JP3565492B2 - 薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置 - Google Patents
薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3565492B2 JP3565492B2 JP2000040199A JP2000040199A JP3565492B2 JP 3565492 B2 JP3565492 B2 JP 3565492B2 JP 2000040199 A JP2000040199 A JP 2000040199A JP 2000040199 A JP2000040199 A JP 2000040199A JP 3565492 B2 JP3565492 B2 JP 3565492B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- thin
- magnetic head
- pole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3906—Details related to the use of magnetic thin film layers or to their effects
- G11B5/3909—Arrangements using a magnetic tunnel junction
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B2005/3996—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects large or giant magnetoresistive effects [GMR], e.g. as generated in spin-valve [SV] devices
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/012—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic disks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
- Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
- Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
- Y10T29/49048—Machining magnetic material [e.g., grinding, etching, polishing]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置、磁気ディスク装置及び薄膜磁気ヘッドの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
コンピュータの記憶装置を構成する磁気ディスク装置に用いられる薄膜磁気ヘッドとして、誘導型書き込み素子と、MR読み取り素子とを有する複合型のものが主に用いられるようになっている。複合型書き込み素子としては、面内記録用素子と、垂直記録用素子の2つのタイプが知られている。この明細書では、面内記録用素子を用いたものを面内記録用薄膜磁気ヘッドと称し、垂直記録用素子を用いたもを、垂直記録用薄膜磁気ヘッドと称することとする。
【0003】
これらの薄膜磁気ヘッドは、ジンバルと称されるヘッド支持装置の先端部に取り付けられる。ヘッド支持装置は、位置決め装置によって駆動される。駆動方式としては、ロータリー.アクチュエータ方式が一般的である。ヘッド支持装置の先端部に取り付けられた薄膜磁気ヘッドは、ヘッド支持装置を回転駆動する位置決め装置により、磁気ディスク上の所定のトラック位置に位置決めされる。磁気ディスク上の薄膜磁気ヘッドの位置は、スキュー角と称される回転角度によって表現される。
【0004】
通常、薄膜磁気ヘッドの書き込み素子の中心線が磁気ディスクの回転円周に対して、ほぼ接線となる位置が、スキュー角0で表される。スキュー角0の位置を基準にして、薄膜磁気ヘッドが磁気ディスクの内周側または外周側に向かうにつれてスキュー角は大きくなる。一般には、スキュー角は最大角25°以内に設定される。
【0005】
また、薄膜磁気ヘッドと磁気ディスクとの組み合わせにおいて、磁気ディスクの回転走行に伴って生じる空気流の流出端となる薄膜磁気ヘッドの端部は、トレーリング.エッジと称され、反対側の端部はリーディング.エッジと称されている。
【0006】
この種の薄膜磁気ヘッドを用いて、高記録密度に対応するためには、磁気ディスクの単位面積当たりに記憶されるデータ量(面密度)を高めなければならない。面密度は、書き込み素子の能力によって左右される。
【0007】
面内記録用薄膜磁気ヘッドの場合、面密度は、書き込み素子において、書き込みポール間のギャップ長を小さくすることによって高めることができる。但し、ギャップ長の短縮は、書き込みポール間の磁束強度の減少を招くので、おのずと限界がある。
【0008】
面内記録用薄膜磁気ヘッドにおいて、記録の面密度を高めるもう一つの手段は、磁気ディスクに記録できるデータトラック数を増やすことである。磁気ディスクに記録できるトラック数は、通常、TPI(track per inch)として表現される。書き込み素子のTPI能力は、データ.トラックの幅を決めるヘッド寸法を小さくすることによって高めることができる。このヘッド寸法は、通常、ヘッドのトラック幅と称されている。本発明において、トラック幅の取られた方向を、トラック方向と称することとする。
【0009】
面内記録用薄膜磁気ヘッドにおいて、トラック幅を狭小化する試みは、公知文献に種々見られる。例えば、特開平7ー262519号公報及び特開平7ー225917号公報は、フォトリソグラフィ工程の適用によって得られた第2のポール部をマスクとして用い、イオン.ビーム.ミリングにより、第1のポール部のトラック幅を、第2のポール部のトラック幅に合わせる手段を開示している。
【0010】
特開平6ー28626号公報は、第1の磁気ヨーク層(第1のヨーク部)を形成した後、フォトレジスト層を付着させ、フォトレジスト層に、第1のポール部、ギャップ膜及び第2のポール部でなる磁極端アセンブリをパターン形成するための開口部を設け、次に、開口部に磁極端アセンブリを形成した後、磁極端アセンブリの前部に位置するフォトレジスト層を除去し、この後、従来方法によりコイル構造や絶縁膜等を構成し、更に第2の磁気ヨーク層(第2のヨーク部)を形成する方法を開示している。
【0011】
ところが、書き込みポール部のトラック幅を狭小化すればする程、書き込みポール部を構成する磁性膜のアスペクト比(膜厚tと幅wとの比t/w)が高くなる。トラック幅の狭小化は、高密度記録を達成するために行われるのであって、TPIが高い値に設定されており、隣接するトラック間の間隔が、例えば0.9μm程度の極めて小さい値になっている。
【0012】
このため、書き込みポール部を構成する磁性膜、特に、トレーリング.エッジ側に位置する磁性膜(一般には上部磁性膜と称される)のアスペクト比を高くした場合、スキュー角の大きい領域で、上部磁性膜の端部が隣接トラックの縁部にかかり、隣接トラックに記録されたデータを書き換えてしまったり、あるいは、消去してしまう等の問題を生じる。
【0013】
垂直記録用薄膜磁気ヘッドは、面内記録方式よりも、著しく高い高密度記録を達成し得るものとして知られている。しかし、垂直記録用薄膜ヘッドの場合も、TPIが高くなると、スキュー角の大きい領域で、書き込み磁極のサイド.エッジから生じる磁界が、隣接トラックの周縁にかかってしまい、データの書き換え、消去等を生じてしまう。サイド.エッジとは、トラック方向で見た両側端である。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、隣接トラックのデータ書き換えや、データ消去等の磁気的悪影響を回避し得る薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置、磁気記録再生装置を提供することである。
【0015】
本発明のもう一つの課題は、TPI能力を高めて、高密度記録を図った場合でも、隣接トラックのデータ書き換えや、データ消去等の磁気的悪影響を回避し得る薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置、磁気記録再生装置を提供することである。
【0016】
本発明の更にもう一つの課題は、上述した薄膜磁気ヘッドを製造するのに好適な製造方法を提供することである。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するため、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、スライダと、少なくとも1つの誘導型電磁変換素子とを含み、磁気ディスクとの組み合わせにおいて、前記磁気ディスクの径方向に、あるスキュー角をもって駆動される。
【0018】
前記誘導型電磁変換素子は、第1の磁性膜と、第2の磁性膜と、コイル膜とを含み、前記スライダによって支持されている。前記第1の磁性膜は、一端部が前記スライダの空気ベアリング面(以下ABSと称する)側に位置し、前記ABSの後方に延びている。前記第2の磁性膜は、前記第1の磁性膜よりはトレーリング.エッジ側にあって、一端部が前記スライダのABS側において前記第1の磁性膜と間隔を保って対向し、前記ABSの後方に延び、後方において、前記第1の磁性膜に結合されている。前記コイル膜は、前記第1及び前記第2の磁性膜の作る磁気回路の周りを周回する。
【0019】
前記第2の磁性膜の前記一端部は、トラック方向の少なくとも1側面に傾斜面を有しており、前記傾斜面の傾斜角度は前記スキュー角の最大角度以上である。
【0020】
上述したように、本発明に係る薄膜磁気ヘッドにおいて、第1の磁性膜は、一端部がスライダのABS側に位置し、ABSの後方に延びており、第2の磁性膜は、一端部がABS側において第1の磁性膜と間隔を保って対向し、ABSの後方に延び、後方において、第1の磁性膜に結合されているから、ABS側に書き込みポール部を有する薄膜磁気回路が構成される。
【0021】
コイル膜は、第1及び第2の磁性膜の作る磁気回路の周りを周回している。従って、コイル膜に書き込み電流を流したとき、第1の磁性膜及び第2の磁性膜を巡る薄膜磁気回路を通って書き込み磁束が流れる。
【0022】
第1の磁性膜は、一端部がスライダのABS側に位置し、第2の磁性膜は、一端部がABS側において前記第1の磁性膜の1端部と間隔を保って対向しているから、媒体との対向面となるABSにおいて、第1の磁性膜の一端部の端面及び第2の磁性膜の1端部の端面との間に書き込み磁界が発生する。この書き込み磁界を利用して、磁気ディスクに磁気記録をすることができる。
【0023】
第2の磁性膜は、第1の磁性膜よりはトレーリング.エッジ側にあって、第2の磁性膜の前記一端部は、トラック方向の少なくとも1側面に傾斜面を有しており、傾斜面はその傾斜角度がスキュー角の最大値よりも大きくなっている。この構造によれば、トレーリング.エッジ側に位置する第2の磁性膜のアスペクト比を高くした場合でも、スキュー角の大きい領域で、第2の磁性膜のトレーリング.エッジ側の端部が隣接トラックの縁部にかかるのを回避することができる。このため、隣接トラックに記録されたデータを書き換えてしまったり、あるいは、消去してしまう等の問題を回避することができる。
【0024】
第2の磁性膜における傾斜面の傾斜方向は、面内記録用薄膜磁気ヘッド及び垂直記録用薄膜磁気ヘッドの別によって異なる。面内記録用薄膜磁気ヘッドにおいて、誘導型電磁変換素子は、ギャップ膜を含んでおり、第1の磁性膜及び第2の磁性膜は、一端部がギャップ膜によって隔てられたポール部を構成している。
【0025】
このような構造の面内記録用薄膜磁気ヘッドでは、第2の磁性膜の傾斜面は、トラック幅が、トレーリング.エッジに向かうにつれて小さくなるように、傾斜させる。このような構造によれば、トレーリング.エッジ側に位置する第2の磁性膜のアスペクト比を高くした場合でも、スキュー角の大きい領域で、第2の磁性膜のトレーリング.エッジ側の端部が隣接トラックの縁部にかかるのを回避することができる。このため、隣接トラックに記録されたデータを書き換えてしまったり、あるいは、消去してしまう等の問題を生じることがない。
【0026】
垂直記録用薄膜磁気ヘッドでは、第2の磁性膜は、主磁極と、補助磁極とを含んでいる。主磁極は垂直書き込みポール部を構成し、補助磁極は主磁極及び第1の磁性膜を磁気的に結合する。第1の磁性膜は主磁極から生じた磁束の戻り磁路を構成する。このような構造の垂直記録用薄膜磁気ヘッドでは、主磁極に上述した傾斜面を設けることになる。傾斜面はトラック幅がトレーリング.エッジに向かうにつれて大きくなるように、傾斜させる。
【0027】
このような構造であると、スキュー領域内で、主磁極のサイド.エッジに生じる磁界による媒体への書き込みが、トレーリング.エッジと向き合うエッジ(以下バック.エッジと称する)に発生する磁界によって打ち消される。このため、媒体には、バック.エッジに発生する磁界による書き込みのみが残る。従って、バック.エッジに発生する磁界による書き込みが、隣接トラックから外れた位置で行われるように設計することにより、TPIを高くした場合も、スキュー領域内で、主磁極のバック.エッジから生じる磁界が、隣接トラックの周縁にかかってしまうのを回避し、データの書き換え、消去等を阻止することができる。
【0028】
本発明は、更に、上述した薄膜磁気ヘッドを用いた磁気ヘッド装置、磁気ディスク装置及び薄膜磁気ヘッドの製造方法についても開示する。
【0029】
本発明の他の目的、構成及び利点については、添付図面を参照して、更に詳しく説明する。図面は、単なる実施例を示すに過ぎない。
【0030】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に係る面内記録用薄膜磁気ヘッドの斜視図、図2は図1に示した薄膜磁気ヘッドの拡大断面図、図3は図1、2に示した薄膜磁気ヘッドのポール構造を示す図で、ABSから見た部分拡大端面図である。図において、寸法は部分的に誇張されており、実際の寸法とは異なる。図示された面内記録用薄膜磁気ヘッドは、スライダ1と、誘導型電磁変換素子2と、磁気抵抗効果を利用した素子3(以下MR素子と称する)とを含む。
【0031】
スライダ1は、媒体対向面側にレール11、12を有し、レールの表面がABS13、14として利用される。レール11、12は2本に限らない。1〜3本のレールを有することがあり、レールを持たない平面となることもある。また、浮上特性改善等のために、媒体対向面に種々の幾何学的形状が付されることもある。何れのタイプのスライダ1であっても、本発明の適用が可能である。また、スライダ1は、レールの表面に、例えば8〜10nm程度の膜厚を有するDLC等の保護膜を備えることもあり、このような場合は保護膜の表面がABS13、14となる。スライダ1はAl2O3ーTiC等でなる基体15の表面にAl2O3、SiO2等の無機絶縁膜16を設けたセラミック構造体である。
【0032】
誘導型電磁変換素子2は書き込み素子であり、MR素子3は読み取り素子である。誘導型電磁変換素子2及びMR素子3は、レール11、12の一方または両者のトレーリング.エッジTRの側に備えられている。誘導型電磁変換素子2及びMR素子3は、スライダ1に備えられ、電磁変換のための端部がABS13、14と近接した位置にある。トレーリング.エッジTRの側にあるスライダ側面には、誘導型電磁変換素子2に接続された取り出し電極27、28及びMR素子3に接続された取り出し電極33、34がそれぞれ設けられている。
【0033】
誘導型電磁変換素子2は、MR素子3に対する第2のシールド膜を兼ねている第1の磁性膜21、第2の磁性膜22、コイル膜23、アルミナ等でなるギャップ膜24、絶縁膜25及び保護膜26などを有している。第2のシールド膜は、第1の磁性膜21から独立して備えられていてもよい。
【0034】
第1の磁性膜21及び第2の磁性膜22の一端部(先端部)211、221は微小厚みのギャップ膜24を隔てて対向するポール部となっており、ポール部において書き込みを行なう。第1及び第2の磁性膜21、22は、単層であってもよいし、複層膜構造であってもよい。第1及び第2の磁性膜21、22の複層膜化は、例えば、特性改善を目的として行われることがある。ポール部の構造に関しても、トラック幅の狭小化、記録能力の向上等の観点から、種々の改良、及び、提案がなされている。本発明においては、これまで提案された何れのポール構造も採用できる。ギャップ膜24は非磁性金属膜またはアルミナ等の無機絶縁膜によって構成される。
【0035】
第2の磁性膜22は、ポール部の側において、ギャップ膜24の面と平行な面に対して、ある角度で傾斜して立ち上がる。立ち上がり傾斜角度は、エイペックス角(Apex angle)と称される。また、ポール部の先端面から立ち上がり開始点までの距離がスロートハイトと称されている。
【0036】
第2の磁性膜22は、更に、第1の磁性膜21との間にインナーギャップを保って、ABS13、14の後方に延び、後方結合部29において第2の磁性膜22に結合されている。これにより、第1の磁性膜21、第2の磁性膜22及びギャップ膜24を巡る薄膜磁気回路が完結する。
【0037】
コイル膜23は、第1及び第2の磁性膜21、22の間に挟まれ、後方結合部29の周りを渦巻き状に回る。コイル膜23の両端は、取り出し電極27、28に導通されている(図1参照)。コイル膜23の巻数および層数は任意である。
【0038】
絶縁膜25は、有機絶縁樹脂膜またはセラミック膜で構成する。セラミック膜の代表例は、Al2O3膜またはSiO2膜である。絶縁膜25をセラミック膜によって構成すると、有機絶縁膜を用いた場合に比較して、絶縁膜25の熱膨張が小さくなるので、最大突出量を低減するのによい結果が得られる。
【0039】
絶縁膜25の内部にはコイル膜23が埋設されている。絶縁膜25は第1及び第2の磁性膜21、22の間のインナーギャップの内部に充填されている。絶縁膜25の表面には第2の磁性膜22が備えられている。コイル膜23は絶縁膜25の内部に埋設され、第2の磁性膜22は絶縁膜25の表面に備えられている。従って、コイル膜23は、第1及び第2の磁性膜21、22から電気的に絶縁される。
【0040】
保護膜26は誘導型電磁変換素子2の全体を覆っている。これにより、誘導型電磁変換素子2の全体が、保護膜26によって保護されることになる。保護膜26はAl2O3またはSiO2等の無機絶縁材料で構成されている。
【0041】
次に、図3を参照すると、第2の磁性膜の端部221は、トラック方向の少なくとも1側面が、トレーリング.エッジTR側に向かって傾斜する傾斜面223となっている。実施例では、第2の磁性膜の端部221は、トラック方向の両側面が、トレーリング.エッジTR側に向かって傾斜する傾斜面223、224となっている。
【0042】
傾斜面223、224の傾斜角度α1、α2は、スキュー角の最大値θm1、θm2以上である。即ち、α1≧θm1、α2≧θm2である。
【0043】
傾斜角度α1、α2は、書き込み素子の中心線O1と平行な基準線O11、O12を角度ゼロとしたときの値で表示されている。表現を変えると、傾斜角度α1、α2は、四角形を示す主磁極端面の幾何学的形状において、底部内角に対応する。実施例の面内記録用薄膜磁気ヘッドの場合、第2の磁性膜の傾斜面223、224は、トラック幅PW2が、トレーリング.エッジTRに向かうにつれて小さくなるように、傾斜させる。傾斜面223、224の傾斜角度α1、α2は、スキュー角の最大値θm1、θm2に合わせて形成する。従って、傾斜角度α1、α2は、取り得るスキュー角の最大値θm1、θm2によっては、同じ(対称)になったり、異なったり(非対称)する。
【0044】
更に具体的には、薄膜磁気ヘッドの中心線O1が、スキュー角0に対応する位置を基準にして、磁気ディスクの内周側に最大スキュー角θm1で駆動され、外周側に最大スキュー角θm2で駆動される場合であって、θm1>θm2の関係にある場合を示している。従って、傾斜面223の傾斜角α1は、傾斜角α2よりも大きくなる。θm1≦θm2の場合は、α1≦α2となる。
【0045】
実施例では、更に、第1の磁性膜21の端部211の両側に、凹部212、213があり、この凹部212、213によって定まる端部211の幅PW1が、第1の磁性膜21のトラック幅を画定する。
【0046】
MR素子3は、これまで、種々の膜構造のものが提案され、実用に供されている。例えばパーマロイ等による異方性磁気抵抗効果素子を用いたもの、スピンバルブ膜構造もしくはペロブスカイト型磁性体等の巨大磁気抵抗(GMR)効果膜を用いたもの、強磁性トンネル接合効果素子等がある。本発明において、何れのタイプであってもよい。MR素子3は、第1のシールド膜31と、第2のシールド膜を兼ねている第1の磁性膜21との間において、絶縁膜32の内部に配置されている。絶縁膜32はアルミナ等によって構成されている。MR素子3は取り出し電極33、34に接続されている(図1参照)。
【0047】
図4は本発明に係る磁気ヘッド装置の一部を示す正面図、図5は図4に示した磁気ヘッド装置の底面図である。磁気ヘッド装置は、薄膜磁気ヘッド4と、ヘッド支持装置5とを含んでいる。薄膜磁気ヘッド4は図1〜図3を参照して説明にした本発明に係る薄膜磁気ヘッドである。
【0048】
ヘッド支持装置5は、金属薄板でなる支持体53の長手方向の一端にある自由端に、同じく金属薄板でなる可撓体51を取付け、この可撓体51の下面に薄膜磁気ヘッド4を取付けた構造となっている。
【0049】
可撓体51は、支持体53の長手方向軸線と略平行して伸びる2つの外側枠部55、56と、支持体53から離れた端において外側枠部55、56を連結する横枠54と、横枠54の略中央部から外側枠部55、56に略平行するように延びていて先端を自由端とした舌状片52とを有する。
【0050】
舌状片52のほぼ中央部には、支持体53から隆起した、例えば半球状の荷重用突起57が設けられている。この荷重用突起57により、支持体53の自由端から舌状片52へ荷重力が伝えられる。
【0051】
舌状片52の下面に薄膜磁気ヘッド4を接着等の手段によって取付けてある。薄膜磁気ヘッド4は、空気流出側端側が横枠54の方向になるように、舌状片52に取付けられている。本発明に適用可能なヘッド支持装置5は、上記実施例に限らない。
【0052】
図6は本発明に係る磁気記録再生装置の平面図、図7は図6に示した磁気記録再生装置の構成を模式的に示す図である。図示された磁気記録再生装置は、磁気ヘッド装置6と、磁気ディスク7とを含む。磁気ヘッド装置6は図4、5に図示したものである。磁気ヘッド装置6は、ヘッド支持装置5の一端が位置決め装置8によって支持され、かつ、駆動される。磁気ヘッド装置の薄膜磁気ヘッド4は、ヘッド支持装置5によって支持され、磁気ディスク7の磁気記録面と対向するように配置される。
【0053】
磁気ディスク7が、図示しない駆動装置により、矢印A1の方向に回転駆動されると、薄膜磁気ヘッド4が、微小浮上量で、磁気ディスク7の面から浮上する。図6に図示された磁気記録再生装置はロータリー.アクチュエータ方式と称される駆動方式になり、ヘッド支持装置5の先端部に取り付けられた薄膜磁気ヘッド4は、ヘッド支持装置5を回転駆動する位置決め装置8により、磁気ディスク7の径方向b1またはb2に駆動され、磁気ディスク7上の所定のトラック位置に位置決めされる。
【0054】
ヘッド支持装置5の先端部に取り付けられた薄膜磁気ヘッド4は、図7に示すように、スキュー角0の位置を基準にして、磁気ディスク7の内周側に最大スキュー角θm1で駆動され、外周側に最大スキュー角θm2(θm1>θm2)で駆動される。
【0055】
ここで、図1〜図3を参照して説明したように、本発明に係る薄膜磁気ヘッドにおいて、誘導型電磁変換素子2に含まれる第1及び第2の磁性膜21、22は、スライダ1のABS13、14の側の端部211、221がギャップ膜24を間に挟んで対向し、それによってポール部を構成しており、第2の磁性膜22は、ABS13、14の後方に延び、後方結合部29において第2の磁性膜22に結合されているから、ABS13、14に、端部211、221による書き込みポール部を有する薄膜磁気回路が構成される。
【0056】
また、コイル膜23は第1及び第2の磁性膜21、22の間のインナーギャップを通り、後方結合部29の周りを渦巻き状に回る。従って、コイル膜23に書き込み電流を流したとき、第1の磁性膜21、第2の磁性膜22及びギャップ膜24を巡る薄膜磁気回路を通って書き込み磁束が流れ、端部211、221による書き込みポール部に書き込み磁界が発生する。この書き込み磁界を利用して、磁気ディスク7に磁気記録をすることができる。
【0057】
次に、図3を参照して説明したように、第2の磁性膜22の書き込みポール部となる端部221は、傾斜面223、224を有しており、この傾斜面223、224は、トラック幅PW2が、トレーリング.エッジTRに向かうにつれて小さくなるように、傾斜させてある。このような構造によれば、トレーリング.エッジTR側に位置する第2の磁性膜22のアスペクト比(膜厚tと幅wとの比t/w)を、例えば、(2.5μm/0.6μm)のように高くした場合でも、スキュー角θの大きい領域で、第2の磁性膜22のトレーリング.エッジTR側の端部が隣接トラックの縁部にかかるのを回避することができる。このため、隣接トラックに記録されたデータを書き換えてしまったり、あるいは、消去してしまう等の問題を生じることがない。この点について、図7及び図8〜図10を参照して、更に詳しく説明する。
【0058】
図8は、図7において、磁気ディスク7上で見た隣接トラックTC1と、書き込みポール部となる端部221との関係を、拡大して示す図である。スキュー角θ=0である。この場合は、薄膜磁気ヘッドの中心線O1が磁気ディスクの走行方向A1に一致する。書き込みポール部となる端部221の傾斜面223は、トレーリング.エッジTRに向かう程、隣接トラックTC1のトラック側縁から離れる方向に、傾斜角α1で傾斜する。従って、第2の磁性膜22における端部221のトレーリング.エッジTR側の端部が隣接トラックTC1のトラック側縁にかかるのを回避することができる。このため、隣接トラックTC1に記録されたデータを書き換えてしまったり、あるいは、消去してしまう等の問題を生じることがない。
【0059】
図9は、図7において、薄膜磁気ヘッド4を磁気ディスク7の内周側にスキューさせた場合の磁気ディスク7上の隣接トラックTC1と書き込みポール部との関係を示す図である。スキュー角θは最大角度θm1よりも少し小さい角度θ1になっている。
【0060】
この場合は、薄膜磁気ヘッド4の中心線O1が磁気ディスク7の走行方向A1に対し、スキュー角θ1の分だけ傾斜する。スキュー角θ1は傾斜面223の傾斜角α1よりも小さい。従って、第2の磁性膜22における端部221のトレーリング.エッジTR側の端部が隣接トラックTC1のトラック側縁にかかることはない。このため、隣接トラックTC1に記録されたデータを書き換えてしまうことも、サイド.イレーズを生じることも、記録にじみを生じることもない。
【0061】
これを、仮に、第2の磁性膜22の端部221の断面形状を、従来の矩形状とした場合は、図9の斜線で示すように、端部221の隅部X1が隣接トラックTC1のトラック側縁にかかり、隣接トラックTC1に記録されたデータを書き換えてしまったり、サイド.イレーズや記録にじみIR1を生じてしまう。
【0062】
図10は、図7において、薄膜磁気ヘッド4を磁気ディスク7の外周側にスキューさせた場合の磁気ディスク上の隣接トラックTC2と書き込みポール部との関係を示す図である。スキュー角θは最大角度θm2よりも少し小さい角度θ2である。薄膜磁気ヘッドの中心線O1は、磁気ディスクの走行方向A1に対し、スキュー角θ2の分だけ傾斜している。スキュー角θ2は傾斜面224の傾斜角α2よりも小さい。従って、この場合も、第2の磁性膜22における端部221のトレーリング.エッジTR側が、隣接トラックTC2のトラック側縁にかかることはない。このため、隣接トラックTC2に記録されたデータを書き換えてしまうことも、サイド.イレーズを生じることも、記録にじみを生じることもない。
【0063】
図11は垂直記録用薄膜磁気ヘッドの拡大断面図、図12は図11に示した薄膜磁気ヘッドのポール構造を示す図で、ABSから見た部分拡大端面図である。図示された垂直記録用薄膜磁気ヘッドにおいて、第2の磁性膜22は、主磁極225と、補助磁極226とを含んでいる。主磁極225は垂直書き込みポール部を構成し、補助磁極226は主磁極225及び第1の磁性膜21を磁気的に結合する。第1の磁性膜21は主磁極225から生じた磁束の戻り磁路を構成する。コイル膜23は主磁極225及び補助磁極226の周りに巻かれている。他の構造は、図1〜図3に示した面内記録用薄膜磁気ヘッドと実質的に同じであるので、説明は省略する。垂直記録用薄膜磁気ヘッドを用いた磁気記録の特徴は、磁気ディスク7(図7参照)の磁気記録膜を、膜面と垂直となる方向に磁化して磁気記録を行うこと、及び、磁気記録膜の磁化が主磁極225のエッジから生じる磁界によって行われることにある。
【0064】
このような構造の垂直記録用薄膜磁気ヘッドでは、主磁極225に上述した傾斜面223、224を設けることになる。傾斜面223、224はトラック幅がトレーリング.エッジTRに向かうにつれて大きくなるように、傾斜角度α3、α4で傾斜させる。この傾斜方向は、面内記録用薄膜磁気ヘッドの場合とは逆方向である。傾斜角度α3、α4は、四角形を示す主磁極端面の幾何学的形状において、底部内角から90°差し引いた角度に対応する。
【0065】
図12において、トレーリング.エッジTR側に位置するエッジEaをバック.エッジと称し、トラック方向の両側に現れるエッジEb、Ecをサイド.エッジと称することとする。
【0066】
このような構造であると、スキュー領域内で、主磁極225のサイド.エッジEb、Ecに生じる磁界による磁気ディスク7への書き込みが、トレーリング.エッジTR側のバック.エッジEaに発生する磁界によって打ち消される。このため、磁気ディスク7には、バック.エッジEaに発生する磁界による書き込みのみが残る。従って、バック.エッジEaに発生する磁界による書き込みが、隣接トラックから外れた位置で行われる限り、TPIを高くした場合も、スキュー領域内で、主磁極225のエッジに生じた磁界が、隣接トラックの周縁にかかってしまうのを回避し、データの書き換え、消去等を阻止することができる。次に、この点について、図7、図13、図14を参照して、更に詳しく説明する。
【0067】
図13は、図7において、磁気ディスク上7の隣接トラックTC1と主磁極225との関係を示す図である。スキュー角θは、θ=0である。この場合は、薄膜磁気ヘッド4の中心線O1が磁気ディスク7の走行方向A1に一致する(図7参照)。主磁極225の傾斜面223は、最も幅の大きいトレーリング.エッジTR側のバック.エッジEaが、隣接トラックTC1のトラック側縁に対して最も近接し、サイド.エッジEb、Ecは、傾斜角α3、α4で傾斜し、バック.エッジEaと対向する底辺に向かうにつれて、隣接トラックTC1のトラック側縁から離れる。
【0068】
従って、バック.エッジEaを隣接トラックTC1のトラック側縁から距離を隔てる限り、主磁極225のバック.エッジEaが隣接トラックTC1のトラック側縁にかかるのを回避することができる。このため、隣接トラックTC1に記録されたデータを書き換えてしまうことも、サイド.イレーズを生じることも、記録にじみを生じることもない。
【0069】
また、主磁極225のサイド.エッジEb、Ecから生じる磁界によって、磁気ディスク7に磁気記録が与えられても、この磁気記録は主磁極225のバック.エッジEaから生じる磁界によって書き換えられるので、磁気ディスク7には、バック.エッジEaの形状に対応した磁気記録Maが与えられる。
【0070】
図14は、図7において、薄膜磁気ヘッド4を磁気ディスク7の外周側にスキューさせた場合の磁気ディスク7上の隣接トラックTC1と主磁極225との関係を示す図である。スキュー角θは最大角度θm2よりも少し小さい角度θ2である。この場合は、薄膜磁気ヘッド4の中心線O1が磁気ディスク7の走行方向A1に対し、スキュー角θ2の分だけ傾斜する。スキュー角θ2は傾斜面223の傾斜角α3よりも小さい。
【0071】
上記構成において、主磁極225の傾斜面223は、バック.エッジEaが隣接トラックTC1のトラック側縁に対して最も近接し、サイド.エッジEb、Ecは、傾斜角α3、α4で傾斜し、バック.エッジEaと対向する底辺に向かうにつれて、隣接トラックTC1のトラック側縁から離れる。
【0072】
従って、バック.エッジEaを隣接トラックTC1のトラック側縁から距離を隔てる限り、主磁極225のバック.エッジEaが隣接トラックTC1のトラック側縁にかかるのを回避することができる。このため、隣接トラックTC1に記録されたデータを書き換えてしまうことも、サイド.イレーズを生じることも、記録にじみを生じることもない。
【0073】
また、主磁極225のサイド.エッジEb、Ecから生じる磁界によって、磁気ディスク7に磁気記録が与えられても、この磁気記録は主磁極225のバック.エッジEaから生じる磁界によって書き換えられるので、磁気ディスク7には、バック.エッジEaの形状に対応した磁気記録Maが与えられる。
【0074】
図示は省略するが、図7において、薄膜磁気ヘッド4を磁気ディスク7の内周側にスキューさせた場合も同様である。
【0075】
図15は主磁極225の断面形状を矩形状とした薄膜磁気ヘッド4を磁気ディスク7の外周側にスキューさせた場合において、磁気ディスク7上の隣接トラックTC1と主磁極225との関係を示す図である。この場合は、主磁極225の傾斜面223を構成するサイド.エッジEbの隅部X2が隣接トラックTC1のトラック側縁にかかり、データ書き換え、サイド.イレーズまたは記録にじみIR2を生じてしまう。
【0076】
また、主磁極225のサイド.エッジEbから生じる磁界によって、磁気ディスク7に磁気記録Mbが与えられる。この磁気記録Mbは主磁極225のバック.エッジEaから生じる磁界によって書き換えることができない。このため、磁気ディスク7には、バック.エッジEaの形状に対応した磁気記録Maと、サイド.エッジEbに対応した磁気記録Mbが与えられる。このような磁気記録は、好ましいものではない。
【0077】
次に、本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法について、図16、図17を参照して説明する。まず、図16に示すように、スライダ基体上の絶縁膜17上に、下部シールド膜31、絶縁膜32、MR素子3、絶縁膜33、第1の磁性膜21(上部シールド膜)、ギャップ膜24を形成し、更にギャップ膜24の上に第2の磁性膜22を成膜する。
【0078】
次に、図17に示すように、第2の磁性膜22をトリミングする。このトリミング工程は、第2の磁性膜22のポール部となる端部221において、トラック方向の側面が、トレーリング.エッジTRに向かって傾斜する傾斜面223、224となるように行う。傾斜面223、224の傾斜角度α1、α2は、スキュー角の最大値よりも大きくなるように、トリミングする。スキュー角の最大値は、仕様によって予め定まっている。
【0079】
トリミング工程は、ウエハ上で行うのが好ましい。また、トリミング工程は、フォーカスド.イオン.ビーム(Focused ion beam 以下FIBと称する)を用いて実行するのが好ましい。FIBを用いた場合、FIBに対して、ウエハを所定の角度で傾斜させることにより、所望の傾斜角度α1、α2を有する傾斜面223、224を形成することができる。
【0080】
図16、図17は、図1〜図3を参照して説明した面内記録用薄膜磁気ヘッドに適用した製造方法を示しているが、図16、図17に示した製造方法は、図11、図12を参照して説明した垂直記録用薄膜磁気ヘッドにも適用できる。
【0081】
以上、好ましい実施例を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の変形態様を採り得ることは自明である。
【0082】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、次のような効果を得ることができる。
(a)隣接トラックのデータ書き換えや、データ消去等の磁気的悪影響を回避し得る薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置、磁気記録再生装置を提供することができる。
(b)TPI能力を高めて、高密度記録を図った場合でも、隣接トラックのデータ書き換えや、データ消去等の磁気的悪影響を回避し得る薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置、磁気記録再生装置を提供することができる。
(c)上述した薄膜磁気ヘッドを製造するのに好適な製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る面内記録用薄膜磁気ヘッドの斜視図である。
【図2】図1に示した薄膜磁気ヘッドの拡大断面図である。
【図3】図1、2に示した薄膜磁気ヘッドのポール構造を示す図で、ABSから見た部分拡大端面図である。
【図4】本発明に係る磁気ヘッド装置の一部を示す正面図である。
【図5】図4に示した磁気ヘッド装置の底面図である。
【図6】本発明に係る磁気記録再生装置の平面図である。
【図7】図6に示した磁気記録再生装置の構成を模式的に示す図である。
【図8】スキュー角θ=0のときの磁気ディスク上の隣接トラックと書き込みポール部となる端部との関係を示す図である。
【図9】図7において薄膜磁気ヘッドを磁気ディスクの内周側にスキューさせた場合の磁気ディスク上の隣接トラックと書き込みポール部との関係を示す図である。
【図10】図7において薄膜磁気ヘッドを磁気ディスク7の外周側にスキューさせた場合の磁気ディスク上の隣接トラックと書き込みポール部との関係を示す図である。
【図11】本発明に係る垂直記録用薄膜磁気ヘッドの拡大断面図である。
【図12】図11に示した薄膜磁気ヘッドのポール構造を示す図で、ABSから見た部分拡大端面図である。
【図13】図11、図12に示した垂直記録用薄膜磁気ヘッドを用いた磁気記録再生装置において、スキュー角θ=0のときの磁気ディスク上の隣接トラックと主磁極との関係を示す図である。
【図14】図7において薄膜磁気ヘッドを磁気ディスクの外周側にスキューさせた場合の磁気ディスク上の隣接トラックと主磁極との関係を示す図である。
【図15】主磁極の断面形状を矩形状とした垂直記録用薄膜磁気ヘッドを磁気ディスクの外周側にスキューさせた場合において、磁気ディスク上の隣接トラックと主磁極との関係を示す図である。
【図16】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法に含まれる工程を示す図である。
【図17】図16に示した工程の後の工程を示す図である。
【符号の説明】
1 スライダ
2 誘導型電磁変換素子
3 MR素子
13、14 ABS
21 第1の磁性膜
22 第2の磁性膜
221 一端部
223、224 傾斜面
23 コイル膜
25 絶縁膜
26 保護膜
Claims (14)
- スライダと、少なくとも1つの誘導型電磁変換素子とを含み、磁気ディスクとの組み合わせにおいて、前記磁気ディスクの径方向に、あるスキュー角をもって駆動される薄膜磁気ヘッドであって、
前記誘導型電磁変換素子は、第1の磁性膜と、第2の磁性膜と、コイル膜とを含み、前記スライダによって支持されており、
前記第1の磁性膜は、一端部が前記スライダの空気ベアリング面側に位置し、前記空気ベアリング面の後方に延びており、
前記第2の磁性膜は、前記第1の磁性膜よりも、トレーリング.エッジ側に位置し、一端部が前記スライダの空気ベアリング面側において前記第1の磁性膜の前記一端部と間隔を保って対向し、前記空気ベアリング面の後方に延び、後方において、前記第1の磁性膜に結合されており、
前記コイル膜は、前記第1及び前記第2の磁性膜の作る磁気回路の周りを周回しており、
前記第2の磁性膜の前記一端部は、トラック方向の少なくとも1側面に、傾斜面を有しており、前記傾斜面の傾斜角度は前記スキュー角の最大角度以上である薄膜磁気ヘッド。 - 請求項1に記載された薄膜磁気ヘッドであって、
前記誘導型電磁変換素子は、ギャップ膜を含んでおり、
前記第1の磁性膜及び前記第2の磁性膜は、前記一端部が前記ギャップ膜によって隔てられ、ポール部を構成している
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項2に記載された薄膜磁気ヘッドであって、
前記第2の磁性膜の前記傾斜面は、前記トラック幅が、前記トレーリング.エッジに向かうにつれて小さくなるように、傾斜している
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項1に記載された薄膜磁気ヘッドであって、
前記第2の磁性膜は、主磁極と、補助磁極とを含んでおり、
前記主磁極は、垂直書き込みポール部を構成し、
前記補助磁極は、前記主磁極及び前記第1の磁性膜を磁気的に結合している
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項4に記載された薄膜磁気ヘッドであって、
前記主磁極は前記傾斜面を有しており、
前記傾斜面は、前記トラック幅が、前記トレーリング.エッジに向かうにつれて大きくなるように、傾斜している
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項1乃至5の何れかに記載された薄膜磁気ヘッドであって、
更に、少なくとも1つの磁気抵抗効果素子を含み、前記磁気抵抗効果素子は読み取り素子として用いられる
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項6に記載された薄膜磁気ヘッドであって、
前記磁気抵抗効果素子は、スピンバルブ膜構造を有する
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項6に記載された薄膜磁気ヘッドであって、
前記磁気抵抗効果素子は、強磁性トンネル接合効果素子である
薄膜磁気ヘッド。 - 請求項6に記載された薄膜磁気ヘッドであって、
前記磁気抵抗効果素子は、ペロブスカイト型磁性体を含む巨大磁気抵抗効果素子である
薄膜磁気ヘッド。 - 薄膜磁気ヘッドと、ヘッド支持装置とを含む磁気ヘッド装置であって、
前記薄膜磁気ヘッドは、請求項1乃至9の何れかに記載されたものでなり、
前記ヘッド支持装置は、前記薄膜磁気ヘッドを支持する
磁気ヘッド装置。 - 磁気ヘッド装置と、磁気ディスクとを含む磁気ディスク装置であって、
前記磁気ヘッド装置は、請求項10に記載されたものでなり、
前記磁気ディスクは、前記磁気ヘッド装置との間で、磁気記録、及び、再生を行う
磁気ディスク装置。 - 請求項1乃至9のいずれかに記載された薄膜磁気ヘッドを製造する方法であって、
前記第2の磁性膜を成膜した後、前記第2の磁性膜をトリミングするトリミング工程を含み、
前記トリミング工程は、前記第2の磁性膜のトラック方向の少なくとも1側面が、前記トレーリング.エッジに向かって傾斜する傾斜面となり、前記傾斜面の傾斜角度が前記スキュー角の最大値よりも大きくなるように、トリミングする工程である
薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 請求項12に記載された薄膜磁気ヘッドを製造する方法であって、
前記トリミング工程は、ウエハ上で行う
薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 請求項12に記載された薄膜磁気ヘッドを製造する方法であって、
前記トリミング工程は、フォーカス.イオン.ビームを用いて実行される
薄膜磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000040199A JP3565492B2 (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置 |
US09/759,249 US6631054B2 (en) | 2000-02-17 | 2001-01-16 | Thin film magnetic head, a magnetic head device, a magnetic disk drive device, and a method for manufacturing a thin film magnetic device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000040199A JP3565492B2 (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001236605A JP2001236605A (ja) | 2001-08-31 |
JP3565492B2 true JP3565492B2 (ja) | 2004-09-15 |
Family
ID=18563625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000040199A Expired - Fee Related JP3565492B2 (ja) | 2000-02-17 | 2000-02-17 | 薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6631054B2 (ja) |
JP (1) | JP3565492B2 (ja) |
Families Citing this family (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4139546B2 (ja) * | 2000-03-14 | 2008-08-27 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 垂直磁気ディスク装置 |
US6710973B2 (en) | 2000-09-18 | 2004-03-23 | Hitachi, Ltd. | Single pole type recording head including tapered edges |
US7100266B2 (en) * | 2001-05-16 | 2006-09-05 | Seagate Technology Llc | Method of forming a beveled writing pole of a perpendicular writing element |
US6954340B2 (en) * | 2001-05-23 | 2005-10-11 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head with nonmagnetic write gap greater than twice side shield gap distance |
JP2003187405A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-04 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
SG115532A1 (en) * | 2002-04-03 | 2005-10-28 | Seagate Technology Llc | Perpendicular writer pole having a nonmagnetic seedlayer |
JP2004094997A (ja) | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Tdk Corp | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
JP2004127457A (ja) * | 2002-10-04 | 2004-04-22 | Sony Corp | 薄膜磁気ヘッド及び磁気テープ装置 |
JP2005018851A (ja) * | 2003-06-24 | 2005-01-20 | Tdk Corp | 薄膜磁気ヘッドおよび磁気記録装置 |
JP2005122818A (ja) * | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Headway Technol Inc | 薄膜磁気ヘッド、これを用いた磁気記録装置及びその製造方法 |
US7360301B2 (en) * | 2003-10-20 | 2008-04-22 | Headway Technologies, Inc. | Method of manufacturing a thin film magnetic head |
JP2006018902A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Toshiba Corp | ディスクリートトラック媒体を有する垂直磁気記録装置 |
JP3892023B2 (ja) | 2004-11-05 | 2007-03-14 | Tdk株式会社 | 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 |
US7433151B2 (en) | 2004-12-28 | 2008-10-07 | Headway Technologies, Inc. | Method of manufacturing magnetic head using magnetic head sub-structure with indicators for indicating the location of the ABS |
US7549213B2 (en) * | 2005-01-12 | 2009-06-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method for independent trackwidth and wall angle control and hexagonal write head |
KR100634540B1 (ko) | 2005-03-24 | 2006-10-13 | 삼성전자주식회사 | 자기 기록 헤드 및 그 제조방법 |
US7463450B2 (en) * | 2005-05-23 | 2008-12-09 | Headweay Technologies, Inc. | Thin film magnetic head |
KR100652446B1 (ko) | 2005-12-03 | 2006-12-01 | 삼성전자주식회사 | 디스크의 적응적 기록 밀도 조정 방법 및 이용한 디스크드라이브와 디스크 |
JP2007164861A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッド |
JP2007184036A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
KR100745762B1 (ko) * | 2006-02-15 | 2007-08-02 | 삼성전자주식회사 | 수직 자기 헤드 및 그 제조방법 |
JP2008027512A (ja) * | 2006-07-20 | 2008-02-07 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 |
US8009388B2 (en) * | 2006-10-10 | 2011-08-30 | Seagate Technology Llc | Method for increasing storage capacity and a transducer configuration incorporating the same |
JP2008234772A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Fujitsu Ltd | 2つの主磁極を有する磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置,磁気ヘッド切替制御回路 |
US7916425B2 (en) * | 2007-06-21 | 2011-03-29 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic head having angled pole portions |
US8339735B2 (en) | 2007-06-29 | 2012-12-25 | Seagate Technology Llc | Magnetic writer for patterned stack with increased write field |
US9495996B2 (en) | 2007-06-29 | 2016-11-15 | Seagate Technology, Llc | Writer with increased write field |
US8259411B2 (en) * | 2008-05-07 | 2012-09-04 | Seagate Technology Llc | Fabrication of trapezoidal pole for magnetic recording |
JP2010250919A (ja) * | 2009-04-20 | 2010-11-04 | Toshiba Storage Device Corp | 磁気記録ヘッドおよび磁気記憶装置 |
US8310786B2 (en) | 2009-09-09 | 2012-11-13 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Asymmetric writer for shingled magnetic recording |
US9076466B2 (en) | 2012-12-20 | 2015-07-07 | HGST Netherlands B.V. | Asymmetric trailing shield writer for shingled magnetic recording (SMR) |
JP2015185182A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | 株式会社東芝 | 磁気記録装置 |
US9508372B1 (en) * | 2015-06-03 | 2016-11-29 | Western Digital (Fremont), Llc | Shingle magnetic writer having a low sidewall angle pole |
US9837106B1 (en) * | 2017-06-05 | 2017-12-05 | Western Digital Technologies, Inc. | Two-dimensional magnetic recording (TDMR) disk drive with multiple sensors and circuitry for selection of an active pair of associated amplifiers |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5225953A (en) * | 1989-11-09 | 1993-07-06 | Sumitomo Special Metal Co., Ltd. | Magnetic thin film head of a single magnetic pole for perpendicular recording and reproduction |
US5285340A (en) | 1992-02-28 | 1994-02-08 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic head with conformable pole tips |
US5452166A (en) * | 1993-10-01 | 1995-09-19 | Applied Magnetics Corporation | Thin film magnetic recording head for minimizing undershoots and a method for manufacturing the same |
US5452164A (en) | 1994-02-08 | 1995-09-19 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic write head |
US5438747A (en) | 1994-03-09 | 1995-08-08 | International Business Machines Corporation | Method of making a thin film merged MR head with aligned pole tips |
US5615069A (en) * | 1995-06-07 | 1997-03-25 | Seagate Technology, Inc. | Thin-film transducer design for undershoot reduction |
US5792569A (en) * | 1996-03-19 | 1998-08-11 | International Business Machines Corporation | Magnetic devices and sensors based on perovskite manganese oxide materials |
JPH09259408A (ja) * | 1996-03-22 | 1997-10-03 | Nec Ibaraki Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
US6043960A (en) * | 1997-12-22 | 2000-03-28 | International Business Machines Corporation | Inverted merged MR head with track width defining first pole tip component constructed on a side wall |
-
2000
- 2000-02-17 JP JP2000040199A patent/JP3565492B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-01-16 US US09/759,249 patent/US6631054B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20010017751A1 (en) | 2001-08-30 |
JP2001236605A (ja) | 2001-08-31 |
US6631054B2 (en) | 2003-10-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3565492B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置 | |
US6920020B2 (en) | Thin-film merged magnetic head having a heat-generating layer | |
US6954340B2 (en) | Perpendicular magnetic recording head with nonmagnetic write gap greater than twice side shield gap distance | |
US6252748B1 (en) | Thin film magnetic head with widening outer layer of multi-layer pole | |
US7679862B2 (en) | Perpendicular recording head with reduced thermal protrusion | |
JP3740361B2 (ja) | 垂直記録用磁気ヘッド及びそれを搭載した磁気ディスク装置 | |
US7944646B2 (en) | Magnetic disk drive | |
US8320079B2 (en) | Magnetic head assembly and magnetic recording/reproducing apparatus | |
US7426092B2 (en) | Magnetic head and magnetic disk storage apparatus mounting the head | |
US8243386B2 (en) | Perpendicular magnetic recording head with bottom shield layer | |
US7239480B2 (en) | Thin film magnetic head having an upper pole portion with a width that increases towards an abs | |
JP4215198B2 (ja) | 磁気ヘッド及びそれを搭載した磁気ディスク装置 | |
US7990655B2 (en) | Perpendicular magnetic recording head having a bottom shield part magnetically connected to a pair of side shield parts | |
US8085500B2 (en) | Perpendicular magnetic recording head with partial side shield layers | |
JP3599235B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置 | |
US7440229B2 (en) | Thin-film magnetic head having a write shield layer | |
JP4160784B2 (ja) | 垂直磁気ヘッドおよび垂直磁気記録再生装置 | |
US6487042B2 (en) | Thin-film magnetic head and magnetic storage apparatus using the same | |
JP2005182897A (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
JP3865308B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置 | |
JP2001028107A (ja) | 薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置、磁気ディスク装置及び薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
US7245460B2 (en) | Magnetoresistive effective type element, method for fabricating the same, thin film magnetic head, magnetic head device and magnetic disk drive device | |
JP4653924B2 (ja) | 垂直記録用磁気ヘッド及びそれを搭載した磁気ディスク装置 | |
JP3565509B2 (ja) | 磁気記録再生装置 | |
JP4236144B2 (ja) | 磁気記録装置および方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040525 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040602 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040604 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080618 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090618 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090618 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100618 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110618 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120618 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120618 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140618 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |