TW201719065A - 檢查氣體供給系統之方法 - Google Patents

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Abstract

本發明之課題在於檢察基板處理裝置用之氣體供給系統。一實施形態中，供給於基板處理裝置之處理容器內的氣體流量於第1流量控制器係對應於設定流量受到控制。此外，來自第1流量控制器之氣體也供給於第2流量控制器。當第1流量控制器之輸出流量成為恆常狀態時，取得第2流量控制器之第1壓力計之第1測定壓力值以及第2壓力計之第2測定壓力值。求出第1測定壓力值與基準壓力值之間的差分絕對值、以及第2測定壓力值與基準壓力值之間的差分絕對值，求出此等差分絕對值之平均值。差分絕對值以及平均值分別來和第1~第3閾值做比較。

Description

檢查氣體供給系統之方法
本發明之實施形態係關於一種用以對基板處理裝置之處理容器內供給氣體之檢查氣體供給系統之方法。
電漿處理裝置等基板處理裝置，係從氣體供給系統對其處理容器內供給氣體而處理基板。基板處理裝置有時會依序進行複數種的處理。因此，氣體供給系統有時會控制複數種氣體當中一以上之氣體的流量，將流量受到控制之一以上之氣體供給於處理容器內。
具體而言，氣體供給系統具備：複數第1配管、複數第1閥、複數流量控制器、複數第2配管、複數第2閥、第3配管、以及第3閥。複數第1配管分別連接於複數氣體源。複數第1閥分別設於複數第1配管。複數流量控制器分別設於複數第1配管之下游。複數第2配管分別設於複數流量控制器之下游。複數第2閥分別設於複數第2配管。第3配管連接於複數第2配管。第3閥設於第3配管。第3閥之下游處，第3配管係連接於處理容器。
複數流量控制器可使用下述專利文獻1~3所記載類型、亦即壓力控制式之流量控制器。此類型之流量控制器具有銳孔、控制閥、第1壓力計、以及第2壓力計。控制閥設置於銳孔之上游側。第1壓力計係以對控制閥與銳孔間的配管內部之壓力進行測定的方式所構成。第2壓力計係以對銳孔下游之配管內部的壓力進行測定的方式所構成。此類型之流量控制器係因應於設定流量來對控制閥進行控制。當第1壓力計之測定壓力值為第2壓力計之測定壓力值的約2倍以上之情況，以減少從第1壓力計之測定壓力值所求得之輸出流量與設定流量之差的方式來對控制閥進行控制。此外，當第1壓力計之測定壓力值較第2壓力計之測定壓力值的約2倍來得小之情況，係以減少 從第1壓力計之測定壓力值與第2壓力計之測定壓力值之差所求得之輸出流量與設定流量之差的方式來對控制閥進行控制。
先前技術文獻
專利文獻1 日本專利第3291161號說明書
專利文獻2 日本專利第4102564號說明書
專利文獻3 日本專利第4866682號說明書
另一方面，氣體供給系統之狀態會隨著基板處理裝置之運轉時間的經過而變化。若氣體供給系統之狀態從以前之狀態變化，即使依照相同程序配方來對基板處理裝置之處理容器供給氣體，但基板處理上所需供給於處理容器內之氣體流量會和用以處理其他基板於以前供給於處理容器內之氣體流量成為不同流量。從而，會發生以前所處理過之基板之狀態與後來處理過之基板之狀態不同的事態。從而，必須檢查氣體供給系統。
一態樣中，係提供一種檢查氣體供給系統(用以對基板處理裝置之處理容器內供給氣體)之方法。氣體供給系統具備有複數第1配管、複數第1閥、複數流量控制器、複數第2配管、複數第2閥、第3配管、以及第3閥。複數第1配管分別連接於複數氣體源。複數第1閥分別設於複數第1配管。複數流量控制器分別設於複數第1配管之下游，而分別連接於該複數第1配管。複數第2配管分別設於複數流量控制器之下游，而分別連接於該複數流量控制器。複數第2閥分別設於複數第2配管。第3配管設於複數第2配管之下游，而連接於複數第2配管。第3閥設於第3配管。第3配管於前述第3閥之下游係連接於處理容器。複數流量控制器分別具有：銳孔；第4配管，於銳孔之上游延伸而連接於第1配管；第5配管，於銳孔之下游延伸而連接於第2配管；控制閥，設於第4配管；第1壓力計，於控制閥與銳孔之間，用以測定第4配管之內部壓力；以及，第2壓力計，用以測定第5配管之內部壓力。
一態樣之方法包含下述製程：(i)對於經由複數流量控制器當中之第1流量控制器而供給於處理容器內的氣體流量進行控制，其中該氣體流量係於第1流量控制器對應於設定流量而受到控制(以下稱為「流量控制製程」)； (ii)於流量控制製程之實行期間，開啟複數第2閥當中之一以上的第2閥，該一以上的第2閥係於該複數流量控制器當中未控制氣體流量之一以上的第2流量控制器之下游所設者；(iii)求出一以上的第1差分絕對值以及一以上的第2差分絕對值，其中該一以上的第1差分絕對值個別為在該第1流量控制器之輸出流量成為恆常狀態之恆常期間中藉由一以上的第2流量控制器個別之第1壓力計所測定出的第1恆常壓力值與第1基準恆常壓力值之間的差分絕對值，一以上的第2差分絕對值個別為在恆常期間中藉由一以上的第2流量控制器個別之第2壓力計所測定出的第2恆常壓力值與第2基準恆常壓力值之間的差分絕對值，第1基準恆常壓力值以及第2基準恆常壓力值分別在比實行期間更早前被決定，對應於該設定流量來控制著供給至處理容器內之氣體流量的第1流量控制器之輸出流量在成為該恆常狀態時係藉由一以上的第2流量控制器個別之第1壓力計以及該第2壓力計分別所測定出的測定壓力值；(iv)求出一以上的第1差分絕對值以及一以上的第2差分絕對值之平均值；(v)判定一以上的第1差分絕對值個別是否大於第1閾值、一以上的第2差分絕對值個別是否大於第2閾值、以及該平均值是否大於第3閾值。
上述方法，於實行期間中以對應於設定流量之流量從第1流量控制器輸出的氣體除了供給於處理容器也供給於一以上的第2流量控制器之第4配管以及第5配管。從而，一以上的第1恆常壓力值以及一以上的第2恆常壓力值係反映恆常狀態中之第1流量控制器之輸出流量。此外，第1基準恆常壓力值為較實行期間更早之期間(以下稱為「基準期間」)對應於相同設定流量而輸出著氣體之第1流量控制器之輸出流量成為恆常狀態時所取得之第1恆常壓力值。此外，第2基準恆常壓力值為於基準期間對應於相同設定流量而輸出著氣體之第2流量控制器之輸出流量成為恆常狀態時所取得之第2恆常壓力值。從而，藉由判定一以上的第1差分絕對值個別是否大於第1閾值、一以上的第2差分絕對值個別是否大於第2閾值、以及平均值是否大於第3閾值，可判定實行期間中第1流量控制器之恆常狀態之輸出流量是否從基準期間中之第1流量控制器之恆常狀態之輸出流量產生變化。是以，依據本方法，氣體供給系統之檢查成為可能。此外，當一以上的第1差分絕對值個別大於第1閾值之情況、一以上的第2差分絕對值個別大於第2閾值之情況、或 是平均值大於第3閾值之情況，可藉由基板處理裝置之控制部來發出警報訊號，也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行著的程序。
一實施形態中，一以上的第2流量控制器可為複數流量控制器當中於上述實行期間未控制氣體流量之複數第2流量控制器。此實施形態中，一以上的第1差分絕對值以及一以上的第2差分絕對值係藉由求出恆常期間中藉由複數第2流量控制器個別之第1壓力計所測定之第1恆常壓力值與第1基準恆常壓力值之間的差分絕對值以及恆常期間中藉由複數第2流量控制器個別之第2壓力計所測定之第2恆常壓力值與第2基準恆常壓力值之間的差分絕對值而得到之複數第1差分絕對值以及複數第2差分絕對值，上述平均值為複數第1差分絕對值以及前述複數第2差分絕對值之平均值，於進行判定之前述製程中，可判定複數第1差分絕對值個別是否大於第1閾值、複數第2差分絕對值個別是否大於第2閾值、以及平均值是否大於第3閾值。依據此實施形態，由於使用複數第2流量控制器之第1壓力計以及第2壓力計之測定壓力值，能以更高感度來檢測出實行期間中恆常狀態之第1流量控制器之輸出流量相對於基準期間中之恆常狀態之第1流量控制器之輸出流量是否出現變化。
一實施形態中，方法可進而包含下述製程：求出上述實行期間中、且較上述恆常期間為前之過渡期間中之複數時點之第1流量控制器之該第2壓力計之測定壓力值的積算值；以及，比較積算值與既定基準值。此既定基準值可為基準期間中之過渡期間中的第1流量控制器之第2壓力計之測定壓力值的積算值。此實施形態所使用之第1流量控制器之第2壓力計之測定壓力值係反映第1流量控制器之輸出流量。從而，上述積算值係反映實行期間中第1流量控制器之輸出流量之過渡特性。藉由比較相關積算值與既定基準值，可判定於實行期間中第1流量控制器之輸出流量之過渡特性是否變化為無法容許之程度。此外，當積算值與既定基準值之差的絕對值為既定值以上之情況，可判定實行期間中第1流量控制器之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度。此外，當判定實行期間中第1流量控制器之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度之情況，可藉由基板處理裝置之控制部來發 出警報訊號，也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行著之程序。
一實施形態中，方法可進而包含下述製程：求出該實行期間中、且較該恆常期間為前之過渡期間中之複數時點之一以上的第2流量控制器之第1壓力計之測定壓力值的積算值之製程；以及比較積算值與既定基準值之製程。此既定基準值可為基準期間中之過渡期間中之複數時點的第2流量控制器之第1壓力計之測定值之積算值。此實施形態所使用之第2流量控制器之第1壓力計之測定壓力值也反映第1流量控制器之輸出流量。藉由比較相關積算值與既定基準值，可判定實行期間中第1流量控制器之輸出流量之過渡特性是否變化為無法容許之程度。此外，當積算值與既定基準值之差的絕對值為既定值以上之情況，可判定實行期間中第1流量控制器之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度。此外，當判定實行期間中第1流量控制器之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度的情況，可藉由基板處理裝置之控制部發出警報訊號、也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行著之程序。
另一態樣係提供一種檢查氣體供給系統之方法，該氣體供給系統係對基板處理裝置之處理容器內供給氣體者。氣體供給系統具備有：複數第1配管、複數第1閥、複數流量控制器、複數第2配管、複數第2閥、第3配管、以及第3閥。複數第1配管分別連接於複數氣體源。複數第1閥分別設於複數第1配管。複數流量控制器分別設於複數第1配管之下游，而分別連接於該複數第1配管。複數第2配管分別設於複數流量控制器之下游，而分別連接於該複數流量控制器。複數第2閥分別設於複數第2配管。第3配管設於複數第2配管之下游，而連接於複數第2配管。第3閥設於第3配管。第3配管於該第3閥之下游係連接於處理容器。複數流量控制器分別具有：銳孔；第4配管，係延伸於銳孔之上游而連接於第1配管；第5配管，係延伸於銳孔之下游而連接於第2配管；控制閥，係設於第4配管；第1壓力計，係於控制閥與銳孔之間用以測定第4配管之內部壓力；以及，第2壓力計，係用以測定第5配管之內部壓力。氣體供給系統具備有用以測定該第3配管之內部壓力的第3壓力計。
上述其他態樣之方法包含下述製程：(i)對於經由複數流量控制器當中之第1流量控制器而供給於處理容器內的氣體流量進行控制之製程，其中該氣體流量係於第1流量控制器對應於設定流量而受到控制；(ii)求出差分絕對值之製程，該差分絕對值為第1流量控制器之輸出流量成為恆常狀態之恆常期間中由第3壓力計所測定出的恆常壓力值與基準恆常壓力值之間的差分絕對值，基準恆常壓力值係較控制氣體流量之該製程的實行期間更早前所決定，為對應於設定流量來控制著供給於處理容器內之氣體流量的第1流量控制器之輸出流量成為恆常狀態時由第3壓力計所測定出的測定壓力值；(iii)判定差分絕對值是否大於閾值之製程。
上述其他態樣之方法中，於實行期間中以對應於設定流量的流量從第1流量控制器所輸出的氣體係流往第3配管。從而，恆常壓力值係反映恆常狀態中的第1流量控制器之輸出流量。此外，基準恆常壓力值為較實行期間更早之期間(亦即基準期間)中，當對應於相同設定流量而輸出著氣體之第1流量控制器之輸出流量成為恆常狀態時由第3壓力計所取得之恆常壓力值。從而，藉由判定恆常壓力值與基準恆常壓力值之差分絕對值是否大於閾值，可判定實行期間中第1流量控制器之恆常狀態之輸出流量是否從基準期間中之第1流量控制器之恆常狀態之輸出流量產生了變化。是以，依據本方法，氣體供給系統之檢查成為可能。此外，當差分絕對值大於閾值之情況，可藉由基板處理裝置之控制部來發出警報訊號，也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行著之程序。
一實施形態中，方法可進而包含：求出實行期間中、且較恆常期間為前之過渡期間中之複數時點的第3壓力計之測定壓力值之積算值之製程；以及，比較積算值與既定基準值之製程。此實施形態所使用之既定基準值可為基準期間中之過渡期間中的第3壓力計之測定壓力值之積算值。此實施形態所使用之第3壓力計之測定壓力值係反映第1流量控制器之輸出流量。從而，上述積算值係反映實行期間中第1流量控制器之輸出流量之過渡特性。藉由比較相關積算值與既定基準值，可判定實行期間中第1流量控制器之輸出流量之過渡特性是否變化為無法容許之程度。此外，當積算值與既定基準值之差的絕對值為既定值以上之情況，可判定實行期間中第1流量控制器 之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度。此外，當判定實行期間中第1流量控制器之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度之情況，可藉由基板處理裝置之控制部來發出警報訊號，也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行著之程序。
一實施形態中，複數流量控制器個別之控制閥進而具有驅動部，該驅動部包含：壓電元件，係以使得控制閥之開閉動作所用的閥體做移動的方式所構成；以及，控制電路，係以對該壓電元件施加電壓的方式所構成。此實施形態中，方法可進而包含下述製程：判定上述實行期間中對第1流量控制器之壓電元件的施加電壓是否和做為對第1流量控制器之控制閥全開時之壓電元件的施加電壓所預先設定之基準電壓相同、以及判定上述實行期間中之第1流量控制器之輸出流量是否小於設定流量。即便對壓電元件施加了使得控制閥全開之電壓，當第1流量控制器之輸出流量小於設定流量之情況，供給於第1流量控制器之氣體壓力仍會不足。例如，如此之情況，被認為是位於第1流量控制器之上游的第1閥發生動作不良。依據此實施形態，由於判定上述實行期間中對第1流量控制器之壓電元件的施加電壓是否和基準電壓相同、以及判定上述實行期間中之第1流量控制器之輸出流量是否小於設定流量，將可檢測第1流量控制器之上游側(一次側)之供給壓力不足。此外，當上述實行期間中對壓電元件所施加的電壓和上述基準電壓相同、且上述實行期間中之第1流量控制器之輸出流量小於設定流量之情況，可藉由基板處理裝置之控制部來發出警報訊號，也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行著之程序。
一實施形態中，方法可進而包含下述製程：判定上述實行期間中之第1流量控制器之第1壓力計之測定壓力值與該實行期間中之第1流量控制器之第2壓力計之測定壓力值之差是否為既定值以下。當第1流量控制器之下游之第2閥因故障而關閉著的情況，第1流量控制器之第1壓力計之測定壓力值與該第1流量控制器之第2壓力計之測定壓力值會成為大致相同。從而，依據此實施形態，將可檢測第1流量控制器之下游之第2閥之故障。此外，當上述差為既定值以下之情況，可藉由基板處理裝置之控制部來發出警報訊號，也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行著之 程序。
一實施形態中，方法可進而包含下述製程：在複數流量控制器之內部氣體已排氣之狀態下，判定複數流量控制器個別之第1壓力計之測定壓力值是否大於第1既定值、以及判定複數流量控制器個別之第2壓力計之測定壓力值是否大於第2既定值。第1壓力計以及第2壓力計係以流量控制器之內部氣體已排氣之狀態下輸出「0」之測定值的方式被初期設定著。亦即，於第1壓力計以及第2壓力計係初期進行了零點之調整。依據此實施形態，在複數流量控制器之內部氣體已排氣之狀態下，當複數流量控制器個別之第1壓力計之測定壓力值大於第1既定值之情況，可檢測該流量控制器之第1壓力計之零點偏移。此外，在複數流量控制器之內部氣體已排氣之狀態下，當複數流量控制器個別之第2壓力計之測定壓力值大於第2既定值之情況，可檢測該流量控制器之第2壓力計之零點偏移。此外，當檢測出零點偏移之情況，可藉由基板處理裝置之控制部來發出警報訊號，也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行之程序。
一實施形態中，方法可進而包含下述製程：在複數流量控制器之內部氣體已排氣之狀態下，判定既定時間內複數流量控制器個別之第1壓力計所測定出的複數測定壓力值之移動平均值與第2壓力計所測定出的複數測定壓力值之移動平均值的差分絕對值是否為既定值以上。當流量控制器無零點偏移之情況，在流量控制器之內部已排氣之狀態下，第1壓力計之測定壓力值之移動平均值與第2壓力計之測定壓力值之移動平均值之間幾乎不存在著差。從而，當此等二個移動平均值之間的差分絕對值為既定值以上之情況，將成為發生了零點偏移。是以，依據此實施形態，可進行零點之檢測。此外，當檢測出零點偏移之情況，可藉由基板處理裝置之控制部來發出警報訊號，也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行之程序。
一實施形態中，方法可進而包含下述製程：在複數第1閥以及複數第2閥呈現關閉之狀態下取得由複數流量控制器個別之第1壓力計所測定之第1測定壓力值以及由複數流量控制器個別之第2壓力計所測定之第2測定壓力值之製程；藉由將第1測定壓力值輸入於預定之函數，來取得和該第1測定 壓力值相對應之第2壓力計之初期壓力值之製程；以及比較第2測定壓力值與初期壓力值之製程。此函數之獲得方式，係於實行此實施形態之方法的各製程前，在複數第1閥以及複數第2閥呈現關閉之狀態下，一面將各流量控制器之內部壓力設定為各種壓力、一面測定出由複數流量控制器個別之第1壓力計所測定之第1測定壓力值以及由複數流量控制器個別之第2壓力計所測定之第2測定壓力值，而將第1測定壓力值與對應之第2測定壓力值之關係加以函數化。若各流量控制器之第1壓力計之狀態以及第2壓力計之狀態為正常，則將在該流量控制器之上游之第1閥與該流量控制器之下游之第2閥為關閉之狀態下所取得之該流量控制器之第1壓力計之測定壓力值(第1測定壓力值)輸入上述函數中所得之初期壓力值應該會和該流量控制器之第2壓力計之測定壓力值(第2測定壓力值)為大致相同值。從而，藉由比較上述初期壓力值與第2測定壓力值，可判定流量控制器之第1壓力計以及第2壓力計之某一測定壓力值是否相對於初期之測定壓力值出現了誤差。此外，也可例如當第2測定壓力值相對於初期壓力值有既定值以上差異的情況，判定流量控制器之第1壓力計以及第2壓力計之某一測定壓力值相對於初期之測定壓力值出現了誤差。此外，當判定流量控制器之第1壓力計以及第2壓力計之某一測定壓力值相對於初期之測定壓力值出現了誤差之情況，可藉由基板處理裝置之控制部來發出警報訊號，也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行之程序。
一實施形態中，方法可進而包含下述製程：在複數第1閥以及複數第2閥呈現關閉之狀態下，判定既定時間內由複數流量控制器個別之第1壓力計所測定出的複數測定壓力值之移動平均值與由第2壓力計所測定出的複數測定壓力值之移動平均值的差分絕對值是否為既定值以上。當流量控制器之第1壓力計以及第2壓力計之雙方為正常之情況，該流量控制器之上游之第1閥與下游之第2閥為關閉之狀態下，第1壓力計之測定壓力值之移動平均值與第2壓力計之測定壓力值之移動平均值之間幾乎不存在著差。從而，當此等二個移動平均值之間之差分絕對值為既定值以上之情況，將成為流量控制器之第1壓力計或是第2壓力計輸出具有誤差之測定壓力值的狀態。是以，依據此實施形態，將可測定出流量控制器之第1壓力計或是第2壓力計 處於輸出具有誤差之測定壓力值的狀態。此外，當檢測出流量控制器之第1壓力計或是第2壓力計處於輸出具有誤差之測定壓力值的狀態之情況，可藉由基板處理裝置之控制部來發出警報訊號，也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行之程序。
一實施形態中，方法可進而包含下述製程：在複數流量控制器個別之控制閥處於關閉之狀態下，判定是否經過了既定時間。有時控制閥無法完全遮斷氣體。若控制閥關閉著的狀態長期間持續，會對於之後開啟下游之第2閥來供給程序用氣體之情況的過渡特性造成影響。依據此實施形態，將可檢測如此之對過渡特性造成影響之控制閥之狀態。此外，在控制閥呈現關閉之狀態下經過了既定時間之情況，可藉由基板處理裝置之控制部來發出警報訊號，也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行之程序。
一實施形態中，方法可進而包含下述製程：當對複數流量控制器個別之壓電元件的施加電壓和該流量控制器之該控制閥為關閉時做為對壓電元件的施加電壓所事先設定之基準電壓為相同之情況，判定複數流量控制器個別之第1壓力計之測定壓力值是否增加為既定值以上。即便對壓電元件之施加電壓成為用以關閉控制閥之設定，但被認為在第1壓力計之測定壓力值增加為既定值以上的情況，會於控制閥發生無法容許之漏洩。依據此實施形態，在對壓電元件之施加電壓成為用以關閉控制閥之設定的情況下，可判定複數流量控制器個別之第1壓力計之測定壓力值是否增加為既定值以上，而可檢測出無法容許之控制閥之漏洩。此外，當控制閥發生漏洩之情況，可藉由基板處理裝置之控制部來發出警報訊號，也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行之程序。
一實施形態中，方法可進而包含下述製程：當複數第2閥個別呈現關閉、對複數流量控制器個別之壓電元件的施加電壓和基準電壓為相同之情況，判定複數流量控制器個別之該第1壓力計之測定壓力值是否有減少。即便第2閥為關閉、對壓電元件之施加電壓成為用以關閉控制閥之設定，被認為在第1壓力計之測定壓力值有減少的情況，係於該控制閥之下游之第2閥發生了漏洩。依據此實施形態，在對壓電元件之施加電壓成為用以關閉控 制閥之設定的情況下，係判定第1壓力計之測定壓力值是否有減少，將可檢測有無第2閥之漏洩。此外，當第2閥發生漏洩之情況，可藉由基板處理裝置之控制部來發出警報訊號，也可藉由基板處理裝置之控制部來停止由該基板處理裝置所實行之程序。
如以上說明般，檢查氣體供給系統一事成為可能。尤其，在氣體經由第1流量控制器而供給於基板處理裝置之處理容器的期間，可判定第1流量控制器之恆常狀態之輸出流量是否從基準期間之第1流量控制器之恆常狀態之輸出流量出現了變化。
10‧‧‧基板處理裝置
PC‧‧‧處理容器
12‧‧‧控制部
GP‧‧‧氣體供給系統
GS‧‧‧氣體源
L1‧‧‧第1配管
L2‧‧‧第2配管
L3‧‧‧第3配管
V1‧‧‧第1閥
V2‧‧‧第2閥
V3‧‧‧第3閥
FC‧‧‧流量控制器
OF‧‧‧銳孔
L4‧‧‧第4配管
L5‧‧‧第5配管
P1‧‧‧第1壓力計
P2‧‧‧第2壓力計
20‧‧‧控制電路
CV‧‧‧控制閥
22‧‧‧驅動部
24‧‧‧控制電路
26‧‧‧壓電元件
30‧‧‧閥體
圖1係例示基板處理裝置之圖。
圖2係連同流量控制器顯示基板處理裝置之控制部之圖。
圖3係例示控制閥之圖。
圖4係顯示實施形態之方法之一部分的檢查處理流程圖。
圖5係顯示製程ST3之一實施形態之流程圖。
圖6係顯示製程ST3之其他實施形態之流程圖。
圖7係顯示製程ST6之一實施形態之流程圖。
圖8係顯示製程ST4之一實施形態之流程圖。
圖9係顯示製程ST5之一實施形態之流程圖。
圖10係顯示製程ST5之其他實施形態之流程圖。
圖11係顯示實施形態之方法之一部分的檢查處理之流程圖。
圖12係顯示實施形態之方法之一部分的檢查處理之流程圖。
圖13係顯示實施形態之方法之一部分的檢查處理之流程圖。
圖14係顯示實施形態之方法之一部分的檢查處理之流程圖。
圖15係顯示實施形態之方法之一部分的檢查處理之流程圖。
圖16係顯示實施形態之方法之一部分的檢查處理之流程圖。
圖17係顯示實施形態之方法之一部分的檢查處理之流程圖。
圖18係顯示基板處理裝置之其他例之圖。
圖19係顯示其他實施形態之方法之一部分的檢查處理之流程圖。
圖20係顯示製程ST300之流程圖。
圖21係顯示製程ST600之流程圖。
以下，參見圖式針對各種實施形態來詳細說明。此外，各圖式中針對相同或是對應之部分係賦予相同符號。
首先，針對可適用實施形態相關方法之具有氣體供給系統的基板處理裝置來說明。圖1係例示基板處理裝置之圖。圖1所示基板處理裝置10具備有處理容器PC以及氣體供給系統GP。處理容器PC提供內部空間。於處理容器PC之內部空間收容基板。處理容器PC經由壓力調整閥APC而連接著排氣裝置EA。氣體供給系統GP係以將基板處理用之氣體供給於處理容器PC內的方式所構成。基板處理裝置10可為例如用以對基板施以電漿蝕刻等電漿處理之裝置。基板處理裝置10當為電漿處理裝置之情況係進而具備電漿源。
氣體供給系統GP具備有：複數第1配管L1、複數第1閥V1、複數流量控制器FC、複數第2配管L2、複數第2閥V2、第3配管L3、以及第3閥V3。
複數第1配管L1之上游側端部分別連接於複數氣體源GS。複數氣體源GS係彼此不同氣體種類的氣體源。複數第1閥V1分別設於複數第1配管L1。複數第1配管L1之下游側端部分別連接於複數流量控制器FC。關於複數流量控制器FC個別構成將於後述。
複數第2配管L2之上游側端部分別連接於複數流量控制器FC。複數流量控制器FC分別為壓力控制式流量控制器。複數第2閥V2分別設於複數第2配管L2。複數第2配管L2於第3配管L3合流。此第3配管L3設有第3閥V3。第3閥V3之下游處，第3配管L3係連接於處理容器PC。
氣體供給系統GP可進而具備：配管LP1、閥VP1、閥VP2、複數配管LP3、以及複數閥VP3。配管LP1之上游側端部連接於沖洗氣體源GPS。沖洗氣體為例如氮氣體。閥VP1係設於配管LP1。此外，閥VP2於閥VP1之下游係設於配管LP1。配管LP2於閥VP1與閥VP2之間係從配管LP1分歧。複數配管LP3之上游側端部係連接於配管LP2。複數配管LP3之下游側端部分別連接於複數第1配管L1。複數閥VP3分別設於複數配管LP3。
以下，連同圖1參見圖2。圖2係連同流量控制器來顯示基板處理裝置之控制部之圖。如圖1以及圖2所示般，基板處理裝置10更具備有控制部12。控制部12可為具備處理器12p以及記憶體等記憶裝置12m之電腦裝置。
記憶裝置12m中記憶著實行後述實施形態之方法中各種檢查處理所用的程式、以及於基板處理裝置10所實行之基板處理用之程序配方。此外，記憶裝置12m係用以將後述實施形態之方法中從氣體供給系統GP所送來之各種數值加以記憶。
處理器12p係依據記憶裝置12m所記憶之程式來動作，參見程序配方來控制基板處理裝置10之各部。此外，處理器12p係依據記憶裝置12m所記憶之程式來實行後述實施形態之方法中的各種檢查處理。
以下，參見圖2針對複數流量控制器FC之個別構成來說明。流量控制器FC具備有銳孔OF、控制閥CV、第1壓力計P1、第2壓力計P2、第4配管L4、第5配管L5、以及控制電路20。銳孔OF係於第4配管L4與第5配管L5之間提供銳孔。第4配管L4延伸於銳孔OF上游側，第5配管L5延伸於銳孔下游側。第4配管L4連接於對應之第1配管L1。控制閥CV設於第4配管L4之中途。亦即，第4配管L4包含有：相對於控制閥CV在上游側延伸之上游側部分L4a、以及相對於控制閥CV在下游側延伸之下游側部分L4b，控制閥CV設置於該上游側部分L4a與該下游側部分L4b之間。於銳孔OF之上游側且於控制閥CV之下游側設有第1壓力計P1。第1壓力計P1係以測定第4配管L4之內部壓力的方式所構成。於銳孔OF之下游側設有第2壓力計P2。第2壓力計P2係以測定第5配管L5之內部壓力的方式所構成。流量控制器FC可進而具備溫度測定器TS。溫度測定器TS係以測定通過銳孔OF之銳孔的氣體溫度的方式所構成。
控制電路20可從控制部12輸入由程序配方所特定之設定流量Fset。此外，控制電路20被輸入第1壓力計P1之測定壓力值Pm1以及第2壓力計P2之測定壓力值Pm2。再者，控制電路20被輸入由溫度測定器TS所測定之溫度Tm。
控制電路20在滿足臨界條件時係以下述式(1)來求出流量控制器FC之輸出流量Fout。臨界條件例如在第1壓力計P1之測定壓力值Pm1為第2壓力計P2之測定壓力值Pm2之2倍以上之時獲得滿足。
Fout=K×Pm1...(1)
此外，式(1)中，K為以K=SC/Tm1/2所定之值。此處，S為氣體通過之銳孔OF之銳孔截面積，C為比例係數。
此外，控制電路20在不滿足臨界條件之時、亦即滿足非臨界條件之時係藉由下述式(2)來求出流量控制器FC之輸出流量Fout。非臨界條件在第1壓力計P1之測定壓力值Pm1小於第2壓力計P2之測定壓力值Pm2之2倍時滿足。
Fout=K×Pm2i×(Pm1-Pm2)j...(2)
此外，式(2)中i為0.40<i<0.50之常數，j為0.50<j<0.65之常數，雙方皆由實驗所定。
控制電路20係將所算出之輸出流量Fout與設定流量Fset之差、亦即△F輸出至控制閥CV。此外，控制電路20基於後述實施形態相關方法之各種檢查處理中的利用，係將測定壓力值Pm1、輸出流量Fout、以及測定壓力值Pm2輸入至控制部12。
圖3係例示控制閥之圖。如圖3所示般，控制閥CV具有驅動部22。此驅動部22具有控制電路24。控制電路24係從控制電路20被輸入△F。
此外，驅動部22包含壓電元件26。壓電元件26於控制閥CV之開閉動作中係以使得後述閥體30移動的方式所構成。控制電路24係以△F成為0的方式來對施加於壓電元件26之電壓Vp進行控制。此外，控制電路24係將特定對於壓電元件之施加電壓Vp的訊號輸入控制部12。
控制閥CV更具有本體28、閥體30(隔膜)、圓形簧32、抵壓構件34、基座構件36、球體38、以及支撐構件40。本體28係提供流路28a、流路28b、以及閥室28c。流路28a係延伸於第4配管L4之上游側部分L4a與閥室28c之間。流路28b係延伸於閥室28c與第4配管L4之下游側部分L4b之間。此外，本體28進而提供閥座28d。
閥體30係藉由圓形簧32而經由抵壓構件34來對閥座28d做蓄勢。在對於壓電元件26之施加電壓為零之情況，閥體30係抵接於閥座28d，控制閥CV成為關閉狀態。
壓電元件26之一端(圖中為下端)係被基座構件36所支撐著。壓電元件26 連結於支撐構件40。支撐構件40於一端(圖中為下端)係和抵壓構件34結合著。若對此壓電元件26施加電壓，則該壓電元件26會伸張。若壓電元件26伸張，則支撐構件40會朝離開閥座28d之方向移動，伴隨於此，抵壓構件34也朝離開閥座28d之方向移動。藉此，閥體30從閥座28d分離，控制閥CV成為開啟狀態。控制閥CV之開度、亦即閥體30與閥座28d之間的距離係被施加於壓電元件26之電壓所控制。
以下，針對實施形態之檢查氣體供給系統之方法來說明。實施形態之方法包含：在對基板處理裝置10之處理容器PC供給氣體之實行期間、亦即實行著程序之期間之用以檢查氣體供給系統GP之數個檢查處理；以及實行期間以外之期間、亦即未進行程序之期間中用以檢查氣體供給系統GP之數個檢查處理。以下，依序說明此等複數檢查處理。
圖4係實施形態之方法之一部分的檢查處理之流程圖。圖4中，於二個雙重線之間所示製程係並列進行之製程。圖4所示檢查處理係於基板處理裝置實行程序，在經由複數流量控制器當中一以上之第1流量控制器的氣體供給於處理容器內之期間所實行之檢查處理(以下稱為「即時檢查處理RP」)。亦即，圖4所示處理係於一以上之第1流量控制器控制著氣體流量之實行期間所進行之檢查處理。以下，舉出基板處理裝置依照一個程序配方來實行程序，第1流量控制器為流量控制器FC(1)，而未進行流量控制、亦即未對處理容器PC供給氣體之第2流量控制器為流量控制器FC(2)以及流量控制器FC(3)之情況為例，針對即時檢查處理RP來說明。此外，基板處理裝置所實行之程序若為不同程序，則複數流量控制器FC當中做為第1流量控制器使用之一以上的流量控制器以及做為第2流量控制器使用之一以上的流量控制器係成為和上述之例不同。此外，第1流量控制器之個數以及第2流量控制器之個數並無限定。
如圖4所示般，即時檢查處理RP首先實行製程ST1，於該製程ST1中開始基於流量控制器FC(1)來進行氣體流量控制。流量經流量控制器FC(1)所調整過之氣體係供給於處理容器PC。於製程ST1，複數第1閥V1當中位於流量控制器FC(1)之上游的第1閥V1(1)開啟，複數第2閥V2當中位於流量控制器FC(1)之下游的第2閥V2(2)開啟，第3閥V3開啟。此外，閥VP1、閥VP2、複 數閥VP3關閉。此外，製程ST1中閥之開閉可藉由來自控制部12之訊號而被控制。再者，製程ST1中，由程序配方所指定之設定流量Fset係從控制部12輸入至流量控制器FC(1)，流量控制器FC(1)如上述般以減少輸出流量Fout與設定流量Fset之差的方式來調整控制閥CV之開度。
製程ST2係和製程ST1大致同時開始。於製程ST2，流量控制器FC(2)之下游之第2閥V2(2)以及流量控制器FC(3)之下游之第2閥V2(3)開啟。製程ST2中閥之開閉可藉由來自控制部12之訊號所控制。此外，流量控制器FC(2)以及流量控制器FC(3)之個別控制閥CV可為開啟也可為關閉。
於即時檢查處理RP，在製程ST2之實行為大致同時之時點以後且實行以下之製程ST3~ST6之間、亦即實行期間中的流量控制器FC(1)之輸出流量Fout係從該流量控制器FC(1)之控制電路20送往控制部12。此外，於實行期間中之複數時點藉由流量控制器FC(1)之第1壓力計P1所測定出的測定壓力值Pm1以及藉由流量控制器FC(1)之第2壓力計P2所測定出的測定壓力值Pm2係從流量控制器FC(1)之控制電路20送往控制部12，於該複數時點由流量控制器FC(2)之第1壓力計P1所測定出的測定壓力值Pm1以及由流量控制器FC(2)之第2壓力計P2所測定出的測定壓力值Pm2係從流量控制器FC(2)之控制電路20送往控制部12，於該複數時點由流量控制器FC(3)之第1壓力計P1所測定出的測定壓力值Pm1以及由流量控制器FC(3)之第2壓力計P2所測定出的測定壓力值Pm2係從流量控制器FC(3)之控制電路20送往控制部12。此等測定壓力值係藉由控制部12之記憶裝置12m所記憶。此外，實行期間中特定對於流量控制器FC(1)之控制閥CV之壓電元件26的施加電壓Vp的訊號係從該流量控制器FC(1)之控制閥CV之制御電路24送往控制部12。
製程ST2之實行後，即時檢查處理RP係並列實行製程ST3、製程ST4、以及製程ST5。此外，製程ST6為製程ST3之實行後所實行之製程，該製程ST6也和製程ST4以及製程ST5為並列實行。
製程ST3係進行從流量控制器FC(1)所輸出之氣體之輸出流量的過渡特性之檢查。圖5係製程ST3之一實施形態之流程圖。圖5所示一實施形態之製程ST3包含製程ST31以及製程ST32。製程ST31以及製程ST32之運算係藉由控制部12來實行。
製程ST31中，係於實行期間中之過渡期間中複數時點算出由流量控制器FC(1)之第2壓力計P2所測定出的複數測定壓力值Pm2之積算值AC1。過渡期間係恆常期間前的實行期間中之期間。恆常期間係流量控制器FC(1)之輸出流量成為恆常狀態之期間，例如，當既定時間內之流量控制器FC(1)之輸出流量之最大值與最小值之差為既定值以下之情況，可判斷流量控制器FC(1)之輸出流量成為恆常狀態。
後續製程ST32中，積算值AC1係和既定基準值Ref1做比較。既定基準值Ref1係基準期間中之過渡期間中的複數時點之流量控制器FC(1)之第2壓力計P2之測定壓力值Pm2之積算值。基準期間為實行期間更以前之期間，為依照和實行期間所利用之程序配方為相同程序配方的程序在基板處理裝置實行過之期間，為流量控制器FC(1)對應於該程序配方所指定之設定流量來控制了輸出流量之期間。例如，基準期間可為依照上述程序配方之程序在基板處理裝置最初實行過的期間。
流量控制器FC(1)之第2壓力計P2之測定壓力值Pm2係反映流量控制器FC(1)之輸出流量。從而，積算值AC1係反映實行期間中之過渡期間的流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性。將相關積算值AC1與既定基準值Ref1進行比較，可判定實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性是否從基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度。
製程ST32之比較中，例如，當積算值AC1與既定基準值Ref1之差的絕對值為既定值Tha以上之情況，可判定實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性從基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度。當判定實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性從基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度的情況，於製程ST7係藉由控制部12來輸出警報訊號。此外，後續製程ST8中，所實行之程序藉由控制部12來停止。另一方面，於製程ST32，當判定實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性僅從基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性變化為能容許之程度、或是實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性和基準期間 中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性為相同之情況，則實行後續製程ST6。
此外，於實行圖5所示製程ST3之期間中，流量控制器FC(2)之下游之第2閥V2以及流量控制器FC(3)之下游之第2閥V2可為關閉也可為開啟。後者之情況、亦即當流量控制器FC(2)之下游之第2閥V2以及流量控制器FC(3)之下游之第2閥V2為開啟之情況，可確保更長期間之過渡期間，可更高精度判定實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性相對於基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性是否有變化。
圖6係製程ST3之其他實施形態之流程圖。在實行圖6所示實施形態之製程ST3的期間，流量控制器FC(2)之下游之第2閥V2以及流量控制器FC(3)之下游之第2閥V2處於開啟狀態。圖6所示實施形態之製程ST3包含製程ST35以及製程ST36。製程ST35以及製程ST36中的運算係藉由控制部12來實行。於製程ST35，算出於實行期間中之過渡期間中之複數時點由流量控制器FC(2)之第1壓力計P1所測定出的複數測定壓力值Pm1、以及於該複數時點由流量控制器FC(3)之第1壓力計P1所測定出的複數測定壓力值Pm1之積算值AC2。
後續製程ST36，積算值AC2係和既定基準值Ref2做比較。既定基準值Ref2係於基準期間中之過渡期間中之複數時點由流量控制器FC(2)之第1壓力計P1所測定出的測定壓力值Pm1、以及於該複數時點由流量控制器FC(3)之第1壓力計P1所測定出的測定壓力值Pm1之積算值。
實行期間中，從流量控制器FC(1)輸出的氣體也被供給於流量控制器FC(2)之第4配管L4以及第5配管L5、以及流量控制器FC(3)之第4配管L4以及第5配管L5。從而，流量控制器FC(2)之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1以及流量控制器FC(3)之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1係反映流量控制器FC(1)之輸出流量。是以，積算值AC2係反映著流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性。藉由將相關積算值AC2與既定基準值Ref2做比較，可判定實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性是否從基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度。
製程ST36中的比較，例如當積算值AC2與既定基準值Ref2之差的絕對 值為既定值Thb以上之情況，可判定實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性係從基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度。當判定實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性從基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度之情況，於製程ST7中係藉由控制部12來輸出警報訊號。此外，後續製程ST8中，所實行之程序係被控制部12所停止。另一方面，製程ST36中，當判定實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性僅從基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性變化為能容許之程度、或是實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性和基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性為相同之情況，則實行後續製程ST6。
此外，積算值AC2之算出也可使用流量控制器FC(2)以及流量控制器FC(3)當中一者的第1壓力計P1之複數測定壓力值Pm1。於此情況，既定基準值Ref2於基準期間中之過渡期間係使用由流量控制器FC(2)以及流量控制器FC(3)當中一者的第1壓力計P1所測定之複數測定壓力值Pm1來求得。此外，從流量控制器FC(2)之第1壓力計P1之複數測定壓力值Pm1所求得之積算值以及從流量控制器FC(3)之第1壓力計P1之複數測定壓力值Pm1所求得之積算值也可和分別對應之既定基準值做個別比較。
圖7係製程ST6之一實施形態之流程圖。於實行圖7所示製程ST6之期間中，流量控制器FC(2)之下游之第2閥V2以及流量控制器FC(3)之下游之第2閥V2呈開啟狀態。製程ST6包含製程ST61~製程ST63。此等製程ST61~ST63之運算可藉由控制部12來實行。
製程ST61中，算出複數第1差分絕對值△P1以及複數第2差分絕對值△P2。具體而言，算出於實行期間中之恆常期間中由流量控制器FC(2)之第1壓力計P1所測定出的測定壓力值Pm1(亦即第1恆常壓力值)與第1基準恆常壓力值之差分絕對值(第1差分絕對值△P1)。此第1基準恆常壓力值係於比實行期間更早前被決定，為基準期間中之恆常期間中由流量控制器FC(2)之第1壓力計P1所測定出的測定壓力值。此外，算出於實行期間中之恆常期間中由流量控制器FC(2)之第2壓力計P2所測定出的測定壓力值Pm2(亦即第2恆 常壓力值)與第2基準恆常壓力值之差分絕對值(第2差分絕對值△P2)。此第2基準恆常壓力值係於比實行期間更早前被決定，為基準期間中之恆常期間中由流量控制器FC(2)之第2壓力計P2所測定出的測定壓力值。
此外，算出於實行期間中之恆常期間中由流量控制器FC(3)之第1壓力計P1所測定出的測定壓力值Pm1(亦即第1恆常壓力值)與第1基準恆常壓力值之差分絕對值(第1差分絕對值△P1)。此第1基準恆常壓力值係於比實行期間更早前被決定，係基準期間中之恆常期間中由流量控制器FC(3)之第1壓力計P1所測定出的測定壓力值。此外，算出實行期間中之恆常期間中由流量控制器FC(3)之第2壓力計P2所測定出的測定壓力值Pm2(亦即第2恆常壓力值)與第2基準恆常壓力值之差分絕對值(第2差分絕對值△P2)。此第2基準恆常壓力值係於比實行期間更早前被決定，為於基準期間中之恆常期間中由流量控制器FC(3)之第2壓力計P2所測定出的測定壓力值。藉由如此之運算，於製程ST61算出複數第1差分絕對值△P1以及複數第2差分絕對值△P2。
後續製程ST62中，算出複數第1差分絕對值△P1以及複數第2差分絕對值△P2之平均值Ave。後續製程ST63中，判定複數第1差分絕對值△P1是否分別大於既定第1閾值Th1、或是複數第2差分絕對值△P2是否分別大於既定第2閾值Th2、或是平均值Ave是否大於既定第3閾值Th3。
當複數第1差分絕對值△P1個別大於既定第1閾值Th1、或是複數第2差分絕對值△P2個別大於既定第2閾值Th2、或是平均值Ave大於既定第3閾值Th3之情況，乃接著實行製程ST7。另一方面，當複數第1差分絕對值△P1個別為既定第1閾值Th1以下、複數第2差分絕對值△P2個別為既定第2閾值Th2以下、且平均值Ave為既定第3閾值Th3以下之情況，乃結束即時檢查處理RP。此外，製程ST6於實行期間中之恆常期間中也可反覆實行。
實行期間中以對應於設定流量之流量從流量控制器FC(1)所輸出的氣體除了供給於處理容器PC也供給於流量控制器FC(2)以及FC(3)個別的第4配管L4以及第5配管L5。從而，第1恆常壓力值以及第2恆常壓力值係反映恆常狀態下流量控制器FC(1)之輸出流量。此外，第1基準恆常壓力值為基準期間中之恆常期間中所測定出之第1恆常壓力值。此外，第2基準恆常壓力值為基準期間中之恆常期間中所測定出之第2恆常壓力值。從而，藉由製程 ST63之判定，可判定實行期間中之流量控制器FC(1)之恆常狀態之輸出流量是否從基準期間中之流量控制器FC(1)之恆常狀態之輸出流量產生了變化。此外，即使未控制流量之一以上的第2流量控制器(例如流量控制器FC(2)以及FC(3))之第4配管L4以及第5配管L5中的壓力變化較確實反映於該一以上之第2流量控制器之第1壓力計P1以及第2壓力計P2個別的測定壓力值的壓力變化來得小的情況，如此小的壓力變化會反映於上述平均值。此乃由於相關小的壓力變化即便未反映於一以上之第2流量控制器之第1壓力計P1之測定壓力值以及第2壓力計P2之測定值當中的一部分，也會反映於其他一部分，故以結果來說會反映於平均值。是以，藉由使用平均值，可高精度判定實行期間中之流量控制器FC(1)之恆常狀態之輸出流量是否從基準期間中之流量控制器FC(1)之恆常狀態之輸出流量產生了變化。此外，由於使用了複數第2流量控制器、亦即流量控制器FC(2)以及流量控制器FC(3)之第1壓力計P1以及第2壓力計P2之測定壓力值，故可更高感度檢測實行期間中之恆常狀態之流量控制器FC(1)之輸出流量相對於基準期間中之恆常狀態之流量控制器FC(1)之輸出流量是否出現變化。此外，製程ST6中做為第2流量控制器也可使用流量控制器FC(2)以及流量控制器FC(3)當中的一流量控制器。
圖8係製程ST4之一實施形態之流程圖。製程ST4如上述般可和製程ST3、製程ST5、以及製程ST6來並列實行。製程ST4包含製程ST41。製程ST41之運算係藉由控制部12來實行。製程ST41於實行期間中係判定對於流量控制器FC(1)之控制閥CV之壓電元件26的施加電壓Vp是否和基準電壓Vpref1相同、以及流量控制器FC(1)之輸出流量Fout是否小於設定流量Fset。基準電壓Vpref1乃做為對於流量控制器FC(1)之控制閥CV之全開時的壓電元件26之施加電壓而預先設定之基準電壓。
即便對壓電元件26施加了使得控制閥CV全開之電壓，當流量控制器FC(1)之輸出流量Fout小於設定流量Fset之情況，供給於流量控制器FC(1)之氣體壓力仍有可能不足。例如，如此之情況被認為是於流量控制器FC(1)之上游的第1閥V1(1)發生動作不良。依據製程ST41，由於判定對流量控制器FC(1)之控制閥CV之壓電元件26的施加電壓Vp是否和基準電壓Vpref1相同、以及流量控制器FC(1)之輸出流量Fout是否小於設定流量Fset，而可檢測 流量控制器FC(1)之上游側(一次側)之供給壓力不足。
製程ST41，當施加電壓Vp和基準電壓Vpref1相同、且流量控制器FC(1)之輸出流量Fout小於設定流量Fset之情況，判定供給於流量控制器FC(1)之氣體壓力為不足。當判定供給於流量控制器FC(1)之氣體壓力不足之情況，接著實行製程ST7。另一方面，當判定供給於流量控制器FC(1)之氣體壓力不足之情況，結束製程ST4之實行。此外，製程ST4也可於實行期間中來反覆實行。
圖9係製程ST5之一實施形態之流程圖。圖9所示製程ST5如上述般可和製程ST3、製程ST5、以及製程ST6來並列實行。圖9所示製程ST5包含製程ST51。製程ST51之運算係藉由控制部12來實行。製程ST51於實行期間中係判定流量控制器FC(1)之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1與流量控制器FC(1)之第2壓力計P2之測定壓力值Pm2的差是否為既定值Pth以下。當流量控制器FC(1)之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1與流量控制器FC(1)之第2壓力計P2之測定壓力值Pm2的差為既定值Pth以下之情況，接著實行製程ST7。另一方面，當流量控制器FC(1)之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1與流量控制器FC(1)之第2壓力計P2之測定壓力值Pm2的差大於既定值Pth之情況，結束製程ST5之實行。此外，製程ST5也可於實行期間中來反覆實行。
當流量控制器FC(1)之下游之第2閥V2(1)起因於故障而關閉著的情況，流量控制器FC(1)之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1與流量控制器FC(1)之第2壓力計P2之測定壓力值Pm2成為大致相同。從而，依據製程ST51之判定，將可檢測流量控制器FC(1)之下游之第2閥V2(1)之故障。
圖10係製程ST5之其他實施形態之流程圖。圖10所示製程ST5如上述般可和製程ST3、製程ST4、以及製程ST6來並列實行。圖10所示製程ST5包含製程ST55。製程ST55之運算係藉由控制部12來實行。於製程ST55係判定實行期間中之流量控制器FC(1)之第2壓力計P2之測定壓力值Pm2是否大於既定上限壓力值Plim。當實行期間中之流量控制器FC(1)之第2壓力計P2之測定壓力值大於既定上限壓力值Plim之情況，接著實行製程ST7。另一方面，當實行期間中之流量控制器FC(1)之第2壓力計P2之測定壓力值為既定上限壓力值Plim以下之情況，結束製程ST5之實行。此外，製程ST5也可於實行期 間中來反覆實行。
氣體供給系統GP之流量控制器FC之第5配管L5之內部壓力通常設定有上限。從而，若流量控制器FC之第2壓力計P2之測定壓力值Pm2超過既定上限壓力值Plim，被認為會發生該流量控制器FC(1)之下游之第2閥V2(1)之故障。從而，依據製程ST55之判定，將可檢測流量控制器FC(1)之下游之第2閥V2(1)之故障。
以下，針對實施形態之方法之檢查處理當中，於實行期間以外所實行之幾個檢查處理參見圖11~圖15來說明。圖11~圖15係實施形態之方法之一部分的檢查處理之流程圖。
圖11所示檢查處理包含製程ST101~製程ST104。製程ST101以及製程ST104係在控制部12之控制下來實行。此外，製程ST102以及ST103係藉由控制部12來實行。
於製程ST101係進行複數流量控制器FC之內部氣體的排氣。具體而言，關閉複數第1閥V1以及閥VP1，開啟複數第2閥V2、複數流量控制器FC之控制閥CV以及第3閥V3，使得排氣裝置EA作動。藉此，進行複數流量控制器FC之內部氣體的排氣。此外，製程ST101中，閥VP2以及複數閥VP3也可被開啟。
後續製程ST102，在複數流量控制器FC之內部氣體受到排氣之狀態下，判定複數流量控制器FC個別的第1壓力計P1之測定壓力值Pm1是否大於第1既定值P01、以及複數流量控制器FC個別的第2壓力計P2之測定壓力值Pm2是否大於第2既定值P02。
複數流量控制器FC個別之第1壓力計P1以及第2壓力計P2係以在複數流量控制器FC個別之內部氣體已排氣之狀態輸出「0」之測定值的方式做初期設定。亦即，複數流量控制器FC個別之第1壓力計P1以及第2壓力計P2初期受到零點調整。從而，在複數流量控制器FC之內部氣體已排氣之狀態下，當測定壓力值Pm1大於第1既定值P01之情況，可檢測對應之流量控制器FC之第1壓力計P1之零點偏移。此外，在複數流量控制器FC之內部氣體已排氣之狀態下，當測定壓力值Pm2大於第2既定值P02之情況，可檢測對應之流量控制器FC之第2壓力計P2之零點偏移。
於製程ST102，當判定某一流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1大於第1既定值P01、或是某一流量控制器FC之第2壓力計P2之測定壓力值Pm2大於第2既定值P02之情況，於後續製程ST103係輸出警報訊號。此製程ST103和製程ST7為同樣的製程。後續製程ST104中，停止接下來進行之預定程序。另一方面，當全部的流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1為第1既定值P01以下、且全部的流量控制器FC之第2壓力計P2之測定壓力值Pm2為第2既定值P02以下的情況，判定無零點偏移，結束圖11所示檢查處理。
圖12所示檢查處理係用以檢查於複數流量控制器FC個別之第1壓力計P1以及第2壓力計P2之某一測定壓力值是否相對於對應之初期的測定壓力值產生誤差的處理，例如對複數流量控制器FC個別供給之氣體做切換時所實行之處理。圖12所示檢查處理包含製程ST111~製程ST116。其中製程ST111以及製程ST116係基於控制部12之控制下來實行。此外，製程ST112~ST115係藉由控制部12來實行。
製程ST111係關閉複數第1閥V1以及複數第2閥V2。製程ST112~製程ST116對於複數流量控制器FC來個別實行。以下，說明對於一個流量控制器FC之製程ST112~製程ST116之處理內容。
製程ST112係取得流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1以及該流量控制器FC之第2壓力計P2之測定壓力值Pm2。後續製程ST113係取得初期壓力值P2i。初期壓力值P2i係將製程ST112中所取得之測定壓力值Pm1輸入至預定函數所取得之壓力值。此函數係從圖12之檢查處理實行前之期間中所取得之複數測定壓力值Pm1與分別對應於該複數測定壓力值Pm1之測定壓力值Pm2所作成的函數。檢查處理實行前之期間為流量控制器FC之全新導入不久後之期間、或是進行了流量控制器FC個別之第1壓力計以及第2壓力計之調整不久後的期間等初期期間。更具體而言，此函數係將流量控制器FC之內部壓力設定為互異之複數壓力的狀況下，形成流量控制器FC之上游之第1閥V1以及該流量控制器FC之下游之第2閥V2呈現關閉之狀態，每當設定該複數壓力時，將藉由取得流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1以及該流量控制器FC之第2壓力計P2之測定壓力值Pm2所得複數測 定壓力值Pm1與分別對應於該複數測定壓力值Pm1之複數第2測定壓力值Pm2的關係加以函數化者。例如，此函數可為近似於複數測定壓力值Pm1與分別對應於該複數測定壓力值Pm1之測定壓力值Pm2之間的關係之函數。
於後續製程ST114，比較測定壓力值Pm2與初期壓力值P2i。若流量控制器FC之第1壓力計P1之狀態以及第2壓力計P2之狀態為正常，則在該流量控制器FC之上游之第1閥V1與該流量控制器FC之下游之第2閥V2處於關閉之狀態下，將該流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1輸入於上述函數所得之初期壓力值P2i與於製程ST112所取得之流量控制器FC之第2壓力計P2之測定壓力值Pm2應該成為約相同值。從而，藉由製程ST114之比較，將可判定流量控制器FC之第1壓力計P1以及第2壓力計P2之某一測定壓力值是否對於初期之測定壓力值產生誤差。
製程ST114係判定例如製程ST112所取得之測定壓力值Pm2與初期壓力值P2i之差的絕對值是否為既定值Pdref以上。當製程ST112所取得之測定壓力值Pm2與初期壓力值P2i之差的絕對值為既定值Pdref以上之情況，乃實行後續製程ST115並進而實行製程ST116。製程ST115和製程ST103為同樣的製程，製程ST116和製程ST104為同樣的製程。另一方面，當製程ST112所取得之測定壓力值Pm2與初期壓力值P2i之差的絕對值小於既定值Pdref之情況，乃判定流量控制器FC之第1壓力計P1以及第2壓力計P2之某一測定壓力值相對於初期之測定壓力值產生誤差，而結束圖12所示檢查處理。
圖13所示檢查處理係用以檢測複數流量控制器FC個別之控制閥CV是否產生了漏洩之處理，包含製程ST121~ST123。製程ST123係基於控制部12之控制下來實行。此外，製程ST121~ST122係藉由控制部12來實行。以下，僅就對一個流量控制器FC之製程ST121~ST123之處理內容來說明。
製程ST121中，在流量控制器FC之控制閥CV呈關閉之狀態下，判定是否經過了既定時間以上的時間。此外，當對流量控制器FC之控制閥CV之壓電元件26的施加電壓Vp和既定基準電壓Vpref2相同之情況，判定流量控制器FC之控制閥CV處於已關閉之狀態。此基準電壓Vpref2在圖4所示控制閥CV為零。
控制閥CV一般而言無法完全遮斷氣體。若關閉控制閥CV之狀態長期間 持續，會影響之後開啟下游之第2閥V2基於程序目的而供給氣體之情況的過渡特性。依據製程ST121之判定，將可檢測對如此之過渡特性造成影響之控制閥CV之狀態。
具體而言，製程ST121中，在流量控制器FC之控制閥CV處於關閉之狀態下，若判定經過了既定時間以上之時間，則實行後續製程ST122，進而實行製程ST123。製程ST122和製程ST103為同樣的製程，製程ST123和製程ST104為同樣的製程。另一方面，製程ST121中，在流量控制器FC之控制閥CV處於關閉之狀態下，當判定未經過既定時間以上之時間，則結束圖13所示之檢查處理。
圖14所示檢查處理係用以檢測複數流量控制器FC個別之控制閥CV是否產生漏洩之其他處理，包含製程ST131~ST133。製程ST133係基於控制部12之控制所實行。此外，製程ST131~ST132係藉由控制部12來實行。以下，僅說明對一個流量控制器FC之製程ST131~ST133之處理內容。
製程ST131中，流量控制器FC之控制閥CV處於關閉之狀態下，判定該流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1是否增加至既定值以上。此外，當對流量控制器FC之控制閥CV之壓電元件26的施加電壓Vp和既定基準電壓Vpref2相同之情況，判定流量控制器FC之控制閥CV處於關閉之狀態。
即便對壓電元件26之施加電壓Vp處在用以關閉控制閥CV之設定下，但被認為當第1壓力計P1之測定壓力值Pm1增加為既定值以上之情況，會於控制閥CV發生無法容許之漏洩。依據製程ST131之判定，當對壓電元件26之施加電壓Vp處在用以關閉控制閥CV之設定的情況，由於判定流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1是否增加為既定值以上，而可檢測無法容許之控制閥之漏洩。
具體而言，製程ST131中，在流量控制器FC之控制閥CV處於關閉之狀態下，當判定該流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1增加為既定值以上的情況，係實行後續製程ST132，進而實行製程ST133。製程ST132和製程ST103為同樣的製程，製程ST133和製程ST104為同樣的製程。另一方面，製程ST131中，在流量控制器FC之控制閥CV處於關閉之狀態下，當判定流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1增加為既定值以上，則 結束圖14所示檢查處理。
圖15所示檢查處理為檢查是否於複數第2閥V2發生漏洩之處理，包含製程ST141~製程ST143。製程ST143係基於控制部12之控制下來實行。此外，製程ST141~ST142係藉由控制部12來實行。以下，僅針對一個流量控制器FC之下游之一個第2閥V2來說明其漏洩之檢查處理的內容。
於製程ST141，當流量控制器FC之下游之第2閥為關閉、且該流量控制器FC之控制閥CV為關閉之情況，判定該流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1是否減少。此外，當對流量控制器FC之控制閥CV之壓電元件26的施加電壓Vp和既定基準電壓Vpref2為相同之情況，判定流量控制器FC之控制閥CV處於關閉之狀態。
即便流量控制器FC之下游之第2閥V2為關閉，該流量控制器FC之控制閥CV為關閉，當該流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1減少的情況，被認為會於該控制閥CV之下游之第2閥V2發生漏洩。依據製程ST141，當流量控制器FC之控制閥CV為關閉之情況，由於判定該流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1是否減少，將可檢測流量控制器FC之下游之第2閥V2有無漏洩。
具體而言，製程ST141中，當流量控制器FC之下游之第2閥V2為關閉、且該流量控制器FC之控制閥CV為關閉之情況，當判定該流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1減少既定值以上的情況，乃實行後續製程ST142，進而實行製程ST143。製程ST142和製程ST103為同樣的製程，製程ST143和製程ST104為同樣的製程。另一方面，製程ST141中，當流量控制器FC之下游之第2閥V2為關閉、且該流量控制器FC之控制閥CV為關閉之情況，若判定該流量控制器FC之第1壓力計P1之測定壓力值Pm1未減少既定值以上，則結束圖15所示檢查處理。
以下，參見圖16，針對可取代圖11之檢查處理所實行之檢查處理來說明。圖16所示檢查處理和圖11所示檢查處理同樣地包含製程ST101、製程ST103、製程ST104。此外，圖16所示檢查處理包含與圖11所示檢查處理之製程ST102不同的製程ST102A。製程ST101以及製程ST104係基於控制部12之控制下來實行。此外，製程ST102A以及ST103係藉由控制部12來實行。 以下，僅說明製程ST102A。
製程ST102A，在複數流量控制器FC之內部氣體已排氣之狀態，判定於既定時間內藉由複數流量控制器FC個別之第1壓力計P1所測定出的複數測定壓力值Pm1之移動平均值MVA1與藉由第2壓力計P2所測定出的複數測定壓力值Pm2之移動平均值MVA2的差分絕對值是否為既定值PD1(例如數kPa)以上。當複數流量控制器FC當中有任何滿足製程ST102A之判定條件的情況，係實行後續製程ST103。另一方面，當任一流量控制器皆不滿足製程ST102A之條件的情況，乃結束圖16所示檢查處理。此外，既定時間取決於測定壓力值Pm1以及測定壓力值Pm2之取得速率，例如當該取得速率為100μsec之情況，可為0.1秒以上、5秒以下之時間。
當流量控制器FC個別無零點偏移之情況，於流量控制器之內部已排氣之狀態下，移動平均值MVA1與移動平均值MVA2之間幾乎不存在著差。從而，當此等二個移動平均值之間的差分絕對值為既定值PD1以上之情況，會成為該流量控制器發生了零點偏移。是以，依據圖16所示檢查處理，流量控制器之零點的檢測成為可能。
以下，參見圖17，針對取代圖12之檢查處理所能實行之檢查處理來說明。圖17所示檢查處理和圖12所示檢查處理同樣地包含製程ST111、製程ST115、製程ST116。此外，圖17所示檢查處理進而包含製程ST112A。製程ST111以及製程ST116係基於控制部12之控制下來實行。此外，製程ST112A以及ST115係藉由控制部12來實行。以下，僅說明製程ST112A。
製程ST112A係於製程ST111之後實行。製程ST112A，在複數第1閥V1以及複數第2閥V2為關閉之狀態下，判定於既定時間內藉由複數流量控制器FC個別之第1壓力計P1所測定出的複數測定壓力值Pm1之移動平均值MVA11與藉由第2壓力計P2所測定出的複數測定壓力值Pm2之移動平均值MVA12之差分絕對值是否為既定值PD2(例如數kPa)以上。當複數流量控制器FC當中任一者滿足製程ST112A之判定條件的情況，其次來實行製程ST115。另一方面，當任一流量控制器皆不滿足製程ST112A之條件的情況，乃結束圖17所示檢查處理。此外，既定時間取決於測定壓力值Pm1以及測定壓力值Pm2之取得速率，例如當該取得速率為100μsec之情況，可為0.1秒以 上、5秒以下之時間。
當複數流量控制器個別之第1壓力計P1以及第2壓力計P2之雙方為正常之情況，該流量控制器之上游之第1閥V1與下游之第2閥V2在關閉之狀態下關於流量控制器所求出之移動平均值MVA11與移動平均值MVA12之間幾乎不存在著差。從而，當此等二個移動平均值之間的差分絕對值為既定值PD2以上之情況，該流量控制器之第1壓力計P1或是第2壓力計P2將會處在輸出具有誤差之測定壓力值的狀態。是以，依據圖17所示檢查處理，將可檢測複數流量控制器FC個別之第1壓力計P1或是第2壓力計P2處在輸出具有誤差之測定壓力值的狀態。
以下，針對可取代圖4所示即時檢查處理RP而使用之即時檢查處理RP2來說明。此即時檢查處理RP2可適用於圖18所示之基板處理裝置。圖18所示基板處理裝置10A在具備有氣體供給系統GPA(進而具有第3壓力計P30)這點係有別於圖1所示基板處理裝置10。第3壓力計P30係測定第3配管L3之內部壓力。此第3壓力計P30之測定壓力值Pm3係輸出至控制部12。
即時檢查處理RP2如圖19所示般在不包含製程ST2這點係有別於圖4所示之即時檢查處理RP。此外，即時檢查處理RP2包含有取代製程ST3之製程ST300，並包含取代製程ST6之製程ST600。關於其他點，即時檢查處理RP2係和即時檢查處理RP同樣。以下，針對製程ST300與製程ST600來說明。於以下之說明中，舉出於基板處理裝置係實行依照一個程序配方的程序，第1流量控制器為流量控制器FC(1)，而未進行流量控制(亦即未對處理容器PC供給氣體)之第2流量控制器係流量控制器FC(2)以及流量控制器FC(3)之情況。
圖20係顯示製程ST300之流程圖。如圖20所示般，製程ST300中係進行從流量控制器FC(1)所輸出之氣體的輸出流量之過渡特性的檢查。製程ST300包含製程ST301以及製程ST302。製程ST301以及製程ST302中之運算係以控制部12來實行。
製程ST301，係算出於經由流量控制器FC(1)對基板處理裝置10A之處理容器PC供給氣體之實行期間中之過渡期間中之複數時點，藉由第3壓力計P30所測定出的複數測定壓力值Pm3之積算值AC3。過渡期間為恆常期間前 之實行期間中之期間。恆常期間為流量控制器FC(1)之輸出流量成為恆常狀態之期間，例如當既定時間內之流量控制器FC(1)之輸出流量之最大值與最小值的差為既定值以下之情況，可判斷流量控制器FC(1)之輸出流量成為恆常狀態。
後續製程ST302，積算值AC3係和既定基準值Ref3做比較。既定基準值Ref3係基準期間中之過渡期間中之複數時點的第3壓力計P30之測定壓力值Pm3之積算值。基準期間為比實行期間更早之前的期間，係依照和在實行期間所利用之程序配方為相同程序配方之程序而在基板處理裝置中所實行過的期間，為流量控制器FC(1)因定於該程序配方所指定的設定流量來控制了輸出流量之期間。例如，基準期間可為在基板處理裝置最初實行依照程序配方之程序的期間。
第3壓力計P30之測定壓力值Pm3係反映流量控制器FC(1)之輸出流量。從而，積算值AC3係反映實行期間中流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性。藉由將相關積算值AC3來和既定基準值Ref3做比較，可判定實行期間中流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性是否變化為無法容許之程度。
在製程ST302之比較中，例如當積算值AC3與既定基準值Ref3之差的絕對值為既定值Thc以上之情況，可判定實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性從基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度。當判定實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性從基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性變化為無法容許之程度的情況，於製程ST7係藉由控制部12來輸出警報訊號。此外，後續製程ST8中，所實行之程序係由控制部12所停止。另一方面，製程ST302中，當判定實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性從基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性僅變化了能容許之程度、或是實行期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性和基準期間中之流量控制器FC(1)之輸出流量之過渡特性為相同之情況，係實行後續製程ST600。
圖21係顯示製程ST600之流程圖。製程ST600包含製程ST601以及製程ST602。此等製程ST601以及製程ST602之運算可藉由控制部12來實行。
製程ST601中係算出差分絕對值△P3。具體而言，算出實行期間中之恆常期間中藉由第3壓力計P30所測定出的測定壓力值Pm3(恆常壓力值)與基準恆常壓力值之差分絕對值△P3。此基準恆常壓力值係於實行期間之前所定，為基準期間中之恆常期間中由第3壓力計P30所測定出的測定壓力值。
後續製程ST602中，判定差分絕對值△P3是否大於閾值Th31。當差分絕對值△P3大於閾值Th31之情況，接著實行製程ST7。另一方面，當差分絕對值△P3為閾值Th31以下之情況，結束即時檢查處理RP2。此外，製程ST600也可於實行期間中之恆常期間中反覆實行。
實行期間中以對應於設定流量的流量從流量控制器FC(1)輸出的氣體係流往第3配管L3。從而，藉由第3壓力計P30所測定之恆常壓力值係反映恆常狀態中流量控制器FC(1)之輸出流量。此外，基準恆常壓力值係於比實行期間更早之期間(亦即基準期間)中，在對應於相同設定流量而輸出著氣體之流量控制器FC(1)之輸出流量成為恆常狀態時由第3壓力計P30所取得之恆常壓力值。從而，藉由判定恆常壓力值與基準恆常壓力值之差分絕對值△P3是否大於閾值Th31，可判定實行期間中流量控制器FC(1)之恆常狀態之輸出流量是否從基準期間中之流量控制器FC(1)之恆常狀態之輸出流量產生了變化。
以上，雖針對實施形態之方法做了說明，但毋須實行上述複數檢查處理的全部，亦可僅實行此等複數檢查處理當中數個的檢查處理。
ST61‧‧‧算出第1差分絕對值△P1以及第2差分絕對值△P2
ST62‧‧‧算出平均值Ave
ST63‧‧‧△P1>Th1或△P2>Th2或Ave>Th3？

Claims (15)

  1. 一種檢查氣體供給系統之方法，該氣體供給系統係對基板處理裝置之處理容器內供給氣體者；該氣體供給系統具備有：複數第1配管，係分別連接於複數氣體源；複數第1閥，係分別設於該複數第1配管；複數流量控制器，係分別設於該複數第1配管之下游，而分別連接於該複數第1配管；複數第2配管，係分別設於該複數流量控制器之下游，而分別連接於該複數流量控制器；複數第2閥，係分別設於該複數第2配管；第3配管，係設於該複數第2配管之下游，而連接於該複數第2配管；以及第3閥，係設於該第3配管；該第3配管於該第3閥之下游係連接於該處理容器；該複數流量控制器分別具有：銳孔；第4配管，係延伸於該銳孔之上游而連接於該第1配管；第5配管，係延伸於該銳孔之下游而連接於該第2配管；控制閥，係設於該第4配管；第1壓力計，係於該控制閥與該銳孔之間用以測定該第4配管之內部壓力；以及，第2壓力計，係用以測定該第5配管之內部壓力；該方法包含下述製程：對於經由該複數流量控制器當中之第1流量控制器而供給於該處理容器內的氣體流量進行控制之製程，其中該氣體流量係於第1流量控制器對應於設定流量而受到控制；於控制氣體流量之該製程之實行期間，開啟該複數第2閥當中之一以上的第2閥之製程，該一以上的第2閥係於該複數流量控制器當中未控制氣體流量之一以上的第2流量控制器之下游所設者；求出一以上的第1差分絕對值以及一以上的第2差分絕對值之製程，其中該一以上的第1差分絕對值個別為在該第1流量控制器之輸出流量成為恆 常狀態之恆常期間中藉由該一以上的第2流量控制器個別之該第1壓力計所測定出的第1恆常壓力值與第1基準恆常壓力值之間的差分絕對值，該一以上的第2差分絕對值個別為在該恆常期間中藉由該一以上的第2流量控制器個別之該第2壓力計所測定出的第2恆常壓力值與第2基準恆常壓力值之間的差分絕對值，該第1基準恆常壓力值以及該第2基準恆常壓力值分別在比該實行期間更早前被決定，對應於該設定流量來控制著供給至該處理容器內之氣體流量的該第1流量控制器之輸出流量在成為該恆常狀態時係藉由該一以上的第2流量控制器個別之該第1壓力計以及該第2壓力計分別所測定出的測定壓力值；求出該一以上的第1差分絕對值以及該一以上的第2差分絕對值之平均值之製程；以及判定該一以上的第1差分絕對值個別是否大於第1閾值、該一以上的第2差分絕對值個別是否大於第2閾值、以及該平均值是否大於第3閾值之製程。
  2. 如申請專利範圍第1項之檢查氣體供給系統之方法，其中該一以上的第2流量控制器為該複數流量控制器當中在該實行期間未控制氣體流量之複數第2流量控制器；該一以上的第1差分絕對值以及該一以上的第2差分絕對值係藉由求出該恆常期間中藉由該複數第2流量控制器個別之該第1壓力計所測定之第1恆常壓力值與該第1基準恆常壓力值之間的差分絕對值以及該恆常期間中藉由該複數第2流量控制器個別之該第2壓力計所測定之第2恆常壓力值與該第2基準恆常壓力值之間的差分絕對值而得到之複數第1差分絕對值以及複數第2差分絕對值；該平均值為該複數第1差分絕對值以及該複數第2差分絕對值之平均值；於進行判定之該製程中，係判定該複數第1差分絕對值個別是否大於第1閾值、該複數第2差分絕對值個別是否大於第2閾值、以及該平均值是否大於第3閾值。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之檢查氣體供給系統之方法，係進而包含下述製程： 求出該實行期間中、且較該恆常期間為前之過渡期間中之複數時點之該第1流量控制器之該第2壓力計之測定壓力值的積算值之製程；以及比較該積算值與既定基準值之製程。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之檢查氣體供給系統之方法，係進而包含下述製程：求出該實行期間中、且較該恆常期間為前之過渡期間中之複數時點之該一以上的第2流量控制器之該第1壓力計之測定壓力值的積算值之製程；以及比較該積算值與既定基準值之製程。
  5. 一種檢查氣體供給系統之方法，該氣體供給系統係對基板處理裝置之處理容器內供給氣體者；該氣體供給系統具備有：複數第1配管，係分別連接於複數氣體源；複數第1閥，係分別設於該複數第1配管；複數流量控制器，係分別設於該複數第1配管之下游，而分別連接於該複數第1配管；複數第2配管，係分別設於該複數流量控制器之下游，而分別連接於該複數流量控制器；複數第2閥，係分別設於該複數第2配管；第3配管，係設於該複數第2配管之下游，而連接於該複數第2配管；以及第3閥，係設於該第3配管；該第3配管於該第3閥之下游係連接於該處理容器；該複數流量控制器分別具有：銳孔；第4配管，係延伸於該銳孔之上游而連接於該第1配管；第5配管，係延伸於該銳孔之下游而連接於該第2配管；控制閥，係設於該第4配管；第1壓力計，係於該控制閥與該銳孔之間用以測定該第4配管之內部壓力；以及，第2壓力計，係用以測定該第5配管之內部壓力；該氣體供給系統具備有用以測定該第3配管之內部壓力的第3壓力計； 該方法包含下述製程：對於經由該複數流量控制器當中之第1流量控制器而供給於該處理容器內的氣體流量進行控制之製程，其中該氣體流量係於第1流量控制器對應於設定流量而受到控制；求出差分絕對值之製程，該差分絕對值為該第1流量控制器之輸出流量成為恆常狀態之恆常期間中由該第3壓力計所測定出的恆常壓力值與基準恆常壓力值之間的差分絕對值，該基準恆常壓力值係較控制氣體流量之該製程的實行期間更早前所決定，為對應於該設定流量來控制著供給於該處理容器內之氣體流量的該第1流量控制器之輸出流量成為該恆常狀態時由該第3壓力計所測定出的測定壓力值；以及判定該差分絕對值是否大於閾值之製程。
  6. 如申請專利範圍第5項之檢查氣體供給系統之方法，係進而包含下述製程：求出該實行期間中、且較該恆常期間為前之過渡期間中之複數時點的該第3壓力計之測定壓力值之積算值之製程；以及比較該積算值與既定基準值之製程。
  7. 如申請專利範圍第1、2、5或6項之檢查氣體供給系統之方法，其中該複數流量控制器個別之該控制閥進而具有驅動部，該驅動部包含：壓電元件，係以使得該控制閥之開閉動作所用的閥體做移動的方式所構成；以及，控制電路，係以對該壓電元件施加電壓的方式所構成；進而包含下述製程：判定該實行期間中對該第1流量控制器之該壓電元件的施加電壓是否和做為對該第1流量控制器之該控制閥全開時之該壓電元件的施加電壓所預先設定之基準電壓相同、以及判定該實行期間中之該第1流量控制器之輸出流量是否小於該設定流量。
  8. 如申請專利範圍第1、2、5或6項之檢查氣體供給系統之方法，係進而包含下述製程：判定該實行期間中之該第1流量控制器之該第1壓力計之測定壓力值與該實行期間中之該第1流量控制器之該第2壓力計之測定壓力值之差是否為既定值以下。
  9. 如申請專利範圍第1、2、5或6項之檢查氣體供給系統之方法，係進而 包含下述製程：在該複數流量控制器之內部氣體已排氣之狀態下，判定該複數流量控制器個別之該第1壓力計之測定壓力值是否大於第1既定值、以及判定該複數流量控制器個別之該第2壓力計之測定壓力值是否大於第2既定值。
  10. 如申請專利範圍第1、2、5或6項之檢查氣體供給系統之方法，係進而包含下述製程：在該複數流量控制器之內部氣體已排氣之狀態下，判定既定時間內該複數流量控制器個別之該第1壓力計所測定出的複數測定壓力值之移動平均值與該第2壓力計所測定出的複數測定壓力值之移動平均值的差分絕對值是否為既定值以上。
  11. 如申請專利範圍第1、2、5或6項之檢查氣體供給系統之方法，係進而包含下述製程：在該複數第1閥以及該複數第2閥呈現關閉之狀態下取得由該複數流量控制器個別之該第1壓力計所測定之第1測定壓力值以及由該複數流量控制器個別之該第2壓力計所測定之第2測定壓力值之製程；藉由將該第1測定壓力值輸入於預定之函數，來取得和該第1測定壓力值相對應之該第2壓力計之初期壓力值之製程；以及比較該第2測定壓力值與該初期壓力值之製程。
  12. 如申請專利範圍第1、2、5或6項之檢查氣體供給系統之方法，係進而包含下述製程：在該複數第1閥以及該複數第2閥呈現關閉之狀態下，判定既定時間內由該複數流量控制器個別之該第1壓力計所測定出的複數測定壓力值之移動平均值與由該第2壓力計所測定出的複數測定壓力值之移動平均值的差分絕對值是否為既定值以上。
  13. 如申請專利範圍第1、2、5或6項之檢查氣體供給系統之方法，係進而包含下述製程：在該複數流量控制器個別之該控制閥處於關閉之狀態下，判定是否經過了既定時間。
  14. 如申請專利範圍第1、2、5或6項之檢查氣體供給系統之方法，其中該複數流量控制器個別之該控制閥進而具有驅動部，該驅動部包含：壓電元件，係以使得該控制閥之開閉動作所用的閥體做移動的方式所構成；以及，控制電路，係以對該壓電元件施加電壓的方式所構成； 進而包含下述製程：當對該複數流量控制器個別之該壓電元件的施加電壓和該流量控制器之該控制閥為關閉時做為對該壓電元件的施加電壓所事先設定之基準電壓為相同之情況，判定該複數流量控制器個別之第1壓力計之測定壓力值是否增加為既定值以上。
  15. 如申請專利範圍第14項之檢查氣體供給系統之方法，係進而包含下述製程：當該複數第2閥個別呈現關閉、對該複數流量控制器個別之該壓電元件的施加電壓和該基準電壓為相同之情況，判定該複數流量控制器個別之該第1壓力計之測定壓力值是否有減少。
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