TWD171043S - 半導體製造用晶圓保持具之部分 - Google Patents

半導體製造用晶圓保持具之部分

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TWD171043S
TWD171043S TW103305426D02F TW103305426D02F TWD171043S TW D171043 S TWD171043 S TW D171043S TW 103305426D02 F TW103305426D02 F TW 103305426D02F TW 103305426D02 F TW103305426D02 F TW 103305426D02F TW D171043 S TWD171043 S TW D171043S
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TW
Taiwan
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design
proposed
case
wafer holder
cases
Prior art date
Application number
TW103305426D02F
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English (en)
Inventor
Eisuke Morisaki
Wataru Machiyama
Hirokatsu Kobayashi
Masayuki Harashima
Yukio Sano
Original Assignee
東京威力科創股份有限公司
Tokyo Electron Ltd
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Publication date
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Abstract

【物品用途】;本設計的物品是半導體製造用晶圓保持具,使用於以感應加熱方式在晶圓上形成半導體薄膜的製程中。;【設計說明】;圖式所揭露之實線部分,為本案主張設計之部分,虛線部分為本案不主張設計之部分。;如「使用狀態參考圖」所示,複數個收容凹部用來載置晶圓。本衍生設計與原設計之外觀差異:由兩案之「立體圖」及「前視圖」即可清楚看出兩者之凹部的等份略有所不同,因此本案與原設計案之差異些微,不影響原設計與衍生設計之近似。;「以薄墨表示主張設計之部分之參考圖」中,薄墨部分表示主張設計之部分。
TW103305426D02F 2014-03-28 2014-09-16 半導體製造用晶圓保持具之部分 TWD171043S (zh)

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