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經濟部中央標準局員工消费合作社印製 如觸7 A7 B7 五、發明説明（1 ) 〔發明之背景〕 本發明係關於一種對成膜處理室之液體材料供應裝置 及供應方法。 一般，在半導體裝置之製造過程中，施行成膜在半導 體晶片上，或是藉由微細加工技術在晶片上施行蝕刻。如 此，藉重複施行這種操作有成膜多層地施行在晶片上。 一般，欲在半導體晶片上施行成膜，使用CVD (

Chemical Vapor Deposition)成膜裝置，或灘射成膜裝 置等。例如在此例舉CVD成膜裝置加以說明；在成爲真 空或常壓之成膜處理室內配置半導體晶片，將該晶片一面 維持在所定之處理溫度一面供應所定量之成膜氣體，成爲 將例如藉化學反應所產生之反應生成物堆積在晶片表面上 〇 在此，使用在成膜的成膜用之處理氣體，係使用將成 膜金屬與鹵素化合物所成的例如WFe ，TiC5<t等鹵 素化合物。這些化合物係在常溫，常壓下成爲氣體狀態。 因此，在供應處理氣體時，係例如將來自裝入在作爲一次 壓力約1 5 Okg/crri之高壓狀態的處理氣體鋼瓶之處理 氣體降壓至約2〜5kg/crrf之二次壓力，並將此控制設 定成設在成膜處理室之近旁的氣箱內之氣體質量流量的質 量控制器來控制所定流量而供應至成膜處理室。 對於上述之氣體狀之成膜材料，最近，作爲成膜用之 處理材料，在常溫，常壓下成爲液體狀態。開發所謂低蒸 汽壓液體材料。這種液體材料係因例如成膜之膜特性極良 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事反填寫本頁) 袈· 、^ • T— · -4 - A7 A7 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 B7 五、發明説明（2 ) 好，最近有被多使用之趨勢。該低蒸汽壓液體材料，係由 例如二乙胺基鈦（T i 〔N (C2H3) 2〕4)或三甲基乙 烯基矽烷基乙醯乙酸酯銅（I )(C u (h f a c )V t m s )等之有機金屬材料所構成。具有不但對人體極有害而且 極富於反應性而與空氣接觸容易氧化的特性。 但是，欲將該成膜用之低蒸汽壓液體材料供應於成膜 處理室，如上所述，因在常溫，常壓下呈液體狀態極難汽 心而無法使用在成膜氣體所使用之供應方式》因此考量代 替此而藉由N2氣體等之載運氣體將該液體材料成爲氣泡 形成霧狀供應之方法或是加熱而產生多量之蒸汽後供應等 〇 然而，在使用該氣泡方式時，不但藉由液量或液面面 積之變化等使供應量成爲不穩定之問題，而且如上所述， 因該液體材料係很難汽化，因此具有只以氣泡無法充分地 確保所需蒸汽量之問題。 又雖使用於氣泡之N2氣體或H2氣體爲微量，惟溶 解在液體材料中成爲不純物，故也具有對晶片之成膜不良 影響之問題。 又在加熱方式時，雖可確保所需蒸汽量，惟具有藉液 體材料之加熱導致材料本身之化合物熱分解而變質之問題 〇 又在任何供應方式，均有一旦蒸汽化者再液化或是在 更換填充液體材料之液槽時，殘存於配管或連接部之液體 材料與氧氣反應而產生固體狀副生成物，而閉塞配管或連 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事灰填寫本頁) 裟· 、?τ -5 - 經濟部中央橾準局員工消费合作社印製 208657 A7 B7 五、發明説明（3 ) 接部之問題。 又，該種液體材料係在最後，因該材料導入至處理室 內時係以氣體狀態導入，因此該體積係大幅度地膨脹，惟 作爲液量，單位時間之使用量係微量。故以一般之流動氣 體之大小的配管構成液體材料所流動之配管系統時，則增 加在管內之液體的滯留時間，因而也有容易受到來自配管 材料之金屬污染的問題。 如上所述，在以往很難將低蒸汽壓液體材料從液槽穩 定地且高精確度地供應至成膜處理室。 〔發明之要旨〕 本發明係鑑於如上所述之問題，而有效地解決該問題 所發明者。本發明之目的係在於提供一種可穩定地且高精 度地供應成膜用之低蒸汽壓液體材料的液體材料供應裝置 及供應方法。 本發明係用以解決上述之問題，係在對被處理體施以 成膜處理之成膜處理室供應成膜用之低蒸汽壓液體材料的 液體材料供應裝置，其特徵爲：具備儲存低蒸汽壓液體材 料的儲存槽，及將低蒸汽壓液體材料暴露在快流速之氣體 施以汽化的汽化器，及連接於儲存槽而藉由另外供應之加 壓氣體並推出上述低蒸汽壓液體材料的加壓用通路，及連 接儲存槽與汽化器的加壓液體供應通路；及介設於該加壓 液體供應通路並控制流在該通路之低蒸汽壓液體材料之流 量的流量控制部，及連接汽化器與成膜處理室並流動被汽 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) r - 戋 (請先閲讀背面之注意事ϊί .填寫本頁) -9 丁 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（4 ) 化之氣體的氣體供應通路，及設於該氣體供應通路並阻止 被汽化之氣體之再液化的加熱手段等。 因本發明係構成如上所述，藉加壓氣體從儲存槽以液 體狀態F推出低蒸汽壓液體材料至加壓液體供應通路，並 藉由流量控制部控制流量而供應至汽化器。該液體材料係 在汽化器，以例如噴霧之原理被汽化，而在以供應用加熱 手段被加熱之氣體供應通路以氣體狀態供應至成膜處理室 ，成爲施行所定之成膜處理。如此，在常溫，常壓下可穩 定地且高精確度地將難蒸汽化之低蒸汽壓液體材料供應至 成膜處理室。 又，在液體材料供應裝置設置排出通路時，則在剛施 行成膜處理前，連通汽化器與排出通路而吸引排出殘存在 汽化器內的低蒸汽壓液體材料。由此，可高精確度地控制 在成膜時之液體供應量。又，在施行汽化器或流量控制部 等之維修時，也因連結上述之排出通路與加壓液體供應通 路，可排出儲存在通路內或各構件內之液體，而可有效率 地施行維修。 又，在設置洗淨液供應通路時，如上所述，只從排出 通路吸引排出，則在加壓液體供應通路內等殘存微量液體 。如此，從洗淨液供應通路流通例如酒精等之洗淨液至該 急救通路而溶解殘存在內部之液體並可排出至外。 又，在將通路之配管一面維持高機械性強度一面減小 流路面積時，則可縮短在通路內之液體材料的滯留時間， 而該分量，可減少金屬污染。 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） --Jw-- - - (請先閲讀背面之注意事iK.填寫本頁) 、-° Γ -7 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 A7 B7 五、發明説明（5 ) 〔實施例〕 以下，依據圖式詳述對本發明之成膜處理室之液體材 料供應裝置及供應方法的一實施例。 第1圖係表示本發明之液體材料供應裝置的構成圖， 第2圖係使用於表示在第1圖之供應裝置之汽化器的概略 剖面圖，第3圖係表示在成膜處理時之液體材料供應量的 圖表，第4圖係表示於第1圖之材料供應裝置之配管構造 的剖面圖，第5圖及第6圖係表示於第1圖之材料供應裝 置之各閥操作之時序圖的圖式。 如圖示，該發明之液體材料供應裝置2係具有：儲存 在常溫常壓下呈液體狀態之例如二乙胺基鈦 (T i 〔N (C2H3) 2〕2)或三甲基乙烯基矽烷基六氟 乙醯乙酸酯銅等所成之低蒸汽壓液體材料L的儲存槽4， 及以流體狀態控制由此所供應之液體材料之質量流量的流 量控制部6，及將控制流量之液體材料以例如噴霧原理使 之蒸汽化或霧化的汽化器8 » 首先，儲存槽4係具有介設第1開關閥VA之加壓氣 體導入噴嘴16，及介設第2開關閥VB之液體排出噴嘴 2 0，而導入噴嘴1 6之下端部位於液體材料之液面上方 ，排出噴嘴2 0之下端部係位於液中底部。 又，在儲存槽4之加壓氣體導入噴嘴1 6之上端承口 ，連接有用以作爲加壓用氣體調整壓力成例如約0 · 5kg /cm2之H e氣體所用的加壓用通路1 〇，藉由導入於儲 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 --- ---Λ 突-- , 1 (請先聞讀背面之注意事i*k填寫本頁) -· Γ -8 - 經濟部中央標準局員工消費合作杜印裝 A7 B7 五、發明説明（6 ) 存槽4之He氣體成爲可加壓儲存槽4內之液體材料L。 又，在加壓用通路1 0之途中開設有控制H e氣體之供排 的加壓氣體供排閥V 9。 藉供應被加壓之液體材料之第1加壓液體供應通路 2 4 A連接液體排出噴嘴2 0之上端承口與汽化器8之液 體導入口 8 A。在該途中介設有流量控制部6成爲可控制 液體材料之流量。在該流量控制部6與儲存槽4之間的第 2加壓液體供應通路2 4 B，如下所述，分別介設有在維 修時等用以遮斷各部所須的第1遮斷片V1及第2遮斷片 V 2。 汽化器8之蒸汽出口 8 B，及被處理體，例如在半導 體晶片W施以成膜處理所用的成膜處理室3 0之處理氣體 供應噴嘴3 2係連接於供應被汽化之氣體的氣體供應通路 34。在此，作爲該成膜處理室30，電漿CVD裝置， 一般之CVD裝置等，成膜裝置任何者均可適用。又，一 片一片地處理之外也可適用成批處理。此時，若爲真空處 理室，則連接有設置真空泵之真空排氣系統，若爲常壓處 理室則連接有一般之排氣系統。在該氣體供應通路3 4， 如下所述，介設有在維修時或是在排出殘存液體時等用以 從其他孤立汽化器8所用的第3遮斷閥V 3。 在上述之汽化器8之汽化用氣體導入口 8 C，連接有 用以供應液體汽化用之快速流速之氣體所用的汽化用氣體 通路3 8，在該通路形成可流通作爲汽化用氣體之例如壓 力約0 · 5kg/cnf之He氣體（也可以爲Ar氣體）， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） _- (請先閲讀背面之注意事J*k填寫本頁) -δ

一 9 一 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（7 ) 而且介設有汽化用氣體開閉閥V 1 1 。 在此，依據第2圖詳述配設於氣體供應通路3 4之汽 化器8之構造。 又，該汽化器8係如上所述，具有導入液體之液體導 入口 8A，及導入汽化用氣體之汽化用氣體導入口 8 C， 及流通汽化氣體之蒸汽出口 8 B的三個流出入口。藉將控 制閥體4 6接近使之就座或將此離開於形成在液體導入口 8 A前端之閥座4 2的微小閥口而將閥口 4 4成爲開閉之 狀態。又，對於閥座在控制閥體4 6之相反側，設有停止 汽化用氣體（H e氣體）之流入的分路閥體4 8，因此， 藉從各該開口 44離開分路閥體4 8及控制閥體46，使 通過閥口 4 4流出之液體材料暴露在有快流速之H e氣體 的汽化用氣體而被汽化，而在該狀態成爲流向成膜處理室 3 0° 然而，在這種汽化器8，必定在其構造上內部會產生 死空間5 0，而與結束堆積處理之同時因各閥體4 6， 4 8關閉閥口 4 4而停止氣體之供應，雖然該死空間5 0 爲微小也無法避免殘存液體材料。如此，若在液體殘存於 死空間5 0之狀態下仍開始下一成膜處理時，則與成膜開 始之同時也同時流出殘存液體材料，如第3圖所示，在開 始成膜初期會有例如僅七秒鐘比控制量較多之液體材料被 汽化，而無法得到對晶片之適當成膜。 如此’在本發明中，設有用以排出該殘存液體所用或 維修時排出殘存於通路內等之液體所用的排出通路5 2 ( 本紙張尺度逋用中國國家樣準（CNS > A4規格（210X297公釐） --------《裝-- ^ - (請先閲讀背面之注意事ϊί 填寫本頁) 、?τ -10 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) 參照第1圖）。 具體而言，如第1圖所示，該排出通路5 2係經由分 岐路54A，54B，54C，分別連接於汽化器8與第 3遮斷閥V 3之間的氣體供應通路3 4，流量控制部6與 汽化器8之間的第1加壓液體供應通路2 4A及第1遮斷 閥V 1與第2遮斷閥V 2之間的第3加壓液體供應通路 24B。又在各分岐路54A，54B，54C分別介設 有第1排出用開閉閥V5，第2排出用開閉閥V6及第3 排出用開閉閥V 7。又，在該排出通路5 2之排出側依次 介設有主開閉閥V4，除去排氣中之液體的冷閘6 0及真 空泵6 2。 —方面，考慮僅來自排出通路5 2之吸引排出無法充 分吸引除去殘存液體等時，在本實施例中，在第2加壓液 體供應通路2 4 B，經由在途中可用閥操作成爲切離的加 壓用通路1 0連接洗淨液供應通路6 4。作爲洗淨液，使 用乙醇，甲醇等之醇，或己烷等之有機溶劑。 在該洗淨液供應通路6 4，介設有施行洗淨液之供排 的第1洗淨液供排閥V 1 0，又，在洗淨液供應通路6 4 與加壓用通路10之接合部及對第2加壓液體供應通路 2 4 B之接合點之間介設有第2洗淨液供應閥V 8。 又，在各逋路內，流通汽化氣體之部分，亦即在從汽 化器8所出之氣體供應通路3 4，分岐路5 4 A及排出通 路5 2，設有經常加熱而用以阻止汽化氣體之再液化所用 之例如帶式加熱器所成的經常加熱用之加熱手段6 8 (虛 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事填寫本頁) 笨· 訂 -11 - A7 B7 五、發明说明（9 ) 線部分）。又，在加壓液體供應通路24A ’ 24B ’第 2及第3分岐路56B ’ 56C ’視需要’設有例如洩液 等或在維修時加熱所用之例如帶式加熱器等所成的加熱手 段7 0 ( 一點鏈線部分）。 然而，以往裝置之氣體供應用之配管系統’一般係如 第7A圖第7B圖所示’使用內徑D1爲4 · 35醒’外 徑D2爲6 . 3 5mm’厚度爲1 . 00_之所謂1/4英 吋之不銹鋼製之配管7 2 ’採用將此使用相同尺寸之接頭 7 4，密合墊7 6予以接合之配管構造。然而，在該 1 / 4英吋之配管中，因長度每一公尺有約1 4 · 8cc之 容積，因此對於在成膜時所用之約0 · lcc/分之使用量 顯得很多，使液體材料滯留在供應途中之配管內的時間極 久而產生金屬污染之問題。因此’考慮外徑及內徑均使用 1/8英吋之較小配管，惟在該1/8英吋配管，因機械 性強度低，因此欲流動危險之有機金屬系液體材料上有安 全對策上之問題。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事\!{ 填寫本頁) 如此，在本實施例中，在上述各通路之配管系，尤其 是，在加熱液體供應通路24A，24B之配管系統。採 用如第4 A圖及第4 B圖所示之配管構造。亦即，如第 4A圖所示，該配管7 8係外徑D 2設成與1/4英吋配 置相同之6 . 3 5mm，內徑D 3設成與1/8英吋配管相 同之1 · 8 0_，則配管每一公尺之容積係成爲約2 · 5 cc，而與1/4英吋配管比較成爲約1/6之容積。 又，如第4 B圖所示，接頭8 0及密合墊8 2係使用 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） -12 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（10 ) 具有與上述配管之內徑相同尺寸（1 · 8 Omm)之內徑者 ，而在該接頭8 0焊接接合有上述配管7 8。此時，爲了 減少形成於接頭8 0與8 0之間的死空間，該端面係儘量 形成爲垂直之面。由此增大配管之厚度而可極端地減小每 一單位長度之容積。又，爲了得到所定之機械強度，配管 78之內徑係在0 · 10〜4 · 00 mm之範圍內即可以， 實際上，依據成膜時之液體使用量與整體配管之滯留量求 出最適當之數值即可以。又，在此，將配管7 8之內徑作 爲最少0·10-，乃其加工很難施行此以下。又，若內 徑爲4 · 0 0咖以上時，乃無法保持所定之機械強度。 又，在第1圖中，84，86係被加壓之He氣體源 ，而8 8係被加壓之洗淨液源。 以下，說明如上所構成之本發明的液體材料供應裝置 之使用方法。 首先，說明從上述液體材料供應裝置向成膜處理室供 應成膜用之液體材料而施行成膜處理之情形。 如上所述，在一般之成膜處理中，液體材料係使用例 如每一分鐘約0 * lcc之微量。因此，若在供應系路途中 之無法控制之部分，例如在汽化器8之死空間50(參照 第2圖）存在些微之殘留液體時，則在開始成膜時打開分 路閥體4 8，則無法控制該殘存液體之狀態下供應至處理 室3 0側而產生如第3圖所示之不期望之過度噴射供應狀 態，在本實施例中，在剛開始成膜之前，成爲從液體材料 供應裝置2排除前一次結朿成膜處理時所殘存之該殘存液 本紙張尺度逋用中國國家樣率（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------•{装-- _- (請先閱讀背面之注意事<{ 填寫本頁) 訂 -13 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ——^___ 五、發明説明（u) 體。 首先，將半導體晶片以設定在如第1圖所示之成膜處 理室3 0內之未予圖示之吊架上’欲將該晶片W維持在所 定之處理溫度而且在減壓CVD時，驅動真空排氣系統俾 維持所定之處理壓力。 在這種狀態下，施行第5圖之成膜處理操作。 又，在第5圖中豎立脈動之部分，係表示打開各該閥 (VI〜vii ，VA，VB)之狀態。首先，打開介設 在表示於第1圖之排出通路5 2之主開閉閥V 4與該上游 側分岐路5 4 A的第1排出用開閉閥，俾將汽化器8內僅 七秒鐘連通在排出通路5 2。由於該排出通路5 2係經常 藉由真空泵6 2施行真空抽引，因此藉開放汽化器8內之 分路閥體4 8經由排出通路5 2事先排除儲存在死空間 5 0或此以外部分之殘存液體。該事先排除之時間t係在 表示於第3圖之圖表中可解決供應量之過度噴射狀態之時 間即可以。 如上所述，若結束死空間5 0內之殘留液體之事先排 除，則關閉主開閉閥V4及第1排出用開閉閥V5 ，打開 配設於加壓液體供應通路24B之第1遮斷閥VI ，第2 遮斷閥V2及氣體供應通路34之第3遮斷閥V3 ，並打 開儲存槽4之第1及第2開閉閥VA，VB，又分別打開 加壓用通路1〇之加壓氣體供排閥V9與汽化用氣體通路 3 8之汽化用氣體開閉閥V 1 1 。 又，此時，也開放汽化器8之控制閥體46 (參照第 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS)A4规格（210x297公^ ， -14 - ---------ί 装-- (請先閱讀背面之注意事A 填寫本頁) 訂 A 7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（12 ) 2圖）。 由此，儲存槽4內之液體材料L係藉加壓H e氣體被 推出而一次些微地流進加壓液體供應通路2 4 B內，該流 量係藉流量控制部6施行控制。該液體材料L係在汽化器 8，藉流進汽化用氣體通路3 8內之流速較快之載運氣體 (H e )以噴霧原理被霧化而形成蒸汽化。該被氣體化之 成膜材料係仍然經由氣體供應通路3 4被導入成膜處理室 3 0內而僅所定時間T施行成膜。此時，氣體供應通路 3 4係藉如帶式加熱器之加熱手段6 8經常被加熱，俾防 止氣體之再液化。 如上所述，在本實施例中，實際上在流動供應成膜處 理用之液體材料之前，因可排除殘存在汽化器8內等之液 體材料，因此可穩定地且高精確度地供應實際之成膜時的 成膜氣體供應量，故成爲可得到品質及特性優異之成膜。 又，此時，重要點在於在施行實際之成膜前未存在殘 存液體，故事先排除操作係不是在剛成膜時前，而是在剛 結束前段之成膜處理之後施行也可以。 以下，依據第5圖說明儲存槽之更換操作之方法。 液體材料係一般因使用有機金靥材料而極富於反應性 ，若此與空氣接觸時有容易氧化，固化，故成爲閉塞配管 之原因。因此，施行裝卸儲存槽之連接端頭等，容易暴露 在空氣之部分的處理會成爲極困難。 首先，關閉表示於第1圖之儲存槽4之第1及第2開 閉閥V A，VB而切斷該期間之連通，並打開第2加壓液 (請先閲讀背面之注意事&填寫本頁) - -s

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L 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 15 - 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A 7 B7 五、發明説明（13 ) 體供應通路2 4 B之第1遮斷閥V 1而關閉第2遮斷閥 V2。之後，關閉連通於排出通路5 2之分岐路5 4A ’ 54B之第1及第2排出開閉閥V5 ，V6 ，並打開分岐 路5 4之第3排出用開閉閥V7及主開閉閥V4。 由此，殘存於儲存槽4之配管的端頭部分或第2加壓 液體供應通路2 4 B之儲存槽4之間的連接端頭部分的液 體材料經由排出通路5 2被吸引排除。 僅以真空吸引排出液體材料還有些微液體材料殘存在 排管內之虞，因此，以後以H e氣體推出該液體材料。因 此，之後首先，關閉主開閉閥V4與第1遮斷閥V7而遮 斷排出通路5 2，打開加壓用通路1 0之加壓氣體供排閥 V 9及第2洗淨液供應閥V 8而將H e氣體供應至儲存槽 4之連接端頭部分，俾推出殘存之液體材料。 之後，爲了將上述之H e氣體排除至系外，首先，關 閉加壓氣體供排閥V 9及第2洗淨液供應閥V 8而遮斷 H e氣體之供應，再打開排出通路5 2之主開閉閥5 8及 第1遮斷閥2 6而施行真空吸引內部，藉真空吸引先前供 應之H e氣體排除所存在之些微殘存液體。在此所述之 H e氣體與H e氣體之排除係重複施行僅所須次數也可以 〇 在一般，在該狀態下將成爲空之儲存槽4更換新者也 可以，因半導體製品須嚴格地品質管理即使有些微空氣與 液體材料反應也會降低品質。因此，雖以H e氣體排除殘 留液體也有些微液體材料附著於配管內壁，而產生須大致 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格丨210X297公釐） ---------人 I衣-- - ; (請先聞讀背面之注意事及填寫本頁) 訂 16 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A 7 B7 五、發明説明（14 ) 完全地除去該材料之情形。因此，藉由乙醇等之洗淨液除 去附著於下一配管內壁等之些微液體材料。 因此，首先關閉排出通路5 2之主開閉閥5 8與第1 遮斷閥V7，打開開設於洗淨液供應通路6 4之第1及第 2洗淨液供應閥VI 0，V8俾將洗淨液導入至儲存槽4 之連接端口之部分，溶解附著於管壁之液體材料。又’此 時，第1遮斷閥V 1係維持在打開狀態。 之後，爲了排除所導入之洗淨液，藉由關閉第1及第 2洗淨液供應閥V10，V8而停止洗淨液之供應，並一 起打開排出通路5 2之主開閉閥5 8與第3排出用開閉閥 V 7，吸引排除經由排出通路5 2所導入之洗淨液。在此 ，若重複施行複數次上述之洗淨液之供應與排除’成爲可 更完全地排除殘存液體。 在此狀態下，關閉包括第1遮斷閥V 1之所有閥。在 該狀態，將由儲存槽4更換爲新者。此時，在新儲存槽4 之連接端頭或第2加壓液體供應通路2 4 B之連接端頭處 會進入些微之空氣，若在該狀態實施行成膜則該空氣則因 該空氣流進流路內，因此較不理想。 之後，施行排除進入至連接端頭部分之些微空氣之操 作。因此，在關閉儲存槽4之第1及第2開閉閥VA， VB之狀態，藉由打開第1遮斷閥VI，第2洗淨液供應 閥V9 ，排出通路5 2之主開閉閥5 8及第3排出用開閉 閥V 7，吸引排除進入儲存槽4之兩處連接端頭部分之空 氣。 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事良填寫本頁) -β 17 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（15 ) 在此，由於在配管內壁產生附著些微空氣之情形，而 爲了確實地除去該附著，在關閉排出通路5 2之狀態下將 H e氣體供應至連接端頭部分，之後重複施行排除此之操 作即可。 如此，排除配管內之殘存液體，藉惰性氣體（H e ) 之推出殘存液，視需要藉施行配管內壁之洗淨等，成爲不 直接將殘存於配管內之液體材料接觸空氣而可施行儲存槽 之更換。因此，可阻止富於反應性之液體材料直接與空氣 接觸，可將因副生成物所產生之配管之閉塞等防範於未然 〇 以下，一面參照第6圖一面說明汽化器8或流量控制 部6之維修等之洩液方法。 例如說明施行表示於第1圖之流量控制部6之維修時 作爲例子。此時，如第6圖所示打開第2加壓液體供應通 路24B之第2遮斷閥V2 ，排出通路52之主開閉閥 V4及第2與第3排出用開閉閥V6 ，V7，孤立化流量 控制部6而且吸引排除其中及連接於此之配管內之殘存液 體而實行洩液。 之後，關閉主開閉閥V4，第2及第3排出開閉閥 V6，V7而在遮斷排出通路5 2之狀態下打開第1及第 2洗淨液供應閥V 1 0，V 8，將洗淨液流通在流量控制 部6內而溶解附著於壁面等之液體材料。又，在該洗淨操 作之前段實行H e氣體之供應，排出操作也可以》 然後，欲排除洗淨液，則開閉第1洗淨液供應閥 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ----：--,---，衣-- (請先閱讀背面之注意事足填寫本頁) 訂 -18 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（16 ) V 1 0而遮斷洗淨液之供應，藉打開排出通路5 2之主開 閉閥V4及第2，第3排出開閉閥V6，V7俾吸引排除 洗淨液。 如此，欲確實地排除該洗淨液，之後施行依H e氣體 之排除也可以。爲了此，在上述之狀態下再打開加壓氣體 之供排閥V 9 —面將H e氣體流在流量控制部6 —面排除 洗淨液。此時，若在途中關閉第3排出開閉閥V7;則可 將He氣體集中地流在流量控制部6，而可提高排出效率 。如上所述，若結束洩液洗淨處理，則關閉所有閥而施行 流量控制部6之維修等。 又，欲施行汽化器8之維修，則代替第2排出用開閉 閥V6 ，同樣地操作第1排出用開閉閥V5即可以。 如上所述，欲在介設於各通路之任何零組件施以維修 等時，則由其他系僅孤立化該零件，即可實行通路內之殘 存液體不會與空氣接觸之維修作業。 又，在上述各實施例之閥操作係僅表示一例子，可將 在各通路內之殘存液體不會與空氣接觸地排出，而且視需 要，藉洗淨液可洗淨之閥操作均可實行。

又，儲存槽4之開閉閥VA，VB係以手動操作實行 ，惟其他之關係以手動或自動之任何一方實行均可以。又 ，使用本發明裝置時，設於氣體供應通路3 4，排出通路 5 2，分岐路54A之加熱手段68，係在運轉裝置中爲 了防止成膜材料之再液化而經常動作實行加熱。但是，設 於第2加熱液體供應通路24B，分岐路54B，54C 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事I 也寫本頁) 訂 經濟部中央標準局貝工消费合作社印聚 A7 B7 五、發明説明（17 ) 之加熱手段7 0係僅在洩液或維修時等之必要時才動作施 以加熱即可以。 又，作爲在本發明之各通路，尤其是作用以液狀態之 成膜原料所流通之加壓液體供應通路2 4A，2 4B，由 於使用如第4圖所示之機械性強度較大且流路面積極小之 配管7 8，因此，在成膜時之供應液體材料時，則液體材 料停留在該排管內之時間，與例如以往裝置相比較可縮短 約1 / 6。因此，藉配管材料可大幅度減少液體材料受金 屬污染之可能性，而該分量，成爲提高成膜之品質，該配 管構造係可使用在流各種流體之情形，因此，不但液體材 料也可適用流如氣體材料之情形。 又，在以上之實施例中，作爲載運氣體，加壓用氣體 使用H e氣體之情形作爲例子加以說明，惟並不被限定於 此，也可使用於例如Ar氣體，N2氣體等之其他惰性氣 體。 又，作爲被處理體係不被限定於半導體晶片，當然也 可使用例如L CD基板，玻璃基板等之其他材料。又，作 爲成膜處理室之處理方式，可適用於一片式，分批式等任 何一種型式。 如上所述，依照本發明，可發揮如下優異之作用效果 〇 可將成膜材料之低蒸汽壓液體林料以正確地控制流量 之狀態下供應至成膜處理室，而可形成品質良好之成膜。 由於在設置排出通路施行成膜處理之前，可排除汽化 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----：--；----< i — (請先閲讀背面之注意事¾.. %寫本頁) 訂 -20 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（18 ) 器內之殘存液體材料，因此可阻止在成膜時產生液體供應 量之過度噴射而可穩定地且高精確度地供應膜形成材料， 可形成更良好品質之成膜。 又，由於設置排出通路或洗淨液供應通路，因此在各 零件之維修或儲存槽之更換時可將通路內之液體不會與空 氣接觸之狀態下幾乎完全地排除，因此也可阻止產生因氧 化所引起之副生成物，可防止閉塞通路等而施行液體材料 之穩定供應。 又，由於在通路使用機械性強度較大且流路面積較小 之配管，可縮短在該通路中之液體材料之滯留時間，而該 分量，可防止金屬污染之產生而可提高成膜之品質。 〔圖式之簡單說明〕 第1圖係表示本發明之液體材料供應裝置的整體構成 圖。 第2圖係使用於表示在第1圖的液體材料供應裝置之 汽化器的概略縱剖面圖。 第3圖係表示在成膜處理時之液體材料供應量與成膜 時間之間的關係的圖表。 第4 A圖與第4 B圖係表示於第1圖的液體材料供應 裝置之供應通路之配管構造的縱剖面圖。 第5圖係配設於表示在第1圖的液體材料供應裝置之 各閥（成膜處理及儲存槽之更換操作）的時序圖。 第6圖係配設於表示在第1圖的液體材料供應裝置之 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項ί.ι寫本頁) 訂 -21 - A7 B7 五、發明説明（19 ) 各閥（流量控制部之維修）的時序圖。 第7 A圖與第7 B圖係表示以往使用於液體材料供應 裝置之配管構造的縱剖面圖。 (請先閱讀背面之注意事項一寫本頁) *11 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X 297公釐）

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 ' · —........ _補充 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 申請專利範圍 第84106695號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國85年8月修正 1. 一種成膜用液體材料供應裝置，係在對被處理髖 施以成膜處理之成膜處理室供應成膜用之低蒸汽壓液體材 料的液體材料供應裝置，其特徵爲：具備 儲存上述低蒸汽壓液體材料的儲存槽，及 連接於上述儲存槽而藉由另外供應之加壓氣體並推出 上述低蒸汽壓液體材料的加壓用通路，及 將上述低蒸汽壓液體材料暴露在快流速之氣體施以汽 化的汽化器，及 連接上述儲存槽與上述汽化器的加壓液體供應通路； 及 介設於該加壓液體供應通路並控制流在該通路之低蒸 汽壓液體材料之流置的流量控制部，及 連接上述汽化器與上述成膜處理室並流動被汽化之氣 體的氣體供應通路，及 設於該氣體供應通路並阻止被汽化之氣體之再液化的 加熱手段等· 2. 如申請專利範圍第1項所述之液體材料供應裝置 ，其中，上述加壓液體供應通路與上述氣體供應通路係分 別經由排出用開閉閥，連接於真空吸引殘存於上述加壓液 體供應通路內或上述汽化器內之低蒸汽壓液體材料或氣體 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ·4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A8 B8 C8 ^ D8 六、申請專利範圍 並予以排出的排出通路者· 3. 如申請專利範困第1項所述之液體材料供應裝置 ’其中，上述加壓液體供應通路係構成連接於介設洗淨液 供應閥之洗淨液供應通路，在需要時洗淨上述加壓液體供 應通路內，從上述排出通路排出洗淨後之排液者。 4. 如申請專利範圍第1項所述之液體材料供應裝置 ，其中，上述排出通路係具有阻止流經該通路之氣體之再 液化的加熱手段者· 5. 如申請專利範圍第1項所述之液體材料供應裝置 ，其中，上述氣髖供應通路之配管之外徑設定成約 6 . 3 5ππη，且其內徑係維持所定之強度而且爲了減小流 路面稂，設定成約0.10〜4.00_之範圍內者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Λ4規格（210X297公釐） 2