TW474989B

TW474989B - Detergent, method of cleaning

Info

Publication number: TW474989B
Application number: TW083104538A
Authority: TW
Inventors: Hiroshi Shimozawa; Masaru Kumagai; Mayumi Koga; Tadayuki Nakamura; Nobuhiro Saitoh
Original assignee: Toshiba Silicone
Priority date: 1993-05-17
Filing date: 1994-05-19
Publication date: 2002-02-01
Also published as: KR960702510A; EP0699746A1; EP0699746A4; CN1126488A; TW365551B; TW494135B; CN1065564C; KR0168486B1; US5789359A; WO1994026864A1

Description

474989 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（1 ) 本發明係有關代替氟昂系溶劑及氯系溶劑等的洗滌劑，洗滌方法及洗滌裝置。關於Η I C，組件，實裝基板等的電子零件及I C，晶體用引導框及環箍材料等的金屬薄帶及軸承或精密微小零件等，在製造過程中會付著防蝕劑、焊劑、焊錫膏、切削油、淬火油、延壓油、壓製油、沖壓油、拉拔油、組合油、拉線油等的水系或溶劑系的工作油或灰麈等各種的污垢0 例如，印刷基板可分爲製造基板的步驟及按裝I C及電子零件於基板上的步驟，製造基板過程中，會付著因印刷、蝕刻作業使用的酸、鹼等，在按裝過程中，會付著焊接按裝零件的焊錫、焊劑等的污垢，特別是必須除去的污垢物質爲焊劑中的活性劑及與母材氧化膜的反應生成物的 CuC 1 2或（RC〇〇）2Cii等的有機酸塩。這些爲極性物，故殘留時因吸濕產生遺漏、移動、絕緣電阻値降低、針狀物、配線腐蝕等。其他，半導體的製造過程中，混入離子性物質時產生重大的問題，稱之爲「N a的恐慌」。又’金屬加工零件’由於這些的殘留，產生腐鈾，變色等的問題。因此，在下一步驟前或成品時，必須將此污垢物質除去。以往，這些污垢的洗滌劑常廣泛的使用代表氟昂 1 1 3的氟昂系溶劑或三氯乙烷，三氯乙烯，四氯乙烯，四氯化碳等的有機溶劑。但是最近因氟昂的釋出，明顯的造成臭氧層的破壞， (請先閲讀背面之注意事項再填寫 d

#· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3. 10,000 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 474989 A7 B7 五、發明説明（2 ) 人體及生物體嚴重的影響，因此，對於高破壞係數的氟昂 1 2及氟昂1 13等，在世界上已階段性的減少使用，將來則要全面廢止。又，三氯乙烯及四氯乙烯等的氯系有機溶劑也·有引起污染土壤及地下水等的環境問題，使用上也受限制。如此的狀況下，繼續開發比現有的氟昂系溶劑臭氧破壞係數低的氟昂系物質，而且一部分已在工業上生產，但是這些也沒有辨法完全不破壤臭氧層，所以不是理想的替代洗滌劑。故試圖改用以水洗滌，鹼洗滌，溶劑洗滌多數的工業製品。 \ 例如，目前洗滌印刷基板的主要代替洗滌方法，有以純水除去水溶性焊劑的水系洗滌方法，以溶劑除去焊劑後，用水清洗的準水系洗滌方法及使用碳化氫等的有機溶劑的溶劑洗滌方法。但是導線框或環箍材料等的金屬薄帶、軸承、精密微小零件等有許多以油膜厚度相互粘附的部分，要去除這部分油膜是極困難,的，例如沖壓後的「定尺物」的導線框等，以製造過程中的金屬加工油，使導線框間互相粘附著。因此，洗滌時，洗滌劑滲透油膜所粘附的間隙後，必須溶解除去工作油，但如此之洗滌劑，除氟昂系溶劑或氯系溶劑以外的洗滌劑以外，尙未有新的發現。如導線框等洗滌過程中，洗滌劑係以毛細管現象，滲透粘附的零件間的間隙中，僅爲滲透時，表面張力低的溶劑適合做爲洗滌劑，表面張力低的溶劑一般多爲無極性的本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 (請先閲讀背面之注意事項再填寫IT頁)

、1T 祕- 474989 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（3 ) 溶劑。但是上述的金屬加工油係被用於苛刻的條件下，金屬許多一般爲極性物質的油性劑，將壓添加劑。無極性的低表面張力的溶劑，對水粘附零件間的間隙具有優異滲透力，但溶劑的溶解力差，無法當做替代洗滌劑。因此，開洗替代氟昂系溶劑或氯系溶劑的洗滌劑爲困難。關於洗滌印刷基板等，期待所提案的水系洗滌方法，準水系洗滌方法具有高效率的除去極性物質，但由於這些是利用玻璃環氧基板，紙酚基板的吸附或滲透，而造成表面絕綠電阻等的電氣電阻降低，還有洗滌零件所要求的精密洗滌有乾燥性及銹、變色、乾燥痕跡等乾燥後的外觀，特性降低等問題。若考慮洗滌後的電氣特性時，利用烴等的無極性物質的溶劑洗滌爲宜。但是，烴等的無機性物質，無法期待它對於離子性物質，極性物質，頑固的污垢的洗滌性。即，洗滌所需要的特性與乾燥所需的特性恰好相反。因此，多數工業製品的洗滌、試圖改成水洗滌、鹼洗滌、溶劑洗滌，但是依目前狀況，電子零件，精密零件等的洗滌替代爲非常困難。本發明乃解決此問題的，適合做爲洗滌金屬薄帶，軸承，精密微小零件等具有以油膜厚度相互粘附的部分的洗滌對象的洗滌劑，並顯示其洗滌能力可與氟昂系溶劑，氯系溶劑的洗滌劑相比，且爲不造成環境破壞，環境污染的洗滌劑，及以提供使用此洗滌劑的 '洗滌方法及洗滌裝置爲目的0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Jim —eemmMB BMMI9 s ml immMMt nil— - mu —an ml ·ϋϋ —ϋ ! 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 474989 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明 ( 4 ) 又 > 本發明係提供印刷基板，按裝零件等的電子零件的洗滌方法中 5 提供可與使用氣昂系溶劑氯系溶劑的洗滌方法相比的洗滌方法及使用此洗滌方法的洗滌裝置爲 S 的〇本發明的第 L的洗滌劑係洗滌至少- -部份含有間隙部分的被洗滌物的洗滌劑 9 其特徵爲含有與構成污垢的至少一個成分的溶解度參數差爲 3 以下的洗滌成分〇又 9 其特徵爲含有與構成污垢的至少一個成分的溶解度參數差爲 3 .以下，且接觸角爲 1 5 〇以內的洗條成分〇其特徵爲分別含有與稱成污垢的成分中 > 5 重量 % 以上的污垢成分的溶解度參數差爲 3以下 5 且接觸角爲 1 5 〇的洗滌成分〇又第 1 的洗滌劑其特徵爲含有至少 1 種選白有機基矽氧烷及有機碳化物的成分 0 本發明的第 1 的洗滌劑的洗滌對象物其特徵爲以含有至少 1 種基礎油油性劑及特壓添加劑成分所成的金屬加工油來處理又 5 間隙部分的油膜厚度爲 0 0 0 1 2 0 0 0 m 〇本發明的第 1 的洗滌方法其特徵係使用上述的洗滌劑 9 洗滌含有至少一部分間隙部分的洗滌對象物 0 又 5 其特徵係含有洗滌被洗滌物 ( 洗滌對象物 ) 的步驟與乾燥洗滌對象物的步驟〇又 5 其特徵爲使用做爲蒸氣洗滌的全氛化合物〇本發明的第 1 的洗滌裝置係使用上述的洗滌劑，洗滌含有至少一部分金屬加工油組成物的間隙部分的洗滌對象本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 請先閲讀背之注意事項再 5 1 請訂

I

I 474989 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（5 ) 丨物的洗滌裝置，其特徵係具備由單獨槽或複數槽所成的洗滌手段，乾燥手段，蒸餾自洗滌槽溢流的洗滌劑的蒸餾手段及/或再生分離蒸氣洗滌.洗滌對象物後的蒸氣洗滌劑的液體分離裝置。又，蒸餾手段其特徵係含有貯存蒸餾所得的餾出液的貯存槽，洗滌槽含有保持一定的洗滌液面感知器，在所定的液面以下時由貯存槽供給洗滌液，再藉由溢流方式使洗滌液產生循環。本發明的第2的洗滌方法係印刷基板，按裝零件等的電子零件的洗滌方法，其特徵係含有至少1種選自，以含有溶解參數爲.9以上或介電常數爲4以上的特性的極性洗滌劑，經洗滌被洗滌物（對象物）的步驟，及洗滌步驟後，再以溶解度參數小於9及介電常數小於4的特性的洗滌劑清洗的步驟及乾燥步驟。本發明的第1的洗條劑係由於發現支配洗滌劑之洗滌性的重要因素爲，對於附著於被洗滌物的金屬加工油的各組成的洗滌劑的溶解度參數，表面張力，有很大的依存性 •。即，考慮金屬加工油的各組成後，選擇最適當的洗滌劑組成物，利用此洗滌劑洗滌，可兼具有對於粘附零件空隙的滲透性及能夠洗滌各金屬加工油各組成的溶解力。結果，能夠洗滌以往除了氟昂系溶劑，氯系溶劑外洗滌困難的油粘附零件。以下，說明本發明的第1的洗滌劑，洗滌方法，洗滌裝置。首先，關於本發明的洗滌對象物（被洗滌物）係含有請先閲讀背之注意事項再訂 Φ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 83. 3.10,000 474989 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（6 ) 至少一部分以金屬加工油的油膜所接觸的材料所成，由金屬，半金屬，陶瓷，塑膠材料等所成，沒有特別被限制。金屬，半金屬有鐵、鋁、矽、銅、不銹鋼等，陶瓷有氮化砂、碳化矽、氧化鋁、玻璃、瓷器、塑膠有聚醯胺、聚醯亞胺、聚烯烴、聚酯、丙烯酸樹脂等、或這些物質的複合材料也可。具體的有，金屬零件，表面處理零件，電子零件，半導體零件，精密機械零件，光學零件，玻璃零件，陶瓷零件等。特別是關於本發明的洗滌對象物，例如有如圖1 A爲圖1 B所示的晶體用導線框。圖1 A表示平面圖，圖1 B 則表示圖1 A的A - A斷面圖。此種導線框的金屬薄帶1 係彼此間以金屬加工油膜2相接觸。油膜的厚度爲薄者有 0 · 0 0 1 " m左右，藉由使用本發明的洗滌劑，使滲透於强固粘附的薄帶間的空隙中，而容易的洗滌劑金屬加工油。又，油膜的厚度超過2 0 0 0 0 "m時，不易成爲粘附的狀態，也能以其他的洗滌劑或洗滌方法之洗滌。本發明的洗滌對象物係具有一部分介於油膜所接觸的部分，以 0 . 0 1 " m〜1 0 0 a/ m的油膜距離粘附的洗滌對象物爲宜。又，所謂具有一部分接觸的部分，例如也包含如軸承一點的接觸的狀態。又，各金屬薄帶1相互接觸面積爲 1 0 0 m m 2以上者能適用於導線框。1 ‘0 0 m m 2以上， 8 0 0 m m 2以上，2 5 0 0 m m 2以上，4 0 0 m m 2 以上也分別適用，最理想的洗滌對象物，其接觸面積爲 7 0 〇〇mm2以上。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 JI, βι^ϋ Hit f : j f^r— 4ϋι - -I ϋ— ...... - - - i - m-—、一11^1 -1 - - - 1 mu (請先閲讀背面之注意事項再填{5^頁). 474989 A7 五、發明説明（其次，加以說明。沖壓油、拉劑，含有至基礎油元醇酯，二苯基醚，烷酯，矽酸塩基礎油劑及脂有動物性等。對於附著該油係指拔油、組少1種基有合成油酯，聚烯基棻，聚，氟化合改善低溫，植物性於本發切削油合油、礎油，，鑛物烴，二苯基醚物等。流動性油月旨等 B7 明的洗滌、淬火油拉線油等油性劑及油及天然烷基苯，，聚矽氧鑛物油有的低溫流的天然油對象物、延壓的水系特性添油脂等聚乙二油，異溶劑精動點基脂等的的金屬油、壓或溶劑加劑的。合成醇類，鏈烷烴製或氫礎油劑脂肪酸加工油製油、系的油成分。油有多烷基二，磷酸化精製等。油甘油酯油性劑有油酸，硬醋酸，異硬酯酸，棕櫚酸.，廿烷酸二十六酸等的高級脂肪酸，油醇，硬酯醇等的長鏈醇等請先閱讀背之注意事項再填頁

訂經濟部中央標準局員工消費合作社印製特壓，硫磺等，月桂酸氯聯苯，酸甲酯等原酸鋇，其他，磷酸酯等，同時劑，清洗添加劑有的硫磺化磷，亞磷氯化烴，的氯化合三笮基硼的金屬加，二硫代也可使用分散劑，二苯二硫合物，亞酸二月桂六氛乙院物，二硫酸等的有工油依用磷酸金屬氧化防止消泡劑，，二十磷酸三酯等的，三氯代磷酸機金屬途可使塩等的劑，界金屬鈍二烷基二硫月桂酯，磷磷化合物，硬酯酸甲酯鋅，二硫代化合物。用，乳化劑耐磨耗劑或面活性劑，化劑，流點，聯笮二硫酸三月桂酯一氯苯，五，五氯硬酯磷酸鋇，黃，抗乳化劑磨耗防止劑水：氧捕捉降低劑，增 # 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 10 474989 A7 B7 五、發明説明（8 ) 粘劑，防腐劑，防銹劑等各種添加劑。這些添加劑當做金 (請先閱讀背面之注意事項再填寫· 屬加工油的添加劑，以高濃度被添加時，應使用至少含有與該添加劑的溶解度參數差爲3以下的洗滌成分，或接觸角爲1 5 °以內且溶解度參數差爲3以下的洗滌成分爲宜 0 關於本發明的溶解度參數（以下，以C?表示），以（ 1 )式定義之。 d = ( △ E / V ) 1/2......... ( 1 ) 訂 △ E表示分子凝集能（cal/mol) ，V表示分子容 (m 1 / m ο 1 )。即，cJ =凝集能一密度的開乎方根。混合而容積不變時，成分1與成分2混合溶解時的溶解熱ΛΗ係以J.H.Hidebrand, ( 2 )式表示。

△ Urn 二 Vm (《1 一 ^ 2 ) 2· Φ 1 * Φ 2.......... ( 2 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

Vm表不混合物的全容積（ml ) ，爲容積分率，1 ’ 2則表示成分1.及成分2。 (2 )式中，成分1與成分2即β 1與β 2的差愈小則溶解熱△ H m愈小，相溶性優異。洗滌本發明的洗滌對象物時，金屬加工油成分與洗條成分間的β差爲3以下。即可充分溶解除去金屬加工油。可使用蒸發潛熱法或分子引力常數法等的方法，求得 83. 3.10,000 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 11 474989 A7 _ _ B7 五、發明説明（9 ) β。測定C?的方法無特別限制，只要値滿足本發明的條件即可。一般，能測定沸點的物質，使用蒸發潛熱法所得的數値，無法測沸點或不易測定者則使用已知化學構造式的物質的分子引力常數法所得的數値。蒸發潛熱法係以（3 )式求△ Η，在以此値自（4 ) 求ΛΕ，再從（1 )式所衍生的（5 )式，求得β的方法。此方法乃是最直接，能正確的計算c?。 △H25 = 23.7T b+0.020 T b 2 -2950.....................⑶ △ E = △ Η — R T...................................................⑷ 〇= (ΔΕ/V) "2 = { (d/M) ΔΕ} ly/2 .........(5)

Tb爲沸點（Κ) ，R爲氣體常數（1. 986cal/ mol) ，T爲絕對溫度（K) ，d爲密度（g/ml) ，1^1爲分子量（g/mo 1 )。例如，基質油的液體石蠟，以C Η 22爲主成分時， Μ 二 142. 29，Tb = 200 °C( = 473K) ，d 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 二〇· 896 (g/mol)，因此， ΔΗ25 = 23.7 X473 +0.020 x 4732 -2950= 12192.5 s △ E = 12192.5 - 1.98G X 298 =UG00.7、 6=丨(0.896/142·29)χ11600·7 丨 1/2 =8.55i&^。若爲含氫結合的化合物的溶解度參數（d c )時，以此法得到的β値，再添加以下的修正値即可得。醇類；本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） δΓΓΤο^ -12 - 474989 A7 ____B7 ___ 五、發明説明（10 ) <^ 〇= ά + 1 . 4，酯類；汐。=汐+ 〇. 6，酮類；汐c = $ + 0. 5。又，沸點超過10 〇°C時不需修正。分子引力常數法係自構成化合物的分子的各官能基（原子或原子團）的特性値，即自分子引力（G)總計及莫耳體積，求β的方法，與溶劑類不同，對於不易蒸發的樹脂等，求β値非常有用。自（6 )式求β。 (5==IG/V=d ♦ IG/M· ⑹ G等於分子凝集能與莫耳體積之積（莫耳體積凝集能）， Sma 1 1等發表G値。例如，符壓添加劑的硫化油脂的硫磺，Μ二 32. 〇7，d = 2. 0 7 ( g / m 1 )，依 Sm ，〇値爲225 〔（。31—1111)1/2/1111〕： =2 . 07X225/32. 0 7 = 14. 5。又，混合物的，一般做爲對於各成分的d的莫耳分率的加重平均値，可從（7 )式求得。 ΣΧ, (5. ⑺ 請先閱讀背面之注意事項再

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 i表示i成分。例如，含有0 . 4 3莫耳的基質油的液體石蠟，1莫耳的硫磺的硫化油脂時， (5ffl =(1/(1+0.43))Χ14·5+(0·43Λΐ+0·43)) X 8.58 = 12.7i^^。爲本發明的洗滌劑特徵的接觸角，成爲以油膜厚度相本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3. 10,000 -13 - 474989 Α7 Β7 五、發明説明（11 ) 互粘附的滲透力的指標的特性値，可以如下的方法測定之經濟部中央標準局員工消t合作社印製在角的洗限公司洗秒以內滌成分於洗滌角0 洗成分的很容易以油膜 β的差，更理金時，本各洗滌本有機碳機基矽玻璃上塗佈金屬加工油，再滴下2 // 1要測定接觸滌成分，以接觸角計（例如，協和界面科學股份有

製 C Α — S 5 0型）測定其接觸角滌成分的液滴滴下後也有迅速擴散者，故滴下後2 測定完成。藉由測定接觸角可評價金屬加工油與洗間的潤濕性，並可預測對於金屬加工油成分所附著對象物的空隙的滲透性。在2 5 °C，測定β及接觸滌本發 β差爲以浸透厚度粘在2以想爲5 屬加工發明的成分爲發明的化合物氧烷爲般式（明的洗滌對 3以下，且的方式，將附的部分的下，更理想。以下。油爲同時含洗滌劑係以宜0 洗滌劑含有的成分。聚宜。 I )：象物時，金接觸角在1 導線框，環金屬加工油爲1以下，有基礎油，滿足上述的屬加工油成分與洗滌 5 °以內時，洗滌劑箍等的金屬薄帶間，，充分的溶解除去。接觸角在1 0 °以內油性劑及特壓添加劑 β及接觸角的條件的至少一種選自聚有機基矽氧烷及有機基矽氧烷以下式所示的聚有本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 83. 3. 10,000 請先閱讀背 Φ 之注意事項再

474989 A7 B7 五、發明説明（12 )

卜R R一Si—〇T-Si-〇- (I) 有機基氧焼’及以（式中’ R爲相同或不 Τ间的取代基或非取代的1價，1爲0〜5的整數& 一表不的直鏈狀聚二有機基矽一種至少選自以，一般式（I I ) · "Si—*〇- (II) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (式中’ R爲相同或不同的取代或非取代的i價的有機基’』3〜7的整數）表示的環狀聚二有機基砂氧焼的低分子量聚有機基矽氧烷。此種低分子量聚有機基砂氧.院，對於汚垢可㈣强大的滲透力，同時’也爲本發明的特徵成分。上⑩（"式及（I I )式中的R爲取代或非取代的i價有機基，例如有甲碁，乙基，丙基，丁基等的燒基，如苯基的i價非取代烴基，三氟甲基，如3，3，3 一三㈣基的i價取代烴基等’又上Μ ( I )式的未端!^有胺基，醯胺基，丙烯本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210><297公爱） 83. 3. 10,000 -15 474989 A7 _'_B7 ____ 五、發明説明（l3) 酸酯基，硫醇基等，爲維持系的安定性，揮發性時以甲基最理想。關於低分子量聚有基矽氧烷，若考慮其滲透力及洗滌性時，以使用含有環狀構造的八甲基環四矽氧烷，十甲基環五矽氧烷及這些的混合物，及含有直鏈狀構造的八甲基三矽氧烷，十甲基四矽氧烷等爲佳。又，對於含有强鹼性的洗滌劑成分的金屬加工油，若考慮聚矽氧烷的安定性時，以含有上述（I )式所示的直鏈狀構造者爲宜。經濟部中央標準局員工消f合作社印製關於本發明的洗滌劑成分的有機碳化合物有，正及異烷烴，烯烴類等的脂肪族烴化合物，環烷烴類，環烯烴類等的脂環族烴化合物，芳香族烴化合物，醇類，酮類，酯類，脂肪酸類，氟化烴類等。例如有，正癸烷，異十二烷，汽油，橡膠揮發油，礦油精，燈油，環烷系烴（沸點 1 6 0 - 2 0 0 °C )，萜品油，檸檬烯，苯，甲苯，二甲苯，甲醇，乙醇，丙醇，正丁醇，正己醇，2 —乙基己醇，正辛醇，環己醇，丙酮，甲乙酮，甲基異丁酮，二異丁基酮，環己酮，醋酸甲酯，醋酸乙酯，醋酸丁酯，二乙二醇一丁基醚，乳酸乙酯，十八烷氟辛烷等。本發明的洗滌劑組成及配合比率，可先考慮以油膜粘附的洗滌對象物的油膜成分後決定之。關於洗滌劑組成可以任一的油膜成分爲對象，決定洗滌劑成分。特別是以基礎油，油性劑或特壓添加劑中之一爲對象者爲佳。對於金屬加工油的基礎油的洗滌劑成分係配合低分子本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83.3.10,000 -16 - 474989 Α7 Β7 五、發明説明（i4) 量聚有機基矽氧烷，脂肪族烴化合物及芳香烴化合物爲宜，特別是配合低分子量聚有機基矽氧烷爲佳。對於油性劑的洗滌劑成分係配合脂肪族烴化合物，芳香族烴化合物及低分子量聚有機基矽氧烷爲宜，特別是配合脂肪族烴化合物爲佳。對於特壓添加劑的洗滌劑成分係配合醇類，酮類，酯類，脂肪酸類爲宜，特別是配合5〜12個碳數的脂肪族 '醇爲佳。又，特別是併用低分子量聚有機基矽氧烷則更佳。特別是含有上述（I )式或（I I )式所示的低分子量聚有機基矽氧烷的洗滌劑，對於金屬薄帶界面具有强大的滲透力及洗滌力，能得到與以往所使用的氟昂系相比較的洗條效果。表1 ，表2及表3係分別表示上述洗滌劑成分之一例。對於分別使用表1爲基礎油的礦物油（5値；8)，表 2爲油性劑的油酸（β値；9 )，表3爲特壓添加劑的硫化油脂（β値；1 2 )的洗滌劑成分例。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1Τ Φ· 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 83. 3. 10,000 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -17 - 474989 Α7 Β7 五、發明説明（15 ) 表 1 經濟部中央標率局員工消費合作社印製與礦物油的接觸角 β値 0 - 5未滿 5 - 1 0未滿 10-15未滿 5 - 6未滿十八院氟碳 6 _ 7未滿八甲基環四矽氧烷 7 - 8未滿正癸烷異十二烷環烷（b ρ 1 6 0 -2 0 0°C ) 二異丁酮 8 - 9未滿 17¾品油正丙基苯醋酸正丁酯 9 - 1 0未滿二甲苯苯環己酮二乙二醇一丁基醚註）當做基礎的礦物油的β値；8 (請先閲讀背面之注意事項再填寫^頁) 、1Τ 祕· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 83. 3. 10,000 -18 - 474989 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（16 ) 表 2 與油性劑的接觸角 β値 0-5未滿 5-10未滿 10-15未滿 6 _ 7未滿八甲基環四矽氣院 7 - 8未滿異十二烷環烷 (bpl60-200°C 8 - 9未滿萜品油醋酸正丁酯正丙基苯 9 -10未滿環己酮二甲苯苯 2-乙基己醇二乙二醇-丁基醚 10-11未滿丙酮乳酸乙酯正辛醇 Π-12未滿正丁醇註）當做油性劑的油酸的ί値；9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 83. 3. 10,000 -19 - 474989 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（17 ) 表 3 與特壓添加劑的接觸角 ^値 0 - 5未滿 5 - 1 0未滿 1 0 - 1 5未滿 9 - 1 Q未滿 2-乙基己醇二乙二醇一丁基醚 1 0 - 1 1未滿丙酮乳酸乙酯正辛醇 1卜12未滿正丁醇 1 2 - 1 3未滿二甲基甲醯胺笮胺 1 3 - 1 4未滿呢D定 1 4 - 1 5未滿甲醇註）當做特壓添加劑的硫化油脂的5値；1 2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83.3. 10,000 -20 - 474989 A7 -----Γ—Ί

Β7 ；4 .ί· I ----年 J ' - 五、發明説明（18) 性生j 關於洗滌劑配合比率可先考慮油膜成分的組成後決定之。例如，若油膜成分的組成比率爲6 0重量％的基礎油，3 0重量％的油性劑，1 0重量％的特壓添加劑時，與油膜成分對應的洗滌劑成分，可分別爲6 0重量％，3 0 重量％，1 0重量％。通常，考慮對於最近的精細加工的金屬加工油的組成時，對於特壓添加劑的洗滌劑成分爲 1 0〜2 0重量％，剩餘的部分當做對於基礎油及油性劑的洗滌劑成分者爲宜。對於基礎油與油性劑的洗滌劑成分的比率，對於基礎油，洗滌劑/油性劑的洗滌劑= 1 0 / 9 0〜9 0 / 1 0爲宜。各洗滌成分的配合比例爲金屬加工油，油性劑及特壓劑之配合比例的士 2 0重量％爲宜。以下所示爲理想的洗滌劑之一例。低分子量聚有機基矽氧烷及烴：8 0〜9 0重量％ (低分子量聚有機基矽氧烷/烴0/9 0〜9 0/1 0 ) 醇類，酮類，酯類或聚醚類：1 0〜2 0重量％。經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 關於使用上述洗滌劑的洗滌方法，例如，將以油膜粘附的洗滌對象物，直接浸漬於洗滌劑中，經超音波洗滌，搖動，機械性攪拌，加溫，刷洗等的洗滌後，乾燥等完成之。又，乾燥步驟係以蒸氣洗滌劑的乾燥爲宜。依蒸氣洗滌的乾燥法，可使乾燥效果更好，適合精密洗滌等。適合做爲本發明的蒸氣洗滌劑須滿足以下3個條件， ①蒸汽洗滌劑與前步驟所帶入的液體間，具有優異的相溶性，具體的β的差爲3以下，②蒸氣洗滌劑的蒸發潛熱及蒸氣洗滌劑與前步驟所攜入的液體間的蒸發潛熱的差不大本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 474989 A7 B7 五、發明説明（19 ) ，具體的蒸發潛 c a 1 / g以下溫度高的沸點，上述①及②的條種條件者有，全族烴，芳香族烴蒸氣乾燥來考慮氧焼，_化煙爲使用全氟化合物例如：熱差爲3倍以下，蒸發潛熱値爲2 0 0 ，③含有比蒸氣洗滌時的被洗滌物表面的具體爲3 0°C以下。基本上，只要能滿足件即可，若也能滿足③時則更佳。能滿此氟化合物，低分子量有機基矽氧烷，脂肪，鹵化烴等。自其中不產生斑良的良好的時，以全氟化合物，低分子量聚有機基矽宜，若考慮引火性少，不破壞臭氧層時，爲佳。可使用一般式（I II) :CnF 2 π 2 ·

(III (式中，η爲4〜1 2的整數）所表示的全氟化合物，更以一群的構造（I V ): ΙΛ

請閱讀背之注意事項再

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 CF3、 CF3 ·、 CFo

(C, F CF3 +0CFCF2 ^-q (-〇CF2 ^^-OCFc (IV) (式中，Q及S爲任意的整數）的全氟化合物。此種全氟化合物有（M直爲5〜6 ，蒸發潛熱爲2 0 c a Ι/g，沸點爲5 0°C〜2 0 0°C之各種化合物。完全滿足上述①〜 ③的條件者。在實際的洗滌時，以含5 0 °C〜1 5 0 °C的 83. 3.10,000 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -22 474989 A7 B7 五、發明説明（2〇 ) 沸點者爲宜，全氟化合物與大部往除了除切粒子外，無法當做蒸，聚有機基砂氧院及有機烴化合這些呈現相溶性，故可做爲蒸氣本發明所使用的全氟化合物造方法係藉由該烴的電解氟化法應條件，沒有完全取代F，Η，物（HFC類）殘留於全氟化合種副生成物（HFC類）或與全 PFC類+HFC類），可與全又，本發明的氫氟化合物（滌劑使用。該種氫氟化合物係以分有機溶劑不相氣洗滌劑使用，物做爲洗滌劑使洗滌劑使用。，其代表性的工以Η取代氟。因 F各與碳結合成物（P F C )中氟化合物的混合氟化合物相同的 H F C類）可當溶，故以本發明中用，因與業上的製此，依反氫氟化合。使用這物（被使用。作蒸氣洗請先閱 % 背之注意事項再

經濟部中央標準局員工消費合作社印製一激式（V) iCnHmFsnW-n^CnHTnFh-Tn， C nHmF 2n^2-m 5 ......... ( V ) 所示的化合物爲宜。η爲1〜1 Ο ，πι爲0〜2 0的範圍者爲實用的沸點範圍，故理想。具體如，C 5 Η 1 F 1 1， C 5 Η 2 F 1 Ο ^ C 5 Η 3 F 9 . C 4 Η 3 F 7 ^ C6H2F12 等0 藉由導入鹵素，以改良PFC類，HFC類的溶解力，而且，也能使用臭氧破壞係數低的齒化氫氟化合物（例如HCFC類）。具體的有C3HiC12F5， C 2 Η 2 C 1 2F2等。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 83. 3. 10,000 -23 - 474989 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明 ( 21 ) 全氟化合物的蒸氣洗滌劑並非爲必須單獨使用者例如可做爲與異丙醇的混合物使用 9 或可做爲配合聚有機基矽氧焼或有機碳化合物等的其他溶劑的組成物使用 0 關於配合的有機溶劑並非一定要把氟昂系溶劑，氯系溶劑等排除不可〇因爲從環境污染方面來探討時 5 不用比較好但是在尙未全部廢. 止中途過程，仍是有用的< 如此把混合物當做蒸氣洗滌劑使用時，混合物的 ά 値蒸發潛熱 5 以能滿足上述 ① 及 ② 的條件爲宜 0 分別的數値與上述値相同 0 又 > 含有中間的 δ 値 5 蒸發潛熱的有機溶劑介於其中 5 也有效果 0 其次 3 對於適用於上述本發明的第 1 的洗滌劑及洗滌方法的洗滌裝置，加以說明< ) 本發明的第 1 的洗滌裝置具備 9 由單獨構或複數槽所成的洗滌手段乾燥手段蒸餾白洗滌槽溢流的洗滌劑的蒸餾手段及 / 或再生分離蒸氣洗滌被洗滌對象物的蒸氣洗滌劑的液體分離裝置 0 蒸餾裝置及液體分離裝置在洗滌當中或停止時也能運轉 0 蒸餾裝置與液體分離裝置以 9 5 重量 % 以上的純度 5 分離洗滌劑及蒸氣洗滌劑爲宜 0 液體分離裝置係利用比重差的裝置，過濾裝置蒸氣洗滌劑如使用全氟化合物時 5 以利用比重差的裝置爲宜 0 配合需要 > 洗滌槽可與超音- 波搖動 5 機械攪拌洗滌劑加溫 5 刷洗等的洗滌補助裝置併用〇又 5 洗滌劑可具備對於洗滌劑以外的成分，例如延壓油金屬加工油等的污染物質及濃度檢知裝置〇關於檢知裝置，並 ifrrt 挑特別限制本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 83. 3. 10,000 請先閲 % 背之注意事項

瓣 -24 - 474989 Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（，但以能夠，紫外線分面，設置除洗滌被流液被導入洗滌劑貯存洗滌劑供給蒸氣洗差的液體分藉由此滌劑，以減如上述分與洗滌劑透於以油膜下時，具有所存在的油本發明滌乾燥步驟示與聚有機物，當做蒸本發明 •體分離裝置方法。本發明 22 ) 檢出定光光度污過濾洗滌物蒸餾裝於貯槽手段，滌劑係離裝置種洗滌少洗滌，本發間的接粘附的優異的垢等。的第1 ’使得基矽氧氣洗滌的第1 ，故此量微量計等的器，以後的洗置內，後，依再度供自蒸氣中，與裝置，廢液，明的第觸角在導線框相互溶的污染物裝置爲佳提高檢知滌劑，自藉由蒸餾洗滌槽中給洗滌槽洗滌槽的其他成分能有效的有利於環 1的洗滌 1 5 °以等的空隙解性，很的洗滌方法，因精密零件容易洗烷，有機碳化合劑時，更具有良的洗滌裝置，因洗滌裝置也可使質的紅外線分光光度計。同時，檢知裝置的前裝置的感度則更理想。浼滌槽上部溢流，此溢再生分離。再生分離的的液面感知器及連動的〇底部，被導入利用比重分離。再使用洗滌劑及蒸氣洗境衛生。劑，當金屬加工油的成內時，洗滌劑很容易滲中。又，β的差在3以容易溶解除去前述空隙含有洗滌步驟及蒸氣洗滌乾燥。特別是使用顯物具相溶性的全氟化合好的洗滌乾燥結果。具備蒸餾裝置及/或液用於下述的第2的洗滌的第2的洗滌方法係將電子零件等，以溶解度本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 83. 3. 10,000 請先. 閱讀背面之注意事項再

訂 -25 - 474989 Α7 Β7 五、發明説明（參數（β ) 後，再以溶洗滌劑清洗發現能提供以下，本發明濃度，降至洗滌對象物乾燥乃是將，有自然乾氣壓的溶劑本發明參數，介電鹼相互作用者，其β値矩在1〜5 23 ) 爲9以上或介解度參數（β 及/或進行乾被洗滌物優異說明本發明的中，所謂洗滌最後，或除去的洗滌劑的濃洗滌劑或清洗燥，眞空乾燥的取代等的方的極性洗滌劑常數，偶極矩等決定之。在爲9以上或介 D的範圍爲理電常數爲 )爲小於燥，試圖的洗滌效第2的洗乃是將附之。又，度，降至劑使自洗，蒸氣乾法。係依與有，離解常本發明中電常數爲想，1〜 4以上的極性溶劑洗滌 9及介電常數小於4的藉由以上的機能分離，果。滌方法。著於洗滌對象物的污垢所謂清洗乃是將附著於最低，或除去之。所謂滌對象物蒸發或除去之燥，同時還有以更高蒸極性關聯因子的溶解度數，分子折射率，酸一可做爲極性洗滌劑使用 4以上即可。又，偶極 5 D的範圍係臨界領域' 請先閲讀背之注意事項再訂祕經濟部中央標準局員工消費合作社印製理想的極性洗滌劑，其β値爲9〜1 4或介電常數爲 4〜4 5的範圍。特別是使用除去焊劑的活性劑成分，金屬加工油，切削油等的特壓添加劑的極性洗滌劑，其β値爲9〜1 4的範圍即可，更理想爲1 0〜1 3的範圍。β 値爲1 4以下時，與β値小於9的清洗洗滌劑的相溶性良好，能充分提供藉由清洗步驟，去除洗滌劑的效果。又， d値爲9以上的極性洗滌劑時，能順利地除去焊劑，金屬本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 _ 26 _ 4/4989 Α7 Β7 五、發明説明（24) 加工油，切削油 β値爲9〜滌劑有，醇類， ’酯類，胺類， ’磷酸類及這些例如，具體 3 ，5 ，5 — 二醇，環己醇，苄醇一丁基醚，乙酚，間甲酚，對 ’甲乙酮，甲基物，脂肪酸及酸有，醋酸甲酯，酯，草酸二乙酯甲基硝胺，及其中的離子性物質。 1 4或介電常數爲4〜4 乙二醇類，酚類，嗣類，醯類，4級銨塩，腈類，，Ν —甲基的衍生物類上，醇類有甲醇，甲基己醇，2 —乙醇，乙二醇二醇一丁基甲酚及其衍異丁基酮，酐類有，醋醋酸乙酯，及其衍生物衍生物，醯類有，醚及其生物，二異丁酸，醋醋酸丁，胺類胺類有乙醇，基己醇丙二醇衍生物酮類有基酮，酸酐及酯，乳有，乙，Ν ， 5範圍的極性洗脂肪酸及酸酐類嗎啉類，亞碼類 2 —吡咯烷酮。丙醇，正己醇，，正辛醇一乙基醚，酸類有，乙醯苯環己酮及其衍生物酸乙酯，，正丁，丙二，鄰甲，丙酮其衍生，酯類乳酸甲胺，Ν ，Ν —二 Ν —二乙胺，Ν — Ν —二甲基乙醯胺，Ν，Ν —二甲基甲醯其衍生物請先閱讀背之注意項再

訂經濟部中央標準局員工消費合作社印製，Ν —二乙基甲醯胺，Ν — 銨塩有，四甲基銨及其衍生乙腈，及其衍生物，嗎啉類，Ν —甲醯基嗎啉及其衍生酯類有，丙，磷酸三丁乙基乙醯胺及物，腈類有，有，乙基嗎啉物，亞硕類有烷磺內酯及其酯及其衍生物異丁睛，，Ν -乙，二甲基衍生物，。這些可基甲醯胺，Ν ，4級丙睛，醯嗎啉亞砚及磷酸類單獨或其衍生物，磺內有，磷酸三乙酯組合使用。本發明中β値爲小於9及介電常數小於4的洗滌劑本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 83. 3.10,000

«I -27 - 474989 A7 — ___B7 ___ 五、發明説明（25 ) 例如有，聚有機基矽氧烷，烴類，全氟碳數，氫氟碳類，醚類，聚甲醛類。具體的例如有，聚有機基矽氧烷類有，八甲基環四矽氧烷，十甲基環五矽氧烷等的低分子量聚有機基矽氧烷及其衍生物，烴類有丨p SQlvent 1()16，162〇, 2028，2835(出光石油化學公司製，商品名）等的異鏈烷烴類，Shellsol D4〇，D70( Shell Japan公司製，商品名）等的異鏈烷烴類及環烷的混合溶媒，全氟碳類有，前述的一般式（I I I )及構造式（I V)所示的全氟化合物，氫化氟碳類有，前述的一般式（V )所示的氫化氟化合物，醚類有1 ，4 一二og院及其衍生物，縮醒類有，甲縮醛及其衍生物。這些可單獨或組合使用。特別是低分子量聚有機基矽氧烷，如前述一般式（I )及一般式（II)所示的聚有機基矽氧院爲宜，式及（I I )式中的R爲取代或非取代的1價的有機基，例如，如甲基，乙基，丙基.，丁基等的烷基，苯基的1價的非取代烴基，如三氟甲基，3 ，3 ，3 一三氖丙基的工經濟部中央標準局員工消費合作社印製價的取代烴基，又’上述（I)式的末端R還有，胺基，醯胺基，丙烯酸酯基，硫醇等，但爲維持系的安定性，揮發性，則以甲基爲最理想。上述β値爲9〜1 4或介電常數爲4〜4 5的極性洗條劑’例7Κ於表4 ( 1 ) ’ $値爲小於9及介電常數小於 4的洗滌劑，則例示於表4 ( 2 )。 83. 3. 10,000 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -28 - 474989 A7 B7 五、發明説明（26 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製表 4 ( 1 ) 物質名 β値介電常數偶極矩 3，5，5 —三甲基己醇 10 〜11 3 —甲氧基一 3 —甲基一1一丁醇 9.3 正己醇 10.77 13.3 極 2—甲基環己醇 13.3 1.95 異庚醇 10.0 14.7 1.82 乙醇 12.78 25.7 1.68 乙二醇一甲基醚 16 2.04 性鄰甲酚 11.5 1.41 苯乙酮 17.39 2.96 醋酸酐 10.3 20.7 2.82 醋酸乙酯 8.91 6.02 1.88 洗異丙醇 11.44 18.6 1.68 N，N，一二甲基硝胺 13.1 N，N—二甲基乙醯胺 37.78 3.72 N—乙基乙醯胺 12.3 N，N—二乙基甲醯胺 10.6 滌嗎啉 7.1 1.50 N—乙醯基碼咐 11.6 N—甲醯基嗎咐 13.0 異丁睛 20.4 3.61 劑丙腈 10.8 乙腈 11.9 二甲基亞石1 45 4.3 N —甲基一 2 —吡咯烷酮 14.7 乳酸乙酯 10.0 乳酸丁酯 9.4 丙烷磺內酯 4.70 磷酸三乙酯 3.07 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 83. 3. 10,000 請先閲讀背之注意事項再

訂 _ 29 _ 474989 A7 B7 五、發明説明（27 ) 表 4(2) 物質名 β値介電常數偶極矩八甲基環四矽氧烷 6.0 2.39 1.09 洗 IP solvent 7.3 Shellsol D40 7.6 2.1 0 八甲基三矽氧烷 6.0 2.30 0.99 滌 Naphtasol L 8.0 六甲基二矽氧烷 6.2 2.17 0.79 劑十二垸 2.016 全氟碳 5.5〜6.0 17 〜1.9 氣氛氟化碳 6〜7 1，4 一二噁烷 2.2 甲縮醒 2.7 0, 0.45 請先閲讀背之注意事項再填經濟部中央標準局員工消費合作社印製註）本表的偶極矩値係引用各種文獻的參考値。此偶極矩値依溫度變化法， ’折射率法，溶液法等的測定方法而有所變化，故從本表的偶極矩値無法判斷β値，介電常數。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 83.3. 10,000 474989 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（28) 本發明的第2的洗滌方法中的清洗步驟所使用的5値爲小於9及介電常數小於4的洗滌劑，並非只將附著於洗滌對象物的洗滌劑的濃度，降至最低或除去的清洗效果，同時，對於焊劑中的松脂成分，金屬加工油中的基礎油等具有溶解力。因此，可混合使用cj値爲9〜1 4或介電常數爲4〜4 5範圍的極性洗滌劑與β値爲小於9及介電常數小於4的洗滌劑。特別是先以混合極性洗滌劑與低分子量聚有機基矽氧烷及/或烴類所成的洗滌劑，進行洗滌後，再以1値爲小於9及介電常數小於4的洗滌劑清洗及/ 或藉由乾燥，可得到良好的洗滌效果。烴類係直鏈狀及/ 或環狀的脂肪族烴，有利於提高乾燥性。此時，極性洗滌劑的配合比例係以不損害乾燥性之所需要量即可，對於洗滌劑的全重量以1 0〜5 0重量％爲宜，1 5 — 3 0重量 %則更佳，1 0重量％以上時，對於含有焊劑或金屬加工油的極性物質的溶劑性更佳，在按裝基板方面，可防止因離子性物質的殘留易引起降低絕緣電阻者，不產生配線或導線間泄漏或腐蝕，確保基板的信賴度。又，小於5 0重量％時，乾燥性良好，可提供乾燥後的零件精密加工性。又，極性洗滌劑的配合比例超過5 0重量％時，僅以a値爲小於9的洗滌劑清洗，即可提供良好的乾燥性。本發明的第2的洗滌方法的乾燥步驟有，藉由蒸氣乾燥，熱風乾燥或自然乾燥的方法，沒有特別限定，可依零件的形狀分開使用或配合使用。特別要求精密洗滌時，以加工性較優的蒸氣乾燥爲宜。蒸氣乾燥所使用的蒸氣洗滌請先閱讀背之注意事項再訂罐本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公酱） 83. 3.10,000 -31 - 474989 A7 B7 五、發明説明（29) (請先閲讀背面之注意事項再填¾ 劑，以具有β値爲小於9及介電常數爲小於4的特性的洗滌劑爲宜，使用至少一種選自全氟碳，氫氟碳，氫氯氟化碳及六甲基二矽氧烷的洗滌劑，對於精密洗滌劑更佳。氟氯氟化碳對於臭氧破壞係數極低者爲佳。_ 具體上，全氟碳可使用前述的一般式（III)及（ I V )所示的化合物，氫氟化碳可使用一般式（V )所示的化合物。又，可使用相對蒸氣壓比極性洗滌劑高的洗滌劑，進行乾燥。此方法對對低溫且短時間的乾燥有效。訂本發明的第2的洗滌方法中，極性洗滌劑的洗滌步驟的清洗步驟，乾燥步驟可連續進行，也可省略清洗步驟或乾燥步驟。如上述，本發明的第2的洗滌方法係首先以極性洗滌劑洗滌後，以更低極性，或無極性的洗滌劑清洗，乾燥，故對於電子零件等的精密洗滌，可同時兼具洗滌性及乾繰性。經濟部中央標準局員工消費合作社印製其次說明本發明的第2的洗滌方法所使用的洗滌裝置。洗滌裝置可使用圖2或圖3所示的裝置。使用第2的洗滌方法時，洗滌槽及清洗槽的數量，不受限定，可依附著於零件的污垢量及種類任意設定。爲配合需要，可配置清洗手段，乾燥手段。洗滌手段，清洗手段及乾燥手段所使用的蒸氣乾燥劑，以能蒸餾再生利用者爲宜。特別是使用混合d値爲9〜 14範圍的極性洗滌劑與低分子量聚有機基矽氧烷及/或 83. 3. 10,000 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -32 - 年 4«4βββι Α7 Β7 五、發明説明（30) 烴系洗滌劑洗滌後乾燥的方法時，可以洗滌階式（溢流）方式連結，故以蒸餾裝置再生污垢液，再回到最終洗滌層，這種液體管理與各別管理洗滌液及清洗液，比較容易，而且可延長液體的壽命，可大幅降低管理成本。蒸餾再生時，洗滌劑成分爲混合物的狀態下，各成分的沸點儘可能相近爲宜，以組成比的安定性來看，洗滌劑成分的沸點，以1 5 0 °C〜2 0 0 °C的範圍爲佳。圖面的簡單說明 A ......…洗滌步驟，B ..........淨化步驟，C .........洗滌劑再生機構，D .........蒸氣洗滌乾燥步驟，E .........蒸氣洗滌再生機構，8 .........溢流管，9 ..........超音波發生裝置，1 〇 .........污物濾除器，1 1 .........污垢檢知裝置， 12 .........預備槽，1 3 .........蒸氣洗滌槽。 V圖1 A及圖1 B係表示本發明的1實施例的被洗滌物的晶體用導線框，1/齒2係表示由本發明的1實施例的複數個的洗滌槽所成的洗滌裝置，3係表示由本發明的1實施例的1個洗滌槽所成的洗滌裝置。以下，依實施例更詳細地說明本發明。實施例1〜實施例1 0及比較例1〜比較例4係關於第1的洗滌劑，洗滌方法及洗滌裝置，實施例1 1〜實施例3 6及比較例5 〜比較例1 0係關於第2的洗滌方法及洗滌裝置。實施例1 將八甲基環四矽氧烷：6 0重量％，十二烷：3 0重量％，2 -乙基己醇·· 5重量％，正丁醇·· 5重量％混合攪拌後，得到洗滌劑D — 1。β値及接觸角分別由表丨〜表3所記載數値。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .参· 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -33 - 474989 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ___ B7 _五、發明説明（31 ) 實施例2 將八甲基環四矽氧烷：4 0重量％，環烷系烴（沸點 1 60。一 200 °C) : 40重量％，醋酸丁酯：5重量 %，正丁醇：5重量％，二乙二醇一丁基醚：2重量％混合攪拌後，得到洗滌劑D - 1。&値及接觸角分別由表示於表1〜表3。實施例3 調製由液體石蠟：8 5重量％，異硬脂酸：8重量％，氯化鏈烷烴：7重量％所成的金屬加工油P — 1 ，使用此工作油P — 1 ，進行沖壓4 2合金製晶體用導線框（ 2 OmmXl 5 OmmXO. 2 5mm)。將 8 Ο 0 片的導線框，以金屬加工油Ρ - 1所粘附的狀態下，掛置於籃上，使用實施例1所得到的洗滌劑D — 1 ，以實施例1 〇的洗滌裝置進行洗滌。洗滌前的粘附狀態下的油膜距離爲約8 〃 m。洗滌步驟係洗滌槽內充滿洗滌劑D — 1 ，浸漬掛置導線框的籃子，以3 0°C，5mi η ，4 OKHz進行超音波洗滌。然後，送入蒸氣洗條槽，使用全獄辛垸（ C 8 F ^ 8 )，藉由以1 0 0 °C，3 m i η蒸氣洗滌，進行乾燥。依下列的方法分別評價洗滌性。結果如表5所示。 ①剝離狀態評價試驗以仍然粘附著金屬加工油’而未被洗條的導線框數表本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 83. 3. 10,000 (請先閱讀背面之注意事項再填· 、1Τ 4 -34 474989 A7 __ B7 五、發明説明（32 ) 示。0/8 0 0表示完全洗滌。 ② 表面狀態評價試驗以能觀察到金屬加工油或洗滌劑殘留污垢痕跡的導線框數表示。0/800表示無污垢痕跡 ③ 殘留油分的定量評價試驗，任意抽取2片洗滌後的導線框，以3 0 0 m 1的四氯化碳萃取殘留的油分後，再使用HOR 1 BA油分濃度計OCMA — 2 2 0定量。 (請先閱讀背面之注意事項再填. 料：經濟部中央標準局員工消费合作社印製氯此 ο 線，驟，後示，用 2 導上步子然所 %使 {的籃滌籃。 5 量，框片於洗的滌表重 2 線 Q 置滌框洗如 51 導 ο 掛洗線波果 1 P 用 8 ，行導音結 :油體將下進置超，酸工晶。態，掛行。性脂加製 }狀 2 漬進燥滌硬屬金m的一浸 Z 乾洗異金合 E 附 D， Η 風其，的 25 粘劑 2Κ 熱價 %成 42 所滌 | 8 行評量所壓 .2 洗D2 進，重%沖 ΟΙ 的劑，η 法 5 量行 ΧΡ 到滌 ni 方 7 重進m油得洗 i £ 的 :οΓΏ工所滿 E03 獵 120 加 2 充 31 例石： I 5 屬例內，，施 4 體烴 P1 金施槽°c°c實例液烷油 X 以實滌 50 同施鏈作m，用洗 36 實化工III框使係以以

、1T 83. 3.10,000 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35 - 474282

民國…月料經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（b) 比較例1 由液體石蠘：8 5重量％，異硬脂酸·· 8重量％，氯化鏈烷烴：7重量％所成的金屬加工油P-丨，使用此工作油P — 1 ，進行沖壓4 2合金製晶體用導線框（2 0 mmXl 5 0 OmmXO. 25mm)。將 800 片的導線框，以金屬加工油P - 1所粘附的狀態下，掛置於籃上，使用1 ，1 ，1 一三氟乙烷進行洗滌。洗滌步驟係洗滌槽內充滿1 ，1 ，1 一三氯乙烷，再浸漬掛置導線框的籃子，以3 5°C’ 8mi η，2 8KHz進行超音波洗滌。然後送入蒸氣洗滌槽，使用1 ，1，1 —三氯乙烷，以 7 8 °C，4 m i η，進行蒸氣洗滌乾燥。同實施例3的方法，評價其洗滌性。結果，如表5所示0 由表5得知本發明的剝離狀態，表面狀態，殘留油分與比較例1顯示同等的特性。對於洗滌劑並非僅評估其去污能力，同時也要考慮對環境的影響，對於洗滌作業人員的影響，是否容易適用於各種洗滌方法，再生使用的容易度洗滌對象物的影響。本發明的洗滌劑係考慮如前述含氯氟碳及三氯乙烷對環境或人.體的不良影響而開發之代替洗滌劑，對於環境或人體不會有不良影響，且具有與三氯乙烷同樣的洗滌特性的優異特性。比較例2 由液體石蠘：7 5重量％，異硬脂酸：1 5重量％，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）- 36 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

474989 五、發明説明（3在氯化鏈烷烴：1 此工作油P〜2 20mmXl5〇導線框，以金屬加上，使用含有1 〇 :5重量％，聚氧 1 5重量％所構成水進行洗滌。以6 同實施例3的。由表5得知，本而且，殘留油分少 b. 重量％所成的金屬加工油P—2 ，使用進行沖壓4 2合金製晶體用導線框（ m m X 0 . 25mm)。將 8 Ο 0 片的工油Ρ - 2所粘附的狀態下，掛置於籃重量％由矽酸鈉：5重量％，硬脂酸鈉化乙烯壬基苯基醚：15重量％，水：的洗滌劑的水溶液，進行洗滌後，以純 0°C，1 Om i η進行熱風乾燥。方法，評價其洗滌性。結果如表5所示發明具有優異的剝離狀態，表面狀態， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 37 /|\ - 8 49 47 A7 B7 五、發明説明（λΠ 修正金屬加工洗滌劑剝離表面狀_ 殘留油分油狀態實施例3 P-1 D:1 0/800 0/800 0.lppm 實施例4 P-2 D-2 0/800 0/800 0.2ppm 比k例1 P-1 三氣乙j完 0/800 0/800 0.2ppm 比較例2 P-2 水系洗滌劑 796/800 796/800 38.7ppm 請先閲讀背面之注意事項再

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經濟部中央標準局只工消费合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 83. 3.10,000 474989 修?ι£ 五、發明説明（)I 95· 哺充 11 1 ^ ......-丨丨_丨丨丨_帅實施例5〜實施例8 調製金屬加工油P — 3〜P — 6。其組成如表6所示。與實施例1相同的方法得到與金屬加工油P — 3〜P — 6對應之洗滌劑D - 3〜D - 6。該組成如表7所示。分別使用金屬加工油P - 3〜P — 6進行沖壓無氧銅製 1C 用導線框（25mmX2 0 0mmX0 · 5mm) ，以金屬加工油分別粘附8 Ο 0片導線框的狀態掛在籃上，使用與各金屬加工油對應之洗滌劑，藉由以下所示的實施例9或實施例1 〇的洗滌裝置洗滌。洗滌前的粘附狀態的油膜距離爲約1 0 a m。與實施例3同樣的方法評估洗滌性。其結果如表8所示。實施例5及實施例6係以同實施例3的條件，藉由蒸氣洗滌乾燥後進行熱風乾燥，實施例7及實施例8係以同實施例4的條件進行熱風乾燥。比較例3 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 使用金屬加工油P — 6進行沖壓無氧銅製I C用導線框（25mmX200mmX0 · 5mm)。將 800 片導線框以金屬加工油P - 6粘附的狀態掛置於籃上，使用 1 ，1 ，1 —三氯乙烷，與比較例1相同的條件進行洗滌及蒸氣乾燥。與實施例3相同的方法評估洗滌性。其結果如表8所示0 由表5得知本發明的剝離狀態，表面狀態，殘留油分與比較例1顯示同等的特性。對於洗滌劑並非僅評估其去本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A#規格（21〇χ297公釐） 474989 85. 年 5· 月 5, A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（一)--— ------ 污能力，同時也要考慮對環境的影響，對於洗滌作業人員 .i ' 的影響，是否容易適用於各種洗滌方法，再生使用的容易度洗滌對象的影響。本發明的洗滌劑係考慮如前述含氯氟碳及三氯乙烷對環境或人體的不良影響而開發之代替洗滌劑，對於環境或人體不會有不良影響，且具有與三氯乙烷同樣的洗滌特性的優異特性。比較例4 使用金屬加工油進行沖壓無氧銅製I C用導線框（ 2 5mmX2 0 OmmXO . 5 mm)。將 8 0 0 片的導線框以粘附金屬加工油P - 6的狀態掛置於籃上，使用比較例2的洗滌劑，以同比較例2的條件進行洗滌及蒸氣乾燥0 以同實施例3同樣的方法評估洗滌性，其結果如表8 所示。由表8得知本發明的剝離狀態，表面狀態優異，且殘留分少。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2ΐ〇χ297公釐） -38-2 474989 五、發明説明（36 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製表 6 (單位：重量％) 組成金屬加工油 P-3 P-4 P-5 P-6 基礎油液體石蠘 1 50 30 40 30 油酸甘油酯 50 50 40 40 油性劑異硬脂酸 20 油酸 20 特硫化油脂 _2 壓氯化烷烴 _3 添二苯基二硫化物 10 加月桂酸磷 10 劑 Lupulsol 5080A _4 10 註）;粘度（2 5 °C ) 3 0 c S t _2;大日本INK (股）製硫化油脂1 5 Ο _3 ;味之素（股）製 _ 4 ;日本Lupuso 1 (股）製 (請先閲讀背面之注意事項再填. f :寫本頁· 、1' - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83.3.10,000 -39 - 474989 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（37 ) 表 7 (單位：重量％) 組成洗滌劑 D-3 D-4 D-5 D-6 八甲基環四矽氧烷 70 60 50 50 異十二烷 10 10 20 10 環烷（bpl60-200°C) 20 20 20 25 醋酸正丁酯 10 5 2 —乙基己醇 10 正丁醇 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 83. 3. 10,000 474989 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（38 ) 表8 金屬加工油洗滌劑剝離狀態表面狀態殘留油分實施例5 P- 3 D-3 0/800 0/800 0.lppm 實施例6 P— 4 D-4 0/800 0/800 0.2ppm 實施例7 P— 5 D-5 0/800 0/800 0.2ppm 實施例8 P- 6 D-6 0/800 0/800 0.lppm 比較例3 P- 6 三氯乙烷 0/800 0/800 0.2ppm 比較例4 P- 6 水系洗滌劑 798/800 798/800 55.6ppm 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 83. 3.10,000 474989 A7 B7 五、發明説明（39 ) 實施例9 (請先閱讀背面之注意事項再填· 實施例9的洗滌裝置的構成如圖2所示。圖2表示由複數個的洗滌槽所成的洗滌裝置之一例。同圖所示的洗滌裝置係由洗滌步驟A，洗淨化（清洗）步驟，洗滌劑再生機構C，蒸氣洗滌劑乾燥步驟D，及蒸氣洗滌劑再生機構 E所構成的。洗.滌步驟A及洗淨化步驟B具有溢流分離機能及液面調整用感知器。同圖的箭頭表示液體的流動。洗滌步驟A及洗淨化工程B的洗滌槽，依洗滌時間及洗滌品質可選擇單槽及多槽連結槽，可以同樣的考慮多槽連結構的槽數。訂經濟部中央標準局員工消費合作社印製此實施例中，使用3槽的多槽連結槽，各槽間以排水配管（無圖示）及溢流管8相連接。爲配合需要，各槽可併用超音波，搖動，機械攪拌，洗滌劑加溫，刷洗等，可提高洗滌效果。本實施例中，設置超音波產生裝置9。洗淨化步驟B的最終槽，設置污垢除去過濾器1 0及污垢檢知裝置1 1。污垢除去過濾器可依洗滌對象物的材料及金屬加工油的內容，做種種的選擇，例如使用具有〇. 1〜 2 0 v爪左右孔徑的微孔的陶瓷過濾器，玻璃過濾器，有機高分子系的過濾器，及這些的複合系過濾器等爲宜。污垢檢知裝置1 1係應用紅外線分光光度計及紫外線分光光度計等的裝置。洗滌劑再生機構C係利用自溢流管8所送來的洗滌劑中的各成分，金屬加工油系污垢等的沸點的差異，進行分離。再生後的洗滌劑經由貯藏於預備槽1 2後，再供給洗 83. 3. 10,000 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 42 - 474989 A7 B7 五、發明説明（4〇 ) 淨化步驟B的洗滌槽。蒸氣洗滌乾燥步驟D係藉由蒸氣洗滌液，漸漸的取代洗滌劑，以進行精密乾燥。又，蒸氣洗滌劑再生機構E係利用與洗滌劑中的各成分及蒸氣洗滌劑的比重差，進行分離。分離後的洗滌劑供給預備槽1 2，蒸氣洗滌劑則供給蒸氣洗滌槽1 3。實施例1 0 實施例10的洗滌裝置的構成，如圖3所示。圖3表示由一個洗滌槽所成的洗滌裝置之一例。同圖所示的洗滌裝置係由洗滌步驟A，洗滌劑再生機構C，蒸氣洗滌乾燥步驟D及蒸氣洗滌劑再生機構E所構成的。洗滌步驟A具有溢流分離機能及液面調整用感知器。洗滌槽設置與實施例9相同的超音波裝置，污垢除去過濾器，污垢檢出器。至於洗滌劑再生機構C，蒸氣洗滌乾燥步驟D及蒸氣洗滌再生機構E與實施例9相同，且功用相同。請先閲讀背之注意事項再頁經濟部中央標準局員工消費合作社印製 1 用線例使導施製實金 ρ ο 油 X ΗΓΤΙ 加m 屬金的 1 用 X 所 m 4 m 例 ο 施 5 實 { 5 ο 壓m 沖m ， 5 2 2 2 4 合使 Ε Ε ο ο ίμ 爲成積面接 m m ο ο 8 W E ο ο 8 2 5 ο Γη ο ο ο 4 mm m m ΓΏ ο ο 5 2 ΓΏ ο ο ο 7 m m ο ο ο 4 ο 上以 2 m Ε ο ο ο 7 83. 3.10,000 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 474989 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 b. 修正 A7 B7 五、發明説明（4/ 各導線框使用洗滌劑D - 1，藉由實施例1 0的洗滌裝置 I ，進行洗滌。洗滌步驟係使洗滌槽充滿洗滌劑D - 1 ，浸漬掛置導線框的籃子，以3 Ο Ό，5 m i η，4 Ο Κ Η ζ 進行超音波洗滌。然後，送至蒸氣洗滌槽，使用全氟辛焼 (C 8 F 18 )，以1 Ο Ο Τ：，3 m i η進行蒸氣洗滌乾燥同實施例3的方法，評價其洗滌性。結果如表9 a所示。由表9 a得知，本發明具有優異的剝離狀態，表面狀態，且殘留油分少。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 474989 A7 B7 五、發明説明（42 ) 表9 接觸面積金屬加工油洗滌劑剝離狀態表面狀態殘留油分 100mm2〜800mm2 0/800 0/800 0.lppm 1800丽2 〜2500丽2 0/800 0/800 0.2ppm 2500腿2 〜4000mm2 P-2 D-1 0/800 0/800 0.2ppm 4000腿2 〜7000腿2 0/800 '0/800 0.lppm 7000mm2 以上 0/800 0/800 0.2ppm 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3. 10,000 -45 - 474989 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（43 ) 實施例1 2〜實施例3 7及比較例5〜比較例1 0 梳形基板（J IS — Z- 3197 2形）上塗佈焊劑（RA type CRV— 5V田村化硏製）後，以預熱溫度1 0 0〜1 2 0 °C除去溶劑，以2 3 0〜2 6 0 3 0 s e c烘烤。此梳形基板當做評價用樣本，以實施例1 2〜實施例3 7及比較例5 -比較例1 0所示的洗滌劑組成，對於梳形基板的焊劑洗滌係以洗滌溫度：4 0 °C ，超音波輸出：4 0 OW/2 8Hz ，洗滌時間：5 min 2層，清洗時間：5 m i η 2層的條件下，進行洗滌及/或清洗後，進行乾燥。實施例i 9，實施例 2 8，實施例3 5，比較例5及比較例7，以熱風乾燥，實施例2 1 ，實施例2 9 ，實施例3 7，以自然乾燥，實施例2 2 ，實施例3 0 ，實施例3 6 ，則施以眞空乾燥，至於其他的實施例與比較例係使用各表所示的組成的蒸氣洗滌劑’進行蒸氣乾燥。洗滌後，測定離子餘渣量，絕緣電阻’有無白色餘渣，乾燥時間，進行洗滌性的評價。評價的方法如下。又，評價結果表9〜表i 3所示。由表9 〜表1 3的結果得知，本發明與比較例比較時，離子餘渣量少絕綠電阻値低，無白色澄餘無迅速乾燥，顯示優異的洗滌性及乾燥性。

(請先閲讀背面之注意事項再填I

、1T LT · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 83. 3.10,000 ~ 46 ~ 474989

A

7 B 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（44 ) 表9 寅施例洗滌組成物 (wt%> 清洗劑組成 (wt%) 蒸氣浼滌m 洗滌結果全氟碳 HFC HCFC 六甲基二矽氣烷 ’離子殘渣 (« g · KaCl/in2) 絕緣霣阻値 ΧΙΟ13 ( Ω ) 白色餘渣乾燥時問 (sec) 臭氣破壞係數 12 3,5,5·三甲基己醇100 八甲基環四矽氣烷100 100 - - - 3.2 29 0/20 19 0 13 3·甲氣基-3-甲基-卜丁醉 100 八甲基環四矽氧烷100 • 100 • • 2.1 33 0/20 21 0 14 正己醇100 IP Solvent 1620 100 - - 100 - 4.1 45 0/20 31 0.01〜0.04 15 2-甲基環己醇100 八甲基環四矽氧烷50 IP Solvent 1620 50 100 1.5 38 0/20 25 0 16 異庚醇100 八甲基環四矽氣烷80 Shellsol D40 20 80 20 3.0 42 0/20 20 0 17 3,5,5-三甲基己醇50 3-甲氣基· 3-甲基·]· 丁醇50 八甲基環四矽氧烷100 100 3.9 51 0/20 17 0 18 3,5,5-三甲基己醇15 Shellsol D40 45 八甲基環四矽氣烷40 100 2.2 47 0/20 21 0 19 正己醇20 IP Solvent 1620 50 八甲基環四矽氣烷30 热風乾燥(50°C) 2.8 5.0 0/20 70 0 20 3-甲氣基-3 •甲基+丁 0? 25 naphtasol L 40 八甲基三矽氧烷35 50 50 3.0 .28 0/20 36 0 21 乙醉15 六甲基二矽氣烷85 自然紇燥(25°C) 2.7 3.0 0/20 120 0 22 3,5,5·三甲基己醉100 八甲基三矽氣烷100 眞空紇燥UOTorr 30°C) 3.0 2.0 0/20 25 0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂--- 0. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 83. 3.10,000 47 474989 A7 B7 五、發明説明（45 ) 表1 〇經濟部中央標準局員工消f合作社印製寅施例洗联組成物 (wt*) 清洗劑祖成 (wtX) 蒸氣洗《琍洗滌結果全氟碳 HFC HCFC 六甲基二矽氧烷雎子殘渣 (μ g· NaCI/ina) 筢緣電阻値 ΧΙΟ13 ( η ) 白色餘渣乾燥時Μ (sec) 奥氧破壞係数 23 正己醉50 乙醉 50 八甲基滇四矽氧烷100 100 - - * 3.5 22 0/20 29 0 24 乙二醉-甲基發 50 乙醉 50 十二烷100 ' * * 100 3.4 31 0/20 33 0 25 邾甲酚50 苯乙酹50 C^FelOO - 100 3.9 40 0/20 20 0 26 醗酸酐50 掛酸乙酯50 C，Fie 50 CaHChFs 50 100 2.5 41 0/20 25 0.01〜0.04 27 異庚醉50 Ν,Ν-二甲基乙醞按50 CaHChFs 80 1,4二噁烷20 80 20 2.3 16 0/20 35 0.01〜0.04 28 異丙醉50 嗎啉 30 異丁觭20 C5H2F10 90 甲銪醛10 热風乾燥(50Ό) 2.1 5.5 0/20 40 0 29 異丙醉50 二甲基亞旺 30 乳酸乙酯20 C3HCl2Fs80 八甲基三矽氧烷 20 自然乾炔(251) 2.1 1.0 0/20 60 0.01〜0.04 請先閱讀背面之注

I 頁本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3. 10,000 -48 - 474989

A B7 五、發明説明（46 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製表 11 實施例洗》m物 (w t%> 物 (w t %) 蒸氣洗顧洗淨結果全罐 HFC HCFC 六甲基二矽氧戾雕子餘渣 (« g · NaCl/in2) 舰値白色餘渣乾燥時間 (sec) 奥氧破壞係敫 30 3-甲氧基·3· 甲基·】_ 丁酵 50 乳酸丁醣50 C3HCI2F5 50 八甲基三矽氧烷30 IP Solvent 1620 20 眞空乾燥 OOTorr. V) 2.5 4.8 0/20 35 0.01-0.04 31 乙酵20 六甲基二矽氧院 80 六甲基二矽烷 100 100 4.0 48 0/20 30 0 32 乙二酵-乙基醚 20 十二烷100 - - - 100 3.8 11 0/20 32 0 33 十二烷80 鄰甲酚50 Μ二噁烷50 CeHaFn 100 • )00 • 3.8 35 0/20 38 0 34 苯乙酮50 甲綰醛50 CeFie 50 CaHCUFs 50 50 - 50 - 3.4 50 0/20 35 0.01-0.04 35 m&f 5〇甲縮醛50 CaHCbFs 80 1,4二噁烷20 (30V) 3.3 8.5 0/20 40 0.01-0.04 (請先閱讀背面之注意事項再填頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 83. 3.10,000 474989

五、發明説明（47 ) 表 12 經濟部中央標準局員工消費合作社印製寅施例洗濰組成物 (w t96) 滑組成物 (wt%> 蒸氣％濂刺疣濉結杲全氟01 HFC HCFC 六甲基二矽氧垸鼸子餘潦 (#g. NaCl/in2 筢緣電阻偃 χιο,3(η) 白色餘潦屹燥時Μ (sec) 稟氧破壞係數 36 酹酸乙» 40 氮氟化氟战60 CeHaPn 甲掮醛10 霣空乾燥 (10Torr.30O) 3.6 6.9 0/20 30 0 37 乙醇20 氮化氟顼80 CsH2F)〇 100 自然屹爍(25X：) 4.0 9.0 0/20 5 0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3. 10,000 -50 474989

A B 五、發明説明（48 ) 經濟部中央標準局員工消费合作社印製表 13 寅施例洗》組成物 (wt%) 淸洗耝成物 (wt%) 乾燥方法蘼子餘渣 (Mg· NaCI/in2) 洗淨結果筢緣m阻値 Χ103(Ω) 白色餘淹乾嬢時W (sec) 奥氧破壞係數 5 Shell sol D40 60 八甲基環四矽氧烷 40 • 溫風乾燥 (50°C) 30 1.0 20/20 60 0 6 IF Solvent 1620 100 * prc(CeF18)蒸氣洗滌 25 3.0 20/20 25 0 7 3,5,5-三甲基己醉100 炖水 100 溫風乾煥(50°C) 13 0.05 9/20 2000< 0 8 IP Solvent 1620 100 IP入蒸氣洗滌 13 0.06 15/20 40 0 9 氟昂113 96 乙醉 4 13 3.1 2/20 11 0 參考例未法被 30 1.0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 -51 - 474989 A7 B7 五、發明説明（49 ) ④ 離子餘渣量 . 使用洗淨度測定器OMegameter 600SMD(日本α Metals股份公司製），將乾燥後的梳形基板的萃取溶液的電氣阻抗，換算成N a C 1離子的當量値，當做離子餘渣量（"g NaCl/in2)。 ⑤ 絕綠電阻使用數位超高阻抗/微小電流計（股份公司 A d v e n t e s t製），測定乾燥後的梳形基板的電極間的阻抗。阻抗値係測定3次的平均値。 ⑥白色餘渣的有無‘ 顯微鏡觀察2 Q片乾燥後的梳形基板，觀察到白色餘渣的片數/ 2 0片，作成數値化。 ⑦乾燥時間進行自然乾燥，熱風乾燥，眞空乾燥時，基板表面的附著液滴失爲止的時間當做乾燥時間。蒸氣乾燥則是測定將基板投入蒸氣洗滌劑的蒸氣中開始計時，提起時成爲完全乾燥的狀態爲止所需要的時間。本發明的第1的洗滌劑係使用與洗滌對象物所使用的金屬加工油的溶解度參數的差爲了以下的溶劑，故對於金屬加工油具有優異的溶解力。又，與金屬加工油的接觸角爲1 5 °以內，因此，很容易滲透溶解以油膜粘附的金屬本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）請先閲讀背之注意事項再頁經濟部中央標準局員工消費合作社印製 83.3.10,000 474989 A7 . _B7 五、發明説明（50 ) 薄帶等存在於空隙的金屬加工油等，能夠達到良好的洗滌。又，使用至少一種選自具有上述特性的聚有機基矽氧烷及有機碳化合物的成分，當做洗滌劑時，更能提高滲透溶解力。本發明的洗滌劑不像氟昂系溶劑，氯系溶劑產生環境破壞或環境污染，洗滌能力可與氟昂系溶劑或氯系溶劑相比。本發明的第1的洗滌方法，在洗滌步驟，清洗步驟，蒸氣洗滌步驟，可使用1種洗滌劑，步驟上較有利。又，使用上述的洗滌劑洗滌的同時，由於具備以全氟化合物當做蒸氣洗滌劑使用的蒸氣洗滌步驟，因此，更能充分的洗滌精密部分。本發明的第2的洗滌方法係首先以極性洗滌劑洗滌後 ’再以更低極性或無極性的洗滌劑清洗，進行乾燥，因此 ’精密洗滌電子零件等時，不會產生如氟昂系溶劑或氯系溶劑環境破壞，環境污染，能夠兼具洗滌性及乾燥性。閱讀背面之注意事項頁經濟部中央標準局員工消費合作社印製 83. 3. !〇,〇〇〇本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -53 -

Claims

474989 六中 1 . 一種洗 0 . 0 0 1 〜2 有至少一種基礎對象物的洗滌劑機基矽氧烷類及中聚有機基矽氧至少一種成份的 °度以內，且以下式（ A8 B8 C8 D8 \r〇^/(y^^ ；;；/->； ί ' 83104538號專利申請案文申請專利範圍修正本民國9 0年1 1月修正滌劑組成物，其係洗滌至少有一部分爲 0 0 0 //m距離之空隙部份，並附著由含油、油性劑及特壓劑所構成之污垢之洗滌組成物，其特徵爲含有至少一種選自聚有溶解油性垢之有機溶劑之洗滌劑成分，其烷類係由至少一種選自與上述構成污垢的溶解度參數差爲3以下，且接觸角爲1 5 1 )表示之直鏈狀聚二有機矽氧烷 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) R-! 一 Si-( /1 E * (I) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Sir( (式中R爲相同或不同之取代或非取代的一價有機基，1 爲〇〜5的整數），及以一般式（II)表示之環狀聚二有機基矽氧烷 (II) 式中R爲相同或不同之取代或非取代的一價有機基本紙張尺度適用中國國家梂率（CNS ) A4規格（210X297公釐） 474989 A8 B8 C8 D8 夂、申請專利範圍爲3〜7的整數）之低分子量聚有機基矽氧烷所構成。 2 ·如申請專利範圍第1項的洗滌劑組成物，其中含有與構成該污垢之5重量％以上成分的溶解度參數差爲3 以下’且接觸角爲1 5°以內之洗滌成分。 3 .如申請專利範圍第1項之洗滌劑組成物，其中溶解前述油性污垢的有機溶劑爲至少一種選自正及異構鏈烷烴類’烯烴類之脂肪族烴化合物，環烷烴類，環烯烴類之脂環族烴化合物，芳香族烴化合物，醇類，酮類，酯類，脂肪酸類，氟化烴類者。， 4 · 一種洗滌方法，其係洗滌至少有一部分具有 0. 〇〇1〜2000/zm距離之空隙部份，並附著由含有至少一種基礎油、油性劑及特壓劑所構成之污垢之洗滌對象物的洗滌方法，其特徵係以含有下述洗滌成分之洗滌劑洗滌者，其中洗滌劑成份爲至少一種選自聚有機基矽氧烷類及溶解油性污垢之有機溶劑，該聚有機基矽氧烷類爲由至少一種選自與上述構成污垢的至少一種成份的溶解度參數差爲3以下，且接觸角爲1 5°以內，且以下式（I )表示之直鏈狀聚二有機矽氧烷 ? . /Γ ?； E-Sr-〇T"Si-"0^一............... (1·) t V R /1 R *. •… 、’. • · (式中R爲相同或不同之取代或非取代的一價有機基，1 爲〇〜5的整數），及以一般式（I I )表示之環狀聚二本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4洗格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 474989 A8 B8 C8 _____ D8々、申請專利範圍有機基矽氧烷

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中R爲枏同或不同之取代或非取代的一價有機基，m 爲3〜7的整數）之低分子量聚有機基矽氧烷所構成。 5·如申請專利範圍第4項的洗滌方法，其中污垢爲金屬加工油’該洗滌劑含有與構成該污垢之5重量％以上成分的溶解度參數差爲3以下，且接觸角爲1 5°以內之洗滌成分。 6·如申請專利範圍第4項或第5項的洗滌方法，其中該污垢爲金屬加工油，構成該金屬加工油成分的基礎油 ’油性劑及特壓劑之各成分中配合洗滌劑成分，各洗滌劑成分的配合比例係前述基礎油，油性劑及極壓劑之配合比例的±20重量％。 7. 如申請專利範圍第4項至第6項中任一項的洗滌方法’其中含有，洗滌至少一部分具有空隙部分之洗條對象物的步驟，及乾燥前述洗滌對象的步驟。 8. 如申請專利範圍第7項洗滌方法，其中乾燥步驟係使用至少一種選自全氟化合物，氫氟化合物，氫氯氟化合物及六甲基二矽氧烷的洗滌劑作爲蒸氣洗滌劑進行蒸氣乾燥。本紙張尺度逍用中國國家橾準（CNS ) A4说格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) f. 474989 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 9.如申請專利範圍第8項的洗滌方法，其中乾燥步驟係使用至少一種選自全氟化合物及氫氟化合物之洗滌劑作爲蒸氣洗滌劑之蒸氣乾燥。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) Α4洗格（210 X 297公釐）