TWD187000S - 基板處理裝置用加熱機之部分 - Google Patents
基板處理裝置用加熱機之部分Info
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title abstract 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title abstract 2
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Abstract
【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用加熱機，是對於基板處理裝置的處理室加熱用的加熱機。;【設計說明】;圖式所揭露之實線部分，為本案主張設計之部分，虛線部分為本案不主張設計之部分。;圖式所揭露之一點鏈線，係界定本案所欲主張之範圍，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。
Applications Claiming Priority (1)
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| JPD2016-22415F JP1582475S (zh) | 2016-10-14 | 2016-10-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family
ID=59384954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW106301241F TWD187000S (zh) | 2016-10-14 | 2017-03-13 | 基板處理裝置用加熱機之部分 |
Country Status (3)
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Also Published As
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