TW494135B

TW494135B - Method of cleaning

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Publication number: TW494135B
Application number: TW090128433A
Authority: TW
Inventors: Hiroshi Shimozawa; Masaru Kumagai; Mayumi Koga; Tadayuki Nakamura; Nobuhiro Saitoh
Original assignee: Toshiba Silicone
Priority date: 1993-05-17
Filing date: 1994-05-19
Publication date: 2002-07-11
Also published as: CN1126488A; WO1994026864A1; TW474989B; EP0699746A4; KR960702510A; KR0168486B1; EP0699746A1; TW365551B; CN1065564C; US5789359A

Description

494135 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（！）本發明係有關代替氟昂系溶劑及氯系溶劑等的洗滌劑，洗滌方法及洗滌裝置。關於HI C，組件，實裝基板等的電子零件及I C，晶體用引導框及環箍材料等的金屬薄帶及軸承或精密微小零件等，在製造過程中會付著防蝕劑、焊劑、焊錫膏、切削油、淬火油、延壓油、壓製油、沖壓油、拉拔油、組合油、拉線油等的水系或溶劑系的工作油或灰塵等各種的污垢。例如，印刷基板可分爲製造基板的步驟及按裝I C及電子零件於基板上的步驟，製造基板過程中，會付著因印刷、蝕刻作業使用的酸、鹼等，在按裝過程中，會付著焊接按裝零件的焊錫、焊劑等的污垢，特別是必須除去的污垢物質爲焊劑中的活性劑及與母材氧化膜的反應生成物的 CuC 12或（RCOO) 2Cu等的有機酸塩。這些爲極性物，故殘留時因吸濕產生遺漏、移動、絕緣電阻值降低、針狀物、配線腐蝕等。其他，半導體的製造過程中，混入離子性物質時產生重大的問題，稱之爲「N a的恐慌」。又，金屬加工零件，由於這些的殘留，產生腐蝕，變色等的問題。因此，在下一步驟前或成品時，必須將此污垢物質除去。以往，這些污垢的洗滌劑常廣泛的使用代表氟昂 1 1 3的氟昂系溶劑或三氯乙烷，三氯乙烯，四氯乙烯，四氯化碳等的有機溶劑。但是最近因氟昂的釋出，明顯的造成臭氧層的破壞， H— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂*· 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4 一 494135 A7 B7 五、發明説明（2 ) 人體及生物體嚴重的影響，因此，對於高破壞係數的氟昂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 2及氟昂1 1 3等，在世界上已階段性的減少使用，將來則要全面廢止。又，三氯乙烯及四氯乙烯等的氯系有機溶劑也有引起污染土壤及地下水等的環境問題，使用上也受限制。如此的狀況下，繼續開發比現有的氟昂系溶劑臭氧破壞係數低的氟昂系物質，而且一部分已在工業上生產，但是這些也沒有辨法完全不破壞臭氧層，所以不是理想的替代洗滌劑。故試圖改用以水洗滌，鹼洗滌，溶劑洗滌多數的工業製品。例如，目前洗滌印刷基板的主要代替洗滌方法，有以純水除去水溶性焊劑的水系洗滌方法，以溶劑除去焊劑後，用水清洗的準水系洗滌方法及使用碳化氫等的有機溶劑的溶劑洗滌方法。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製但是導線框或環箍材料等的金屬薄帶、軸承、精密微小零件等有許多以油膜厚度相互粘附的部分，要去除這部分油膜是極困難的，例如沖壓後的「定尺物」的導線框等，以製造過程中的金屬加工油，使導線框間互相粘附著。因此，洗滌時，洗滌劑滲透油膜所粘附的間隙後，必須溶解除去工作油，但如此之洗滌劑，除氟昂系溶劑或氯系溶劑以外的洗滌劑以外，尙未有新的發現。如導線框等洗滌過程中，洗滌劑係以毛細管現象，滲透粘附的零件間的間隙中，僅爲滲透時，表面張力低的溶劑適合做爲洗滌劑，表面張力低的溶劑一般多爲無極性的本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ' -5 - 494135 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（3 ) 溶劑。但是上述的金屬加工油係被用於苛刻的條件下，金屬許多一般爲極性物質的油性劑，將壓添加劑。無極性的低表面張力的溶劑，對水粘附零件間的間隙具有優異滲透力，但溶劑的溶解力差，無法當做替代洗滌劑。因此，開洗替代氟昂系溶劑或氯系溶劑的洗滌劑爲困難。關於洗滌印刷基板等，期待所提案的水系洗滌方法，準水系洗滌方法具有高效率的除去極性物質，但由於這些是利用玻璃環氧基板，紙酚基板的吸附或滲透，而造成表面絕緣電阻等的電氣電阻降低，還有洗滌零件所要求的精密洗滌有乾燥性及銹、變色、乾燥痕跡等乾燥後的外觀，特性降低等問題。若考慮洗滌後的電氣特性時，利用烴等的無極性物質的溶劑洗滌爲宜。但是，烴等的無機性物質，無法期待它對於離子性物質，極性物質，頑固的污垢的洗滌性。即，洗滌所需要的特性與乾燥所需的特性恰好相反。因此，多數工業製品的洗滌、試圖改成水洗滌、鹼洗滌、溶劑洗滌，但是依目前狀況，電子零件，精密零件等的洗滌替代爲非常困難。本發明乃解決此問題的，適合做爲洗滌金屬薄帶，軸承，精密微小零件等具有以油膜厚度相互粘附的部分的洗滌對象的洗滌劑，並顯示其洗滌能力可與氟昂系溶劑，氯系溶劑的洗滌劑相比，且爲不造成環境破壞，環境污染的洗滌劑，及以提供使用此洗滌劑的洗滌方法及洗滌裝置爲目的。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------^-----r —訂 *------^~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —6 - 494135 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（4 ) 又，本發明係提供印刷基板，按裝零件等的電子零件的洗滌方法中，提供可與使用氟昂系溶劑，氯系溶劑的洗滌方法相比的洗滌方法及使用此洗滌方法的洗滌裝置爲目的。本發明的第1的洗滌劑係洗滌至少一部份含有間隙部分的被洗滌物的洗滌劑，其特徵爲含有與構成污垢的至少一個成分的溶解度參數差爲3以下的洗滌成分。又，其特徵爲含有與構成污垢的至少一個成分的溶解度參數差爲3 以下，且接觸角爲1 5°以內的洗滌成分。其特徵爲分別含有與構成污垢的成分中，5重量％以上的污垢成分的溶解度參數差爲3以下，且接觸角爲1 5°的洗滌成分。又，第1的洗滌劑，其特徵爲含有至少1種選自有機基矽氧烷及有機碳化物的成分。本發明的第1的洗滌劑的洗滌對象物，其特徵爲以含有至少1種基礎油，油性劑及特壓添加劑成分所成的金屬加工油來處理，又，間隙部分的油膜厚度爲0. 001〜 2 0 0 〇 /z m 〇本發明的第1的洗滌方法，其特徵係使用上述的洗滌劑，洗滌含有至少一部分間隙部分的洗滌對象物。又，其特徵係含有洗滌被洗滌物（洗滌對象物）的步驟與乾燥洗滌對象物的步驟。又，其特徵爲使用做爲蒸氣洗滌的全氟化合物。本發明的第1的洗滌裝置係使用上述的洗滌劑，洗滌含有至少一部分金屬加工油組成物的間隙部分的洗滌對象本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' -7 - ----------0_1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線一 494135 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___B7五、發明説明（5 ) 物的洗滌裝置，其特徵係具備由單獨槽或複數槽所成的洗滌手段，乾燥手段，蒸餾自洗滌槽溢流的洗滌劑的蒸餾手段及/或再生分離蒸氣洗滌.洗滌對象物後的蒸氣洗滌劑的液體分離裝置。又，蒸餾手段其特徵係含有貯存蒸餾所得的餾出液的貯存槽，洗滌槽含有保持一定的洗滌液面感知器，在所定的液面以下時由貯存槽供給洗滌液，再藉由溢流方式使洗滌液產生循環。本發明的第2的洗滌方法係印刷基板，按裝零件等的電子零件的洗滌方法，其特徵係含有至少1種選自，以含有溶解參數爲9以上或介電常數爲4以上的特性的極性洗滌劑，經洗滌被洗滌物（對象物）的步驟，及洗滌步驟後，再以溶解度參數小於9及介電常數小於4的特性的洗滌劑清洗的步驟及乾燥步驟。本發明的第1的洗滌劑係由於發現支配洗滌劑之洗滌性的重要因素爲，對於附著於被洗滌物的金屬加工油的各組成的洗滌劑的溶解度參數，表面張力，有很大的依存性。即，考慮金屬加工油的各組成後，選擇最適當的洗滌劑組成物，利用此洗滌劑洗滌，可兼具有對於粘附零件空隙的滲透性及能夠洗滌各金屬加工油各組成的溶解力。結果，能夠洗滌以往除了氟昂系溶劑，氯系溶劑外洗滌困難的油粘附零件。以下，說明本發明的第1的洗滌劑，洗滌方法，洗滌裝置。首先，關於本發明的洗滌對象物（被洗滌物）係含有本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一 8 - 494135 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（6 ) 至少一部分以金屬加工油的油膜所接觸的材料所成，自金屬，半金屬，陶瓷，塑膠材料等所成，沒有特別被限制。金屬，半金屬有鐵、銘、砂、銅、不錄鋼等，陶瓷有氮化矽、碳化矽、氧化鋁、玻璃、瓷器、塑膠有聚醯胺、聚醯亞胺、聚烯烴、聚酯、丙烯酸樹脂等'或這些物質的複合材料也可。具體的有，金屬零件，表面處理零件，電子零件，半導體零件，精密機械零件，光學零件，玻璃零件，陶瓷零件等。特別是關於本發明的洗滌對象物，例如有如圖1 A爲圖1 B所示的晶體用導線框。圖1 A表示平面圖，圖1 b 則表示圖1 A的A — A斷面圖。此種導線框的金屬薄帶1 係彼此間以金屬加工油膜2相接觸。油膜的厚度爲薄者有 0. 001/zm左右，藉由使用本發明的洗滌劑，使滲透於強固粘附的薄帶間的空隙中，而容易的洗滌劑金屬加工油。又，油膜的厚度超過2 0 0 0 0 // m時，不易成爲粘附的狀態，也能以其他的洗滌劑或洗滌方法之洗滌。本發明的洗滌對象物係具有一部分介於油膜所接觸的部分，以 0. 0 1//m〜l〇〇//m的油膜距離粘附的洗滌對象物爲宜。又，所謂具有一部分接觸的部分，例如也包含如軸承一點的接觸的狀態。又，各金屬薄帶1相互接觸面積爲 1 0 0 m m 2以上者能適用於導線框。1 〇〇 m m 2以上， 800mm2以上，2500mm2以上，400mm2以上也分別適用，最理想的洗滌對象物，其接觸面積爲 7 0 0 0mm2以上。 ---------^------《i 訂·---^--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9 - 494135 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（7 ) 其次’對於附著於本發明的洗滌對象物的金屬加工油加以說明。該油係指切削油、淬火油、延壓油、壓製油、沖壓油、拉拔油、組合油、拉線油等的水系或溶劑系的油劑’含有至少1種基礎油，油性劑及特性添加劑的成分。基礎油有合成油，鑛物油及天然油脂等。合成油有多元醇酯，二酯，聚烯烴，二烷基苯，聚乙二醇類，烷基二苯基醚，烷基棻，聚苯基醚，聚矽氧油，異鏈烷烴，磷酸酯’矽酸塩，氟化合物等。鑛物油有溶劑精製或氫化精製基礎油劑及改善低溫流動性的低溫流動點基礎油劑等。油脂有動物性，植物性油脂等的天然油脂等的脂肪酸甘油酯等。油性劑有油酸，硬醋酸，異硬酯酸，棕櫚酸，廿烷酸 ’二十六酸等的高級脂肪酸，油醇，硬酯醇等的長鏈醇等〇特壓添加劑有二苯二硫，二十二烷基二硫，聯笮二硫 ’硫磺等的硫磺化合物，亞磷酸三月桂酯，磷酸三月桂酯 ’月桂酸磷，亞磷酸二月桂酯等的磷化合物，一氯苯，五氯聯苯，氯化烴，六氯乙烷，三氯硬酯酸甲酯，五氯硬酯酸甲酯等的氯化合物，二硫代磷酸鋅，二硫代磷酸鋇，黃原酸鋇，三笮基硼酸等的有機金屬化合物。其他的金屬加工油依用途可使用，乳化劑，抗乳化劑，磷酸酯，二硫代磷酸金屬塩等的耐磨耗劑或磨耗防止劑等，同時也可使用氧化防止劑，界面活性劑，水：氧捕捉劑，清洗分散劑，消泡劑，金屬鈍化劑，流點降低劑，增 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -........ 、-口線秦本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -10 - 494135 A7 _B7 五、發明説明（8 ) 粘劑，防腐劑，防銹劑等各種添加劑。這些添加劑當做金屬加工油的添加劑，以高濃度被添加時，應使用至少含有 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 與該添加劑的溶解度參數差爲3以下的洗滌成分，或接觸角爲1 5°以內且溶解度參數差爲3以下的洗滌成分爲宜〇關於本發明的溶解度參數（以下，以5表示），以（ 1 )式定義之。 δ = ( Δ E / V ) 1/2......... ( 1 ) △ Ε表示分子凝集能（cal/mol) ，v表示分子容 (ml/mo 1 )。即，5=凝集能一密度的開平方根。混合而容積不變時，成分1與成分2混合溶解時的溶解熱ΔΗ係以J.H.Hidebrand，（ 2 )式表示。 AHm = Vm ( δ τ ~ δ 2 ) 2· 0!* φ ζ......... (2) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

Vm表示混合物的全容積（ml) ，0爲容積分率，1 ， 2則表示成分1及成分2。 (2 )式中，成分1與成分2即51與52的差愈小貝[j 溶解熱△ H m愈小，相溶性優異。洗滌本發明的洗滌對象物時，金屬加工油成分與洗條成分間的5差爲3以下。即可充分溶解除去金屬加工油。可使用蒸發潛熱法或分子引力常數法等的方法，求得本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇x297公釐） -11 - 494135 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（9 ) 6。測定5的方法無特別限制，只要（5值滿足本發明的條件即可。一般，能測定沸點的物質，使用蒸發潛熱法所得的數值’無法測沸點或不易測定者則使用已知化學構造式的物質的分子引力常數法所得的數值。蒸發潛熱法係以（3)式求ΔΗ，在以此值自（4) 求ΛΕ，再從（1)式所衍生的（5)式，求得5的方法。此方法乃是最直接，能正確的計算5。 △ Η25 = 23·7Τ b+0.020 丁 b 2 — 2950.....................(3) △ Ε=ΔΗ - .................................................... (5 = (ΔΕ/V) Μ = { (d/M) △£} 1/2 .........⑸ Tb爲沸點（K) ，R爲氣體常數（1. 986cal/ mol) ，T爲絕對溫度（K) ，d爲密度（g/ml ) ’Μ爲分子量（g/mol)。例如，基質油的液體石蠟，以C 1Q Η 22爲主成分時， M = 1 4 2 . 29，Tb = 200〇C( = 473K) ，d =0. 896 (g/mol)，因此， ΔΗ25 = 23.7 X473 +0.020 x 4732 -2950 = 12192.5 s ΔΕ=12192.5 ~i.98G X298 = 11000.7 N (5=丨(0.896/L42.29)xil600.7 } ί/2=8·55: 若爲含氫結合的化合物的溶解度參數（時，以此法得到的δ值，再添加以下的修正值即可得。醇類； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -12 - 494135 A7 B7 五、發明説明（n ) 互粘附的滲透力的指標的特性值，可以如下的方法測定之〇在玻璃上塗佈金屬加工油，再滴下2 w 1要測定接觸角的洗滌成分，以接觸角計（例如，協和界面科學股份有限公司製CA—S 150型）測定其接觸角。洗滌成分的液滴滴下後也有迅速擴散者，故滴下後2 秒以內測定完成。藉由測定接觸角可評價金屬加工油與洗滌成分間的潤濕性，並可預測對於金屬加工油成分所附著於洗滌對象物的空隙的滲透性。在2 5 °C，測定5及接觸角。洗滌本發明的洗滌對象物時，金屬加工油成分與洗滌成分的5差爲3以下，且接觸角在1 5°以內時，洗滌劑很容易以浸透的方式，將導線框，環箍等的金屬薄帶間，以油膜厚度粘附的部分的金屬加工油，充分的溶解除去。 5的差在2以下，更理想爲1以下，接觸角在1 0°以內，更理想爲5 °以下。金屬加工油爲同時含有基礎油，油性劑及特壓添加劑時，本發明的洗滌劑係以滿足上述的5及接觸角的條件的各洗滌成分爲宜。本發明的洗滌劑含有至少一種選自聚有機基矽氧烷及有機碳化合物的成分。聚有機基砂氧院以下式所不的聚有機基矽氧烷爲宜。一般式（I ): 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---訂線在經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 - 14 _ 494135 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1())

S δ + 1 . 4，酯類；5。=(5 + 〇· 6，酮類；5C =δ + 〇 . 5。又’沸點超過100。(：時不需修正。分子引力常數法係自構成化合物的分子的各官能基（原子或原子團）的特性值，即自分子引力（G )總計及莫耳體積，求5的方法，與溶劑類不同，對於不易蒸發的樹脂等，求（5值非常有用。自（6)式求（5。 δ = Σ G/V = d · Σ G/M....................................⑻ G等於分子凝集能與莫耳體積之積（莫耳體積凝集能）， Sma11等發表G值。例如，符壓添加劑的硫化油脂的硫磺，Μ = 32. 07，d = 2. 0 7 ( g / m 1 )，依 Small ，0值爲225 〔（〇3 1—1111)1/2/1111〕，故5 =2. 07x225/32. 07 = 14. 5。又，混合物的5m，一般做爲對於各成分的5的莫耳分率的加重平均值，可從（7 )式求得。 =Σχι ...................................................⑺ i表示i成分。例如，含有0. 43莫耳的基質油的液體石蠟，1莫耳的硫礦的硫化油脂時’ 0m =(1/(1+0.43))X 14.5+(0.43/(1+0.43)) X 8.58 = 12.7 爲本發明的洗滌劑特徵的接觸角，成爲以油膜厚度相本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-13 - 五、發明説明（ 12 R—Si—O-rSi-O- A7 B7

-Si—R

CD 以（式中，R爲相同或不同的取代基或非取代的1價有機基，1爲0〜5的整數）表示的直鏈狀聚二有機基矽氧烷，及一種至少選自以，一般式（I I ): (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -Si—0- (I!) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R爲相同或不同的取代或非取代的1價的有機基，m爲3〜7的整數）表示的環狀聚二有機基矽氧烷的低分子量聚有機基矽氧烷。此種低分子量聚有機基矽氧烷，對於污垢可發揮強大的滲透力，同時，也爲本發明的特徵成分。上述（I )式及（I I )式中的R爲取代或非取代的1價有機基，例如有甲基，乙基，丙基，丁基等的烷基，如苯基的1價非取代煙基’二氣甲基’如3 ’ 3，3 —二氣丙基的1價取代烴基等，又上述（I )式的未端R有胺基，醯胺基，丙嫌本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15 - 494135 A7 B7 五、發明説明（13 ) 酸酯基，硫醇基等，爲維持系的安定性’揮發性時以甲基最理想。關於低分子量聚有基矽氧烷，若考慮其滲透力及洗條性時，以使用含有環狀構造的八甲基環四矽氧烷，十甲基環五矽氧烷及這些的混合物，及含有直鏈狀構造的八甲基三矽氧烷，十甲基四矽氧烷等爲佳。又’對於含有強鹼性的洗滌劑成分的金屬加工油，若考慮聚矽氧烷的安定性時，以含有上述（I )式所示的直鏈狀構造者爲宜。關於本發明的洗滌劑成分的有機碳化合物有，正及異烷烴，烯烴類等的脂肪族烴化合物，環烷烴類，環烯烴類等的脂環族烴化合物，芳香族烴化合物’醇類，酮類，酯類，脂肪酸類，氟化烴類等。例如有，正癸烷，異十二烷，汽油，橡膠揮發油，礦油精，燈油，環烷系烴（沸點 1 6 0 - 2 0 0 °C )，萜品油，檸檬烯，苯，甲苯，二甲苯，甲醇，乙醇，丙醇，正丁醇，正己醇，2 —乙基己醇，正辛醇，環己醇，丙酮，甲乙酮，甲基異丁酮，二異丁基酮，環己酮，醋酸甲酯，醋酸乙酯，醋酸丁酯，二乙二醇一丁基醚，乳酸乙酯，十八烷氟辛烷等。本發明的洗滌劑組成及配合比率，可先考慮以油膜粘附的洗滌對象物的油膜成分後決定之。關於洗滌劑組成可以任一的油膜成分爲對象，決定洗滌劑成分。特別是以基礎油，油性劑或特壓添加劑中之一爲對象者爲佳。對於金屬加工油的基礎油的洗滌劑成分係配合低分子本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線赢經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16 - 494135 A7 B7 五、發明説明（14 ) 量聚有機基矽氧烷，脂肪族烴化合物及芳香烴化合物爲宜 ’特別是配合低分子量聚有機基矽氧烷爲佳。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 對於油性劑的洗滌劑成分係配合脂肪族烴化合物，芳香族烴化合物及低分子量聚有機基矽氧烷爲宜，特別是配合脂肪族烴化合物爲佳。對於特壓添加劑的洗滌劑成分係配合醇類，酮類，酯類，脂肪酸類爲宜，特別是配合5〜1 2個碳數的脂肪族醇爲佳。又，特別是併用低分子量聚有機基矽氧烷則更佳。特別是含有上述（I )式或（I I )式所示的低分子量聚有機基矽氧烷的洗滌劑，對於金屬薄帶界面具有強大的滲透力及洗滌力，能得到與以往所使用的氟昂系相比較的洗滌效果。表1 ，表2及表3係分別表示上述洗滌劑成分之一例。對於分別使用表1爲基礎油的礦物油（5值；8)，表 2爲油性劑的油酸（5值；9 )，表3爲特壓添加劑的硫化油脂（5值；1 2 )的洗滌劑成分例。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -17 - 494135

7 B 五、發明説明（15 ) 表 1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製與礦物油的接觸角 5值 0-5未滿 5- 1 0未滿 1 0 - 1 5未滿 5 - 6未滿十八院氟碳 6-7未滿八甲基環四砍氧院 7 - 8未滿正癸烷異十二烷環院（bpl 60-2 0 0 °C ) 二異丁酮 8 - 9未滿萜品油正丙基苯醋酸正丁酯 9 - 1 Q未滿二甲苯苯環己酮二乙二醇一丁基醚註）當做基礎的礦物油的（5值；8 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18 - 494135 A7 B7 五、發明説明（16 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製表 2 與油性劑的接觸角 0-5未滿 5-10未滿 10-15未滿 5值 6-7未滿八甲基環四矽氟烷 7-8未滿異十二烷環烷 (bpl60-200〇C 8-9未滿萜品油醋酸正丁酯正丙基苯 9-10未滿環己酮 2-乙基己二乙二醇- 二甲苯苯醇丁基醚 10 -11未滿丙酮乳酸乙酯正辛醇 11-12未滿正丁醇註）當做油性劑的油酸的6值；9 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）一 19 - 494135

A B 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（17 ) 表 3 與特壓添加劑的接觸角 5值 0 - 5未滿 5- 1 0未滿 1 0 - 1 5未滿 9-1 G未滿 2-乙基己醇二乙二醇一丁基醚 1 0 - 1 1未滿丙酮乳酸乙酯正辛醇 1 1 - 1 2未滿正丁醇 1 2 - 1 3未滿二甲基甲醯胺笮胺 1 3 - 1 4未滿哌啶 1 4 - 1 5未滿甲醇註）當做特壓添加劑的硫化油脂的5值；1 2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 494135 A7 B7 五、發明説明（18 ) 關於洗滌劑配合比率可先考慮油膜成分的組成後決定之。例如，若油膜成分的組成比率爲6 0重量％的基礎油 ’ 30重量％的油性劑，10重量％的特壓添加劑時，與油膜成分對應的洗滌劑成分，可分別爲6 0重量％，3 0 重量％，1 0重量％。通常，考慮對於最近的精細加工的金屬加工油的組成時，對於特壓添加劑的洗滌劑成分爲 1 0〜2 0重量％，剩餘的部分當做對於基礎油及油性劑的洗滌劑成分者爲宜。對於基礎油與油性劑的洗滌劑成分的比率，對於基礎油，洗滌劑/油性劑的洗滌劑= 10/90〜90/10爲宜。以下所示爲理想的洗滌劑之一例。低分子量聚有機基矽氧烷及烴：8 0〜9 0重量％ (低分子量聚有機基矽氧烷/烴=1 0/9 0〜9 0/1 0 ) 醇類，酮類，酯類或聚醚類：10〜20重量％。關於使用上述洗滌劑的洗滌方法，例如，將以油膜粘附的洗滌對象物，直接浸漬於洗滌劑中，經超音波洗滌，搖動，機械性攪拌，加溫，刷洗等的洗滌後，乾燥等完成之。又，乾燥步驟係以蒸氣洗滌劑的乾燥爲宜。依蒸氣洗滌的乾燥法，可使乾燥效果更好，適合精密洗滌等。適合做爲本發明的蒸氣洗滌劑須滿足以下3個條件， ①蒸汽洗滌劑與前步驟所帶入的液體間，具有優異的相溶性，具體的δ的差爲3以下，②蒸氣洗滌劑的蒸發潛熱及蒸氣洗滌劑與前步驟所攜入的液體間的蒸發潛熱的差不大 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-21 - 494135 A7 ___ B7五、發明説明（19 ) ’具體的蒸發潛熱差爲3倍以下，蒸發潛熱值爲2 0 0 c a 1 /g以下，③含有比蒸氣洗滌時的被洗滌物表面的溫度高的沸點，具體爲3 0°C以下。基本上，只要能滿足上述①及②的條件即可，若也能滿足③時則更佳。能滿此種條件者有，全氟化合物，低分子量有機基矽氧烷，脂肪族烴，芳香族烴，鹵化烴等。自其中不產生斑良的良好的蒸氣乾燥來考慮時，以全氟化合物，低分子量聚有機基政氧烷，鹵化烴爲宜，若考慮引火性少，不破壞臭氧層時，使用全氟化合物爲佳。例如：可使用一般式（I I I ) : C n F 2n + 2 ……（III) (式中，η爲4〜12的整數）所表示的全氟化合物，更以一群的構造（I V ): (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

CF, I 3 CF3 -<r〇C?C?2 ~(r〇C?2 )—3—OCF3 ...............(IV) (式中，q及s爲任意的整數）的全氟化合物。此種全氟化合物有δ值爲5〜6，蒸發潛熱爲20 c a Ι/g，沸點爲5 0°C〜2 0 0 °C之各種化合物。完全滿足上述①〜 ③的條件者。在實際的洗滌時，以含5 0 °C〜1 5 0 °C的本紙張尺^適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）線秦 -22 - 494135 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（2〇 ) 沸點者爲宜，全氟化合物與大部分有機溶劑不相溶，故以往除了除切粒子外，無法當做蒸氣洗滌劑使用，本發明中，聚有機基矽氧烷及有機烴化合物做爲洗滌劑使用，因與這些呈現相溶性，故可做爲蒸氣洗滌劑使用。本發明所使用的全氟化合物，其代表性的工業上的製造方法係藉由該烴的電解氟化法以Η取代氟。因此，依反應條件，沒有完全取代F，Η，F各與碳結合成氫氟化合物（HFC類）殘留於全氟化合物（PFC)中。使用這種副生成物（HF C類）或與全氟化合物的混合物（ ??(：類+1"1?(：類），可與全氟化合物相同的被使用。又，本發明的氫氟化合物（HF C類）可當作蒸氣洗滌劑使用。該種氫氟化合物係以一般式（V) : CnHmF2n + 2 —m，CnHmF2n — m， CnHmF 2n + 2_m，......... ( V ) 所示的化合物爲宜。n爲1〜1 0，m爲〇〜2 0的範圍者爲實用的沸點範圍，故理想。具體如，C 5 H : F i i， C5H2Fi〇，C5H3F9· c4h3f7，c6h2f12 等。藉由導入鹵素，以改良P F C類，HF C類的溶解力，而且，也能使用臭氧破壞係數低的鹵化氫氟化合物（例如HCFC類）。具體的有CsHiClzFs， C 2 Η 2 C I2F2 等。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -23 - 494135 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（21 ) 全氟化合物的蒸氣洗滌劑，並非爲必須單獨使用者，例如可做爲與異丙醇的混合物使用，或可做爲配合聚有機基矽氧烷或有機碳化合物等的其他溶劑的組成物使用。關於配合的有機溶劑，並非一定要把氟昂系溶劑，氯系溶劑等排除不可。因爲從環境污染方面來探討時，不用比較好，但是在尙未全部廢止中途過程，仍是有用的。如此，把混合物當做蒸氣洗滌劑使用時，混合物的δ 值，蒸發潛熱，以能滿足上述①及②的條件爲宜。分別的數值與上述值相同。又，含有中間的5值，蒸發潛熱的有機溶劑介於其中，也有效果。其次，對於適用於上述本發明的第1的洗滌劑及洗滌方法的洗滌裝置，加以說明。本發明的第1的洗滌裝置具備，由單獨構或複數槽所成的洗滌手段，乾燥手段，蒸餾自洗滌槽溢流的洗滌劑的蒸餾手段及/或再生分離蒸氣洗滌被洗滌對象物的蒸氣洗滌劑的液體分離裝置。蒸餾裝置及液體分離裝置，在洗滌當中或停止時也能運轉。蒸餾裝置與液體分離裝置，以 9 5重量％以上的純度，分離洗滌劑及蒸氣洗滌劑爲宜。液體分離裝置係利用比重差的裝置，過濾裝置，蒸氣洗滌劑如使用全氟化合物時，以利用比重差的裝置爲宜。配合需要，洗滌槽可與超音波，搖動，機械攪拌，洗滌劑加溫，刷洗等的洗滌補助裝置併用。又，洗滌劑可具備對於洗滌劑以外的成分，例如延壓油，金屬加工油等的污染物質及濃度檢知裝置。關於檢知裝置，並無特別限制本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-24 - 494135 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（22 ) ，但以能夠檢出定量微量的污染物質的紅外線分光光度計，紫外線分光光度計等的裝置爲佳。同時，檢知裝置的前面，設置除污過濾器，以提高檢知裝置的感度則更理想。洗滌被洗滌物後的洗滌劑，自洗滌槽上部溢流，此溢流液被導入蒸餾裝置內，藉由蒸餾再生分離。再生分離的洗滌劑貯存於貯槽後，依洗滌槽中的液面感知器及連動的洗滌劑供給手段，再度供給洗滌槽。蒸氣洗滌劑係自蒸氣洗滌槽的底部，被導入利用比重差的液體分離裝置中，與其他成分分離。藉由此種洗滌裝置，能有效的再使用洗滌劑及蒸氣洗滌劑，以減少洗滌廢液，有利於環境衛生。如上述，本發明的第1的洗滌劑，當金屬加工油的成分與洗滌劑間的接觸角在1 5 °以內時，洗滌劑很容易滲透於以油膜粘附的導線框等的空隙中。又，（5的差在3以下時，具有優異的相互溶解性，很容易溶解除去前述空隙所存在的油垢等。本發明的第1的洗滌方法，因含有洗滌步驟及蒸氣洗滌乾燥步驟，使得精密零件容易洗滌乾燥。特別是使用顯示與聚有機基矽氧烷，有機碳化合物具相溶性的全氟化合物，當做蒸氣洗滌劑時，更具有良好的洗滌乾燥結果。本發明的第1的洗滌裝置，因具備蒸餾裝置及/或液體分離裝置，故此洗滌裝置也可使用於下述的第2的洗條方法。本發明的第2的洗滌方法係將電子零件等，以溶解度本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格(210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -25 - 494135 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（23 ) 參數（6)爲9以上或介電常數爲4以上的極性溶劑洗滌後，再以溶解度參數（5 )爲小於9及介電常數小於4的洗滌劑清洗及/或進行乾燥，試圖藉由以上的機能分離，發現能提供被洗滌物優異的洗滌效果。以下，說明本發明的第2的洗滌方法。本發明中，所謂洗滌乃是將附著於洗滌對象物的污垢濃度，降至最後，或除去之。又，所謂清洗乃是將附著於洗滌對象物的洗滌劑的濃度，降至最低，或除去之。所謂乾燥乃是將洗滌劑或清洗劑使自洗滌對象物蒸發或除去之 ’有自然乾燥，真空乾燥，蒸氣乾燥，同時還有以更高蒸氣壓的溶劑的取代等的方法。本發明的極性洗滌劑係依與有極性關聯因子的溶解度參數，介電常數，偶極矩，離解常數，分子折射率，酸-鹼相互作用等決定之。在本發明中可做爲極性洗滌劑使用者，其5值爲9以上或介電常數爲4以上即可。又，偶極矩在1〜5D的範圍爲理想，1〜5D的範圍係臨界領域〇理想的極性洗滌劑，其5值爲9〜1 4或介電常數爲 4〜4 5的範圍。特別是使用除去焊劑的活性劑成分，金屬加工油’切削油等的特壓添加劑的極性洗滌劑，其5值爲9〜14的範圍即可，更理想爲1〇〜13的範圍。5 值爲1 4以下時，與5值小於9的清洗洗滌劑的相溶性良好’能充分提供藉由清洗步驟，去除洗滌劑的效果。又， (5值爲9以上的極性洗滌劑時，能順利地除去焊劑，金屬 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線* 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）一 26 - 494135 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（24 ) 加工油，切削油中的離子性物質。 5值爲9〜1 4或介電常數爲4〜4 5範圍的極性洗滌劑有，醇類，乙二醇類，酚類，酮類，脂肪酸及酸酐類，酯類，胺類，醯類，4級銨塩，腈類，嗎啉類，亞碼類，磷酸類及這些的衍生物類，N -甲基一 2 -吡咯烷酮。例如，具體上，醇類有甲醇，乙醇，丙醇，正己醇， 3 ，5 ，5 —三甲基己醇，2 —乙基己醇，正辛醇，正丁醇，環己醇，笮醇，乙二醇類有，丙二醇一乙基醚，丙二醇一丁基醚，乙二醇- 丁基醚及其衍生物，酚類有，鄰甲酚，間甲酚，對甲酚及其衍生物，酮類有，乙醯苯，丙酮，甲乙酮，甲基異丁基酮，二異丁基酮，環己酮及其衍生物，脂肪酸及酸酐類有，醋酸，醋酸酐及其衍生物，酯類有，醋酸甲酯，醋酸乙酯，醋酸丁酯，乳酸乙酯，乳酸甲酯，草酸二乙酯及其衍生物，胺類有，乙胺，N，N —二甲基硝胺，及其衍生物，醯胺類有，N，N —二乙基甲醯胺，N — N —二甲基乙醯胺，N，N —二甲基甲醯胺，N ，N —二乙基甲醯胺，N —乙基乙醯胺及其衍生物，4級銨塩有，四甲基銨及其衍生物，睛類有，異丁睛，丙睛，乙腈，及其衍生物，嗎啉類有，乙基嗎啉，N -乙醯嗎啉，N -甲醯基嗎啉及其衍生物，亞硕類有，二甲基亞硕及其衍生物，磺內酯類有，丙烷磺內酯及其衍生物’磷酸類有，磷酸三乙酯，磷酸三丁酯及其衍生物。這些可單獨或組合使用。本發明中5值爲小於9及介電常數小於4的洗滌劑， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

II 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 x 297公釐） -27 - 494135 A7 B7 五 '發明説明（25 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 例如有，聚有機基矽氧烷，烴類，全氟碳數，氫氟碳類’ 醚類，聚甲醛類。具體的例如有，聚有機基矽氧烷類有’ 八甲基環四矽氧烷，十甲基環五矽氧烷等的低分子量聚有機基矽氧烷及其衍生物，烴類有IP Solvent 1016，1 6 2 0， 2028，2835(出光石油化學公司製，商品名）等的異鏈烷烴類，Shellsol D40，D 7。（Shell Japan公司製，商品名）等的異鏈烷烴類及環烷的混合溶媒，全氟碳類有，前述的一般式（I I I)及構造式（IV)所示的全氟化合物，氫化氟碳類有，前述的一般式（V)所示的氫化氟化合物，醚類有1 ，4一二噁烷及其衍生物，縮醛類有，甲縮醛及其衍生物。這些可單獨或組合使用。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製特別是低分子量聚有機基矽氧烷，如前述一般式（I )及一般式（II)所示的聚有機基矽氧烷爲宜，（I) 式及（I I )式中的R爲取代或非取代的1價的有機基，例如，如甲基，乙基，丙基，丁基等的烷基，苯基的1價的非取代烴基，如三氟甲基，3，3，3 —三氟丙基的1 價的取代烴基，又，上述（I )式的末端R還有，胺基，醯胺基，丙烯酸酯基，硫醇等，但爲維持系的安定性，揮發性，則以甲基爲最理想。上述5值爲9〜1 4或介電常數爲4〜4 5的極性洗滌劑，例示於表4 ( 1 ) ，5值爲小於9及介電常數小於 4的洗滌劑，則例示於表4 ( 2 )。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）一 28 - 494135 A7 B7 五、發明説明（26 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製表4 ( 1 ) 物質名 δ值介電常數偶極矩 3，5，5—三甲基己醇 10 〜11 3—甲氧基一3—甲基一1 —丁醇 9.3 正己醇 10.77 13.3 極 2-甲基環己醇 13.3 1.95 異庚醇 10.0 14.7 1.82 乙醇 12.78 25.7 1.68 乙二醇一甲基醚 16 2. 04 性鄰甲酚 11.5 1.41 苯乙酮 17.39 2. 96 醋酸酐 10.3 20.7 2. 82 醋酸乙酯 8.91 6.02 1.88 洗異丙醇 11.44 18.6 1.68 N，N，一二甲基硝胺 13.1 N，N—二甲基乙醯胺 37.78 3.72 N-乙基乙醯胺 12.3 N，N—二乙基甲醯胺 10.6 滌嗎啉 7.1 1.50 N-乙醯基碼啉 11.6 N—甲醯基嗎啉 13.0 異丁睛 20.4 3.61 劑丙睛 10.8 乙睛 11.9 二甲基亞硕 45 4.3 N—甲基—2—吡咯烷酮 14.7 乳酸乙酯 10.0 乳酸丁酯 9.4 丙烷磺內酯 4.70 磷酸三乙酯 3. 07 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -29 - 494135 A7 B7 五、發明説明（27 ) 表 4(2) 物質名 5值介電常數偶極矩八甲基環四矽氧烷 6.0 2.39 1.09 洗 IP solvent 7.3 She11sol D40 7.6 2.1 0 八甲基三矽氧烷 6.0 2.30 0. 99 滌 Naphtasol L 8.0 六甲基二矽氧烷 6.2 2.17 0.79 劑十二烷 2.016 全氟碳 5. 5〜6.0 17 〜1·9 氫氯氟化碳 6〜7 1，4 _二噪院 2.2 甲縮醛 2.7 0, 0.45 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製註）本表的偶極矩值係引用各種文獻的參考值。此偶極矩值依溫度變化法，折射率法，溶液法等的測定方法而有所變化，故從本表的偶極矩值無法判斷5值，介電常數。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）一 30 - 494135 A7 B7 五、發明説明（28 ) 本發明的第2的洗滌方法中的清洗步驟所使用的6值爲小於9及介電常數小於4的洗滌劑，並非只將附著於洗滌對象物的洗滌劑的濃度，降至最低或除去的清洗效果，同時，對於焊劑中的松脂成分，金屬加工油中的基礎油等具有溶解力。因此，可混合使用5值爲9〜1 4或介電常數爲4〜4 5範圍的極性洗滌劑與5值爲小於9及介電常數小於4的洗滌劑。特別是先以混合極性洗滌劑與低分子量聚有機基矽氧烷及/或烴類所成的洗滌劑，進行洗滌後，再以5值爲小於9及介電常數小於4的洗滌劑清洗及/ 或藉由乾燥，可得到良好的洗滌效果。烴類係直鏈狀及/ 或環狀的脂肪族烴，有利於提高乾燥性。此時，極性洗滌劑的配合比例係以不損害乾燥性之所需要量即可，對於洗滌劑的全重量以10〜50重量％爲宜，15 - 30重量 %則更佳，1 0重量％以上時，對於含有焊劑或金屬加工油的極性物質的溶劑性更佳，在按裝基板方面，可防止因離子性物質的殘留易引起降低絕緣電阻者，不產生配線或導線間泄漏或腐蝕，確保基板的信賴度。又，小於5 0重量％時，乾燥性良好，可提供乾燥後的零件精密加工性。又，極性洗滌劑的配合比例超過5 0重量％時，僅以5值爲小於9的洗滌劑清洗，即可提供良好的乾燥性。本發明的第2的洗滌方法的乾燥步驟有，藉由蒸氣乾燥，熱風乾燥或自然乾燥的方法，沒有特別限定，可依零件的形狀分開使用或配合使用。特別要求精密洗滌時，以加工性較優的蒸氣乾燥爲宜。蒸氣乾燥所使用的蒸氣洗滌本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -31 - 494135 A7 B7_ 五、發明説明（29 ) 劑，以具有6值爲小於9及介電常數爲小於4的特性的洗滌劑爲宜，使用至少一種選自全氟碳，氫氟碳，氫氯氟化碳及六甲基二矽氧烷的洗滌劑，對於精密洗滌劑更佳。氟氯氟化碳對於臭氧破壞係數極低者爲佳。具體上，全氟碳可使用前述的一般式（I I I)及（ I V)所示的化合物，氫氟化碳可使用一般式（V)所示的化合物。又，可使用相對蒸氣壓比極性洗滌劑高的洗滌劑，進行乾燥。此方法對對低溫且短時間的乾燥有效。本發明的第2的洗滌方法中，極性洗滌劑的洗滌步驟的清洗步驟，乾燥步驟可連續進行，也可省略清洗步驟或乾燥步驟。如上述，本發明的第2的洗滌方法係首先以極性洗滌劑洗滌後，以更低極性，或無極性的洗滌劑清洗，乾燥，故對於電子零件等的精密洗滌，可同時兼具洗滌性及乾繰性。其次說明本發明的第2的洗滌方法所使用的洗滌裝置。洗滌裝置可使用圖2或圖3所示的裝置。使用第2的洗滌方法時，洗滌槽及清洗槽的數量，不受限定’可依附著於零件的污垢量及種類任意設定。爲配合需要，可配置清洗手段，乾燥手段。洗滌手段’清洗手段及乾燥手段所使用的蒸氣乾燥劑，以能蒸餾再生利用者爲宜。特別是使用混合5值爲9〜 14範圍的極性洗滌劑與低分子量聚有機基矽氧烷及/或 I紙張尺度適用中國國家標準aNS ) A4規格（210X297公釐) " 一 -32 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂線表經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 494135 A7 B7_ 五、發明説明（3〇 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 烴系洗滌劑洗滌後乾燥的方法時，可以洗滌階式（溢流）方式連結，故以蒸餾裝置再生污垢液，再回到最終洗滌層，這種液體管理與各別管理洗滌液及清洗液，比較容易，而且可延長液體的壽命，可大幅降低管理成本。蒸餾再生時，洗滌劑成分爲混合物的狀態下，各成分的沸點儘可會g 相近爲宜，以組成比的安定性來看，洗滌劑成分的沸點，以1 50°C〜200°C的範圍爲佳。圖面的簡單說明 A .........洗條步驟，B .........淨化步驟，C .........洗條劑再生機構，D .........蒸氣洗滌乾燥步驟，E .........蒸氣洗滌再生機構，8 .........溢流管，9 .........超音波發生裝置，1 0 .........污物濾除器，1 1 .........污垢檢知裝置， 12 .........預備槽，1 3 .........蒸氣洗滌槽。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製圖1A及圖1B係表示本發明的1實施例的被洗滌物的晶體用導線框，圖2係表示由本發明的1實施例的複數個的洗滌槽所成的洗滌裝置，圖3係表示由本發明的1實施例的1個洗滌槽所成的洗滌裝置。以下，依實施例更詳細地說明本發明。實施例1〜實施例1 0及比較例1〜比較例4係關於第1的洗滌劑，洗滌方法及洗滌裝置，實施例1 1〜實施例3 6及比較例5 〜比較例1 0係關於第2的洗滌方法及洗滌裝置。實施例1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -33 - 494135 ______B7_ 五、發明説明（31 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 將八甲基環四矽氧烷·· 60重量％，十二烷：30重量％，2 —乙基己醇：5重量％，正丁醇：5重量％混合攪拌後，得到洗滌劑D — 1。（5值及接觸角分別由表1〜表3所記載數值。實施例2 將八甲基環四矽氧烷·· 4 0重量％，環烷系烴（沸點 160° - 200 °c) : 40重量％，醋酸丁酯：5重量 %，正丁醇：5重量％，二乙二醇一丁基醚：2重量％混合攪拌後，得到洗滌劑D - 1。δ值及接觸角分別由表示於表1〜表3。實施例3 調製由液體石蠟：85重量％，異硬脂酸：8重量％，氯化鏈烷烴：7重量％所成的金屬加工油P—1 ，使用此工作油P — 1 ，進行沖壓4 2合金製晶體用導線框（經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 20mmxl 50mmx〇. 25mm)。將 800 片的導線框，以金屬加工油P - 1所粘附的狀態下，掛置於籃上，使用實施例1所得到的洗滌劑D - 1 ，以實施例1 〇的洗滌裝置進行洗滌。洗滌前的粘附狀態下的油膜距離爲約8 // m。洗滌步驟係洗滌槽內充滿洗滌劑D - 1 ，浸漬掛置導線框的籃子，以30°C，5mi η，40KHz進行超音波洗滌。然後，送入蒸氣洗滌槽，使用全氟辛烷（ C8Fi8)，藉由以l〇〇°C，3min蒸氣洗滌，進行本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -34 - 494135 A7 _B7_ 五、發明説明（32 ) 乾燥。依下列的方法分別評價洗滌性。結果如表5所示。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ① 剝離狀態評價試驗以仍然粘附著金屬加工油，而未被洗滌的導線框數表示。0/800表示完全洗滌。 ② 表面狀態評價試驗以能觀察到金屬加工油或洗滌劑殘留污垢痕跡的導線框數表示。0/8 0 0表示無污垢痕跡 ③ 殘留油分的定量評價試驗任意抽取2片洗滌後的導線框，以3 0 0 m 1的四氯化碳萃取殘留的油分後，再使用HOR 1 B A油分濃度計OCMA — 220定量。實施例4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製液體石蠟：75重量％，異硬脂酸：15重量％，氯化鏈烷烴：10重量％所成的金屬加工油P — 2，使用此工作油P — 2，進行沖壓4 2合金製晶體用導線框（2 0 mmxl50mmx〇. 25mm)。將800片的導線框，以金屬加工油P - 2所粘附的狀態下，掛置於籃上，使甩實施例2所得到的洗滌劑D - 2，進行洗滌洗滌步驟係洗滌槽內充滿洗滌劑D - 2，浸漬掛置導線框的籃子，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35 - 494135 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（33 ) 以35。(：，3min，28KHz進行超音波洗滌。然後以60°C，1 Om i 11進行熱風乾燥。同實施例3的方法，評價其洗滌性，結果如表5所示〇比較例1 由液體石蠟·· 85重量％，異硬脂酸·· 8重量％，氯化鏈烷烴：7重量％所成的金屬加工油p—i ，使用此工作油P - 1 ’進行沖壓4 2合金製晶體用導線框（2 〇 mmxl500mmx〇. 25mm)。將800片的導線框’以金屬加工油P 一 1所粘附的狀態下，掛置於籃上 ’使用1 ’ 1 ，1 一三氟乙烷進行洗滌。洗滌步驟係洗滌槽內充滿1 ’ 1 ，1 一三氯乙烷，再浸漬掛置導線框的籃子，以35°C，8mi n，28KHz進行超音波洗滌。然後送入蒸热洗條槽，使用1 ，1 ，1 一三氯乙焼，以 7 8°C，4m i n，進行蒸氣洗滌乾燥。同實施例3的方法，評價其洗滌性。結果，如表5所示0 由表5得知本發明的剝離狀態，表面狀態，殘留油分與比較例1顯示同等的特性。對於洗滌劑並非僅評估其去污能力，同時也要考慮對環境的影響，對於洗滌作業人員的影響，是否容易適用於各種洗滌方法，再生使用的容易度洗滌對象物的影響。本發明的洗滌劑係考慮如前述含氯氟碳及三氯乙烷對環境或人體的不良影響而開發之代替洗 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、言本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -36 - 494135 A7 B7 五、發明説明（34 ) 滌劑，對於環境或人體不會有不良影響，且具有與三氯乙烷同樣的洗滌特性的優異特性。比較例2 由液體石蠟：75重量％，異硬脂酸：15重量％，氯化鏈烷烴：16重量％所成的金屬加工油P - 2，使用此工作油P - 2，進行沖壓4 2合金製晶體用導線框（ 20mmxl 5〇mmx〇. 2 5mm)。將 800 片的導線框，以金屬加工油P - 2所粘附的狀態下，掛置於籃上，使用含有1 0重量％由矽酸鈉：5重量％，硬脂酸鈉 :5重量％，聚氧化乙烯壬基苯基醚：15重量％，水： 1 5重量％所構成的洗滌劑的水溶液，進行洗滌後，以純水進行洗滌。以60°C，lOmin進行熱風乾燥。同實施例3的方法，評價其洗滌性。結果如表5所示。由表5得知，本發明具有優異的剝離狀態，表面狀態，而且，殘留油分少。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -37 - 494135 A7 B7 五、發明説明（35 ) 表 5 金屬加工油洗滌劑剝離狀態表面狀態殘留油分實施例3 P-1 D-1 0/800 0/800 0. lppm 實施例4 P-2 D-2 0/800 0/800 0. 2ppm 比較例1 P-1 三氯乙烷 0/800 0/800 0. 2ppm 比較例2 P-2 水系洗滌劑 796/800 796/800 38. 7ppm 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -38 - 494135 A7 B7 五、發明説明（36 ) 實施例5〜實施例8 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 調製金屬加工油P - 3〜P - 6。其組成如表6所示。與實施例1相同的方法得到與金屬加工油P - 3〜P — 6對應之洗滌劑D - 3〜D - 6。該組成如表7所示。分別使用金屬加工油P - 3〜P — 6進行沖壓無氧銅製 I C 用導線框（25mmx20〇mmx〇 · 5mm) ，以金屬加工油分別粘附8 Ο 0片導線框的狀態掛在籃上，使用與各金屬加工油對應之洗滌劑，藉由以下所示的實施例9或實施例1 0的洗滌裝置洗滌。洗滌前的粘附狀態的油膜距離爲約1 0 /zm。與實施例3同樣的方法評估洗滌性。其結果如表8所示。實施例5及實施例6係以同實施例3的條件，藉由蒸氣洗滌乾燥後進行熱風乾燥，實施例7及實施例8係以同實施例4的條件進行熱風乾燥。比較例3 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製使用金屬加工油P—6進行沖壓無氧銅製IC用導線框（2 5mmx20〇mmx〇 . 5mm)。將 800 片導線框以金屬加工油P - 6粘附的狀態掛置於籃上，使用 1 ，1 ，1 一三氯乙烷，與比較例1相同的條件進行洗滌及蒸氣乾燥。與實施例3相同的方法評估洗滌性。其結果如表8所示。由表5得知本發明的剝離狀態，表面狀態，殘留油分與比較例1顯示同等的特性。對於洗滌劑並非僅評估其去本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -39 - 494135 A7 B7 五、發明説明（37 ) 污能力，同時也要考慮對環境的影響，對於洗滌作業人員的影響，是否容易適用於各種洗滌方法，再生使用的容易度洗滌對象的影響。本發明的洗滌劑係考慮如前述含氯氟碳及三氯乙烷對環境或人體的不良影響而開發之代替洗滌劑，對於環境或人體不會有不良影響，且具有與三氯乙院同樣的洗滌特性的優異特性。比較例4 使用金屬加工油進行沖壓無氧銅製I C用導線框（ 25mmx20〇mmx〇.5mm)。將 800 片的導線框以粘附金屬加工油P - 6的狀態掛置於籃上，使用比較例2的洗滌劑，以同比較例2的條件進行洗滌及蒸氣乾燥。以同實施例3同樣的方法評估洗滌性，其結果如表8 所示。由表8得知本發明的剝離狀態，表面狀態優異，且殘留分少。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ297公釐） -40 - 494135 A7 B7 五、發明説明（# ) 表 6 (單位：重量％) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製組成金屬加工油 P-3 P-4 P-5 P-6 基礎液體石蠟 Μ 50 30 40 30 油油酸甘油酯 50 50 40 40 油性異硬脂酸 20 劑油酸 20 特硫化油脂 Θ 壓氯化烷烴 β 添二苯基二硫化物 10 加月桂酸磷 10 劑 Lupulsol 5080A *4 10 註）w ;粘度（2 5°C) 3 0 c S t *2 ;大日本1 NK (股）製硫化油脂1 5 Ο ;味之素（股）製 *4 ;日本Lupusol (股）製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -41- 494135 A7 B7 五、發明説明（w) 表 7 (單位：重量％) 組成洗滌劑 D-3 D-4 D-5 D-6 八甲基環四矽氧烷 70 60 50 50 異十二烷 10 10 20 10 環烷（bpl60-200°C) 20 20 20 25 醋酸正丁酯 10 5 2—乙基己醇 10 正丁醇 10 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 42 494135 A7 B7 五、發明説明（A ) 表 8 金屬加工油洗滌劑剝離狀態表面狀態殘留油分實施例5 P-3 D-3 0/800 0/800 0· lppm 實施例6 P — 4 D-4 0/800 0/800 0. 2ppm 實施例7 P-5 D-5 0/800 0/800 0. 2ppm 實施例8 P —6 D-6 0/800 0/800 0. lppm 比較例3 P-6 三氯乙烷 0/800 0/800 0. 2ppm 比較例4 P-6 水系洗滌劑 798/800 798/800 55. 6ppm (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 43 494135 A7 B7 五、發明説明（4ί ) 實施例9 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 實施例9的洗滌裝置的構成如圖2所示。圖2表示由複數個的洗滌槽所成的洗滌裝置之一例。同圖所示的洗漉裝置係由洗滌步驟A，洗淨化（清洗）步驟，洗滌劑再生機構C，蒸氣洗滌劑乾燥步驟D，及蒸氣洗滌劑再生機構 E所構成的。洗滌步驟A及洗淨化步驟B具有溢流分離機能及液面調整用感知器。同圖的箭頭表示液體的流動。洗滌步驟A及洗淨化工程B的洗滌槽，依洗滌時間及洗滌品質可選擇單槽及多槽連結槽，可以同樣的考慮多槽連結構的槽數。經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印製此實施例中，使用3槽的多槽連結槽，各槽間以排水配管（無圖示）及溢流管8相連接。爲配合需要，各槽可併用超音波，搖動，機械攪拌，洗滌劑加溫，刷洗等，可提高洗滌效果。本實施例中，設置超音波產生裝置9。洗淨化步驟B的最終槽，設置污垢除去過濾器1 〇及污垢檢知裝置11。污垢除去過濾器可依洗滌對象物的材料及金屬加工油的內容，做種種的選擇，例如使用具有〇. 1〜 2 0 /zm左右孔徑的微孔的陶瓷過濾器，玻璃過濾器，有機高分子系的過濾器，及這些的複合系過濾器等爲宜。污垢檢知裝置1 1係應用紅外線分光光度計及紫外線分光光度計等的裝置。洗滌劑再生機構C係利用自溢流管8所送來的洗滌劑中的各成分，金屬加工油系污垢等的沸點的差異，進行分離。再生後的洗滌劑經由貯藏於預備槽1 2後，再供給洗本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 494135 A7 ___B7_ 五、發明説明（42 ) 淨化步驟B的洗滌槽。蒸氣洗滌乾燥步驟D係藉由蒸氣洗滌液，漸漸的取代洗滌劑，以進行精密乾燥。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，蒸氣洗滌劑再生機構E係利用與洗滌劑中的各成分及蒸氣洗滌劑的比重差，進行分離。分離後的洗滌劑供給預備槽1 2，蒸氣洗滌劑則供給蒸氣洗滌槽1 3。實施例1 0 實施例1 0的洗滌裝置的構成，如圖3所示。圖3表示由一個洗滌槽所成的洗滌裝置之一例。同圖所示的洗滌裝置係由洗滌步驟A，洗滌劑再生機構C，蒸氣洗滌乾燥步驟D及蒸氣洗滌劑再生機構E所構成的。洗滌步驟A具有溢流分離機能及液面調整用感知器。 -線康洗滌槽設置與實施例9相同的超音波裝置，污垢除去過濾器，污垢檢出器。至於洗滌劑再生機構C，蒸氣洗滌乾燥步驟D及蒸氣洗滌再生機構E與實施例9相同，且功用相同。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製合 2 4 壓沖 2 I P 油 Η 加屬金的用所 4 例施 1 實 1 用例使施實 1 m X m m o m o o 1 5 爲 c 成線積導面製觸金接 m2 m m ο m ο ο 5 ο 2 ο ? 4 ο Xmm ο mm ο ο 8 mm ο ο 5 2 mm ο ο ο 7 傧 2 ， m )m m ο m ο 5 8 2 ，，上 2 乂 inD. π 2m m o m o o 0 o 4 o 1 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公釐） -45.- 494135 A7 _____ B7 五、發明説明（43 ) 各導線框使用洗滌劑D - 1 ，藉由實施例1 0的洗滌裝置 ’進行洗滌。洗滌步驟係使洗滌槽充滿洗滌劑D - 1 ，浸漬掛置導線框的籃子，以30°C，5mi η，4〇KHz 進行超音波洗《。然後，送至蒸氣洗滌槽，使用全氟辛院 (C8F18) ’以1 〇〇ac，3mi η進行蒸氣洗滌乾燥〇同實施例3的方法，評價其洗滌性。結果如表9 a所示。由表9 a得知，本發明具有優異的剝離狀態，表面狀態，且殘留油分少。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 46 494135 A7 B7 五、發明説明（44 ) 表9 接觸面積金屬加工油洗滌劑剝離狀態表面狀態殘留油分 100mm2〜800mm2 0/800 0/800 0.lppm 800mm2〜2500mm2 0/800 0/800 0.2ppm 2500mm2〜4000mm2 P-2 D-l 0/800 0/800 0.2ppm 4000mm2〜7000mm2 0/800 0/800 0. lppm 7000mm2 以上 0/800 0/800 0. 2ppm (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1T- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 47 494135 A7 _________B7 ____ 五、發明説明（45 ) 實施例1 2〜實施例3 7及比較例5〜比較例1 〇梳形基板（J I S - Z — 3197 2形）上塗佈焊 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 劑（R A type CRV — 5V田村化研製）後，以預熱溫度1 00〜1 20 °C除去溶劑，以230〜260 °C 3 0 s e c烘烤。此梳形基板當做評價用樣本，以實施例1 2〜實施例3 7及比較例5 -比較例1 〇所示的洗條劑組成’對於梳形基板的焊劑洗滌係以洗滌溫度：4 0 °C ，超音波輸出：400W/28HZ ，洗滌時間：5 min 2層，清洗時間·· 5 m i η 2層的條件下，進行洗滌及/或清洗後，進行乾燥。實施例1 9，實施例 2 8 ’實施例3 5，比較例5及比較例7，以熱風乾燥，實施例2 1 ’實施例29，實施例37，以自然乾燥，實經濟部智慧財產局員工消費合作社印製施例22，實施例30，實施例36，則施以真空乾燥，至於其他的實施例與比較例係使用各表所示的組成的蒸氣洗滌劑’進行蒸氣乾燥。洗滌後，測定離子餘渣量，絕緣電阻’有無白色餘渣，乾燥時間，進行洗滌性的評價。評價的方法如下。又，評價結果表9〜表1 3所示。由表9 〜表1 3的結果得知，本發明與比較例比較時，離子餘澄量少絕緣電阻值低，無白色渣餘無迅速乾燥，顯示優異的洗滌性及乾燥性。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 48 494135 A7 B7 五、發明説明（“）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製表9 實施例洗滌誠物 (wt%) 清麵臟 (wt%) 蒸氣洗_ 洗雕果全氟碳 HFC HCFC 六甲基二矽氧院離子殘渣 (Mg*NaCl/in2) 繊電阻值 Χίο13 (Ω) 白色餘渣纖時間 (sec) 臭氧破壤係數 12 3,5,5-三甲基己醇100 八甲^四矽氧院100 100 - - - 3.2 29 0/20 19 0 13 3-甲氧基-3-甲基+ rm loo 八甲^四矽氧垸100 — 100 - - 2.1 33 0/20 21 0 14 正己醇100 IP Solvent 1620 100 - - 100 - 4.1 45 0/20 31 0.01 〜0.04 15 2-甲基環己醇100 八甲基環四矽氧院50 IP Solvent 1620 50 100 1.5 38 0/20 25 0 16 異庚醇100 八甲基環四矽氧焼80 Shellsol D40 20 80 20 3.0 42 0/20 20 0 17 3,5,5-三甲基己醇50 3-甲氣基-3-甲基-1-丁醇50 八甲基環四矽氧焼100 100 3.9 51 0/20 17 0 18 3, 5, 5-三甲基己醇15 She11sol D40 45 八甲基環四矽氧院40 100 2.2 47 0/20 21 0 19 正己醇20 IP Solvent 1620 50 八甲基環四砂氧院30 熱 imm(5〇x：) 2.8 5.0 0/20 70 0 20 3-甲氧基-3 -甲基+丁醇25 naphtasol L 40 八甲基三矽 35 50 50 3.0 28 0/20 36 0 21 乙醇15 六甲基二矽氧院85 - 自然乾燥(25。0 2.7 3,0 0/20 120 0 22 3, 5,5-三甲基己醇100 八甲基三矽氣焼100 真空 _(10Τ〇Π· 30°〇 3.0 2.0 0/20 25 0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1T· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210><297公釐） 494135

A B7 五、發明説明（47 ) 表1 0 實施例洗櫞誠物 (wt%) 清麵脈 (wt%) 蒸氣洗麵洗浦果全氟碳 HFC HCFC 六甲基二矽氧院鮮殘渣 (fig · NaCl/inz) 纖電阻值 Χίο13 (Ω) 白色餘渣乾燥時間 (sec) 臭氧破壞係數 23 正己醇50 乙醇 50 八甲基環四矽氧焼100 100 - - - 3.5 22 0/20 29 0 24 乙二醇-甲基醚 50 乙醇 50 十二烷100 — 一 - 100 3.4 31 0/20 33 0 25 鄰甲酚50 苯乙酮50 F C4Fel00 - 100 - - 3.9 40 0/20 20 0 26 醋酸酐50 醋酸乙酷50 CtFi6 50 CaHCUFs 50 - 100 一 2.5 41 0/20 25 0.01 〜0.04 27 異庚醇50 N，N-二甲基乙_ 50 CaHCUFs 80 1，4二嚼院20 80 — - 20 2.3 16 0/20 35 0.01 〜0.04 28 異丙醇50 嗎啉 30 異丁睛20 C5H2F10 90 甲縮醛10 熱雌燥(50。〇 2.1 5.5 0/20 40 0 29 異丙醇50 二甲基亞碩 30 乳酸乙酯20 C3HC12F580 八甲基三矽 20 自然_(25。0 2.1 1.0 0/20 60 0_ 01 〜0.04 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 50 494135 A7 B7 五、發明説明（48 表 11 實施例 (wt%) 清·戎物 (wt%) 蒸氣洗· 洗淨結果全氟碳 HFC hcfc 六甲基二矽氧院 (Mg · NaCl/in2) 絕緣電阻值白色餘渣乾燥時間 (sec) 臭氧破壊係數 30 3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇 50 乳酸丁酯50 C3HC12F5 50 八甲基三矽氧烷30 IP Solvent 1620 20 真空乾燥 (lOTorr. βο 2.5 4.8 0/20 35 0.01 〜0.04 31 乙醇20 六甲基二矽 80 六甲基二矽烷 100 100 - 一 - 4.0 48 0/20 30 0 32 乙二醇-乙基醚 20 十二烷100 - - - 100 3.8 11 0/20 32 0 33 十二烷80 鄰甲酚50 1.4二噁烷50 CeHaFu 100 * 100 - 3.8 35 0/20 38 0 34 苯乙酮50 甲縮醛50 CsFie 50 CsHClsFs 50 50 - 50 - 3.4 50 0/20 35 0.01 〜0.04 35 醋酸酐50 甲縮醛50 C3HCI2F5 80 1，4二噁烷20 (3〇r) 3.3 8.5 0/20 40 0.01 〜0.04 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 51 494135 A7 B7 五、發明説明（49 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

cgT 0 睐藥蠢 1 ¥ ®κ ο ο 酲& 另 in I •ΙΉ ο s o 迴p 盛S 編 C0 ΟρΓ ” _ Ξ $ X 0¾ CD o ai Ne G m f $ « ^ =i 翟^ CO c6 o 11 & ® n P 另 m u II H c P i 狯 M CJ tu o X s _ CJ 0： m 嫉櫞 1 ^ - ^ - 艇 <〇 ^ m s 〇 o c5 ^ S i 一 s 避滅 m m 鍇域 § 〇 ^ 鮏Θ K!域屬舾 CO (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 52 494135 五、發明説明（π ) 表 13 實施例洗游繊物 (w t%) mmmrn (wt%) 乾燥方法 (ug· NaCl/in2) 洗淨結果絕緣電阻值 Χ103(Ω) 白色餘渣乾燥時間 (sec) 臭氧破壞係數 5 Shellsol D40 60 八甲基環四矽纖 40 - (50°〇 30 1.0 20/20 60 0 6 IP Solvent 1620 100 - PFC(CeFie)蒸氣嫌 25 3.0 20/20 25 0 7 3,5,5-三甲基己醇100 齡 100 Μ^(50β〇 13 0.05 9/20 2000< 0 8 IP Solvent 1620 100 - ΙΡΑ蒸氣洗減 13 0.06 15/20 40 0 9 氟昂113 96 乙醇 4 13 3.1 2/20 11 0 參考例未洗满 30 1.0 - - - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本買) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 494135 A7 _ B7 五、發明説明（5ί ) ④ 離子餘渣量 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 使用洗淨度測定器OMegameter 6 0 0 SMD(日本α Metals股份公司製），將乾燥後的梳形基板的萃取溶液的電氣阻抗，換算成N a C 1離子的當量值，當做離子餘澄量（/zg NaCl/in2) 〇 ⑤ 絕緣電阻使用數位超高阻抗/微小電流計（股份公司 Adventest製），測定乾燥後的梳形基板的電極間的阻抗。阻抗值係測定3次的平均值。 ⑥ 白色餘渣的有無顯微鏡觀察2 0片乾燥後的梳形基板，觀察到白色餘渣的片數/ 2 0片，作成數值化。 ⑦ 乾燥時間經濟部智慧財產局員工消費合作社印製進行自然乾燥，熱風乾燥，真空乾燥時，基板表面的附著液滴失爲止的時間當做乾燥時間。蒸氣乾燥則是測定將基板投入蒸氣洗滌劑的蒸氣中開始計時，提起時成爲完全乾燥的狀態爲止所需要的時間。本發明的第1的洗滌劑係使用與洗滌對象物所使用的金屬加工油的溶解度參數的差爲了以下的溶劑，故對於金屬加工油具有優異的溶解力。又，與金屬加工油的接觸角爲1 5°以內，因此，很容易滲透溶解以油膜粘附的金屬本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210x297公釐） 494135 A7

五、發明説明（5<2 ) 薄帶等存在於空隙的金屬加工油等，能夠達到良好的洗滌。又，使用至少一種選自具有上述特性的聚有機基矽氧院及有機碳化合物的成分，當做洗滌劑時，更能提高滲透溶解力。本發明的洗滌劑不像氟昂系溶劑，氯系溶劑產生環境破壞或環境污染，洗滌能力可與氟昂系溶劑或氯系溶劑相比。本發明的第1的洗滌方法，在洗滌步驟，清洗步驟，蒸氣洗滌步驟，可使用1種洗滌劑，步驟上較有利。又’使用上述的洗滌劑洗滌的同時，由於具備以全氟化合物當做蒸氣洗滌劑使用的蒸氣洗滌步驟，因此，更能充分的洗滌精密部分。本發明的第2的洗滌方法係首先以極性洗滌劑洗滌後，再以更低極性或無極性的洗滌劑清洗，進行乾燥，因此，精密洗滌電子零件等時，不會產生如氟昂系溶劑或氯系溶劑環境破壞，環境污染，能夠兼具洗滌性及乾燥性。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims

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• 1 . 一種洗滌方法，其特徵爲含有以含有至少一種選自具有溶解度參數爲9以上或介電常數爲4以上之特性之醇類’乙二醇類，酚類，酮類，脂肪酸及酸酐類，酯類，胺類’醯胺類，4級銨塩，睛類，嗎啉類，亞硕類，磺內酯類’磷酸類及這些的衍生物，N -甲基- 2 -吡咯烷酮分的極性洗滌劑洗滌被洗滌對象物的步驟；及前述洗滌步驟後，以含有至少一種選自具有溶解度參數爲9以下或介電常數爲4以下之特性之聚有機基矽氧烷類 ’烴類’全氟碳類，氫氟化碳類，醚類，縮醛類之成分之洗滌劑之清洗步驟中之至少一種步驟。 2 ·如申請專利範圍第1項的洗滌方法，其中該極性 '洗滌劑爲具有溶解度參數爲9〜1 4或介電常數爲4〜 4 5特性之極性洗滌劑。 3 .如申請專利範圍第2項的洗滌方法，該極性洗滌· 劑係混合具有溶解度參數爲9〜1 4或介電常數爲4〜 4 5特性之極性洗滌劑與具有溶解度參數小於9及介電常數爲4以下特性之洗滌劑的極性洗滌劑。 4.如申請專利範圍第1項的洗滌方法，該乾燥步驟爲使用具有溶解度參數小於9及介電常數爲4以下特性之洗滌劑，進行蒸氣乾燥的步驟。 5·如申請專利範圍第1項的洗滌方法，該乾燥步驟爲熱風或自然乾燥的步驟。 6 ·如申請專利範圍第1項的洗滌方法，係藉由取代蒸氣壓比前述極性洗滌劑更高的洗滌劑，進行前述乾燥步本紙張从適用中關家鮮（CNS ) A4«^ ( 21GX297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂综寧. 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 494135 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍驟， 7 ·如申請專利範圍第1項的洗條方法，其中烴類爲直鏈狀及/或環狀的脂肪族烴° 8. 如申請專利範圍第1項的洗滌方法，其中蒸氣乾燥步驟係使用至少一種選自’全氟化合物’氫氟化合物，氫氯氟化合物及六甲基二矽氧院的洗滌劑，進行蒸氣乾燥〇 9. 如申請專利範圍第8項的洗滌方法，其中蒸氣乾燥步驟係使用至少一種選自’全氟化合物及氫氟化合物之洗滌劑的蒸氣洗滌° (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4规格（210X297公釐）