TW202512B - Thin film magnetic head with conformable pole tips - Google Patents

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A6 B6 20^512 五、發明k明（1 ) (諳先閲治背面之注意事項再塡寫本頁)* 詳钿銳明 链明之镅城 本發明大體上係與一薄膜磁頭有關，尤其是與一用於薄 膜磁頭的改良型磁極尖構造有闞。 翌用抟銜夕說明 習用技術公開了 一種稱為薄膜磁頭的電磁式換能器，且 多年以來此種換能器已滿足了磁性記錄技術的霈要。於磁 性記錄技術中，不斷地有改進用以記錄資訊且能可靠讀出 的面積密度之需求。基於此棰理由，薄膜磁頭的設計業已 變更，Μ滿足變更密度的需要。 例如於圖2所示的一習用技術設計裡，其中沉積在基質 上第一磁極ΗΡ1的寬度係大於第二磁極片Ρ2的寬度，以避 免與兩磁極片間錯誤記錄有關之問題。較緊密的側邊讀出 與側邊寫入規格，導致了如圖3所示的修整磁極尖。於此 種例子中，兩磁極尖的寬度無須受限於此磁極尖所能沉積 的精密度，因為兩磁極尖可由離子銑削法修整成例如兩磁 極尖Ρ1及Ρ2幾乎有相同的規範寬度。但是因為傳統的離子 鉄削製程一般皆須要一較厚的光阻抗蝕劑製程，因此此種 方法僅限於窄軌寬度之應用，於此應用中須要極髙的光阻 抗蝕劑高度對寬度比例。 經濟部中夾標準局3工消ff合作社印製 已有一些嗜試藉著應用一姐合磁性構造來改進薄膜磁頭 的性能。例如在出版品I Β Μ技術公開報専（I Β Μ Technical Disclosure Bulletin)1972年 12月號、第 15卷 第7期、第2182頁中，描述了一種磁頭，其中此磁性回路 -3- 81.9.20,000 本紙張尺渡適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公梦） 202512 A6 B6 經濟邡中央標準局9工消赀合作社印製 五、發明銳明（2 ) 之構成係由：上及下鐵塊2與8，一高導磁合金背隙閉合 層5、及與兩鐵塊接觸且延#到空氣袖承表面的高導磁合 金磁極片4與10。 美國專利4,589, 042中公開了一種薄膜感應磁頭，其中 上及下磁極Η皆係K兩階段沉積而成。於第一階段中生成 磁輞，而於次一階段中則生成磁極尖，使得磁拥與磁極尖 可Μ不同的磁性材料生成。 美國專利4,839,197中公開了一種薄膜感應磁頭，其中 下磁極係Μ整體生成，而上磁極則係Μ各零件之方式生成 。第一零件係磁極尖區域，而其後則生成線圈，且上磁極 其餘部份之生成則係與磁極尖區域且與背隙區域相接觸。 上列各參考習用技術中，沒有一種公開了磁極尖與背隙 層係分別生成，且在空氣袖承表面與磁轭曆相接觸’使得 可精確形成較厚的磁極尖之薄膜磁頭。 發明之粧要 因此，本發明的主要目的係提供一種薄膜磁頭’其中各 磁極尖係與此磁性回路其餘部份不同的分離步驟中所形成 的，使得各磁極尖可精確排列，且可緊密控制此磁極尖的 寬度及厚度。 依照本發明，一薄膜磁頭包含了 ： 一第一磁軛層’係由 一背隙區延伸到一慼測邊緣：以及一第二磁轭層，其係在 此背隙區與此第一磁輛層相互接觸’且其係在與第一磁軛 曆成一直線但保持分離之位置而延伸到此感測邊緣。一磁 極尖構造，包含了：一第一磁極尖廇、一背隙形成層、及 -4- (請先閲讀背面之注意事項再^寫本頁) •裝· --6 . .線. 本紙張尺度適用中國园家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公牮） 81.9.20,000 ^02512 A6 B6 五、發明説明（3 ) 的磁 中一 緣第 邊此 測輿 感係 此層 在尖 於極 位磁 係一 造第 構此 尖而 極’ 磁間 此之 ， 層 層轆 尖磁 極二 磁第 二與 第一 1 第 二 第 的 中 緣 邊 測 感 此 在 與 係 層 尖 極 磁二 第 此 旦 ο ’觸 觸接 接層 層拥 輔磁 磁確 :構 於之 在高 點極 優有 之皆 造差 構公 棰的諸 此寸他 尺其

窄 在 果 結 ο 寸 尺 要 Β S 尖定有 極界能 磁地頭 此確磁 持精膜 保更薄 可可種 與亦此 寸 ， ， 尺.外中 之此用 尖。應 極度軌 本 的 明 發 本 對 可 〇 圖 性附 特各 入合 〇 寫配解 邊並了 側.明的 與說整 出细完 讀詳更 邊的有 側文點 的下優 進照項 改參各 幅請與 大 質 0 視 透 意 示 之 统 系 存 儲 碟 磁 1 -Μ+ 一疋 之 1 園圖 附 明 說 要 氣 空 之 尖 極 磁 中 例 施 實 一 第 頭 磁 膜 薄 術 技 用 習。 一 圖 是面 2表 圖承 軸 氣 圖 空 面 之 表 尖 承 極 軸 磁 氣 中 空 例 之 施 尖 實 極 二 磁 第 頭 頭 磁 磁 膜 膜 薄 薄 的 術 明 技 發 用 本 習。據 1 画根 是面是 3 表 4 圖承圖 軸 (請先閱ϊ!ν背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 線· 經濟部中夾栉準局Π工消费合作社印5衣 圖 視 透。 之圖 尖視 極平 磁之 頭頭 磁磁 膜膜 薄薄 的的 發發 本本 據描 根根 是是 56 圖圖 空 之 尖 極 磁 中 例 施 。 實 圖一 面另 剖頭 之磁 線膜 6 薄 6-的 中明 6 發 圖本 著據 沿根 是是 7 8 画圖 程 製 WIT 尖 極 磁 的 頭 磁 膜 薄 明 發 本 據 根 造 製 來 〇 用 圖示 面顯 表是 承 9 軸圖 氣 本紙張又適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公发） 81.9.20,000 ^02512 • A6 _'_B6 五、發明說明（4 ) (請先閲讀背面之注意事項再瑣寫本页) 順序之一糸列透視圖A — F ° _10是顯示用來製造根據本發明薄膜磁頭的磁極尖製程 顚序另一實施例之一糸列透視圖A-D 。 太琎职齡住营施例之詳钿說明 請參照圈1 ，圖中所示者為一磁碟儲存糸铳’其中包含 了一磁頭臂17，且至少有一磁頭懸置總成13係連接在此磁 頭臂17上。於所示實施例中，有一磁頭懸置缌成13係連接 在此磁頭臂之頂端，且声另一磁頭懋置總成13係連接在此 磁頭臂17之底端。在每一懸置缌成的尾端支撐了一磁頭浮 動塊11，且每一磁頭浮動塊11上設有一個或多個一般稱為 磁頭的電磁換能器装置，此種配置可使得換能間隙可與各 磁碟21之表面成換能相關，於圖中僅示出一個表面。電氣 倍號則自諸磁頭傳等到主楗糸統中，以便用於此主機糸統 。磁頭臂17係安裝在一諸如音圈馬達之傳统致動器23上， K便使此諸磁頭在此磁碟21的不同磁軌間進出。 根據本發明所提供的薄膜磁頭，其中各磁極尖係與此磁 性回路其餘部份不同的分離步驟中所形成的，使得各磁極 尖可精確排列，且可緊密控制此磁極尖的寬度及厚度。结 果在窄軌應用中，此種薄膜磁頭能有大幅改進的側邊讀出 與側邊寫入特性。 經濟部中央標準局Η工消費合作社印5农 圖4與圖5所示者為根據本發明的磁掻尖之一較佳實施 例。圖4所示者為此磁極尖之慼測邊緣圖’而圖5所示者 為此磁極尖在將此磁頭覆蓋到所須喉部高度前之透視圖。 在此特定的實施例中，此感測邊緣係一空氣袖承表面 -6 - 81.9.20,000 本紙張又度適用中國园家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公货） Α6 Β6 ^02512 五、發明說明（5 ) (air bearing surface;下文簡稱ABS)但是很明顯的’本 發明亦可應用於一接觸式記錄糸統的磁頭上。此薄膜磁頭 10包含了 一第一磁軛曆12，此第一磁軛層12係沉積在一非 磁性基質14上（請參閲圖7)。一磁極尖缌成15包含了一第 一磁極尖層16、一背隙形成層18、及一第二磁極尖層20, 而此磁極尖總成15係與第一磁轭層12相接觸而形成。背隙 形成層18係由諸如磷化鎳、金、或銅等逋用之金屬所形成 。第一磁極尖層16、背@形成層18、及第二磁極尖層，皆 係使用相同的光罩而以相同序列之步驟而形成的，將在後 文中有詳细說明。而此薄膜磁頭10之磁性回路，係經由一 與此磁極尖總成15相接觸的第二磁親層22而完成的。 理論上的計算顯示出：大部份的側邊讀出與側邊寫入， 皆係在距離此換能間隙19幾個間隙長度G的磁極尖區域範 圍内發生的。而有效磁軌寬度W ，則係由兩磁極尖層16、 2 0在此換能間隙上所覆蓋的區域所界定。為了將側邊讀出 與側邊寫入量限定在一可接受的位準，自第一磁軛層12上 表面到背隙形成層18的距離S1須大於2G，而且自第二磁扼 層22下表面到背隙形成層18的距離S2亦須大於2G。此棰形 成諸磁極尖的方法’可導致各磁極尖有精確的排列且在背 隙區域有相同的寬度W 。 完成的薄膜磁頭10示於圖6與7中。此背隙形成層18( 請見圖7 )界定了一換能間隙1 9，而此換能間隙1 9係與一 磁性介質Μ換能關係交作，且如本門技術中為人所熟知的 ，其最好是交作在一空氣軸承之關係。為達到此一目的， -7- 本紙張又度適用中國园家桴準（CNS)甲4规格（210 X 297公梦） (請先閲讀背面之注念事項再填寫本頁)· --裝· .11_ 經濟部中央桴準局β工消费合作社印製 81.9.20,000 五、發明明（6 ) A6 B6 經濟部中央標準局β工消费合作社印β 此非磁性基質14形成了 一具有一諸如ABS 24的感倒邊緣之 浮動瑰，而此浮動塊於一磁碟·檔案操作畤，可飛至接近可 K是一旋轉磁碟的記錄介質之附近。 第一磁辆層,12與第二磁軛層22皆自ABS 24延伸到一背隙 閉合層26。這兩個磁輛層12輿22，係在此ABS 24中被此磁 極尖缌成15所分離，且在背隙區26中相互接觸。於此ABS 24與此背隙閉合層26間之空間中，這兩個磁軛層12，22係 相互分離，Μ便提供空^容納一線圈構造28。此線圈構造 28及兩個磁軛層12、22*係由非磁性且電氣絕緣的材料所 構成的諸層30、32與34所分離。線圈構造包含了複數個螺 旋型式的圈29，而其在中央區域設有一第一電氣接點36, 且有一外部電氣接點38。此二接點36、38係連接到一外部 接線與磁頭霍路（圖中未示出），Κ便處理a寫入"與"鑲 出〃資料信號。 根據本發明的薄膜磁頭10'之另一 S施例示於圖8。於 此一實施例中，第一磁轭層12係較第一磁極尖層16為寬， 而且第二磁輛層22’亦較第二磁極尖層20為寬。當諸如三 氧化二鋁或二氧化矽等絕緣材料用來形成遮蔽廇時，可使 用此一實施例，而此遮蔽層係用以界定磁極尖總成。此一 實施例可產生一較佳之"寫入〃磁頭*且其係較易於製造 ，因為在此磁極尖區中此第二磁轭層22’不須要較相朗的 第二磁極尖層20為喟’因此在此磁極尖區中，第二磁軛層 22可以較不精確的尺寸製成。 按照本發明，此磁極尖缌成15即產生了’因而有了保角 -8 - (請先閲筇背面之注意事項再塡寫本頁). 丨裝. 訂. —線. 本紙張尺及適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公釐） 81-9-20,000 £03512 M B6 五、發明叙明（7) 經濟部中央桴準局只工消费合作社印*'!<<. 磁極尖之结果。此—設計之優點在於：磁極尖之尺寸與可 保持，此磁極尖尺寸的公_差皆有·較高之精確度。其另—優點 是其他諸重要尺寸亦可以較高之精確度界定之。喉部高度 是一種重要尺寸，須緊密控制此一尺寸以便在薄膜磁頭中 得到最佳的性能，而喉部高度之测量係自ABS 24到所謂的 零點喉部位置。此零點喉部位置即是兩磁輔層12、22開始 發散以便包容線圈構造28之點。於習用技術的諸薄膜磁頭 中，此零點喉部位置係声一絕緣層所界定’而此絕緣層則 係Μ—大體上範圍在20度到60度的角度而形成的。在相接 對比下，於本發明中.其零點喉部位置40係由一 90度的平 面所界定，因為此絕緣層30界定了磁極尖缌成15之邊緣。 因此，可以較高的精確定決定此喉部高度，因其測量係相 關於一界定良好的邊緣，而比較之下，於習用技術設計中 係相關於一有斜度之邊緣。 現在即開始說明根據本發明而製造此薄膜磁頭的方法。 如圖4與5所示，此保角薄瞑磁頭構造包含了一第一磁轭 層12。一磁極尖總成15、及一第二磁轭層22。此第一磁軛 層12係一傳統的電鍍製程作成所須磁轭之形狀。然後用相 同的抗蝕框架Μ電鍍法形成此磁極尖结！成15，因此可在兩 磁極尖層16、20產生一自行排列之構造，而每一磁極尖層 皆有幾個間隙長度的厚度。此磁極尖缌成係w縫合〃於此 第一磁轭層12，而接著則是線圈構造28與絕緣層的形成。 縫合〃的接合即是一種在一現有層上再沉積一層使兩 者緊密接觸，而使此兩層間建立磁性的連纘性。而第二磁 (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁)· 丨裝· 訂. —線. 本纸張尺度適用中园园家標準（CNS)甲4说格（2L0 X 297公诠） 81.9.20,000 A6 B6 五'發明叙明（8) 扼層22則最後又缝合於此第二磁尖層20，而完成此薄膜磁 頭的構造。 經濟邡中夾標準局S工消费合作社印製 根據本發明的製程類序之一特定S施例，將配合圖 9A-F說明之，且此一製程順序係適用於生產如圖3所示的 薄膜磁頭。此第一磁輛層12係Μ罨鍍法沈積成為一完整薄 膜，然後Μ例如化學蝕刻製程將其作成所需之形狀。一鎳 鐵電鍍電解液沉積下來*然後一層諸如光阻抗蝕劑等可作 成式樣的材料沉積下來，且將其作成式樣而產生如圈9 Α所 示的一長方形開口 44。如圖9B所示，藉著Μ —諸如鎳餓等 適用之磁性材料電鍍形成此第一磁極尖層16，Μ —諸如磷 化鎳、金、或銅等之適用材料電鍍形成一金國非磁性背隙 層18，並且Μ—諸如鎳鐵等適用之磁性材料電鍍形成此第 二磁極尖層20，因而得Μ在開口 44中形成此磁極尖總成 15。如圖9C所示，可作成式樣層的前方部份可藉由曝光而 將其除去，且將其顯影而產生層42。在此磁掻尖缌成15的 背面邊緣46，此層42係向著兩磁極尖16、20作自我排列。 然後將此層42烤硬（圖9D)而形成第一絕緣層30’而且在此 一例子中，此絕緣層30係向著磁棰尖總成15的背面邊緣 46作自我排列，而此磁極尖缌成15係構成零點喉部位置。 然後以傳统的方法形成線圈構造28 (參閲画7)’且形成絕 緣層32與34。如圖9Ε所示，然後藉由電鍍法而形成第二磁 扼層22，且此層22係链合於第二磁尖層20。此薄膜磁頭構 造然後將之覆蓋而形成ABS 24，而完成之構造係示於圖 9F ° -10"* 81.9.20,000 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫衣頁) —裝. 丨線 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公ίέ ) ^03512 Α6 Β6 五、發明説明（9 ) 根據本發明的製程類序之另一實施例’將配合圖10A-F 說明之，且此一製程顚序係適用於生產如麵8所示的薄膜 磁頭。此第一磁轭雇12係Μ電鍍法沉積成為一完整薄膜， 然後以例如化學蝕刻製程將其作成所需之形狀。一鎳鐵電 鍍電解液沉積下來，然後一層諸如三氧化二鋁或二氧化矽 等可作成式樣的絕緣材料沉積下來，且將其作成式樣而產 生如圖10Α所示的一長方形開口 44。如圖10Β所示，藉著 Κ —諸如鎳鐵等通用之磁性材料電鍍形成此第一磁極尖層 16，Μ —諸如磷化鎳、金、或飼等等適用材料電鍍形成一 金鼷非磁性背隙層18，並且Κ 一諸如鎳锇等適用之磁性材 料電鍍形成比第二磁極尖層20，因而得以在開口 44中形成 此磁極尖缌成15。在此磁極尖缌成15的背面邊緣46‘，此層 42係向著兩極尖16, 20作自我排列。此層42係保留在此磁 頭而形成第一絕緣層30'，而且在此一例子中*此絕緣層 30’係向著磁極尖總成15的背面邊緣4 6作自我排列，而此 磁極尖结！成15係構成零點喉部位置。然後Κ傳統的方法形 成線圈構造28 (參閲圖7)，且形成絕緣層32與34。如圖 10C所示，然後藉由電鍍法而形成第二磁軛層22’ ，且此 層22·係缝合於第二磁尖靨20。此薄膜磁頭構堦然後將之 覆蓋而形成ABS 24，而完成之構造系示於圖10D 。 此處已參照一較佳實施例，而將本發明作詳细的揭茲與 說明，因此熟悉本門技術的人士當可明瞭：可在形式上與 细節上作各棰其他變更*但仍未脫離本發明的精神與範圍 〇 -1 1 - 本紙張尺度適用中西國家標準（CNS>甲4規格（210 X 297公釐） (請洗閲讀背面之注意事項再填寫本頁) —裝· 訂‘ 經濟部中央榡準局ΚΤ工消費合作社印製 51.9.20,000

Claims (1)

1. 六 '中請專利範園 A 7 B7 C? 一種磁碟記錄系統，包含了： 設有一記錄表面的磁性記錄介質； 一薄膜磁頭及一支撐上述磁頭的空氣軸承浮動塊； 用來支撐上述空氣軸承浮動塊的磁頭臂裝置，而使上述 磁頭靠近上述磁性記錄介質的記錄表面附近； 進出裝置•係用Μ支撐上述磁頭臂裝置，且係用K相對 於上述磁性記錄介質的記錄表面而移動上述磁頭臂裝置 9 上述薄膜磁頭包含了 一自一背隙區延伸到一感測邊緣的 第一磁轭層； 一第二磁軛層 接觸，且其係 之位置而延伸 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經 濟 部 央 標 準 Μι 员 工 消 費 合 作 社 印 製 2 . 一磁極尖構造 層、及一第二 度，上述磁極 間|且自上述 述第一磁極尖 第一磁 緣到上 與上述 慼測邊 觸。 一種設 ―第一 ，其係在上 在與上述第 到上述感测 ，其係包含 磁極尖，而 尖構造位於 感測邊緣延 係自上述感 辆曆相接觸 述零點喉部 述背隙區與上述第一磁軛層相 一磁轆層成一直線但保持分離 邊緣； 了一第 每一構 Μ及 一磁極尖、 件皆有大體 一背隙形成 上相同的寬 上述第一與上述第二磁_層之 置，其中上 喉部位置間 尖係自上述 磁扼蔺相接 伸到一 測邊緣 ，且上 位置間 零點喉部位 到上述零點 述第二磁極 與上述第二 有一磁性回路之薄膜磁頭，包含了 ： 磁輒層，其係自—背隙區延伸到—感測邊緣； 第二磁輛層，其係在上述背隙區與上述第一磁軛層相 -12- 本紙張尺度適用中固國家標準(CNS)規格(210x297公釐）

   六、 A B c D 中請專利範園 接觸，且 之位置而 一磁搔尖 層、及一 度，上述 間，且自 述第一磁 其係在與上 延伸到上述 構造*其係 第二磁極尖 磁極尖構造 上述感測邊 極尖係自上 一磁腕層相 3 . 與上述第 > 感測邊緣到上述零點 觸。 根據申請 輔層在上 第二磁扼 專利範圍第 述感測邊緣 曆在上述感 述第一磁轭層成一直線但保持分離 感測嫿緣；Μ及 包含了 一第一磁極尖，一背隙形成 ，而每一構件皆有大體上相同的寬 位於上述第一與上述第二磁軛層之 緣延伸到一零點喉部位置，其中上 述感測邊緣到上述零點喉部位置間 接觸，且上述第二磁極尖係自上述 喉部位置間與上述第二磁軛層相接 2項之薄膜磁頭，其中上述第一磁 係較上述磁極尖構造為寬，且上述 测邊緣係較上述磁極尖構造為窄。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· 5 . 經 濟 部 中 央 標 準 貝 工 消 費 合 作 社 印 製 6 . 根據申請專利範圍第2項之薄膜磁頭’其中上述第一與 上述第二磁軛層在上述感測邊緣係較上述磁極尖構造為 寬。 根據申請專利範圍第3項之薄膜磁頭|其中上述背隙形 成層界定了 一間隙長度為G之換能間隙，而且其中上述 第一與上述第二磁極尖層之厚度係大於2G。 根據申請専利範圍第4項之薄膜磁頭，其中上述背隙形 成層界定了 一間隙長度為G之換能間隙，而且其中上述 第一與上述第二磁極尖層之厚度係大於2G。 根據申請専利範圍第1項之薄瞑磁頭，其中上述零點喉 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)甲4規格(210x297公贽） .打. •線. L03512 A 7 B7 C7 D7 -JU '中請專利範囡 8 . 部位置係由自上述感測邊緣所延伸出來的上述磁極尖構 造之邊緣所界定。 一種用Μ製造一薄膜磁頭的方法，包含了下列各步驟： 沉積一第一磁軛層，其係自一 if隙區延伸到一慼測邊緣 » 沉積一磁極尖構造，其係包含了一第一磁極尖層，一背 隙形成層、及一第二磁極尖層，而每一構件皆有一大體 上相同的寬度，上蜂磁極尖構造係被沉積到一位置，使 得上述第一磁極尖層在上述感測邊緣與上述第一磁轭層 相接觸；Μ及 沉積一第二磁軛層，其係在一背隙區與上述第一磁轭·層 相接觸，且在上述感測邊緣與上述第二磁尖層相接觸。 根據申請專利範圍第8項之薄膜磁頭的方法，包含了下 列額外的步驟： 在上述第一磁輛層之上沉積一可作成式樣之層，且將上 述可作成式樣之層作成式樣Μ便形成一開口，而此開口 係對著接近上述感測邊緣的上述第一磁軛層之一部份排 列0 根據申請專利範圍第9項之薄瞑磁頭的方法，包含了下 列額外的步睇： 利用上述開口而界定上述磁極尖構造： 根據申請專利範圍第10項之薄膜磁頭的方法，其中沉積 上述磁極尖構造的步驟係由電鍍法而完成。 -1 4 一 經 濟 部 中 央 搮 準 局 貝 工 消 费 合 作 社 印 製 ^本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) «ίΜ規格(210x297公發） 10 11 {請先W讀背面之注意事項再填寫本百) ,02512 A 7 B7 C7 D7 六、申請專利範園 12.根據 靠近 喉部 13 .根據 第一 到上 區域 造係 根據 可作 根據 光驵 圈構 根據 可作 14 15 16 申請專 上述背 位置。 申請專 與上述 述背隙 中形成 電氣絕 申請專 成式樣 申請專 抗蝕材 造的上 申請專 成式樣 利範圍第9項之薄膜磁頭的方法，其 隙區的上述磁·極尖構造之邊緣界定了 利範圍第1 2項之薄瞑磁頭的方法 > 其 第二磁輛層係在一自上述零點喉部位 區的區域中相互分離，且在上述相互 一線圈構造，而上述線圈構造與上述 緣。 利範圍 之層係 利範圍 料係被 述電氣 利範圍 之層係 中儘量 一零點 中上述 置延伸 分離的 磁軛構 第12項之薄膜磁頭的方法*其中上述 一種光阻抗蝕材料。 第14項之薄膜磁頭的方法•其 烤硬且保留在上述磁頭，作為 絕緣之一部份。 第1 2項之薄膜磁頭的方法，其中上述 一種絕緣材料。 中上述 上述線 (請先閑讀背面之注意事項再填寫本頁) 經 部 中 央 標 準 局 貝 工 消 费 合 作 社 印 製 15 '本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格(210x297公釐）