JPH09277426A

JPH09277426A - 透明導電フィルム及びその製造方法

Info

Publication number: JPH09277426A
Application number: JP8096748A
Authority: JP
Inventors: Tatsuichiro Kin; 辰一郎金; Hiroyuki Fujishima; 博行藤島; Satoshi Igarashi; 聡五十嵐
Original assignee: Teijin Ltd
Current assignee: Teijin Ltd
Priority date: 1996-04-18
Filing date: 1996-04-18
Publication date: 1997-10-28

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】透明性、光学等方性、平坦性、耐溶剤性、ガ
スバリア性に優れ、特にカールが小さく、更にガスバリ
ア層として用いる金属酸化物層と金属酸化物層上に積層
される耐溶剤層との間の密着性に大変優れた透明導電フ
ィルム。【解決手段】プラスチックフィルムのいずれかの面に
少なくともガスバリア層、耐溶剤層、透明導電層を有
し、透明導電層が最外層に積層されている透明導電フィ
ルムにおいて、ガスバリア層が金属酸化物からなる層で
あり、耐溶剤層が放射線硬化型樹脂（Ａ）とアルコキシ
シラン（Ｂ）と酸成分（Ｃ）からなり、Ａ：Ｂが重量比
率で１００：３〜２：３の範囲で、Ａ：Ｃが重量比率で
１００：１〜１００：３０の範囲で混合してなる樹脂組
成物の硬化層であり、ガスバリア層上に直接積層される
透明導電フィルムである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラスチックフィ
ルム上に透明導電層を積層した透明導電フィルム及びそ
の製造方法に関し、液晶表示パネルの透明電極基板に用
いた場合に表示品位や信頼性が高く、エレクトロルミネ
ッセンスパネル、エレクトロクロミックパネル、タッチ
パネル等の透明電極基板に好適な透明導電フィルムに関
する。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶表示素子は、より軽薄化、よ
り大型化という要求に加え、長期信頼性、形状の自由
度、曲面表示等の高度な要求がなされている。特に、ペ
イジャー（ポケットベル）、携帯電話、電子手帳、ペン
入力機器など、携帯して移動可能な機器が著しく普及す
るにつれ、従来の厚く、重く、割れ易いガラス基板に代
わり、プラスチックを基板とする液晶表示パネルが検討
され、一部で実用化されてきている。こうしたプラスチ
ック基板が、特開昭５６ー１３００１０号公報等に記載
されている。

【０００３】そしてさらには、耐透気性、耐水蒸気透過
性（以後、まとめて「ガスバリア性」と総称する。）の
改善されたプラスチック基板も特開昭６１ー４１１２２
号公報、特開昭６１ー７３９２４号公報、特開平３ー９
３２３号公報等に記載されている。

【０００４】しかし、これらのプラスチック基板のう
ち、特開昭６１−４１１２２号公報、特開平３−９３２
３号公報等に記載のガスバリア性を付与するためのガス
バリア層としてポリビニルアルコール系樹脂のみを積層
したものでは、５０％ＲＨ以下の低湿度下でのガスバリ
ア性には優れているものの、それよりも高い湿度例えば
９０％ＲＨの高湿度下でのガスバリア性に劣るという欠
点がある。また、ポリビニルアルコール系樹脂層が透明
導電層直下、あるいは最外層に設けられた場合、水系溶
液に容易に侵されるという問題もある。また、この他の
有機系のガスバリア層材料として、ポリアクリロニトリ
ルやポリ塩化ビニリデン等があるが、取り扱い性、対環
境の観点から問題がある。

【０００５】一方、特開昭６１−１８３８１０号公報等
にはガスバリア層として金属酸化物層を設けたプラスチ
ック基板が記載されている。また、特開平６−１７５１
４３号公報には、金属酸化物層の耐スクラッチ性を向上
させるという観点から金属酸化物層と硬化性樹脂層を積
層したプラスチック基板が記載されている。この金属酸
化物層の場合、低湿度でのガスバリア性では前述のポリ
ビニルアルコール系樹脂層に劣るものの、湿度に殆ど影
響されないガスバリア性が得られる利点があり、利用さ
れている。しかし、硬化性樹脂を設けたものでは、後述
のように金属酸化物層との密着性、カール等の別の問題
があることが判った。また、このような金属酸化物層、
特に生産性が良好で好適に使用される珪素酸化物層が最
外層にある場合、アルカリ水溶液で容易に侵食されると
いう問題もある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】液晶表示パネルの透明
電極の基板としてプラスチック基板を用いる場合には以
下の問題があり、透明性、光学等方性、平坦性、耐溶剤
性、層間の密着性、ガスバリア性、基板全体のカール等
の諸特性において高い性能が要求される。すなわち基板
の透明性や光学等方性が劣っている場合には、表示の明
るさ、コントラストの低下や着色の発生等の問題が起き
る。

【０００７】基板の平坦性が低い場合には液晶層の厚み
が不均一になったり、液晶の配向ムラを生じて表示品位
が低下する。耐溶剤性は液晶パネル作成工程において必
要な特性であり、透明導電層のエッチングに用いる酸性
水溶液、レジスト現像時に用いるアルカリ性水溶液、液
晶配向膜形成時に用いるＮーメチルピロリドン、γーブ
チルラクトン等の有機溶剤等への耐性が低いと基板の外
観および平坦性の悪化等を引き起こす。

【０００８】基板に積層された各層間の密着性が低いと
パネル作成時に於いて剥離やクラック等が発生しやすく
なり、パネルの信頼性が低下する。基板のガスバリア性
が低い場合には、基板を通して大気中の酸素や窒素もし
くは水蒸気等が液晶層に出入りし、液晶の劣化や気泡の
発生等を引き起こし、表示不良の原因となる。

【０００９】また、ガスバリア性を向上させる目的で金
属酸化物層を積層した場合には、前述のように、アルカ
リ水溶液等への耐溶剤性が問題となる。この為、金属酸
化物層上には高い耐溶剤性と密着性を有する層を積層す
ることが必要となる。又、このような積層フィルムは、
特に液晶配向膜形成時に必要となる加熱処理を行った後
に、カールが大きいと、パネル作成時に作業性が悪く、
パネル作成が困難になってしまう。

【００１０】本発明はかかる点に鑑みなされたもので、
透明性、光学等方性、平坦性、耐溶剤性、ガスバリア性
に優れ、特にカールが小さく、更にガスバリア層として
用いる金属酸化物層と金属酸化物層上に積層される耐溶
剤層との間の密着性に大変優れた透明導電フィルム及び
その製造方法を提供することを目的としている。

【００１１】

【課題を解決する為の手段】本発明者らはかかる点に鑑
み、鋭意研究の結果、耐溶剤層として、放射線硬化型樹
脂に特定のアルコキシシランと酸成分とを混合した樹脂
組成物の硬化層が前記目的を達成できることを見出し、
本発明に到達した。

【００１２】すなわち、本発明は、プラスチックフィル
ムのいずれかの面に少なくともガスバリア層、耐溶剤
層、透明導電層を有し、透明導電層が最外層に積層され
ている透明導電フィルムにおいて、ガスバリア層が金属
酸化物からなる層であり、耐溶剤層が放射線硬化型樹脂
（Ａ）と下記の一般式（１）で表されるアルコキシシラ
ン（Ｂ）と酸成分（Ｃ）からなり、Ａ：Ｂが重量比率で
１００：３〜２：３の範囲で、Ａ：Ｃが重量比率で１０
０：１〜１００：３０の範囲で混合してなる樹脂組成物
の硬化層であり、ガスバリア層上に直接積層されている
ことを特徴とする透明導電フィルムを第１の発明とし、
この第１の発明の透明導電フィルムの製造方法におい
て、耐溶剤層の樹脂組成物をガスバリア層の金属酸化物
層上に塗布後、乾燥し、次いで放射線で硬化することを
特徴とする透明導電フィルムの製造方法第２の発明とす
るものである。

【００１３】

【化２】Ｒ¹ーＳｉ（ＯＲ²）₃ ・・・（１）上式で、Ｒ¹はビニル基、アクリロイル基もしくはエポ
キシ基、又はこれらの基の少なくとも一つを含む有機基
を、Ｒ²はメチル基またはエチル基を示す。以下、本発
明について詳細に説明する。

【００１４】

【発明の実施の形態】前記のとおり、本発明の透明導電
フィルムは、プラスチックフィルム上に金属酸化物から
なるガスバリア層、前記特定の樹脂組成物の硬化層から
なる耐溶剤性を有する耐溶剤層をこの順序で積層し、最
外層に透明導電層を積層したものを基本積層構成として
いる。

【００１５】この金属酸化物層としては、ガスバリア性
を有し、透明な金属酸化物であればよく、例えば珪素、
アルミニウム、マグネシウム、亜鉛等の絶縁酸化物層が
挙げらる。これら金属酸化物層は、スパッタ法、真空蒸
着法、イオンプレーティング法、プラズマＣＶＤ法等の
気相中より材料を堆積させて膜形成する気相堆積膜形成
法により作製される。金属酸化物として好適なのは、ガ
スバリア性、透明性、表面平坦性、屈曲性、膜応力、コ
スト等の点から珪素酸化物、特に好ましくは平均組成を
ＳｉＯｘで表した時のＸが１．５≦ｘ≦２の珪素酸化物
である。

【００１６】ＳｉＯｘの組成Ｘは、Ｘ線光電子分光法、
Ｘ線マイクロ分光法、オージェ電子分光法、ラザフォー
ド後方散乱法などにより分析、決定されるが、ＳｉＯｘ
のＸ値は、可視光線領域での透過率、屈曲性などの面か
ら上述の１．５≦ｘ≦２の範囲が好ましい。ＳｉＯｘの
Ｘ値が１．５よりも小さくなると、屈曲性、透明性が悪
くなる。

【００１７】金属酸化物層の厚さとしては、５ｎｍ〜１
００ｎｍの範囲が好ましい。膜厚が５ｎｍよりも薄いと
ピンホールが発生しやすく、ガスバリア性も低下しやす
くなる。又、膜厚が１００ｎｍよりも厚いと屈曲性が低
下し、透明性も低下するので好ましくない。

【００１８】耐溶剤層は放射線硬化型樹脂と前記式
（１）で示されるアルコキシシランと酸成分とを混合し
た樹脂組成物を硬化させた層である。ここにおいて放射
線硬化型樹脂は優れた耐溶剤性を得るために必要であ
り、前記式（１）で表されるアルコキシシランと酸成分
は金属酸化物層上で高い密着性および耐久性を得る為に
必要な成分である。

【００１９】放射線硬化型樹脂とは、紫外線や電子線等
の放射線を照射することによって硬化が進行する樹脂を
指し、具体的には分子あるいは単位構造内にアクリロイ
ル基、メタクリロイル基、ビニル基等の不飽和二重結合
を含む樹脂等が挙げられる。中でも反応性の面から、ア
クリロイル基を含む樹脂が好ましく用いられる。

【００２０】本発明に用いる放射線硬化型樹脂は、液晶
表示パネル用途では、耐溶剤性に優れていることが好ま
しく、更には、硬化後に所定の加熱処理を行った時のカ
ールが小さい事が好ましい。

【００２１】これら放射線硬化型樹脂は、単一組成で
も、数種の混合組成でも構わないが、耐溶剤性の観点か
ら分子あるいは単位構造内に２個以上のアクリロイル基
を有する多官能アクリレート成分が樹脂組成中に含まれ
ることが好ましい。更に、カールの観点から硬化収縮が
できるだけ小さいものが好ましい。

【００２２】耐溶剤性に優れ、硬化収縮の小さいアクリ
レートとしては、トリメチロールプロパンエチレンオキ
サイド変性トリアクリレート、トリメチロールプロパン
プロピレンオキサイド変性トリアクリレート、イソシア
ヌル酸エチレンオキサイド変性トリアクリレート、ジメ
チロールトリシクロデカンジアクリレート等の各種アク
リレートモノマーや、ポリエステル変性もしくはウレタ
ン変性の多官能アクリレートオリゴマー等が例示される
が、これらに限定されるものではない。

【００２３】ところで、一般にこれらの放射線硬化型樹
脂のみを硬化させた硬化層を、ガスバリア層として用い
る金属酸化物層上に積層した場合には、両層間の密着性
は低いものとなってしまい、目的を達することができな
い。この為、本発明者らは鋭意検討の結果、前記の放射
線硬化型樹脂に特定のアルコキシシランと酸成分を混合
した樹脂組成物の硬化層が、金属酸化物層との密着性に
大変優れており、耐溶剤性やカール等の特性も大変優れ
ている事を見いだした。

【００２４】このアルコキシシランは、下記の一般式
（１）で表されるものである。

【００２５】

【化３】Ｒ¹ーＳｉ（ＯＲ²）₃ ・・・・（１）ここで、Ｒ¹はビニル基、アクリロイル基もしくはエポ
キシ基、又はこれらの基の少なくとも一つを含む有機基
を、Ｒ²はメチル基またはエチル基を示す。このような
アルコキシシランとしては、ビニルトリメトキシシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、γーアクリロキシプロ
ピルトリメトキシシラン、γーグリシドキシプロピルト
リメトキシシラン等が例示される。

【００２６】前記の放射線硬化型樹脂と一般式（１）で
表されるアルコキシシランとの混合比は、放射線硬化型
樹脂：アルコキシシランの重量比率で１００：３〜２：
３の範囲にあることが好ましく、更に高い性能を得る為
には１０：１〜１０：９の範囲にあることがより好まし
い。混合比が１００：３未満と小さくなると、金属酸化
物層との密着性が低下する傾向にあり、又、混合比が
２：３を越えて大きくなると耐溶剤性および層の硬化速
度が低下する傾向にあるので好ましくない。

【００２７】添加されたアルコキシシランは、樹脂組成
物が金属酸化物層上に塗工された際に、該層上や大気中
の水分により加水分解を受けることにより、金属酸化物
層との密着性を向上させる効果を持つ。このアルコキシ
シランの加水分解の速度は、酸成分の共存下で著しく上
昇する為、前記樹脂組成物に更に適当な酸成分を添加す
る。

【００２８】添加する酸成分としては、アルコキシシラ
ンの加水分解を促進する機能が高いものが好ましいが、
樹脂膜の硬化後に於いて膜中に酸成分が高い比率で残留
した場合、耐アルカリ性の低下や樹脂膜の絶縁性の低下
等を招くことがある。この点から、塗膜の硬化前後の熱
乾燥工程に於いて、酸成分が高い比率で膜中から揮発す
るものが好ましい。このような特性を有する酸成分とし
ては、硝酸、ぎ酸、トリフルオロ酢酸等が例示されるが
これらに限定されるものではない。

【００２９】酸成分の添加量は、放射線硬化型樹脂に対
し放射線硬化型樹脂：酸成分の重量比率で１００：１〜
１００：３０が好ましく、更に好ましくは１００：３〜
１００：２０の範囲である。混合比が１００：１未満と
小さくなると、金属酸化物層との密着性が低下する傾向
があり、又、混合比が１００：３０を越えて大きくなる
とコーティング時の塗液の取り扱い性、安全性が低下し
てしまう為、好ましくない。

【００３０】以上の樹脂組成物の層は、プラスチックフ
ィルムに積層した金属酸化物層の上に湿式塗工により形
成される。湿式塗工方法としては、例えばリバースロー
ルコート法、マイクログラビヤコート法、ダイレクトグ
ラビヤコート法、キスコート法、ダイコート法等の公知
の方法が用いられる。又、適当な有機溶媒で樹脂組成物
の希釈を行うことにより塗液粘度の調整や、層の膜厚の
調整が可能である。

【００３１】また、樹脂層の形成に際しては、密着性の
面から、金属酸化物層の表面に、樹脂組成物の塗布に先
立って塗液との濡れ性を高める表面処理を行うことが好
ましい。この表面処理としては、コロナ処理、プラズマ
処理、アルカリ処理等の公知技術を用いることができ
る。樹脂層の硬化は、紫外線硬化法、電子線硬化法等の
放射線を照射することにより行われる。ここで層の緻密
性を高める為には、乾燥により塗膜中に含まれる溶媒成
分を蒸発させた後に硬化を行う事が好ましい。

【００３２】紫外線硬化法を用いる場合、前記樹脂組成
物に公知の光反応開始剤を適量添加する。光反応開始剤
としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、２ーメ
チルー１ー｛４ー（メチルチオ）フェニル｝ー２ーモル
フォリノプロパン、２ーヒドロキシー２ーメチルー１ー
フェニルプロパンー１ーオン、１ーヒドロキシシクロヘ
キシルフェニルケトン等のアセトフェノン系化合物；ベ
ンゾイン、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系
化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸等のベン
ゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２，４ージクロ
ロチオキサンソン等のチオキサンソン系化合物等が挙げ
られる。又、より硬化性を向上させる為には、トリエタ
ノールアミン、メチルジエタノールアミン、４ージメチ
ルアミノ安息香酸エチル等の公知の反応開始助剤を適量
添加することも効果的である。

【００３３】以上の耐溶剤層の膜厚は、良好な耐溶剤性
の発現と硬化収縮に伴うカールの観点から、硬化後の膜
厚で２〜６μｍが好ましい。ところで、本発明の透明導
電フィルムは、プラスチックフィルム上に少なくとも以
上の金属酸化物層、樹脂組成物の硬化樹脂層が順次積層
された積層フィルムの最外層に透明導電層を形成するこ
とにより作製される。

【００３４】この透明導電層としては、公知のもの、例
えば錫、インジウム、亜鉛等の金属またはこれらの酸化
物による層が適用でき、前述の金属酸化物層と同様のス
パッタリング法、真空蒸着法などの気相堆積法で設ける
ことができる。

【００３５】このような透明導電層の中でも、主に非結
晶性のインジウム酸化物からなり、その組成分として錫
を５〜１５重量％含有し、かつ、膜厚が２０〜２００ｎ
ｍの範囲にあるものが層の透明性、導電性、屈曲性等の
観点から好ましい。

【００３６】すなわち結晶性の高いインジウム酸化物層
は、非結晶性のものと比較すると透明性、導電性は高い
が、耐屈曲性に問題があり、特にフィルム上に結晶性の
層を成膜した場合には、このフィルムを屈曲した際に割
れを生じやすく信頼性、取り扱い性が悪くなってしま
う。

【００３７】尚、ここでインジウム酸化物層の結晶性、
非結晶性は次のように定義している。すなわち、成膜し
たインジウム酸化物層の表面を透過型電子顕微鏡で観察
すると、非晶質の表面に高々１００ｎｍ程度の大きさの
微結晶粒が点在するのが観察される。この観察方法で、
単位面積（１００μｍ²）当たりの微結晶粒の面積割合
が２０％以下の場合を非結晶性と定義している。

【００３８】その膜厚は２０〜２００ｎｍの範囲が好ま
しい。２０ｎｍ未満の薄い場合には透明電極としての導
電性が不十分になり、２００ｎｍを越える厚い場合には
透明性や耐屈曲性の悪化がみられ、好ましくない。

【００３９】以上のようにして得られた本発明の透明導
電フィルムは、光学特性、ガスバリア性、耐溶剤性に優
れ、さらに密着性、カールも良好であるが、これらの諸
特性に対して高度の性能を要求される液晶表示パネルの
用途においては、以下の性能を有することが好ましい。

【００４０】すなわち、液晶表示パネルの用途において
は、透明電極基板に高度の透明性や光学等方性、平滑性
が特に必要とされる。かかる点から、最終形態の透明導
電フィルムの光学特性としては、リタデーション値が２
０ｎｍ以下で、波長５５０ｎｍでの光線透過率が８０％
以上、ヘイズ値が１％以下であることが好ましい。

【００４１】また、基板として用いるプラスチックフィ
ルムは溶液流延法によって製造されたものが好ましく、
厚さは７０〜２００μｍの範囲にあることが好ましい。

【００４２】プラスチックフィルムの材料としては、溶
液流延可能、すなわち適当な溶媒に溶解可能なポリマー
であれば使用することができるが、光学特性、熱特性の
面からポリアリレートやポリカーボネートを用いる事が
好ましく、中でもポリカーボネートが好ましい。

【００４３】ポリカーボネートについては、耐熱性、機
械特性の面から、特にビスフェノール成分がビスフェノ
ールＡのみからなり、平均分子量３０，０００以上でガ
ラス転移温度１５０℃以上のポリカーボネートが好まし
い。又、耐熱性向上の為、共重合成分として、例えば
９，９−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレンあ
るいは１，１−ビス（４−ヒドロキシフェニル）−３，
３，５−トリメチルシクロヘキサン等を用いることがで
きる。なお、最適な平均分子量、共重合条件の選択は、
耐熱性、機械特性、経済性等のバランスで実施される。
ここで、平均分子量は数平均分子量のことで、ＧＰＣ等
の公知の測定手段により決定することができる。

【００４４】溶液流延法によって製造されたポリカーボ
ネートフィルムでは、リタデーション値が２０ｎｍ以
下、遅相軸のばらつき角度が±１５度以下の優れた光学
等方性を得ることが可能である。又、フィルム成膜時に
空気層と接する側のフィルム面（以下エアー面と称す）
の表面粗さＲａが１ｎｍ以下、フィルム成膜時に支持体
となるベルトと接する側のフィルム面（以下ベルト面と
称す）に於いても表面粗さＲａが数ｎｍ程度の非常に優
れた平滑性を得ることができる。

【００４５】尚、ここでリタデーション値は公知の、複
屈折の屈折率の差△ｎと膜厚ｄとの積△ｎ・ｄであり、
ここでは波長５９０ｎｍでの測定値に代表させている。
リタデーション値および遅相軸の角度は各種の複屈折率
測定装置にて測定が可能であるが、ここでは日本分光株
式会社製の多波長複屈折率測定装置Ｍ−１５０を用いて
測定を行っている。

【００４６】又、表面粗さＲａ値は、位相シフト干渉法
を測定原理としているＷＹＫＯ社製ＴＯＰＯ−３Ｄを用
い、４０倍の倍率でフィルム上の２５６μｍ角の正方形
の部分を１μｍ間隔にてスキャンし測定した時に得られ
た、中心線平均粗さの値である。

【００４７】また、耐溶剤層の耐溶剤性に関しては、後
述の評価法により、十分な耐溶剤性を有することが好ま
しいが、実施例に示す通り、上記樹脂組成物の硬化層は
この点を十分満足する耐溶剤層を実現する。

【００４８】また、耐溶剤層のガスバリア層の金属酸化
物層との密着性についても、透明導電層形成工程、液晶
配向膜形成時に行う加熱処理工程等においても劣化のな
いことが必要であるが、この要求は６０℃，９０％ＲＨ
の湿熱条件下で２５０時間の湿熱耐久試験及び９０℃，
０％ＲＨの耐熱条件下で２５０時間の耐熱耐久試験の各
耐久試験後においても金属酸化物層に積層された初期の
段階の良好な密着性が維持されれば満たされることを見
出した。よって、耐溶剤層の上記樹脂組成物としては、
この密着耐久性を満足するものが好ましく、適用され
る。なお、良好な密着性とは後述する評価法での残存率
が１００％の密着性である。

【００４９】更に、カールについても、前述の問題の他
に下記問題があることを見出した。通常プラスチックフ
ィルムに金属酸化物層と耐溶剤層を積層した積層フィル
ムを基板フィルムとしてこれに透明導電層を積層した場
合、透明導電層の内部応力により透明導電層側が凸とな
るカールが生じる。そして透明導電層をエッチングして
電極のパターニングを行うと、エッチング部分には基板
フィルムのカールが発現し、電極部分のみ前述の凸のカ
ールが存在する状態となる。

【００５０】従って、基板フィルムのカールが透明導電
層側が凹のカールの場合は、エッチング部分は凹のカー
ルとなり、電極部分は凸のカールであるので、透明電極
基板の表面は不均一となり、液晶セル内のギャップを不
均一にする原因となる。逆に基板フィルムのカールが透
明導電層側が凸のカールの場合は、透明導電層を積層し
た透明導電フィルムのカールが非常に大きくなり、液晶
セル作成時の取り扱い性が悪くなる。基板フィルムの後
述する熱処理後のカールが、後述の測定法で測定したカ
ール値の絶対値で１０ｍｍ以下であれば、実用上かかる
点で支障のないことを見出した。よって、かかる点から
積層フィルムはその熱処理後カールが上述の絶対値で１
０ｍｍ以下のものがが好ましく、適用される。

【００５１】更に、本発明においては、金属酸化物層が
積層された面と反対のプラスチックフィルム面に、アン
カーコート層、ポリビニルアルコール系樹脂層及び保護
層をこの順に積層した構成により、ポリビニルアルコー
ル系樹脂層の低湿度環境下での優れたガスバリア性との
相乗効果により、更に優れたガスバリア性の透明導電フ
ィルムを得ることができる。

【００５２】具体的には、ＭＯＣＯＮ社製、オキシトラ
ン２／２０ＭＬを用いて酸素透過度を測定した場合に、
３０℃、５０％ＲＨの測定条件で、１ｃｃ／（ｍ²・ｄ
ａｙ・ａｔｍ）以下、３０℃、９０％ＲＨの測定条件で
２０ｃｃ／（ｍ²・ｄａｙ・ａｔｍ）以下の耐透気性が
得られ、また、同社製、パーマトランＷ１Ａを用いて、
透明導電層を設ける面の反対面を加湿側に配置して水蒸
気透過度を測定した場合に、４０℃、９０％ＲＨの測定
条件で２０ｇ／（ｍ²・ｄａｙ・ａｔｍ）以下の耐水蒸
気透過性が得られる。

【００５３】ここで、ポリビニルアルコール系樹脂層
は、公知の市販のものが適用できる。具体的にはビニル
アルコール成分、ビニルアルコール共重合体成分よりな
る群から選ばれた少なくとも１種の成分を５０モル％以
上含有する高分子樹脂が好ましい。このビニルアルコー
ル共重合体としては、例えば、ビニルアルコール／酢酸
ビニル共重合体、ビニルアルコール／ビニルブチラール
共重合体、エチレン／ビニルアルコール共重合体、ある
いはこれらの架橋体等が挙げられる。

【００５４】ポリビニルアルコール系樹脂層とプラスチ
ックフィルムとの密着性を確保する為に、前述のように
アンカーコート層を有することが好ましい。このような
アンカーコート層としては、ウレタン系硬化樹脂層が好
ましく、その中でも特にフェノキシ系硬化樹脂層が好ま
しい。

【００５５】液晶表示パネル用途においては、透明導電
層の積層されていない側のフィルム面にも、透明導電層
のエッチングに用いる酸性水溶液、レジスト現像時に用
いるアルカリ性水溶液等に触れる場合があり、これらに
対する耐溶剤性が必要である。しかし、前記ポリビニル
アルコール系樹脂層は、一般的に、アルカリ性水溶液、
酸性水溶液にさらされた場合に層の膨潤が起こりやす
く、耐溶剤性が不十分である。この為、ポリビニルアル
コール系樹脂層上に耐溶剤性を有する保護層を有するこ
とが好ましい。

【００５６】このような保護層としては、前述の本発明
の放射線硬化型樹脂の樹脂組成物の硬化樹脂層や前記の
フェノキシ系硬化樹脂層の他、エポキシ系硬化樹脂層、
シリコン系硬化樹脂層等を挙げることができる。尚、該
保護層に本発明の樹脂組成物の硬化樹脂層を用いた場合
には、金属酸化物層を積層した面の代わりに、該保護層
上に透明導電層を形成して、透明導電フィルムとして用
いる事も可能である。以下、本発明を実施例、比較例に
基づいて具体的に説明する。なお、実施例、比較例の各
種特性の評価は、以下の要領にて行った。耐有機溶剤性：液晶配向膜前駆材料の溶剤として代表的
なＮーメチルピロリドンを耐溶剤層の形成された側のサ
ンプル面に数滴滴下し、２５℃で１０分放置後のその表
面の白濁、膨潤、溶解等の外観の変化を目視にて観察す
ることによって行い、変化が確認されない場合に耐有機
溶剤性を有すると評価した。

【００５７】耐アルカリ水溶液性：パターニング後のレ
ジストを溶解する際に用いられる３．５ｗｔ％水酸化ナ
トリウム水溶液にサンプルを２５℃で１０分間浸漬し、
その後流水にて充分洗浄を行った後に乾燥させ、その表
面の外観を目視にて観察することによって行い、変化が
確認されない場合に耐アルカリ水溶液性を有すると評価
した。

【００５８】耐酸性水溶液性：透明導電層をパターニン
グする際に用いるエッチング液（３５ｗｔ％塩化第２鉄
水溶液、３５ｗｔ％塩酸、水を１：１：１０の割合で混
合したもの）に２５℃で１０分間浸漬し、その後流水に
て充分洗浄を行った後に乾燥させ、外観を目視にて観察
することによって行い、変化が確認されない場合に耐酸
性水溶液性を有すると評価した。

【００５９】そして、以上の耐有機溶剤性、耐アルカリ
水溶液性、耐酸性水溶液性の全てを有する場合に耐溶剤
性を有するとした。

【００６０】ガスバリア性：酸素透過度と水蒸気透過度
を測定することによって行った。酸素透過度はＭＯＣＯ
Ｎ社製オキシトラン２／２０ＭＬを用い、３０℃，５０
％ＲＨの低湿度環境下と３０℃，９０％ＲＨの高湿度環
境下で測定した。又、水蒸気透過度は、ＭＯＣＯＮ社製
パーマトランＷ１Ａを用い、透明導電層を設ける面と反
対面を加湿側に向けて配置し、４０℃，９０％ＲＨの加
湿条件下で測定した。

【００６１】密着性：ＪＩＳ規格５４００に従って、碁
盤目テスト（碁盤目テープ法）によって行った。カット
した碁盤目数に対するテストテープの引き剥がし後の残
存目数すなわち残存目数／カット目数で評価し、残存率
１００％の場合を良好な密着性と評価した。

【００６２】カール：カールは以下の熱処理後のカール
で評価した。測定対象のフィルムから１０×１０ｃｍの
正方形のサンプルを切り出し、１３０℃で２時間熱処理
を行い、次いで２５℃、５０％ＲＨ環境下で３日間放置
する。この放置後のサンプルを透明導電層を設ける面を
下にして水平平面上に静置し、四隅の水平平面から浮い
ている高さを各々測定する。この測定値の平均値をプラ
スのカール値とした。又、透明導電層を設ける面が凹の
場合には、透明導電層を設ける面を上にして水平平面上
に静置して、同様に四隅の水平平面から浮いている高さ
を各々測定してその平均値を求め、この平均値をマイナ
スのカール値とした。

【００６３】光線透過率：可視分光光度計（日立製作所
製、Ｕ−３５００型）を用いて平行光線での透過率を測
定した。ヘイズ値：日本電色工業社製ＣＯＨ−３００Ａを用いて
測定を行った。珪素酸化物の珪素に対する酸素の割合Ｘ：Ｘ線光電子分
光法、Ｘ線マイクロ分光法、オージェ電子分光法等の公
知の技術により測定を行った。

【００６４】［実施例１］ビスフェノール成分がビスフ
ェノールＡのみからなる平均分子量３７，０００のポリ
カーボネート樹脂を用いて溶液流延法により以下のよう
にポリカーボネートフィルムを製膜した。

【００６５】すなわち、該ポリカーボネート樹脂を溶媒
のメチレンクロライドに濃度２０重量％に溶解し、得ら
れた溶液をダイコーティング法により支持体の厚さ１７
５μｍのポリエステルフィルム上に流延して製膜した。
ついで、乾燥工程で残留溶媒濃度を１３重量％になるま
で蒸発除去した後に、ポリエステルフィルムからポリカ
ーボネートフィルムを剥離した。得られたポリカーボネ
ートフィルムを温度１２０℃の乾燥炉中で縦横の張力を
バランスさせながら、残留溶媒濃度が０．０８重量％に
なるまで乾燥した。

【００６６】こうして得られたフィルムは厚みが１０２
μｍであった。そして表面粗さＲａはエアー面が０．５
ｎｍ、ベルト面が２．１ｎｍであった。ついで、このポ
リカーボネートフィルムのエアー面上に、ＳｉＯを蒸着
源とし、圧力約６．７ｍＰａ下で真空蒸着することによ
って、厚さ２５ｎｍ、Ｘが約１．７の珪素酸化物（Ｓｉ
Ｏ_x）層を形成した。

【００６７】続いて、珪素酸化物層の表面を積算エネル
ギー６００ｍＪ／ｃｍ²にてコロナ処理を行った後に、
以下のように耐溶剤層を積層した。耐溶剤層を形成する
為の塗液として、トリメチロールプロパンエチレンオキ
サイド変性トリアクリレート（東亞合成化学社製、商品
名アロニックスＭ−３５０）１００重量部、γーアクリ
ロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学社製、商
品名ＫＢＭ５１０３）１０重量部、ぎ酸（和光純薬工業
社製、特級、ぎ酸含有量９９％）２０重量部、光開始剤
１ーヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（チバガ
イギー社製、商品名イルガキュアー１８４）１０重量部
およびレベリング剤としてシリコンオイル（東レ・ダウ
コーニングシリコン社製、ＳＨ２８ＰＡ）０．０５重量
部、希釈溶媒として１ーメトキシー２ープロパノール
（和光純薬工業社製、特級）１００重量部を混合して塗
液とした。

【００６８】この塗液を前記珪素酸化物層上にバーコー
ターを用いてコーティングし、１００℃で１分間熱乾燥
を行った後、１６０Ｗ／ｃｍの高圧水銀灯を用いて、積
算光量１２００ｍＪ／ｃｍ²の条件で紫外線を照射して
塗膜の硬化を行い、膜厚約４μｍの硬化樹脂層を得た。

【００６９】こうして得られた積層フィルムの密着性試
験結果は、１００／１００（残存目数／カット目数）で
残存率１００％と良好な密着性であった。また、６０
℃、９０％ＲＨで２５０時間の湿熱耐久試験および９０
℃、０％ＲＨで２５０時間の高温耐久試験の後に行った
密着性試験の結果も共に１００／１００で、密着性の悪
化は観られなかった。

【００７０】この積層フィルムのカールは、−４ｍｍと
優れたものであった。更に、この積層フィルムの酸素透
過度は３０℃，５０％ＲＨの測定条件で約６ｃｃ／（ｍ
²・ｄａｙ・ａｔｍ）、３０℃，９０％ＲＨの測定条件
下で約７ｃｃ／（ｍ²・ｄａｙ・ａｔｍ）であり、水蒸
気透過度は、４０℃，９０％ＲＨで約３ｇ／（ｍ²・ｄ
ａｙ・ａｔｍ）であった。

【００７１】ついでこの積層フィルムの金属酸化物層と
耐溶剤層の積層された側の面に透明導電層として、イン
ジウムー錫酸化物層をスパッタリング法により形成して
透明導電フィルムを作成した。スパッタリングターゲッ
トにはインジウム：錫の重量比が９：１の組成で充填密
度が９０％のインジウムー錫酸化物ターゲットを用い
た。スパッタ装置内に積層フィルムをセットした後、
１．３ｍＰａの圧力まで排気を行った後、Ａｒ：Ｏ₂の
体積比が９８．５：１．５の混合ガスを導入し、雰囲気
圧力を０．２７Ｐａにした。フィルム温度は５０℃と
し、投入電力密度１Ｗ／ｃｍ²でＤＣスパッタリングを
行った。

【００７２】その結果得られた透明導電層は、結晶粒の
存在割合が面積比０％であり、非結晶性であった。又、
膜厚は１３０ｎｍであり、表面抵抗値は４０Ω／□であ
った。なお、Ω／□は単位正方形の対向辺に電極を配置
して測定した表面抵抗値である。

【００７３】この透明導電フィルムの波長５５０ｎｍに
於ける光線透過率は８４％で、ヘイズ値は０．４％であ
った。又、フィルム上の任意の１０点で測定したリタデ
ーション値は８±２ｎｍ、遅相軸のばらつき角度はＭＤ
方向を中心に±８度であった。又、透明導電層表面の表
面粗さＲａは４．６ｎｍであった。又、密着性試験結果
は１００／１００であり、透明導電層の密着性も良好で
あった。

【００７４】［実施例２］実施例１において、耐溶剤層
の硬化樹脂層を下記のものとした以外は実施例１と全く
同様にして透明導電フィルムを作成した。耐溶剤層を形
成する為の塗液として、トリメチロールプロパンエチレ
ンオキサイド変性トリアクリレート（東亞合成化学社
製、商品名アロニックスＭ−３５０）１００重量部、ビ
ニルトリメトキシシラン（信越化学社製、商品名ＫＢＭ
１００３）８０重量部、硝酸（和光純薬工業社製、硝酸
含有量９０％）３重量部、光開始剤１ーヒドロキシシク
ロヘキシルフェニルケトン（チバガイギー社製、商品名
イルガキュアー１８４）１０重量部およびレベリング剤
としてシリコンオイル（東レ・ダウコーニングシリコン
社製、ＳＨ２８ＰＡ）０．０５重量部、希釈溶媒として
メチルイソブチルケトン（和光純薬工業社製、特級）６
０重量部を混合して塗液とした。

【００７５】この塗液を前記珪素酸化物層上にバーコー
ターを用いてコーティングし、１００℃で１分間熱乾燥
を行った後、１６０Ｗ／ｃｍの高圧水銀灯を用いて、積
算光量８００ｍＪ／ｃｍ²の条件で紫外線を照射して塗
膜の硬化を行い、膜厚約４μｍの樹脂層を得た。

【００７６】こうして得られた積層フィルムの密着性試
験結果は１００／１００であった。又、前述の湿熱耐久
試験および高温耐久試験後の密着性試験の結果も共に１
００／１００で、密着性の悪化は観られなかった。又、
この積層フィルムのカールは、−５ｍｍと優れたもので
あった。更に、この積層フィルムの耐酸性水溶液性、耐
アルカリ水溶液性、耐有機溶剤性、及びガスバリア性は
実施例１と同様に優れていた。

【００７７】［比較例１］実施例１において、耐溶剤層
の硬化樹脂層を下記のものとした以外は実施例１と全く
同様にして積層フィルムを作成し、評価した。耐溶剤層
を形成する為の塗液として、トリメチロールプロパンエ
チレンオキサイド変性トリアクリレート（東亞合成化学
社製、商品名アロニックスＭ−３５０）１００重量部、
光開始剤１ーヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン
（チバガイギー社製、商品名イルガキュアー１８４）１
０重量部およびレベリング剤としてシリコンオイル（東
レ・ダウコーニングシリコン社製、ＳＨ２８ＰＡ）０．
０５重量部、希釈溶媒として１ーメトキシー２ープロパ
ノール（和光純薬工業社製、特級）８０重量部を混合し
て塗液とした。

【００７８】この塗液を前記珪素酸化物層上にバーコー
ターを用いてコーティングし、１００℃で１分間熱乾燥
を行った後、１６０Ｗ／ｃｍの高圧水銀灯を用いて、積
算光量８００ｍＪ／ｃｍ²の条件で紫外線を照射して塗
膜の硬化を行い、膜厚約４μｍの樹脂層を得た。

【００７９】この積層フィルムの耐酸性水溶液性、耐ア
ルカリ水溶液性、耐有機溶剤性の耐溶剤性試験の結果、
外観の変化は観られず、耐溶剤性に優れていた。又、カ
ールはー３ｍｍと優れていた。しかし、密着性の試験結
果は０／１００で残存率０％であり、珪素酸化物層と耐
溶剤層間の密着性が悪い為、使用は困難であった。

【００８０】［比較例２］実施例１において、耐溶剤層
の硬化樹脂層を下記のものとした以外は実施例１と全く
同様にして積層フィルムを作成し、評価した。耐溶剤層
を形成する為の塗液として、トリメチロールプロパンエ
チレンオキサイド変性トリアクリレート（東亞合成化学
社製、商品名アロニックスＭ−３５０）１００重量部、
γーアクリロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化
学社製、商品名ＫＢＭ５１０３）２重量部、ぎ酸（和光
純薬工業社製、特級、ぎ酸含有量９９％）２０重量部、
光開始剤１ーヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン
（チバガイギー社製、商品名イルガキュアー１８４）１
０重量部およびレベリング剤としてシリコンオイル（東
レ・ダウコーニングシリコン社製、ＳＨ２８ＰＡ）０．
０５重量部、希釈溶媒として１ーメトキシー２ープロパ
ノール（和光純薬工業社製、特級）８０重量部を混合し
て塗液とした。

【００８１】この塗液を前記珪素酸化物層上にバーコー
ターを用いてコーティングし、１００℃で１分間熱乾燥
を行った後、１６０Ｗ／ｃｍの高圧水銀灯を用いて、積
算光量１２００ｍＪ／ｃｍ²の条件で紫外線を照射して
塗膜の硬化を行い、膜厚約４μｍの樹脂層を得た。

【００８２】この積層フィルムの耐酸性水溶液性、耐ア
ルカリ水溶液性、耐有機溶剤性の耐溶剤性試験の結果、
外観の変化は観られず、耐溶剤性に優れていた。又、カ
ールは−４ｍｍと優れていた。しかし、密着性の試験結
果は０／１００であり、珪素酸化物層と耐溶剤層間の密
着性が悪い為、使用は困難であった。

【００８３】［比較例３］実施例１において、耐溶剤層
の硬化樹脂層を下記のものとした以外は実施例１と全く
同様にして積層フィルムを作成し、評価した。耐溶剤層
を形成する為の塗液として、トリメチロールプロパンエ
チレンオキサイド変性トリアクリレート（東亞合成化学
社製、商品名アロニックスＭ−３５０）１００重量部、
ビニルトリメトキシシラン（信越化学社製、商品名ＫＢ
Ｍ１００３）８０重量部、硝酸（和光純薬工業社製、、
硝酸含有量９０％）０．５重量部、光開始剤１ーヒドロ
キシシクロヘキシルフェニルケトン（チバガイギー社
製、商品名イルガキュアー１８４）１０重量部およびレ
ベリング剤としてシリコンオイル（東レ・ダウコーニン
グシリコン社製、ＳＨ２８ＰＡ）０．０５重量部、希釈
溶媒としてメチルイソブチルケトン（和光純薬工業社
製、特級）６０重量部を混合して塗液とした。

【００８４】この塗液を前記珪素酸化物層上にバーコー
ターを用いてコーティングし、１００℃で１分間熱乾燥
を行った後、１６０Ｗ／ｃｍの高圧水銀灯を用いて、積
算光量８００ｍＪ／ｃｍ²の条件で紫外線を照射して塗
膜の硬化を行い、膜厚約４μｍの樹脂層を得た。

【００８５】この積層フィルムの耐酸性水溶液性、耐ア
ルカリ水溶液性、耐有機溶剤性の耐溶剤性試験の結果、
外観の変化は観られず、耐溶剤性に優れていた。又、カ
ールは−５ｍｍと優れていた。しかし、密着性の試験結
果は３０／１００であり、珪素酸化物層と耐溶剤層間の
密着性が不十分な為、使用は困難であった。

【００８６】［比較例４］実施例１において、耐溶剤層
の硬化樹脂層を下記のものとした以外は実施例１と全く
同様にして積層フィルムを作成し、評価した。耐溶剤層
を形成する為の塗液として、トリメチロールプロパンエ
チレンオキサイド変性トリアクリレート（東亞合成化学
社製、商品名アロニックスＭ−３５０）１００重量部、
γーアクリロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化
学社製、商品名ＫＢＭ５１０３）２００重量部、ぎ酸
（和光純薬工業社製、特級、ぎ酸含有量９９％）２０重
量部、光開始剤１ーヒドロキシシクロヘキシルフェニル
ケトン（チバガイギー社製、商品名イルガキュアー１８
４）１０重量部およびレベリング剤としてシリコンオイ
ル（東レ・ダウコーニングシリコン社製、ＳＨ２８Ｐ
Ａ）０．０５重量部、希釈溶媒として１ーメトキシー２
ープロパノール（和光純薬工業社製、特級）６０重量部
を混合して塗液とした。

【００８７】この塗液を前記珪素酸化物層上にバーコー
ターを用いてコーティングし、１００℃で１分間熱乾燥
を行った後、１６０Ｗ／ｃｍの高圧水銀灯を用いて、積
算光量１２００ｍＪ／ｃｍ²の条件で紫外線を照射して
塗膜の硬化を行い、膜厚約４μｍの樹脂層を得た。

【００８８】この積層フィルムのカールは−１ｍｍと優
れ、密着性も１００／１００と優れていた。しかし、耐
有機溶剤性の試験の結果、塗膜の膨潤、溶解等による外
観の変化が大きく、耐溶剤性が不十分な為、使用は困難
であった。

【００８９】［比較例５］実施例１において、耐溶剤層
の硬化樹脂層を下記のものとした以外は実施例１と全く
同様にして積層フィルムを作成し、評価した。耐溶剤層
を形成する為の塗液として、市販の熱硬化型シリコン系
ハードコート剤（日本精化社製、商品名ＮＳＣ−３４５
６ー１）を用い、前記珪素酸化物層上にバーコーターを
用いてコーティングし、１３０℃で３分間熱処理を行っ
て層を硬化させ、膜厚約４μｍの樹脂層を得た。

【００９０】この積層フィルムの耐酸性水溶液性、耐ア
ルカリ水溶液性、耐有機溶剤性の耐溶剤性試験の結果、
外観の変化は観られず、耐溶剤性に優れていた。又、密
着性の試験結果は１００／１００と優れていたが、カー
ルが−２３ｍｍと大きい為、使用は困難であった。

【００９１】［実施例３］実施例１と全く同様にして、
珪素酸化物層、耐溶剤層を積層した後、反対側のフィル
ム面にアンカーコート層とガスバリア層と保護層を下記
のように積層した。アンカーコート層は、フェノキシ系
の硬化樹脂層を用いた。具体的には東都化成株式会社製
のフェノキシ樹脂（商品名ＰｈｅｎｏＴｏｈｔｏＹ
Ｐ−５０）２０重量部と、溶媒としてメチルエチルケト
ン５０重量部と２ーエトキシエチルアセテート３０重量
部を混合した後、これに硬化剤のイソシアネートとして
武田薬品工業株式会社製Ａ３を１０重量部混合した溶液
をマイヤーバーを用いてコーティングした後、１３０℃
で３分間熱処理を行って膜厚１．５μｍの層を形成し、
アンカーコート層とした。

【００９２】ガスバリア層は、株式会社クラレ製のポリ
ビニルアルコール（商品名ＰＶＡ−１１７）１０重量部
を水９０重量部に加熱溶解した溶液をマイヤーバーを用
いて前記アンカーコート層上にコーティングし、１３０
℃で５分間熱処理を行って膜厚２．５μｍの層を形成
し、ガスバリア層とした。

【００９３】保護層は前記アンカーコート層を形成する
為の塗液をそのまま用い、マイヤーバーを用いて前記ガ
スバリア層上にコーティングし、１３０℃で５分間熱処
理を行って膜厚３μｍの層を形成し、保護層とした。

【００９４】こうして得られた積層フィルムの密着性試
験結果はフィルム両面とも１００／１００であり、各層
間の密着性はきわめて良好であった。又前述の湿熱耐久
試験および高温耐久試験後の密着性試験の結果も共に１
００／１００で、密着性の悪化は観られなかった。

【００９５】又、この積層フィルムのカールは−９ｍｍ
と実用上十分なものであった。又、この積層フィルムの
耐酸性水溶液性、耐アルカリ水溶液性、耐有機溶剤性に
ついて耐溶剤性試験を行った所、外観の変化は観られ
ず、耐溶剤性に優れていることがわかった。

【００９６】さらに、この積層フィルムの酸素透過度
は、３０℃、５０％ＲＨの測定条件下で０．１ｃｃ／
（ｍ²・ｄａｙ・ａｔｍ）、３０℃、９０％ＲＨの測定
条件下で５ｃｃ／（ｍ²・ｄａｙ・ａｔｍ）であり、水
蒸気透過度は、４０℃、９０％ＲＨで３ｇ／（ｍ²・ｄ
ａｙ・ａｔｍ）であって、ガスバリア性に非常に優れて
いることがわかった。

【００９７】ついで、この積層フィルムの金属酸化物
層、耐溶剤層が積層された側のフィルム面に実施例１と
全く同様に、透明導電層を積層して透明導電フィルムを
作成した。

【００９８】この透明導電フィルムの波長５５０ｎｍに
於ける光線透過率は８５％で、ヘイズ値は０．５％であ
った。又、フィルム上の任意の１０点で測定したリタデ
ーション値は７±２ｎｍ、遅相軸のばらつき角度はＭＤ
方向を中心に±８度であった。又、透明導電層表面の表
面粗さＲａは４．６ｎｍであった。又、密着性試験結果
は１００／１００であり、透明導電層の密着性も良好で
あった。

【００９９】

【発明の効果】以上、本発明は、透明導電フィルムにお
いて、ガスバリア層に金属酸化物を用い、この層の上に
特定のアクリル系樹脂と特定のアルコキシシランと酸成
分とを混合した樹脂組成物の硬化層からなる耐溶剤層を
設けることにより、優れた透明性、光学等方性、平滑
性、耐溶剤性、ガスバリア性を保持しつつ、カールが少
なく、耐久試験後も含めた層間の密着性に優れた透明導
電フィルムを実現するもので、且つ積層フィルムでのカ
ールも少なく、製造面でのカールに伴う障害もなく、生
産性に優れるという効果を奏するものである。

【０１００】そして、本発明はこの優れた特性から、液
晶表示パネルの透明電極基板として用いた時に、カー
ル、密着性不良に基づく組み立て工程での障害がなく、
更にはカールによる表示品位の低下が無く、前記優れた
諸特性がそのまま発現した表示品位に優れ、機械的、熱
的および溶剤の影響を受けても、その表示品質に劣化を
起こさい、高信頼性の液晶表示パネルを実現する効果を
奏するもので、液晶表示パネルの他、エレクトロルミネ
ッセンスパネル、エレクトロクロミックパネル、透明面
発熱体、透明タッチパネル等の透明電極基板に広く適用
できるものである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｃ０８Ｊ 7/06 ＣＦＤＣ０８Ｊ 7/06 ＣＦＤＢＣ０８Ｌ 83/07 ＬＲＭＣ０８Ｌ 83/07 ＬＲＭＨ０１Ｂ 5/14 Ｈ０１Ｂ 5/14 Ａ 13/00 ５０３ 13/00 ５０３Ａ // Ｃ０９Ｄ 4/00 ＰＤＱＣ０９Ｄ 4/00 ＰＤＱ 4/02 ＰＤＲ 4/02 ＰＤＲ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】プラスチックフィルムのいずれかの面に
少なくともガスバリア層、耐溶剤層、透明導電層を有
し、透明導電層が最外層に積層されている透明導電フィ
ルムにおいて、ガスバリア層が金属酸化物からなる層で
あり、耐溶剤層が放射線硬化型樹脂（Ａ）と下記の一般
式（１）で表されるアルコキシシラン（Ｂ）と酸成分
（Ｃ）からなり、Ａ：Ｂが重量比率で１００：３〜２：
３の範囲で、Ａ：Ｃが重量比率で１００：１〜１００：
３０の範囲で混合してなる樹脂組成物の硬化層であり、
ガスバリア層上に直接積層されていることを特徴とする
透明導電フィルム。【化１】Ｒ¹ーＳｉ（ＯＲ²）₃ ・・・（１）（上式で、Ｒ¹はビニル基、アクリロイル基もしくはエ
ポキシ基、又はこれらの基の少なくとも一つを含む有機
基を、Ｒ²はメチル基またはエチル基を示す）
【請求項２】前記樹脂組成物の組成がＡ：Ｂの重量比
率が１０：１〜１０：９の範囲で、Ａ：Ｃの重量比率が
１００：３〜１００：２０の範囲である請求項１記載の
透明導電フィルム。
【請求項３】プラスチックフィルムに前記ガスバリア
層と前記耐溶剤層を積層した積層フィルムの耐溶剤層側
の密着性が、６０℃，９０％ＲＨで２５０時間の湿熱耐
久試験および９０℃，０％ＲＨで２５０時間の高温耐久
試験の後の密着性試験（ＪＩＳ規格５４００の碁盤目テ
ープ法）において残存率１００％の密着性である請求項
１または請求項２記載の透明導電フィルム。
【請求項４】前記積層フィルムの熱処理後のカール
が、１０×１０ｃｍの正方形のサンプルでのカール値が
±１０ｍｍ以内である請求項１〜３記載のいずれかの透
明導電フィルム。
【請求項５】前記放射線硬化型樹脂が分子或いは単位
構造内に２個以上のアクリロイル基を有する多官能アク
リレート成分を含有する請求項１〜４記載のいずれかの
透明導電フィルム。
【請求項６】金属酸化物層を有する面と反対側のプラ
スチックフィルム面に、アンカーコート層、ポリビニル
アルコール系樹脂層及び保護層がこの順に積層されてな
る請求項１〜５記載のいずれかの透明導電フィルム。
【請求項７】前記金属酸化物が珪素酸化物である請求
項１〜６記載のいずれかの透明導電フィルム。
【請求項８】前記プラスチックフィルムが、溶液流延
法により成膜した厚さ７０〜２００μｍのプラスチック
フィルムであり、透明導電フィルムのリタデーション値
が２０ｎｍ以下で、波長５５０ｎｍでの光線透過率が８
０％以上である請求項１〜７記載のいずれかの透明導電
フィルム。
【請求項９】請求項１〜８記載のいずれかの透明導電
フィルムの製造方法において、耐溶剤層の樹脂組成物を
ガスバリア層の金属酸化物層上に塗布後、乾燥し、次い
で放射線で硬化することを特徴とする透明導電フィルム
の製造方法。
【請求項１０】前記金属酸化物層の表面に樹脂組成物
の濡れ性を良くする表面処理を行った後、樹脂組成物を
塗布する請求項９記載の透明導電フィルムの製造方法。
【請求項１１】前記金属酸化物層の表面処理がコロナ
処理である請求項１０記載の透明導電フィルムの製造方
法。