TW471011B

TW471011B - Thin film forming apparatus

Info

Publication number: TW471011B
Application number: TW089120283A
Authority: TW
Inventors: Shunpei Yamazaki; Kunitaka Yamamoto; Masaaki Hiroki; Takeshi Fukunaga
Original assignee: Semiconductor Energy Lab
Priority date: 1999-10-13
Filing date: 2000-09-29
Publication date: 2002-01-01
Also published as: EP1093156B1; US20030196597A1; KR20010071141A; JP4827290B2; US7115434B2; JP2001185355A; CN1266985C; DE60028492D1; EP1705692A3; US7494837B2; CN1734746A; EP1705692A2; KR100783027B1; US20060283384A1; EP1093156A3; CN1293530A; US7919341B2; CN100468696C; US20090186439A1; EP1093156A2

Description

471011 A7 B7 五、發明說明（v) 1 · 發明領域 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於一種薄膜形成裝置使用以製造具有可產生E L (電致照明）之照明材料，特別是照明有機材料（以下稱爲有機E L材料）設置在陽極和陰極間之構造之 E L元件。 2 · 相關技藝之說明近年來，使用EL元件當成使用有機EL材料之EL 現象之自我照明元件之顯示裝置（E L顯示裝置.）已快速發展。由於此EL顯示裝置爲自我照明型，因此不需要如同液晶顯示裝置之背光。再者，由於可見之角度較廣，此種E L顯τρ:裝置被視爲使用在戶外之手提設備之顯示部份〇經濟部智慧財產局員工消費合作社印製於此有兩種E L顯示裝置，亦即，被動型（簡單矩陣型）和主動型（主動矩陣型），且兩種型式皆蓬勃的發展。特別的，現今，主動矩陣型E L顯示裝置獲得更多的注意。相關於變成照明層且被視爲E L元件之中央之有機 EL材料而言，雖然已對低分子有機EL材料和高分子有機E L材料做硏究，但是，由於高分子有機E l材料比低分子有機E L材料更輕易操控和其熱阻較高，因此更注意高分子有機E L材料。關於尚分子有機E L材料之膜形成方法方面，由Seiko Epson公司所提出之噴墨法是較佳的。關於此技術，一可參考曰本專利第平1 〇 - 1 2 3 77和平1 0 - -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 471011 A7 ___ B7 五、發明說明（2〉 153967 或平 11 — 54270 號案。但是，在此噴墨法中，由於高分子EL材料會噴出且散佈，如果介於塗覆表面和噴墨頭之噴嘴間之距離未適當的安排時，會發生如所謂的飛行曲線，其中墨滴落至非需要之部份。飛行曲線如日本專利第平1 一 5 4 2 7 0所述，且其界定爲可發生從目標位置50或更多的偏移。發明槪要本發明乃有鑒於上述之問題而製成，且在提供一種方法，其中以聚合物製成之有機EL材料之膜準確的且高產能的形成，而無位置偏1幕，和使此膜形成之一薄膜形成裝置。本發明之另一目的乃在提供一種具有薄膜形成裝置之多室系統（亦稱爲叢集工具系統）之元件形成裝置。爲了達成上述之目的，本發明之特徵在於紅，綠，和藍色照明層使用如散佈器之薄膜形成裝置形成一條紋狀。此條紋狀包括一長和薄矩形，具有2或更多的孔徑比，和一長且薄之橢圓形，具有長軸對短軸2或更大之比例。本發明之薄膜形成裝置如_ 1 A和1 B所示。圖1 A 爲從側邊觀之，本發明之薄膜形成裝置之外觀，和圖1B 爲從前面觀之，本發明之薄膜形成裝置之外觀。在圖1 A 中，參考數字1 0 0表示一支持台，1 〇 1爲固定有基底 1 0 2之傳送台。傳送台10 1可在X方向（水犀方向）或Y方向（垂直方向）移動。 ------!!p 裝 ------—訂----I---^線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -5 - 471011 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7___五、發明說明（3 > 一支持柱1 0 3和一保持器1 0 4接附至支持台 100，和塗覆單元105位在傳送台101上。塗覆單元1 0 5爲一裝置，其提供有一機構以塗覆含有機E L材料之溶液在一基底上，和一裝置用以傳送壓縮氣體（壓縮惰性氣體）至一頭部份1 0 6和用以供應含有機E L材料之溶液。再者，塗覆單元1 0 5包括一吸回機構（提供有吸回閥或空氣操作閥之機構）。吸回機構爲藉由使用膜規而改變體積以降低管中之壓力，用以將聚集在管之噴嘴埠之墨滴吸入噴嘴之機構。在圖1 A和1B之薄膜形成裝置中，頭部份1〇 6固定，和放置有基底1 0 2之傳送台1 〇 1在X或Y方向移動。亦即，採用此機構以使傳送台移動，因此，頭部份 1 0 6在基底1 0 2上相關的移動。雖然亦可使頭部份 1 0 6移動，但是，當基底側移動時，穩定性較佳。在上述構造之薄膜形成裝置中，提供有一有機材料（嚴格而言，一溶劑和溶解在其中之有機E L材料之混合物 )之供應埠之噴嘴之頭部份1 0 6在基底1 0 2上移動，因此，基底之預定部份以有機$ L材料塗覆。以下說明以頭部份1 0 6塗覆有機E L材料之方法。圖2 A爲包含7Γ共軛系統聚合物之有機E L材料之膜藉由執行本發明而形成之狀態圖。在圖2 A中，參考數字: 1 1 0表示一基底，和以丁 F T製成之一圖素咅_份π 1 ，一源極側驅動電路1 1 2，和一閘極側驅動電路丨丄3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐） 7〇Ζ ^1— - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 471011 A7 _ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（4 ) 乃形成在基底1 1 0上。以多數連接至源極側驅動電路 1 1 2之源極接線和多數連接至閘極側驅動電路1 1 3之閘極接線所圍繞之區域爲一圖素，和T f T和電連接至 T F T之E L元件形成在圖素中。此圖素以矩陣型式安排在圖素部份1 1 1中。於此’參考數字1 1 4 a表示一溶劑和當應用一電壓會發出紅色光之有機E L材料（有機£ l材料（R))之混合物（塗覆液體（R ) ) ; 1 1 4 b爲一溶劑和當應用一電壓會發出綠色光之有機E L材料（有機E L材料（G ))之混合物（塗覆液體（G));和1 14c表示一溶劑和當應用一電壓會發出藍色光之有機E L材料（有機 EL材料（B))之混合物（塗覆液體（b))。相關於有機EL材料方面，於此有一方法，其中聚合化聚合物直接溶解在溶劑中而後應用，和另一方法，其中在膜以溶解在溶劑中之單體形成後，執行加熱和聚合以形成聚合物。此兩方法皆可使用在本發明中。於此說明聚合物之有機E L材料溶解在溶劑中而後應用之例。在本發明之例中，一塗覆液體（R) 114a，一塗覆液體（G) 114b，和一_覆液體（b) 分別從薄膜形成裝置之頭部份1 〇 6應用在如圖1 A和1 B 所示之方向。亦即，條紋狀照明層（嚴格而言爲照明層之前身）同時形成在發出紅光之圖素線上，發出綠光之圖素線上，和發出藍光之圖素線上。 ^ 圖素線表示以觸排1 2 1分離之圖素之線，和觸排 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -7 - 471011 A7 _ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（5 ) 1 2 1形成在源極接線上。亦即，多數圖素沿源極接線序列安排之線稱爲圖素線。但是，雖然此處說明觸排1 2 1 形成在源極接線上，但是，觸排亦可提供在閘極接線上，和多數圖素沿閘極接線序列安排之線稱爲圖素線。因此，圖素部份1 1 1可視爲由提供在多數源極接線或多數閘極線上之條紋觸排所分割之多數圖素線之聚集。以此觀點，圖素部份1 1包含一圖素線，其中形成有發紅色光之條紋狀照明層，發綠色光之條紋狀照明層，和發藍色光之條紋狀照明層。由於條紋狀觸排提供在多數源極接線或多數閘極接線上，因此可將圖素部份實質視爲由提供在多數源極接線或多數閘極線上之條紋觸排所分割之多數圖素線之聚集。其次，圖2 A所示之頭部份（亦稱爲塗覆部份） 1 0 7之狀態擴大如圖2 B所示。參考數字1 0 7表示薄膜形成裝置之頭部份，和紅色噴嘴1 1 6 a,綠色噴嘴1 16b，和藍色噴嘴1 1 6 c 接附於此。此外，一塗覆液體（R ) 1 1 4 a，一塗覆液體（G ) 1 1 4 b ,和一塗覆液體（B ) 1 1 4 c分別儲存在每一噴嘴內側。塗覆液體以充塡在管117中之壓縮氣體壓縮，且受推出至圖素部份1 1 1。頭部份1 0 7沿垂直於紙面之方向向此側移動，因此，可執行如圖2 A所示之塗覆步驟。圖2 C爲由1 1 8所示之塗覆部份附近之擴大圖/。在基底1 1 0上之圖素部份1 1 1乃爲多數TFT1 1 9 a 本^張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公" ------------i ‘裝 ------訂------I--綠 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 471011 A7 —_________ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（6 ) 至1 19 C和圖素電極120a至120C所形成之圖素之聚集。當以壓縮氣體將壓力應用至圖2 B之噴嘴 1 16a至1 1 6c時，塗覆液體1 14a至1 14c受此壓力推出。以樹脂材料製成之觸排1 2 1提供在圖素間，和防止塗覆液體免於混入相鄰圖素間。在此構造中，當觸排 1 2 1之寬度（由光石印之解析度所決定）較窄時，圖素部份之整合受到改善且可獲得高細微影像。特別的，當塗覆液體之黏度在1至3 0 c p時，更爲有效。但是，如果塗覆液體之黏度爲3 0 c p或更大時，或是其爲溶膠或膠狀時，最好不要使用此觸排。亦即，如果介於塗覆液體和塗覆表面間之接觸角在塗覆後充分大時，塗覆液體無法極度展開，因此，變成不需要以觸排阻擋。在此例中，照明層最後形成橢圓形（長且薄之橢圓形，其長軸和短軸之比例爲2或更大），典型的爲從圖素部份之一端延伸至另一端之長且薄之橢圓形。關於可形成觸排1 2 1之樹脂材料方面，可使用丙烯酸，聚醯胺，聚醯亞胺，或聚亞氨醯胺。如果碳，黑色染料等先提供在樹脂材料中以使構f脂材料變黑時，可使用觸排1 2 1當成介於圖素間之光遮蔽膜。如果使用光反射之一感應器接附至任一噴嘴1 1 6 a ，116b， 116c之尖端附近時，亦可將介於塗覆表面和噴嘴間之距離始終保持固定。再者，藉由提供=機構以依照圖素節距（圖素間之距離）而調整介於噴嘴 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -9 - 471011 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7_ __ 五、發明說明（7 ) 1 1 6 a至1 1 6 C間之距離，可配合任何圖素之EL顯示裝置。以此方式，從噴嘴1 1 6 a至1 1 6 c應用之塗覆液體1 1 4 a至1 1 4c分別塗覆圖素電極1 20 a至 1 2 0 c。上述之頭部份1 〇 7之操作由電訊號所控制。在塗覆液體1 14a至1 14c應用後，在真空中執行加熱處理（烘烤處理或點火處理），因此，包含在塗覆液體1 1 4 a至1 1 4 c中之有機溶劑揮發且形成包含有機E L材料之照明層。因此，必須使用在低於有.機e L.材料之玻璃臨界溫度（T g )之溫度下會揮發之有機溶劑。最終形成之照明層之厚度由有機E L材料之黏度所決定。在此例中，此黏度可藉由選擇有機溶劑或添加劑而調整，且最好使黏度在1至5 0 c p間（最好爲5至2 〇 c p) 〇再者，如果有多數會變成結晶核之雜質存在於有機 E L·材料時，當有機溶劑揮發時，有機E l材料結晶之可能性變高。如果結晶，則照明效率降低，其是不佳的。因此，最好使在有機E L材料中儘可能不含雜質。爲了降低雜質，重要的是俾溶劑和有機E L材料徹底精鍊，且製造溶劑和有機E L材料之環境儘可能乾淨。關於溶劑之精鍊和有機E L材料之精鍊方面，最好亀複執行如蒸餾法，昇華法，過濾法，再結晶法，再沉澱法，層析法，或分解法等技術。最後，最好降低如金屬元·素或^驗金屬元素之雜質至0 · 1 p pm或更低（最好爲本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(2ί〇 χ’597公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Μ -------訂---------線 471011 A7 B7 五、發明說明（8 ) O.Olppm或更低）。此外，當使用如圖1 A和1 B所示之薄膜形成裝置應用含有機E L材料之塗覆液體時，最.好需充分注意大氣。特別的，最好使有機E L材料之形成步驟在充塡以如氮之惰性氣體之淸潔室或手套盒中執行。藉由使用上述之薄膜形成裝置，可同時形成分別發出紅色，綠色，和藍色光之三種照明層，因此，可以高產能形成包含高分子有機E L材料之照明層。再者，和噴墨系統不同的是，由於可塗覆成條紋狀，而在一圖素線上無間隙，因此，產能極高。圖式簡單說明在圖中：圖1 A和1 B爲薄膜形成裝置之圖；圖2 A至2 C爲有機E L材料之塗覆步驟圖；圖3 A和3 B爲有機E L材料之塗覆步驟圖；圖4 A和4 B爲有機E L材料之塗覆步驟圖；圖5爲薄膜形成裝置之圖；圖6爲薄膜形成裝置之圖；、圖7爲有機EL材料之塗覆步驟圖；和圖8 A至8 C爲在薄膜形成裝置中之頭部份之構造圖〇 - · - . * 符號說明本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）-11 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裘--------訂---------· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 471011 A7 B7五、發明說明（9〉 5 2 噴嘴 5 3 單元 54,57 頭部 5 5 單元 5 6 噴嘴 100 支持台 101 傳送台 10 2 基底 103 支持柱 104 保持器 105 塗覆單元 10 6 頭部 10 7 頭部 110 基底 111 圖素部份 112 源極側驅動電路 113 閘極側驅動電路 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 1 4 塗覆液體 1 1 6 噴嘴 1 1 9 T F T 1 2 〇圖素電極 1 2 1 觸排 3 0 1 觸排 3 0 2 方形本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -12 - 471011 A7 _B7 五、發明說明（10 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 0 1 觸排 4 0 2 E L 層 4 0 4 觸排 4 0 5 E L 層 5 0 0 閘 5 0 1 共同室 5 0 2 傳送機構 5 0 3 基底 5 0 4 傳送室 5 0 6 預先處理室 5 0 7 點火處理室 5 0 8 傳送機構 5 0 9 傳送室 5 1 0 溶液塗覆處理室 5 1 1 點火處理室 5 1 2 傳送機構 5 1 3 傳送室 5 1 4 溶液塗覆處理室 5 1 5 蒸氣相膜形成處理室 r 5 1 6 蒸氣相膜形成處理室 5 2 1 手套盒 5 2 2 路徑盒 5 2 3 閘 5 2 4 紫外線照射機構 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -1 裝--------訂----- 氧本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -13 - 471011 A7 _____ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（11 )5 2 5 閘 7 0 1 頭部較佳實施例之詳細說明以下說明本發明之實施例。如圖2 A所示，當圖素部份1 1 1，源極側驅動電路1 1 2，閘極側驅動電路 1 1 3包含TFT在基底1 1 0上時，條紋狀觸排i 2 1 沿源極接線形成（接線連接源極側驅動電路1 1 2至圖素部份1 1 1和傳送資訊訊號至圖素部份之開關T F 丁）。其次，準備欲變成照明層之一塗覆液體（R ) 114a，一塗覆液體（G) ll4b，和一塗覆液體（ B) 114c。每個塗覆液體114a至114c主要藉由溶解高分子有機E L材料在一溶劑中而形成。關於高分子有機E L材料方面，可使用聚對位苯乙嫌撐（p p v ) 系統，聚乙烯（P V K )系統，或聚荀系統。雖然有各種型式之有機E L材料存在當成p p v系統，但是已發表者如附件中之分子式〔化合物1〕和〔化合物 2〕（ H.Shenk，O.Gelsen，E.KIuge，W.Kreuder，和H.Spreitzer，”用於發光極體之聚合物”，Euro Display Proceedings , 1 999, p.33-37 )。亦可使用揭示於日本專利第平1 〇一 9 2 5 7 6號案之聚苯乙烯。其分子式如附件中之分子式〔化合物3〕和〔化合物4〕所不。 · ^ 關於P V K系統有機E L材料方面，其分子式如附件 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNSXA4規格（210 X 297公f ) 471011 A7 _ B7 五、發明說明（12 ) 之〔化合物5〕所示。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在聚合物狀態中之材料已溶解在溶劑中後，可應用高分子有機E L材料，或在材料溶解在溶劑中且以單底狀態塗覆後，可聚合化。在材料以單體狀態應用之例中/先形成單體前身，和而後藉由在真空中加熱聚合以形成聚合物〇特別的，可使用氰基聚苯撐乙烯撐在塗覆液體（R) 1 1 4 a中；可使用聚苯撐乙烯撐在塗覆液體（G) 1 1 4 b中；和可使用聚苯撐乙烯撐和聚烷基苯撐在塗覆液體（B ) 1 1 4 c中。關於溶劑方面，可使用氯仿，二氯仿，T 一丁酯內酯，丁酯溶纖劑，或NMP (N —甲基 - 2 -烷）。亦可有效的添加添加劑以提升塗覆液體之黏性。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製但是，上述之例只是有機E L材料之例，其可使用於本發明之照明層，但是，本發明並不限於此。在本發明中，有機E L材料和溶劑之混合物由圖1 A和1 B之薄膜形成裝置所應用，且溶劑藉由加熱處理而揮發和移除，因此可形成照明層。因此，當溶劑揮發時，如果溫度不超過照明層之玻璃臨界溫度時，可使用任何的有機E L材料。再者，當使用圖1A和1B之薄膜形成裝置執行塗覆步驟時，所需的是，處理氣體爲具有極少濕氣之乾燥氣體，且此步驟在惰性氣體中執行。由於E L層極易由存在之濕氣和氧所破壞，當形成E L層時，需要儘可能的排除适些因素。例如，最好使用乾燥氮氣或乾燥氬氣。因此，最本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -15- 471011 A7 __ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（13 ) 好將圖1 A和1 B之薄膜形成裝置安裝在一充塡以惰性氣體之淸潔廂中，且塗覆步驟在該氣體中執行。〔第一實施例〕在執行本發明之模式中，將針對發出紅色，綠色，和藍色光之三種條紋狀照明層同時形成在垂直和水平方向之例說明。在此實施例中，針對條紋狀照明層在縱向上分成多數部份之例說明。如圖3 A所示，當圖素部份1 1 1，源極側.驅動電路 1 1 2，閘極側驅動電路1 1 3包含T F T在基底1 1 0 上時，圖素部份1 1 1以觸排3 0 1分成矩陣型式。在此實施例中，如圖3 B所示，在由觸排3 0 1所分離之方塊 3 0 2中，設置有多數圖素3 0 3。圖素之數目並無限制〇在此狀態下，作用當成照明層之有機E L材料之膜形成步驟藉由使用本發明之薄膜形成裝置執行。在此例中，使用頭部份1 0 7選擇性應用紅色塗覆液體1 1 4 a，綠色塗覆液體1 1 4b，和藍色塗覆液體1 1 4 c。本實施例之特徵在於可以塗輝液體1 1 4 a至 1 1 4 c選擇性的塗覆相關方塊3 0 2。亦即，在執行本發明之模式中說明之系統中，可選擇性的以條紋狀塗覆紅色，綠色，和藍色塗覆液體。另一方面，在此實施例中，對於每一方塊，顏色之安排並無限制。因此，如獨所示，可採用之安排爲應用在任意方塊上之塗覆液體之顏色 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱）-16- 471011 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___ B7 _ 五、發明說明（14) 美隔一列（或一行）移位。亦可提供一圖素在方塊302中，且在該例中，可形成一般所謂的三角形安排之圖素構造（一種圖素構造，其中對應於R G B之圖素始終安排成三角形）。用以執行此實施例之頭部份1 0 7之操作如下··首先，頭部份1 0 7在箭頭” a ”方向移動，因此，三個方塊內部 (分別對應於紅，綠，和藍色之方塊）完全沒入塗覆液體中。當其終止時，頭部份1 0 7在箭頭’’ b ”方向移動，因此，塗覆液體應用在次一個三個方塊上，而後，.以熱處理使溶劑揮發以形成有機E L材料。在習知噴墨法中，由於應用墨滴，有機E L材料在表面上形成圓形。因此，難以塗覆整個長且薄之圖素。特gij 的，當整個圖素作用當成一照明區域時，需要塗覆有機 EL材料在整個圖素上。因此，本實施例具有之優點爲藉由移動頭部份1 0 7在箭頭” a ”之方向，方塊內側可完全充 - .--· i 塡以塗覆液體。〔第二實施例〕當圖2 A所示之圖素線之方，向爲垂直方向時，觸排 1 2 1沿源極接線形成。因此，可結論的是在觸排沿閘極接線形成之例中，圖素線乃形成在水平方向。亦即，在圖素線形成在垂直方向之例中，其構造如圖4 A所示，而在圖素線形成在水平方向之例中，其構造如圖4 B所示在圖4A中，參考數字401表示在垂直方向形成條本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -17- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) i !丨 I I 訂--！-後 471011 A7 — B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（15) 紋狀之觸排；4 0 2 a爲發出紅色光之E L層；和 402b爲發出綠色光之EL層。當然，發出藍色光之 EL層形成鄰近發出綠色裝EL層40 2b。觸排40 1 經由一絕緣膜且沿著源極接線而形成在源極接線上。此處之E L層意即以有助於光發射之有機E L材料製成之層，如照明層，電荷注入層，或電荷傳送層。雖然可能有單層之照明層之例，但是，在電洞注入層和照明層疊層之例中，此疊層膜稱爲EL層。在此例中，如圖1 B所示之頭部份1 0 6在垂直（.Y )方向移動。亦即，紅，綠，和藍色之三個圖素線同時在垂直方向掃瞄，且塗覆液體應用在圖素線上。在圖4B中，參考數字404表示在水平方向形成條紋狀之觸排；4 0 5 a爲發出紅色光之E L層；4 0 5 b 爲發出綠色光之E L層；和4 0 5 c爲發出藍色光之E L 層。觸排4 0 4經由一絕緣膜且沿著閘極接線而形成在閘極接線上。在此例中，如圖1 B所示之頭部份1 0 6在水平（X )方向移動。亦即，紅，綠，和藍色之三個圖素線同時在水平方向掃瞄，且塗覆液體應用，在圖素線上。如上所述，即使以選擇的塗覆液體沿垂直方向或沿水平方向塗覆在每一圖素線上時，藉由電控制頭部份1 〇 6 掃瞄之方向，即可輕易的操控。〔第三實施例〕 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -18 - 471011 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ____B7 __五、發明說明（16 ) 在此實施例中，說明本發明之薄膜形成裝置安裝在多室系統（亦稱爲叢集工具系統）之薄膜形成裝置中之例，且E L元件之形成方法連續執行，而未開放至空氣中。在圖5中，參考數字501表示一共同室，和共同室 5 0 1提供有一傳送機構（A) 5 0 2以傳送一基底 503。共同室501之氣體降低，且共同室50 1從相關的處理室以閘隔開。當閘打開時，基底之傳送至相關處理室乃以傳送機構（A ) 5 0 2執行。爲了降低共同室 5 0 1之壓力，雖然可使用如油壓旋轉泵，機械升壓泵，渦流分子泵，或低溫泵，但是，低溫泵可最有效的移除濕氣。下述將說明相關的室。由於共同室5 0 1具有降壓之氣體，所有直接耦合至共同室5 0 1之處理室提供有排氣泵（未顯示）。關於排氣泵方面，可使用前述之油壓旋轉泵，機械升壓泵，渦流分子泵，或低溫泵。首先，參考數字5 0 4表示一傳送室（A),其中基底載入和載出，且其亦稱爲一負載鎖室。傳送.室（A ) 5 0 4以閘5 0 0 a與共同室5 0 1隔開，且設置有基底之載體505乃設置於此。傳每室（A) 504可分成用以載入基底和用以載出基底者。在此實施例中，基底503設置在載體上，而元件形成表面面向下。此乃爲了便於當執行蒸氣相膜形成（以濺鍍或蒸氣沉積而膜形成）時之面向下系統。此種面師下系統爲形成膜時，基底之元件形成表面直接面向下之系統。 ---— II----IV 裝--------訂-----1---綾 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -19 - 471011 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（17) 依照此系統，可抑制灰塵等之接附。其次，參考數字5 0 6表示一處理室（以下稱爲預先處理室）以處理變成E L元件之圖素電極之陰極或陽極之表面。預先處理室506以閘500b與共同室5 01隔開。雖然預先處理室可依照E L元件之製造方法而改變，在此實施例中，其設計成在1 〇 0至1 2 0 °C加熱，而圖素電極之表面以紫外線照射。當E L元件之陽極表面受處理時，此預先處理是相當有效的。其次，參考數字5 0 7表示一點火處理室（A )和以閘5 0 0 c與共同室5 0 1隔開。如後述，可在點火處理室（A ) 5 0 7中進行真空排氣和洗滌，其包括用以反向基底表面之機構。再者，提供有傳送機構（B ) 5 0 8之傳送室（B ) 5 0 9乃經由閘5 0 0 d連接至點火處理室 (A ) 5 0 7。此外，溶液塗覆處理室（A ) 5 1 0經由閘500e連接至傳送室（B) 509。於此說明點火處理室（A ) 5 0 7，傳送室（B ) 5 0 9，和溶液塗覆處理室（A ) 5 1 0之操作。當基底傳送至點火處理室（A) 5 0 7時，點火處理室（A ) 5 0 7在降壓狀態，和閘5 0 0 d關閉。當基底 (元件形成表面向下）傳送時，閘5 0 0 c關閉，和點火處理室（A ) 5 0 7之內側藉由充塡以惰性氣體而恢復大氣壓力。基底以反向機構（未顯示）翻轉，且元件形成表面向上。 ...... 在此狀態，閘5 0 0 d和5 0 0 e打開，和基底傳送 ------------^丨裝-------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -20 - 471011 A7 B7 五、發明說明（18 ) 至處理室（溶液塗覆處理室（A) ) 5 1 〇，其中應用含 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 有機EL材料之溶液。溶液塗覆處理室（a) 5 10爲提供有如同本發明之圖i A和1 B所示之薄膜形成裝置相同功能之處理室，且於此應用變成條紋狀照明層之溶劑和有機E L材料之混合物。所需的是，形成高純度惰性氣體，以使氧和濕氣不會侵害有機E L材料。應用有溶劑和有機E L材料之混合物之基底再度返回點火處理室（A) 507，且在1〇〇至120 °C之溫度下執行熱處理（點火處理）。所需的是，此室含有高純度惰性氣體。當點火處理終止時，基底由反向機構（未顯示 )反向，和點火處理室（A) 5 0 7在元件形成表面再度面向下之狀態時抽真空。此時，閘5 0 0 c和5 0 0 d關閉。當點火處理室（A ) 5 0 7抽真空終止時，閘 5 0 0 c打開且基底以傳送機構（a) 5 0 2返回共同室 5 0 1° 上述爲點火處理室（A ) 5 0 7，傳送室（B ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 0 9，和溶液塗覆處理室（A ) 5 1 0之操作。其次，參考數字5 1 1表苹點火處理室（B ),其以閘5 0 0 f與共同室5 0 1隔開。真空排氣和洗滌亦可在點火處理室（B ) 5 1 1中進行，其包括一機構以反向基底表面。再者，提供有傳送機構（C) 5 12之傳送室（ C ) 5 1 3經由閘5 0 0 g連接至點火處理室（B') 一 5 1 1。此外，溶液塗覆處理室（B )經由閘5 0 0 h連本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -21 - 471011 A7 B7_____ 五、發明說明（19) 接至傳送室（C) 513。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 由於點火處理室（B ) 5 1 1，傳送室（c.) 5 1 3 ，和溶液塗覆處理室（B ) 5 1 4之操作幾乎和點火處理室（A) 507，傳送室（B) 509，和溶液塗覆處理室（A) 5 1 〇之操作相同，因此，以下只說明其差異處〇傳送至溶液塗覆處理室（B ) 5 1 4之基底應用以有機E L材料和溶劑之混合物，其以旋轉塗覆法而變成電洞注入層或電洞傳送層。氣體爲高純度惰性氣體，.因此，.如同在溶液塗覆處理室（A) 5 1 〇中，氧和濕氣不會侵害有機E L材料。當在點火處理室（B ) 5 1 1中之點火處理終止時，執行在點火處理室（B ) 5 1 1抽真空，閘5 〇〇 f打開，且基底以傳送機構（A) 502返回共同室501。上述爲點火處理室（B) 511，傳送室（c) 512，和溶液塗覆處理室（B ) 5 1 4之操作。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製其次，參考數字5 1 5表示一處理室（蒸氣相膜形成處理室（A ))以利用蒸氣相膜形成法形成一絕緣膜或一導電膜（在此實施例中爲導電膜）。雖然蒸氣沉積法或濺鍍法皆可當成蒸氣相膜形成法，由於其使用於形成一電極在有機E L材料上，最好使用蒸氣相沉積法，因爲其不會輕易造成破壞。在此狀態下，以閘5 0 〇 i隔開共同室 5 0 1，和在真空下形成膜。於此以向上沉積系統形-成膜本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 471011 A7 ___________B7 五、發明說明（20 ) 在蒸氣相膜形成處理室（A) 5 1 5中，當執行蒸氣相處理時，需要提供蒸氣沉積源。可依照欲形成之膜而提供或改變多數蒸氣沉積源。此外，亦可採用阻熱系統之蒸氣沉積源，或EB (電子束）系統之蒸氣沉積源。其次，參考數字5 1 6表示一處理室（蒸氣相膜形成處理室（B ))以利用蒸氣相膜形成法形成一絕緣膜或一導電膜。關於蒸氣相膜形成法方面，雖然可使用電漿 C V D法或濺鍍法，最好爲以最低膜形成溫度形成絕緣膜。例如，以遠電漿C V D法形成氮化砂膜是較有效的。在此狀態下，以閘5 0 0 j隔開共同室5 0 1，和在真空下形成膜。上述之處理（排氣，傳送，膜形成處理等）可使用電腦，以一接觸板和序列器全自動控制。上述構造之多室薄膜形成裝置之主要特徵在於提供有需要形成E L元件之所有膜形成機構，和執行直到被動膜形成之步驟而無曝露至大氣中。結果，藉由使用高分子有機E L材料和簡單的機構，可形成E L元件抵抗損壞之防護，且可製造具有高可靠度之EL顯示裝置。即使當執行第一或第二實梅例之構造時，此實施例亦可使用當成一薄膜形成裝置。〔第四實施例〕在此實施例中，參考圖6說明圖5所示之多室薄> 膜形成裝置之一部份改變之例。特別的，係關於一手套盒請先閱讀背面之注意事項再 J裝本 · 頁訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -23 - 471011 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（21 ) 521和一路徑盒522提供在一傳送室（A) 504之構造。對於非改變部份之處，可參考第三實施例之說明。手套盒5 2 1經由閘5 2 3連接至傳送室（A) 504。在手套盒52 1中，執行在封閉空間中之EL裝置之密封處理。此處理乃用以保護基底（已在圖6之薄膜形成裝置中處理且返回傳送室（A) 5 0 4之基底），其已受到來自外部空氣之所有處理，且使用以密封材料將其機械密封之機構或以熱固樹脂或紫外線硬化樹脂將其密封之機構。關於密封材料方面，雖然可使用如玻璃，陶瓷，或金屬，但是，在光從密封材料側射出之例中，其必須爲半透明的。密封材料和已受到上述處理之基底使用熱固樹脂或紫外線硬化樹脂結合，且此樹脂以熱處理或紫外線照明處理硬化以形成封閉空間。在此封閉空間中，亦可有效的提供如氧化鋇當成乾燥劑。亦可在密封材料和形成有E L元件之基底間之空間充塡以熱固樹脂或紫外線硬化樹脂。在此例中，亦可有效的添加如氧化鋇在熱固樹脂或紫外線硬化樹脂中當成乾燥劑〇如圖6所示之薄膜形成裝置具有之構造爲用以照射紫外線之機構（紫外線照射機構）5 2 4提供在手套盒 5 2 1內側，和以來自紫外線照射機構5 2 4之紫外線硬化紫外線硬化樹脂。 ^ 雖然在手套盒5 2 1中之操作可爲手動操作，最好使 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -24- 471011 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（22) 此操作爲經由電腦控制機械的執行。當使用密封材料時，最好安裝有用以塗覆密封劑（熱固樹脂或紫外線硬化樹脂 )之機構，使用在液晶之胞組裝步驟中，用以結合基底之機構，和用以硬化密封劑之機構。藉由接附排氣泵，亦可降低手套盒5 2 1之內側壓力。當上述密封步驟以機器人操作機械的執行時，可在低壓下有效的執行操作。其次，路徑盒5 2 2經由閘5 2 5連接至手套盒 5 2 1。藉由接附排氣泵，亦可降低路徑盒5 2 2之壓力。路徑盒5 2 2爲用以防止手套盒5 2 1免於曝露至外部空間之設備，且一基底由此處取出。如上所述，在此實施例之薄膜形成裝置中，由於基底在E L元件已在密封空間中完全密封時才曝露至大氣中，因此可完全防止E L元件受到濕氣等之破壞。亦即，可製造具有高可靠度之E L顯示裝置。〔第五實施例〕雖然執行本發明之第一實施例之模式顯示發出紅色光之照明層，發出綠色光之照明辱，和發出藍色光之照明層皆使用如圖1 A和1 B所示之薄膜形成裝置形成之例，但是，於此亦可是至少用於發出紅，綠，和藍色光之照明層之一使用如圖1所示之薄膜形成裝置。亦即，在圖2 B中，可省略噴嘴1 1 6 c (·用於/應用塗覆液體（B) 11 4c之噴嘴）和以其它機構塗覆塗覆 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -25· 471011 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（23) 液體（B ) 1 1 4 c。特別的，在圖5和6中，塗覆液體（R) 114a和塗覆液體（G ) 1 1 4 b應用在溶液塗覆處理室（A ) 510中，且而後，塗覆液體（B) 114c亦應用在溶液塗覆處理室（B) 5 14中。當然，顏色之結合並無限制，而是塗覆液體（R ) 1 1 4 a和塗覆液體（B ) 114c應用在溶液塗覆處理室（A) 510中，且而後，塗覆液體（G) 11 4b亦應用在溶液塗覆處理室（B )5 1 4 中。此實施例之構造亦可藉由與第二實施例之構造之結合而執行。〔第六實施例〕雖然已說明三噴嘴接附至圖2 A至2 C所示之頭部份 1 0 7之例，於此亦可提供對應於多數圖素線更多的噴嘴。此例如圖7所示。圖中之文字R，G，B分別對應於紅色，綠色，和藍色。圖7顯示有機E L材料（嚴格而言爲塗覆液體）應用在同時形成在圖素部份中之所育圖素線上。亦即，接附至頭部份7 0 1之噴嘴數目等於圖素線之數目。藉由採用此種構造，可藉由一掃瞄而塗覆所有圖素線，因此可顯著改善產能。此外，圖素部份分成多數區，且可使用在每·一區-提供有數目等於圖素線之噴嘴之頭部份。亦即，當圖素部份分 ------------'褒--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） · 26 - 471011 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（24 > 成η區時，且當掃瞄執行η次時，可塗覆有機EL材料（塗覆液體）在所有圖素線上。實際上，由於圖素之尺寸小至數十// m，因此圖素線之寬度亦變成數十M m。在此例中，由於難以水平的安排噴嘴在一線上，因此需要設計噴嘴之安排。圖8 A至8 C爲改變噴嘴接附至頭部份之位置之例。圖8 A爲噴嘴5 2 a至5 2 c形成而它們傾斜的移位至頭部份5 1之例。參考數字5 2 a表示應用塗覆液體（R) 之噴嘴：參考數字5 2 b表示應用塗覆液體.（G )之噴嘴 ;和參考數字5 2 c表示應用塗覆液體（B)之噴嘴。箭頭之每一線對應於一圖素線。如數字5 3所表示，噴嘴5 2 a至5 2 c當成一單元，且一至多單元提供在頭部份。一單元53同時塗覆有機 EL材料在三個圖素線上，和η個單元53同時塗覆有機 E L材料在3 η個圖素線上。藉由採用此構造，可提升在噴嘴安排空間上之自由度，且可以高細微性不受壓迫的執行本發明至圖素部份。此外，藉由使用圖8Α之頭部份5 1，亦可同時處理在圖素部份中之圖素線，或亦可將圖寒部份分成多數區且執行處理多次。其次，圖8 Β所示之頭部份5 4爲圖8 Α之修改例，且其爲包含在一單元5 5中之噴嘴數目增加之例。亦即，在單元5 5中，包括雨噴嘴5 6 a用以塗覆塗覆、液發’（R )，兩噴嘴5 6 b用以塗覆塗覆液體（G)，和兩噴嘴本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4 ϋ X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 471011 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（25〉 56c用以塗覆塗覆液體（B)，和有機EL材料同時以一單元5 5應用在全部六個圖素線上。在此實施例中，提供有一至多個單元5 5，且當提供一個單元5 5時，有機E L材料同時應用在六個圖素線上，和當提供η個單元時，有機EL材料同時應用在6^個圖素線上。當然無需限制提供在單元5 5之噴嘴數目爲六個，亦即，亦可提供更多的噴嘴。在此構造中，和圖8 Α相似的，在圖素部份之所有圖素線可同時處理，或亦可將圖素部份分成多數區和執行處理多次。此外，亦可使用如圖8 C所示之頭部份5 7。在頭部份57中，噴嘴58a用以塗覆塗覆液體（R),噴嘴 5 8 b用以塗覆塗覆液體（G),和噴嘴5 8 c用以塗覆塗覆液體（B )乃以三個圖素線之空間間隔提供。當此頭部份5 7首先掃瞄一次以塗覆有機E L材料在圖素線上時，頭部份5 7向右移位三個圖素線且再度掃瞄。藉由執行上述之掃瞄三次，可以紅色，綠色，藍色之順序以條紋狀塗覆有機E L材料。在此構造中，和圖8 A相姆的，在圖素部份之所有圖素線可同時處理，或亦可將圖素部份分成多數區和執行處理多次。如上所述，在圖1所示之薄膜形成裝置中，藉由設計接附至頭部份之噴嘴位置，即使對於具有高細微牲耵窄圖素節距（圖素間之距離）之圖素部份而言，亦可執行本發 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）-28- 471011 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（26) 明。而後，可提升製造方法之產能。此實施例之構造亦可藉由與第一至第五實施例之構造之結合而執行。〔第七實施例〕在第一實施例中，雖然共同室5 〇 1具有降壓氣體，於此亦可採用充塡以惰性氣體之氣壓之氣體。在此例中，排氣泵可不提供在傳送室（A) 5 0 4， 5 0 6，點火處理室（A ) 5 0 7，和點火處理室（b ) 5 1 1 中。但是，由於傳送機構（A ) 5 0 2 ,傳送機構（B ) 5 0 8，和傳送機構（C )分別提供在共同室5 0 1，傳送室（B) 509，和傳送室（C) 5 13中，所充塡之惰性氣體極有可能受到污染。因此，最好使共同室5 0 1 ，傳送室（B) 509，和傳送室（C) 513形成其壓力低於其它處理室之壓力之狀態，且因此惰性氣體流入共同室501，傳送室（B) 509，和傳送室（C) 5 1 3 中。此實施例之構造亦可藉由缉第三至第六實施例之構造之結合而執行。〔第八實施例〕雖然第三實施例顯示預先處理室5 0 6提供有照^明紫外線之機構和執行熱處理之機構之例，但是，此實施例顯 ---------- 1/ 裝·----I--訂 -----I--级 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公« ) -29- 471011 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（27) 示預先處理室5 0 6提供有用以執行電漿處理之機構之例 0 當對EL元件之陰極表面執行預先處理時，需要移除陰極表面之自然氧。此實施例包括一機構，其藉由對陰極表面使用含氟或氯氣之氣體執行電漿處理以移除自然氧。此實施例之構造亦可藉由與第三至第七實施例之構造之結合而執行。〔第九實施例〕雖然第三實施例顯示預先處理室5 0 6提供有照明紫外線之機構和執行熱處理之機構之例，但是，此實施例顯示預先處理室5 0 6提供有用以執行濺鍍處理之機構之例〇當對EL元件之陰極表面執行預先處理時，需要移除陰極表面之自然氧。此實施例包括一機構，其藉由對陰極表面使用如稀有氣體或氮之惰性氣體執行濺鍍處理以移除自然氧。此實施例之構造亦可藉由與第三至第八實施例之構造之結合而執行。：〔第十實施例〕第三實施例顯示變成照明層之有機E L材料經由溶液塗覆處理室（A ) 5 Γ 0和點火處理室（A ) 5 Ό r*而形成，且再者，變成電洞注入層或電洞傳送層之有機E L材 — — — — — — — — — — — — - -III — — — — ^ > I I I i I — II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） _ 30 · 471011 A7 ----- B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（28) 料經由溶液塗覆處理室（B ) 5 1 4和點火處理室（B ) 5 1 1而形成。但是，亦可形成之構造爲，首先，電洞注入層或電洞傳送層經由溶液塗覆處理室（B ) 5 1 4和點火處理室（ β ) 5 1 1而形成，而後，變成照明層之有機e l材料經由溶液塗覆處理室（A ) 5 1 〇和點火處理室（A ) 5 0 7而形成，再而後，變成電洞注入層或電洞傳送層之有機E L材料經由溶液塗覆處理室（b ) 5 1 4和點火處理室（B ) 5 1 1而形成。亦即，在藉由使用圖1 A和1B之薄膜形成裝置選擇性的塗覆紅色，綠色，和藍色有機E L材料（B )之例中，使用溶液塗覆室（A) 5 1 0，在形成有提供在基底之整個表面上之有機EL材料之例中，可使用溶液塗覆室（ B ) 5 1 4。亦可藉由選擇性使用這些溶液塗覆處理室而形成各種疊層構造之EL層。 ^ 此實施例之構造亦可藉由與第三至第九實施例之構造之結合而執行。〔第十一實施例〕：雖然第三實施例顯示變成陰極或陽極之導電膜在蒸氣相膜形成處理室（A ) 5 1 5中形成，於此，有機E L材料亦可使用蒸氣沉積法形成。亦即，其可使用於當形成選自電洞注入層，電洞傳送層，電子注入層，和電子貧送層之層時。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公«) -31 - 471011 A7 ___ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（29) 藉由改變蒸氣沉積源，蒸氣相膜形成處理室（A ) 5 1 5亦可形成有機E L材料之膜和導電膜兩者。亦可以蒸氣相膜形成處理室（A ) 5 1 5形成有機E L材料，和以蒸氣相膜形成處理室（B ) 5 1 6形成變成陰極或陽極之導電膜。此實施例之構造亦可藉由與第三至第十實施例之構造之結合而執行。如上所述，藉由使用本發明之薄膜形成裝置，可形成有機E L材料而無如習知噴墨法之飛行曲線之問題。亦即，由於高分子有機EL材料之膜可準確形成，而無位置偏移之問題，因此可改善使用高分子有機EL材料之EL顯示裝置之產能。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -32 -

Claims

471011 A8B8C8D8 六、申請專利範圍 1 .—種薄膜形成裝置，包含：一平台用以固定一基底； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一頭部份；和一機構用以相關於基底移動該頭部份；其中該頭部份包括含有有機E L材料（R )之溶液之一噴嘴，含有有機E L材料（G )之溶液之一噴嘴，和含有有機E L材料（B )之溶液之一噴嘴。 2 ·如申請專利範圍第1項之裝置，其中有機e l材料 (R )，有機E L材料（G )，和有機E L .材料（B )爲聚合物。 3 ·如申請專利範圍第1項之裝置，其中含有有機E l 材料（R )之溶液，含有有機E L材料（G )之溶液，和含有有機E L材料（B )之溶液以條紋狀應用。 4 ·如申請專利範圍第1項之裝置，其中含有有機e L 材料（R )之溶液，含有有機E L材料（G )之溶液，和含有有機E L材料（B )之溶液以壓縮氣體從噴嘴推出。 5·—種薄膜形成裝置，包含：經濟部智慧財產局員工消費合作社印製一平台用以固定一基底； —頭部份，包括一噴嘴以，用含有機E L材料之溶液；和一機構用以相關於基底移動該頭部份；其中該頭部份包括至少含有有機E L材料（r )之溶液之一噴嘴，含有有機'E L材料（G )之溶液之·〜.嘴，和含有有機EL材料（B)之溶液之一噴嘴之一。本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公β Πβ3^ - 471011 A8B8C8D8 六、申請專利範圍 6 ·如申請專利範圍第5項之裝置，其中有機E L材料 (R)，有機EL材料（G)，和有機EL材料（B)爲 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 聚合物。 7 *如申請專利範圍第5項之裝置，其中含有有機E L 材料（R )之溶液，含有有機E L材料（G )之溶液，和含有有機E L材料（Β )之溶液以條紋狀應用。 8 ·如申請專利範圍第5項之裝置，其中含有有機E L 材料（R )之溶液，含有有機E L材料（G )之溶液，和含有有機E L材料（Β )之溶液以壓縮氣體從噴嘴推出。 9 _一種薄膜形成裝置，包含：一傳送室用以載送基底以進出；一共同室，包括一機構以傳送基底；和多數處理室，每一處理室經由一閘連接至共同室；其中至少一處理室包括一平台用以固定一基底，一頭部份包括一噴嘴以應用含有機E L材料之溶液，和一機構用以相關於基底移動該頭部份；和經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製其中該頭部份包括含有有機E L材料（R )之溶液之一噴嘴，含有有機EL材料（G)之溶液之一噴嘴，和含有有機E L材料（Β )之溶液之一噴嘴。 1 0 .如申請專利範圍第9項之裝置，其中共同室保持在降壓狀態，和包括平台以固定基底之處理室，包括噴嘴以應用含E L材料溶液之頭部份，和用以相關於基底移動頭部份之機構保持在充塡以惰性氣體之氣壓狀態。……一 1 1 .如申請專利範圍第9項之裝置，進一步包含〜點 34 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 471011 A8B8C8D8 六、申請專利範圍 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) kg#Μ同室和包括平台以固定基底之處理室，包括噴嘴以應、$含E L材料溶液之頭部份，和用以相關於基底移動頭部份之機構間。 1 2 .如申請專利範圍第9項之裝置，進一步包含一機構以在共同室和包括平台以固定基底之處理室，包括噴嘴以應用含E L材料溶液之頭部份，和用以相關於基底移動頭部份之機構間反向基底。 1 3 .如申請專利範圍第9項之裝置，其中有機E L材料（R )，有機E L材料（G )，和有機E L材料（Β ) 爲聚合物。 1 4 ·如申請專利範圍第9項之裝置，其中含有有機 E L材料（R )之溶液，含有有機E L材料（G )之溶液，和含有有機E L材料（Β )之溶液以條紋狀應用。 1 5 .如申請專利範圔第9項之裝置，其中含有有機 EL材料（R)之溶液，含有有機EL材料（G)之溶液，和含有有機E L材料（Β )之溶液以壓縮氣體從噴嘴推出。 16.—種薄膜形成裝置，包含：經濟部智慧財產局員工消費合作社印製一傳送室用以載送基底以進出；一共同室，包括一機構以傳送基底；和多數處理室，每一處理室經由一閘連接至共同室；其中至少一處理室包括一平台用以固定一基底，一頭部份包括一噴嘴以應用含有機E L材料之溶液，.和一機構用以相關於基底移動該頭部份；和本ί氏張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚〉~· 471011 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 _ D8六、申請專利範圍其中該頭部份包括至少含有有機E L材料（R )之溶液之一噴嘴，含有有機EL材料（G)之溶液之一噴嘴，和含有有機E L材料（B )之溶液之一噴嘴之一。 1 7 ·如申請專利範圍第1 6項之裝置，其中共同室保持在降壓狀態，和包括平台以固定基底之處理室，包括噴嘴以應用含E L材料溶液之頭部份，和用以相關於基底移動頭部份之機構保持在充塡以惰性氣體之氣壓狀態。 1 8 .如申請專利範圍第1 6項之裝置，進一步包含一點火室介於共同室和包括平台以固定基底之處理室，包括噴嘴以應用含E L材料溶液之頭部份，和用以相關於基底移動頭部份之機構間。 1 9 _如申請專利範圔第1 6項之裝置，進一步包含一機構以在共同室和包括平台以固定基底之處理室，包括噴嘴以應用含E L材料溶液之頭部份，和用以相關於基底移動頭部份之機構間反向基底。 2 0，如申請專利範圍第1 6項之裝置，其中有機E L 材料（R )，有機E L材料（G )，和有機E L材料（B )爲聚合物。 2 1 ·如申請專利範圍第1 6項之裝置，其中含有有機 f E L材料（R )之溶液，含有有機E L材料（G )之溶液，和含有有機E L材料（B )之溶液以條紋狀應用。 2 2 .如申請專利範圍第1 6項之裝置，其中含有有機 E L材料（R )之溶液，含有有機e L材料（G 〇·芒溶液，和含有有機E L材料（B )之溶液以壓縮氣體從噴嘴推 ------------，裂·-------訂-------線 · 〈請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）-36 - 471011 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍出。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---I-----線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 .37 -