CN107058982B - 一种具有多层结构防液涂层的制备方法 - Google Patents

一种具有多层结构防液涂层的制备方法 Download PDF

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Abstract

一种具有多层结构防液涂层的制备方法，属于等离子化学气相沉积技术领域，该方法中：将基材置于反应腔体内，连续抽真空，通入惰性气体或氮气，分别通入第一单体蒸汽、第二单体蒸汽，开启等离子体放电，制备软涂层硬涂层；第一单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂；第二单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂与至少一种多官能度不饱和烃类衍生物的混合物，重复上述步骤(2)至少2次，在基材表面形成软涂层、硬涂层交替分布的多层结构的涂层，本发明通过独立控制等离子化学气相沉积制备具有软、硬间隔的多层结构的聚合物涂层，硬涂层具有优异的阻隔性，软涂层具有优异的蠕变迁移性，从而大幅度提高了涂层的防液性和渗透性。

Description

一种具有多层结构防液涂层的制备方法
技术领域
本发明属于等离子化学气相沉积技术领域，具体涉及到一种防液涂层的制备方法。
背景技术
聚合物涂层由于经济、易涂装、适用范围广等特点常用于材料表面的防护，可以赋予材料良好的物理、化学耐久性。近年来基于聚合物涂层的阻隔性，其在防液体渗透、腐蚀方面应用颇多。但是聚合物涂层结晶性差，涂层多为无定形，不能有效地阻止液体对涂层的渗透。提高聚合物涂层防渗透性的方法主要有：
(1)选用耐渗透性优异的单体制备聚合物涂层。例如美国Union Carbide Co.开发应用了一种新型敷形涂层材料，派瑞林涂层(专利)，它是一种对二甲苯的聚合物，具有低水、气体渗透性、高屏障效果，能够达到防潮、防水、防锈、抗酸碱腐蚀的作用。
(2)聚合物涂层中添加具有片层结构的纳米填料(蒙脱土、石墨烯等)以增加腐蚀性介质在涂层中的渗透路径。专利CN 201510203553.1公开了一种片层石墨烯抑制腐蚀性液体渗透的方法。
(3)多层复合，通过将不同渗透性材料复合来提高涂层的耐液体渗透性。专利CN201010598950.0通过多层共挤技术制备了一种高阻隔防渗透农药包装膜。
但这些技术仍存在很多不足，如一些高端的防渗透单体，如派瑞林涂层制备存在原料成本高、涂层制备条件苛刻，即高温、高真空度要求、成膜速率低，难以广泛应用；而纳米填料的加入存在分散性差，容易产生涂层缺陷；复合涂层各层间粘合力差，易开裂。
等离子体化学气相沉积(plasma chemical vapor deposition,PCVD)是一种用等离子体激活反应气体，促进在基体表面或近表面空间进行化学反应，生成固态膜的技术。等离子体化学气相沉积法涂层具有：
(1)是干式工艺，生成薄膜均匀无针孔。
(2)等离子体聚合膜的耐溶剂性、耐化学腐蚀性、耐热性、耐磨损性能等化学、物理性质稳定。
(3)等离子体聚合膜与基体黏接性良好。
(4)在凹凸极不规则的基材表面也可制成均一薄膜。
(5)基材和单体的选择性宽。
基于以上优点，等离子体法聚合物涂层在电子电器、机械部件、服装等防水、防锈、防油、防霉等方面有众多应用。虽然通过等离子体法制备的聚合物涂层为交联涂层具有一定的耐溶剂性、耐化学腐蚀性，但聚合物涂层的防液性还存在不足之处，这主要归因于：
(1)等离子体法制备的聚合物涂层中有大量的线性结构，聚合物网络疏松，耐液体溶解、渗透性不足。
(2)通过提高等离子体能量或加入交联结构来提高聚合物网络来制备的涂层，硬度较大，在温度变化容易引起涂层开裂，防液性能下降。
发明内容
本发明为解决上述技术问题提供一种具有多层结构防液涂层的制备方法，通过独立控制等离子化学气相沉积制备具有软、硬间隔的多层结构的聚合物涂层，硬涂层具有优异的阻隔性，软涂层具有优异的蠕变迁移性，软涂层可在变温环境下迁移弥补硬涂层因变形开裂而引起的抗液体渗透性下降的缺陷。此外，由于多层涂层单体成分属于同一类别，相容性明显优于多层贴合，因此涂层各层间的结合力较强。从而提高了等离子体法制备的聚合物涂层的防液性能。
本发明所采用的技术方案如下：
一种具有多层结构防液涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
(1)将基材置于等离子体室的反应腔体内，对反应腔体连续抽真空，将反应腔体内的真空度抽到10-200毫托，通入惰性气体或氮气；
(2)通入第一单体蒸汽到真空度为30-300毫托，开启等离子体放电，进行化学气相沉积，制备第一涂层，即软涂层；软涂层的交联度较低，变形能力强。
停止通入第一单体蒸汽，待真空度降低到10毫托以下，目的是为了排出残余的尾气，通入第二单体蒸汽到真空度为30-300毫托，开启等离子体放电，进行化学气相沉积，制备第二涂层，即硬涂层；硬涂层交联度大，致密性好，硬度相对较大。
所述第一单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂；
所述第二单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂与至少一种多官能度不饱和烃类衍生物的混合物，且所述第二单体中多官能度不饱和烃类衍生物所占质量百分比为10-80％。
(3)重复上述步骤(2)至少2次，在基材表面形成软涂层、硬涂层交替分布的多层结构的涂层；
(4)停止等离子体放电，停止通入第二单体蒸汽，持续抽真空，保持反应腔体真空度为10-200毫托1-5min后通入大气至一个大气压，然后取出基材即可。
所述步骤(1)中基材为固体材料，所述固体材料包括电子部件、电器部件、织物或服装。
所述步骤(1)中等离子体室的容积为50-1000L，等离子体室的温度控制在30～60℃；等离子体在此温度下放电利于单体的聚合。
通入惰性气体或氮气的流量为5～300sccm，所述惰性气体为氩气或氦气中的一种，或氩气和氦气的混合物。惰性气体或氮气的目的在于获得稳定的等离子体环境。
所述步骤(2)中：
通入第一单体蒸汽为将第一单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低压10-200毫托引入反应腔体，所述通入第一单体蒸汽的流量为10-300μL/min；
通入第二单体蒸汽为将第二单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低于10毫托压力下引入反应腔体，所述通入第二单体蒸汽的流量为10-300μL/min。
所述第一单体为单官能度不饱和氟碳树脂；所述第二单体为单官能度不饱和氟碳树脂与至少一种多官能度不饱和烃类衍生物的混合物，且所述第二单体中多官能度不饱和烃类衍生物所占质量百分比为10-80％。
所述单官能度不饱和氟碳树脂包括：
3-(全氟-5-甲基己基)-2-羟基丙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟癸基)乙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟己基)乙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟十二烷基)乙基丙烯酸酯、2-全氟辛基丙烯酸乙酯、1H,1H,2H,2H-全氟辛醇丙烯酸酯、2-(全氟丁基)乙基丙烯酸酯、(2H-全氟丙基)-2-丙烯酸酯、(全氟环己基)甲基丙烯酸酯、3,3,3-三氟-1-丙炔、1-乙炔基-3,5-二氟苯或4-乙炔基三氟甲苯。
该单官能度不饱和氟碳树脂具有以下优点：氟碳树脂以牢固的C-F键为骨架，同其他树脂相比，其耐热性、耐化学品性、耐寒性、低温柔韧性、耐候性和电性能等均较好，此外还具有不黏附性、不湿润性。故氟碳树脂涂层特别适合用于材料表面的防护，不仅可以赋予材料良好的物理、化学耐久性而且可以赋予材料优异的防水、防油功能，可以广泛应用于分离、光学、医用、电子、精密器械及高档衣物等的涂装领域。
所述多官能度不饱和烃类衍生物包括：
乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、二缩三丙二醇二丙烯酸酯、二乙烯苯、聚乙二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、二丙烯酸乙二醇酯、二乙二醇二乙烯基醚或二丙烯酸新戊二醇酯。该多官能度不饱和烃类衍生物具有多个交联点，加入后可以增强涂层网络的防护性能。
所述步骤(2)中通入第一单体蒸汽之前进行辉光放电对基材进行轰击预处理,辉光放电的功率为2～500W，放电时间为300～600s。该轰击预处理可以清理基材表面的杂质，同时可以活化基材的表面，利于涂层的沉积，提高涂层与基材的结合力。
所述步骤(2)中开启等离子体放电的功率为2-500W，持续放电时间为300-600秒，所述等离子体放电方式为射频放电、微波放电、中频放电或电火花放电。
射频等离子体是利用高频高压使电极周围的空气电离而产生的等离子体。微波法是利用微波的能量激发等离子体，具有能量利用效率高的优点，同时由于无电极放电，等离子体纯净，是目前高质量、高速率、大面积制备的优异方法。
所述等离子体射频放电过程中控制等离子体射频的能量输出方式为脉冲或连续输出，等离子体射频的能量输出方式为脉冲输出时，脉宽为2μs-1ms、重复频率为20Hz-10kHz。
连续式等离子体射频放电沉积的过程等离子体对沉积膜有一定的刻蚀，脉冲射频放电相对连续式给予一定的沉积时间有利于涂层的做厚、致密。
所述步骤(3)中重复步骤(2)的次数为3-15次。
本发明的上述技术方案与现有技术相比具有以下优点：
1、硬涂层和软涂层相结合的方式，充分提高了涂层的性能
本发明在基材表面上制备了软涂层、硬涂层交替分布的多层结构涂层，该多层结构涂层中的硬涂层具有优异的阻隔性，软涂层具有优异的蠕变迁移性，软涂层可在变温环境下迁移弥补硬涂层因变形开裂而引起的抗液体渗透性下降的缺陷，从而大幅度提高了涂层的防液性和渗透性，该涂层的防液性和渗透性分别提高了20％-40％和30％-45％。
2、本发明方法制备的软涂层与硬涂层交替分布的多层结构的防液涂层具有以下优点：
单一硬涂层虽然具有较好的阻隔性，但是在温度及形变下容易发生开裂；单一软涂层阻隔性能差，但是变形能力强。多层交替兼顾两种的优点同时能弥补各自的缺点。硬涂层阻隔性好，可以防渗透，即使变形开裂后软涂层能够补充到开裂位置提高涂层整体防护性能。
具体实施方式
下面结合具体实施例详细说明本发明，但本发明并不局限于具体实施例。
实施例1
一种具有多层结构防液涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
(1)将基材置于等离子体室的反应腔体内，对反应腔体连续抽真空，将反应腔体内的真空度抽到10毫托，通入惰性气体；步骤(1)中基材为固体材料，固体材料为电子部件。
步骤(1)中等离子体室的容积为50L，等离子体室的温度控制在30℃；通入惰性气体的流量为5sccm，惰性气体为氩气。
(2)通入第一单体蒸汽到真空度为30毫托，开启等离子体放电，进行化学气相沉积，制备第一涂层，即软涂层；
停止通入第一单体蒸汽，待真空度降低到10毫托以下，通入第二单体蒸汽到真空度为30毫托，开启等离子体放电，进行化学气相沉积，制备第二涂层，即硬涂层；
所述第一单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂，该单官能度不饱和氟碳树脂为2-全氟辛基丙烯酸乙酯；
所述第二单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂与一种多官能度不饱和烃类衍生物的混合物，该单官能度不饱和氟碳树脂为1H,1H,2H,2H-全氟辛醇丙烯酸酯，该多官能度不饱和烃类衍生物为二乙二醇二乙烯基醚；且第二单体中多官能度不饱和烃类衍生物所占质量百分比为10％。
通入第一单体蒸汽为将第一单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低压10毫托引入反应腔体，所述通入第一单体蒸汽的流量为10μL/min；
通入第二单体蒸汽为将第二单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低于10毫托压力下引入反应腔体，所述通入第二单体蒸汽的流量为10μL/min。
步骤(2)中通入第一单体蒸汽之前进行辉光放电对基材进行轰击预处理。
步骤(2)中开启等离子体放电的功率为2W，持续放电时间为600秒，等离子体放电方式为射频放电，等离子体射频放电过程中控制等离子体射频的能量输出方式为脉冲输出，脉宽为2μs、重复频率为20Hz。
(3)重复上述步骤(2)2次，在基材表面形成软涂层、硬涂层交替分布的多层结构的涂层；
(4)停止等离子体放电，停止通入第二单体蒸汽，持续抽真空，保持反应腔体真空度为10毫托1min后通入大气至一个大气压，然后取出基材即可。
实施例2
本实施例与实施例1基本的工艺步骤相同，不同的工艺参数如下：
1、步骤(1)中将反应腔体内的真空度抽到40毫托，通入惰性气体；基材为固体材料，固体材料为电器部件。等离子体室的容积为180L，等离子体室的温度控制在40℃；通入惰性气体的流量为45sccm，惰性气体为氦气。
2、步骤(2)中通入第一单体蒸汽到真空度为80毫托，通入第二单体蒸汽到真空度为60毫托；
第一单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂，该单官能度不饱和氟碳树脂为3-(全氟-5-甲基己基)-2-羟基丙基甲基丙烯酸酯；
第二单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂与两种多官能度不饱和烃类衍生物的混合物，该单官能度不饱和氟碳树脂为2-全氟辛基丙烯酸乙酯，该两种多官能度不饱和烃类衍生物为二乙二醇二乙烯基醚和二丙烯酸乙二醇酯；且第二单体中多官能度不饱和烃类衍生物所占质量百分比为20％；
通入第一单体蒸汽为将第一单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低压40毫托引入反应腔体，所述通入第一单体蒸汽的流量为50μL/min；
通入第二单体蒸汽为将第二单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低于10毫托压力下引入反应腔体，所述通入第二单体蒸汽的流量为40μL/min。
步骤(2)中开启等离子体放电的功率为30W，持续放电时间为500秒，等离子体放电方式为微波放电。
3、重复上述步骤(2)3次。
4、保持反应腔体真空度为60毫托2min后通入大气至一个大气压。
实施例3
本实施例与实施例1基本的工艺步骤相同，不同的工艺参数如下：
1、步骤(1)中将反应腔体内的真空度抽到100毫托，通入惰性气体；基材为固体材料，固体材料为服装。等离子体室的容积为350L，等离子体室的温度控制在50℃；通入惰性气体的流量为90sccm，惰性气体为氦气与氩气的混合气体。
2、步骤(2)中通入第一单体蒸汽到真空度为160毫托，通入第二单体蒸汽到真空度为150毫托；
第一单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂，该单官能度不饱和氟碳树脂为2-(全氟十二烷基)乙基丙烯酸酯；
第二单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂与三种多官能度不饱和烃类衍生物的混合物，该单官能度不饱和氟碳树脂为2-(全氟丁基)乙基丙烯酸酯，该三种多官能度不饱和烃类衍生物为乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯和二丙烯酸新戊二醇酯；且第二单体中多官能度不饱和烃类衍生物所占质量百分比为34％。
通入第一单体蒸汽为将第一单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低压100毫托引入反应腔体，所述通入第一单体蒸汽的流量为90μL/min；
通入第二单体蒸汽为将第二单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低于10毫托压力下引入反应腔体，所述通入第二单体蒸汽的流量为80μL/min。
步骤(2)中开启等离子体放电的功率为90W，持续放电时间为400秒，等离子体放电方式为中频放电。
3、重复上述步骤(2)7次。
4、保持反应腔体真空度为90毫托3min后通入大气至一个大气压。
实施例4
本实施例与实施例1基本的工艺步骤相同，不同的工艺参数如下：
1、步骤(1)中将反应腔体内的真空度抽到150毫托，通入氮气；基材为固体材料，固体材料为织物。等离子体室的容积为650L，等离子体室的温度控制在55℃；通入氮气的流量为140sccm。
2、步骤(2)中通入第一单体蒸汽到真空度为200毫托，通入第二单体蒸汽到真空度为200毫托；
第一单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂，该单官能度不饱和氟碳树脂为3,3,3-三氟-1-丙炔；
第二单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂与三种多官能度不饱和烃类衍生物的混合物，该单官能度不饱和氟碳树脂为3,3,3-三氟-1-丙炔，该三种多官能度不饱和烃类衍生物为二缩三丙二醇二丙烯酸酯、二乙烯苯和聚乙二醇二丙烯酸酯；且第二单体中多官能度不饱和烃类衍生物所占质量百分比为58％。
通入第一单体蒸汽为将第一单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低压150毫托引入反应腔体，所述通入第一单体蒸汽的流量为160μL/min；
通入第二单体蒸汽为将第二单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低于10毫托压力下引入反应腔体，所述通入第二单体蒸汽的流量为150μL/min。
步骤(2)中开启等离子体放电的功率为320W，持续放电时间为350秒，等离子体放电方式为电火花放电。
3、重复上述步骤(2)15次。
4、保持反应腔体真空度为140毫托4min后通入大气至一个大气压。
实施例5
本实施例与实施例1基本的工艺步骤相同，不同的工艺参数如下：
1、步骤(1)中将反应腔体内的真空度抽到200毫托，通入惰性气体；基材为固体材料，固体材料为电子部件。等离子体室的容积为1000L，等离子体室的温度控制在60℃；通入惰性气体的流量为300sccm，惰性气体为氩气。
2、步骤(2)中通入第一单体蒸汽到真空度为300毫托，通入第二单体蒸汽到真空度为300毫托；
第一单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂，该单官能度不饱和氟碳树脂为4-乙炔基三氟甲苯；
第二单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂与四种多官能度不饱和烃类衍生物的混合物，该单官能度不饱和氟碳树脂为1-乙炔基-3,5-二氟苯，该四种多官能度不饱和烃类衍生物为二乙烯苯、聚乙二醇二丙烯酸酯、二丙烯酸乙二醇酯和二乙二醇二乙烯基醚；且第二单体中多官能度不饱和烃类衍生物所占质量百分比为80％。
通入第一单体蒸汽为将第一单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低压200毫托引入反应腔体，所述通入第一单体蒸汽的流量为300μL/min；
通入第二单体蒸汽为将第二单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低于10毫托压力下引入反应腔体，所述通入第二单体蒸汽的流量为300μL/min。
步骤(2)中开启等离子体放电的功率为500W，持续放电时间为300秒，等离子体放电方式为射频放电，等离子体射频放电过程中控制等离子体射频的能量输出方式为脉冲输出，脉宽为1ms、重复频率为10kHz。
3、重复上述步骤(2)20次。
4、保持反应腔体真空度为200毫托5min后通入大气至一个大气压。
实施例6
本实施例与实施例5基本的工艺步骤相同，不同的工艺参数如下：
1、等离子体放电方式为射频放电，等离子体射频放电过程中控制等离子体射频的能量输出方式为脉冲输出，脉宽为0.2ms、重复频率为2kHz。
实施例7
本实施例与实施例5基本的工艺步骤相同，不同的工艺参数如下：
1、等离子体放电方式为射频放电，等离子体射频放电过程中控制等离子体射频的能量输出方式为连续输出。
上述实施例1到实施例7所述的方法制备得到的涂层具有优异的疏水、疏油、低粘附和耐有机溶剂溶解的性能，测试结果如下：
1、疏水、疏油、低粘附性测试：
2、耐有机溶剂溶解的性能测试

Claims (8)

1.一种具有多层结构的防液涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
(1)将基材置于等离子体室的反应腔体内，对反应腔体连续抽真空，将反应腔体内的真空度抽到10-200毫托，通入惰性气体或氮气；
(2)通入第一单体蒸汽到真空度为30-300毫托，开启等离子体放电，进行化学气相沉积，制备第一涂层，即软涂层；
停止通入第一单体蒸汽，待真空度降低到10毫托以下，通入第二单体蒸汽到真空度为30-300毫托，开启等离子体放电，进行化学气相沉积，制备第二涂层，即硬涂层；
所述第一单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂；
所述第二单体蒸汽成分为单官能度不饱和氟碳树脂与至少一种多官能度不饱和烃类衍生物的混合物，且所述第二单体中多官能度不饱和烃类衍生物所占质量百分比为10-80％；
所述单官能度不饱和氟碳树脂包括：
3-(全氟-5-甲基己基)-2-羟基丙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟癸基)乙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟己基)乙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟十二烷基)乙基丙烯酸酯、2-全氟辛基丙烯酸乙酯、1H,1H,2H,2H-全氟辛醇丙烯酸酯、2-(全氟丁基)乙基丙烯酸酯、(2H-全氟丙基)-2-丙烯酸酯、(全氟环己基)甲基丙烯酸酯、3,3,3-三氟-1-丙炔、1-乙炔基-3,5-二氟苯或4-乙炔基三氟甲苯；
所述多官能度不饱和烃类衍生物包括：
乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、二缩三丙二醇二丙烯酸酯、二乙烯苯、聚乙二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、二丙烯酸乙二醇酯、二乙二醇二乙烯基醚或二丙烯酸新戊二醇酯。
(3)重复上述步骤(2)至少2次，在基材表面形成软涂层、硬涂层交替分布的多层结构的涂层；
(4)停止等离子体放电，停止通入第二单体蒸汽，持续抽真空，保持反应腔体真空度为10-200毫托1-5min后通入大气至一个大气压，然后取出基材即可。
2.根据权利要求1所述的一种具有多层结构的防液涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中基材为固体材料，所述固体材料包括电子部件、电器部件、织物或服装。
3.根据权利要求1所述的一种具有多层结构的防液涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中等离子体室的容积为50-1000L，等离子体室的温度控制在30～60℃；通入惰性气体或氮气的流量为5～300sccm，所述惰性气体为氩气或氦气中的一种，或氩气和氦气的混合物。
4.根据权利要求1所述的一种具有多层结构的防液涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中：
通入第一单体蒸汽为将第一单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低压10-200毫托引入反应腔体，所述通入第一单体蒸汽的流量为10-300μL/min；
通入第二单体蒸汽为将第二单体通过加料泵进行雾化、挥发，由低于10毫托压力下引入反应腔体，所述通入第二单体蒸汽的流量为10-300μL/min。
5.根据权利要求1所述的一种具有多层结构的防液涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中通入第一单体蒸汽之前进行辉光放电对基材进行轰击预处理。
6.根据权利要求1所述的一种具有多层结构的防液涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中开启等离子体放电的功率为2-500W，持续放电时间为300-600秒，所述等离子体放电方式为射频放电、微波放电、中频放电或电火花放电。
7.根据权利要求6所述的一种具有多层结构的防液涂层的制备方法，其特征在于：所述等离子体射频放电过程中控制等离子体射频的能量输出方式为脉冲或连续输出，等离子体射频的能量输出方式为脉冲输出时，脉宽为2μs-1ms、重复频率为20Hz-10kHz。
8.根据权利要求1所述的一种具有多层结构的防液涂层的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中重复步骤(2)的次数为3-15次。
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