539730 A7 B7 五、發明說明（1) 技術領域 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於一種去靜電硬被覆層用組成物、去靜電 硬被覆層、其製造方法及去靜電硬被覆層積層體薄膜；更 詳細而言，本發明係關於一種適合於圖像顯示裝置等使用 之具有安定的去靜電性能、以及優異的表面硬度或密著性 之去靜電硬被覆層用組成物、去靜電硬被覆層、其製造方 法及去靜電硬被覆層積層體薄膜。 背景技術 近年來，圖像顯示裝置之利用範圍，除了在電腦螢幕 以外，業已向行動電話、車輛導航系統、攜帶式電腦等方 面持續地擴大。又，於CRT上加裝LCD、電漿顯示裝置等 裝置種類之普及率亦向上提高了。在該畫面顯示區上，其 上層係設有UV(紫外線）或熱等硬化之丙烯酸材料所成之硬 被覆層，而且常常是接著有上述畫像顯示區之下層（裡層）則 多設有由黏著層所成之塑膠薄膜基材。 在具有此種硬化薄膜之硬被覆層中，雖然是單獨爲鉛 筆硬度（JIS K 6894)僅僅在B以下之塑膠基材之材料，但卻 可以發現在3H以上之表面硬度。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然而，此等畫像顯示區表面，一般係易帶有靜電而使 污物附著，以致畫像資訊難以辯認。再者，做爲行動電話 時，爲了於室外利用而增加的盒體，加上易附著有塵埃， 則常常有顯示畫面反射外來光線而致畫面資訊辯認性低下 之情形。 爲了解決此等問題，向來係在硬被覆層內部或其上層 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2〗0 X 297公釐） 539730 A7 B7 五、發明說明（2) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 添加鹼金屬等離子導電材料，藉由塗裝工程來進行去靜電 作用，例如特開平5-339306號公報即指出：將鹼金屬或銨 鹽與咪唑啉型界面活性劑一起倂用，可產生去靜電硬性 能。 但是此一方法，最上層並非是去靜電層，因離子導電 平順地進行著，而係去靜電機能極端的低下。因此之故， 在去靜電層之最上層追加具有遮斷UV、及切斷熱線等附加 功能之層會變得困難。更且，在離子進行導電時，外部氣 體中之水分則變成媒質，因溼度影響而改變表面電阻値， 而致有品質不安定之問題。 又，在其他之方法中，曾提議在硬被覆層材料或有機 黏著劑（固著劑）上添加ΑΤΟ (五氧化銻摻雜氧化錫）等無機電 導粒子以產生去靜電硬性能。該方法雖然與外部氣體之溼 度無關而可能得到在1011Ω/□以下之安定的表面電阻，但 一般有機（硬被覆層）材料與無機粒子沒有親和性，因其結合 脆弱而致在UV硬化或熱硬化後，該硬被覆層之硬度會下 降。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另一方面，在賦有去靜電機能之硬被覆層上，爲了使 其具有防反射機能等附加機能，雖然通常會藉由蒸著法、 CVD法、塗工法等使形成無機薄膜，此時，因無機薄膜與 具有機薄膜之硬被覆層表面之密著性差，當使用高溫高溼 槽進行耐久試驗，即切割成方格之帶剝離試驗（JIS D0202)， 結果會有引起所謂的無機薄膜之帶剝離之問題。 使無機薄膜與具有機薄膜之硬被覆層表面之密著性提 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 B7 i、發明說明（3) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 高的方法，雖然已知係有如以電暈處理硬被覆層表面之方 法，但是此方法由於未處理最表面而致密著增加效果變 低。又，在延長處理時間之場合下，基材表面會大大地劣 化，密著性反而會變差。 除此之外，已知尙有在丙烯酸系硬被覆層塗料中混入 非定型之二氧化矽粒子，以使金屬薄膜與之密著性提高之 方法（特開平5-162261號公報），或利用有機矽氧烷樹脂之 使接著特性提高之方法等；雖然該等方法確實能使表面硬 度提高，但對密著性之效果則不夠充分。 從而，本發明之目的即是在於解決上述課題，並提供 一種同時滿足具有安定的去靜電性能、及優良的硬被覆層 性能（3H以上之鉛筆硬度），更且對在硬被覆層上所積層之 具有附加機能之無機薄膜等具高密著性之去靜電硬被覆層 用組成物、用以製造該去靜電硬被覆層之方法、以及去靜 電硬被覆層積層體薄膜。 發明揭示： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明人有鑑於上述課題而銳意硏究，其重要之結果 爲：將相對於多官能丙烯酸酯之特定的導電性微粒子、與 特定的聚矽氧化合物，依特定的比例摻混而調製成組成 物，該組成物硬化後施予表面處理，發現可得到具有安定 的去靜電性能、且表面硬度或密著性均優良之去靜電硬被 覆層、或去靜電硬被覆層積層體薄膜，至此始完成本發 明。 意即，若依照本發明之第1發明，其係可提供一種去 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 B7 五、發明說明（4) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 靜電硬被覆層用組成物，其係由100重量分之多官能丙嫌 酸酯（A)，相對之50〜400重量分之粒徑爲10〜30奈米之導電 性微粒子（B)、與10〜80重量分之選自於經有機物表面處理 之二氧化矽粒子、有機聚矽氧烷和聚矽氧丙烯酸酯所組成 群類之至少一種聚矽氧化合物（C)摻混而成。 又，若依照本發明之第2發明，其係可提供一種在第 1發明中之導電性微粒子（B)係爲ΑΤΟ及/或ITO之去靜電硬 被覆層用組成物。 更且，若依照本發明之第3發明，其係可提供一種在 第1發明中導電性微粒子（Β)及聚矽氧化合物（C)之摻混量， 相對於100重量分之多官能丙烯酸酯（Α)計，係分別爲 200〜300重量分和20~60重量分之去靜電硬被覆層用組成 物。 此外，若依照本發明之第4發明，其係可提供一種在 第1發明中進一步摻混有任意之光硬化劑或自由基起始劑 之去靜電硬被覆層用組成物。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另一方面，若依照本發明之第5發明，其係可提供一 種在第1〜4發明中之任一發明中由去靜電硬被覆層用組成 物經硬化而形成之去靜電硬被覆層，其特徵在於：相對於 Si、C及0之總量計，在該去靜電硬被覆層表面之元素組成 中，Si所佔之比例係爲10~35原子％。 又，若依照本發明之第6發明，其係可提供一種將如 第5發明之去靜電硬被覆層形成在基材薄膜上所成之去靜 電硬被覆層積層體薄膜。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 B7 五、發明說明（5) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 更且，若依照本發明之第7發明，其係可提供一種在 第6發明中具有去靜電硬被覆層之基材側之相對邊上形成 一黏著層而成之去靜電硬被覆層積層體薄膜。 另外，若依照本發明之第8發明，其係可提供一種在 第6發明中之黏著層，係由100重量分之丙烯基聚合物和 1〜20重量分之聚矽氧化合物所成之去靜電硬被覆層積層體 薄膜。 又且，若依照本發明之第9發明，其係可提供一種在 第6或7發明中之最外層上形成一具有附加機能膜所成之 去靜電硬被覆層膜。 再者，若依照本發明之第10發明，其係可提供一種在 第6發明中具有附加機能膜係爲一防反射膜、IR遮斷濾過 物或UV遮斷濾過物之去靜電硬被覆層積層體薄膜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另一方面，若依照本發明之第11發明，其係可提供一 種去靜電硬被覆層之製造方法，其特徵在於：對在第1〜4 發明中任一發明之去靜電硬被覆層用組成物塗布於基材薄 膜上、乾燥、使之硬化所形成去靜電硬被覆層，進行自電 暈放電、電漿放電、低壓水銀燈、或準分子電射相關之物 理處理，或使硬化物表面浸泡有機溶劑、控制Si元素量之 化學處理中所任意選取之表面處理。 又，若依照本發明之第12發明，其係可提供一種在第 6發明中藉由紫外線照射或加熱來進行去靜電硬被覆層用組 成物硬化之去靜電硬被覆層之製造方法。 更且，若依照本發明之第13發明，其係可提供一種在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公餐） 539730 A7 B7 五、發明說明（6) 第11發明中該表面處理係藉由電暈放電、電漿放電或低壓 水銀燈來進行之去靜電硬被覆層之製造方法。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 再者，若依照本發明之第14發明，其係可提供一種在 第13發明中該表面處理係在大氣壓力左右之壓力下、於空 氣及/或烯有氣體氛圍氣體中，藉一對之對向電極間放電所 施加電流密度爲0.2〜300毫安培/平方公分之電場來進行之 去靜電硬被覆層之製造。 此外，若依照本發明之第15發明，其係可提供一種在 第6發明中一對之對向電極間所施加之脈衝化電場之電壓 時間係在100微秒以下之去靜電硬被覆層之製造方法，， 而且脈衝化電場強度係在l~l〇〇kV/公分之範圍，電場頻率 係爲 0.5〜100 kHz。 圖示簡單說明 第1圖所示之說明圖，係爲藉有機物表面處理塗層之 二氧化矽之一例。 第2圖所示之說明圖，係爲藉有機物表面處理塗層之 二氧化矽之另一例。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第3圖所示之說明圖，係爲在本發明中施加在一對電 極間之脈衝電壓之波形之一例。 實施發明之最佳實施例 以下，詳細地來說明本發明。 1.多官能丙烯酸酯（A) 可以做爲在本發明中之多官能丙烯酸酯（A)，其並沒有 特別的限定，舉例來說，例如其係有五赤蘚醇六（甲）丙烯酸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 __ B7 五、發明說明（7) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 酯、雙五赤蘚醇六（甲）丙烯酸酯、五赤蘚醇五（甲）丙烯酸 酯、雙五赤蘚醇五（甲）丙烯酸酯、五赤蘚醇（甲）四丙烯酸 酯、雙五赤蘚醇（甲）四丙烯酸酯、五赤蘚醇三（甲）丙烯酸 酯、雙五赤蘚醇三（甲）丙烯酸酯、五赤蘚醇縮水甘油基（甲） 丙烯酸酯、三甲醇基丙基三（甲）丙烯酸酯、及其衍生物、改 質品等。又，上述所稱之（甲）丙烯酸酯之用語，在本說明書 中係指丙烯酸酯，也可以是指甲丙烯酸酯之意。 又且，上述多官能丙烯酸酯（A)，舉例來說，其可以是 曰本化葯公司製之具雙五赤蘚醇五（甲）丙烯酸酯、及雙五赤 蘚醇六（甲）丙烯酸酯混合物之「DPHA」（商品名）來做成；而 改質品則可由聚胺基甲酸乙酯等多官能丙烯酸酯來做成。 在此，其係可以單使用，也可以倂用2種以上。 2.導電性微粒子（B) 可做爲本發明之導電性微粒子（B)，舉例來說，係有如 ΑΤΟ ΑΤΟ (五氧化銻摻雜氧化錫）、ITO ΑΤΟ (二氧化錫摻雜 氧化銦）、Sb205、Ti02、Ζη02等。其中，較宜是使用ΑΤΟ、 ITO。此等係可以單使用，也可以倂用2種以上。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，上述導電性微粒子之粒徑，因應需要宜控制在 10〜30奈米，更宜是15〜25奈米。粒徑小於10奈米時，去 靜電硬被覆層之透光率會變差，使得製品用途受到限制； 另一方面，當大於30奈米時，則會有霧度變高之問題。 上述導電性微粒子之摻混量，相對於100重量分之多 官能丙烯酸酯（A)計，較宜是50〜400重量分，更宜是 200〜300重量分。當摻混量少於50重量分時，因粒子之導 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（8) 電區而限制了去靜電性；另一方面，當摻混量比400重量 分多時，則透光率會下降（霧値變高）、而且易脆使得硬被覆 層性能變差。 3.聚矽氧化合物（C) 可做爲本發明之聚矽氧化合物（C)，其係有係選自於經 有機物表面處理之二氧化矽粒子、有機聚矽氧烷和聚矽氧 丙烯酸酯所組成群類之至少一種聚矽氧化合物（C)。可做爲 上述經有機物表面處理之二氧化矽粒子，係有如第1、2圖 模式圖所示之例子。其中，Co-Si係表示膠態石墨；在第2 圖中所示之R1、R2係爲烷基。又，R1、R2可以是各別相 異，也可以是同一物質。可做爲上述經有機物表面處理之 二氧化矽粒子，係有東芝聚矽氧公司製之商品名爲「UVHC-1103」、「UVHC-1105」等。 由於上述經有機物表面處理之二氧化矽粒子之粒徑太 小時，組成物硬化前之黏滯度會變高而不易製成去靜電硬 被覆層，過大時去靜電硬被覆層之霧度會下降；爲使具有 透明性其通常較宜是0.1〜3微米，而更宜是0.2〜0.7微米° 又，上述有機矽氧烷係可利用如下構造之物質來做 成。 CH, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) CH： 5ί〇 CH, €H, S 10 ch3 —SI (CH3)3 10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (1) 539730 A7 B7 五、發明說明（弓 ! 1 "Cz^CFa I ch3 — 1 SiO 1 — 1 S丨〇 CHs ^ m C^H^CF 3 Si (CH9)3 (2) CH, r ^ ch3 I C.HS 1 1 SiO 1 j • 1 SiO CH3 Λ S i ( CHg ) a (3) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中，m、n係爲0以上之整數，較宜是m^0，n^ 0，10$ m+n‘ 100，更宜是 15 S m+n S 50。在 m+n<10 之場 合下，去靜電硬被覆層之性能會變差。又，在ni+n>100之 場合下，組成物硬化前之黏滯度會變高而難以製成去靜電 硬被覆層。 更且，上述聚矽氧丙烯酸酯之一般式係表示爲 (CH3〇）3SiR3〇-C〇-CR4 = CH2，其中R3、R4係分別表示烷基。 又，R3與R4可以是各別相異，也可以是同一物質。 上述聚矽氧化合物（C)之摻混量，相對於100重量分之 多官能丙烯酸酯（A)計，較宜是10〜80重量分，更宜是 20〜60重量分。當摻混量少於10重量分時，因去靜電硬被 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -I線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 53973〇 A7 B7 1、發明說明（φ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 覆層之表面硬度變低而不能使密著性提高；另一方面，當 摻混量比8〇重量分多時，則硬化後去靜電硬被覆層內會發 生裂縫，使得其與在硬被覆層上所積層的具附加性能薄膜 之密著性變差。 4.其他成分 本發明之去靜電硬被覆層用組成物，爲了能夠在硬化 前調整組成物之黏滯度，較宜是使用稀釋溶媒。在此，並 沒有特別限定爲非聚合性之物質，舉例來說，例如可使用 甲基乙基酮、甲苯、二甲苯'乙酸乙酯、甲酸乙酯、甲基 溶纖劑、乙基溶纖劑、乙基溶纖劑醋酸酯、異丙基醇、二 乙酮醇等。此等係可以單獨使用，倂用2種以上也可以。 又，在本發明之去靜電硬被覆層用組成物中，雖可使 用啓始劑、光硬化劑等來促進硬化，但在多官能丙烯酸酯 (Α)中所存在的可促進丙烯酸基聚合反應之啓始作用物，並 沒有特別地限定爲某種物質。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 例如，在藉由紫外線照射而硬化之場合下，習用公知 的可使用之光聚合啓始劑，舉例來說，其中之代表性物質 有2,2_二甲氧-2-苯基苯乙酮、二苯甲酮、黃原酮、3-甲基 苯乙酮、4-氯二苯甲酮、4,4^二甲氧二苯甲酮、苯偶茵丙基 醚、苄基二甲基縮酮、Ν,Ν，Ν’，Ν、四甲基-4,4·-二胺二苯甲 酮、1-(4-異丙基苯基）-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、其他之硫 氧化物等。 又，在藉由加熱來進行硬化之場合下，習用公知的可 使用之光聚合啓始劑，舉例來說，其中之代表性物質有酮 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】0 X 297公釐） 53973〇 A7 B7 i、發明說明（1)1 (請先閱讀背面之注立思事項再填寫本頁) 過氧化物、過氧縮酮、水合過氧化物、二烷基過氧化物、 二醯基過氧化物、過氧二碳酸酯等。此等啓始劑係可以單 獨使用，倂用2種以上也可以。 更且，在本發明之去靜電硬被覆層用組成物中，視情 況需要，在不損及性能之範圍內，係可使用顏料、充塡 劑、界面活性劑、分散劑、可塑劑、紫外線吸收劑、氧化 防止劑等。此等係可以單獨使用，倂用2種以上也可以。 5.去靜電硬被覆層 本發明之去靜電硬被覆層，其係爲一種由含有多官能 丙烯酸酯（A)、導電性微粒子（B)及聚矽氧化合物（C)之組成 物經硬化而形成。此時，所形成之硬被覆層較宜是設置在 基材薄膜上。 上述所使用的基材薄膜之材質，並沒有特別地限定爲 具透明性之物質，舉例來說，例如其可以是聚孔烯、聚丙 烯、聚酯、再生纖維、二乙基纖維、三乙基纖維、聚氯化 乙烯、聚氯化亞乙烯、聚乙烯醇、聚甲苯、聚對酞酸乙二 醇酯（PET)、聚碳酸酯（PC)、聚醯胺、耐綸等。較佳者是透 明性優良的三乙基纖維、聚對酞酸儿二醇酯、聚碳酸酯。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 依照本發明，在形成去靜電硬被覆層時，上述去靜電 硬被覆層用組成物較宜是塗布於基材薄膜上，並使之乾 燥、硬化。該硬被覆層用組成物在硬化前之塗布順序，並 沒有特別地限定，將多官能丙烯酸酯（A)、導電性微粒子（B) 及聚矽氧化合物（C)予以混合來塗布也可以，又且以各別之 組合來塗布亦可以。 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 —-—--___ 五、發明說明（4 此時，在基材薄膜上塗布上述組成物之方法，係可使 用公知的噴塗法、凹印塗布法、輥塗法、條塗法等塗工 法。塗布量係考量物性之需要，並依此來調整其厚度。 又，使在上述基材薄膜上所塗布、乾燥之組成物硬化 之方法，並沒有特別地限定，例如可使用公知的紫外線照 射、加熱等方法來進行。 在藉紫外線照射使之硬化之場合下，可做爲硬化時所 用的能量光線源，係可使用如高壓水銀燈、鹵素燈、氙氣 燈、氮氣電射、電子線加速裝置、放射性元素等之光線 源。能量光線源之照射量，以365奈米之紫外線波長之累 積曝光量計，較宜是50〜5000毫焦耳/平方公分。當照射量 不足50毫焦耳/平方公分時，由於硬化會不完，而致去靜電 硬被覆層之耐磨耗性或硬度會變差。又，當照射量超過500 毫焦耳/平方公分時，則去靜電硬被覆層因著色而使透明性 變差。 因此，本發明之去靜電硬被覆層中，使上述組成物硬 化之物質（以下，稱爲硬化物）之表面元素組成中，相對於 Si、C及0之總量計，Si所佔之比例係爲1〇〜35原子％。此 時，上述表面之Si所佔比例，係藉由ESCA來分析，依Si 量/(Si量+C量+0量）計算而得的。 在上述硬化物表面元素組成中Si所佔之比例’當少於 10原子％時，在表面上所露出之-SiO-鍵之比例會變低，而 致與在其上所積層之具附加機能薄膜之密著性無法提高； 另一方面，當超過35原子％時，去靜電硬被覆層會產生裂 -1 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . -丨線一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 539730 A7 -----J7 __ 五、發明說明（ 紋，而致與在其上所積層之具附加機能薄膜之密著性變 差。所以，較宜是11~30原子％。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 因此，所謂的上述硬化物之表面，係指比最表面還要 深50〜1500奈米左右者，而較宜是深100〜800奈米左右者。 上述去靜電硬被覆層之厚度，較宜是1〜15微米，而更宜是 2〜8微米。當膜厚比1微米薄時硬度會變差；當比15微米 厚時去靜電硬被覆層本身會產生裂紋，而致與在其上所積 層之具附加機能薄膜之密著性變差。 6.製造去靜電硬被覆層之方法 在本發明中，使上述硬化物表面之元素組成中Si所佔 比率在上述範圍之方法，若是對硬化物表面柔和地蝕刻而 露出-SiO-鍵之效果，並末有特別地限定，舉例來說有電暈 放電、電漿放電、低壓水銀燈、準分子雷射等物里處理 等；也可藉由使硬化物表面浸飩有機溶劑而控制Si元素量 之化學控制法。其中，以電暈放電處理、電漿放電處理、 低壓水銀燈之處理方法的效果較高而較佳。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 藉由上述予以表面處理之深度，不得不限定在不破壞 硬化物，而較宜是在50〜1500奈米左右，更宜是在100〜800 奈米。比50奈米淺時，-SiO-鍵生成少而致有密著性不充分 的情況。又，超過1500奈米時，則對基材之破壞會變大， 而致在去靜電硬被覆層與在硬被覆層上所積層之具附加機 能的薄膜間，會發生界面剝離之情況。 製造本發明之去靜電硬被覆層之方法，以接近於大氣 壓之壓力即1.33 X 104~10·64 X 104 Pa之壓力較佳，其中， -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730
爲使壓力調整容易、裝置構成簡單則較宜是在9.31 X 104〜10.37 X 104 Pa之壓力範圍。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之表面處理，較宜是在空氣及/或稀薄的氛圍氣 中進行。此時所使用的稀薄氛圍氣，舉例來說係有氦氣、 氖氣、氬氣、氪氣、氮氣等。在氬氣氛圍氣下比在空氣氛 圍氣下進行表面處理，更適宜柔和地進行表面處理。 在本發明中對向電極間之電流密度，由於過低時會發 生表面處理部分而難以期望密著性提高；過高時則硬被覆 層表面之有機物會分解而使得密著性變差，因此較宜是 0.2~300毫安培/平方公分，而更宜是5〜200毫安培/平方公 分。 因此，在本發明中對向電極間之電流密度，係藉由放 電而流附電極間之電流値，除以放電空間中與電流方向直 交方向上面積之値，即相當於在使用平行平板型之物來做 爲電極的場合下，上述電流値除以其對向面積之値。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，當脈衝化電場施加在上述電極間之場合下，因以 脈衝波來取代習用之交流波，而可能以較短時間柔和地對 硬被覆層進行均一的表面處理。此時，脈衝波形並沒有特 別地限定爲某一種，例如可使用第3圖（A)、（B)所例示那樣 的倒相型，或（C)所例示那樣的方形波型、（D)所例示那樣的 變調型等。在該第3圖中所例示的雖然是一種反覆之正負 施加電壓，但較宜是僅有正或負之各種極性的脈衝電壓， 即較佳是施加所謂的單波狀脈衝電壓。 在本發明中，於電極間所施加的脈衝電壓，該脈衝開 -1 6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 B7 i、發明說明（砰 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 始時間及結束時間係爲短程的，而可有效率地進行電漿發 生時之氣體電離。爲此，於電極間所施加脈衝電壓的開始 時間，較宜是在100微秒以下，而更宜是在10微秒以上。 當超過100微秒時，放電狀態因容易移爲弧光放電而變得 不安定。又，以這樣高速開始時間之脈衝電場，將可實現 高放電狀態之電子密度的效果。 脈衝電壓之結束時間並沒有特別地限定，但考量電源 裝置等實際上是在40微秒以上。 又且，在此所謂的開始時間，係指連續正面地提高電 壓變化之時間；而結束時間，係指連續負向地提高電壓變 化之時間。 本發明中脈衝電場之強度，過低時放電變得疏鬆而難 以均一地處理表面。另一方面，過強時，硬被覆層表面會 受到破壞，而致與在其上所積層之具附加機能薄膜之密著 性變差。因此，較宜是1〜100kV/公分，而更宜是5〜60kV/公 分。 又，在電極間所形成的脈衝電場，也可以依照開始時 及結束時間、以及頻率來適切地調整其脈衝波形。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 從而，脈衝電場係爲適合於高周波數、短脈衝寬之高 速處理。 在本發明之對向電極間所施加之脈衝電場頻率，由於 太小時會無法放電，另一方面，過大時硬被覆層表面會受 到破壞，因而難以使硬被覆層與在其上所積層具有附加機 能之薄膜間之密著性提高，是以通常較宜是在5 kHz〜100 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7
五、發明說明（矽 kHz之範圍；而更宜是2 kHz〜40 kHz之範圍。 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 又，在脈衝電場中之脈衝繼續時間，較宜是在1微秒 〜1000微秒，更宜是在3微秒〜200微秒。當不滿1微秒 時，放電會變得不安定；另一方面，當超過1000微秒時， 容易轉變成弧光放電。 上述表面處理，雖然是可以將表面處理前之硬化物予以 加熱再冷卻，但也可以在室溫下充分地處理。 7.去靜電硬被覆層積層體薄膜 本發明之去靜電硬被覆層積層體薄膜，也可以是在去 靜電硬被覆層上，經由粘著層而積層在基材薄膜上。基材 薄膜係可使用前述之物質來做成。 做爲上述粘著層，係可強固接著之裝有基材薄膜或去 靜電硬被覆層之玻璃或塑膠板等整光學組件，但較宜是在 高溫、高溼條件下也不發泡者；例如使用丙烯酸系粘著劑 較適當。其中，特佳的粘著劑，舉例來說，係有100重量 分之丙烯基聚合物、與1~20重量分之聚矽氧烷化合物所做 成的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 可做爲上述之丙烯基聚合物，舉例來說，例如係有烷 基（甲）丙烯酸酯爲主成分之丙烯酸系共聚物。 可做爲上述之烷基（甲）丙烯酸酯，舉例來說，例如係 有乙基（甲）丙烯酸酯、丙基（甲）丙烯酸酯、異丙基（甲）丙 烯酸酯、η-丁基（甲）丙烯酸酯、異丁基（甲）丙烯酸酯、sec-丁基（甲）丙烯酸酯、t-丁基（甲）丙烯酸酯、戊基（甲）丙烯酸 酯、己基（甲）丙烯酸酯、2-乙基己基（甲）丙烯酸酯、η-辛基 -1 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 _-—__ B7
五、發明說明（V (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (甲）丙烯酸酯、異辛基（甲）丙烯酸酯、η-壬基（甲）丙烯酸 酯、異壬基（甲）丙烯酸酯、月桂基（甲）丙烯酸酯、乙醯基（甲） 丙烯酸酯、硬脂酸基（甲）丙烯酸酯等。此等係可單獨使用， 又併用2種以上也可以。 上述烷基（甲）丙烯酸酯之含有量，由於太少時凝集力 變高而致難以得到完全的感壓接著性，又太多時則凝集力 變低而致難以得到完全的剪斷強度；爲此其在上述丙烯酸 系共聚物中較宜是50〜98重量％，更宜是70~95重量％。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在上述丙烯酸系共聚物中，宜是因應需要與其他乙烯 系單體共聚合，舉例來說，例如（甲）丙烯酸、衣康酸、巴豆 酸、（無水）馬來酸、（無水）延胡索酸、羰基乙基丙烯酸酯等 之羰基烷基（甲）丙烯酸酯類等之含有羰基之乙烯基單體、2-羥乙基（甲）丙烯酸酯、2-羥丙基（甲）丙烯酸酯、4-羥丁基（甲） 丙烯酸酯、硫醇變性（甲）丙烯酸酯、聚伸乙二醇基（甲）丙烯 酸酯、聚伸丙二醇基（甲）丙烯酸酯等之含有氫氧基乙烯基單 體、（甲）丙烯腈、Ν-乙烯基吡咯烷酮、Ν-乙烯基己內醯胺、 Ν-乙烯基月桂基內醯胺、（甲）丙烯醯基嗎啉、（甲）丙烯醯 胺、二甲基（甲）丙烯醯胺、Ν_甲醇基（甲）丙烯醯胺、Ν-丁氧 甲基（甲）丙烯醯胺、二甲基胺丙基（甲）丙烯醯胺、二甲基胺 甲基（甲）丙烯酸酯、二甲基胺乙基（甲）丙烯酸酯、二甲基胺 丙基（甲）丙烯酸酯、二乙基胺乙基（甲）丙烯酸酯等含有氮之 乙烯基單體、乙烯基乙酯、乙烯基三甲基乙醯酯、乙烯基 丙酯、苯乙烯、異基冰片基（甲）丙烯酸酯等。此等係可單獨 共聚合，又倂用2種以上共聚合也可以。 -19- ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) " 539730
五、發明說明（沪 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述乙烯系單體之含有量，由於太少時凝集力變低而 致難以得到完全的剪斷強度，又太多時則凝集力變高而致 難以得到完全的感壓接著性；爲此其在上述丙烯酸系共聚 物中較宜是2〜50重量％，更宜是5〜30重量％。 得到上述丙烯系共聚物之方法，以聚合反應容易控制 之觀點來看，較宜是使用溶液聚合；此時一般會使用熱聚 合啓始劑。 可做爲上述熱聚合啓始劑，舉例來說，例如係有甲基 乙基酮過氧化物、甲基異丁基酮過氧化物、環己烷過氧化 物等酮過氧化物類；異丁基過氧化物、苯基過氧化物、2,4-二氯苯過氧化物、P-氯苯過氧化物等二醯基過氧化物類；二 異丙基苯氫過氧化物、t-丁基氫過氧化物等氫化過氧化物 類；2,5-二甲基-2,5-二（t-丁基過氧）己烷、1,3-雙-(t-丁基過 氧異丙基）苯、二-t-丁基過氧化物等基過氧化物類；1，1-二_ t- (丁基過氧）-3, 3,5-三甲基環己烷、1，1-二-(t-丁基過氧）-環己烷等過氧縮酮類；t_丁基過氧三甲基乙醯酯、t_丁基過 氧-2_乙基已醯酯、t-丁基過氧二碳酸酯、雙-(4-t-丁基環己 烷）過氧碳酸酯等過碳酸酯類等有機過氧化物；其他尙有 2,2’-重氮基雙-異丁基腈、2,2’-重氮基雙-2_甲丁基腈、2,2’-重氮基雙-2,4-二甲丁基腈、1，Γ-重氮基雙-1-環己烷腈、二 甲基-2,2’-重氮基雙異丁酯、4,4’-重氮基-4-氰戊醯基酸、 2,2'_重氮基雙-(2_胺丙烷）二氫氯化物等重氮系化合物。 在聚合上述丙烯系共聚物之時，爲了能適切地抑制聚 合反應以調節所得到共聚物之分子量的目的，可以添加連 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁〕 - ·- .線· 539730
五、發明說明（ 鎖移動劑’舉例來說，例如有n_十二基硫醇、2氫硫基乙 基醇、/3-氫硫基丙酸、氫硫基辛基丙酯、氫硫基甲 氧丁基丙酯、三甲醇基丙烷三（Θ-硫化丙酸酯）、辛基硫二 醇酯、丙院硫醇類、丁烷硫醇類、硫代磷酸鹽類等硫醇化 合物；或四氯化碳等鹵素化合物等等。 上述聚合方法所得到的丙烯系共聚物之重量平均分子 量’由於過低時會變得難以得到應力緩和性粒徑，是故較 宜是在80萬以上，更宜是在1〇〇萬以上。 上述丙烯系共聚物，也可以藉由交聯劑來交聯之；可 做爲上述交聯劑的，係爲可能與丙烯系共聚物之極性基反 應之一般在溶劑型粘著劑中所用那樣的物質均可使用，舉 例來說，例如係可使用甲苯撐二異氰酸酯（TDI)、萘撐-1,5-二異氰酸酯、二苯基甲二異氰酸酯（MDi)、六甲撐二異氰酸 酯（HMDI)、異佛爾酮二異氰酸酯（IPDI)、苯二甲二異氰酸酯 (XDI)、三甲醇基丙烷改性TDI等之二異氰酸酯系交聯劑； 乙二醇二環氧丙基醚、丙二醇二環氧丙基醚、U-己烷二醇 二環氧丙基醚等環氧系交聯劑；N，N-六甲撐-1，6-雙（卜氮雜 環丙烷羧酸）等氮雜環丙烷系交聯劑。 一方面，祇具1種成分之上述矽烷化合物而可做爲粘 著劑者，舉例來說，例如係有甲基三甲氧矽烷、甲基三乙 氧矽烷、乙基三甲氧矽烷、乙基三乙氧矽烷、二甲基二甲 氧矽烷、二甲基二乙氧矽烷、苯基三甲氧矽烷、苯基三乙 氧矽烷、二苯基三甲氧矽烷、異丁基三甲氧矽烷、異丁基 三乙氧矽烷等烷基矽烷；甲基三氯矽烷、乙基三氯矽烷、 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -線一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 539730 A7 B7 五、發明說明（乎 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 二甲基三氯矽烷、二乙基三氯矽烷、三甲基三氯矽烷、三 乙基三氯矽烷、苯基三氯矽烷、二苯基三氯矽烷等氯矽 院，甲基氨一*燃砂氧院等。 在本發明中做爲粘著層者，係爲可粘著於裝著有基材 薄膜與去靜電硬被覆層之玻璃或塑膠上，而放置在高溫（80 °C )、高溼（60°C x95%)後，仍具有優良的再剝離性者。就實 施上而言，在上述100重量分之丙烯基聚合物中，較宜是 摻混有1~20重量分之矽烷化合物。該矽氧烷化合物之摻混 量，由於過少時再剝離性會變差，過多時密著性低且易於 剝離，是故較宜是在上述範圍內。相對於100重量分之丙 烯基聚合物計，更宜是3〜10重量分。 在構成本發明粘著層之粘著劑中，可因應透明性等需 要，在不損及光學特性之範圍內來添加附有粘著性之樹 脂。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 可做爲上述附有粘著性之樹脂，舉例來說，例如係有 C5系及C9系石油樹脂、松香樹脂、松香酯樹脂、萜烯樹 脂、萜烯酚樹脂、香豆酮茚樹脂、不均化松香樹脂、聚合 松香樹脂、聚合松香酯樹脂、二甲苯樹脂、苯乙烯樹脂及 其水加物等。此等係可單獨使用，又倂用2種以上也可 以。 附有粘著性之樹脂，由於是做爲著劑中之未架橋成 分，當添加量太少時凝集力變低而致難以得到完全的耐熱 性或耐溼性；爲此其添加量，以上述100重量分之丙烯酸 聚合物計，較宜是30重量分以下。 -22- 未紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) 539730 A7 ___ B7 五、發明說明（今 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 當上述粘著層之厚度變薄時，與裝著有去靜電硬被覆 層之玻璃或塑膠之密著性低，又在高溫高溼條件下熱收縮 時會引起應力界面之破壞；另一方面，當變厚時，粘著劑 中殘留溶劑會增加，而不可能期震在高溫條件下不易發生 發泡；因此之故，較宜是5〜35微米，更宜是10〜30微米。 更且，本發明之去靜電硬被覆層積層體薄膜，較宜是 在去靜電硬被覆層之最外層上積層具有附加機能之薄膜。 具有附加機能之薄膜並沒有限定其用途，舉例來說有 防反射膜、IR遮斷濾過膜、UV遮斷濾過膜等。 又，在上述各種用途中，所使用的薄膜種類係不相 同，所使用化合物也不同；但通常使用的化合物，舉例來 說，例如係有Ti02、Si022、ZrO、MgF2等金屬化合物； 又，尙有Au、Ag、Cu、Pt等金屬單體。 上述具有附加機能薄膜之厚度並未限定，可依照其用 途或目的而變化，但做爲光學材料所使用的薄膜場合下， 通常較宜是5〜300奈米。 再者，此時，上述具有附加機能之積層方法並沒有限 定，舉例來說濺塗法、蒸鍍法、CVD法、塗工等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 更且，本發明之去靜電硬被覆層積層體薄膜，在去靜 電硬被覆層及在最外層上之具有附加機能之薄膜所積層的 去靜電硬被覆層之最外層上，較宜是形成適當的防污層’ 特別是指對於由體而來之指紋污染的油污具有優良的拭去 性之物，更宜是具有水性、斥油性；較適當的是撥水性之 接觸角在80°以上，又，斥油性之接觸角係在50度以上 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 B7 五、發明說明（呼 者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 具有該塑能之物質，舉例來說，如係有氟系矽烷耦合 劑或長鏈烷系矽烷耦合劑等。 實施例及比較例 以下，藉由實施例及比較例來進一步更詳細地說明本 發明，但本發明並示僅限於實施例之事物而已。又且，實 施例及比較例中去靜電硬被覆層薄膜之各種物性，係以如 下所示評價方法測定而得。 <測定方法> (1) 表面Si元素量 表面處理後之去靜電硬被覆層中Si元素量之比例，係 藉由ESCA分析依Si量/( Si量+C量+〇量）（％)計算而 得。 (2) 鉛筆硬度 去靜電硬被覆層薄膜之鉛筆硬度，係以JIS-K6894爲基 準而評價之，較佳者是在5次測定中有3次以上沒有殘 存的鉛筆芯痕跡。 (3) 耐刮損性 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 以（#0000)之鋼絲棉在200克/平方公分加壓下，反覆刮 擦該去靜電硬被覆層薄膜達30次後，無刮損時記爲 〇、有刮損時則記爲X。 (4) 帶離試驗 a)在60°C、95%RH之條件下1〇〇〇小時後）耐久後剝離 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 ___B7 五、發明說明（33 b)(以UV照射（褪色計）300小時後）UV後剝離性； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 對去靜電硬被覆層薄膜進行上述a)和b)之耐久試驗；以 切割刀將試驗後之去靜電硬被覆層薄膜表面分劃成1毫 米X 1毫米之方格，依照JIS D0202標準進行帶剝離試 驗。剝離試驗後，記錄所顯不之未剝離的殘存數。（依 照帶剝離試驗，良好的防反射層之不剝落密著性係表記 爲 100/100 。） (5) 表面電阻之測定 以2點式表面能阻測定器（HI-電阻測定器、型號TR-3、 東洋電子公司）測定去靜電硬被覆層薄膜（10公分X 10公 分）之表面，以5點之平均値來表示表面電阻。（例如， 在表1中之3.0 X 107Ω係表記爲3.0Ε+07Ω。） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (6) 耐熱性議驗後粘著層之剝離強度之測定 將附有粘著層之去靜電硬被覆層薄膜貼合於玻璃板上， 並就地在80°C下進行耐熱試驗1000小時間，之後放置 在23°C、相對溼度50%下歷24小時，而做成寬25毫米 之試驗片，利用拉伸驗機在90°方向上以300毫米/分 鐘之速度來測定其剝離強度。玻璃板沒有殘存的粘著層 時即爲再剝離性良好者，以〇表示之。 實施例1 <製作去靜電硬被覆層> 將100重量分之多官能丙烯酸酯（日本化藥公司製、 DPHA)、與相對之45重量分之表面處理膠態二氧化矽塗料 (GE東芝聚矽氧公司製、UVHC-1105)、300重量分之做爲導 -25- ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 _ B7 五、發明說明（2? (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 電性微粒子之ΑΤΟ(平均粒徑20奈米：15〜25奈米）摻混成 混合溶液，以甲基乙基酮將上述混合溶液調製成55 %之稀釋 組成物。 其次，在做爲基材薄膜之PET膜（帝人公司製PET、 OFW-188)之單面上，利用微凹印塗機將上述組成物塗佈於 其上，加熱乾燥後，以300毫焦耳/平方公分紫外線燈照 射，製做成厚5微米之去靜電硬被覆層。 <表面處理> 利用強度爲15kV/公分、頻率爲6kHz之脈衝電場、之電 極，對上述去靜電硬被覆層之表面，施予脈衝開始時間5 微秒、放電電流密度爲4.5毫安培/平方公分之電暈放電處 理。 藉由ESCA分析上述經電暈放電處理之去靜電硬被覆層 表面，依Si量/( Si量+C量+0量）（％)求取，則相對於電暈 放電處理前之9原子％，電暈放電處理後爲15原子％。 <形成無機薄膜層> 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 利用濺射法在上述經表面處理之去靜電硬被覆層上，形 成厚350奈米之Si02膜。此即所謂的去靜電硬被覆層薄 膜。以上述之方法評量所得到的去靜電硬被覆層薄膜之物 性，將評量結果表示於表1中。 實施例2 除了使用250重量分之IT0來代替ΑΤΟ做爲導電微粒 子以外，均進行與實施例1同樣的操作，而製得去靜電硬 被覆層薄膜。以上述之方法評量所得到的去靜電硬被覆層 -26- ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 B7 五、發明說明（孕 薄膜之物性，將評量結果表示於表1中。 實施例3 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 除了使用20W電力、56V電壓、0.375A電流之低壓水銀 燈（即會產生184.9奈米、253.7奈米強度光譜光線）來代替 電暈放電處理之表面處理方法、並實施表面處理30秒以 外，均進行與實施例1同樣的操作，而製得去靜電硬被覆 層薄膜。以上述之方法評量所得到的去靜電硬被覆層薄膜 之物性，將評量結果表示於表1中。 實施例4 <製作粘著層> 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在備有溫度計、攪拌機、迴流冷卻管、室氮氣導管及滴 下漏斗之5個羅斯帕拉洛夫燒瓶中，添加48.8重量分之2-乙基己基丙烯酸酯、46重量分之n_T基丙烯酸酯、5重量 分之丙烯酸、0.2重量分之2-羥乙基甲丙烯酸酯、0.03重量 分之η-十二烷基硫醇、及100重量分之乙酸乙酯，藉由攪 拌均勻混合後，在氮氣下開始昇溫30分鐘以除去在系內所 溶存之氧氣。接著，保持在70°C狀態下，藉由滴下漏斗來 滴下溶解在3重量分乙酸乙酯中之0.03重量分的苄基過氧 化物之啓始劑溶液後，在氮氣圍氣下進行反應15小時，而 得到重量平均分子量爲90萬之丙烯醺系共聚物。更在反應 後，以乙酸乙酯稀釋而得到固體成分爲40重量％之丙烯酸 系共聚物。 再者，添加1.0重量分（相對於1〇〇重量分之丙烯酸系 共聚物之固體成分計）做爲架橋劑之三甲醇丙烷所成tdi(曰 -27- 本紙張尺ϋ用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) 539730 A7 B7
五、發明說明（T (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 本聚聚氨基甲酸乙酯公司製、商品名爲「可納得L」、固體 成分爲45重量％)，另添加5重量分聚矽氧化合物之甲基氫 化聚矽氧（信越聚矽氧公司製、商品名爲「KF-99」），而製 得粘著劑。 在實施例1所得到的去靜電硬被覆層薄膜之PET膜側上 塗布上述之粘劑，在l〇〇°C之烘爐中乾燥5分鐘而製得厚25 微米之附有粘著層之去靜電硬被覆層薄膜。 將上述附有粘著層之去靜電硬被覆層薄膜放置1週後， 切割成100毫米X 100毫米大小’再以積層機無氣泡地貼合 於玻璃板之積層面上。以上述之方法評量所得到的去靜電 硬被覆層薄膜之物性，將評量結果表示於表1中。 實施例5 除了將實施例4所用的粘著劑中之甲基氫化聚矽氧變 更爲10重量分以外，均進行與實施例4同樣的操作，而製 得附有粘著層之去靜電硬被覆層薄膜。以上述之方法評量 所得到的附有粘著層之去靜電硬被覆層薄膜之物性’其評 量結果係示於表1中。 實施例6 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 除了將實施例4所用的粘著劑中之甲基氫化聚矽氧變 更爲15重量分以外，均進行與實施例4同樣的操作，而製 得附有粘著層之去靜電硬被覆層薄膜。以上述之方法評量 所得到的附有粘著層之去靜電硬被覆層薄膜之物性’其評 量結果係示於表1中。 比較例1 -28- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 B7 五、發明說明（¥ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 除了未進行表面處理以外，均進行與實施例1同樣的 操作’而製得去靜電硬被覆層薄膜。以上述之方法評量所 得到的去靜電硬被覆層薄膜之物性，其評量結果係示於表1 中。 比較例2 除了使用40重量分之導電性微粒子（ΑΤΟ)以外，均進 行與實施例1同樣的操作，而製得去靜電硬被覆層薄膜。 以上述之方法評量所得到的去靜電硬被覆層薄膜之物性， 其評量結果係示於表1中。 比較例3 除了使用120重量分之含有表面處理膠態二氧化矽塗 料（GE東芝聚矽氧公司製、UVHC-1105)以外，均進行與實 施例1同樣的操作，而製得去靜電硬被覆層薄膜。經電大 放電之表面處理後，其Si比率爲45原子％。以上述之方法 評量所得到的去靜電硬被覆層薄膜之物性，其評量結果係 不於表1中。 比較例4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 除了表面處理攸件中之脈衝電場強度爲〇.5kV/公分以 外，均進行與實施例1同樣的操作，而製得去靜電硬被覆 層薄膜。以上述之方法評量所得到的去靜電硬被覆層薄膜 之物性，其評量結果係示於表1中。 -29- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 539730 A7 B7 五、發明說明（弓8 表1 實施例1 實施例2 實施例3 比較例1 比較例2 比較例3 比較例4 表面Si量 15 15 15 9 15 45 15 鱗硬度 3H4/5 3H5/5 3H4/5 3H5/5 3H4/5 3H3/5 3H4/5 _臟 〇 〇 〇 X 〇 X 〇 耐久後剝離性 100/100 100/100 100/100 10/100 100/100 40/100 20/100 UV後剝離性 100/100 100/100 100/100 35/100 100/100 50/100 30/100 表面電阻 3.0E407 5.0E4O6 3.0E407 2.0Ε4Ώ7 1E+12以上 1.0Ε4Ό8 3.0E+07 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 實施例4 實施例5 實施例6 耐熱後剝離強度 (公斤/2.54飾 2 1.54 0.6 再剝離之有無 〇 〇 〇 產業利用之可能性 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明由於具有上述之構成，因而得以形成具有去靜 電性能而表面硬度之去靜電硬被覆層。又且，由於施予使 在該去靜電硬被覆層表面之元素組成中Si所佔之比例，相 對於Si、C及0之總量計係爲10〜35原子％樣那的表面處 理，而能夠使得去靜電硬被覆層與具附加機能薄膜間之密 著性飛躍地向上提高。亦且，因使用ΑΤΟ及/或ITO之導電 性微粒子，使得可以發揮極爲安定的去靜電性能。此外， 由於經基材薄膜而設置之粘著層，可使得去靜電硬被覆層 強固地接著於其所裝著之玻璃等光學組件上。 -30- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) 539730 A7 ____Β7 五、發明說明（f 再者，製造，本發明之去靜電硬被覆層體薄膜之方 法，由於係在上述處理條件下施予表面處理，於是去靜電 硬被覆層與無機薄膜更進一步的強固地密著’因而可得到 顯示器用之防反射薄膜；然向來在低壓下所進行的放電處 理，則是在大氣壓附近短時間地來進。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）