之靜+ 排斥力，而係與不含微粒子之墨時同樣地，藉由彎月表面之電荷進行排出。此時，為求消除電荷對於墨中之微粒子之影響，影響到彎月表面之電荷造成排出不穩定，宜形成墨中之微粒子之電荷量為遠比彎月表面之電荷小之值的形狀。此時，墨中微粒子之每單位質量之電荷量在1〇叫/§以下時’各微粒子之靜電排斥力及反應速度變小，此外，藉由減少墨微粒子之質量，亦即藉由縮小墨微粒子之直徑，可減少墨中微粒子之總電荷量。以下之表1顯示墨中之平均微粒子直徑自φ3 nm至φ5〇 nm 時之排出穩定性。 (表1) 微粒子直徑 ——__— 噴嘴直徑 Φ0.4 um φΐ μπι (Κ Λ 11 τη 68 mm Φ50 nm X Δ ^ yx in △ Δ φ30 nm 〇〇〇〇 φ1〇 nm ------- — Ο__ 〇〇 φ3 nm _o 〇〇〇 ―表1中《苻號表示各噴嘴之排出穩定性，X :表示因堵塞等而不排出，八·本一不連％排出而排出不移定，〇·表示穩定排出。從表1可知微粒子直&宜却〇nm以下。特別是微粒子直徑在φ—下時，大致可忽略墨中之(個微粒子之帶電量 88222.doc -39- 1252053 之電荷對於墨排出之影塑一 ^心〜蚤，並且電荷造成之移動速度亦非 #、、爰k，#不發生微粒子向彎月面中心集中。此外，嘴嘴直徑在φ3μΐΏ以下時，藉由彎月部之電場集中致使最大電場強度極高’各個微粒子之靜電力亦變大，所以宜使用含㈣ run以下之微粒子之墨。但是微粒子直徑在^ 以下時，容易產生微粒子足凝聚及濃度不均一，所以微粒子直徑宜在 φΐ nm至φ1〇 nm之範圍。以下，參照圖3(a)(b)〜圖8(a)(b)說明噴嘴1之噴嘴直徑與私場強度之關係。對應於圖3(a)(b)至圖8(a)(b)，顯示噴嘴直徑分別為φ0·2、0.4、1、8、20 μπι及參考用之先前使用之噴嘴直徑φ50 μιη時之電場強度分布。各圖中所謂噴嘴中心位置，係表示噴嘴丨之排出孔113之墨排出面之中心位置。此外，各個圖（a)顯示噴嘴丨與相對電極 13之距離設定為2000 μπι時之電場強度分布，（b)顯示噴嘴1 與相對電極13之距離設定為1〇〇 μιη時之電場強度分布。另外，各條件之施加電壓均固定設定為2〇〇 V。圖中之分布線顯示電場強度自1 X 106 V/m至1 X 107 V/m之範圍。以下之表2顯示各條件下之最大電場強度。 88222.doc 40- 1252053

從圖3⑷⑻〜圖8⑷⑻可知，噴嘴直徑在衫“叫圖 7U)(b))以上時，電場強度分布遍及廣泛面積。此外，從表2 亦知喷嘴與相對電極之距離影響電場強度。據此，噴嘴直徑在φ8μπι(圖6(a)(b))以下時，電場強度集中’並且㈣電極之距離變動幾乎不影響電場強度分布。因此’嗜嘴直徑在φ8μιη以下時，不受相對電極之位置精確度及被記錄媒體之材料特性之偏差及厚度偏差之影響，可穩定地排出。胃另外’壓電型及熱型噴墨裝置，於液㈣形成微小液滴 ^玄氣阻力之影響大，液滴12不易正確喷祕被記錄媒此：，先前之靜電吸引方式(如特開平號)，係藉由在疋大於所排出《液滴12投影面積之區域内形成強電場，度場^電荷集中於其彎月面7中心。因而須對噴嘴電極施加非常咼電壓，驅動控告|闲 Μ㈣難’此外，受到放電破壞強 88222.doc -41 - 1252053 、、在原理上，可形成之微小液滴尺寸亦有限度。本實施形態之靜電吸引型之噴墨裝置15，係使噴嘴直徑 “、剛排出後之液滴直徑。藉此可使電荷集中區域與彎月面7區域大致相等，因而可大幅降低施加於喷嘴電極5之電壓，並且可大幅提高彎月面7上之電場強度。藉此t墨裝置15中，因帶電荷之液滴12藉由電場適切速所以抑制2氣阻力造成之減速，喷灑精確度提* ，，藉由在她内始终施加壓力，排出孔„^= 面7形成丁心1〇以0加狀，因此電荷容易集中於彎月面了，可藉由對噴嘴電極5施加數百V之電壓來排出液滴12。 " 本噴墨裝置15具有以下之特徵。她第一，藉由噴嘴電極5與相對電極13之間產生之電場，對 T電《液滴12供力。因而’即使因液滴以係微小液滴，飛賤中受空氣阻力之影響大，不致過於減速，而提高噴漢精確度（在被記錄側基板14上之噴灑位置精確度）。第一’即使為高黏度之墨，仍可作為液滴12而排出。實際上:排㈣eP之墨。因可排出高黏度之墨，所以可提高墨之濃度。 -般而言，墨黏度與彎月面7之成長率成反比，若為高黏度’則彎月面7無法充分成長，而無法排出液滴。但是，本贺墨裝置15之彎月面7之成長率不取決於墨之黏度，而取決於表面張力與帶電量。因此，即使對墨之溶媒，溶解溶^ 材料至其最大溶解度，仍可排出墨。弟二’噴灑液滴12後’墨之溶媒成分瞬間乾燥。液滴^ 88222.doc -42- 1252053 之溶媒成分之體積與液滴直徑之三次方成正比。因此蒸發溶媒成分所需之能量亦與液滴直徑之三次方成正比。此外 ’（體積）/(表面積）之值愈小，液滴12愈容易蒸發。因而有助於使液滴愈小愈迅速蒸發。先可 < 噴墨裝置，排出之液滴尺寸大，溶媒成分蒸發費時。此外，僅形成微小液滴，仍無法獲得足夠之飛濺速度 ’僅將動能轉變成熱能，仍未達到液滴之溶媒成分之氣化熱，而於噴灑後瞬間無法形成乾燥現象。但是，由於噴墨裝置（/人微米頭）15不但縮小液滴體積，且可獲得足夠之飛濺速度，因此於噴灑後瞬間可形成乾燥現象。為求確認以上各點而進行下+音 n 、订卜迷貫馭。並說明其結果。表3〜表5係比較使用先前之喑里貧，王、万式< 壓電型、熱型及液滴直徑大之靜電吸引型喑黑 μ /、&裝置時，與使用本發明實施形怨中使用之噴墨裝置15，亦即« % # 丨1文用排出又硬滴直徑小之靜電吸引型之噴墨裝置15時之特性。 (表3) 液滴體積先前本發明_ -ALpL_ X --—-- 〇 —iPi^ ◎— 10 pi 〇 ◎ •良好， 1〇：可使用響易度

△:不適切， :超出適應範園 χ:不可使用， 88222.doc -43- 1252053 表3〈結果係顯示液滴體積對液滴12之噴灑精確度、排出答易度、乾燥速度及噴灑次數之影響者。另外，所謂噴灑次數，係指為形成1個像素須排出之次數，並從生產效率之觀點評估次數少者。使用本噴墨裝置15時，即使液滴體積為W及^ p!，其喷遽精確度及排出容易度均為可使用或良好，而先前之喷墨裝置’任何項目均不可使用。此外，本噴墨裝置Μ之乾燥速度於液滴體積為0·1 pi及1 P1時均良好。噴灑次數，於 0·1 pl0寺不適切（生產效率差）’於i 時為適切(生產效率佳）。 (表4)

表4之結果係顯示本嗜里举罢 +頁、工馱置15與先可之噴墨裝置對墨之各黏度之適應性者。太口音里# ^ 尽貧墨裝置15可排出高黏度之墨。 88222.doc >44- 1252053 (表5) 邊5濃度之影響 -~~'—-- -易度乾燥速度 j灑次數本發明 —濃度— 先前本發明本發明低 ----— — 〇 ◎ Δ Τ 7X /4 ------- Λ 中 -—---- X ◎ 〇 L_\ X ◎ 1——— __© ^____ ^ _ --~— —◎一 :超出適應範圍不適切，X :不可使用之結果係顯示就本噴墨裝置15與先前之噴墨裝置，詩 ^濃度之適應性，#即排出容易度，與本噴墨裝置15對各 ;辰度之乾燥速度與嘴灑次數之評估結果者。 ^表5之、、果可知，，τ尤墨之排出容易度，先前之喑墨裝置 :法排出中及高濃度之墨，而本噴墨裝置15就低濃度至高濃度之墨均為良好。此外，本嘴墨裝置15就乾燥速度，於墨為：濃度時可使用’於高濃度時良好。此外，從生產效率《觀點亦適宜’濃度愈高以較少噴灑次數即可完成。從上述結果可知，使用本噴墨裝置Β之情況下，因大幅縮：乾燥時間’因此無須設定前次排出之液滴在基板上乾之等待時間，_同一個位置可縮短排出間隔時間，可提高生產效率。此外’由於可排出南/辰度〈墨，所〃可增加一次喷灑之液滴内所含之有機電致發光材料之比率，目此可減少排出次數。 88222.doc -45、 1252053 此外’雖墨之濃度提高時，其黏度提高，但是由於本喷墨裝置15可排出高黏度之液滴，因此可排出高濃度之黑。此時’濃度提南時’如上所述，可減少排出次數。其次，說明使用圖1所示之喷墨裝置15製造之主動矩睁型有機電致發光顯示器（有機電致發光顯示器）及其製造方法。圖9係顯示有機電致發光元件50之1個像素構造之縱剖面圖。如該圖所示，有機電致發光元件至少具備：基板51、設於基板51上之第一電極52、有機電致發光層53及第二電極54 〇在與基板51之第一電極52側相反側之面上，從對比之觀點而T，宜設有偏光板5 7。此外，從可靠性之觀點而古，第二電極54上宜設有密封膜或密封基板56。藉由有機電致發光元件50係使用上述之噴墨裝置15而形成’不擴散液滴即可堆疊塗敷有機電致發光材料。因而，相鄰之各像素之有機電致發光層不致接觸或混合。此外，使圖上未顯示之金屬配線具備Bm功能，可使像素間之對比 π晰。因此，無須圖22所示之先前有機電致發光元件中所形成之隔壁105。基板51可使用石英基板、玻璃基板等無機材料基板，聚對苯一甲酸乙二醇酯基板、⑽基板、聚醯亞胺基板等樹脂基板，不過本發明並不限定於此等。有機電致發光層53至少具有丨層有機發光層。另外，有機包致發光層53亦可為有機發光層之單層構造，或是電荷輸运層（電子輸送層或電洞輸送層）與有機發光層之多層構造 88222.doc -46- 1252053 此時，上述 < 兒何輸送層及有機發光層亦可分別為多層構迻λ夕卜纟發光層與電極之間，依需要亦可設置緩衝層本實犯$心中所謂有機層，係指構成有機電致發光層 53之有機發光層及電荷輪送層。有機私致發光層53之至少i層係使用有機電致發光層形成用塗液並藉由賣、1法形成。另外，有機電致發光層53 為多層構造時’除至少]層之有機發光層或電荷輸送層之其中之-以外之其他層’亦可以噴墨法、真空蒸鍍法等之乾式處理及浸塗法、或自旋式塗敷法等乾式處理等先前之方法形成。本實施例<有機電致發光層53係有機發光層58與電何輸运層55<璺層構造。電荷輸送層55係以印刷法形成。其次’說明構成上述有機發光層材料之有機電致發光層形成用塗液。有機電致發光層形成用塗液大致上可區分為 :發光層形成用塗液與電荷輸送層形成用塗液。發光層形成用塗液係使用於形成有機電致發光元件之熟知之低分子發光材料、高分子發光材料、高分子發光材料之先驅物、或包含低分子發光材料與高分子材料兩者之材料等之發光材料，與均化劑溶解或分散於溶媒中者。以下列舉各個材料，不過此等並非限定本發明者。熟知之低分子發光材料如：三苯丁二烯、香豆素、nilelet 、氧二氮茂衍生物、螯合配位體等。熟知之高分子發光材料如：口〇1}^(2-(16〇}^〇\}^1，4吁1^11>^1^)[00-???]、口〇17[2,5-bis {2-(N，N，N-triethylammonium)ethoxy} 1，4-phenylene-altro _l，4-phenylene]dibromide[PPP-NEt3+]、poly[2-(2’_ethylhexyloxy) 88222.doc -47- 1252053 -5_methoxy_l，4-phenylenevinylene][MEH-PPV]、poly [5-methoxy (2-propanoxysulphonid)-1 ?4-phenylenevinylene] [MPS-PPV] 、poly [2,5-bis(hexyloxy-1，4-phenylene)( 1 - cyanovinylene)] [CN-PPV]、poly [2-(2’-ethylhexyloxy)-5-metyoxy-l，4_phenylene-(1 - cyanovinylene)][MEH-CN-PPV]、poly (dioctylfluorene) (PDF)等。此外，熟知之高分子發光材料之先驅物如：poly (p-phenylene)先驅物[Pre-PPP]、poly (p_phenylenevinylene) 先驅物[Pre_PPV]、poly (p_naphthalenevinylene)先驅物 [Pre-PNV]等。熟知之高分子材料如：聚碳酸酯（PC)、 polymethylmethacrylate (PMMA)、polycarbazole (PVCz)等。均化劑可使用矽系化合物、氟系化合物、非離子系界面活性劑、離子系界面活性劑、鈦酸酯耦合劑等，其中以矽系化合物、氟系化合物為宜。矽系化合物如：二甲基矽酮、曱基矽酮、苯基矽、甲苯基矽、烷基變性矽、烷氧基變性矽、聚醚變性矽等，其中以二甲基矽酮、甲苯基矽為宜。氟系化合物如：聚四氟乙烯、具偏氣乙稀、fluoroalkylmethacrylate 、perfluoropolyether、perfluoroalkyl ethyleneoxide等。用於使上述發光材料溶解或分散之溶媒，於形成包含多層疊層膜之有機電致發光層5 3時，為求防止接觸之膜間的材料混合，宜為使用於爾後形成之層之溶媒不溶解先前所形成之層者。溶媒如··乙二醇、丙二醇、三甘醇、乙二醇一甲基醚、乙二醇一乙基醚、三甘醇一甲基醚、三甘醇一乙基醚、丙 88222.doc -48- 1252053 三醇、N，N_二甲基甲醯胺、N-甲基-2-p比洛燒酮、環己酮、甲醇、乙醇、1-丙醇、辛烷、壬烷、癸烷、二甲苯、二乙苯、三甲基苯、硝基苯等，此等溶媒亦可使用組合兩種以上之混合溶媒。此外，發光層形成用塗液内，依需要亦可添加··黏度調整用之添加劑；N，N-bis-(3-methylphenyl)-N，N，-bis (phenyl) benzidine [TPD]、N，N’-di (naphthalene-l-ir)-N，N、diphenyl· benzidine [NPD]等有機電致發光用或有機光導電體用之熟知之電洞輸送材料；3-(4-1^1^11；/1丨1')-4-口1^117161^-5-1:- butylphenyl-l，2,4-triazole [TAZ]、tris (8-hydroxynat) aluminum 「Alq3」等之電子輸送材料；受體、施體等之摻雜物等。有機電致發光層形成用塗液另一方之電荷輸送層形成用塗液為使熟知之低分子電荷輸送材料、高分子電荷輸送材料、南分子電荷輸送材料之先驅物或含低分子電荷輸送材料與高分子材料兩者之材料與均化劑溶解或分散於溶媒中者。以下列舉各個材料，不過此等並非限定本發明者。熟知之低分子電荷輸送材料如：TPD、NpD、氧二氮茂衍生物等。熟知之高分子電荷輸送材料如：聚苯胺（pANi)、 3,4-polyetylenedioxythiophene (PEDOT) > polycarbazole (PVCz) 、聚（三苯胺衍生物）(P0ly_TPD)、聚（氧二氮茂衍生物） (Poly-OXZ)等。此外熟知之高分子電荷輸送材料之先驅物如Pre_PPV、^驗等。熟知之高分予材料如：PC、PMMA 、PVCz等。均化劑之添加，於不含發光材料之電荷輸送層中亦有效 88222.doc -49- 1252053 ’此時之均化劑如發光層形成用塗液中列舉之化合物。用於使上述電荷輸送材料溶解或分散之溶媒，於形成包含多層登層膜之有機電致發光層53時，為求防止接觸之膜間的材料〉昆合’宜為使用於爾後形成之層之溶媒不溶解先前所形成之層者。此外’電荷輸送層形成用塗液中，依需要亦可添加發光層形成用塗液中列舉之黏度調整用之添加劑、受體、施體等摻雜物等。以下’進一步顯示其他有機電致發光層53之材料。以下所示者係發光層形成用之材料。但是，有機電致發光層53 雖為有機發光層5 8，仍具電荷輸送性質。低分子系有：distyrylbiphenyl系藍色發光材料、 dimesitylboryl基結合非晶質發光材料、stilbene系共輛 dendolimer 發光材料、dipyrryldicyanobenzene發光材料、 methyl置換benzoxazole系螢光·燐光發光材料、distyryl系紅色發光材料、耐熱性carbazole系綠色發光材料、 dibenzochrysene系藍綠發光材料、晞丙胺系發光材料、 pyrene 置換 oligothiophene 系發光材料、divinylphenyl 結合 triphennin系發光材料、perylene系紅色發光材料、 PPVoligomer系發光材料、（carbazole-cyanoterephthaliden)系發光材料、allylethynylbenzene系藍色勞光發光材料、 quinquipyridine系發光材料、fluorenbase星型發光材料、口塞吩系非晶質性藍綠色發光材料、低摩爾質量液晶性發光材料、（acetonitrile-triphenyleneamine)系紅色發光染料、 88222.doc -50- 1252053 bithiazole系發光材料、（carbazole-naphthalimid)系發光染料、cexyphenyl系藍色發光材料、及dimesitylborylanthra cene 系發光材料。金屬配位體有：氧二氮茂一鈹藍色發光配位體、銪系燐光發光配位體、耐熱性鋰系藍色發光配位體、膦光發光性膦-金配位體、鉞系發光配位體、噻吩-鋁黃色發光配位體、鋅系黃綠發光配位體、非晶質性鋁系綠色發光配位體、硼系發光配位體、铽置換銪系發光配位體、鎂系發光配位體、燐光發光性鑭系近紅外發光配位體、釕系發光配位體、及銅系燐光發光配位體。高分子系有：oligophenylenevinylenetetramer發光材料。 7Γ共軛系高分子材料有：液晶性芴系藍色偏光發光聚合物、含binaphthalene發光聚合物、disilanyleneoligothienylene 系發光聚合物、（芴-叶嗤）系藍色發光copolymer、 (dicyanophenylenevinylene-PPV)系發光 copolymer、碎藍色發光copolymer、含共輛發色團發光聚合物、氧二氮茂系發光聚合物、PPV系發光聚合物、（thienylene-phenylene)系發光 copolymer、液晶性quilal置換芴系藍色發光聚合物、螺旋型芴系藍色發光聚合物、熱穩定性二乙苯系發光聚合物、（聯二莕-芴）系藍色發光copolymer、porphyrin基graftPPV系發光聚合物、液晶性二辛基芴系發光聚合物、ethyleneoxide基附加噻吩系發光聚合物、（氧二氮茂-咔唑-萘二甲醯亞胺）系發光 copolymer、oligothiophenebase發光聚合物、PPV 系藍色發光聚合物、熱穩定性乙決系發光聚合物、（氧二氮茂-叶嗤- 88222.doc -51 - 1252053 莕二甲酿亞胺）系發光copolymer、（乙締基比淀）系凝膠狀發光聚合物、PPV系發光聚合物、PPV系發光聚合物、PPV系發光液晶性聚合物、嘧吩系發光聚合物、（噻吩-芴）系發光 copolymer、燒基ρ塞吩系發光copolymer、p塞吩系發光聚合物、ethyleneoxideoligomer 附加 PPV 系發光聚合物、 (carpazoilmethacrylate-cumarin)系發光 copolymer、η-型全芳香族氧二氮茂系發光聚合物、carbazoilcyanoterephthaliden 系發光聚合物、耐熱·耐放射線性莕二甲醯亞胺系發光聚合物、aluminumchelate系發光聚合物、及含octafluorobiphenyl 基發光聚合物。 σ共輛系高分子材料有聚矽烷系發光聚合物。含低分子色素聚合物系材料具有：咔唑側鎖結合ΡΜΜΑ 系發光聚合物、聚石夕燒/色素系發光組合物、聚芴系衍生物及金屬配位體。夾著有機電致發光層53之第一電極52與第二電極54之材質係依有機電致發光顯示器之構造來選定。亦即，有機電致發光顯示器中，基板51係透明基板，且第一電極52為透明電極時，由於自有機電致發光層53之發光係自基板51側射出，因此為求提高發光效率，宜將第二電極54作為反射電極，或是在不與第二電極54之有機電致發光層53鄰接之面上設置反射膜（圖上未顯示）。反之，第二電極54為透明電極時，由於自有機電致發光層53之發光係自第二電極54射出，因此宜將第一電極52作為反射電極，或是在第一電極 52與基板51之間設置反射膜（圖上未顯示）。 88222.doc -52- 1252053 上述透明電極之材質如··碘化銅、IT〇 (錮鍚氧化物”氧化錫、氧化鋅等，反射電極之材質如：鋁及鈣等金屬、鎂 —銀及鋰一鋁等合金、鎂/銀、鎂/銀等各金屬之疊層膜、及氟化鋰/鋁等絕緣體與金屬之疊層膜等，不過並不特別限定於此等。使用上述電極材料於基板5丨上形成第一電極52，於有機電致發光層53上形成第二電極54。其方法並無特別限定，如可採用濺射法、ΕΒ蒸鍍、電阻加熱蒸鍍等之乾式處理。此外，亦可將上述電極材料分散於樹脂中，以印刷法、噴、玉法等之濕式處理來形成第一電極52或第二電極54。其'人，說明有機電致發光元件（像素）之配置形態。本發明之有機電致發光顯示器之像素之配置如圖10(a)所示，如紅色（R)發光像素61、綠色（G)發光像素62及藍色（Β)發光像素 63配置成矩陣狀之帶狀排列。再者，像素之配置亦可分別如圖1G(b)、圖1()(e)所示之馬赛克排列及三角形（Delta)排列光像素61 G發光像素62及B發光像素63之各個佔用只之比例|必需要為i : i : i n象素之佔用面積亦可相同，亦可依各像素而不同。、般而了，為求防止發光層之混合，宜在具有不同發光色〈像素間設置隔壁。但是，本發明之製造方法之形成發先層之墨Μ灑後瞬間乾燥，所以液滴不擴散，可堆疊^ 爲$包致發光材料。因而各相鄰之像素之有機電致發光㈢不致接觸或混合。因而可省略隔壁之製作。另外，亦可基於使相鄰像素之對比清晰之目的來製作隔 ^^222.d〇( -53- 1252053 土此時由於隔壁之高度無須具防止發光層混合之功能，因此亦可小於發光層。隔土可&單層構造’亦可採多層構造，可配置於各像素間’耶可配置於不同之發光色間。隔壁之材質宜為不溶或 =於溶解或分散發光㈣、電荷輸送材料及高分子材料之命媒’亦即不溶或難溶於發光層形成用塗液或電荷輸送層形成用塗液（溶媒者。著眼於提高顯示器之顯示品質，特別且知用黑矩陣（BM)用之材料（如鉻及樹脂黑等）。其/入，說明對應於各像素之第一電極52與第二電極“間之連接方法。本發明之有機電致發光顯示器如所示，第一電極52或第二電極54亦可經由薄膜電晶體（TFT)料而連接於共用之配線。另外，圖中之65表示源極匯流排線， 66表示閘極匯流排線。此外，有機電致發光顯示器亦可形成夾著有機電致發光層53之第一電極52與第二電極54在共用之基板51上形成彼此直列之帶狀電極，此外，第一電極 52或第二電極54亦可為在各個像素上獨立之電極。本貫施形悲之有機電致發光顯示器如圖丨丨所示，數個像素係配置成矩陣狀，藉由於此等像素上著上數個發光色，可進行全彩色顯示。數個發光色宜為紅色、綠色及藍色之組合。其次，按照圖12及圖13說明有機電致發光顯示器之有機電致發光基板之製造方法。首先如圖12(a)所示’對膜厚為130 ηιη之附ITO玻璃基板(基板5 1)，藉由使用掩模67之光蝕刻法，形成間距為丨2〇 μηι， 88222.doc -54- Ϊ252053 寬為100 μιη之ITO透明帶狀電極，作為第一電極52。其次’藉由先前之濕式處理（異丙醇、丙酮及純水）洗淨該基板，進一步藉由先前之乾式處理(υν臭氧處理及電漿處理）洗淨。其次，如圖12(b)所示，使用凸版印刷裝置68，轉印pED〇T 水溶液（使PEDOT/PSS溶解於純水與乙二醇之混合溶液中者）之電洞輸送層形成用塗液，而形成膜厚為5〇1^之電荷(電洞）輸送層55。另外，凸版印刷裝置68係於滾塗部仍上設置供給電荷（電洞）輸送層形成用塗液之滚塗基板7〇者。其次，如圖12⑷所示’使用嗜墨裝置15，於各色之發光層形成區域塗敷於四甲基苯内溶解紅色發光材料之红：發光層形成用塗液、溶解綠色發光材料之綠色發光層糊塗瑕及落解藍色發光材料之藍色發光層形成用塗液。於該圖⑷所示之發光層形成步螺中，首先於圖η⑷所 π卜步驟中’ H由噴墨裝置15喷射職之作為第-色之R顏料分散之墨(紅色發光層形成-吏硬滴12，而形成r發光像素61。）此時’因液滴12於噴灑後瞬間乾典。^ a 叮1^’麗面積不擴政Q此不舄要形成隔開像素形成Ε β 、之區域。〃成£域用《隔壁及親拒水此時，一次噴灑之液滴内所含積V’於體積濃度為购時二，電致發光材料之體 ν=(4/3)Χπ X(D/2)3XU/1〇〇) 假汉’夜滴尺寸為φ〇μηι直徑，噴灑時 h政成/C倍之直徑。 88222.doc -55- 1252053 一次喷丨麗所形成之有機雷& 、或包致發光層厚度為所需之有機電致發光層厚度t之1/ α時，亦一亦即重複贺灑之疊層數為α時，以下公式成立 V/(7T X((D/2)X /c )2)=t/a 整理該公式而成 V ^ β Xt/(a XD) 因卜150x P，所以假設噴m時擴散成ι·5倍之直徑，則κ = 1.5，因此 η =34〇Xt/(a XD) 有機電致發光層53之所需厚度為〇〇5μιη，液滴12之尺寸約8 μηι直徑時，墨之濃度決定如下。為求縮短像素製作時間，而減少液滴12之重複喷灑次數遗層’人數係藉由液滴噴灑面積、丨個像素之面積、噴灑頭 (噴墨裝置15)之驅動頻率及噴灑頭之噴嘴數量等來決定。若使液滴12之重複噴灑次數在1〇〇次以下（a $ 1〇〇)時，所需之墨之體積濃度；7為 η =3.4X t/D=〇.〇2% 再者’為減少重複噴灑次數，而在1〇次以下（a $ 1〇)時，同樣地為 η =34Xt/D=0.2% 此外，有機電致發光層53表面宜儘可能平坦。因而宜移動液滴12之噴灑位置，數次重疊有機電致發光材料。本實施形態係重複噴灑兩次以上（a - 2)。此時，於下段側之相鄰1灑位置之各中心之中間位置設定上段側之液滴12之喷 88222.doc -56- 1252053 灑中心。藉此，有機電致發光層53之表面可獲得足夠之平滑度。此時所需之墨之體積濃度7?為 η =170 X t/D=l% 表4顯示噴灑之液滴12之疊層數（α)對墨之濃度、、w之黏度、有機電致發光層53之生產效率及有機電致發光層”之表面平滑性之影響之調查結果。曰 (表6)

從表6結果可知，考慮生產效率與表面平滑性時，宜將疊層數（α)設定於2〜數百之間，並因應其來決定墨之體積濃2 。此處優先考慮生產效率，而將α設定為2。此時體積濃度為1%，墨黏度為20 cP。此種情況下，雖先前之噴墨裝置排出困難’但疋本贺墨裝置1 5則排出容易。從上述結果可知，有機電致發光層53表面足夠平滑，重複嘴灑次數最少者，為體積濃度為1%時。該體積濃度與先前之喷墨裝置中使用之有機電致發光層形成用墨之體積濃 88222.doc -57- 1252053 度0.7% (黏度9.7 cP)比較，濃度較高且液滴尺寸小。藉由使用噴墨裝置…由於可排出高黏度之墨，液滴12之錢速度被電場加速’因此液滴12於噴灑後瞬間乾燥。於圖13(a)所示之第一步驟中形成汉發光像素^時，使噴墨裝置15之具備噴嘴1之噴灑頭或被記錄側基板14 (基板 51)在饋進方向上移動，並排出液滴12。此時，下次噴灑係在對前次喷灑少4偏差之位置上重複噴灑。藉此，可獲得所需厚度之R像素61。又同樣地，在圖13(b)所示之第二步驟中，藉由噴墨裝置^ 噴射使RGB三色中之第二色之G顏料分散之墨之液^12，而形成所需厚度之G發光像素62。同樣地，在圖13(c)所示之第三步驟中，藉由噴墨裝置。噴射使RGB三色中之第三色之Β顏料分散之墨之液滴12，而形成所需厚度之Β發光像素63。另外，就R發光像素61、g 發光像素62及B發光像素63之形成順序，並不限定於上述順序，可適切變更。各色 < 發光層材質、溶媒材質及發光層尺寸不同時，最佳 < 體積濃度亦不同。發光層材料之體積濃度愈高，雖重複噴灑次數減少，生產效率提高，但是墨黏度愈大。喷墨裝置15可排出比本實施形態中使用之墨之黏度π更大黏度，並可提高墨之體積濃度。 #形成有機電致發光層53後，使用遮罩，共度鋁與鋰，形成第二電極54之鋁鋰合金電極。並使用構、、土板5 6之環氧樹脂密封最後所獲得之元件，製成有 88222.doc -58- 1252053 機電致發光顯示器。在如以上所獲得之有機電致發光顯示器上施加卿之脈衝電壓’觀察發光狀態時，可自全部之像素發光，在第— 電極52與第二電極54之間、各第一電極似間及各第二電極54之間不產生短路，此外，未觀察出因各色之發光層: 合造成之混色。此外，未觀察出时機發光層58之膜厚不均—造成像素内之發光不均一。 μ 由於噴墨裝置15係對有機電致發光顯示器之請像素排出數個墨液滴’因此無須對i個像素41個噴嘴，亦可使用數個噴嘴。此外，填充有機電致發光顯示器之ι個像素時，兴須連~地排出墨，亦可分成數次進行。此外’形成有機電致發光層53時，錢使全部液滴形成速乾性U、液滴，亦可增加最初之噴灑液體而形成概略形狀，而後使用嗔墨裝置（次微米頭）⑸非出微小液滴，並進灯厚度之微調整及不均一修正。上述實施形態中’三色之發光像素均係使用噴墨法（噴黑裝置15)而形成，不過亦可使用自旋式塗敷法及偏置印職或電沉積法等形成任意之一色或兩色。此外上述霄施形態中，多層構造之有機電致發光層53 中，係以喷墨法形成有機發光層58，以印刷法形成電荷輸运層55’不過亦可以喷墨法形成兩者或僅形成電荷 55。曰此外 ’上述實施形態中，第—色為R，第二色為B，不過 88222.doc -59- 1252053 亦可使第一色為B，第二色為R等來變更色之順序。此外，上述實施形態係說明製造帶狀像素排列之有機電致發光基板，不過亦可為圖1〇所示之色像素排列為三角形狀之有機電致發光基板或其他有機電致發光基板。此外，使用本實施形態之噴墨裝置（次微米頭）丨5之喷墨方法’因液滴噴灑後瞬間乾燥，液滴不致在相鄰之各像素間混合’因此不需要如先前之噴墨法之像素間之邊界，或是作為防止墨（液滴）流出之壁之BM。此外，由於藉由配線金屬將像素部分以外之部分遮光，因此在有機電致發光基板上播須特別設置BM。因此，有機電致發光基板之製造成本低。另外，上述實施形態中，雖未設置，不過在允許提高成本時，亦可形成BM。因本噴墨裝置15可排出先前之噴墨裝置無法實現之高黏度之液滴，所以可提高有機電致發光材料之濃度，且可使液滴微小化。因此具有噴灑後瞬間乾燥之先前無法獲得之果口而了減^重杈喷 >麗次數，且可縮短重複噴灑時前次噴灑與下次噴灑之間隔時間，可提高作業性。再者，由於本噴墨裝置15可減少噴嘴1與記錄媒體（相對電極13)間之電壓，因此無破壞電洞注入層之危險性。此外，使用並非靜電吸引方式之先前之噴墨裝置，即使縮小排出之液滴直|，如上所述，墨體積濃度增加，無法實現足夠之飛濺速度，因而無法實現噴灑後瞬間乾燥之重複噴灑作業之效率化。以下’顯示進-步檢討可使用於製造主動矩陣型有機電 S8222.doc -60 - 1252053 致發光顯示器之噴墨裝置15之構造結果。圖14顯示上述噴嘴1之噴嘴直徑與彎月面7之最大電場強度與強電場區域之關係。從圖14所示之圖中可知，喷嘴直徑在φ4μηι以下時，電場集中非常大，可提高最大電場強度。藉此，由於可提高墨之初期排出速度，因此墨（液滴）之飛濺穩定性增加，並且彎月邵 < 電荷移動速度增加，因而排出反應性提高。、’、k、’·貞以下說明排出之墨之液滴12之可帶電之最大電荷量。液滴12上可帶電之電荷量，以考慮液滴12之瑞利分裂之以下公式（1)來表示。 q=8X ^ Χ(ε 〇χ r Xr3)2 ⑴ ，其中，q為賦予瑞利臨限值之電荷量，ε 〇為真空之介電常數，r為墨之表面張力，r為墨液滴之半徑。 :迟a式（1)求出之電荷量q愈接近瑞利臨限值，即使相同“场強度’其靜電力愈強，排出之穩定性提高，但是過=接近瑞利臨限值時，反而在噴嘴i之排出孔m產生墨之務散，而欠缺排出穩定性。圖15係顯示以冑嘴之喷嘴直徑與彎角置徑與彎月部排出之浚湳聞始

i以圖16所示之噴嘴直徑與彎月鲁於該範圍内可穩定地排出。 •曾月部之強電場（1 X 106 V/m 88222.doc -61 - 1252053 以上）區域之關係來顯示之圖中，顯示喷嘴直徑在φ〇 2以下時’電場集中區域變得極狹窄。其表示排出之液滴無法獲得足夠加速用之能量，因而飛濺穩定性差。所以喷嘴直徑須設定成大於φ0.2 μιη 〇其次，圖17之圖顯示以實際驅動上述構造之噴墨裝置時之施加電壓，亦即以液滴開始排出電壓以上之電壓，將改變最佳電壓值時之最大電場強度所感應之彎月冑之初期排出液滴保持-定時之該液滴之電荷量，與來自液滴表面張力之瑞利臨限值之關係。、 w〜私何重興來自滴表面張力之瑞利臨限值之交又點，對墨之施加電壓為於Α點之電壓時，初期排出液滴上形成有大致接近於瑞利限值之最大電荷量’為低於A點《電壓時，形成有瑞利臨值以下且排出時所需之電荷量。此時，僅著眼於排出液滴之運動方程式時，因強電場且最大電荷量之排出钟旦、3 八徘出把里<最佳條件下飛潑，所施加電壓須為高於A點之電壓。再者，圖18係顯示環培、、昼命衣境濕度為5〇%時之墨之初期排出液滴直徑與乾燥時/寺為純，時間）之關係圖。從該圖中、刎儿王瘵發因蒸發導致墨之液滴直徑之變化：=液滴直徑小時短暫時間中，仍然進行乾燥。吊，即使在飛濺中因而初期排出時，若最大電荷旦/ 、燥造成液滴直徑變小，亦即 /成AM上時，因 W成有電荷之液滴之表面積 88222.doc •62- 1252053 =&在飛錢中產生瑞利分裂’過度釋出電荷時，電荷連 ^夜滴n分被釋出’而發生超過蒸發之飛錢滴的減少。因此’不但噴麗時之液滴直徑不均—及噴麗精確度惡化 ’且分裂^噴嘴與被記錄媒體中之霧浮遊，而污染被記綠媒體。因而考慮形成穩定之排 ..... 那履，筒（D〇t)時，須使初期排出液滴所感應之電荷量丨私士 $ 了里」於相當於瑞利臨限值之電荷量若干程度。此時使該電荷量約為相當^瑞利臨限值之電荷量炙95%時，無法提高噴灑液滴 _ ^ 宜在9。%以下。《不均精確度’因此具體之數值係算出將嘴嘴孔直徑視為針狀電極之頂端形狀時之t月面最大電㈣度形成之初期 = 利臨限值’藉由在該算出值 , τ 〇 ^巳圍内，可抑制噴灑時欣滴不均一。此因排出液滴分離之後之m㈣=料於排出之、“…、一- 間（滯後，實際之初期排出液涵所感應（¾何量小於上述計算所求出之電荷旦。 /此種條件下:可防止飛賤時之瑞利分裂% Γ且可減少因、弓月邵於排出液滴分離時電荷量多兩 — 、 ^ ,册士、、、、、而務化寺之穩定排出。另外，π廷心液滴於蒸汽壓減少公式（2)可瞭解。 ^發。此從以下 RTp/MXlog (P/P〇)=2r /Γ^ν(8^Γ4} 其中，R為氣體常數，Μ為氣體之旦）、，Ρ為氣體密度，Ρ為微小液滴之里，Τ為乳體溫度、、〜α I ’ ρ 〇為平面之装、;与壓’ r為墨之表面張力，r為墨液滴之半徑。 -、 88222.doc -63- 1252053 如上述公式（2)所示，由於帶電之、 * 、之帶泰旦而诂卜 ^ A壓因該液滴所：減…電量過少時，影響蒸發之緩和亦少， π為相當於瑞利臨限值之電場強度及電壓值之60:以、。因而與上述同樣地’算出將噴嘴孔直徑視為針狀電極 <頂端形狀時之彎月面之最大電場、、备古、山W A 又7成心子刀期排出液兩直R瑞利臨限值，與顯示該算出值之Μ倍以上之相同。特別是如圖18所示，初期排出液滴直徑在衫_以下時，因乾燥時間極短’而容易受到蒸發之影響，所以可知從抑制蒸發之觀點’降低初期排出液滴之電荷量更有效。另外 ’求出圖18所π之乾燥時間與初期排出液滴直徑之關係時之周圍濕度為50%。

此外，考慮排出液滴之乾燥時，須縮短液體排出至被記錄媒體之時間。 V 以下之表7顯示排出液滴自彎月部分離，自噴嘴噴灑至被記錄媒體上之平均飛濺速度為5 m/s、10m/s、20 m/s、3〇m/s 、40 m/s、50 m/s，比較排出之穩定性與喷灑液滴之位置精確度。 88222.doc -64- l252〇53

噴灑 ϋ度度 a 慶

I 表7中之排出穩定性之符號中，x :表示幾乎不排出，△ •表不連續排出時有時不排出，〇：表示排出，喷灑精確度心符號中’ X :表示噴灑偏差 > 喷灑液滴直徑，Λ:表 π噴灑偏差>噴灑液滴直徑Χ0.5，〇：表示噴灑偏差 < 噴灑液滴直徑X 0.5，◎:表示噴灑偏差 < 噴灑液滴直徑X 〇.2。 k上述表7可知，平均飛濺速度為5 m/s時，噴灑精確度差，且排出穩疋性亦差。特別是噴嘴直徑在φ1 μηχ以下時，如排出速度k，則施加於液滴上之空氣阻力大，且因蒸發造成液滴直徑進-步微小化，有時無法噴灑。反之可:^ 均飛濺速度為50 m/s時，因需要提高施加電壓，所以彎月部之電場強度非常強，一再姦斗接山、、” 產生排出液滴 < 霧化，而不易穩定地排出。從以上說明可知排出液滴自彎月部分離而喷灑至被記 88222.doc -65- 1252053 錄媒組上之平均飛濺速度宜在10 m/s至40 m/s之間。再者，圖18顯示周圍濕度為5〇%時，初期排出液滴直徑與乾滦時間之關係，❿圖19係顯示初期排出液滴直徑為φ〇·5 μ 賣角與被屺錄媒體之距離為0·2 mm時之周圍渴度盥乾燥時間之關係。 η ^ 、k圖19之圖巾可知，周圍濕度在6〇%以下時，該乾燥速度〈數^無大的變動。但是，周圍濕度超過7G%時，可能過度 ^制w之蒸發，於周圍濕度在以上時，上述條件等之影二車^低特別是將周圍濕度設定在95%以上時，可大致忽略乾燥心〜睿’可擴大本發明之噴墨記錄裝置之設計條件自由度且擴大適用範圍。 /一示貪角直彼為Φ1及φ3 μηι，改變初期排出液滴 /、、排出％足性及排出液滴直徑不均一（噴灑不均一）另外賣=〈初期排出直徑可藉由改變施加電壓值來控制 '、口藉由Ρ周整施加之電壓脈衝之脈寬來控制，此時，因排除相同噴嘴直徑之電場強度之影響，所以係改變前述脈寬來調整初期排出直徑。 88222.doc 66- I2s2〇53

表8中之排出穩定性之 :矣-1Λ、、 W 丁不排出，/ 不10为鐘連續排出時有時不排出，〇：績排屮Hi认不1 〇分鐘i 、排出時均可排出，◎:表示30分鐘連續，不均一夕从啡丄Λ ^ 了 5可排i 、、又付唬中，△:表示噴灑液滴之不均— >晴;麗、滴直栌γ Π 1 一 .士 _ i _一〆貝，鹿二·2，〇·表不贺灑液滴之不均一 < t 、、、、 ΧΩ 9 ^ 1 j =莧厲硬滴直;ί ".，◎:表示噴灑液滴之不均—S噴灑液滴直徑X01 從表8可知，對噴嘴直徑在約15倍〜3倍時，排性佳，特別是在L5倍〜2倍時，極有效抑制噴灑液滴直= 不均―。此因將自彎月部引出之墨形狀視為液柱時，該择柱《表面積大於該液柱體積部分之球表面積條件下之制 88222.doc -67- 1252053 分離最穩定。知用上述構造’排出墨排出之後之液滴量在1 pi以下之微小墨液滴之靜電吸引型噴墨記錄裝置中，藉由使喷嘴1之排出孔1 b之直徑小於墨排出之後之液滴直徑，可在喷嘴1之彎月面7上集中排出用之電場，因此可大幅降低排出墨時所需之施加電壓’可實現減少排出之液滴直徑之不均—而穩定地排出。此外T而要先月5所需之施加偏壓，可正負交互地施加驅動私壓’可減少因被記錄媒體表面電位之增加對噴灑精確度之影響。此外藉由使噴嘴孔《直徑在㈣以下之範園，可嘴之彎月部集中電場，並且、、、 4又相對电極 < 位置精確度及被纪錄媒體之材料特性之不均一穩定地排出。 μ度不均-之影響，可特別是藉由使嗜嘴i之排出㈣之直徑在帆下之範圍内’可極有效地集中電場。因而，雖提七取大電場強度，但是由於增加墨之「 ^ ^ ^ ^ j併ffl逑度，因此3 以穩疋性增加，並且因彎月部之電高排出反應性，並且可抑制目加可推滴直徑之㈣―。利分裂之影響造成嘴灑访再者，藉由使自喷嘴1排出墨之、、排出孔lb直徑之L5倍至3倍以在噴嘴1: 疋性，特別是藉由使墨排出之後、、：问排出之1 之丨.5倍至2倍以下之範園，可極在該噴嘴直彳讣制排出液滴直徑之: 88222.doc -68- 1252053 均一 0 本實施形態如上所述’係說明於墨室2内之墨施加負壓時，不過亦可於墨上施加正壓。於墨室2内之墨上施加正壓時，如圖2 0所示，在墨供給路徑2 3之圖上未顯示之墨槽側設置泵24，使用該泵24，於墨室2内之墨上施加正壓。此時，以配合自墨室2排出墨之時間來驅動之方式，可使用與處理控制部25不同之處理控制部26來驅動控制上述泵24。因而欲於墨室2内之墨上施加正壓時，可省格以靜電力形成彎月部之凸形狀之步驟，可謀求降低施加電壓及提高反應速度。另外’本實施形態為簡化說明，而係說明具備單一喷嘴之噴墨裝置，不過並不限定於此，考慮鄰接噴嘴之電場強度之影響而進行設計時，亦可適用於具有數個噴嘴之多噴嘴頭之喷墨裝置。再者，本實施形態係說明始終設有相對電極。之噴墨裝置，不過從表2可知，若相對電極13與噴嘴丨之排出孔丨匕間之距離（間隙）幾乎不影響被記錄媒體與噴嘴間之電場強度，、孩被記錄媒體與噴嘴間之距離近，被記錄媒體之表面電位穩定時，亦可不需要相對電極。 Η么1厂;|，，，々；〜刖乃次甲，开在靜電吸引過程中所形成之喷嘴部歡加…⑽』流體之彎月面42與液滴排出之前之頂端尺寸之噴嘴直徑之方弍，並丄双不嘴43,可縮㈣成廣^使用流體排出孔側縮小$ 電荷之移動量。圍所需之電場，且可減少彎心 88222.doc -69- 1252053 本專利發明人發現，利用上述、、〜用上返原理，進一步藉由將噴嘴頂^部之流體排出孔之亩炉令金& «礼芡罝位汉疋成小於排出之後之流體液滴直徑’可使電荷之集中區域與f月面區域大致相同。 [第二種實施形態] 以下，按照圖式說明本發明適切之實施形態。製造本實施形態之液晶陣列時，係使用藉由圖」至圖8說明之靜電吸引型之嘴墨裝置。其次，說明本實施形態之液晶陣列之構造。本實施形態之液晶陣列係如圖22所示，具有：tft基板i $工與彩色滤光器基板152，在此等兩者之間設有間隔物i53，在藉由該間隔物153所形成之兩基板間之間隙内填充有液晶 154 〇 TFT基板151於絕緣基板155上，依序形成有：閘極15讣、閘極絕緣膜157、層間絕緣膜158、像素電極159及配向膜 160。彩色濾光器基板152在玻璃基板161上依序形成有：彩色濾光器162及配向膜163。其次，說明上述液晶陣列之製造步驟。首先說明TFT基板151之製造步驟。該TFT基板丨5丨之詳細構造顯示於圖23及圖24。圖23係TFT基板151之平面圖，圖 24係沿著圖23之A—A線觀察之剖面圖。該TFT基板151係經由鈍化膜而形成層間絕緣膜型者。首先’於玻璃等之絕緣基板15 5上，以濺射法形成鋁、鉬、紐等膜，藉由光蝕刻法形成閘極配線15以、閘極156b及輔助電容配線164，再藉由陽極氧化法形成陽極氧化膜丨65。 88222.doc -70- 1252053 其/入，猎由電漿CVD法，連續疊層狀地形成閘極絕緣膜 (SiNx膜）157、非晶石夕層（a-si層）166、？石夕層（口+_以層）之二層’藉由光銀刻法將此等圖案化成島狀。形成鋁、鉬、鈕等之金屬層，藉由光蝕刻法圖案化成特定形狀，而形成源極配線168及汲極169。其次藉由通道蝕刻形成非晶矽層166與11+矽層167之通道部。藉由以上步騍，於各像素上形成切換元件之tft (主動元件）1川。八、將鈍化膜171形成約350 nm之膜。其次形成包含有機材料等之層間絕緣膜丨58，藉由光蝕刻法在汲極169之特定位置形成接觸孔！ 72。其次，將包含有機材料等之層間絕緣膜158作為掩模，藉由濕式蝕刻或乾式蝕刻鈍化膜171，使接觸孔172到達汲極 169。其次，於層間絕緣膜158上形成包含透明導電膜之像素電極159足膜。其次塗敷光阻，進行曝光及顯像。而後，濕式蝕刻或乾式蝕刻層間絕緣膜158上層之像素電極159。其次藉由除去光阻而形成像素電極159。如此製作經由鈍化膜 171而形成層間絕緣膜158之TFT基板151。其次’說明彩色濾光器基板152之製造步驟。圖25(a)〜圖25(d)係顯示彩色濾光器基板之製造步驟圖。首先如圖25(a)所示，藉由光蝕刻步驟在玻璃基板等之透明基板61上堆疊金屬氧化物，而形成bM174。其次，如圖25(b)〜圖25(d)所示，藉由顏料分散法，在透明基板61上依序形成RGB之三原色之彩色遽光器162⑽ 88222.doc -71 - 1252053 素175、G像素176、B像素177)。此時，係藉由自旋式塗敷去’在整個透明基板61上塗敷分散R顏料之光硬化性樹脂組合物之光阻。而後進行曝光及顯像，於特定位置形成r像素 175之彩色濾、光為162。同樣地形成G像素176及B像素177之彩色濾光器162。另外’彩色濾光裔16 2之形成方法並不限定於顏料分散法，亦可採用印刷法及電沉積法等其他方法。採用電沉積法時 ’ BM174之形成步驟係在彩色濾光器ι62之形成步驟之後。其/人，對TFT基板15 1及彩色濾光器基板丨52分別形成配向膜160, 63。該步驟採用印刷法等，在TFT基板151及彩色濾光器基板152上形成聚醯胺膜之配向膜16〇，63，並藉由燒成步騾蒸發除去溶媒。而後，對兩基板之配向膜16〇, 63使用滾筒進行摩擦處理。其次，說明間隔物153之形成步驟。該步驟係在TFT基板 151及彩色濾光器基板152之形成步驟後進行。本實施形態中，間隔物153係形成於彩色濾光器基板152上。間隔物153採用圖1所示之喷墨裝置15，在彩色濾光器基板152之BM174上，藉由連續排出形成間隔物153用之溶解硬化性樹脂之間隔物形成用液體而形成。該步驟顯示於圖 26 - 另外，上述硬化型樹脂之構成成分如：丙烯酸酯、醋酸乙缔基等，不過並不限定於此。再者，上述硬化型樹脂之組合物内所含之聚合物或共聚物之構成成分之單體如：N，N_ dimethylolacrylamide^N,N.dimethoxymethylacrylamide^N,N-88222.doc -72- 1252053 diethoxymethylacrylamide ' Ν,Ν-dimethylolmeth acrylamide 、N，N-dimethoxymethylmethacrylamide、N，N-diethoxyme-thylmethacrylamide等，不過並不限定於此。此等之單體使用單獨聚合物，或與其他乙烯基系單體之共聚物。其他乙烯基系單體如··丙烯酸、甲基丙晞酸、丙晞酸甲酯、丙烯酸乙酯等之丙晞酸酯、甲基丙晞酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯等甲基丙晞酸酉旨、hydroxymethylmethacrylate 、 hydroxyethylmethacrylate 、 hydroxy methylacrylate 、 hydroxyethylacrylate等含經基之乙烯基系單體、其他苯乙晞、α -曱基苯乙烯、丙晞醯胺、甲基丙晞醯胺、丙烯腈、烯丙胺、乙晞胺、酷酸乙烯基、丙酸乙烯基等。此外，間隔物形成用液體，除硬化型樹脂外，並含水等作為溶媒。噴墨裝置15之喷嘴1係採用噴嘴直徑為φ6 μιη者。間隔物形成用液體之液滴12之喷灑面（ΒΜ174之間隔物形成面）之直徑為φ10 μιη。間隔物形成用液體之體積濃度為25%，藉由一次噴灑之液滴12所形成之厚度為0.4 μιη。所需之間隔物厚度為5 μιη，並藉由在同一區域進行11次之排出而形成間隔物153。此時，由於間隔物形成用液體之液滴12，亦即硬化性樹脂於噴灑後瞬間乾燥、硬化，因此不致在ΒΜ174 上擴散、移動。此外，由於液滴12於噴灑後瞬間乾燥，因此不致因前次喷灑之液滴與下次噴灑之液滴碰撞而造成液滴擴散，可連續地排出。間隔物形成用液體之濃度為30 cP。噴墨裝置15可排出更 88222.doc -73 - 1252053 高黏度之液體，具體而言，可排A100cP之液體。因而可使間隔物形成用液體形成更高濃度。此外，雖然不需要使硬化性樹脂硬化用之加熱，但是為使樹脂穩定地硬化，亦可進行加熱處理。本發明之間隔物153材料只要係可形成所需厚度、強度之間隔物之材質者，並不限定於硬化性樹脂。其次，進行TFT基板151與形成有間隔物153之彩色濾光器基板152之貼合步騾及液晶ι54之注入步驟。貼合步驟中，首先於彩色濾光器基板152上印刷密封樹脂。該密封樹脂係與TFT基板151貼合時進行接著者，並使用環氧樹脂。其次，藉由密封樹脂貼合彩色濾光器基板152與 TFT基板15 1。而後加熱使密封樹脂硬化。其次，將貼合上述兩片基板而形成之陣列切斷成所需之尺寸。其次，採用真空注入裝置注入液晶154。其次，以樹脂密封注入口。而後進行超音波洗淨，完成液晶陣列。另外，就可使用於形成間隔物之噴墨裝置15之構造及進一步檢討結果，如前所述，如按照圖14至圖21之說明。 [第三種實施形態] 以下說明本發明之其他實施形態。本實施形態之液晶陣列如圖27所示，具備在間隔物材料連接狀態下，藉由自噴嘴1#出所形成之柱狀間隔物i8i, 來取代疊層構造之前述間隔物153。其他構造與前述液晶陣列相同。因此，TFT基板151及彩色濾光器基板152之各製造步驟’與配向膜16G，63之形成步驟與第—種實施形態所示 88222.doc -74- 1252053 時相同。用於形成間隔物181之噴墨裝置15之構造與第一種實施形態使用者大致相同。不過，圖丨所示之構造中，噴嘴\ = 使用賣觜直徑為φ2 4〇1者，並於墨室2内安裝有致動器，藉此可改變噴嘴丨與被記錄侧基板14 (彩色濾光器基板Η])之距離。此外，間隔物形成用液體係聚乙缔苯酚之乙醇溶液。圖28(a)〜圖28(c)顯示本實施形態之間隔物形成步驟。首先，如圖28(a)所示，將嘴嘴1對彩色濾光器基板152垂直地保持，使噴嘴頂端與彩色濾光器基板152上之ΒΜ174接觸。此時噴嘴電極5上未施加電壓。其/人’如圖28(b)所示，於噴嘴電極5上施加直流電壓，並藉由前述致動器，使噴嘴1在離開彩色濾光器基板152之方向上移動。於噴嘴1内，溶液藉由直流電流而凝聚，並隨喷角1之吸起，聚乙晞苯酚在連接成棒狀的狀態排出，而形成柱狀間隔物1 81。由於所需之間隔物181高度為5 μηι，因此構成間隔物181 之柱到達其高度時，如圖28(c)所示，斷開電源，噴嘴1仍然在上移動。藉此，間隔物1 8 1之柱自噴嘴1離開。如此獲得保持TFT基板151與彩色濾光器基板152之距離之柱狀間隔物 181 〇 [第四種實施形態] 以下說明本發明之另外實施形態。本實施形態之液晶陣列如圖29所示，具備藉由自噴嘴1排出構成間隔物之球狀粒子所形成之球狀間隔物182，來取代 88222.doc -75- 1252053 疊層構造之前述間隔物1 5 3。其他構造與前述液晶陣列相同。因此’ TFT基板151及彩色濾光器基板152之各製造步驟，與配向爿吴16 0 ’ 6 3之形成步驟與弟一種實施形態所示時相同。用於形成間隔物182之噴墨裝置15之構造與第一種實施形態使用者大致相同。不過，圖1所示之構造中，噴嘴1係使用噴嘴直徑為φ8 μηχ者。自噴嘴1排出之1滴之量為〇·25 pl。圖30顯示本實施形態之間隔物形成步驟。本實施形態中，間隔物形成用液體係使用將構成間隔物182之直徑為3 μιη 之塑膠之球狀粒子混合於乙醇内者。該溶液並未特別指定材質，不過J：為不溶解球狀粒子（間隔物182)及配向膜163 者。形成間隔物182時，以噴灑於彩色濾光器基板152之 ΒΜ174上之方式’自喷嘴1排出上述之間隔物形成用液體之液滴12。’匕時’因液滴之液體本身於噴灑後瞬間乾燥，所以間隔物182不致集中於液滴12周圍。因此，間隔物⑻ 散佈於彩色濾光器基板152上，不產生局㈣口率惡化之情況。噴墨裝置15動作之切換，係藉由變更自處理控制部網噴嘴電極5施加電壓之頻率或振幅來進行。噴、1裝置15之特徵為：施加電壓之頻率在某值以上時，或振幅在某值以下時，不排出液扣。但是，即使為排出條件以上之高頻率、俏据-， + ^ ;貫嘴1内仍以施加電壓之賴拌作用動作。因而即使不排出眭 — 卞 4徘出時，仍可藉由在噴嘴電極5 J：施加電壓來防止噴嘴1堵塞。 88222.doc -76- 1252053 [第五種實施形態] 以下說明本發明之另外實施形態。本實犯形毖 < 液晶陣列具備包含球狀粒子之間隔物182 。該間隔物182係散佈於彩色濾光器基板152上者。因此配置有間隔物1 82之位置，如圖3〇所示之液晶陣列，並不限定於在BM174上其他構造與前述液晶陣列相同。因此τρτ 基板151及彩色濾光器基板152之各製造步驟，與配向膜i6〇，63之形成步驟與第一種實施形態所示時相同。本實施形態中使用之噴墨裝置15之構造與第一種實施形態使用者大致相同。不過，噴嘴丨係使用噴嘴直徑為料μιη 者。因此，自噴嘴丨排出之丨滴之量為〇.25ρ1。間隔物形成步騾中，首先將直徑為5 μιη之塑膠球之球狀間隔物182混合於乙醇内，並藉由噴灑而散佈於彩色濾光器基板152上。此時，數個間隔物182集中於附著在彩色濾光器基板152 上之1個液滴周圍，而形成間隔物集合體。此種情況下，間隔物集合體於乙醇乾燥後仍保持在其位置，而造成局部開口率降低。因而’本實施形態係使用噴墨裝置丨5，以間隔物集合體之間隔物182適當地分散之方式進行處理。其次，藉由圖31(a)(b)說明該處理。首先，如圖31(a)所示，藉由觀察機構之CCD相機84觀察間隔物散佈區域，調查有無間隔物集合體丨83。其次，以喷嘴1位於藉由CCD相機84所觀察之間隔物集合體183之中心正上方位置之方式，調整噴嘴1與彩色濾光器基板152之相 88222.doc -77· 1252053 對位置。其次’如圖3 1 (b)所示，對在彼此接近位置之間隔物182 排出液滴12。該液滴12之液體並非特別指定材質者，不過宜為不溶解間隔物182及配向膜163之材質者。觸及液滴12之間隔物集合體183以各間隔物182彼此分離之方式移動。藉此，可避免因間隔物1 82相鄰而造成液晶陣列之開口率局部惡化。上述液滴12之排出’除對於間隔物集合體1 μ進行之外，亦可對存在於自BM174上離開之位置之1個間隔物182進行。此時，可使在自BM174離開之位置上之間隔物182在6]^ 上移動，可防止開口率降低。另外，以上實施形態中，間隔物均係形成於彩色濾光器基板152上，不過並不限定於此，亦可形成於丁打基板i5i 上。此外，間隔物之形成位置雖宜在3%174上，不過並不限定於此。如以上所述，本發明之彩色濾光器基板之製造方法，採用喷灑之液滴迅速乾燥之構造，抑制噴漢後液滴之移動，可正確且廉價地形成彩色濾光器層。因而本發明之彩色濾光器基板之製造方法係ϋ由噴墨方<，自冑嘴之排出孔排出含彩色濾光器層材料之液體之液滴12，而形成彩色濾光益層。使用排出孔lb之直徑小於液滴12之直徑之靜電吸引型之噴墨裝置15，自該噴墨裝置15之噴嘴排出丨滴之量在^ pi以下之液滴，而形成彩色濾光器層。 [第六種實施形態] 88222.doc -78- 1252053 以下，參照圖式說明本發明適切之實施形態。首先，本實施形態之彩色濾光器基板之製造，係使用藉由圖1至圖8說明之靜電吸引型喷墨裝置。其次，說明使用圖1所示之喷墨裝置15製造之彩色濾光器基板之製造方法。如圖32所示，本實施形態中之彩色濾光器基板252與TFT基板251均設於液晶陣列上。該液晶陣列如該圖所示，具有：TFT基板25 1與彩色滤光器基板252，於此等兩者間設有間隔物253，在藉由該間隔物253所形成之兩基板間之間隙内填充有液晶254，並藉由圖上未顯示之密封構件予以密封。 TFT基板251在基板255上依序形成有：閘極256、閘極絕緣膜257、層間絕緣膜258、像素電極259及配向膜260，並具有TFT264。配向膜260上散佈有間隔物253之塑膠球。彩色濾光器基板252在基板261上依序形成有彩色滤光器層 262及配向膜263。上述基板255，261可使用石英基板及玻璃基板等無機材料基板；或 polyethyleneterephthalate 基板、polyethersulfon 基板及聚醯亞胺基板等樹脂基板，不過，本發明並不限定於此等。另外，先前之彩色濾光器基板上設有使彩色濾光器層262 相鄰像素之對比清晰用之BM。但是，本實施形態之彩色濾光器基板252因係利用形成於TFT基板251之閘極配線及源極配線等之金屬配線作為BM，因此不形成專用之BM。其次，說明自圖1所示之噴墨裝置15排出之彩色濾光器形 88222.doc -79- 1252053 成用液體’亦即墨。本實施形態中，採用以下方式ig|制p丄乃A凋製形成紅、綠、藍各色之彩色濾光器層262用之墨（亦即像素用彩色墨）。 (A) 混合紅色顏料、界面活性兩丨紅 ^、樹脂及水，在室溫下使該混合物振動1小時，藉由進杆輻拉、延仃顏枓〈微細分散化處理來調製紅色墨。 (B) 除使用綠色顏料來取代红舍声拉、 κ、，、工&顏科 < 外，與上述同樣地調製綠色墨。 (C)除使用藍色顏料來取代紅色顏料之外，與上述⑷同樣地調製藍色墨》其次，說明彩色濾光器（像素）之配置。於具備彩色遽光器基板252之液晶顯示器中’像素之配置如圖33⑷所示，紅色⑻彩色濾光器像素271、綠色（G)彩色濾光器像素272及藍色（B)彩色濾光器像素⑺成為配置成矩陣狀之帶狀排列。另夕卜，像素之配置，除此之外，如圖 33(b)、圖33(c)所示，亦可為馬赛克排列、三角形排列。彩色濾光器基板252中，R彩色濾光器像素271、G彩色濾光态像素272及B彩色濾光器像素273之各個佔用面積之比例未必需要為i ••…。此外，各像素之佔用面積亦可相同，亦可依各像素而不同。一般而言’為求防止相鄰之各彩色濾光器層262之混合，立在具有不同色之像素間設置隔壁。但是，本發明之製造方法之形成彩色滤光器層262之墨於噴灑後瞬間乾燥，所以液滴不擴散’可堆疊塗敷彩色濾光器層材料。因而各相鄰 88222.doc 1252053 之像素之彩色濾光器層262不致接觸或混合。因而可省略隔壁之製作。另外，亦可基於使相鄰像素之對比清晰之目的來製作隔壁。此時由於隔壁之高度無須具防止各相鄰之彩色濾光器層262混合之功能，因此亦可小於彩色濾光器層％]。隔壁可採單層構造，亦可採多層構造，可配置於各像素間，亦可配置於不同之彩色濾光器層262間。隔壁之材質宜為不溶或難溶於溶解或彩色濾光器材料，亦即不溶或難溶於彩色濾光器形成用液體之溶媒者。著眼於提高顯示器之顯示品質，特別宜採用黑矩陣（BM)用之材料（如鉻及樹脂愛等）。 …、其次，說明對應於各像素之像素電極259之連接方法。如圖34所示，具備彩色濾光器基板252之液晶顯示器a# 之像素電極259係經由TFT264連接於共用之配線，亦即連接於源極匯流排線275及閘極匯流排線276。如該圖所示，液晶顯示器274之數個像素配置成矩陣狀，藉由於此等像素上，以彩色濾光器基板252著上數個發光色，可進行全彩色顯示。數個色宜為紅色、綠色及藍色之組合。其次，說明彩色濾光器基板252之彩色濾光器層262之形成方法。於彩色濾光器層262之形成步驟中，如下述地使用噴墨裝置15，依序嘴墨圖案化塗敷上述之紅色墨、綠色墨及藍色墨。首先，於圖35(a)所示之第一步驟中，藉由噴墨裝置15噴 88222.doc -81 - 1252053 射使RGB二色中之第一色之R声g料八為；^么巴U顏枓刀月欠〈紅色墨液如，而形成R彩色濾光器像素271。所以噴灑面積不擴用之隔壁及親拒水此時，因液滴12於噴灑後瞬間乾燥，散。因此不需要形成隔開像素形成區域之區域。

器材料之體積V 此時，一次噴灑之液滴内所含之彩色濾光於體積濃度為77 (%)時，為 V=(4/3) X 7Γ X (D/2)3 X ( 7/ /loo) 假設液滴尺寸為(|)D μηι直徑，噴灑時擴散成&倍之直俨。 -次噴麗所形成之彩色遽光器層厚度為所需之彩二光器層厚度t之l/α時，亦即重複噴灑之疊層數為α時，以下公式成立 Υ/(π X((D/2)X /c )2)=t/a 整理該公式而成 7? =/3 Xt/(a XD) 因沒=150X/c2,所以假設噴灑時擴散成15倍之直徑，則 /c =1.5，因此 η =340 Xt/(a X D) 彩色滤光器層262之所需厚度為！叫，液滴以尺寸約8 μιη直徑時，墨之濃度決定如下。為求縮短像素製作時間，而減少液滴12之重複噴灑次數。疊層次數係藉由液滴噴灑面積、丨個像素之面積、噴灑頭 (噴墨裝置15)之驅動頻率及噴灑頭之噴嘴數量等來決定。若使液滴12之重複噴灑次數在1〇〇次以下（α ^ 1〇〇)時，所 -82- 88222.doc 1252053 需之墨之體積濃度7?為 7] =3.4Xt/D=0.4% 再者，為減少重複喷灑次數，而在10次以下（α $ 1〇)時，同樣地為 η =34X t/D=4% 此外，彩色滤光器層262表面宜儘可能平坦。因而宜移動液滴12之噴灑位置，數次重疊彩色濾光器材料。本實施形悲係重複f >麗兩次以上（α — 2)。此時，於下段側之相鄰噴灑位置之各中心之中間位置設定上段側之液滴12之噴灑中心。藉此，彩色濾光器層262之表面可獲得足夠之平滑度。此時所需之墨之體積濃度7?為 V -170Χ t/D=20% 表9顯示噴灑之液滴12之疊層數（〇；)對墨之濃度、墨之黏度、彩色濾光器層262之生產效率及彩色濾光器層262之表面平滑性之影響之調查結果。 (表9) 表9疊層數之影響

從表9結果可知，考慮生產效率與表面平滑性時，宜將疊 88222.doc -83- 1252053 層數（α )設足於2〜數百之間，並因應其來決定墨之體積濃度。此處優先考慮生產效率，而將α設定為2。此時體積濃度為1%，墨黏度為高黏度。此種情況下，雖先前之嘴墨裝置排出困難，但是本噴墨裝置15則排出容易。攸上述結果可知’彩色濾光器層262表面足夠平滑，重複噴灑次數最少者’為體積濃度為1%時。該體積濃度與先前 <喷墨裝置中使用之彩色濾光器層形成用墨之體積濃度比車乂為同;辰度，且液滴尺寸小。藉由使用噴墨裝置丨5，由於可排出鬲黏度 < 墨，液滴12之飛濺速度被電場加速，因此液滴12於噴灑後瞬間乾燥。於圖35(a)所示之第一步騾中形成r彩色濾光器像素271 時’使噴墨裝置15之具備噴嘴丨之噴灑頭或被記錄側基板14 (基板261)在饋進方向上移動，並排出液滴12。此時，下次噴灑係在對前次噴灑少許偏差之位置上重複喷灑。藉此，可獲得所需厚度之R彩色濾光器像素271。同樣地，在圖35(b)所示之第二步.驟中，藉由喷墨裝置15 噴射使RGB三色中之第二色之G顏料分散之綠色墨之液滴 12 ’而形成所需厚度之G彩色濾光器像素272。同樣地’在圖35(c)所示之第三步驟中，藉由喷墨裝置15 賣射使RGB二色中之第三色之b顏料分散之藍色墨之液滴而y成所呙厚度之B彩色滤光器像素273。另外’就R 办色濾光器像素271、G彩色濾光器像素272、B彩色濾光器像素273之形成順序，並不限定於上述順序，可適切變更。各色之彩色濾光器層262之材質、溶媒材質及彩色濾光器 88222.doc -84- 1252053 層262尺寸不同時，最佳之體積濃度亦不同。彩色滤光器層材料之體積濃度愈高，雖重複噴灑次數減少，生產效率提高，但是墨黏度愈大。噴墨裝置15可排出比本實施形態中使用之墨之黏度更大黏度，並可提高墨之體積濃度。而後，如上所述地燒成形成R彩色濾光器像素271、G彩色濾光器像素272及B彩色濾光器像素273之三色像素圖案之基板261，於其上塗敷、燒成圖上未顯示之透明保護膜，而形成彩色濾光器基板252。另外，與上述彩色濾光器基板252貼合之TFT基板251，係經由層間絕緣膜258重疊源極匯流排線275與閘極匯流排線 276。如此’源極匯流排線275及閘極匯流排線276具有將TFT 基板251之像素部分以外之部分遮光之bm的功能。因此，彩色濾光器基板252上不需要BM，可刪除BM之製造步騾，而廉價地製造彩色濾光器基板252。另外，由於噴墨裝置15係對彩色濾光器層262之1個像素排出數個墨液滴，因此無須對1個像素為1個喷嘴，亦可使用數個噴嘴。此外，填充彩色濾光器層262之1個像素時，無須連續地排出墨，亦可分成數次進行。此外，形成彩色濾光器層262時，無須使全部液滴形成速乾性之微小液滴，亦可增加最初之噴灑液體而形成概略形狀’而後使用噴墨裝置（次微米頭）15排出微小液滴，並進行厚度之微調整及不均一修正。上述實施形態中，三色之彩色濾光器層262均係使用噴墨法（喷墨裝置15)而形成，不過亦可使用自旋式塗敷法及偏置 88222.doc -85- l252〇53 印刷法或電沉積法等形成任意之—色或兩色之彩色滤光器層 262。此外，上述實施形態中，第一色為R，第二色為B，不過亦可使第-色為B’第二色為R等來變更色之順序。此外，上述實施形態係說明製造帶狀像素排列之彩色濾光器基板252，不過亦可為圖33所示之色像素排列為三角形狀之彩色濾光器基板或其他TFT基板。此外，使用本實施形態之噴墨裝置（次微米頭）15之喷墨方法，因液滴噴灑後瞬間乾燥，液滴不致與相鄰之像素混合，因此不需要如先前之噴墨法之像素間之邊界，或是作為防止墨（液滴）流出之壁之BM。此外，由於藉由配線金屬將像素部分以外之部分遮光，因此在彩色濾光器基板252上無須特別設置BM。因此，彩色濾光器基板252之製造成本低。另外，上述實施形態中，雖未設置BM，不過在允許提高成本時，亦可形成BM。因本喷墨裝置15可排出先前之噴墨裝置無法實現之高黏度之液滴，所以可提高彩色濾光器材料之濃度，且可使液滴微小化。因此具有喷灑後瞬間乾燥之先前無法獲得之效果，因而可減少重複噴灑次數，且可縮短重複噴灑時前次噴藏與下次1 >麗之間隔時間，可提高作業性。再者，由於本噴墨裝置15可減少噴嘴丨與記錄媒體（相對電極13)間之電壓，因此無破壞TFT264等之危險性。此外，使用並非靜電吸引方式之先前之噴墨裝置，即使縮小排出之液滴直徑，如上所述，墨體積濃度增加，無法 88222.doc -86- 1252053 貝現足夠〈飛歲速度，因而無法實現噴灑後瞬間乾燥之重複噴灑作業之效率化。 ”另外，進一步檢討可使用於彩色濾光器基板252之彩色濾光-層262《製造《噴墨裝置⑽造結果，如前所述，如按照圖14至圖21之說明。如以上所述，本發明之液晶陣列之製造方法係利用噴墨万式’不降低開口率而可輕易獲得所需厚度之間隔物。因而液晶陣列之製造方法在相對配置之一對基板之至少一方八有開口 #，在兩基板間設有形成液晶填充用之間隙之間隔物’藉由喷墨方 <，自噴嘴β排出孔师出間隔物材料之液滴，使其硬化而形成間隔物。使用噴嘴丨之排出孔lb之直徑小於液滴12之直徑之靜電吸引型之噴墨裝置15，可自噴嘴1排出1滴之量在i pl以下之液滴。另外，實施方式項中具體之實施態樣或實施例，僅為說明本發明之技術内容者，不應狹義解釋成僅限定於此種具體例，凡符合本發明之精神並在下述申請專利範圍内，可作各種變更來實施。產業上之利用可行性以本發明之主動矩陣型有機電致發光顯示器之製造方法所製造之主動矩陣型有機電致發光顯示器，可用於彩色電視機及個人電腦等之顯示裝置。此外，以本發明之液晶陣列之製造方法所製造之液晶陣列可用於液晶彩色電視及個人電腦等顯示裝置。再者，以本發明之彩色滤光器基板之製造方法所製造之彩色濾光器基板，如可用於構成彩色電 88222.doc -87- 1252053 視及個人電腦等之顯示裝置之彩色液晶顯示裝置上。【圖式簡單說明】圖1係顯示本發明一種實施形態之有機電致發光顯示器製造時使用之喷墨裝置之概略剖面圖。圖2(a)係顯示圖1所示之喷嘴上之墨彎月面狀態者，且為顯示墨排出前之狀態之說明圖，圖2(b)係顯示自該噴嘴伸出之狀態之說明圖，圖2(c)係顯示該液滴排出之前之狀態之說明圖。圖3(a)係顯示靜電吸引型喷墨裝置中，噴嘴直徑為φ0.2 μπι時之噴嘴頂端部之電場強度分布圖，且為顯示噴嘴與相對電極之距離為2000 μηι時者，圖3(b)係顯示該距離為100 μπι時者。圖4(a)係顯示靜電吸引型噴墨裝置中，噴嘴直徑為φ0.4 μηι時之喷嘴頂端部之電場強度分布圖，且為顯示噴嘴與相對電極之距離為2000 μηι時者，圖4(b)係顯示該距離為100 μπι時者。圖5(a)係顯示靜電吸引型喷墨裝置中，噴嘴直徑為φΐ μηι 時之噴嘴頂端部之電場強度分布圖，且為顯示喷嘴與相對電極之距離為2000 μιη時者，圖5(b)係顯示該距離為100 μιη 時者。圖6(a)係顯示靜電吸引型喷墨裝置中，喷嘴直徑為φ8 μηι 時之噴嘴頂端部之電場強度分布圖，且為顯示噴嘴與相對電極之距離為2000 μπι時者，圖6(b)係顯示該距離為100 μιη 時者。 88222.doc -88- 1252053 圖7(a)係顯示靜電吸引型噴墨裝置中，喷嘴直徑為φ20 μιη 時之噴嘴頂端部之電場強度分布圖，且為顯示噴嘴與相對電極之距離為2000 μηχ時者，圖7(b)係顯示該距離為100 μιη 時者。圖8(a)係顯示靜電吸引型噴墨裝置中，噴嘴直徑為φ5〇 μιη 時之噴嘴頂端部之電場強度分布圖，且為顯示喷嘴與相對電極之距離為2000 μηι時者，圖8(b)係顯示該距離為1〇〇 μηι 時者。圖9係顯示本發明一種實施形態之有機電致發光顯示器之1個像素部分之有機電致發光元件之構造之概略縱剖面圖。圖10(a)係顯示本發明一種實施形態之有機電致發光顯示器之發光層之一種配置形態者，且為各色像素排列成帶狀之例之平面圖，圖10(b)係顯示各色像素排列成馬賽克之例之平面圖，圖1 〇(c)係顯示各色像素排列成三角形之例之平面圖。圖11係顯示本發明一種實施形態之有機電致發光顯示器之電極一種配置形態之平面圖。圖12⑷係顯示圖9所示之有機電致發光顯示器之製造步驟二之第—電極形成步驟之縱剖面圖，圖12(b)係顯示該電之形成步驟之縱剖面圖，圖12⑷係顯示該有機電致么先層义形成步騾之縱剖面圖。圖13⑷係顯示圖12(〇所示之有機電致發光層之形成步驟中之R發光像素之形成步驟之縱剖面圖’圖13⑻係= 88222.doc -89- 1252053 該G發光像素之形成步驟之縱剖面圖，圖i3⑷係顯示該贿光像素之形成步驟之縱剖面圖。圖14係顯示喷嘴直徑與最大電場強度之關係圖。圖15係顯示噴嘴直徑與各種電壓之關係圖。圖16係顯示噴嘴直徑與強電場區域之關係圖。圖Π係顯示施加電壓與帶電荷量之關係圖。圖18係顯示初期排出液滴直徑與乾燥時間之關係圖。圖19係顯示周圍溫度與乾燥時間之關係圖。圖2〇係本發明其他實施形態之噴墨裝置之概略構造剖面圖。圖21係本發明實施形態之噴墨裝置之原理之說明圖。圖22係顯示本發明一種實施形態之液晶陣列之縱剖面圖。圖23係顯示圖22所示之TFT基板之_像素構造之平面圖。圖24係自圖23之A-A線箭頭觀察之剖面圖。圖25⑷係顯示圖22所示之彩色滤光器基板之製造步驟中之黑矩陣形成步驟之縱剖面圖，圖25(b)係顯示該製造步驟之R像素之彩色滤光器之形成步驟之縱剖面圖，圖25⑷係顯…像素之彩色滤光器之形成步驟之縱剖面圖，圖尋顯示該B像素之彩色濾光器之形成步驟之縱剖面圖。圖⑽顯示圖22所示之間隔物之形成步驟之縱剖面圖。圖27係顯示本發明其他實施形態之液晶陣列之縱剖面圖。圖28(&)係顯示圖27所示之間隔物形成步驟之初期狀態之縱剖面圖’圖28⑻係顯示該間隔物形成步驟之中期狀能之縱剖面圖，圖28⑷係顯示該間隔物形成步驟之後期㈣之 88222.doc -90- 1252053 縱剖面圖。 =示Γ月其他實施形態之液晶陣列之縱剖面圖。 =:圖29所示之間隔物形成步驟之縱剖面圖。圖3 1 (a)係顯示本發明發月另外貫施形態之液晶陣列之間隔物形成步驟，且顯示散佑布义間隔物之觀察步驟之說明圖，圖 3 1(b)係顯示使經過上诚 <硯π步知所發現之間隔物集合體之間隔物分散之步騾之說明圖。圖3 2係具備本發明一稀音放π μ、種實她形怨 < 彩色濾光器基板之液晶陣列之縱剖面圖。圖33⑷係顯示本發明—種實施形態之彩色攄光器基板之各彩色濾光器像素一種配置形態者，且係顯示各彩色濾光器，素排列成帶狀之例之平面圖’圖33(b)係顯示各彩色滤光器像素排列成馬賽克之例之平面圖，圖33(c)係顯示各彩色濾光器像素排列成三角形之例之平面圖。圖34係顯示具備本發明—種實施形態之彩色滤光器基板之液晶陣列之電極一種配置形態之平面圖。圖35(a)係顯示圖32所示之彩色濾光器基板之尺彩色濾光器像素之形成步驟之縱剖面圖，圖35(b)係顯示該〇彩色濾光器像素之形成步驟之縱剖面圖，圖35(c)係顯示該3彩色濾光器像素之形成步騾之縱剖面圖。圖36係顯示先前之有機電致發光顯示器之1個像素部分之有機電致發光元件之構造之概略縱剖面圖。圖37(a)係顯示於有機電致發光層之形成中，在基板上形成親液區域與拒液區域之狀態之縱剖面圖，圖37(b)係顯示 88222.doc -91 - 1252053 於圖37(a)所示之基板上噴灑液滴狀態之縱剖面圖，圖37(e) 係_示嘴灑之液滴分離狀態之縱剖面圖。圖38(a)係顯示於有機電致發光層之形成中，利用黑矩陣作為隔壁，噴灑液滴之狀態之縱剖面圖，圖38〇))係顯示在形成之有機電致發光層上產生層厚不均一狀態之縱剖面圖。圖39(a)係顯示於有機電致發光層之形成中，喷灑不致自隔土 ’皿出程度之小液滴狀態之縱剖面圖，圖39(b)係顯示於前次噴_化部分之層上噴灑τ_個液滴狀態之縱剖面圖。【圖式代表符號說明】 1 噴嘴 la 孔 lb 排出孔 2 墨室 5 噴嘴電極 7 彎月面 12 液滴 13 相對電極 14 被記錄側基板 25 處理控制部 51 基板 52 第一電極 53 有機電致發光;f 54 弟二電極 55 電荷輸送層 88222.doc -92- 密封基板有機電致發光層 R發光像素 G發光像素 B發光像素 TFT基板彩色濾光器基板間隔物液晶絕緣基板彩色濾光器 TFT(主動元件）黑矩陣間隔物間隔物（固體間隔物）間隔物集合體 TFT基板彩色濾光器基板間隔物液晶彩色濾光器層 R彩色濾光器像素 G彩色濾光器像素 B彩色濾光器像素 -93- 液晶顯示器基板第一電極有機電致發光層第二電極隔壁密封基板有機發光層親液區域拒液區域液滴隔壁自大液滴所形成之有機電致發光層（彩色濾光器層）前次噴灑固化邵分 94-

Claims

U p :4。钇別 ]25^)&<3l26386號專利申請案中文申請專利範圍替換本(94 拾、申請專利範園 1. :種,動矩陣型有機電致發光顯示器之製造方法，其係 #二土方式將含有機電致發光層材料之液體自噴嘴灿作為液滴排出，而形成有機電致發光層者，其特徵為： 11 ^排出孔直控比前述液滴直徑小之靜電吸引型嘴墨裝置，自兮哈 τ、自Μ貧墨裝置之噴嘴排出1滴之量係1 pi以下夂液滴。 2 ·如申請專利範哭、制圍罘1員又王動矩陣型有機電致發光顯示 = 万法’其中作騎述液體，使用«濃度係自 =复：在同—個有機電致發光層形成區域之前述液渴所形成之疊層數求出之值者。 3·利範圍約項之主動矩陣型有機電致發光顯示者。L万法，其中作為前述液體，使用黏度係20 cP以上 I 利範園第β之主動矩陣型有機電致發光顯示 “申=圍其，前述有機電致發光層含有機發光層。示^主動㈣型有機電致發光顯。 ’、則述有機電致發光層含電荷輸送層 6. 種王動矩陣型有機電藉由嘴墨方式，將-有機器之製造方法，其' 排出孔作為液滴光層材料之液體自噴，徵為：不成有機電致發光層者，其』 88222-940818.doc I252053 使用自噴嘴排出丨滴夕b〜响< I係1 pi以下之液滴之靜電吸引型噴墨裝置；設由重複打在同一 _古 J彳固有機電致發光層形成區域之前述液滴所形成之疊層齡& 且曰数為α，對於液滴直徑之由擊中有機電致發光層形成區妁—、、 & 域〇夜滴之擊中直徑之比求出之值為/5 ’液滴直獲Α η，ρ、、 1成之有機電致發光層之厚度為t時’作為前述液辦使用體積濃度々（％)為大致/5 xt/( a XD)者。 7_ 9· 如申睛專利範圍第6項>、王動矩陣型有機電致發光顯示器之製造方法，並ψ你、人y r作為静電吸引型噴墨裝置，使用前述排出孔直徑比前述液滴直徑小者。如申請專利範圍第6碼；、& , _、昂員又王動矩陣型有機電致發光顯示器之製造方法，其中作五义 T作為則述液體，使用黏度係2〇cP以上者。哭申：專利Ιϋ圍第6项之主動矩陣型有機電致發光顯示 10. 一二万法’其中前述有機電致發光層含有機發光層。 -種^矩陣型有機電致發光顯示器之製造裝置，其係 :、方式將含有機電致發光層材料之液體自喷嘴 ^孔作為履滴排出至基板，於該基板上形成有機電致發先層者，其特徵為：前述喷墨方式係為靜電吸引型，如述贺嘴係為前诚 ⑺建排出孔直徑比前述液滴直徑更小者，及有處理&制邵’其使前述噴嘴與前述基板間產生吸 88222-9408J8.doc !252053 引貪角内的液體至前述基板方向之電排4M A、兒每並使前述噴嘴 ¥出屑<量係1 pi以下之液滴。 u·:種主動矩陣型有機電致發光顯示器之製造裝置，其係藉由噴墨方式’將含有機電致發光層材料之液體自喷嘴 2孔作為液滴㈣至絲，於該基板上形成有機電致發光層者，其特徵為·· 前述噴墨方式係為靜電吸引型具有處理控制部，其使前述喷嘴與前述基板間產生吸引噴嘴内的液體至前述基板方向之電場，自前述喷嘴使 1滴之量係1 pi以下之前述液滴排出，並且前述液體係為’設由重複打在同一個有機電致發光層形成區域之前述液滴所形成之疊層數為α，由擊中有機電致發光層形成區域之液滴之擊中直#對液滴直徑之比求出之值為ys，液滴直徑為D’形成之有機電致ς光層之厚度為t時，體積濃度π (%)為大致万xt/ (a XD)者。一種液晶陣列之製造方法，其係在相對配置之—對基板之至少-方具有開口部’於此等兩基板間設有形成液晶填充用之間隙之間隔物，藉由噴墨方式自噴嘴之排出孔排出間隔物材料之液滴，並藉由使其硬化而形成前述間隔物者，其特徵為：使用前述排出孔直徑比前述液滴直徑小之靜電吸引型噴墨裝置，自該噴墨裝置之噴嘴排出丨滴之量係丨…以下之液滴。 8S222-940818.doc 1252053 13.tl請專利範園第12項之液晶陣列之製造方法，其中來 1則述赁嘴之排出物黏度係30 CP以上。丨“:申：專利範圍第12項之液晶陣列之製造方法，其中於 ^成前述間隔物之基板上1成有於透明基板上以至少 1 一色以上之色所著色之彩色濾光器。 5·如:請專利範圍第12項之液晶陣列之製造方法，其中形成則述間隔物之基板係各像素具備主動元件之陣基板。力矩、種履晶陣列〈製造方法，其係在相對配置之一對基板 =卜方具有開口部’於此等兩基板間設有形成二晶、无用〈間隙之間隔物’藉由噴墨方式自喷嘴之排出孔排出間隔物材料，並藉由使其硬化而形成前述間隔物 ’其特徵為：，則述貧嘴《前端邵接觸基板之間隔物形成面，在該狀怨下，為使前述間隔物材料凝縮，而對設於噴嘴上之 :極施加電壓’―面維持該電壓施加狀態，-面自前述噴嘴連續地《述間隔㈣料排出，並且_前述與前述基板之位置，於前述基板上形成柱狀之間隔物。 •如申#專利範ju第16項之液晶陣狀製造方法，义述噴嘴之排出孔直徑係8 μηι以下。八m 18.如申請專利範圍第16項之液晶陣列之製造方法，其中來自前逑噴嘴之排出物黏度係 30 cP以上。 19·如申=專利_第16項之液晶睁列之製造方法，其中於形成前述_物之絲上，形成有於透明絲上以至少 88222-9408J8.doc 丄252053 20. 21. 22. 23, 24, 25, !*以上《色所著色之彩色濾光器。 ^料利範園第16項之液晶陣列之製造方法，成则述間隔物之Λ姑杈女你A /、τ形陣基板。"''各像素具備主動元件之主動矩、/畴列之製造方法’其係在相對配置之-對基板具有開口部，於此等兩基板間設有形成液晶、< θ隙之間隔物者，其特徵為： 1用τ嘴排出孔直徑比排出之㈣4徑小引型噴墨裝晉， + r ^ Α 自孩，墨裝置之噴嘴將含固體間隔物之及體作為1滴之吾里係1 pi以下之液滴排出至間隔物形成上，而形成前述間隔物。其中來其中於以至少其中形主動矩如^專利範m第21項之液晶陣列之製造方法，自則述噴嘴之排出物黏度係3〇 CP以上。如申請專鄉ϋ第則之液晶陣列之製造方法，形成前述間隔物之基板上，形成有於透明基板上三色以上之色所著色之彩色濾光器。如申請專利範圍第21項之液晶陣列之製造方法，成前述間隔物之基板係各像素具備主動元件之陣基板。種液晶陣列之製造方法，其係在相對配置之—對美板 4至少一方具有開口部，於此等兩基板間設有形成液晶填充用之間隙之間隔物者，其特徵為：於間隔物配置面上配置個體間隔物後，使用噴嘴排出孔直徑比排出之液滴直徑小之靜電吸 88222-940818.doc 〜ζυ53 ^丨型噴墨裝置，自以下、目4貧义1置<噴嘴排出1滴之量係1P1 7滴，並藉由使其液滴撞擊前述固體間隔物而使 26.如：隔物移動’進行個體間隔物之定位。二專利&園第25項《液晶陣列之製造方法，其中來 27 $㈤述貫嘴之排出物黏度係30 cp以上。請專利範園第25項之液晶陣列之製造方法，其中於 j前述間隔物之絲上，形成有於透明基板上以至少 28 ^以上之色所著色之彩色濾光器。請專利範圍第25項之液晶陣列之製造方法，其中形陣2間隔物之基板係各像素具備主動元件之主動矩 2 U光器基板之製造方法，其係藉由噴墨方式，將含彩色濾光器層材料之液體自噴嘴排出孔作為液滴出而形成彩色滤光器層者..，其特徵為： u使用前述排出孔直徑比前述液滴直徑小之靜電吸引型噴墨裝置，自該噴墨裝置之噴嘴排出丨滴之量係ipi以下之液滴。 Μ·:申請專利範圍第29項之彩色滤光器基板之製造方法，其中作為前述液體，使用體積濃度係自由重複打在同一個彩色濾光器層形成區域之前述液滴所形成之疊層數求出之值者。 3 1 ·如申請專利範圍第29項之彩色濾光器基板之製造方法：其中作為前述液體，使用黏度係2〇❶以上者。 32· —種彩色濾光器基板之製造方法，其係藉由喷墨方式， 88222-940818.doc l252〇53 將含彩色濾光器層材排屮工自1嘴排出孔作為液滴出，而形成彩色滤光器層者，其特徵為：使用自噴嘴排出丨鴻之量係丨引型嘴墨裝置；义下认同又靜電吸叹田里禝打在、、… 一個彩色濾光器層形成區域之前述液滴形成之疊層數克、/v、、、、_!_ π ，對I液凋直徑之由擊中彩色濾益層形成區域之液滴之擊中直徑之比求出之值為石 ’液滴直徑為D，形成之彩色滤光器層之厚度為t時，作為前述液體，使用體積濃“㈤為大致心/(⑽）者0 33 34, 35. .如申請專利_第32㊆之彩色滤光器基板之製造方法， :中作為靜電吸引型噴墨裝置，使用前述排出孔直徑比前述液滴直徑小者。 .如申4專利目第32项之彩色滤光器基板之製造方法，其中作為前述液體，使用黏度係 20 cP以上者。 -種彩色濾光器基板之製造裝置，其係藉由噴墨方式，將含彩色濾光器層材料之液體自噴嘴排出孔作為液滴排出於基板上，於前述基板上形成彩色濾光器層者，其特徵為： w 則述噴墨方式係為靜電吸引型，則述噴嘴係為前述排出孔直徑比前述液滴直徑更小者，及具有處理控制部，其使前述喷嘴與前述基板間產生吸引貪背内的液體至前述基板方向之電場，並使自前述噴 S8222-940818.doc ^52053 36 二拂出1滴《量係1 pl以下之液滴。游==器。基板之製造裝置，其係藉由嗔墨方式，排出，而形成采… 排出孔作為液滴 _ 〜成如色濾光器層者，其特徵為： :述噴墨方式係為靜電吸引型，引喷制部，其使前述噴嘴與前述基㈣產生吸嘴排出^^體至前述基板方向之電場，並使自前述噴前述液體：：lpl以下之前述液滴，並且成區域之，設由重複打在同—個彩色滤光器層形器層形成=液滴形成之疊層數為α，由擊中彩色滤光之值為二液滴之擊中直徑對液滴直徑之比求出 t時，作為Γ、滴4徑為D，形成之以^器層之厚度為者。、’圮液體，體積;辰度77 (〇/〇)為大致冷Xt/( a XD) 88222-940818.doc