TWD171963S - 晶圓舟之晶圓支撐爪（一） - Google Patents

晶圓舟之晶圓支撐爪（一）

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Yoshinori Kusakabe
Masami Oikawa
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東京威力科創股份有限公司
Tokyo Electron Ltd
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Abstract

【物品用途】;本設計之物品係一種在半導體製造之成膜過程中，為了如顯示使用狀態之參考立體圖所示般將晶圓以複數片積層來設置於成膜裝置內者。此外，顯示使用狀態之參考立體圖中為便於說明起見僅記載了2片晶圓。此外，欲取得部分設計專利的部分乃用以支撐晶圓端部的爪，如顯示使用狀態之參考放大圖所示般支撐晶圓。;【設計說明】;本設計係主張以實線所表示之部分作為部分設計，包含從右斜上方觀看實線部分的放大立體圖以及從左斜下方觀看實線部分的放大立體圖、以及A-B部分放大圖與C-D部分放大圖、E-E剖面圖與F-F剖面圖，係對於欲取得部分設計專利之部分加以特定。一點鏈線僅為顯示欲取得部分設計專利之部分與其他部分之交界的線。俯視圖因與仰視圖對稱顯示故予以省略。右側視圖以及後視圖由於未顯示欲取得部分設計專利之部分故予以省略。此外，圖式中以虛線表示之部分，為本設計所不主張之部分。
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