TW300947B - - Google Patents

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A7 B7 0^0947 五、發明説明（1 ) 〔產業上之利用領域〕 本發明係關於一種氣體等之流量控制裝置的改良者’ 主要爲利用在半導體製造設備或化學品製造設備等者。 〔以往之技術〕 作爲半導體製品設備等之氣體流童控制裝置，以往大 都利用質量流量控制器（mass flow controller)。 但是，在質量流置控制器，具有1熱式流量感覺器時 ，應答速度較慢，2不但在低流量領域之控制精度較差， 每一製品在精度有參差，3作動上麻煩較多而欠缺樣定性 ，4製品價格昂貴，更換用零件也髙價格，而運轉成本較 高等各種不方便。 一方面，作爲避免如上所述之質量流量控制器之問題 點者，大都使用如第1 2國所構成的差壓式流量控制裝置 〇 亦即，該差壓式流量控制裝置，係由壓力檢測器3 1 ，3 2之檢測值求出流出口 3 0之上，下游側的流體之差 壓ΔΡ，以CPV演算檢測流量QC=K fST-及檢測流 量Qc與設定流量Qs之間的相差Qy=Qc — Qs，而且將 上述流量差Qy作爲控制信號輸出至流量控制閥3 3，並 將上述流量差向零之方向開閉控制流量控制閥3 3者 〇 但是，在該差壓式流量控制裝仍有1因檢測流量Qc 之分類範圍成爲壓力檢測器3 1，32之分類範圍之1/ 2平方，故降低檢測流量Qc之檢測精度，2爲提高流量 4 - --------{-裝-----^—訂 I------^-4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0'〆297公釐） 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A7 五、發明説明（2 ) 測定精度，在流出口上，下游側須設置較長之直管路而將 流體之流動或爲層流，而導致裝置成爲大型者，3因需兩 部壓力檢測器，因此難降低製造成本等之問題。 〔發明欲解決之課題〕 本案發明係在於提供一種解決上述質量流量器或差壓 式流量控制裝置之如上述的問題；亦即，解決1作爲裝置 之綜合性檢測精度較低，及2裝置之小型化或減低製造成 本較難等之問題作爲直接目的，而將一部壓力檢測器之檢 測壓力作爲基準，以正比例於該檢測壓力值之形態來演算 檢測流量，實行高精度之流量控制，而且小型且可廉價地 製造的壓力式流量控制裝置。 〔解決課題所用之手段〕 然而，作爲通過噴嘴之氣體流的特徵之一，噴嘴前後 的氣體之壓力比？2/?1成爲氣體之臨界壓力比（空氣或 氮等時爲約0. 5)以下時，因通過噴嘴之氣體流連成爲 音連而使噴嘴下游側之壓力變動不會傳至上游側，因而可 得到相對應於噴嘴上游側之狀態的安定之質量流量的情形 〇 但是，在噴嘴時，因氣體所具有之粘性使噴嘴斷面積 與音速之相乘積無法直接地表示實際之氣體流量，而擬實 行氣體之流量演算，當然須求出由噴嘴形態所決定之流出 係數。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐）_ 5 - { 1 裝— I 7""訂 ^ν (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印衷 A7 B7 五、發明説明（3 ) 因此，本案發明人等，對於各種噴嘴之形態與流體（ 氣體），重複實行求出該流出係數之試驗，推在該試驗過 程，注重上述氣體之壓力比Ρ2/Ρα在氣體之臨界壓力比 以下時，下游側之壓力變動不傳播至上游側的特性，對於 將氣體流通路代替噴嘴而作爲微小流出口時之流出口形態 與氣體流量，及流出口上游側之氣體壓力Pi與氣體流量 之關係，實行各種測定試驗。結果，氣體壓力比Pe/Pi 在氣體之臨界壓力比以下時，流通板狀之微小流出口之氣 體流量係微小流出口之徑爲一定時，發現不管氣體之種類 ，正比例於流出口上游側之氣體壓力Pi而變化。 亦即，流通微小流出口的氣體流量Q c係成爲正比例 於流出口上游側之壓力Pi，藉自動控制流出口上游側壓 力Pi，可實行流通流出口之流量的回饋控制。 因流通流出口之氣體流量係不會受到流出口上游側的 氣體之流連分布或流出口下游側之壓力變動之影響，因此 ，在流出口上游側不需要直管路，成爲可得到裝置之小形 化，而且壓力檢測器也可使用一部，因而可降低流量控制 裝置之製造成本。 又，因流量與壓力之關係成爲一次函數，壓力檢測器 之分類與流量之分類成爲相同，成爲與以往之差壓式流量 計時相比較，可顯著提髙測定精度。 然而，以往在盤接觸型之流量控制閥等之製作，經驗 地實行將通過氣體壓力比P 2/ P 1爲臨界壓力比以下時之 閥的氣體流量Qc，作爲Qc^KSPiC式中，S係最小 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） c (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 、·ιτ. A7 B7 五、發明説明（4 ) 流路面積，Pi係一次側壓力，K係常數）來演算。 但是，該流量控制閥之實際氣體流量Q，係成爲以 QC=K S P 1所演算之流量的約± 2 0%之數值，成爲很 難將上述Qc = K S P i之關係應用於氣體流量之精密測定 之狀態。 本案發明係依據如上所述之本案發明人等之知識而創 作者，屬於將流出口之上游側壓力？1保持在下游側壓力 之約兩倍以上之狀態下實行控制流體之流量的壓力式流量 控制裝置，其特徵爲；流出口 5，及設於流出口 2之上游 側的控制閥5，及設於控制閥2與流出口 5間的壓力檢測 器3，及從壓力檢測器3之檢測壓力P1作爲Qc^KPi (但，K係常數）演算流量Qc，而且將流量指會信號Q5 與上述經演算之流量信號Qc之間的相差作爲控制信號 而輸出至上述控制閥2之驅動部14的演算控制裝置6所 構成；藉控制閥2之開閉來調整流出口上游側壓力Pi， 俾控制流出口下游側流，作爲發明之基本構成者》 經濟部中央搮準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 〔作用〕 由壓力檢測器3檢測流出口 5的上游測之流體壓力 P:，被输入至演算控制裝置6。 在演算控制裝置6使用QC=K Pi之演算式來演算流 量Qc，而且實行流量指令值Qs與Qc之比較，相當於兩 者之相差QC_QS的控制信號Qy輸入至控制閥2之驅動 部1 4。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） : —{ 一 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 亦即，控制閥2係藉由上述控制信號Qy向上述兩者 相差Qc—Qs成爲零之方向被開閉控制，由此，使流出口 下游側之流量Qc經常保持在設定流置（流量指令值）Qs 〔實施例〕 以下，依據圖式說明本發明之實施例。第1圚係表示 本發明之流置控制裝置的方塊構成圖，該流量控制裝置1 係由控制閥2，壓力撿測器3，溫度檢測器4，流出口 5 ，演算控制裝置6，放大器7a，7b，A/D變換器 8a ，8b，流出口對應閥9，氣體取出用接頭1 1等所 形成。 在上述控制閥2，使用如下述之所謂直接接觸型之膜 片閥，又，在其驅動部，使用壓電元件型驅動裝置，作爲 控制閥2之驅動部，其他可使用磁歪元件型驅動裝置或電 磁型驅動裝置，馬達型驅動裝置，空氣壓型驅動裝置，熱 膨脹型驅動裝置等。 在上述壓力檢測器3使用半導體畸變型壓力察覺器， 惟作爲壓力檢測器3其他也可使用金颶箔畸欒型壓力察覺 器或靜電電容型壓力察覺器，或磁體阻力型壓力察覺器等 e 又，在上述溫度檢測器4使用熱電偶型溫度察覺器， 惟也可使用測溫電阻型溫度察覺器等》 在上述流出口 5，使用在板狀之金靥薄板型製墊圈藉 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. —訂 -8 一 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（6 ) 放電加工設置孔部之流出口，惟作爲流出口 5，其他可使 用極細管或藉蝕刻在金靥膜形成孔之流出口。 上述演算控制裝置6係由所謂控制電路基板所形成， 具備溫度補正電路6 a，流量演算電路6 b，比較電路 6C，放大電路6d等。 以下，說明本發明之流量控制裝置1之動作。 參照第1圖，控制閥2之出口側，亦即，流出口 5之 上游側之氣體壓力P，藉由壓力檢測器3被檢測，經由； 放器7 a及A/D變換器8 a，經數位化之信號輸入至流 置演算電路6 b。 同樣地流出口上游側之氣體溫度Τι以溫度檢測器4 被檢測，經由放大器7 b及A/D變換器8 b，經數位化 之信號輸入至溫度補正電路6 a。 在上述演算控制電路6，使用壓力信號Pi來演算流 量Q / =ΚΡι，而且使用來自上述溫度補正電路6 a之 補正信號來實行上述流量Q >之溫度補正，使演算流量信 號Q输入至比較電路6c。 一方面，對比較電路6 c輸入有流量指令信號Qs， 在此實行與上述演算流量信號Q c之間的比較，而且兩者 之相差信號Qy = Qc_ Qs作爲控制信號輸出至控制閥2 之驅動部1 4。 亦即，演算流量信號Q c比流量指令信號Q s大時，則 向關閉控制閥2之方向操動閥驅動部1 4，又上述Qc比 Qs小時，則向開放控制閥2之方向操動閥驅動部1 4， 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS)A4規格（ 210X297公釐）_ 9 _ --------{-裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（7 ) 使控制閥2之開度自動控制成爲QC=QS。 又，在本發明，當然在上述流出口 5的上流側之氣體 壓力P i與下游側之壓力P 2之間須經常成立P 2/ P i比約 0 . 5小，亦即，流出口 5之上游側壓力P i比下游側壓 力P2之約兩倍較大之條件。 因此，如第1圖之虛線所示，在將流出口 5之上游側 氣體壓力Pi與下游側氣體壓力P 2輸入至反轉放大器1 0 ，使壓力Pi與壓力P2之大小相反時（亦即，形成產生逆 流之狀態時），或成爲Ps/PtSO. 5之狀態時（亦即 ，雖未產生逆流者但無法高精度之流量控制時），自動地 關閉控制閥2也可以。 第2圖及第3圓係表示除去本發明的裝置之演算控制 裝置6之部分之一例的縱剖面圖與橫剖面圖，又，第4圖 及第5圖係表示具備壓電元件型驅動部之裝置的縱剖面圖 與a—a斜剖面圖。又，在第2圖至第4圖中，2係控制 閥，3係壓力檢測器，5係流出口（orifice)，9係流出 口對應閥，11係抽出氣體用接頭，12.係閥本體，13 係膜片，14係驅動部。 上述控制閥2係由：具備流體入口 1 2 a ，閥座1 2 b，閥室12c壓力檢測孔12d，流體出口 12等的不 銹鋼所製之閥本體1 2，及不銹鋼或鎳，鈷合金所製的膜 片1 3，及向下方推壓膜片1 3壓電元件型驅動部1 4等 所形成。 又，在第4圖之裝置中，上述膜片1 3係藉由盤簧 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉_ iq _ " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ._裝. 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) 1 5之彈性經常向下方推壓，成爲擋接於閥座1 2之狀態 〇 又，因對壓電元件1 4 a之輸入而將此伸長時，則經 由壓電元件支撐材1 9使膜片推壓件1 6向上方引拉。結 果，膜片1 3向上方彈性復原，因從閥座2 b離開，而閥 成爲開放狀態。 又，在本實施例，如第4圖所示，由串聯狀地組合變 位量1 6 ，5mmx 5mmx 1 8mm三個壓電元件 單元1 4 a，形成壓電元件驅動部1 4，在第4圖及第5 圖中，16係膜片推壓件，17係基座本體，18係球， 1 9係壓電元件支撐材，2 0係衝程調整螺絲。 又，上述壓電元件支撐材1 9之熱膨脹率係由大約接 近於壓電元件之熱膨脹率的超殷鋼（superinvar)所形成 〇 第6圖係表示壓力檢測器3之安裝部的詳細者，在本 案施例，係半導體應變計所成的壓力檢測器3藉推壓螺帽 2 1經由金雇0型環2 2氣密狀地安裝在設於閥本體1 2 之下面側的安裝孔1 2 d內。 在第6圖中，23係套筒，24係軸承，又，代替上 述金靥〇型環2 2也可使用金靥C型環或金屬襯墊。 又，在本實施例，係將上述壓力檢測器安裝孔1 2 d 形成在稍比閥本體1 2之閥室1 2 c靠近下游側之底面， 惟如第7圖所示，在閥本體1 2之下面側與閥室1 2C對 向狀地穿設安裝孔1 2 d。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 袭. 訂 Α7 Β7 五、發明説明（9 ) 上述流出口 5係如第2圖所示，設於比上述壓力檢測 器3之下游側，在本實施例，配設於形成在金靥膜片型流 出口對應閥9之閥本體9 a的流體入口 9 b內，藉鎖緊安 裝螺絲2 5而經由軸承2 4加以固定。又，在第2圖及第 3圖，9 c係流出口對應閥9之流體出口。 第8圖係表示將流出口 5之安裝位置設於控制閥2之 閥本體1 2側的例子者，安裝構造係與設於上述流出口對 應閥9之閥本體9 a側的第2圖之情形完全相同。 第9圖係表示流出口 5之另一安裝例者，可更換自如 地安裝流出口 5者〃 亦即，在閥本體1 2之流出口安裝孔1 2 f內形成環 狀之接觸面，而且流出口插入孔1 2 g係形成在與流體通 路垂直方向，板狀之流出口 5經插入孔1 2 g由上方插入 至安裝孔12 f ，而且藉鎖入鎖緊推壓體2 6 ，經由軸承 27形成固定流出口5。 又，隨著流量範圍擬更換流出口 5時，則鬆開上述推 壓體2 6，而在更換流出口 5之後，再鎖人推壓體2 6。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本莨) 在本發明，將控制閥2之閥本體1 2成爲方塊型，因 構成在此分別一體地形成流出口安裝孔1 2 f或壓力檢測 器安裝孔1 2 d，因此，可大幅度減少所謂流量調整裝置 1之內部的流體通路空間之容量，而提高氣體之置換性等 〇 第1 0圖及第1 1圖係表示將本發明之壓力式流量控 制裝置之氣體作爲氮氣體時的流體控制特性者，第1 〇圖 本^氏張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~ — 一 12 一 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 _ B7五、發明説明（l〇 ) 係表示將流出口 5之下游側作爲約1 oto r r之真空的 情形’又’第1 1圖係表示將流出05之下游側作爲大氣 壓的情形者。 由第1 0圖及第1 1圖也可知，在上游測壓力卩1超 過下游側壓力？2之約兩倍之範圍，係流量（^、與Pi保持 在線關係。又，在第10圖及第1 1圖，曲線A，B，C 係分別表示將流出口內徑作爲0_ 37ιηιηςδ，0. 20 mm0，〇. 〇7mm0之情形者》 長1係將本發明之壓力式流量控制裝置與以往之差壓 式流量控制裝置的精度，假定與壓力檢測器之測定範圍相 同精度而相比較者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝' 訂 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 13 - 五、發明説明（11 )

A B 表1 差壓式流置控制裝置 本案發明 壓力檢測器之測定範園 1:50 1:50 壓力檢測器之精度 士0· 25% 土 0· 25¾ 計算流量範圔 1:7 1:50 流量測定精度 土 0· 9% 士0· 25% 最大刻度100cc/min 時之可能測定範圍 14 〜100 2 〜100 大小（差壓流量計作爲1 ) 1 0. 5 --------i -¾衣-----—ΪΤ.Ι (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 14 - A7 B7 五、發明説明（12) 由該表也明瞭，本案發明係與差壓式流量控制裝置相 比較，可知在流量測定精度或可能測定範園方面較優異， 而且可將裝置成爲小型化。 又，表2係比較以前之檩準之質量流量控制器與本案 發明之特性等。由該表也明瞭，可知本案發明係在低流董 領域之測定精度及製造成本等方面，比質量流量控制器較 優異者。 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15 - B7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（13) 表2 質量流量控制器 本發明 精 誤差 士 1¾ 土 0 25¾ 度 最大流量之2% 流量時之誤差 土 50% ±12.5% 故 初期不良 有 Arrf. 障 閥部之阻塞 有 有可能性 成 製造成本 1 質量流量控 制器之 0 . 75 本 運轉成本 高 /fm*. m 〔發明之效果〕 在本發明係如上所述，由於將流出口之上游側壓力 Pi保時在流出口之下游側壓力P2的約兩倍以上，在上述 壓力Pi與流出口下游側流量之間成立一次函數關係，依 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐） { 笨 一訂 ,, ( (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 ( 14 ) Ί 1 照 此 關 係 藉 由 調 整 上 述 上 游 側 壓 力 P 1 ，作成將下游測流 1 1 量 Q C自動控制在設定値之構成 1 1 I 結 果 9 與 以 往 之 質 量 流 量 控 制 裝 置 相 比 較 9 可 提 高低 I 請 1 I 流 量 領 域 之 測 定精 度 9 而 且 也 可 減 少 故 障 > 又 具 有 可 大幅 先 閱 1 I 讀 1 I 度 降 低 製 造 成 本 等 之 優 異 效 果 〇 背 A 1 | 之 1 又 9 在 本 案 發 明 9 與 以 往 之 差 壓 或 流 置 控 制 裝 置 相比 注 意 1 I 事 1 較 > 可 得 到 更 高 流 量 檢 測 精 度 而 且 可 提 高 裝 置 之 小 型化 項 再 1 填 及 降 低 製 造 成 本 0 寫 Μ 頁 1 又 9 在 本 案 發 明 9 因 控 制 流 出 α 上 游 側 之 壓 力 Ρ 1 » V〆 1 I 而 以 壓 力 P 1之- -次函數之型式可得到流出口下游側流量 1 1 的 構 成 9 因 此 所 謂 流 量 之 回 饋 控 制 成 爲 容 易 9 成 爲 可 提高 1 1 控 制 裝 置 之 安 定 性 或 降 低 製 造 成 本 0 訂 1 本 發 明 係 具 有 如 上 所 述 的 優 異 之 實 用 性 效 果 者 〇 1 I [ 圖 式 之 簡 單 說 明 1 1 第 1 圖 係 表 示 本 發 明 之 壓 力 式 流 量 控 制 裝 置 之 構 成的 1 I 方 塊 圖 1 1 第 2 圖 係 表 示 壓 力 式 流 量 控 制 裝 置 的 縱 剖 面 圖 1 1 第 3 圖 係 表 示 壓 力 式 流 量 控 制 裝 置 的 橫 剖 面 圖 1 1 第 4 圖 係 表 示 具 備 壓 電 元 件 型 驅 動 部 之 控 制 閥 的 縱剖 1 I 面 圖 1 I 第 5 圖 係 表 示 第 4 圖 之 a — a 視 剖 面 圖 Ί I 第 6 圖 係 表 示 壓 力 式 流 量 控 制 裝 置 的 壓 力 檢 測 器 之安 1 裝 部 的 一 部 分 縱 剖 面 圖 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） '-17 - A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 ( 15 ) 1 | 第 7 圖 係 表 示 壓 力 式 流 量 控 制 裝 之 其 他 實 施 例 的 縱 剖 面 圖 1 1 第 8 圖 係 表 示 將 流 出 □ 設 於 控 制 閥 之 閥 本 體 時 之 其 他 1 I 請 1 1 例 子 的 —- 部 分 縱 剖 面 圖 先 閱 1 I 讀 1 1 第 9 圖 係 表 示 將 流 出 □ 設 於 控 制 閥 之 閥 本 體 時 之 另 一 背 1 I 之 1 例 子 的 -- 部 分 縱 剖 面 圖 注 意 1 I 事 1 第 1 0 圖 係 表 示 本 發 明 之 壓 力 式 流 量 控 制 裝 置 的 流 量 項 再 1 —N 控 制 特 性 者 ( 流 出 □ 之 下 游 側 壓 力 爲 眞 空 時 ) 0 寫 本 裝 頁 1 第 1 1 圖 係 表 示 本 發 明 之 壓 力 式 流 置 控 制 裝 置 的 流 量 1 1 控 制 特 性 者 ( 流 出 □ 之 下 游 側 壓 力 爲 大 氣 壓 力 時 ) 0 1 1 第 1 2 圖 係 表 示 以 前 之 差 壓 式 流 置 控 制 裝 置 的 方 f >4* Μ 線 1 圖 9 訂 ’丨 C 記 號 之 說 明 1 1 1 1 流 量 控 制 裝 置 9 2 ： 控 制 閥 ， 3 壓 力 檢 測 器 4 1 丄 • 溫 度 檢 測 器 9 5 ： 流 出 □ ， 6 演 算 控 制 裝 置 9 7 a 9 1 7 b 放 大 器 9 8 a 9 8 b ： A / D 變 換 器 9 9 ： 流 出 P 1 1 對 應 閥 9 9 a 閥 本 mtUi 體 9 9 b 流 體 入 P 9 C 流 體 出 1 1 P 1 0 • _ 反 轉 放 大 器 9 1 1 抽 出 氣 體 用 接 頭 1 2 閥 1 I 本 體 9 1 2 a 流 體 入 □ 9 1 2 b ： 閥 座 9 1 2 C 閥 室 1 I ί 1 2 d ： 壓 力 檢 測 器 安 裝 孔 9 1 2 e ： 流 體 出 □ 9 1 2 1 I f 流 出 P 安 裝 孔 9 1 2 g 流 出 □ 插 入 孔 9 1 3 ： 膜 片 1 1 ， 1 4 驅 動 部 ， 1 4 a ： 壓 電 元 件 9 1 5 盤 簧 > 1 6 1 • 膜 片 推 壓 件 9 1 7 • 基 座 本 體 1 8 二 球 ， 1 9 壓 電 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ - 18 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（16 ) 元件支撑材，2 0 :衝程調整螺絲，2 1 :推壓螺帽， 22:0型環，23:套简，24: 2 7 :軸承，2 5 :安裝螺絲，2 6 :鎖緊推壓體 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 . 一種壓力式流量控制裝置，屬於將流出口之上游 側壓力p a保持在下游側壓力之約兩倍以上之狀態下實行 控制流體之流量的壓力式流量控制裝置，其特徵爲：流出 口 5，及設於流出口 2之上游側的控制閥5，及設於控制 閥2與流出口 5間的壓力檢測器3，及從壓力檢測器3之 檢測壓力卩1作爲QC=KP^ (但，K係常數）演算流 量Qc，而且將流量指令信上述經演算之流量信號 Qc之間的相差作爲控制信號輸出至上述控制閥2之 驅動部1 4的演算控制裝置6所\::€成；藉控制閥2之開閉 來調整流出口上游側壓力P i，俾控制流出口下游側流量 者。 2. 如申請專利範圍第1項所述之壓力式流量控制裝 置，其中，流出口 5係作爲更換自如地安裝之構成者。 3. 如申請專利範圍第1項所述之壓力式流量控制裝 置，其中，在控制閥2之閥本體1 2分別設置壓力檢測器 3之安裝孔1 2 d及流出口 5之安裝孔1 2 f ，並將控制 閥2之閥本體12成爲方塊化者。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 In HI m· In In n ^ HI HI n In ml。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4. 如申請專利範圍第1項所述之壓力式流量控制裝 置，其中，在流出口 5之下游側設置流出口對應閥9，而 且將上述流出口 5安裝於該流出口對應閥9的閥本體9 a 之流體入口9b內者。 5. 如申請專利範圍第1項所述之壓力式流量控制裝 置，其中，演算控制裝置6係作爲具備將演算之流量Qc 的數值隨著流出口 5之上游側的氣體溫度Τι補正所用之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -20 - A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍 溫度補正電路6 a的演算控制裝置6者。 6. 如申請專利範圍第1項所述之壓力式流量控制裝 置，其中，控制閥2係依來自流出口 5之上游側壓力Pi 與下游側壓力P2之檢測值所輸入之反轉放大器1〇的輸 出信號，當上游側壓力Pi與下游側壓力Pi與下游側壓力 P2之關係成爲Pz/PtSO. 5時施以關閉的控制閥2 者。 7. 如申請專利範圍第3項所述之壓力式流量控制裝 置，其中，流出口 5係更換自如地插裝於控制閥2之閥本 體1 2之流出口安裝孔1 2 f內者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ’衣. — 丁 _ 、-9 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -2/