JP3115781B2 - 洗浄方法および洗浄装置 - Google Patents
洗浄方法および洗浄装置Info
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-
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- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/26—Cleaning or polishing of the conductive pattern
Description
ロン系溶剤、塩素系溶剤、低級アルコール類に代る非水
系洗浄剤を用いた洗浄方法および洗浄装置に関する。
部品、半導体部品等の水洗後の乾燥方法としては、フロ
ン113 に代表されるフロン系溶剤を水切り洗浄剤として
用いる方法が一般的である。また、上記したフロン系溶
剤や、トリクロロエタン、トリクロロエチレン、テトラ
クロロエチレン、四塩化炭素等の有機溶剤は、油汚れ等
を除去するための洗浄剤としても幅広く使用されてい
る。
破壊に繋がり、人体や生物系に深刻な影響を与えること
が明らかとなってきたことから、オゾン破壊係数の高い
フロン12やフロン113 等は、世界的な規模で段階的に使
用を削減し、将来的には全廃する方向に進んでいる。ま
た、トリクロロエチレンやテトラクロロエチレン等の塩
素系有機溶剤も、土壌や地下水等の汚染を引起こす等の
環境問題にからんで、使用規制が強化される方向に進ん
でいる。このような状況下にあって、現状のフロン系溶
剤よりオゾン破壊係数の低いフロン系物質が開発されつ
つあり、既に工業的生産が一部で進められているが、こ
れらとてもオゾン層の破壊が皆無ではないことから、好
ましい代替洗浄剤とは目されていない。
脱脂洗浄剤の代替品として、環境破壊や環境汚染を引起
こすことがない、界面活性剤や親水性溶剤等を用いた水
系の洗浄剤が見直され始めている。しかし、このような
洗浄剤では、浸透力が弱く、例えば部品細部へ侵入した
汚れや中粘度から高粘度のこびりついた油汚れに対して
は充分な洗浄力を発揮することができないという問題が
ある。
替品として、各種界面活性剤を用いた洗浄剤等が検討さ
れているが、フロン系溶剤に匹敵するような水切り効果
は得られていないのが現状である。また、上述した有機
溶剤系洗浄剤を水切り洗浄剤として使用した場合、洗浄
剤の比重が大きくなり、油脂はもちろんのこと水も洗浄
剤の上に浮上してしまい、油と水とは互いに接触した形
で洗浄剤から分離される。このように互いに接触してい
る油と水については、これらを別々に取り出すことが困
難であり、また油と水それぞれの廃棄方法が異なること
から、廃液処理の点で問題が生じている。また、界面活
性剤等を用いた洗浄剤は、水との相溶性が高いために、
これら洗浄剤を分離精製して、再使用することは非常に
困難である。
おいては、浸漬洗浄、気化洗浄、シャワー洗浄等の各種
洗浄工程を一括する機構を採用し、洗浄効率を高めるこ
とも行われているが、あくまでも単一種類の洗浄剤を使
用することが前提となっている。これは、複数の洗浄剤
を一連の洗浄工程内で使用すると、洗浄剤の回収・再使
用が困難となることによる。このことは、例えば単独で
は発揮し得ない洗浄効果を、複数の洗浄剤を用いること
によって実現しようとした場合に大きな障害となる。
り洗浄剤を含む従来の洗浄剤のうち、フロン系溶剤等の
有機溶剤系洗浄剤は、環境破壊を引き起こすという重大
な欠点を有していた。また、これら有機溶剤系の代替品
として検討されている現状の洗浄剤は、十分な効果が得
られないという問題を有していた。一方、従来の洗浄方
法や洗浄装置では、洗浄剤の再利用や、除去した水や汚
れ物質の廃棄の点で難点があった。さらに、洗浄剤を効
率よく再利用しようとすると、異なる複数の洗浄剤を使
用することが困難となるという難点を有していた。
および洗浄装置が抱えている課題に対処するためになさ
れたものであり、フロン系溶剤等を使用した洗浄に匹敵
する、洗浄性、水置換性、乾燥性等が得られる洗浄方法
および洗浄装置を提供することを目的とするものであ
る。また、本発明の他の目的は、複数の洗浄剤を使用す
るにあたって、洗浄剤の再利用を可能とした洗浄方法お
よび洗浄装置を提供することにある。さらに、本発明の
他の目的は、被洗浄物から除去した水や汚れ物質を効率
よく廃棄することを可能にした洗浄方法および洗浄装置
を提供することにある。
における第1の洗浄方法は、
価の炭化水素基、 lは 0〜 5の整数を示す)で表される
直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
価の炭化水素基、m は 3〜 7の整数を示す)で表される
環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも
1種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的にな
る有機ケイ素系洗浄剤と、炭素数 4〜30の脂肪族炭化水
素系洗浄剤との混合物からなる非水系基礎洗浄剤に、洗
浄性能向上剤を添加した洗浄剤で、被洗浄物を洗浄する
第1の洗浄工程と、前記第1の洗浄工程を経た前記被洗
浄物を、前記非水系基礎洗浄剤単独で洗浄する第2の洗
浄工程とを有することを特徴としている。
炭素数 4〜30の脂肪族炭化水素系洗浄剤からなる非水系
基礎洗浄剤に洗浄性能向上剤を添加した洗浄剤で、被洗
浄物を洗浄する第1の洗浄工程と、前記第1の洗浄工程
を経た前記被洗浄物を、前記非水系基礎洗浄剤単独で洗
浄する第2の洗浄工程とを有することを特徴としてい
る。
た (1)式や (2)式で表される低分子量ポリオルガノシロ
キサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤と、炭素数
4〜30の脂肪族炭化水素系洗浄剤との混合物からなる非
水系基礎洗浄剤に、洗浄性能向上剤を添加した洗浄剤を
用いた洗浄槽を有し、被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する
第1の洗浄手段と、前記非水系基礎洗浄剤を単独で用い
た洗浄槽を有し、前記第1の洗浄手段を経た前記被洗浄
物を前記洗浄槽で洗浄する第2の洗浄手段とを具備する
ことを特徴としている。
炭素数 4〜30の脂肪族炭化水素系洗浄剤からなる非水系
基礎洗浄剤に洗浄性能向上剤を添加した洗浄剤を用いた
洗浄槽を有し、被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する第1の
洗浄手段と、前記非水系基礎洗浄剤を単独で用いた洗浄
槽を有し、前記第1の洗浄手段を経た前記被洗浄物を前
記洗浄槽で洗浄する第2の洗浄手段とを具備することを
特徴としている。
剤としては、例えば水分の分離を可能とするような水切
り洗浄剤や、油脂汚れの除去に使用される脱脂洗浄剤等
が例示される。ここで用いられる非水系基礎洗浄剤は、
上述したように (1)式や (2)式で表される低分子量ポリ
オルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄
剤と炭素数 4〜30の脂肪族炭化水素系洗浄剤との混合
物、あるいは炭素数 4〜30の脂肪族炭化水素系洗浄剤で
ある。洗浄性能向上剤としては、例えば上記非水系基礎
洗浄剤に添加することによって、洗浄性能や水切り性能
を付与・向上させる界面活性剤や親水性溶剤等が例示さ
れる。また、本発明の第2の洗浄工程は、基本的には上
記非水系基礎洗浄剤を用いたすすぎ洗浄工程となる。
これら単独でも、金属部品、電子部品、半導体部品、塗
装部品等の各種被洗浄物の細部に対する優れた浸透力や
揮発性を有し、かつ防錆性を付与すると共に、水との良
好な置換性を示し、かつ60℃以下の温風での揮散、乾燥
性を有するものである。なお、上記 (1)式で表される直
鎖状構造を有するポリジオルガノシロキサンと、上記
(2)式で表される環状構造を有するポリジオルガノシロ
キサンとは、共用することも可能である。
たは非置換の 1価の炭化水素基であり、例えばメチル
基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基、
フェニル基等の 1価の非置換炭化水素基や、トリフルオ
ロメチル基等の 1価の置換炭化水素基等が例示される
が、系の安定性、揮発性の維持等からメチル基が最も好
ましい。上記低分子量ポリオルガノシロキサンとして
は、環状構造を有するものが好ましく、さらにオクタメ
チルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタ
シロキサンおよびこれらの混合物が好適である。
キサンは、分子構造を適当に選択することによって、そ
の洗浄剤の比重Ddgを下記の (A)式もしくは (B)式を満
足させることができる。
比重を、Odgは対象とする油脂系汚れの比重を示す) 例えば、 (B)式を満足させることによって、水と油脂系
汚れとを分離することが可能となり、洗浄剤の浄化およ
び廃液処理が容易となる。
数が 4〜30の範囲の分枝状や直鎖状の脂肪族炭化水素
(以下に、単に脂肪族炭化水素系洗浄剤と記す)からな
り、例えば炭素数が 4〜30のイソパラフィン系洗浄剤が
挙げられる。このイソパラフィン系洗浄剤としては、揮
発性イソパラフィンから実質的になるものが挙げられ、
特に C4 〜 C15の留分を主体とするイソパラフィンが洗
浄性能の点から好ましい。イソパラフィン系洗浄剤は、
上記揮発性イソパラフィンの 1種または 2種以上の混合
物として使用される。このような脂肪族炭化水素系洗浄
剤は、揮発性を有すると共に、無害、無臭であり、上記
した有機ケイ素系洗浄剤と同様な効果を示すものであ
る。
炭化水素系洗浄剤は、単独で使用してもよいし、また有
機ケイ素系洗浄剤と混合して非水系基礎洗浄剤として用
いることも可能である。例えば、有機ケイ素系洗浄剤に
イソパラフィン系洗浄剤等の脂肪族炭化水素系洗浄剤を
配合すると、凝固点を大幅に低下させるという効果が得
られ、寒冷地での使用を容易にすると共に、洗浄性能の
向上も図れる。
合する洗浄性能向上剤としては、前述したように界面活
性剤や親水性溶剤等が例示される。界面活性剤は活性を
発揮する化学構造により、カチオン系、アニオン系、ノ
ニオン系、両性系およびこれらの複合系に分類される
が、本発明においてはそれらのいずれをも使用すること
が可能である。これら界面活性剤は、特に洗浄性の向上
に寄与するものである。これら界面活性剤のうち、本発
明において好ましく用いられるものとしては、ポリオキ
シアルキレンアルキルエーテルスルホン酸塩、リン酸エ
ステル等のアニオン系界面活性剤、多価アルコール脂肪
酸エステル、ポリオキシアルキレン脂肪酸エステル、ポ
リオキシアルキレンアルキルエーテル等のノニオン系界
面活性剤、イミダゾリン誘導体等の両性界面活性剤、ア
ルキルアミン塩、アルキル第4級アンモニウム塩等のカ
チオン系界面活性剤等が例示され、その他には単一物質
で存在することは少ないが、天然物から抽出されるテル
ペン系化合物や高級脂肪酸エステル等が挙げられる。ま
た、上述したような各種化合物の化学構造の一部をフッ
素原子やケイ素原子で置き換えた合成化合物を用いるこ
とも可能である。
礎洗浄剤に対して相溶性を有するものが用いられ、特に
引火点が40℃以上のものが実用上好適である。このよう
な親水性溶剤としては、エチレングリコールモノメチル
エーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エ
チレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリ
コールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブ
チルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブ
チルエーテル等の多価アルコールとその誘導体等が例示
され、非水系基礎洗浄剤との相溶性、人体への安全性等
の点からジエチレングリコールモノブチルエーテルが特
に好ましい。これら化合物は、低分子量ポリオルガノシ
ロキサン等との共存下で揮発性が向上するために、この
配合品のみでの水置換、乾燥も可能である。また、非水
系基礎洗浄剤の種類や用途によっては、エチルアルコー
ルのような低級アルコールやアセトン等を使用すること
も可能である。さらに、
nおよび pはそれぞれ 0〜10の整数で、かつ n+p≧1 を
満足する)で表されるポリオキシアルキレンアルキルエ
ーテルは、非水系基礎洗浄剤としてイソパラフィン系洗
浄剤等の脂肪族炭化水素系洗浄剤を使用する際に好適で
ある。
向上剤は、基本的には第1の洗浄工程では非水系基礎洗
浄剤に洗浄性能向上剤を添加したものとして、また第2
の洗浄工程では非水系基礎洗浄剤単独で使用するものと
する。非水系基礎洗浄剤と洗浄性能向上剤とは、用途に
応じて各種の組み合せによって使用することが可能であ
り、例えば脱脂洗浄剤として使用する際には、非水系基
礎洗浄剤に界面活性剤または親水性溶剤、あるいはこれ
ら両者を配合したものが好適である。有機ケイ素系洗浄
剤とイソパラフィン系洗浄剤等の脂肪族炭化水素系洗浄
剤との混合物を非水系基礎洗浄剤として用い、これに上
記したような洗浄性能向上剤を配合して用いることがで
きる。また、水切り洗浄剤として使用する際には、非水
系基礎洗浄剤単独で使用することも可能であるが、界面
活性剤や親水性溶剤を添加したものが好ましい。特に親
水性溶剤が好適である。なお、第1の洗浄工程における
非水系基礎洗浄剤と、第2の洗浄工程における非水系基
礎洗浄剤とは、必ずしも一致させる必要はなく、例えば
第1の洗浄工程で有機ケイ素系洗浄剤を使用し、第2の
洗浄工程で脂肪族炭化水素系洗浄剤を使用するようなこ
とも可能である。
とは、上述したような各種の組み合せによって使用する
ことが可能であるが、それぞれの溶解性を考慮して混合
することが好ましい。例えば、溶解度因子(以下、SP値
と称する)の差が 4以下となるように組み合せることが
好ましい。また、SP値の差が大きい液体どおしを混合す
る際には、中間的なSP値を有する液体を混合媒体として
配合してもよい。
されるものではないが、脱脂洗浄剤として使用する際に
は、非水系基礎洗浄剤 100重量部に対して50重量部以下
が好ましく、さらに好ましくは20重量部以下である。ま
た、水切り洗浄剤として使用する際には、非水系基礎洗
浄剤 100重量部に対して20重量部以下が好ましく、さら
に好ましくは 3重量部以下である。一方、親水性溶剤の
配合比も特に限定されるものではないが、脱脂洗浄剤と
して使用する際には、非水系基礎洗浄剤 100重量部に対
して50000 重量部以下が好ましく、さらに好ましくは 1
0000重量部以下である。また、水切り洗浄剤として使用
する際には、非水系基礎洗浄剤 100重量部に対して 100
重量部以下が好ましく、さらに好ましくは50重量部以下
である。本発明の洗浄方法においては、上述したような
洗浄工程の後に、乾燥処理を施すことによって洗浄工程
が終了する。この乾燥処理工程としては、60℃以下とい
うような比較的低温での温風乾燥でも十分な効果が得ら
れる。また、温風乾燥に代えて、イソプロピルアルコー
ル(以下、IPAと記す)等の蒸気洗浄剤による蒸気乾
燥を行ってもよい。蒸気乾燥によれば、乾燥仕上げをよ
り良好にすることができ、精密洗浄等に好適である。ま
た、本発明の対象となる被洗浄物としては、金属、セラ
ミックス、プラスチック等であり、さらに具体的には金
属部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部
品、精密機械部品、光学部品、ガラス部品、セラミック
ス部品等である。
系基礎洗浄剤に洗浄性能向上剤を添加した洗浄剤による
第1の洗浄手段と、上記非水系基礎洗浄剤による第2の
洗浄手段とを具備することを特徴としている。また、第
2の洗浄手段の後には、温風乾燥等の乾燥手段が設けら
れる。そして、上記第1および第2の洗浄手段から回収
した非水系基礎洗浄剤と洗浄性能向上剤との混合物か
ら、非水系基礎洗浄剤のみを分離回収する手段を設ける
ことにより、複数の洗浄剤を使用しているにも拘らず、
洗浄剤を効率よく回収・再利用することが可能となる。
また、分離回収された非水系基礎洗浄剤は、再供給手段
によって第1の洗浄手段または第2の洗浄手段に再供給
される。さらに、洗浄剤の下方に沈降分離された水分を
除去する手段や洗浄剤の上方に浮上分離された油脂系汚
れを除去する手段を設けることによって、被洗浄物から
分離した水や油脂系汚れを効率よく、かつ個々に廃棄す
ることができる。なお、上記洗浄手段としては、浸漬槽
や吹付け槽等が例示され、また超音波、揺動、機械的撹
拌等を併用することが可能である。
明する。
成を示す図である。同図に示す洗浄装置は、大別して洗
浄・水置換工程Aと、清浄化・水切り工程Bと、洗浄剤
再生機構Cとから構成されている。第1の工程となる洗
浄・水置換工程Aには、沈降分離機能とオーバーフロー
分離機能とを合せ持つ第1の洗浄槽1および第2の洗浄
槽2と液切り槽3とが設けられている。
は、沈降分離機能とオーバーフロー分離機能とを合せ持
つものであるが、これは被洗浄物Xに付着しているもの
の種類によって選択すればよく、沈降分離機能単独、オ
ーバーフロー分離機能単独でも被洗浄物によっては十分
に機能する。また、第1の工程における洗浄槽は、洗浄
時間や洗浄品質等によって、単槽や多槽連結槽から選択
すればよく、多槽連結槽における槽数等も同様である。
を使用しており、第1の洗浄槽1および第2の洗浄槽2
間は、ドレン配管2aとオーバーフロー管2bとにより
連結されている。また、第1の洗浄槽1や第2の洗浄槽
には、必要に応じて超音波、揺動、機械的撹拌、洗浄剤
加温、ブラッシング等が併用され、これらにより洗浄性
能がより向上される。
前述した有機ケイ素系洗浄剤やイソパラフィン系洗浄剤
等の脂肪族炭化水素系洗浄剤、およびこれらの混合物等
からなる非水系基礎洗浄剤に、界面活性剤を添加した水
切り洗浄剤D1 がそれぞれ収容されている。この界面活
性剤を含む水切り洗浄剤D1 は、その比重が水より小さ
く、かつ油脂系汚れより大きく設定されている。したが
って、被洗浄物Xにより持ち込まれた水Yは、第1およ
び第2の洗浄槽1、2に収容された洗浄剤D1の下方に
それぞれ沈降分離される。また、油脂系汚れZは、第1
および第2の洗浄槽1、2に収容された洗浄剤D1 の上
方にそれぞれ浮上分離される。
ドレン配管2aによって間欠的に第1の洗浄槽1側に排
出される。また、第1の洗浄槽1で沈降分離された水Y
は、ドレン配管4によって間欠的に後述する洗浄剤再生
機構Cへと排出される。また、液切り槽3に設けられた
ドレン配管3aも、洗浄剤再生機構Cと接続されてい
る。また、第1の洗浄槽1および第2の洗浄槽2で浮上
分離された油脂系の汚れZは、順次オーバーフローし、
第1の洗浄槽1に設けられたオーバーフロー管5から系
外に排出される。
容された水切り洗浄剤D1 は、循環用配管6aによって
第1の洗浄槽1から抜き取られ、フィルタ6によって洗
浄剤D1 中の固体物、水粒子、未溶解物質等が除去され
た後、第2の洗浄槽2内に還流される。このフィルタ6
を介した循環によって、洗浄剤D1 は常時浄化されてお
り、洗浄工程上での下流側となる洗浄槽2の洗浄剤D1
がより清浄な状態を維持することが可能とされている。
ている水分は、上記フィルタ6によって容易に分離除去
される。上記フィルタ6は、洗浄・水切り対象の材料や
内容によって種々選択されるが、例えば 0.1〜20μm 程
度のポアサイズを有するミクロポーラスなセラミックス
フィルタ、ガラスフィルタ、有機高分子系のフィルタ、
さらにはこれらの複合系フィルタ等が好ましく使用され
る。
程Bには、第3の洗浄槽7とシャワーリンス槽8とが設
けられている。シャワーリンス槽8の下方には、バッフ
ァタンク9が設けられており、このバッファタンク9お
よび第3の洗浄槽7間は、ドレン配管9aとオーバーフ
ロー管9bとにより連結されている。この第3の洗浄槽
7にも、必要に応じて超音波、揺動、機械的撹拌、洗浄
剤加温、ブラッシング等が併用される。
Aで使用した非水系基礎洗浄剤のみの洗浄剤D2 が収容
されている。なお、非水系基礎洗浄剤の具体的な種類
は、上記第1の工程Aで使用した非水系洗浄剤と同一と
されている。この洗浄剤D2 は、その比重が水より小さ
く、かつ油脂系の汚れより大きく設定されている。した
がって、第1の工程Aにおける洗浄槽と同様に、水Yは
洗浄剤D2 の下方に沈降分離され、また油脂系の汚れZ
は洗浄剤D2 の上方に浮上分離される。第3の洗浄槽7
で沈降分離された水Yは、ドレン配管10によって間欠
的に洗浄剤再生機構Cへと排出される。また、第3の洗
浄槽7で浮上分離された油脂系の汚れZは、オーバーフ
ロー管11から系外に排出される。
剤D2 は、常時フィルタ12を介して循環されており、
このフィルタ12によって洗浄剤D2 中の固体物、水粒
子、未溶解物質等が除去される。
・再使用について説明する。
槽1、2、7および液切り槽3に設けられた各ドレン配
管4、3a、10は洗浄剤再生機構Cに接続されてい
る。各洗浄槽に収容された洗浄剤D1 またはD2 は、フ
ィルタ6、12によって常時浄化されているが、洗浄剤
の汚れがひどくなった際には、各ドレン配管4、10に
よって洗浄剤再生機構Cに送水ポンプ13によって送ら
れて分溜精製される。また、液切り槽3に溜まった洗浄
剤D1 も間欠的に洗浄剤再生機構Cに送られる。洗浄剤
再生機構Cでは、まず濾過器14により液体と固体との
分離が行われ、固体分は廃棄され、液体のみ蒸留器15
へ送られる。この蒸留器15では洗浄剤中の各成分、
水、油脂系汚れ等の沸点の差を利用して分離が行われ
る。また、蒸留器15にて残留した水分等はデカンタ1
6によりさらに分離される。なお、蒸留器15に導入す
る前に、予めコアレッサ等で水分の分離除去を行っても
よい。ここで、上記洗浄装置で使用している洗浄剤にお
いて、水切り洗浄剤D1 は、非水系基礎洗浄剤のみの洗
浄剤D2 に界面活性剤を添加したものであるため、洗浄
剤D1 および洗浄剤D2 それぞれから非水系基礎洗浄
剤、すなわち洗浄剤D2を分離抽出することができ、洗
浄剤D2 が再生される。また、この再生された洗浄剤D
2 以外の成分、すなわち界面活性剤や水分等は廃棄され
る。この再生された洗浄剤D2 は、配管17によりシャ
ワーリンス槽8、第3の洗浄槽7、もしくは第2の洗浄
槽2に洗浄剤D1 を供給する配合器18へと送られる。
D2 もしくは洗浄剤供給配管19から送られてきた新規
な洗浄剤D2 によって、不純物を含まない洗浄剤D2 の
みでシャワー洗浄が行われる。また、配合器18では、
再生もしくは新規の洗浄剤D2 と、界面活性剤供給配管
20から送られてきた新規な界面活性剤、もしくは界面
活性剤が事前に濃厚に配合された洗浄剤とが混合され、
新たに洗浄剤D1 が調合される。この洗浄剤D1 は、必
要に応じて第2の洗浄槽2に供給される。
程は例えば以下に示す通りである。被洗浄物Xに水分Y
および油脂系汚れZが付着している場合、まず第1の工
程Aの第1の洗浄槽1および第2の洗浄槽2に順に浸漬
され、油脂系汚れZの除去と水分Yと水切り洗浄剤との
置換が行われる。この後、液切り槽3上で被洗浄物X表
面に付着している洗浄剤D1 が除去される。
洗浄槽7で被洗浄物X表面に残存している界面活性剤が
除去されると共に、水切りが行われた後、シャワーリン
ス槽8により不純物を含まない洗浄剤D2 のみでシャワ
ー洗浄が行われて、表面の最終的な浄化と水切りが行わ
れる。
乾燥処理が施されて洗浄工程が終了する。また、この温
風乾燥に代えて、IPA等による蒸気乾燥(洗浄)を行
ってもよい。
燥)を行う場合、この系において次の点が特に有効であ
ることにきづいた。すなわち、蒸気洗浄剤と前工程か
ら持ち込まれる液との相溶性、蒸気洗浄剤の蒸発潜熱
および蒸気洗浄剤と前工程から持ち込まれる液との蒸発
潜熱の差、沸点を考慮しなければならない点である。
上記については、分子どうしの水素結合や極性基の相
互作用をさらに考慮しなければならない場合もあるが、
しかしながら前工程から持ち込まれる液とのSP値の差が
4以下の蒸気洗浄剤を用いることが特に有効な要因とな
ることが分かった。これは、蒸気洗浄は被洗浄物表面で
結露した蒸気洗浄剤中に、被洗浄物に付着している液体
を溶かし、洗い流すことによって行われるためであり、
蒸気洗浄剤と前工程から持ち込まれる液とのSP値の差が
4を超えると、十分な置換性が得られなくなる。より好
ましいSP値の差は 3以下であり、さらに好ましくは 2以
下である。
れる液との蒸発潜熱の差が 5倍以下の蒸気洗浄剤を用い
ることが好ましい。つまり、蒸発潜熱の差が 5倍を超え
ると、蒸発速度が大きく異なることから、蒸発潜熱の大
きい液体が被洗浄物上に残り、シミ等として残存する可
能性が大きくなる。より好ましい蒸発潜熱の差は 3倍以
下であり、さらに好ましくは 2倍以下である。なお、上
記蒸発潜熱の差を満足する際には、蒸気洗浄剤の蒸発潜
熱はより小さいことが好ましい。この蒸発潜熱の値自体
としては、200cal/g以下が好ましく、より好ましくは10
0cal/g以下であり、さらに好ましくは 50cal/g以下であ
る。本発明の系においては、上記およびを満足させ
ることが特に重要である。
洗浄時の被洗浄物表面の温度より高いことが必要ある。
好ましい沸点の値としては、被洗浄物表面の温度より20
℃以上高い値であり、より好ましくは被洗浄物表面の温
度より30℃以上高い値であり、さらに好ましくは50℃以
上高い値である。ただし、この沸点と被洗浄物表面の温
度との差は、被洗浄物表面の温度によって制御すること
も可能である。すなわち、蒸気洗浄工程の前に被洗浄物
表面の温度を低下させればよい。このの条件を満足さ
せることにより、より良好な状態が得られる。
おいては、有機ケイ素系洗浄剤やイソパラフィン系洗浄
剤等の脂肪族炭化水素系洗浄剤が用いられる。有機ケイ
素系洗浄剤は、SP値が約 7、蒸発潜熱が約35cal/g 程度
である。イソパラフィン系洗浄剤は、SP値が約 6〜 8、
蒸発潜熱が約50〜 90cal/g程度である。これらの値を考
慮すると、上述したIPA(SP値=11、蒸発潜熱=161c
al/g、沸点=82℃)は、上記〜の条件を全て満足し
ている。
的には上記およびの条件を満足するものであればよ
く、より好ましくはの条件をも満足するものである。
このような条件を満足するものであれば、上記IPA以
外にも使用することが可能であり、例えば 一般式: Cn F 2n+2 (式中、 nは 4〜12の整数を示す)で表されるようなペ
ルフルオロ化合物や、さらに
ある。これらペルフルオロ化合物は、SP値が 5〜 6程
度、蒸発潜熱が 20cal/g程度であり、また沸点は50℃〜
200℃程度まで各種のものがあり、上記〜の条件を
全て満足するものである。実際の洗浄にあたっては、50
℃〜 150℃程度の沸点を有するものが好ましい。なお、
ペルフルオロ化合物は、ほとんどの有機溶剤と相溶性を
示さないため、従来はパーティクルを除去するため以外
の蒸気洗浄剤として使用することができなかったが、本
発明においては、有機ケイ素系洗浄剤やイソパラフィン
系洗浄剤等の脂肪族炭化水素系洗浄剤をすすぎ洗浄剤と
して使用しており、これらと相溶性を示す(SP値の差が
4以下)ため、蒸気洗浄剤として使用することができ
る。
物等の蒸気洗浄剤は、それ単独で用いなければならない
ものではなく、例えばこれらの混合物として、あるいは
前述した有機ケイ素系洗浄剤やイソパラフィン系洗浄剤
等の脂肪族炭化水素系洗浄剤、さらにはアセトン等の他
の有機溶剤を配合した組成物として用いることも可能で
ある。なお、配合する有機溶剤として、フロン系溶剤や
塩素系溶剤等を必ずしも排除するものでない。これは、
もちろん環境汚染の点からいえば用いない方がよいが、
その全廃の途中過程としては有用である。このように、
混合物を蒸気洗浄剤として使用する際には、混合するも
のどうしのSP値や蒸発潜熱を、上記およびの条件を
満足させることが好ましい。それぞれの数値は、上述し
た値と同様である。また、中間的なSP値や蒸発潜熱を有
する有機溶剤を介在させることも有効である。
した有機ケイ素系洗浄剤および/またはイソパラフィン
系洗浄剤等の炭素数 4〜30の脂肪族炭化水素系洗浄剤
と、IPA、エタノール、メタノール、アセトン、ジオ
キサン等の有機溶剤とを配合した組成物は、一液にて脱
脂洗浄から乾燥まで行うことが可能な、非常に有用な一
液型洗浄組成物である。この一液型洗浄組成物の配合比
としては、上記ペルフルオロ化合物 100重量部に対し
て、有機ケイ素系洗浄剤および/または脂肪族炭化水素
系洗浄剤を0.01〜1000重量部、他の有機溶剤を0.01〜10
00重量部とすることが好ましい。これらのより好ましい
配合比は、それぞれ 0.1〜 100重量部の範囲である。こ
の一液型洗浄組成物は、脱脂洗浄力および水切り性を示
し、かつ同一組成で蒸気洗浄も可能であるため、一液に
て脱脂洗浄から乾燥まで行うことができる。
象として説明したが、使用する洗浄剤の種類を変更する
ことによって、脱脂洗浄に使用することも可能である。
温風乾燥により、約 5分程度で乾燥が可能である。な
お、従来法による湯洗後に温風乾燥を行う方法では、 1
20℃〜150℃という高温にしても、15分程度の乾燥時間
が必要である。そして温風乾燥後、ワークの温度が高く
ないため、そのまま次工程に送ることができる等、乾燥
後のワーク冷却用スペースおよび冷却時間が不必要とな
り、大幅な生産性の向上が達成される。また、単に乾燥
時間が短いだけではなく、一度に洗浄処理するロット内
の水切り乾燥ムラもなくなり、品質も大幅に向上する。
さらに、被洗浄物の洗浄ムラに起因するクラック発生に
よる不良も皆無となり、品質水準を大幅に向上すること
ができる。
浄剤として、その比重が水より小さくかつ油脂系汚れよ
り大きいものを使用していることから、油脂層と水層の
間に比重差により洗浄剤の層が入り、油脂層と水層とが
直接接触することが避けられ、油脂と水とを完全に分離
することが可能となり、それぞれに応じた廃棄処理を効
率よく行うことが可能となる。なお、油水完全分離後、
油と水をそれぞれ洗浄剤より除去するが、除去された油
脂および水中に微量の洗浄剤が混入する可能性が残る。
しかし、油脂中に混入した洗浄剤は、廃油焼却時に洗浄
剤も容易に燃焼し、焼却することに問題は生じない。ま
た、水中に混入した洗浄剤については、フィルタや蒸溜
器等により容易に水と分離するので問題とならない。
ることにより、洗浄剤を効率よく、かつ有効に使用する
ことができると共に、複数の洗浄剤の使用も可能とな
る。これは、洗浄剤の使用量を大幅に削減することに繋
がり、ランニングコストの大幅な低減に寄与する。ま
た、IPA蒸気乾燥の前工程として、本発明の洗浄装置
を用いることにより、再生IPA内に水分が混入するこ
とが防止され、またIPAと上記水切り洗浄剤との沸点
の差が大きいことから、IPAのみの蒸気洗浄が可能と
なる。なお、水とIPAとは沸点が近いために、水分を
除去することが困難であり、ウォーターマーク等の原因
となっている。
る。図2は、本発明の他の実施例の洗浄装置の構成を示
す図である。同図に示す洗浄装置は、大別して洗浄工程
Dと、すすぎ洗浄工程Eと、乾燥工程Fと、洗浄剤再生
機構Gとから構成されている。第1の工程となる洗浄工
程Dには、第1の洗浄槽21および第2の洗浄槽22
と、液切り槽23とが設けられている。なお、洗浄工程
Dにおける洗浄槽は、洗浄時間や洗浄品質等によって、
単槽や多槽連結槽から選択すればよく、多槽連結槽にお
ける槽数等も同様である。また、第1の洗浄槽21や第
2の洗浄槽22には、必要に応じて超音波、揺動、機械
的撹拌、洗浄剤加温、ブラッシング等が併用され、これ
らにより洗浄性能がより向上される。
は、前述した有機ケイ素系洗浄剤やイソパラフィン系洗
浄剤等の脂肪族炭化水素系洗浄剤、およびこれらの混合
物等からなる非水系基礎洗浄剤に、親水性溶剤を添加し
た脱脂洗浄剤D3 がそれぞれ収容されている。この親水
性溶剤を含む洗浄剤D3 は、親水性溶剤により付与され
た洗浄能力によって、被洗浄物Xにより持ち込まれた油
脂系汚れを洗浄剤D3中に溶解するものである。なお、
第1の洗浄槽21だけでは、被洗浄物Xに付着した汚れ
の溶解除去が不十分な場合に、第2の洗浄槽22でさら
に洗浄を行うようにしてもよい。
2に収容された洗浄剤D3 、および液切り槽23に持ち
込まれた洗浄剤D3 は、それぞれの槽に接続されたドレ
ン配管21a、22a、23aによって、洗浄剤再生機
構Gに送られる。また、第1の洗浄槽21および第2の
洗浄槽22には、それぞれフィルタ24、25が接続さ
れており、洗浄剤D3 中の固体物、未溶解物質等が除去
された後に、それぞれの槽内に還流される。上記フィル
タ24、25は、洗浄対象の材料や内容によって種々選
択されるが、例えば 0.1〜20μm 程度のポアサイズを有
するミクロポーラスなセラミックスフィルタ、ガラスフ
ィルタ、有機高分子系のフィルタ、さらにはこれらの複
合系フィルタ等が好ましく使用される。
には、第3の洗浄槽26とシャワーリンス槽27とが設
けられている。第3の洗浄槽26には、上記第1の工程
Dで使用した非水系基礎洗浄剤のみの洗浄剤D4 が収容
されている。シャワーリンス槽27の下方には、バッフ
ァタンク28が設けられており、これらバッファタンク
28および第3の洗浄槽26は、それぞれドレン配管2
8a、26aにより洗浄剤再生機構Gと接続されてい
る。この第3の洗浄槽26にも、必要に応じて超音波、
揺動、機械的撹拌、洗浄剤加温、ブラッシング等が併用
される。第3の洗浄槽26内に収容された洗浄剤D
4 は、常時フィルタ29を介して循環されており、この
フィルタ29によって洗浄剤D4 中の固体物、未溶解物
質等が除去される。
は、蒸気洗浄(乾燥)槽30が設けられている。この蒸
気洗浄槽30内には、蒸気洗浄剤31例えば前述したI
PAやペルフルオロ化合物、さらにはこれらの混合物等
の液体が収容されており、これらがヒータ32によって
加熱されて蒸気33となる。このような蒸気洗浄槽30
においては、被洗浄物Xの表面で蒸気33が結露し、液
化した蒸気洗浄剤31中に、すすぎ洗浄工程Eから持ち
込まれた洗浄剤D4 が溶け込んで洗い流される。さら
に、被洗浄物Xは、上部の冷却チラー34の近傍にて必
要時間保持され、表面に残留付着した蒸気洗浄剤31を
揮散させ、被洗浄物Xの乾燥が終了する。
・再使用の機構については、前述した実施例と同様であ
る。
体的な洗浄例およびその評価結果について説明する。
おける洗浄剤として、オクタメチルシクロテトラシロキ
サン(SP値=7)50重量部とジエチレングリコールモノブ
チルエーテル(SP値=8)50重量部との混合物、および揮
発性イソパラフィン(SP値=7)50重量部とジエチレング
リコールモノブチルエーテル50重量部との混合物を、ま
た第2の洗浄工程におけすすぎ洗浄剤として、オクタメ
チルシクロテトラシロキサンを用意した。また、蒸気洗
浄剤としては、表2に示す各種のものをそれぞれ用意し
た。なお、表2に示した蒸気洗浄剤(比較例を含む)中
の組成分のSP値、蒸発潜熱および沸点は、以下の表1に
示す通りである。実施例による蒸気洗浄剤は、オクタメ
チルシクロテトラシロキサンのSP値および蒸発潜熱を考
慮して選択したものである。
ークルフラックスPO-F-4600(商品名、千住金属工業
(株)製:チップ混載基板用、SP値 =約10)を用いたプ
リント基板の洗浄を行った。洗浄条件は、第1の洗浄工
程では45℃、 3分間超音波洗浄とし、すすぎ洗浄は 2分
間とした。そして、このようにして洗浄した後のプリン
ト基板を各蒸気洗浄剤によって蒸気洗浄し、乾燥に要し
た時間を測定した。同様に50℃による温風乾燥について
も、乾燥時間を測定した。また、乾燥後のプリント基板
表面のイオン残渣量(μg NaCl/inch2 )を、MIL-P-55
110CおよびMIL-P-28809Aに準拠して、オメガメーター
(日本アルファメタルズ(株)製)を用いて測定した。
さらに、フラックスの残渣を肉眼および顕微鏡下で観察
し、長径0.05mm以上の汚れの有無を確認した。また、実
用性能を総合的に判断し、極めて良好なものに◎、良好
なものに○、やや甘いものに△、不良なものに×を付し
た。これらの結果を表2に各洗浄剤の組成比と併せて示
す。
な脱脂洗浄力が得られていると共に、蒸気洗浄(乾燥)
においても極めて良好な結果が得られている。これは、
すすぎ洗浄剤と蒸気洗浄剤のSP値の差を 4〜 2としたた
めである。これに対して、SP値の差が 5以上ある各比較
例では、満足な洗浄力が得られないことが分かる。
して、オクタメチルシクロテトラシロキサン99.5重量部
とポリオキシエチレンオレイルエーテル(SP値=8) 0.5
重量部との混合物、および揮発性イソパラフィン(SP値
=7)99.0重量部とステアリン酸ナトリウム 1.0重量部と
の混合物を用意した。また、蒸気洗浄剤としては、表3
に示す各種のものをそれぞれ用意した。
アリング(ステンレス製)の水切り洗浄を行った。洗浄
試験は、 2個のミニチュアベアリングを水に浸漬した
後、常温の水切り洗浄剤中に 1分間浸漬(含む揺動)
し、次いで蒸気洗浄を行うことにより実施した。この
後、所定量の脱水エタノール中にベアリングを移し、残
留水分を吸収させ、カールフィッシャー法により定量し
た。そして、水分除去率を以下の式から算出した。
値(g)、Bはブランク試験(水中への投入工程を除く)
後の定量値(g)である) また、乾燥後の外観を以下の基準により評価した。
合。
m 以上のシミが観察されなかった場合。
れば特にすすぎ洗浄を行わなくとも、十分な水切り性が
得られている。
述べる。仕上げ洗浄剤として、オクタメチルシクロテト
ラシロキサンおよび揮発性イソパラフィンを用意した。
また、蒸気洗浄剤としては表4に示す各種のものをそれ
ぞれ用意した。これらの洗浄剤を使用して、CCDカバ
ーガラスの仕上げ洗浄を行った。洗浄試験は、45℃の仕
上げ洗浄剤中でCCDカバーガラスを超音波洗浄した
後、蒸気洗浄によって乾燥仕上げを行うことにより実施
した。そして、乾燥後の外観評価および表面ダスト量の
測定を行った。乾燥後の外観は、上記実施例8と同様に
して評価した。また、表面のダスト量(0.5μm 以上)
は、レーザー法によるパーティクルチェッカ・WM-1000
(東京光学機械(株)製)を用いて測定した。以上の測
定結果を表4に示す。
いては十分なパーティクルコントロールが成されている
ことが分かる。
溶剤を添加して脱脂洗浄剤を調製した。また、すすぎ洗
浄剤として揮発性イソパラフィンを用意した。これらの
洗浄剤を用いて、実施例1と同様にしてフラックス付き
プリント基板の洗浄を行い、50℃の温風乾燥による乾燥
評価を実施例1と同様にして行った。また、鋼板上にス
ピンドル油を塗布し、 150℃の加熱炉で48時間の焼き付
けを行って、試験片を作製した。この試験片に付着した
油脂の洗浄(超音波洗浄)を、上記脱脂洗浄剤を用いて
行い、その洗浄に要した時間を測定した。数値が小さい
ほど、洗浄力が高いことを示す。それらの結果を表5に
示す。
る洗浄剤で洗浄した後、揮発性イソパラフィンによりリ
ンスした場合(実施例15〜18)には、温風により短
時間で乾燥を行うことができた。また、イオン残渣も低
く、白色残渣も見られなかった。さらに、油脂洗浄速度
も速く、洗浄性能の点ではフロン113/エタン共沸系と同
等以上の性能を示した。また、ケロシンやn-デカン等の
直鎖状パラフィンを用いて、洗浄、リンスを行った場合
(実施例19,20)には、温風による乾燥性はアルキ
ルベンゼンを用いた例より良好であった。これに対し、
イソプロピルベンゼン、ジアミルベンゼン等のアルキル
ベンゼンを用いて、洗浄、リンスを行った場合(比較例
7,8)では、温風による乾燥性が悪く、あるいは30分
での乾燥は不可であった。このため、イオン残渣も多
く、洗浄しきれずに残留したフラックス成分(白色残
渣)も多く見られた。
施例12と同様にしてCCDカバーガラスの仕上げ洗浄
を行い、実施例12と同様にして洗浄特性および乾燥特
性を評価した。なお、乾燥は50℃の温風乾燥とした。そ
の結果を表6に示す。
カンを用いた仕上げ洗浄では、洗浄後に乾燥ジミもな
く、ダストに関してもフロン113 と同等の洗浄性を示し
た。これに対し、各比較例では乾燥性が低いために、乾
燥ジミが多く見られ、また乾燥中に付着したダスト量も
非常に多くなっていた。
れぞれ用いて、実施例1と同様にしてフラックス付きプ
リント基板の洗浄を行い、実施例1と同様にして洗浄特
性および乾燥特性を評価した。なお、脱脂洗浄およびす
すぎ洗浄の条件は、45℃、 5分間超音波洗浄とした。そ
の結果を表7に示す。
る洗浄剤と蒸気洗浄剤を用いて基板洗浄を行った結果、
15秒〜20秒で乾燥可能で、イオン残渣も少なく、残留フ
ラックス(白色残渣)も見られなかった。そして、フロ
ン113/エタノール共沸系と同等もしくはそれ以上の性能
を示した。また、ケロシンやn-デカンを主成分とする洗
浄剤と蒸気洗浄剤を用いて基板洗浄を行った場合には、
比較例より良好な乾燥特性や乾燥時間の短縮等の効果が
得られた。
施例8と同様にしてミニチュアベアリングの水切り洗浄
を行い、実施例8と同様にして洗浄特性および乾燥特性
を評価した。なお、水切り洗浄は、45℃での浸漬揺動を
1分間行った。その結果を表8に示す。
分とする水切り洗浄剤を用いた水切りでは、蒸気乾燥後
の外観に問題はなく、水分除去率もフロン113/界面活性
剤系と同等以上の値を示した。また、n-デカンを主成分
とする水切り洗浄剤を用いた場合には、比較例より良好
な水分除去率が得られた。これに対して、アルキルベン
ゼンを用いた場合には、十分に水分を除去することがで
きず、このため、水分残留、乾燥ジミが多く見られた。
施例12と同様にしてCCDカバーガラスの仕上げ洗浄
を行い、実施例12と同様にして洗浄特性および乾燥特
性を評価した。その結果を表9に示す。
シロキサン(SP値=7)50重量部とエタノール(SP値=13)
50重量部との混合物を、また第2の洗浄工程におけるす
すぎ洗浄剤として、オクタメチルシクロテトラシロキサ
ンを用意した。また、蒸気洗浄剤としては、 C8 F 18を
用意した。これらを用いて、実施例1と同様にして洗浄
特性および乾燥特性を評価したところ、実施例1と同様
な良好な結果が得られた。
サメチルジシロキサンとエタノールとは、SP値が 5以上
であるが、極性基の相互作用によって相溶性を示すため
に、上記したような結果が得られたものである。
ケイ素系洗浄剤としてヘキサメチルジシロキサンを25重
量部、および有機溶剤としてアセトンを 3重量部配合
し、一液型洗浄剤を調製した。一方、鋼板にシリコーン
系プレス油YF33(商品名、東芝シリコーン(株)製)を
塗布し、 100℃で焼き付けたものを試料片として用意し
た。そして、この試料片を上記一液型洗浄剤を用いて洗
浄した。洗浄条件は、40℃、 3分間超音波洗浄とし、こ
の後、同一洗浄剤で蒸気洗浄を施した。
分析したところ、シリコーンに相当するピークは出現せ
ず、シリコーン残渣は存在しないことを確認した。
によれば、従来から使用されているフロン系に匹敵する
脱脂洗浄性や水置換性、さらには乾燥性が得られると共
に、環境破壊や環境汚染の心配がないことから、各種の
問題を抱えるフロン系溶剤等を用いた洗浄方法の代替洗
浄法として有用である。また、複数の洗浄剤を使用して
も洗浄剤の再利用が可能となると共に、被洗浄物から除
去した水や汚れ物質を効率よく廃棄することが可能とな
るため、洗浄の省資源化等にも大きく寄与する。
に示す図である。
的に示す図である。
Claims (20)
- 【請求項1】 【化1】 (式中、 Rは同一または相異なる置換または非置換の 1
価の炭化水素基、 lは 0〜 5の整数を示す)で表される
直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および 【化2】 (式中、 Rは同一または相異なる置換または非置換の 1
価の炭化水素基、m は 3〜 7の整数を示す)で表される
環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも
1種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的にな
る有機ケイ素系洗浄剤と、炭素数 4〜30の脂肪族炭化水
素系洗浄剤との混合物からなる非水系基礎洗浄剤に、洗
浄性能向上剤を添加した洗浄剤で、被洗浄物を洗浄する
第1の洗浄工程と、 前記第1の洗浄工程を経た前記被洗浄物を、前記非水系
基礎洗浄剤単独で洗浄する第2の洗浄工程とを有するこ
とを特徴とする洗浄方法。 - 【請求項2】 炭素数 4〜30の脂肪族炭化水素系洗浄剤
からなる非水系基礎洗浄剤に洗浄性能向上剤を添加した
洗浄剤で、被洗浄物を洗浄する第1の洗浄工程と、 前記第1の洗浄工程を経た前記被洗浄物を、前記非水系
基礎洗浄剤単独で洗浄する第2の洗浄工程とを有するこ
とを特徴とする洗浄方法。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2記載の洗浄方法
において、 前記脂肪族炭化水素系洗浄剤はイソパラフィン系洗浄剤
であることを特徴とする洗浄方法。 - 【請求項4】 請求項3記載の洗浄方法において、 前記イソパラフィン系洗浄剤は炭素数 4〜30の揮発性イ
ソパラフィンから実質的になることを特徴とする洗浄方
法。 - 【請求項5】 請求項1または請求項2記載の洗浄方法
において、 前記非水系基礎洗浄剤はその比重Ddgが、水の比重をW
dg、油脂系汚れの比重をOdgとした場合に、Wdg>Ddg
>Odgを満足することを特徴とする洗浄方法。 - 【請求項6】 請求項1または請求項2記載の洗浄方法
において、 前記洗浄性能向上剤は界面活性剤および/または親水性
溶剤であることを特徴とする洗浄方法。 - 【請求項7】 請求項1または請求項2記載の洗浄方法
において、 前記第1の洗浄工程は、脱脂洗浄工程であることを特徴
とする洗浄方法。 - 【請求項8】 請求項1または請求項2記載の洗浄方法
において、 前記第1の洗浄工程は、水切り洗浄工程であることを特
徴とする洗浄方法。 - 【請求項9】 請求項1または請求項2記載の洗浄方法
において、 前記第2の洗浄工程を経た前記被洗浄物に対し、60℃以
下の温風で乾燥処理を施すことを特徴とする洗浄方法。 - 【請求項10】 【化3】 (式中、 Rは同一または相異なる置換または非置換の 1
価の炭化水素基、 lは 0〜 5の整数を示す)で表される
直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および 【化4】 (式中、 Rは同一または相異なる置換または非置換の 1
価の炭化水素基、m は 3〜 7の整数を示す)で表される
環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも
1種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的にな
る有機ケイ素系洗浄剤と、炭素数 4〜30の脂肪族炭化水
素系洗浄剤との混合物からなる非水系基礎洗浄剤に、洗
浄性能向上剤を添加した洗浄剤を用いた洗浄槽を有し、
被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する第1の洗浄手段と、 前記非水系基礎洗浄剤を単独で用いた洗浄槽を有し、前
記第1の洗浄手段を経た前記被洗浄物を前記洗浄槽で洗
浄する第2の洗浄手段とを具備することを特徴とする洗
浄装置。 - 【請求項11】 炭素数 4〜30の脂肪族炭化水素系洗浄
剤からなる非水系基礎洗浄剤に洗浄性能向上剤を添加し
た洗浄剤を用いた洗浄槽を有し、被洗浄物を前記洗浄槽
で洗浄する第1の洗浄手段と、 前記非水系基礎洗浄剤を単独で用いた洗浄槽を有し、前
記第1の洗浄手段を経た前記被洗浄物を前記洗浄槽で洗
浄する第2の洗浄手段とを具備することを特徴とする洗
浄装置。 - 【請求項12】 請求項10または請求項11記載の洗
浄装置において、 前記第1の洗浄手段および前記第2の洗浄手段の少なく
とも一方から洗浄排液が導入され、この洗浄排液を蒸留
して前記非水系基礎洗浄剤のみを分離回収する洗浄剤再
生手段と、 この分離回収された非水系基礎洗浄剤を、前記第1の洗
浄手段および前記第2の洗浄手段の少なくとも一方に供
給する手段とを、さらに具備することを特徴とする洗浄
装置。 - 【請求項13】 請求項12記載の洗浄装置において、 前記洗浄剤再生手段は、前記蒸留の前処理として濾過器
を有することを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項14】 請求項12記載の洗浄装置において、 前記第2の洗浄手段は、被洗浄物の移送方向と逆方向
に、前記非水系基礎洗浄剤が送られるように連結された
複数の前記洗浄槽を有し、 これら複数の洗浄槽のうち、最下流側の洗浄槽から前記
洗浄排液が前記洗浄剤再生手段に送出され、かつ、前記
分離回収された非水系基礎洗浄剤が最上流側の洗浄槽に
再供給されるよう構成されていることを特徴とする洗浄
装置。 - 【請求項15】 請求項14記載の洗浄装置において、 前記第2の洗浄手段が有する前記複数の洗浄槽は、オー
バーフロー機構およびドレン機構の少なくとも一方によ
り、前記非水系基礎洗浄剤が送られるように連結されて
いることを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項16】 請求項12記載の洗浄装置において、 前記第1の洗浄手段は、被洗浄物の移送方向と逆方向
に、前記洗浄剤が送られるように連結された複数の前記
洗浄槽を有し、 これら複数の洗浄槽のうち、最下流側の洗浄槽から前記
洗浄排液が前記洗浄剤再生手段に送出されるよう構成さ
れていることを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項17】 請求項16記載の洗浄装置において、 前記第1の洗浄手段が有する前記複数の洗浄槽のうち、
最上流側の洗浄槽に新規の洗浄剤が供給されるよう構成
されていることを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項18】 請求項10または請求項11記載の洗
浄装置において、 前記非水系基礎洗浄剤はその比重Ddgが、水の比重をW
dg、油脂系汚れの比重をOdgとした場合に、Wdg>Ddg
>Odgを満足し、 かつ、前記第1の洗浄手段および第2の洗浄手段は、前
記洗浄剤中に混入した水および油脂系汚れをそれぞれ個
別に除去する手段を、さらに具備することを特徴とする
洗浄装置。 - 【請求項19】 請求項18記載の洗浄装置において、 前記第1の洗浄手段および第2の洗浄手段は、前記洗浄
剤の下方に沈降分離された水を除去する手段と、前記洗
浄剤の上方に浮上分離された油脂系汚れを除去する手段
とを具備することを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項20】 請求項10または請求項11記載の洗
浄装置において、 前記第2の洗浄手段を経た前記被洗浄物に対し、60℃以
下の温風で乾燥処理を施す乾燥手段を、さらに具備する
ことを特徴とする洗浄装置。
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