TWD171964S - 晶圓舟之晶圓支撐爪（三） - Google Patents

晶圓舟之晶圓支撐爪（三）

Info

Publication number
TWD171964S
TWD171964S TW104302641F TW104302641F TWD171964S TW D171964 S TWD171964 S TW D171964S TW 104302641 F TW104302641 F TW 104302641F TW 104302641 F TW104302641 F TW 104302641F TW D171964 S TWD171964 S TW D171964S
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
view
design
showing
parts
enlarged
Prior art date
Application number
TW104302641F
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshinori Kusakabe
Masami Oikawa
Original Assignee
東京威力科創股份有限公司
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 東京威力科創股份有限公司, Tokyo Electron Ltd filed Critical 東京威力科創股份有限公司
Publication of TWD171964S publication Critical patent/TWD171964S/zh

Links

Abstract

【物品用途】;本設計之物品係一種在半導體製造之成膜過程中，為了如顯示使用狀態之參考立體圖所示般將晶圓以複數片積層來設置於成膜裝置內者。此外，顯示使用狀態之參考立體圖中為便於說明起見僅記載了2片晶圓。此外，欲取得部分設計專利的部分乃用以支撐晶圓端部的爪，如顯示使用狀態之參考放大圖所示般支撐晶圓。;【設計說明】;本設計係主張以實線所表示之部分作為部分設計，包含從右斜上方觀看實線部分的放大立體圖以及從左斜下方觀看實線部分的放大立體圖、以及A-B部分放大圖與C-D部分放大圖、E-E剖面圖與F-F剖面圖，係對於欲取得部分設計專利之部分加以特定。一點鏈線僅為顯示欲取得部分設計專利之部分與其他部分之交界的線。俯視圖因與仰視圖對稱顯示故予以省略。右側視圖以及後視圖由於未顯示欲取得部分設計專利之部分故予以省略。此外，圖式中以虛線表示之部分，為本設計所不主張之部分。
TW104302641F 2014-11-20 2015-05-18 晶圓舟之晶圓支撐爪（三） TWD171964S (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPD2014-25969F JP1537629S (zh) 2014-11-20 2014-11-20

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TWD171964S true TWD171964S (zh) 2015-11-21

Family

ID=54399249

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104302641F TWD171964S (zh) 2014-11-20 2015-05-18 晶圓舟之晶圓支撐爪（三）

Country Status (3)

Country Link
US (1) USD791721S1 (zh)
JP (1) JP1537629S (zh)
TW (1) TWD171964S (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP1563649S (zh) * 2016-02-12 2016-11-21
CN206961808U (zh) * 2017-07-14 2018-02-02 君泰创新（北京）科技有限公司 硅片清洗工装
JP1638282S (zh) 2018-09-20 2019-08-05
JP1665228S (zh) * 2019-11-28 2020-08-03
JP1678278S (ja) * 2020-03-19 2021-02-01 基板処理装置用ボート
JP1706322S (zh) * 2021-08-27 2022-01-31

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USD361752S (en) * 1993-09-17 1995-08-29 Tokyo Electron Kasbushiki Kaisha Wafer boat or rack for holding semiconductor wafers
USD366868S (en) * 1993-09-29 1996-02-06 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Wafer boat or rack
USD378823S (en) * 1995-05-30 1997-04-15 Tokyo Electron Limited Wafer boat
USD378675S (en) * 1995-05-30 1997-04-01 Tokyo Electron Limited Wafer boat
USD380454S (en) * 1995-05-30 1997-07-01 Tokyo Electron Limited Wafer boat
JP3218164B2 (ja) * 1995-05-31 2001-10-15 東京エレクトロン株式会社 被処理体の支持ボート、熱処理装置及び熱処理方法
JP3122364B2 (ja) * 1996-02-06 2001-01-09 東京エレクトロン株式会社 ウエハボート
TW325588B (en) * 1996-02-28 1998-01-21 Asahi Glass Co Ltd Vertical wafer boat
KR19990077350A (ko) * 1996-02-29 1999-10-25 히가시 데쓰로 반도체웨이퍼의 열처리용 보트
USD404015S (en) * 1997-01-31 1999-01-12 Tokyo Electron Ltd. Wafer boat for use in a semiconductor wafer heat processing apparatus
USD411176S (en) * 1997-08-20 1999-06-22 Tokyo Electron Limited Wafer boat for use in a semiconductor wafer heat processing apparatus
USD409158S (en) * 1997-08-20 1999-05-04 Tokyo Electron Limited Wafer boat for use in a semiconductor wafer heat processing apparatus
USD404371S (en) * 1997-08-20 1999-01-19 Tokyo Electron Limited Wafer boat for use in a semiconductor wafer heat processing apparatus
KR20000002833A (ko) * 1998-06-23 2000-01-15 윤종용 반도체 웨이퍼 보트
US6099645A (en) * 1999-07-09 2000-08-08 Union Oil Company Of California Vertical semiconductor wafer carrier with slats
US6287112B1 (en) * 2000-03-30 2001-09-11 Asm International, N.V. Wafer boat
US6341935B1 (en) * 2000-06-14 2002-01-29 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Wafer boat having improved wafer holding capability
JP4506125B2 (ja) * 2003-07-16 2010-07-21 信越半導体株式会社 熱処理用縦型ボート及びその製造方法
USD580894S1 (en) * 2006-05-01 2008-11-18 Tokyo Electron Limited Wafer boat
USD570308S1 (en) * 2006-05-01 2008-06-03 Tokyo Electron Limited Wafer boat
USD570309S1 (en) * 2006-10-25 2008-06-03 Tokyo Electron Limited Wafer boat
USD600222S1 (en) * 2008-03-28 2009-09-15 Tokyo Electron Limited Wafer boat
USD600221S1 (en) * 2008-03-28 2009-09-15 Tokyo Electron Limited Wafer boat
USD616394S1 (en) * 2009-03-06 2010-05-25 Tokyo Electron Limited Support of wafer boat for manufacturing semiconductor wafers
USD616395S1 (en) * 2009-03-11 2010-05-25 Tokyo Electron Limited Support of wafer boat for manufacturing semiconductor wafers
USD655255S1 (en) * 2010-06-18 2012-03-06 Hitachi Kokusai Electric Inc. Boat of wafer processing apparatus
USD655682S1 (en) * 2010-06-18 2012-03-13 Hitachi Kokusai Electric Inc. Boat of wafer processing apparatus
TWD163542S (zh) * 2013-03-22 2014-10-11 日立國際電氣股份有限公司 基板處理裝置用晶舟
TWD166332S (zh) * 2013-03-22 2015-03-01 日立國際電氣股份有限公司 基板處理裝置用晶舟之部分
TWD168827S (zh) * 2013-07-29 2015-07-01 日立國際電氣股份有限公司 半導體製造裝置用晶舟
TWD167988S (zh) * 2013-07-29 2015-05-21 日立國際電氣股份有限公司 半導體製造裝置用晶舟
TWD165429S (zh) * 2013-07-29 2015-01-11 日立國際電氣股份有限公司 半導體製造裝置用晶舟

Also Published As

Publication number Publication date
JP1537629S (zh) 2015-11-09
USD791721S1 (en) 2017-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWD171964S (zh) 晶圓舟之晶圓支撐爪（三）
TWD171963S (zh) 晶圓舟之晶圓支撐爪（一）
TWD166332S (zh) 基板處理裝置用晶舟之部分
TWD163542S (zh) 基板處理裝置用晶舟
TWD175115S (zh) 晶圓舟之晶圓支撐爪（二）
TWD167109S (zh) 基板保持環
TWD171962S (zh) 仿真晶圓之部分（三）
TWD175116S (zh) 晶圓舟之晶圓支撐爪（四）
TWD171960S (zh) 仿真晶圓之部分（一）
CN302111201S (zh) 晶片悬臂
CN302467167S (zh) 汽车中网（2）
CN302379985S (zh) 研磨用平台(2)
TWD175120S (zh) 基板保持環
TWD171042S (zh) 半導體製造用晶圓保持具之部分
TWD171043S (zh) 半導體製造用晶圓保持具之部分
CN302487558S (zh) 杯子（双色口杯a）
CN302372179S (zh) 电连接器
CN302527004S (zh) 高压清洗机（abw—vae）
CN302295282S (zh) 集成水槽（jrb900）
CN302445859S (zh) 砂带打磨机
CN302274894S (zh) 汽车座椅（c60f）
CN302414165S (zh) 雨刮器槽（s58）
CN302578821S (zh) 吸尘器（家车两用）
CN302542334S (zh) 扰流板（下d760）
CN302487805S (zh) 拉手（5）