JP6541584B2 - ガス供給系を検査する方法 - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、基板処理装置の処理容器内にガスを供給するためのガス供給系を検査する方法に関するものである。

プラズマ処理装置といった基板処理装置では、その処理容器内にガス供給系からのガスが供給されて、基板が処理される。基板処理装置では複数種の処理が順次行われることがある。このため、ガス供給系は、複数種のガスのうち一以上のガスの流量を制御して、流量が制御された一以上のガスを処理容器内に供給するよう構成されることがある。

具体的に、ガス供給系は、複数の第１の配管、複数の第１のバルブ、複数の流量制御器、複数の第２の配管、複数の第２のバルブ、第３の配管、及び、第３のバルブを備える。複数の第１の配管はそれぞれ、複数のガスソースに接続されている。複数の第１のバルブはそれぞれ、複数の第１の配管に設けられている。複数の流量制御器はそれぞれ、複数の第１の配管の下流に設けられている。複数の第２の配管はそれぞれ、複数の流量制御器の下流に設けられている。複数の第２のバルブはそれぞれ、複数の第２の配管に設けられている。第３の配管は、複数の第２の配管に接続されている。第３のバルブは、第３の配管に設けられている。第３のバルブの下流において、第３の配管は、処理容器に接続されている。

複数の流量制御器としては、下記の特許文献１〜３に記載されているタイプの、即ち圧力制御式の流量制御器が用いられ得る。このタイプの流量制御器は、オリフィス、コントロールバルブ、第１の圧力計、及び、第２の圧力計を有している。コントロールバルブは、オリフィスの上流側に設けられている。第１の圧力計は、コントロールバルブとオリフィスの間の配管の内部の圧力を測定するよう構成されている。第２の圧力計は、オリフィスの下流の配管の内部の圧力を測定するよう構成されている。このタイプの流量制御器では、設定流量に応じてコントロールバルブが制御される。第１の圧力計の測定圧力値が第２の圧力計の測定圧力値の約２倍以上である場合には、第１の圧力計の測定圧力値から求められる出力流量と設定流量との差を減少させるように、コントロールバルブが制御される。また、第１の圧力計の測定圧力値が第２の圧力計の測定圧力値の約２倍よりも小さい場合には、第１の圧力計の測定圧力値と第２の圧力計の測定圧力値の差から求められる出力流量と設定流量との差を減少させるように、コントロールバルブが制御される。

特許第３２９１１６１号明細書 特許第４１０２５６４号明細書 特許第４８６６６８２号明細書

ところで、ガス供給系の状態は、基板処理装置の稼働時間の経過につれて変化し得る。ガス供給系の状態が以前の状態から変化すると、同一のプロセスレシピに従って基板処理装置の処理容器にガスが供給されているのにもかかわらず、基板の処理のために処理容器内に供給されているガスの流量が、別の基板の処理のために以前に処理容器内に供給されたガスの流量とは異なる流量となる。したがって、以前に処理された基板の状態と後に処理された基板の状態が異なるという事態が生じ得る。故に、ガス供給系を検査することが必要である。

一態様においては、基板処理装置の処理容器内にガスを供給するためのガス供給系を検査する方法が提供される。ガス供給系は、複数の第１の配管、複数の第１のバルブ、複数の流量制御器、複数の第２の配管、複数の第２のバルブ、第３の配管、及び、第３のバルブを備えている。複数の第１の配管は複数のガスソースにそれぞれ接続されている。複数の第１のバルブは、複数の第１の配管にそれぞれ設けられている。複数の流量制御器は、複数の第１の配管の下流にそれぞれ設けられており、該複数の第１の配管にそれぞれ接続されている。複数の第２の配管は、複数の流量制御器の下流にそれぞれ設けられており、該複数の流量制御器にそれぞれ接続されている。複数の第２のバルブは、複数の第２の配管にそれぞれ設けられている。第３の配管は、複数の第２の配管の下流に設けられており、複数の第２の配管に接続されている。第３のバルブは、第３の配管に設けられている。第３の配管は、前記第３のバルブの下流において処理容器に接続されている。複数の流量制御器の各々は、オリフィス、オリフィスの上流で延在し第１の配管に接続された第４の配管、オリフィスの下流で延在し第２の配管に接続された第５の配管、第４の配管に設けられたコントロールバルブ、コントロールバルブとオリフィスとの間において第４の配管の内部の圧力を測定するための第１の圧力計、及び、第５の配管の内部の圧力を測定するための第２の圧力計を有する。

一態様に係る方法は、（ｉ）複数の流量制御器のうち第１の流量制御器を経由して処理容器内に供給されるガスの流量を制御する工程であり、当該ガスの流量は第１の流量制御器において設定流量に応じて制御される、該工程（以下、「流量制御工程」という）と、（ｉｉ）流量制御工程の実行期間において、複数の第２のバルブのうちの一以上の第２のバルブであり前記複数の流量制御器のうちガスの流量を制御していない一以上の第２の流量制御器の下流に設けられた該一以上の第２のバルブを開く工程と、（ｉｉｉ）一以上の第１の差分絶対値及び一以上の第２の差分絶対値を求める工程であり、該一以上の第１の差分絶対値の各々は、第１の流量制御器の出力流量が定常状態になっている定常期間において一以上の第２の流量制御器の各々の第１の圧力計によって測定された第１の定常圧力値と第１の基準定常圧力値との間の差分絶対値であり、一以上の第２の差分絶対値の各々は、定常期間において一以上の第２の流量制御器の各々の第２の圧力計によって測定された第２の定常圧力値と第２の基準定常圧力値との間の差分絶対値であり、第１の基準定常圧力値及び第２の基準定常圧力値はそれぞれ、実行期間よりも前に定められており、上記設定流量に応じて処理容器内に供給されるガスの流量を制御している第１の流量制御器の出力流量が定常状態になったときに一以上の第２の流量制御器の各々の第１の圧力計及び２の圧力計のそれぞれによって測定された測定圧力値である、該工程と、（ｉｖ）一以上の第１の差分絶対値及び一以上の第２の差分絶対値の平均値を求める工程と、（ｖ）一以上の第１の差分絶対値の各々が第１の閾値よりも大きいか否か、一以上の第２の差分絶対値の各々が第２の閾値よりも大きいか否か、及び、平均値が第３の閾値よりも大きいか否かを判定する工程と、を含む。

上記方法では、実行期間中に設定流量に応じた流量で第１の流量制御器から出力されるガスは、処理容器に加えて、一以上の第２の流量制御器の第４の配管及び第５の配管にも供給される。したがって、一以上の第１の定常圧力値及び一以上の第２の定常圧力値は、定常状態における第１の流量制御器の出力流量を反映する。また、第１の基準定常圧力値は、実行期間よりも前の期間（以下、「基準期間」という）において、同一の設定流量に応じてガスを出力している第１の流量制御器の出力流量が定常状態になったときに取得された第１の定常圧力値である。また、第２の基準定常圧力値は、基準期間において、同一の設定流量に応じてガスを出力している第２の流量制御器の出力流量が定常状態になったときに取得された第２の定常圧力値である。したがって、一以上の第１の差分絶対値の各々が第１の閾値よりも大きいか否か、一以上の第２の差分絶対値の各々が第２の閾値よりも大きいか否か、及び、平均値が第３の閾値よりも大きいか否かを判定することにより、実行期間における第１の流量制御器の定常状態の出力流量が、基準期間における第１の流量制御器の定常状態の出力流量から変化しているか否かを判定することができる。故に、本方法によれば、ガス供給系の検査が可能となる。なお、一以上の第１の差分絶対値の各々が第１の閾値よりも大きい場合、一以上の第２の差分絶対値の各々が第２の閾値よりも大きい場合、或いは、平均値が第３の閾値よりも大きい場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されているプロセスを停止させてもよい。

一実施形態では、一以上の第２の流量制御器は、複数の流量制御器のうち上記実行期間においてガスの流量を制御していない複数の第２の流量制御器であってもよい。この実施形態では、一以上の第１の差分絶対値及び一以上の第２の差分絶対値は、定常期間において複数の第２の流量制御器の各々の第１の圧力計によって測定される第１の定常圧力値と第１の基準定常圧力値との間の差分絶対値、及び、定常期間において複数の第２の流量制御器の各々の第２の圧力計によって測定される第２の定常圧力値と第２の基準定常圧力値との間の差分絶対値を求めることによって得られる複数の第１の差分絶対値及び複数の第２の差分絶対値であり、上記平均値は、複数の第１の差分絶対値及び前記複数の第２の差分絶対値の平均値であり、判定する前記工程において、複数の第１の差分絶対値の各々が第１の閾値よりも大きいか否か、複数の第２の差分絶対値の各々が第２の閾値よりも大きいか否か、及び、平均値が第３の閾値よりも大きいか否かが判定されてもよい。この実施形態によれば、複数の第２の流量制御器の第１の圧力計及び第２の圧力計の測定圧力値が用いられるので、基準期間における定常状態の第１の流量制御器の出力流量に対して、実行期間における定常状態の第１の流量制御器の出力流用が変化しているか否かを、より高感度に検出することが可能となる。

一実施形態において、方法は、上記実行期間中、且つ、上記定常期間よりも前の過渡期間中の複数の時点における第１の流量制御器の第２の圧力計の測定圧力値の積算値を求める工程と、積算値と所定の基準値とを比較する工程と、を更に含んでいてもよい。この所定の基準値は、基準期間中の過渡期間における第１の流量制御器の第２の圧力計の測定圧力値の積算値であり得る。この実施形態において用いられる第１の流量制御器の第２の圧力計の測定圧力値は、第１の流量制御器の出力流量を反映する。したがって、上記積算値は、実行期間における第１の流量制御器の出力流量の過渡特性を反映する。かかる積算値を所定の基準値と比較することにより、実行期間における第１の流量制御器の出力流量の過渡特性が許容し得ない程度に変化しているか否かを判定することができる。なお、積算値と所定の基準値との差の絶対値が所定値以上である場合には、実行期間における第１の流量制御器の出力流量の過渡特性が許容し得ない程度に変化していると判定されてもよい。また、実行期間における第１の流量制御器の出力流量の過渡特性が許容し得ない程度に変化していると判定される場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されているプロセスを停止させてもよい。

一実施形態において、方法は、上記実行期間中、且つ、上記定常期間よりも前の過渡期間中の複数の時点における一以上の第２の流量制御器の第１の圧力計の測定圧力値の積算値を求める工程と、積算値と所定の基準値とを比較する工程とを更に含んでいてもよい。この所定の基準値は、基準期間中の過渡期間中の複数の時点における第２の流量制御器の第１の圧力計の測定値の積算値であり得る。この実施形態において用いられる第２の流量制御器の第１の圧力計の測定圧力値も、第１の流量制御器の出力流量を反映する。かかる積算値を所定の基準値と比較することにより、実行期間における第１の流量制御器の出力流量の過渡特性が許容し得ない程度に変化しているか否かを判定することができる。なお、積算値と所定の基準値との差の絶対値が所定値以上である場合には、実行期間における第１の流量制御器の出力流量の過渡特性が許容し得ない程度に変化していると判定されてもよい。また、実行期間における第１の流量制御器の出力流量の過渡特性が許容し得ない程度に変化していると判定される場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されているプロセスを停止させてもよい。

別の態様においても、基板処理装置の処理容器内にガスを供給するためのガス供給系を検査する方法が提供される。ガス供給系は、複数の第１の配管、複数の第１のバルブ、複数の流量制御器、複数の第２の配管、複数の第２のバルブ、第３の配管、及び、第３のバルブを備えている。複数の第１の配管は複数のガスソースにそれぞれ接続されている。複数の第１のバルブは、複数の第１の配管にそれぞれ設けられている。複数の流量制御器は、複数の第１の配管の下流にそれぞれ設けられており、該複数の第１の配管にそれぞれ接続されている。複数の第２の配管は、複数の流量制御器の下流にそれぞれ設けられており、該複数の流量制御器にそれぞれ接続されている。複数の第２のバルブは、複数の第２の配管にそれぞれ設けられている。第３の配管は、複数の第２の配管の下流に設けられており、複数の第２の配管に接続されている。第３のバルブは、第３の配管に設けられている。第３の配管は、前記第３のバルブの下流において処理容器に接続されている。複数の流量制御器の各々は、オリフィス、オリフィスの上流で延在し第１の配管に接続された第４の配管、オリフィスの下流で延在し第２の配管に接続された第５の配管、第４の配管に設けられたコントロールバルブ、コントロールバルブとオリフィスとの間において第４の配管の内部の圧力を測定するための第１の圧力計、及び、第５の配管の内部の圧力を測定するための第２の圧力計を有する。ガス供給系は、前記第３の配管の内部の圧力を測定するための第３の圧力計を備える。

上記別の態様に係る方法は、（ｉ）複数の流量制御器のうち第１の流量制御器を経由して処理容器内に供給されるガスの流量を制御する工程であり、該ガスの流量は第１の流量制御器において設定流量に応じて制御される、該工程と、（ｉｉ）差分絶対値を求める工程であり、該差分絶対値は、第１の流量制御器の出力流量が定常状態になっている定常期間において第３の圧力計によって測定された定常圧力値と基準定常圧力値との間の差分絶対値であり、基準定常圧力値は、ガスの流量を制御する前記工程の実行期間よりも前に定められており、設定流量に応じて処理容器内に供給されるガスの流量を制御している第１の流量制御器の出力流量が定常状態になったときに第３の圧力計によって測定された測定圧力値である、該工程と、（ｉｉｉ）差分絶対値が閾値よりも大きいか否かを判定する工程と、を含む。

上記別の態様に係る方法では、実行期間中に設定流量に応じた流量で第１の流量制御器から出力されるガスは、第３の配管に流される。したがって、定常圧力値は、定常状態における第１の流量制御器の出力流量を反映する。また、基準定常圧力値は、実行期間よりも前の期間、即ち基準期間において、同一の設定流量に応じてガスを出力している第１の流量制御器の出力流量が定常状態になったときに第３の圧力計によって取得された定常圧力値である。したがって、定常圧力値と基準定常圧力値との差分絶対値が閾値よりも大きいか否かを判定することにより、実行期間における第１の流量制御器の定常状態の出力流量が、基準期間における第１の流量制御器の定常状態の出力流量から変化しているか否かを判定することができる。故に、本方法によれば、ガス供給系の検査が可能となる。なお、差分絶対値が閾値よりも大きい場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されているプロセスを停止させてもよい。

一実施形態において、方法は、実行期間中、且つ、定常期間よりも前の過渡期間中の複数の時点における第３の圧力計の測定圧力値の積算値を求める工程、積算値と所定の基準値とを比較する工程と、を更に含んでいてもよい。この実施形態において用いられる所定の基準値は、基準期間中の過渡期間における第３の圧力計の測定圧力値の積算値であり得る。この実施形態において用いられる第３の圧力計の測定圧力値は、第１の流量制御器の出力流量を反映する。したがって、上記積算値は、実行期間における第１の流量制御器の出力流量の過渡特性を反映する。かかる積算値を所定の基準値と比較することにより、実行期間における第１の流量制御器の出力流量の過渡特性が許容し得ない程度に変化しているか否かを判定することができる。なお、積算値と所定の基準値との差の絶対値が所定値以上である場合には、実行期間における第１の流量制御器の出力流量の過渡特性が許容し得ない程度に変化していると判定されてもよい。また、実行期間における第１の流量制御器の出力流量の過渡特性が許容し得ない程度に変化していると判定される場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されているプロセスを停止させてもよい。

一実施形態では、複数の流量制御器の各々のコントロールバルブは、その開閉動作のために弁体を移動させるよう構成された圧電素子、及び、該圧電素子に電圧を印加するよう構成された制御回路を含む駆動部を更に有する。この実施形態において、方法は、上記実行期間中の第１の流量制御器の圧電素子に対する印加電圧が、第１の流量制御器のコントロールバルブの全開時の圧電素子に対する印加電圧として予め設定された基準電圧と同一か否か、及び、上記実行期間中の第１の流量制御器の出力流量が設定流量よりも小さいか否かを判定する工程を更に含んでいてもよい。圧電素子にコントロールバルブを全開させるための電圧が印加されているにもかかわらず、第１の流量制御器の出力流量が設定流量よりも小さい場合には、第１の流量制御器に供給されるガスの圧力が不足しているものと考えられる。例えば、このような場合には、第１の流量制御器の上流にある第１のバルブの動作不良が発生しているものと考えられる。この実施形態によれば、上記実行期間中の第１の流量制御器の圧電素子に対する印加電圧が基準電圧と同一か否か、及び、上記実行期間中の第１の流量制御器の出力流量が設定流量よりも小さいか否かを判定するので、第１の流量制御器の上流側（一次側）の供給圧力不足を検出することが可能となる。なお、上記実行期間中に圧電素子に印加されている電圧が上記基準電圧と同一であり、且つ、上記実行期間中の第１の流量制御器の出力流量が設定流量よりも小さい場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されているプロセスを停止させてもよい。

一実施形態において、方法は、上記実行期間中の第１の流量制御器の第１の圧力計の測定圧力値と当該実行期間中の第１の流量制御器の第２の圧力計の測定圧力値との差が所定値以下か否かを判定する工程を更に含んでいてもよい。第１の流量制御器の下流の第２のバルブがその故障に起因して閉じている場合には、第１の流量制御器の第１の圧力計の測定圧力値と当該第１の流量制御器の第２の圧力計の測定圧力値とは略同一になる。したがって、この実施形態によれば、第１の流量制御器の下流の第２のバルブの故障を検出することが可能となる。なお、上記の差が所定値以下である場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されているプロセスを停止させてもよい。

一実施形態において、方法は、複数の流量制御器の内部のガスが排気された状態で、複数の流量制御器の各々の第１の圧力計の測定圧力値が第１の所定値よりも大きいか否か、及び、複数の流量制御器の各々の第２の圧力計の測定圧力値が第２の所定値よりも大きいか否かを判定する工程を更に含んでいてもよい。第１の圧力計及び第２の圧力計は、流量制御器の内部のガスが排気された状態において「０」の測定値を出力するように初期的に設定されている。即ち、第１の圧力計及び第２の圧力計には、ゼロ点の調整が初期的になされている。この実施形態によれば、複数の流量制御器の内部のガスが排気された状態で、複数の流量制御器の各々の第１の圧力計の測定圧力値が第１の所定値よりも大きい場合には、その流量制御器の第１の圧力計のゼロ点のずれを検出することができる。また、複数の流量制御器の内部のガスが排気された状態で、複数の流量制御器の各々の第２の圧力計の測定圧力値が第２の所定値よりも大きい場合には、その流量制御器の第２の圧力計のゼロ点のずれを検出することができる。なお、ゼロ点のずれが検出された場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されるプロセスを停止させてもよい。

一実施形態において、方法は、複数の流量制御器の内部のガスが排気された状態で、所定時間内に複数の流量制御器の各々の第１の圧力計によって測定された複数の測定圧力値の移動平均値と第２の圧力計によって測定された複数の測定圧力値の移動平均値との差分絶対値が所定値以上であるか否かを判定する工程を更に含んでいてもよい。流量制御器にゼロ点のずれがない場合には、流量制御器の内部が排気された状態では、第１の圧力計の測定圧力値の移動平均値と第２の圧力計の測定圧力値の移動平均値との間には、差が殆ど存在しない。したがって、これら二つの移動平均値の間の差分絶対値が所定値以上である場合には、ゼロ点のずれが発生していることになる。故に、この実施形態によれば、ゼロ点の検出が可能となる。なお、ゼロ点のずれが検出された場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されるプロセスを停止させてもよい。

一実施形態において、方法は、複数の第１のバルブ及び複数の第２のバルブが閉じられている状態で複数の流量制御器の各々の第１の圧力計によって測定される第１の測定圧力値、及び、複数の流量制御器の各々の第２の圧力計によって測定される第２の測定圧力値を取得する工程と、第１の測定圧力値を予め定められた関数に入力することにより、当該第１の測定圧力値に対応する第２の圧力計の初期の圧力値を取得する工程と、第２の測定圧力値と初期の圧力値とを比較する工程と、を更に含んでいてもよい。この関数は、この実施形態の方法の各工程を実行する前に、複数の第１のバルブ及び複数の第２のバルブが閉じられている状態で複数の流量制御器の各々の第１の圧力計によって測定される第１の測定圧力値、及び、複数の流量制御器の各々の第２の圧力計によって測定される第２の測定圧力値を、各流量制御器の内部の圧力を種々の圧力に設定しつつ、測定し、第１の測定圧力値と対応の第２の測定圧力値との関係を関数化することにより得られるものである。各流量制御器の第１の圧力計の状態及び第２の圧力計の状態が正常であれば、当該流量制御器の上流の第１のバルブと当該流量制御器の下流の第２のバルブが閉じられた状態において取得される当該流量制御器の第１の圧力計の測定圧力値（第１の測定圧力値）を上記関数に入力することによって得られる初期の圧力値と当該流量制御器の第２の圧力計の測定圧力値（第２の測定圧力値）とは略同一の値になるはずである。したがって、上記初期の圧力値と第２の測定圧力値とを比較することにより、流量制御器の第１の圧力計及び第２の圧力計の何れかの測定圧力値に初期の測定圧力値に対する誤差が生じているか否かを判定することができる。なお、例えば、初期の圧力値に対して第２の測定圧力値が所定値以上異なっている場合には、流量制御器の第１の圧力計及び第２の圧力計の何れかの測定圧力値に初期の測定圧力値に対する誤差が生じていると判定してもよい。また、流量制御器の第１の圧力計及び第２の圧力計の何れかの測定圧力値に初期の測定圧力値に対する誤差が生じていると判定された場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されるプロセスを停止させてもよい。

一実施形態においては、方法は、複数の第１のバルブ及び複数の第２のバルブが閉じられている状態で、所定時間内に複数の流量制御器の各々の第１の圧力計によって測定された複数の測定圧力値の移動平均値と第２の圧力計によって測定された複数の測定圧力値の移動平均値との差分絶対値が所定値以上であるか否かを判定する工程を更に含んでいてもよい。流量制御器の第１の圧力計及び第２の圧力計の双方が正常である場合には、その流量制御器の上流の第１のバルブと下流の第２のバルブが閉じられている状態において第１の圧力計の測定圧力値の移動平均値と第２の圧力計の測定圧力値の移動平均値との間には、差が殆ど存在しない。したがって、これら二つの移動平均値の間の差分絶対値が所定値以上である場合には、流量制御器の第１の圧力計又は第２の圧力計の何れかが誤差を有する測定圧力値を出力する状態にあることになる。故に、この実施形態によれば、流量制御器の第１の圧力計又は第２の圧力計の何れかが誤差を有する測定圧力値を出力する状態にあることを検出することが可能となる。なお、流量制御器の第１の圧力計又は第２の圧力計の何れかが誤差を有する測定圧力値を出力する状態にあることが検出された場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されるプロセスを停止させてもよい。

一実施形態において、方法は、複数の流量制御器の各々のコントロールバルブが閉じられている状態で、所定時間が経過したか否かを判定する工程を更に含んでいてもよい。コントロールバルブは完全にガスを遮断できないことがある。コントロールバルブが閉じられている状態が長期間継続すると、その後に下流の第２のバルブを開いてプロセス用にガスを供給する場合の過渡特性に影響が及ぼされる。この実施形態によれば、このような過渡特性に影響を与えるコントロールバルブの状態を検出することが可能となる。なお、コントロールバルブが閉じられている状態で、所定時間が経過している場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されるプロセスを停止させてもよい。

一実施形態において、方法は、複数の流量制御器の各々の圧電素子に対する印加電圧が当該流量制御器のコントロールバルブが閉じられる時の圧電素子に対する印加電圧として予め設定された基準電圧と同一である場合に、複数の流量制御器の各々の第１の圧力計の測定圧力値が所定値以上増加しているか否かを判定する工程を更に含んでいてもよい。圧電素子に対する印加電圧がコントロールバルブを閉じるための設定になっているにもかかわらず、第１の圧力計の測定圧力値が所定値以上増加している場合には、許容し得ないリークがコントロールバルブに生じているものと考えられる。この実施形態によれば、圧電素子に対する印加電圧がコントロールバルブを閉じるための設定になっている場合に、複数の流量制御器の各々の第１の圧力計の測定圧力値が所定値以上増加しているか否かを判定するので、許容し得ないコントロールバルブのリークを検出することが可能である。なお、コントロールバルブにリークが生じている場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されるプロセスを停止させてもよい。

一実施形態において、方法は、複数の第２のバルブの各々が閉じられており、複数の流量制御器の各々の圧電素子に対する印加電圧が基準電圧と同一である場合に、複数の流量制御器の各々の第１の圧力計の測定圧力値が減少するか否かを判定する工程を更に含んでいてもよい。第２のバルブが閉じられており、圧電素子に対する印加電圧がコントロールバルブを閉じるための設定になっているにもかかわらず、第１の圧力計の測定圧力値が減少している場合には、当該コントロールバルブの下流の第２のバルブにリークが生じているものと考えられる。この実施形態によれば、圧電素子に対する印加電圧がコントロールバルブを閉じるための設定になっている場合に、第１の圧力計の測定圧力値が減少するか否かを判定するので、第２のバルブのリークの有無を検出することが可能となる。なお、第２のバルブにリークが生じている場合には、基板処理装置の制御部によって警報信号を発してもよく、基板処理装置の制御部によって当該基板処理装置によって実行されるプロセスを停止させてもよい。

以上説明したように、ガス供給系を検査することが可能となる。特に、第１の流量制御器を経由してガスが基板処理装置の処理容器に供給されている期間において、第１の流量制御器の定常状態の出力流量が、基準期間の第１の流量制御器の定常状態の出力流量から変化しているか否かを判定することが可能となる。

基板処理装置を例示する図である。 流量制御器と共に基板処理装置の制御部を示す図である。 コントロールバルブを例示する図である。 実施形態の方法の一部の検査処理を示す流れ図である。 工程ＳＴ３の一実施形態を示す流れ図である。 工程ＳＴ３の別の実施形態を示す流れ図である。 工程ＳＴ６の一実施形態を示す流れ図である。 工程ＳＴ４の一実施形態を示す流れ図である。 工程ＳＴ５の一実施形態を示す流れ図である。 工程ＳＴ５の別の実施形態を示す流れ図である。 実施形態の方法の一部の検査処理を示す流れ図である。 実施形態の方法の一部の検査処理を示す流れ図である。 実施形態の方法の一部の検査処理を示す流れ図である。 実施形態の方法の一部の検査処理を示す流れ図である。 実施形態の方法の一部の検査処理を示す流れ図である。 実施形態の方法の一部の検査処理を示す流れ図である。 実施形態の方法の一部の検査処理を示す流れ図である。 基板処理装置の別の例を示す図である。 別の実施形態の方法の一部の検査処理を示す流れ図である。 工程ＳＴ３００を示す流れ図である。 工程ＳＴ６００を示す流れ図である。

以下、図面を参照して種々の実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。

まず、実施形態に係る方法が適用され得るガス供給系を有する基板処理装置について説明する。図１は、基板処理装置を例示する図である。図１に示す基板処理装置１０は、処理容器ＰＣ及びガス供給系ＧＰを備えている。処理容器ＰＣは、内部空間を提供している。処理容器ＰＣの内部空間には、基板が収容される。処理容器ＰＣには、圧力調整弁ＡＰＣを介して排気装置ＥＡが接続されている。ガス供給系ＧＰは、基板処理のためのガスを処理容器ＰＣ内に供給するよう構成されている。基板処理装置１０は、例えば、プラズマエッチングといったプラズマ処理を基板に施すための装置であることができる。基板処理装置１０は、プラズマ処理装置である場合には、プラズマ源を更に備える。

ガス供給系ＧＰは、複数の第１の配管Ｌ１、複数の第１のバルブＶ１、複数の流量制御器ＦＣ、複数の第２の配管Ｌ２、複数の第２のバルブＶ２、第３の配管Ｌ３、及び、第３のバルブＶ３を備えている。

複数の第１の配管Ｌ１の上流側の端部はそれぞれ、複数のガスソースＧＳに接続されている。複数のガスソースＧＳは、互いに異なるガス種のガスのソースである。複数の第１のバルブＶ１はそれぞれ、複数の第１の配管Ｌ１に設けられている。複数の第１の配管Ｌ１の下流側の端部はそれぞれ、複数の流量制御器ＦＣに接続されている。複数の流量制御器ＦＣのそれぞれの構成については、後述する。

複数の第２の配管Ｌ２の上流側の端部はそれぞれ、複数の流量制御器ＦＣに接続されている。複数の流量制御器ＦＣの各々は、圧力制御式の流量制御器である。複数の第２のバルブＶ２はそれぞれ、複数の第２の配管Ｌ２に設けられている。複数の第２の配管Ｌ２は、第３の配管Ｌ３に合流している。この第３の配管Ｌ３には第３のバルブＶ３が設けられている。第３のバルブＶ３の下流において、第３の配管Ｌ３は、処理容器ＰＣに接続している。

ガス供給系ＧＰは、配管ＬＰ１、バルブＶＰ１、バルブＶＰ２、複数の配管ＬＰ３、及び、複数のバルブＶＰ３を更に備えていてもよい。配管ＬＰ１の上流側の端部はパージガスのソースＧＰＳに接続している。パージガスは、例えば、窒素ガスである。バルブＶＰ１は、配管ＬＰ１に設けられている。また、バルブＶＰ２は、バルブＶＰ１の下流において配管ＬＰ１に設けられている。配管ＬＰ２は、バルブＶＰ１とバルブＶＰ２の間において配管ＬＰ１から分岐している。複数の配管ＬＰ３の上流側の端部は、配管ＬＰ２に接続している。複数の配管ＬＰ３の下流側の端部はそれぞれ、複数の第１の配管Ｌ１に接続している。複数のバルブＶＰ３はそれぞれ、複数の配管ＬＰ３に設けられている。

以下、図１と共に図２を参照する。図２は、流量制御器と共に基板処理装置の制御部を示す図である。図１及び図２に示すように、基板処理装置１０は、制御部１２を更に備えている。制御部１２は、プロセッサ１２ｐ及びメモリといった記憶装置１２ｍを備えるコンピュータ装置であり得る。

記憶装置１２ｍには、後述する実施形態の方法における各種検査処理を実行するためのプログラム、及び、基板処理装置１０において実行される基板処理用のプロセスレシピが記憶されている。また、記憶装置１２ｍには、後述する実施形態の方法においてガス供給系ＧＰから送られる各種の数値を記憶するためにも用いられる。

プロセッサ１２ｐは、記憶装置１２ｍに記憶されているプログラムに従って動作し、プロセスレシピを参照して、基板処理装置１０の各部を制御する。また、プロセッサ１２ｐは、記憶装置１２ｍに記憶されているプログラムに従って、後述する実施形態の方法における各種検査処理を実行するよう構成されている。

以下、図２を参照して、複数の流量制御器ＦＣの各々の構成について説明する。流量制御器ＦＣは、オリフィスＯＦ、コントロールバルブＣＶ、第１の圧力計Ｐ１、第２の圧力計Ｐ２、第４の配管Ｌ４、第５の配管Ｌ５、及び、制御回路２０を備えている。オリフィスＯＦは第４の配管Ｌ４と第５の配管Ｌ５との間にオリフィス孔を提供している。第４の配管Ｌ４は、オリフィスＯＦの上流側で延在しており、第５の配管Ｌ５はオリフィスの下流側で延在している。第４の配管Ｌ４は、対応の第１の配管Ｌ１に接続している。コントロールバルブＣＶは、第４の配管Ｌ４の途中に設けられている。即ち、第４の配管Ｌ４は、コントロールバルブＣＶに対して上流側で延在する上流側部分Ｌ４ａと、コントロールバルブＣＶに対して下流側で延在する下流側部分Ｌ４ｂとを含んでおり、コントロールバルブＣＶは、当該上流側部分Ｌ４ａと当該下流側部分Ｌ４ｂの間に設けられている。オリフィスＯＦの上流側、且つ、コントロールバルブＣＶの下流側には、第１の圧力計Ｐ１が設けられている。第１の圧力計Ｐ１は、第４の配管Ｌ４の内部の圧力を測定するよう構成されている。オリフィスＯＦの下流側には、第２の圧力計Ｐ２が設けられている。第２の圧力計Ｐ２は、第５の配管Ｌ５の内部の圧力を測定するよう構成されている。流量制御器ＦＣは、温度測定器ＴＳを更に備え得る。温度測定器ＴＳは、オリフィスＯＦのオリフィス孔を通過するガスの温度を測定するよう構成されている。

制御回路２０には、制御部１２からプロセスレシピによって特定される設定流量Ｆｓｅｔが入力されるようになっている。また、制御回路２０には、第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１、及び、第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２が入力されるようになっている。さらに、制御回路２０には、温度測定器ＴＳによって測定される温度Ｔｍが入力されるようになっている。

制御回路２０は、臨界条件が満たされるときに、下記式（１）によって、流量制御器ＦＣの出力流量Ｆｏｕｔを求める。臨界条件は、例えば、第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２の２倍以上であるときに満たされる。

Ｆｏｕｔ＝Ｋ×Ｐｍ１ …（１）

なお、式（１）において、Ｋは、Ｋ＝ＳＣ／Ｔｍ^１／２で定められる値である。ここで、Ｓは、ガスが通過するオリフィスＯＦのオリフィス孔の断面積であり、Ｃは比例係数である。

また、制御回路２０は、臨界条件が満たされないときに、即ち、非臨界条件が満たされるときに、下記式（２）によって、流量制御器ＦＣの出力流量Ｆｏｕｔを求める。非臨界条件は、第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２の２倍よりも小さいときに満たされる。

Ｆｏｕｔ＝Ｋ×Ｐｍ２^ｉ×（Ｐｍ１−Ｐｍ２）^ｊ …（２）

なお、式（２）において、ｉは０．４０＜ｉ＜０．５０の定数であり、ｊは０．５０＜ｊ＜０．６５の定数であり、双方共に実験的に定められている。

制御回路２０は、算出した出力流量Ｆｏｕｔと設定流量Ｆｓｅｔとの差、即ちΔＦをコントロールバルブＣＶに出力するようになっている。また、制御回路２０は、後述する実施形態に係る方法の各種検査処理における利用のために、測定圧力値Ｐｍ１、出力流量Ｆｏｕｔ、及び、測定圧力値Ｐｍ２を制御部１２に入力するようになっている。

図３は、コントロールバルブを例示する図である。図３に示すように、コントロールバルブＣＶは、駆動部２２を有している。この駆動部２２は、制御回路２４を有している。制御回路２４には、制御回路２０からΔＦが入力されるようになっている。

また、駆動部２２は、圧電素子２６を含んでいる。圧電素子２６は、コントロールバルブＣＶの開閉動作において後述の弁体３０を移動させるよう構成されている。制御回路２４は、ΔＦが０になるように、圧電素子２６に印加する電圧Ｖｐを制御するようになっている。なお、制御回路２４は、圧電素子に対する印加電圧Ｖｐを特定する信号を制御部１２に入力するようになっている。

コントロールバルブＣＶは、本体２８、弁体３０（ダイヤフラム）、皿バネ３２、押さえ部材３４、ベース部材３６、球体３８、及び、支持部材４０を更に有している。本体２８は、流路２８ａ、流路２８ｂ、及び、弁室２８ｃを提供している。流路２８ａは、第４の配管Ｌ４の上流側部分Ｌ４ａと弁室２８ｃとの間で延在している。流路２８ｂは、弁室２８ｃと第４の配管Ｌ４の下流側部分Ｌ４ｂとの間で延在している。また、本体２８は、弁座２８ｄを更に提供している。

弁体３０は、皿バネ３２によって押さえ部材３４を介して弁座２８ｄに対して付勢されている。圧電素子２６に対する印加電圧がゼロである場合には、弁体３０は弁座２８ｄに当接しており、コントロールバルブＣＶは閉じられた状態となる。

圧電素子２６の一端（図中では下端）は、ベース部材３６によって支持されている。圧電素子２６は、支持部材４０に連結されている。支持部材４０は、その一端（図中では下端）において、押さえ部材３４と結合されている。この圧電素子２６に電圧が印加されると、当該圧電素子２６は伸張する。圧電素子２６が伸張すると、支持部材４０は弁座２８ｄから離れる方向に移動し、これに伴い、押さえ部材３４も弁座２８ｄから離れる方向に移動する。これにより、弁体３０が弁座２８ｄから離間し、コントロールバルブＣＶが開かれた状態となる。コントロールバルブＣＶの開度、即ち、弁体３０と弁座２８ｄとの間の距離は、圧電素子２６に印加される電圧によって制御される。

以下、実施形態に係るガス供給系を検査する方法について説明する。実施形態の方法は、基板処理装置１０の処理容器ＰＣにガスが供給されている実行期間において、即ちプロセスが実行されている期間において、ガス供給系ＧＰを検査するための幾つかの検査処理、及び、実行期間以外の期間、即ち、プロセスが行われていない期間においてガス供給系ＧＰを検査するための幾つかの検査処理を含む。以下、これら複数の検査処理を順に説明する。

図４は、実施形態の方法の一部の検査処理を示す流れ図である。図４において、二つの二重線の間に示されている工程は、並列的に行われる工程である。図４に示す検査処理は、基板処理装置においてプロセスが実行されており、複数の流量制御器のうち一以上の第１の流量制御器を経由するガスが処理容器内に供給されている期間において実行される検査処理（以下、「リアルタイム検査処理ＲＰ」という）である。即ち、図４に示す処理は、一以上の第１の流量制御器がガスの流量を制御している実行期間において行われる検査処理である。以下、基板処理装置において一つのプロセスレシピに従ったプロセスが実行され、第１の流量制御器が流量制御器ＦＣ（１）であり、流量の制御を行っていない、即ち、処理容器ＰＣにガスを供給していない第２の流量制御器が流量制御器ＦＣ（２）及び流量制御器ＦＣ（３）である場合を例にとって、リアルタイム検査処理ＲＰについて説明する。なお、基板処理装置において実行されるプロセスが異なるプロセスであれば、複数の流量制御器ＦＣのうち第１の流量制御器として使用される一以上の流量制御器及び第２の流量制御器として使用される一以上の流量制御器は、上記の例とは異なるものとなる。また、第１の流量制御器の個数及び第２の流量制御器の個数は限定されるものではない。

図４に示すように、リアルタイム検査処理ＲＰでは、まず、工程ＳＴ１が実行され、当該工程ＳＴ１において流量制御器ＦＣ（１）によるガスの流量制御が開始される。流量制御器ＦＣ（１）によってその流量が調整されたガスは、処理容器ＰＣに供給される。工程ＳＴ１では、複数の第１のバルブＶ１のうち、流量制御器ＦＣ（１）の上流の第１のバルブＶ１（１）が開かれ、複数の第２のバルブＶ２のうち流量制御器ＦＣ（１）の下流の第２のバルブＶ２（２）が開かれ、第３のバルブＶ３が開かれる。また、バルブＶＰ１、バルブＶＰ２、複数のバルブＶＰ３は閉じられる。なお、工程ＳＴ１におけるバルブの開閉は、制御部１２からの信号によって制御され得る。さらに、工程ＳＴ１では、プロセスレシピによって指定された設定流量Ｆｓｅｔが制御部１２から流量制御器ＦＣ（１）に入力され、流量制御器ＦＣ（１）が上述したように出力流量Ｆｏｕｔと設定流量Ｆｓｅｔの差を減少させるように、コントロールバルブＣＶの開度を調整する。

工程ＳＴ２は、工程ＳＴ１と略同時に開始される。工程ＳＴ２では、流量制御器ＦＣ（２）の下流の第２のバルブＶ２（２）及び流量制御器ＦＣ（３）の下流の第２のバルブＶ２（３）が開かれる。工程ＳＴ２におけるバルブの開閉は、制御部１２からの信号によって制御され得る。なお、流量制御器ＦＣ（２）及び流量制御器ＦＣ（３）の各々のコントロールバルブＣＶは開かれていてよく、閉じられていてもよい。

リアルタイム検査処理ＲＰでは、工程ＳＴ２の実行と略同時の時点以降、且つ、以下の工程ＳＴ３〜ＳＴ６が実行されている間の、即ち、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量Ｆｏｕｔが当該流量制御器ＦＣ（１）の制御回路２０から制御部１２に送られる。また、実行期間中の複数の時点において流量制御器ＦＣ（１）の第１の圧力計Ｐ１によって測定された測定圧力値Ｐｍ１、及び、流量制御器ＦＣ（１）の第２の圧力計Ｐ２によって測定された測定圧力値Ｐｍ２が、流量制御器ＦＣ（１）の制御回路２０から制御部１２に送られ、当該複数の時点において流量制御器ＦＣ（２）の第１の圧力計Ｐ１によって測定された測定圧力値Ｐｍ１、及び、流量制御器ＦＣ（２）の第２の圧力計Ｐ２によって測定された測定圧力値Ｐｍ２が、流量制御器ＦＣ（２）の制御回路２０から制御部１２に送られ、当該複数の時点において流量制御器ＦＣ（３）の第１の圧力計Ｐ１によって測定された測定圧力値Ｐｍ１、及び、流量制御器ＦＣ（３）の第２の圧力計Ｐ２によって測定された測定圧力値Ｐｍ２が、流量制御器ＦＣ（３）の制御回路２０から制御部１２に送られる。これらの測定圧力値は、制御部１２の記憶装置１２ｍによって記憶される。また、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）のコントロールバルブＣＶの圧電素子２６に対する印加電圧Ｖｐを特定する信号が、当該流量制御器ＦＣ（１）のコントロールバルブＣＶの制御回路２４から制御部１２に送られる。

工程ＳＴ２の実行後、リアルタイム検査処理ＲＰでは、工程ＳＴ３、工程ＳＴ４、及び、工程ＳＴ５が並列的に実行される。また、工程ＳＴ６は、工程ＳＴ３の実行後に実行される工程であるが、当該工程ＳＴ６も、工程ＳＴ４及び工程ＳＴ５と並列的に実行される。

工程ＳＴ３では、流量制御器ＦＣ（１）から出力されるガスの出力流量の過渡特性の検査が行われる。図５は、工程ＳＴ３の一実施形態を示す流れ図である。図５に示す一実施形態の工程ＳＴ３は、工程ＳＴ３１及び工程ＳＴ３２を含んでいる。工程ＳＴ３１及び工程ＳＴ３２における演算は制御部１２によって実行される。

工程ＳＴ３１では、実行期間中の過渡期間中の複数の時点において流量制御器ＦＣ（１）の第２の圧力計Ｐ２によって測定された複数の測定圧力値Ｐｍ２の積算値ＡＣ１が算出される。過渡期間は、定常期間の前の実行期間中の期間である。定常期間は、流量制御器ＦＣ（１）の出力流量が定常状態になっている期間であり、例えば、所定の時間内における流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の最大値と最小値との差が所定値以下である場合に、流量制御器ＦＣ（１）の出力流量が定常状態になっていると判断することができる。

続く工程ＳＴ３２では、積算値ＡＣ１が、所定の基準値Ｒｅｆ１と比較される。所定の基準値Ｒｅｆ１は、基準期間中の過渡期間中の複数の時点における流量制御器ＦＣ（１）の第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２の積算値である。基準期間は、実行期間よりも以前の期間であり、実行期間において利用されているプロセスレシピと同一のプロセスレシピに従ったプロセスが基板処理装置において実行されていた期間であり、当該プロセスレシピによって指定された設定流量に応じて流量制御器ＦＣ（１）が出力流量を制御していた期間である。例えば、基準期間は、上記プロセスレシピに従ったプロセスが基板処理装置において最初に実行された期間であり得る。

流量制御器ＦＣ（１）の第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２は、流量制御器ＦＣ（１）の出力流量を反映する。したがって、積算値ＡＣ１は、実行期間中の過渡期間における流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性を反映している。かかる積算値ＡＣ１を所定の基準値Ｒｅｆ１と比較することにより、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が、基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性から許容し得ない程度に変化しているか否かを判定することができる。

工程ＳＴ３２の比較においては、例えば、積算値ＡＣ１と所定の基準値Ｒｅｆ１との差の絶対値が所定値Ｔｈａ以上である場合に、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が、基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性から許容し得ない程度に変化していると判定することができる。実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が、基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性から許容し得ない程度に変化していると判定される場合には、工程ＳＴ７において、制御部１２によって警報信号が出力される。また、続く工程ＳＴ８において、実行されているプロセスが制御部１２によって停止される。一方、工程ＳＴ３２において、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性から許容し得える程度にしか変化していないか、或いは、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性と同一であると判定される場合には、続く工程ＳＴ６が実行される。

なお、図５に示す工程ＳＴ３が実行されている期間においては、流量制御器ＦＣ（２）の下流の第２のバルブＶ２及び流量制御器ＦＣ（３）の下流の第２のバルブＶ２は閉じられていてもよく、開かれていてもよい。後者の場合、即ち、流量制御器ＦＣ（２）の下流の第２のバルブＶ２及び流量制御器ＦＣ（３）の下流の第２のバルブＶ２が開かれている場合には、より長期間の過渡期間を確保することができ、基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性に対して実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が変化しているか否かをより高精度に判定することが可能となる。

図６は、工程ＳＴ３の別の実施形態を示す流れ図である。図６に示す実施形態の工程ＳＴ３が実行されている期間においては、流量制御器ＦＣ（２）の下流の第２のバルブＶ２及び流量制御器ＦＣ（３）の下流の第２のバルブＶ２は開かれた状態にある。図６に示す実施形態の工程ＳＴ３は、工程ＳＴ３５及び工程ＳＴ３６を含んでいる。工程ＳＴ３５及び工程ＳＴ３６における演算は制御部１２によって実行される。工程ＳＴ３５では、実行期間中の過渡期間中の複数の時点において流量制御器ＦＣ（２）の第１の圧力計Ｐ１によって測定された複数の測定圧力値Ｐｍ１、及び、当該複数の時点において流量制御器ＦＣ（３）の第１の圧力計Ｐ１によって測定された複数の測定圧力値Ｐｍ１の積算値ＡＣ２が算出される。

続く工程ＳＴ３６では、積算値ＡＣ２が、所定の基準値Ｒｅｆ２と比較される。所定の基準値Ｒｅｆ２は、基準期間中の過渡期間中の複数の時点において流量制御器ＦＣ（２）の第１の圧力計Ｐ１によって測定された測定圧力値Ｐｍ１、及び、当該複数の時点において流量制御器ＦＣ（３）の第１の圧力計Ｐ１によって測定された測定圧力値Ｐｍ１の積算値である。

実行期間中には、流量制御器ＦＣ（１）から出力されたガスは、流量制御器ＦＣ（２）の第４の配管Ｌ４及び第５の配管Ｌ５、並びに、流量制御器ＦＣ（３）の第４の配管Ｌ４及び第５の配管Ｌ５にも供給される。したがって、流量制御器ＦＣ（２）の第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１、及び、流量制御器ＦＣ（３）の第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１は、流量制御器ＦＣ（１）の出力流量を反映する。故に、積算値ＡＣ２は、流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性を反映している。かかる積算値ＡＣ２を所定の基準値Ｒｅｆ２と比較することにより、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が、基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性から許容し得ない程度に変化しているか否かを判定することができる。

工程ＳＴ３６における比較では、例えば、積算値ＡＣ２と所定の基準値Ｒｅｆ２との差の絶対値が所定値Ｔｈｂ以上である場合に、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が、基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性から許容し得ない程度に変化していると判定することができる。実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が、基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性から許容し得ない程度に変化していると判定される場合には、工程ＳＴ７において、制御部１２によって警報信号が出力される。また、続く工程ＳＴ８において、実行されているプロセスが制御部１２によって停止される。一方、工程ＳＴ３６において、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性から許容し得える程度にしか変化していないか、或いは、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性と同一であると判定される場合には、続く工程ＳＴ６が実行される。

なお、積算値ＡＣ２の算出には、流量制御器ＦＣ（２）及び流量制御器ＦＣ（３）のうち一方の第１の圧力計Ｐ１の複数の測定圧力値Ｐｍ１が用いられてもよい。この場合には、所定の基準値Ｒｅｆ２は、基準期間中の過渡期間において、流量制御器ＦＣ（２）及び流量制御器ＦＣ（３）のうち一方の第１の圧力計Ｐ１によって測定された複数の測定圧力値Ｐｍ１を用いて求められる。また、流量制御器ＦＣ（２）の第１の圧力計Ｐ１の複数の測定圧力値Ｐｍ１から求められる積算値及び流量制御器ＦＣ（３）の第１の圧力計Ｐ１の複数の測定圧力値Ｐｍ１から求められる積算値が、それらに対応の所定の基準値と個別に比較されてもよい。

図７は、工程ＳＴ６の一実施形態を示す流れ図である。図７に示す工程ＳＴ６が実行されている期間においては、流量制御器ＦＣ（２）の下流の第２のバルブＶ２及び流量制御器ＦＣ（３）の下流の第２のバルブＶ２は開かれた状態にある。工程ＳＴ６は、工程ＳＴ６１〜工程ＳＴ６３を含んでいる。これらの工程ＳＴ６１〜ＳＴ６３の演算は制御部１２によって実行され得る。

工程ＳＴ６１においては、複数の第１の差分絶対値ΔＰ１及び複数の第２の差分絶対値ΔＰ２が算出される。具体的に、実行期間中の定常期間において流量制御器ＦＣ（２）の第１の圧力計Ｐ１によって測定された測定圧力値Ｐｍ１、即ち第１の定常圧力値と第１の基準定常圧力値との差分絶対値（第１の差分絶対値ΔＰ１）が算出される。この第１の基準定常圧力値は、実行期間よりも前に定められており、基準期間中の定常期間において流量制御器ＦＣ（２）の第１の圧力計Ｐ１によって測定された測定圧力値である。また、実行期間中の定常期間において流量制御器ＦＣ（２）の第２の圧力計Ｐ２によって測定された測定圧力値Ｐｍ２、即ち第２の定常圧力値と第２の基準定常圧力値との差分絶対値（第２の差分絶対値ΔＰ２）が算出される。この第２の基準定常圧力値は、実行期間よりも前に定められており、基準期間中の定常期間において流量制御器ＦＣ（２）の第２の圧力計Ｐ２によって測定された測定圧力値である。

また、実行期間中の定常期間において流量制御器ＦＣ（３）の第１の圧力計Ｐ１によって測定された測定圧力値Ｐｍ１、即ち第１の定常圧力値と第１の基準定常圧力値との差分絶対値（第１の差分絶対値ΔＰ１）が算出される。この第１の基準定常圧力値は、実行期間よりも前に定められており、基準期間中の定常期間において流量制御器ＦＣ（３）の第１の圧力計Ｐ１によって測定された測定圧力値である。また、実行期間中の定常期間において流量制御器ＦＣ（３）の第２の圧力計Ｐ２によって測定された測定圧力値Ｐｍ２、即ち第２の定常圧力値と第２の基準定常圧力値との差分絶対値（第２の差分絶対値ΔＰ２）が算出される。この第２の基準定常圧力値は、実行期間よりも前に定められており、基準期間中の定常期間において流量制御器ＦＣ（３）の第２の圧力計Ｐ２によって測定された測定圧力値である。このような演算により、工程ＳＴ６１では、複数の第１の差分絶対値ΔＰ１及び複数の第２の差分絶対値ΔＰ２が算出される。

続く工程ＳＴ６２では、複数の第１の差分絶対値ΔＰ１及び複数の第２の差分絶対値ΔＰ２の平均値Ａｖｅが算出される。続く工程ＳＴ６３では、複数の第１の差分絶対値ΔＰ１の各々が所定の第１の閾値Ｔｈ１よりも大きいか、複数の第２の差分絶対値ΔＰ２の各々が所定の第２の閾値Ｔｈ２よりも大きいか、又は、平均値Ａｖｅが所定の第３の閾値Ｔｈ３よりも大きいか否かが判定される。

複数の第１の差分絶対値ΔＰ１の各々が所定の第１の閾値Ｔｈ１よりも大きいか、複数の第２の差分絶対値ΔＰ２の各々が所定の第２の閾値Ｔｈ２よりも大きいか、又は、平均値Ａｖｅが所定の第３の閾値Ｔｈ３よりも大きい場合には、工程ＳＴ７が次いで実行される。一方、複数の第１の差分絶対値ΔＰ１の各々が所定の第１の閾値Ｔｈ１以下であり、複数の第２の差分絶対値ΔＰ２の各々が所定の第２の閾値Ｔｈ２以下であり、且つ、平均値Ａｖｅが所定の第３の閾値Ｔｈ３以下である場合には、リアルタイム検査処理ＲＰは終了する。なお、工程ＳＴ６は、実行期間中の定常期間において繰り返し実行されてもよい。

実行期間中に設定流量に応じた流量で流量制御器ＦＣ（１）から出力されるガスは、処理容器ＰＣに加えて、流量制御器ＦＣ（２）及びＦＣ（３）の各々の第４の配管Ｌ４及び第５の配管Ｌ５にも供給される。したがって、第１の定常圧力値及び第２の定常圧力値は、定常状態における流量制御器ＦＣ（１）の出力流量を反映する。また、第１の基準定常圧力値は、基準期間中の定常期間において測定された第１の定常圧力値である。また、第２の基準定常圧力値は、基準期間中の定常期間において測定された第２の定常圧力値である。したがって、工程ＳＴ６３の判定により、実行期間における流量制御器ＦＣ（１）の定常状態の出力流量が、基準期間における流量制御器ＦＣ（１）の定常状態の出力流量から変化しているか否かを判定することができる。また、流量を制御していない一以上の第２の流量制御器（例えば、流量制御器ＦＣ（２）及びＦＣ（３））の第４の配管Ｌ４及び第５の配管Ｌ５における圧力変化が、当該一以上の第２の流量制御器の第１の圧力計Ｐ１及び第２の圧力計Ｐ２のそれぞれの測定圧力値に確実に反映される圧力変化よりも小さい場合であっても、このような小さな圧力変化が上述の平均値には反映される。これは、かかる小さな圧力変化が、一以上の第２の流量制御器の第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値及び第２の圧力計Ｐ２の測定値のうち一部には反映されなくとも、他の一部には反映されるので、結果的に、平均値には反映されるからである。故に、平均値を用いることにより、実行期間における流量制御器ＦＣ（１）の定常状態の出力流量が、基準期間における流量制御器ＦＣ（１）の定常状態の出力流量から変化しているか否を高精度に判定することが可能となる。また、複数の第２の流量制御器、即ち流量制御器ＦＣ（２）及び流量制御器ＦＣ（３）の第１の圧力計Ｐ１及び第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値が用いられるので、基準期間における定常状態の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量に対して、実行期間における定常状態の流量制御器ＦＣ（１）の出力流用が変化しているか否かを、より高感度に検出することが可能となる。なお、工程ＳＴ６では、第２の流量制御器として、流量制御器ＦＣ（２）及び流量制御器ＦＣ（３）のうち一つの流量制御器が用いられてもよい。

図８は、工程ＳＴ４の一実施形態を示す流れ図である。工程ＳＴ４は、上述したように工程ＳＴ３、工程ＳＴ５、及び、工程ＳＴ６と並列的に実行され得る。工程ＳＴ４は、工程ＳＴ４１を含んでいる。工程ＳＴ４１の演算は、制御部１２によって実行される。工程ＳＴ４１では、実行期間において、流量制御器ＦＣ（１）のコントロールバルブＣＶの圧電素子２６に対する印加電圧Ｖｐが基準電圧Ｖｐｒｅｆ１とが同一か否か、及び、流量制御器ＦＣ（１）の出力流量Ｆｏｕｔが設定流量Ｆｓｅｔよりも小さいか否かが判定される。基準電圧Ｖｐｒｅｆ１は、流量制御器ＦＣ（１）のコントロールバルブＣＶの全開時の圧電素子２６に対する印加電圧として予め設定された基準電圧である。

圧電素子２６にコントロールバルブＣＶを全開させるための電圧が印加されているにもかかわらず、流量制御器ＦＣ（１）の出力流量Ｆｏｕｔが設定流量Ｆｓｅｔよりも小さい場合には、流量制御器ＦＣ（１）に供給されるガスの圧力が不足しているものと考えられる。例えば、このような場合には、流量制御器ＦＣ（１）の上流にある第１のバルブＶ１（１）の動作不良が発生しているものと考えられる。工程ＳＴ４１によれば、流量制御器ＦＣ（１）のコントロールバルブＣＶの圧電素子２６に対する印加電圧Ｖｐが基準電圧Ｖｐｒｅｆ１とが同一であるか否か、及び、流量制御器ＦＣ（１）の出力流量Ｆｏｕｔが設定流量Ｆｓｅｔよりも小さいか否かが判定されるので、流量制御器ＦＣ（１）の上流側（一次側）の供給圧力不足を検出することが可能となる。

工程ＳＴ４１では、印加電圧Ｖｐが基準電圧Ｖｐｒｅｆ１と同一であり、且つ、流量制御器ＦＣ（１）の出力流量Ｆｏｕｔが設定流量Ｆｓｅｔよりも小さい場合に、流量制御器ＦＣ（１）に供給されるガスの圧力が不足しているものと判定される。流量制御器ＦＣ（１）に供給されるガスの圧力が不足していると判定される場合には、工程ＳＴ７が次いで実行される。一方、流量制御器ＦＣ（１）に供給されるガスの圧力が不足していないと判定される場合には、工程ＳＴ４の実行が終了する。なお、工程ＳＴ４は、実行期間中に繰り返して実行されてもよい。

図９は、工程ＳＴ５の一実施形態を示す流れ図である。図９に示す工程ＳＴ５は、上述したように工程ＳＴ３、工程ＳＴ５、及び、工程ＳＴ６と並列的に実行され得る。図９に示す工程ＳＴ５は、工程ＳＴ５１を含んでいる。工程ＳＴ５１の演算は、制御部１２によって実行される。工程ＳＴ５１では、実行期間において、流量制御器ＦＣ（１）の第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１と流量制御器ＦＣ（１）の第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２との差が所定値Ｐｔｈ以下であるか否かが判定される。流量制御器ＦＣ（１）の第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１と流量制御器ＦＣ（１）の第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２との差が所定値Ｐｔｈ以下である場合には、工程ＳＴ７が次いで実行される。一方、流量制御器ＦＣ（１）の第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１と流量制御器ＦＣ（１）の第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２との差が所定値Ｐｔｈよりも大きい場合には、工程ＳＴ５の実行が終了する。なお、工程ＳＴ５は、実行期間中に繰り返して実行されてもよい。

流量制御器ＦＣ（１）の下流の第２のバルブＶ２（１）がその故障に起因して閉じている場合には、流量制御器ＦＣ（１）の第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１と流量制御器ＦＣ（１）の第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２とは略同一になる。したがって、工程ＳＴ５１の判定によれば、流量制御器ＦＣ（１）の下流の第２のバルブＶ２（１）の故障を検出することが可能となる。

図１０は、工程ＳＴ５の別の実施形態を示す流れ図である。図１０に示す工程ＳＴ５は、上述したように工程ＳＴ３、工程ＳＴ４、及び、工程ＳＴ６と並列的に実行され得る。図１０に示す工程ＳＴ５は、工程ＳＴ５５を含んでいる。工程ＳＴ５５の演算は、制御部１２によって実行される。工程ＳＴ５５では、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２が所定の上限圧力値Ｐｌｉｍよりも大きいか否かが判定される。実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値が所定の上限圧力値Ｐｌｉｍよりも大きい場合には、工程ＳＴ７が次いで実行される。一方、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値が所定の上限圧力値Ｐｌｉｍ以下である場合には、工程ＳＴ５の実行が終了する。なお、工程ＳＴ５は、実行期間中に繰り返して実行されてもよい。

ガス供給系ＧＰの流量制御器ＦＣの第５の配管Ｌ５の内部の圧力には、通常、上限が設定されている。したがって、流量制御器ＦＣの第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２が所定の上限圧力値Ｐｌｉｍを超えると、当該流量制御器ＦＣ（１）の下流の第２のバルブＶ２（１）の故障が発生しているものと考えられる。したがって、工程ＳＴ５５の判定によれば、流量制御器ＦＣ（１）の下流の第２のバルブＶ２（１）の故障を検出することが可能となる。

以下、実施形態の方法における検査処理のうち、実行期間以外に実行される幾つかの検査処理について図１１〜図１５を参照して説明する。図１１〜図１５は、実施形態の方法の一部の検査処理を示す流れ図である。

図１１に示す検査処理は、工程ＳＴ１０１〜工程ＳＴ１０４を含んでいる。工程ＳＴ１０１及び工程ＳＴ１０４は制御部１２による制御によって実行される。また、工程ＳＴ１０２及びＳＴ１０３は、制御部１２によって実行される。

工程ＳＴ１０１では、複数の流量制御器ＦＣの内部のガスの排気が行われる。具体的には、複数の第１のバルブＶ１及びバルブＶＰ１が閉じられ、複数の第２のバルブＶ２、複数の流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶ、及び、第３のバルブＶ３が開かれ、排気装置ＥＡが作動される。これにより、複数の流量制御器ＦＣの内部のガスの排気が行われる。なお、工程ＳＴ１０１において、バルブＶＰ２及び複数のバルブＶＰ３は開かれてもよい。

続く工程ＳＴ１０２では、複数の流量制御器ＦＣの内部のガスが排気された状態で、複数の流量制御器ＦＣの各々の第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が第１の所定値Ｐ０１よりも大きいか否か、及び、複数の流量制御器ＦＣの各々の第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２が第２の所定値Ｐ０２よりも大きいか否かが判定される。

複数の流量制御器ＦＣの各々の第１の圧力計Ｐ１及び第２の圧力計Ｐ２は、複数の流量制御器ＦＣの各々の内部のガスが排気された状態において「０」の測定値を出力するように初期的に設定されている。即ち、複数の流量制御器ＦＣの各々の第１の圧力計Ｐ１及び第２の圧力計Ｐ２には、ゼロ点の調整が初期的になされている。したがって、複数の流量制御器ＦＣの内部のガスが排気された状態において、測定圧力値Ｐｍ１が第１の所定値Ｐ０１よりも大きい場合には、対応の流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１のゼロ点のずれを検出することができる。また、複数の流量制御器ＦＣの内部のガスが排気された状態において、測定圧力値Ｐｍ２が第２の所定値Ｐ０２よりも大きい場合には、対応の流量制御器ＦＣの第２の圧力計Ｐ２のゼロ点のずれを検出することができる。

工程ＳＴ１０２において、何れかの流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が第１の所定値Ｐ０１よりも大きいか否か、又は、何れかの流量制御器ＦＣの第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２が第２の所定値Ｐ０２よりも大きいと判定される場合には、続く工程ＳＴ１０３において警報信号が出力される。この工程ＳＴ１０３は、工程ＳＴ７と同様の工程である。続く工程ＳＴ１０４では、次に行われる予定のプロセスが停止される。一方、全ての流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が第１の所定値Ｐ０１以下であり、且つ、全ての流量制御器ＦＣの第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２が第２の所定値Ｐ０２以下である場合には、ゼロ点のずれはないものと判定されて、図１１に示す検査処理が終了する。

図１２に示す検査処理は、複数の流量制御器ＦＣの各々の第１の圧力計Ｐ１及び第２の圧力計Ｐ２の何れかの測定圧力値に、対応の初期の測定圧力値に対する誤差が生じているか否かを検査する処理であり、例えば、複数の流量制御器ＦＣの各々に供給されるガスが切り換えられるときに実行される処理である。図１２に示す検査処理は、工程ＳＴ１１１〜工程ＳＴ１１６を含んでいる。これら、工程ＳＴ１１１及び工程ＳＴ１１６は制御部１２による制御によって実行される。また、工程ＳＴ１１２〜ＳＴ１１５は、制御部１２によって実行される。

工程ＳＴ１１１では、複数の第１のバルブＶ１及び複数の第２のバルブＶ２が閉じられる。工程ＳＴ１１２〜工程ＳＴ１１６は複数の流量制御器ＦＣの各々に対して実行される。以下、一つの流量制御器ＦＣに対する工程ＳＴ１１２〜工程ＳＴ１１６の処理内容について説明する。

工程ＳＴ１１２では、流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１及び当該流量制御器ＦＣの第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２が取得される。続く工程ＳＴ１１３では、初期の圧力値Ｐ２ｉが取得される。初期の圧力値Ｐ２ｉは、工程ＳＴ１１２において取得された測定圧力値Ｐｍ１を、予め定められた関数に入力することによって取得される圧力値である。この関数は、図１２の検査処理の実行前の期間において取得された複数の測定圧力値Ｐｍ１と当該複数の測定圧力値Ｐｍ１のそれぞれに対応する測定圧力値Ｐｍ２から作成された関数である。検査処理の実行前の期間は、流量制御器ＦＣの新規導入直後の期間、又は、流量制御器ＦＣの各々の第１の圧力計及び第２の圧力計の調整が行われた直後の期間といった初期の期間である。より具体的には、この関数は、流量制御器ＦＣの内部の圧力を互いに異なる複数の圧力に設定しつつ、流量制御器ＦＣの上流の第１のバルブＶ１及び当該流量制御器ＦＣの下流の第２のバルブＶ２が閉じられている状態を形成し、当該複数の圧力の設定ごとに、流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１及び当該流量制御器ＦＣの第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２を取得することにより得られた複数の測定圧力値Ｐｍ１と当該複数の測定圧力値Ｐｍ１のそれぞれに対応する複数の第２の測定圧力値Ｐｍ２との関係を関数化したものである。例えば、この関数は、複数の測定圧力値Ｐｍ１と当該複数の測定圧力値Ｐｍ１のそれぞれに対応の測定圧力値Ｐｍ２との間の関係を近似する関数であり得る。

続く工程ＳＴ１１４では、測定圧力値Ｐｍ２と初期の圧力値Ｐ２ｉとが比較される。流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の状態及び第２の圧力計Ｐ２の状態が正常であれば、当該流量制御器ＦＣの上流の第１のバルブＶ１と当該流量制御器ＦＣの下流の第２のバルブＶ２が閉じられた状態では、当該流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１を上記関数に入力することによって得られる初期の圧力値Ｐ２ｉと工程ＳＴ１１２で取得された流量制御器ＦＣの第２の圧力計Ｐ２の測定圧力値Ｐｍ２とは略同一の値になるはずである。したがって、工程ＳＴ１１４の比較により、流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１及び第２の圧力計Ｐ２の何れかの測定圧力値に、初期の測定圧力値に対する誤差が生じているか否かを判定することが可能となる。

工程ＳＴ１１４では、例えば、工程ＳＴ１１２で取得された測定圧力値Ｐｍ２と初期の圧力値Ｐ２ｉの差の絶対値が所定値Ｐｄｒｅｆ以上であるか否かが判定される。工程ＳＴ１１２で取得された測定圧力値Ｐｍ２と初期の圧力値Ｐ２ｉの差の絶対値が所定値Ｐｄｒｅｆ以上である場合には、続く工程ＳＴ１１５が実行され、さらに、工程ＳＴ１１６が実行される。工程ＳＴ１１５は工程ＳＴ１０３と同様の工程であり、工程ＳＴ１１６は工程ＳＴ１０４と同様の工程である。一方、工程ＳＴ１１２で取得された測定圧力値Ｐｍ２と初期の圧力値Ｐ２ｉの差の絶対値が所定値Ｐｄｒｅｆよりも小さい場合には、流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１及び第２の圧力計Ｐ２の何れの測定圧力値にも、初期の測定圧力値に対する誤差が生じていないものと判定されて、図１２に示す検査処理が終了する。

図１３に示す検査処理は、複数の流量制御器ＦＣの各々のコントロールバルブＣＶにリークが生じているか否かを検出するための処理であり、工程ＳＴ１２１〜ＳＴ１２３を含んでいる。工程ＳＴ１２３は制御部１２による制御によって実行される。また、工程ＳＴ１２１〜ＳＴ１２２は制御部１２によって実行される。以下、一つの流量制御器ＦＣに対する工程ＳＴ１２１〜ＳＴ１２３の処理内容についてのみ説明する。

工程ＳＴ１２１では、流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられている状態で、所定時間以上の時間が経過したか否かが判定される。なお、流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶの圧電素子２６に対する印加電圧Ｖｐが所定の基準電圧Ｖｐｒｅｆ２と同一である場合に、流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられている状態にあると判定される。この基準電圧Ｖｐｒｅｆ２は、図４に示したコントロールバルブＣＶでは、ゼロである。

コントロールバルブＣＶは、一般的には、完全にガスを遮断できない。コントロールバルブＣＶが閉じられている状態が長期間継続すると、その後に下流の第２のバルブＶ２を開いてプロセス用にガスを供給する場合の過渡特性に影響が及ぼされる。工程ＳＴ１２１の判定によれば、このような過渡特性に影響を与えるコントロールバルブＣＶの状態を検出することが可能となる。

具体的に、工程ＳＴ１２１において、流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられている状態で、所定時間以上の時間が経過していると判定されると、続く工程ＳＴ１２２が実行され、さらに、工程ＳＴ１２３が実行される。工程ＳＴ１２２は工程ＳＴ１０３と同様の工程であり、工程ＳＴ１２３は工程ＳＴ１０４と同様の工程である。一方、工程ＳＴ１２１において、流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられている状態で、所定時間以上の時間が経過していないと判定されると、図１３に示す検査処理が終了する。

図１４に示す検査処理は、複数の流量制御器ＦＣの各々のコントロールバルブＣＶにリークが生じているか否かを検出するための別の処理であり、工程ＳＴ１３１〜ＳＴ１３３を含んでいる。工程ＳＴ１３３は制御部１２による制御によって実行される。また、工程ＳＴ１３１〜ＳＴ１３２は制御部１２によって実行される。以下、一つの流量制御器ＦＣに対する工程ＳＴ１３１〜ＳＴ１３３の処理内容についてのみ説明する。

工程ＳＴ１３１では、流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられている状態で、当該流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が所定値以上増加するか否かが判定される。なお、流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶの圧電素子２６に対する印加電圧Ｖｐが所定の基準電圧Ｖｐｒｅｆ２と同一である場合に、流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられている状態にあると判定される。

圧電素子２６に対する印加電圧ＶｐがコントロールバルブＣＶを閉じるための設定になっているにもかかわらず、第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が所定値以上増加している場合には、許容し得ないリークがコントロールバルブＣＶに生じているものと考えられる。工程ＳＴ１３１の判定によれば、圧電素子２６に対する印加電圧ＶｐがコントロールバルブＣＶを閉じるための設定になっている場合に、流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が所定値以上増加しているか否かを判定するので、許容し得ないコントロールバルブのリークを検出することが可能である。

具体的に、工程ＳＴ１３１において、流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられている状態で、当該流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が所定値以上増加していると判定される場合には、続く工程ＳＴ１３２が実行され、さらに、工程ＳＴ１３３が実行される。工程ＳＴ１３２は工程ＳＴ１０３と同様の工程であり、工程ＳＴ１３３は工程ＳＴ１０４と同様の工程である。一方、工程ＳＴ１３１において、流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられている状態で、流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が所定値以上増加していないと判定されると、図１４に示す検査処理が終了する。

図１５に示す検査処理は、複数の第２のバルブＶ２にリークが生じているか否かを検査する処理であり、工程ＳＴ１４１〜工程ＳＴ１４３を含んでいる。工程ＳＴ１４３は制御部１２による制御によって実行される。また、工程ＳＴ１４１〜ＳＴ１４２は、制御部１２によって実行される。以下、一つの流量制御器ＦＣの下流の一つの第２のバルブＶ２についてのみ、そのリークの検査処理の内容を説明する。

工程ＳＴ１４１では、流量制御器ＦＣの下流の第２のバルブが閉じられており、且つ、当該流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられている場合に、当該流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が減少するか否かが判定される。なお、流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶの圧電素子２６に対する印加電圧Ｖｐが所定の基準電圧Ｖｐｒｅｆ２と同一である場合に、流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられている状態にあると判定される。

流量制御器ＦＣの下流の第２のバルブＶ２が閉じられており、当該流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられているにもかかわらず、当該流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が減少している場合には、当該コントロールバルブＣＶの下流の第２のバルブＶ２にリークが生じているものと考えられる。工程ＳＴ１４１によれば、流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられている場合に、当該流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が減少するか否かが判定されるので、流量制御器ＦＣの下流の第２のバルブＶ２のリークの有無を検出することが可能となる。

具体的には、工程ＳＴ１４１において、流量制御器ＦＣの下流の第２のバルブＶ２が閉じられており、且つ、当該流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられている場合に、当該流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が所定値以上減少していると判定される場合には、続く工程ＳＴ１４２が実行され、さらに、工程ＳＴ１４３が実行される。工程ＳＴ１４２は工程ＳＴ１０３と同様の工程であり、工程ＳＴ１４３は工程ＳＴ１０４と同様の工程である。一方、工程ＳＴ１４１において、流量制御器ＦＣの下流の第２のバルブＶ２が閉じられており、且つ、当該流量制御器ＦＣのコントロールバルブＣＶが閉じられている場合に、当該流量制御器ＦＣの第１の圧力計Ｐ１の測定圧力値Ｐｍ１が所定値以上減少していないと判定されると、図１５に示す検査処理が終了する。

以下、図１６を参照して、図１１の検査処理の代りに実行することができる検査処理について説明する。図１６に示す検査処理は、図１１に示す検査処理と同様に工程ＳＴ１０１、工程ＳＴ１０３、工程ＳＴ１０４を含んでいる。また、図１６に示す検査処理は、図１１に示す検査処理の工程ＳＴ１０２に変わる工程ＳＴ１０２Ａを含んでいる。工程ＳＴ１０１及び工程ＳＴ１０４は制御部１２による制御によって実行される。また、工程ＳＴ１０２Ａ及びＳＴ１０３は、制御部１２によって実行される。以下、工程ＳＴ１０２Ａについてのみ説明する。

工程ＳＴ１０２Ａでは、複数の流量制御器ＦＣの内部のガスが排気された状態で、所定時間内に複数の流量制御器ＦＣの各々の第１の圧力計Ｐ１によって測定された複数の測定圧力値Ｐｍ１の移動平均値ＭＶＡ１と第２の圧力計Ｐ２によって測定された複数の測定圧力値Ｐｍ２の移動平均値ＭＶＡ２との差分絶対値が、所定値ＰＤ１（例えば、数ｋＰａ）以上であるか否かが判定される。複数の流量制御器ＦＣのうち何れかにおいて、工程ＳＴ１０２Ａの判定条件が満たされる場合には、次いで工程ＳＴ１０３が実行される。一方、何れの流量制御器についても、工程ＳＴ１０２Ａの条件が満たされない場合には、図１６に示す検査処理が終了する。なお、所定時間は、測定圧力値Ｐｍ１及び測定圧力値Ｐｍ２の取得レートに依存するが、例えば、当該取得レートが１００μｓｅｃである場合には、０．１秒以上５秒以下の時間であり得る。

流量制御器ＦＣの各々において、ゼロ点のずれがない場合には、流量制御器の内部が排気された状態では、移動平均値ＭＶＡ１と移動平均値ＭＶＡ２との間には、差が殆ど存在しない。したがって、これら二つの移動平均値の間の差分絶対値が所定値ＰＤ１以上である場合には、その流量制御器にゼロ点のずれが発生していることになる。故に、図１６に示す検査処理によれば、流量制御器のゼロ点の検出が可能となる。

以下、図１７を参照して、図１２の検査処理の代りに実行することができる検査処理について説明する。図１７に示す検査処理は、図１２に示す検査処理と同様に工程ＳＴ１１１、工程ＳＴ１１５、工程ＳＴ１１６を含んでいる。また、図１７に示す検査処理は、工程ＳＴ１１２Ａを更に含んでいる。工程ＳＴ１１１及び工程ＳＴ１１６は制御部１２による制御によって実行される。また、工程ＳＴ１１２Ａ及びＳＴ１１５は、制御部１２によって実行される。以下、工程ＳＴ１１２Ａについてのみ説明する。

工程ＳＴ１１２Ａは、工程ＳＴ１１１の次に実行される。工程ＳＴ１１２Ａでは、複数の第１のバルブＶ１及び複数の第２のバルブＶ２が閉じられている状態で、所定時間内に複数の流量制御器ＦＣの各々の第１の圧力計Ｐ１によって測定された複数の測定圧力値Ｐｍ１の移動平均値ＭＶＡ１１と第２の圧力計Ｐ２によって測定された複数の測定圧力値Ｐｍ２の移動平均値ＭＶＡ１２との差分絶対値が所定値ＰＤ２（例えば、数ｋＰａ）以上であるか否かが判定される。複数の流量制御器ＦＣのうち何れかにおいて、工程ＳＴ１１２Ａの判定条件が満たされる場合には、次いで、工程ＳＴ１１５が実行される。一方、何れの流量制御器についても、工程ＳＴ１１２Ａの条件が満たされない場合には、図１７に示す検査処理が終了する。なお、所定時間は、測定圧力値Ｐｍ１及び測定圧力値Ｐｍ２の取得レートに依存するが、例えば、当該取得レートが１００μｓｅｃである場合には、０．１秒以上５秒以下の時間であり得る。

複数の流量制御器の各々の第１の圧力計Ｐ１及び第２の圧力計Ｐ２の双方が正常である場合には、その流量制御器の上流の第１のバルブＶ１と下流の第２のバルブＶ２が閉じられている状態においてその流量制御器に関して求められた移動平均値ＭＶＡ１１と移動平均値ＭＶＡ１２との間には、差が殆ど存在しない。したがって、これら二つの移動平均値の間の差分絶対値が所定値ＰＤ２以上である場合には、その流量制御器の第１の圧力計Ｐ１又は第２の圧力計Ｐ２の何れかが誤差を有する測定圧力値を出力する状態にあることになる。故に、図１７に示す検査処理によれば、複数の流量制御器ＦＣの各々の第１の圧力計Ｐ１又は第２の圧力計Ｐ２の何れかが誤差を有する測定圧力値を出力する状態にあることを検出することが可能となる。

以下、図４に示したリアルタイム検査処理ＲＰの代りに用いることができるリアルタイム検査処理ＲＰ２について説明する。このリアルタイム検査処理ＲＰ２は、図１８に示す基板処理装置に適用可能である。図１８に示す基板処理装置１０Ａは、第３の圧力計Ｐ３０を更に有するガス供給系ＧＰＡを備えている点で、図１に示した基板処理装置１０と異なっている。第３の圧力計Ｐ３０は、第３の配管Ｌ３の内部の圧力を測定するようになっている。この第３の圧力計Ｐ３０の測定圧力値Ｐｍ３は、制御部１２に出力されるようになっている。

リアルタイム検査処理ＲＰ２は、図１９に示すように、工程ＳＴ２を含んでいない点で、図４に示したリアルタイム検査処理ＲＰと異なっている。また、リアルタイム検査処理ＲＰ２は、工程ＳＴ３に代わる工程ＳＴ３００を含んでおり、工程ＳＴ６に代わる工程ＳＴ６００を含んでいる。その他の点においては、リアルタイム検査処理ＲＰ２は、リアルタイム検査処理ＲＰと同様である。以下、工程ＳＴ３００と工程ＳＴ６００について説明する。以下の説明においては、基板処理装置において一つのプロセスレシピに従ったプロセスが実行され、第１の流量制御器が流量制御器ＦＣ（１）であり、流量の制御を行っていない、即ち、処理容器ＰＣにガスを供給していない第２の流量制御器が流量制御器ＦＣ（２）及び流量制御器ＦＣ（３）である場合を例にとる。

図２０は、工程ＳＴ３００を示す流れ図である。図２０に示すように、工程ＳＴ３００では、流量制御器ＦＣ（１）から出力されるガスの出力流量の過渡特性の検査が行われる。工程ＳＴ３００は、工程ＳＴ３０１及び工程ＳＴ３０２を含んでいる。工程ＳＴ３０１及び工程ＳＴ３０２における演算は制御部１２によって実行される。

工程ＳＴ３０１では、基板処理装置１０Ａの処理容器ＰＣに流量制御器ＦＣ（１）を経由してガスが供給されている実行期間中の過渡期間中の複数の時点において第３の圧力計Ｐ３０によって測定された複数の測定圧力値Ｐｍ３の積算値ＡＣ３が算出される。過渡期間は、定常期間の前の実行期間中の期間である。定常期間は、流量制御器ＦＣ（１）の出力流量が定常状態になっている期間であり、例えば、所定の時間内における流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の最大値と最小値との差が所定値以下である場合に、流量制御器ＦＣ（１）の出力流量が定常状態になっていると判断することができる。

続く工程ＳＴ３０２では、積算値ＡＣ３が、所定の基準値Ｒｅｆ３と比較される。所定の基準値Ｒｅｆ３は、基準期間中の過渡期間中の複数の時点における第３の圧力計Ｐ３０の測定圧力値Ｐｍ３の積算値である。基準期間は、実行期間よりも以前の期間であり、実行期間において利用されているプロセスレシピと同一のプロセスレシピに従ったプロセスが基板処理装置において実行されていた期間であり、当該プロセスレシピによって指定された設定流量に応じて流量制御器ＦＣ（１）が出力流量を制御していた期間である。例えば、基準期間は、プロセスレシピに従ったプロセスが基板処理装置において最初に実行された期間であり得る。

第３の圧力計Ｐ３０の測定圧力値Ｐｍ３は、流量制御器ＦＣ（１）の出力流量を反映する。したがって、積算値ＡＣ３は、実行期間における流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性を反映する。かかる積算値ＡＣ３を所定の基準値Ｒｅｆ３と比較することにより、実行期間における流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が許容し得ない程度に変化しているか否かを判定することができる。

工程ＳＴ３０２の比較においては、例えば、積算値ＡＣ３と所定の基準値Ｒｅｆ３との差の絶対値が所定値Ｔｈｃ以上である場合に、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が、基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性から許容し得ない程度に変化していると判定することができる。実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が、基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性から許容し得ない程度に変化していると判定される場合には、工程ＳＴ７において、制御部１２によって警報信号が出力される。また、続く工程ＳＴ８において、実行されているプロセスが制御部１２によって停止される。一方、工程ＳＴ３０２において、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性から許容し得える程度にしか変化していないか、或いは、実行期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性が基準期間中の流量制御器ＦＣ（１）の出力流量の過渡特性と同一であると判定される場合には、続く工程ＳＴ６００が実行される。

図２１は、工程ＳＴ６００を示す流れ図である。工程ＳＴ６００は、工程ＳＴ６０１及び工程ＳＴ６０２を含んでいる。これらの工程ＳＴ６０１及び工程ＳＴ６０２の演算は制御部１２によって実行され得る。

工程ＳＴ６０１においては、差分絶対値ΔＰ３が算出される。具体的に、実行期間中の定常期間において第３の圧力計Ｐ３０によって測定された測定圧力値Ｐｍ３（定常圧力値）と基準定常圧力値との差分絶対値ΔＰ３が算出される。この基準定常圧力値は、実行期間よりも前に定められており、基準期間中の定常期間において第３の圧力計Ｐ３０によって測定された測定圧力値である。

続く工程ＳＴ６０２では、差分絶対値ΔＰ３が閾値Ｔｈ３１よりも大きいか否かが判定される。差分絶対値ΔＰ３が閾値Ｔｈ３１よりも大きい場合には、工程ＳＴ７が次いで実行される。一方、差分絶対値ΔＰ３が閾値Ｔｈ３１以下である場合には、リアルタイム検査処理ＲＰ２は終了する。なお、工程ＳＴ６００は、実行期間中の定常期間において繰り返し実行されてもよい。

実行期間中に設定流量に応じた流量で流量制御器ＦＣ（１）から出力されるガスは、第３の配管Ｌ３に流される。したがって、第３の圧力計Ｐ３０によって測定される定常圧力値は、定常状態における流量制御器ＦＣ（１）の出力流量を反映する。また、基準定常圧力値は、実行期間よりも前の期間、即ち基準期間において、同一の設定流量に応じてガスを出力している流量制御器ＦＣ（１）の出力流量が定常状態になったときに第３の圧力計Ｐ３０によって取得された定常圧力値である。したがって、定常圧力値と基準定常圧力値との差分絶対値ΔＰ３が閾値Ｔｈ３１よりも大きいか否かを判定することにより、実行期間における流量制御器ＦＣ（１）の定常状態の出力流量が、基準期間における流量制御器ＦＣ（１）の定常状態の出力流量から変化しているか否かを判定することができる。

以上、実施形態の方法について説明してきたが、上述した複数の検査処理の全てが実行される必要はなく、これら複数の検査処理のうち幾つかの検査処理のみが実行されてもよい。

１０…基板処理装置、ＰＣ…処理容器、１２…制御部、ＧＰ…ガス供給系、ＧＳ…ガスソース、Ｌ１…第１の配管、Ｌ２…第２の配管、Ｌ３…第３の配管、Ｖ１…第１のバルブ、Ｖ２…第２のバルブ、Ｖ３…第３のバルブ、ＦＣ…流量制御器、ＯＦ…オリフィス、Ｌ４…第４の配管、Ｌ５…第５の配管、Ｐ１…第１の圧力計、Ｐ２…第２の圧力計、２０…制御回路、ＣＶ…コントロールバルブ、２２…駆動部、２４…制御回路、２６…圧電素子、３０…弁体。

Claims (15)

1. 基板処理装置の処理容器内にガスを供給するためのガス供給系を検査する方法であって、
   前記ガス供給系は、
   複数のガスソースにそれぞれ接続された複数の第１の配管と、
   前記複数の第１の配管にそれぞれ設けられた複数の第１のバルブと、
   前記複数の第１の配管の下流にそれぞれ設けられており、該複数の第１の配管にそれぞれ接続された複数の流量制御器と、
   前記複数の流量制御器の下流にそれぞれ設けられており、該複数の流量制御器にそれぞれ接続された複数の第２の配管と、
   前記複数の第２の配管にそれぞれ設けられた複数の第２のバルブと、
   前記複数の第２の配管の下流に設けられており、該複数の第２の配管に接続された第３の配管と、
   前記第３の配管に設けられた第３のバルブと、
   を備え、
   前記第３の配管は、前記第３のバルブの下流において前記処理容器に接続されており、
   前記複数の流量制御器の各々は、オリフィス、該オリフィスの上流で延在し前記第１の配管に接続された第４の配管、前記オリフィスの下流で延在し前記第２の配管に接続された第５の配管、前記第４の配管に設けられたコントロールバルブ、該コントロールバルブと前記オリフィスとの間において前記第４の配管の内部の圧力を測定するための第１の圧力計、及び、前記第５の配管の内部の圧力を測定するための第２の圧力計を有し、
   該方法は、
   前記複数の流量制御器のうち第１の流量制御器を経由して前記処理容器内に供給されるガスの流量を制御する工程であり、該ガスの流量は第１の流量制御器において設定流量に応じて制御される、該工程と、
   ガスの流量を制御する前記工程の実行期間において、前記複数の第２のバルブのうちの一以上の第２のバルブであり前記複数の流量制御器のうちガスの流量を制御していない一以上の第２の流量制御器の下流に設けられた該一以上の第２のバルブを開く工程と、
   一以上の第１の差分絶対値及び一以上の第２の差分絶対値を求める工程であり、該一以上の第１の差分絶対値の各々は、前記第１の流量制御器の出力流量が定常状態になっている定常期間において前記一以上の第２の流量制御器の各々の前記第１の圧力計によって測定された第１の定常圧力値と第１の基準定常圧力値との間の差分絶対値であり、該一以上の第２の差分絶対値の各々は、前記定常期間において前記一以上の第２の流量制御器の各々の前記第２の圧力計によって測定された第２の定常圧力値と第２の基準定常圧力値との間の差分絶対値であり、前記第１の基準定常圧力値及び前記第２の基準定常圧力値はそれぞれ、前記実行期間よりも前に定められており、前記設定流量に応じて前記処理容器内に供給されるガスの流量を制御している前記第１の流量制御器の出力流量が前記定常状態になったときに前記一以上の第２の流量制御器の各々の前記第１の圧力計及び前記第２の圧力計のそれぞれによって測定された測定圧力値である、該工程と、
   前記一以上の第１の差分絶対値及び前記一以上の第２の差分絶対値の平均値を求める工程と、
   前記一以上の第１の差分絶対値の各々が第１の閾値よりも大きいか否か、前記一以上の第２の差分絶対値の各々が第２の閾値よりも大きいか否か、及び、前記平均値が第３の閾値よりも大きいか否かを判定する工程と、
   を含む方法。
2. 前記一以上の第２の流量制御器は、前記複数の流量制御器のうち前記実行期間においてガスの流量を制御していない複数の第２の流量制御器であり、
   前記一以上の第１の差分絶対値及び前記一以上の第２の差分絶対値は、前記定常期間において前記複数の第２の流量制御器の各々の前記第１の圧力計によって測定される第１の定常圧力値と前記第１の基準定常圧力値との間の差分絶対値、及び、前記定常期間において前記複数の第２の流量制御器の各々の前記第２の圧力計によって測定される第２の定常圧力値と前記第２の基準定常圧力値との間の差分絶対値を求めることによって得られる複数の第１の差分絶対値及び複数の第２の差分絶対値であり、
   前記平均値は、前記複数の第１の差分絶対値及び前記複数の第２の差分絶対値の平均値であり、
   判定する前記工程において、前記複数の第１の差分絶対値の各々が第１の閾値よりも大きいか否か、前記複数の第２の差分絶対値の各々が第２の閾値よりも大きいか否か、及び、前記平均値が第３の閾値よりも大きいか否かが判定される、
   請求項１に記載の方法。
3. 前記実行期間中、且つ、前記定常期間よりも前の過渡期間中の複数の時点における前記第１の流量制御器の前記第２の圧力計の測定圧力値の積算値を求める工程と、
   前記積算値と所定の基準値とを比較する工程と、
   を更に含む請求項１又は２に記載の方法。
4. 前記実行期間中、且つ、前記定常期間よりも前の過渡期間中の複数の時点における前記一以上の第２の流量制御器の前記第１の圧力計の測定圧力値の積算値を求める工程と、
   前記積算値と所定の基準値とを比較する工程と、
   を更に含む請求項１又は２に記載の方法。
5. 基板処理装置の処理容器内にガスを供給するためのガス供給系を検査する方法であって、
   前記ガス供給系は、
   複数のガスソースにそれぞれ接続された複数の第１の配管と、
   前記複数の第１の配管にそれぞれ設けられた複数の第１のバルブと、
   前記複数の第１の配管の下流にそれぞれ設けられており、該複数の第１の配管にそれぞれ接続された複数の流量制御器と、
   前記複数の流量制御器の下流にそれぞれ設けられており、該複数の流量制御器にそれぞれ接続された複数の第２の配管と、
   前記複数の第２の配管にそれぞれ設けられた複数の第２のバルブと、
   前記複数の第２の配管の下流に設けられており、該複数の第２の配管に接続された第３の配管と、
   前記第３の配管に設けられた第３のバルブと、
   を備え、
   前記第３の配管は、前記第３のバルブの下流において前記処理容器に接続されており、
   前記複数の流量制御器の各々は、オリフィス、該オリフィスの上流で延在し前記第１の配管に接続された第４の配管、前記オリフィスの下流で延在し前記第２の配管に接続された第５の配管、前記第４の配管に設けられたコントロールバルブ、該コントロールバルブと前記オリフィスとの間において前記第４の配管の内部の圧力を測定するための第１の圧力計、及び、前記第５の配管の内部の圧力を測定するための第２の圧力計を有し、
   前記ガス供給系は、前記第３の配管の内部の圧力を測定するための第３の圧力計を備え、
   該方法は、
   前記複数の流量制御器のうち第１の流量制御器を経由して前記処理容器内に供給されるガスの流量を制御する工程であり、該ガスの流量は第１の流量制御器において設定流量に応じて制御される、該工程と、
   差分絶対値を求める工程であり、該差分絶対値は、前記第１の流量制御器の出力流量が定常状態になっている定常期間において前記第３の圧力計によって測定された定常圧力値と基準定常圧力値との間の差分絶対値であり、前記基準定常圧力値は、ガスの流量を制御する前記工程の実行期間よりも前に定められており、前記設定流量に応じて前記処理容器内に供給されるガスの流量を制御している前記第１の流量制御器の出力流量が前記定常状態になったときに前記第３の圧力計によって測定された測定圧力値である、該工程と、
   前記差分絶対値が閾値よりも大きいか否かを判定する工程と、
   を含む方法。
6. 前記実行期間中、且つ、前記定常期間よりも前の過渡期間中の複数の時点における前記前記第３の圧力計の測定圧力値の積算値を求める工程と、
   前記積算値と所定の基準値とを比較する工程と、
   を更に含む請求項５に記載の方法。
7. 前記複数の流量制御器の各々の前記コントロールバルブは、該コントロールバルブの開閉動作のために弁体を移動させるよう構成された圧電素子、及び、該圧電素子に電圧を印加するよう構成された制御回路を含む駆動部を更に有し、
   前記実行期間中の前記第１の流量制御器の前記圧電素子に対する印加電圧が、該第１の流量制御器の前記コントロールバルブの全開時の前記圧電素子に対する印加電圧として予め設定された基準電圧と同一か否か、及び、前記実行期間中の前記第１の流量制御器の出力流量が前記設定流量よりも小さいか否かを判定する工程を更に含む、
   請求項１〜６の何れか一項に記載の方法。
8. 前記実行期間中の前記第１の流量制御器の前記第１の圧力計の測定圧力値と該実行期間中の該第１の流量制御器の前記第２の圧力計の測定圧力値との差が所定値以下か否かを判定する工程を更に含む、請求項１〜７の何れか一項に記載の方法。
9. 前記複数の流量制御器の内部のガスが排気された状態で、前記複数の流量制御器の各々の前記第１の圧力計の測定圧力値が第１の所定値よりも大きいか否か、及び、前記複数の流量制御器の各々の前記第２の圧力計の測定圧力値が第２の所定値よりも大きいか否かを判定する工程を更に含む、請求項１〜８の何れか一項に記載の方法。
10. 前記複数の流量制御器の内部のガスが排気された状態で、所定時間内に前記複数の流量制御器の各々の前記第１の圧力計によって測定された複数の測定圧力値の移動平均値と前記第２の圧力計によって測定された複数の測定圧力値の移動平均値との差分絶対値が所定値以上であるか否かを判定する工程を更に含む、請求項１〜８の何れか一項に記載の方法。
11. 前記複数の第１のバルブ及び前記複数の第２のバルブが閉じられている状態で前記複数の流量制御器の各々の前記第１の圧力計によって測定される第１の測定圧力値、及び、該複数の流量制御器の各々の前記第２の圧力計によって測定される第２の測定圧力値を取得する工程と、
    前記第１の測定圧力値を予め定められた関数に入力することにより、該第１の測定圧力値に対応する前記第２の圧力計の初期の圧力値を取得する工程と、
    前記第２の測定圧力値と前記初期の圧力値とを比較する工程と、
    を更に含む請求項１〜１０の何れか一項に記載の方法。
12. 前記複数の第１のバルブ及び前記複数の第２のバルブが閉じられている状態で、所定時間内に前記複数の流量制御器の各々の前記第１の圧力計によって測定された複数の測定圧力値の移動平均値と前記第２の圧力計によって測定された複数の測定圧力値の移動平均値との差分絶対値が所定値以上であるか否かを判定する工程を更に含む、請求項１〜１０の何れか一項に記載の方法。
13. 前記複数の流量制御器の各々の前記コントロールバルブが閉じられている状態で、所定時間が経過したか否かを判定する工程を更に含む、請求項１〜１２の何れか一項に記載の方法。
14. 前記複数の流量制御器の各々の前記コントロールバルブは、該コントロールバルブの開閉動作のために弁体を移動させるよう構成された圧電素子、及び、該圧電素子に電圧を印加するよう構成された制御回路を含む駆動部を更に有し、
    前記複数の流量制御器の各々の前記圧電素子に対する印加電圧が該流量制御器の前記コントロールバルブが閉じられる時の前記圧電素子に対する印加電圧として予め設定された基準電圧と同一である場合に、前記複数の流量制御器の各々の第１の圧力計の測定圧力値が所定値以上増加しているか否かを判定する工程を更に含む、請求項１〜６の何れか一項に記載の方法。
15. 前記複数の第２のバルブの各々が閉じられており、前記複数の流量制御器の各々の前記圧電素子に対する印加電圧が前記基準電圧と同一である場合に、該複数の流量制御器の各々の前記第１の圧力計の測定圧力値が減少するか否かを判定する工程を更に含む、請求項１４に記載の方法。

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