TWD171042S - 半導體製造用晶圓保持具之部分 - Google Patents

半導體製造用晶圓保持具之部分

Info

Publication number
TWD171042S
TWD171042S TW103305426D01F TW103305426D01F TWD171042S TW D171042 S TWD171042 S TW D171042S TW 103305426D01 F TW103305426D01 F TW 103305426D01F TW 103305426D01 F TW103305426D01 F TW 103305426D01F TW D171042 S TWD171042 S TW D171042S
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
design
proposed
case
wafer holder
original
Prior art date
Application number
TW103305426D01F
Other languages
English (en)
Inventor
Eisuke Morisaki
Wataru Machiyama
Hirokatsu Kobayashi
Masayuki Harashima
Yukio Sano
Original Assignee
東京威力科創股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 東京威力科創股份有限公司 filed Critical 東京威力科創股份有限公司
Publication of TWD171042S publication Critical patent/TWD171042S/zh

Links

Abstract

【物品用途】;本設計的物品是半導體製造用晶圓保持具,使用於以感應加熱方式在晶圓上形成半導體薄膜的製程中。;【設計說明】;圖式所揭露之實線部分,為本案主張設計之部分,虛線部分為本案不主張設計之部分。;如「使用狀態參考圖」所示,複數個收容凹部用來載置晶圓。本衍生設計與原設計之外觀差異:由兩案之「立體圖」及「前視圖」即可清楚看出兩者之凹部的等份略有所不同,因此本案與原設計案之差異些微,不影響原設計與衍生設計之近似。;「以薄墨表示主張設計之部分之參考圖」中,薄墨部分表示主張設計之部分。
TW103305426D01F 2014-03-28 2014-09-16 半導體製造用晶圓保持具之部分 TWD171042S (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPD2014-6725F JP1509154S (zh) 2014-03-28 2014-03-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TWD171042S true TWD171042S (zh) 2015-10-11

Family

ID=59966923

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW103305426D01F TWD171042S (zh) 2014-03-28 2014-09-16 半導體製造用晶圓保持具之部分

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP1509154S (zh)
TW (1) TWD171042S (zh)

Also Published As

Publication number Publication date
JP1509154S (zh) 2017-10-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWD179095S (zh) 基板保持環
TWD175852S (zh) 電漿處理裝置用上腔室
TWD197137S (zh) 注射裝置的帽蓋(一)
TWD181303S (zh) 晶圓載具
TWD180330S (zh) 清掃機器人之部分(三)
TWD175855S (zh) 電漿處理裝置用下腔室
TWD181302S (zh) 晶圓載具
TWD187306S (zh) 包裝容器
TWD168827S (zh) 半導體製造裝置用晶舟
TWD166332S (zh) 基板處理裝置用晶舟之部分
TWD179563S (zh) 置物架
TWD161688S (zh) 半導體製造裝置用晶舟
TWD181304S (zh) 晶圓載具
TWD167109S (zh) 基板保持環
TWD174920S (zh) 基板處理裝置用氣體供給噴嘴
TWD165172S (zh) 鉛酸電池之蓋體之部分
TWD197472S (zh) 揚聲器
TWD179860S (zh) 插頭之部分
TWD181606S (zh) 插頭之部分
TWD197753S (zh) 一組安裝裝置
TWD171042S (zh) 半導體製造用晶圓保持具之部分
TWD171043S (zh) 半導體製造用晶圓保持具之部分
TWD187000S (zh) 基板處理裝置用加熱機之部分
TWD172407S (zh) 電連接器之部分
TWD169007S (zh) 半導體製造用晶圓保持具之部分