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經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A6 B6 五、發明説明（，） 本發明係有關一種半導體陣列裝置的製造，像在半導 體基板上的電晶體。更特別地，本發明係有關於一種隔 離半導體基板上相鄰的，緊密間隔的電晶體的方法。 發明背晷 大多數金臑氣化物（矽）場效電晶體是在半導體基板， 像矽薄片，内製造的，它可被分別標定位置。為了減少 裝置間的串音，須將它們彼此間隔開；然而，為了要增 加單一基板上裝置的數目，它們又必須盡可能接近。在 過去十年，半導體工業中研究的主要目標已反映出這些 互相衝突的需求。裝置被做得越來越小，而單一基板上 或晶Η上的裝置刖盡可能多做。 對於裝置間放在一起較接近（高密度）的情況，過去已 發展出一套技術，将每一裝置的有效面積與其各邊鄰近 裝置互相隔離。其中一個技術，稱為槽隔離法，在裝置 處理的開始，將一開口，或槽做在矽基板内，每一電晶 體裝置的源極，閘極和汲極區域附近，並且將槽内填充 介電質，像氧化矽。此槽是做為装置間的界牆。然而， 在基板上裝置間側向和水平方向皆須允許有排列容許限 度（alignment tolerances},因而每個裝置所需的尺寸 均超過其實際有效面積。 另一替代的隔離技術，採用表面氣化層。將氮化物或 其他覆罩放在工作装置被形成的區域之上；例如將硼離 子植入非覆罩部份，作為一溝道調整裝置，以定出基板 内形成的源極，閘極和汲極區域附近的隔離區域，而此 隔離區域是被氣化過的（L 0 C 0 S方法）。然而，氣化區域 在随後的裝置過程中可能侵蝕有效面積，而渠道調整裝 -3 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210X297公釐） …裝—………訂……—線 {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（ A6 B6 此界 因臨 。壓 積電 面的 效體 有晶 Lv\ 鬣 1/. tpBT 散效 擴場 會 了 中加 驟增 步這 曰二 理 ， 處了 的窄 後變 隨道 在渠 劑的 塗出 浸定 置所 束終成 結最阻 程比光 過得 ， it .二· 理做其 處須尤 置必 。 裝初象 在最現 了在散 為道擴 以渠種 所 ，此 。度許 能寬允 性道以 動渠 ， 驅的寬 流要為 電所度 繼持寬 影維的 巨能要 值時所 度限 許 容 的 C 需低 所降 間會 置度 裝密 了il 加裝 增的 也置 排裝 錯法 的方 免此 避用 可採 不此 時因 型而 化 體 氮晶 E ,flur 體成 矽形 聚以 的型 電成 導被 和 它 緣 , 絶層 極« 閘極 置閘 放成 括形 包以 程層 製矽 的化 鑛氧 後和 矽 極體 源晶 成電 形的 箸型 接新 , 最 邊 。 兩的 極排 閘自 上是 板極 基閘 矽於 入對 植相 子它 -¾¾ ， 將域 。區 極極 閘汲 的和 基 此 因 而 小 還 米 。 徹小 5最 ]至 減 隔 間 的 需 ο 所 到體 做晶 ’ 1 極每 閘上 其板 比 或 小 米 徹 小 很 持 維 能 可 儘 tt 離 距 的 ο Μ 間 為體 。 因晶程 電製

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Claims (1)

1. i/ % 妙 ί • 1— .----- «.} 8 888 ABCD 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 々、申請專利範圍 ' 1j 第83101301號「電晶體隔離方法」專利案 (85年4月修正） 申請專利範圍 1. 一種將基板上半導體裝置陣列所需的間隔減至最小的方 法，每一半導體裝置包括一源極，一汲極和其間之閘極 叠層，包括： a) 形成第一絕緣區域以隔離相鄰之装置， b) 依序沈積一聚矽層，一矽化物層和一保護1在該基 板上且以蝕刻該依序排列之各層而形成一閘極疊靥之陣 列，及 c) 在與閘極對齊之各排裝置之間形成第二絕緣區域。 2. —種將基板上半導體装置陣列所需的間隔減至最小的方 法，每一半導體裝置包括一源極，一汲搔和其間之閘極 叠餍，包括： a) 依序沈積一聚矽餍，一矽化物層和一保護層在該基 板上， b) 以蝕刻該依序排列之各層而形成一 W極疊層之陣列， c) 在每一該蘭極叠層之側壁上形成一隔層，及 d) 在各排裝置之間形成第二絕緣區域，該第二絕緣區 域和該側壁隔曆對齊。 3. —種將半導醴基板上相鄰半導醱裝置之陣列所需的間隔 減至最小的方法，每一該半導體裝置包括一源極，一汲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210 X 297公釐） ---------^ II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 申請專利範圍 A8 Β8 C8 D8 區 緣 絕 之 向 平 一 第 成 形 上 邊 側 : 1 括任 包之 , 域 極區 鬧置 之裝 間該 其在 和a) 極 域 ir及 Π Γ te域 at區 Da ·'f· ( 極 型 汲 成 及 及 極 積 源 沈 之 間 齊 之 對 域 極 區 閘 緣 該 絕 和 該 成 在；形 b))Bc) ft 極 閘 後 成 形 極 0 閘 域於 匾中 緣其 絕， 二法 第方 之之 齊項 對 3 極肩 該範 和利 成專 形誚 d)申 如 上 板 基 該 在 域 匾 綠 絕 後 其 成 形 壁 側 之 極 閘 1 每 沿 〇 1成 隔形 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210 X 297公釐〉