JP2010250919A - 磁気記録ヘッドおよび磁気記憶装置 - Google Patents

磁気記録ヘッドおよび磁気記憶装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2010250919A
JP2010250919A JP2009102232A JP2009102232A JP2010250919A JP 2010250919 A JP2010250919 A JP 2010250919A JP 2009102232 A JP2009102232 A JP 2009102232A JP 2009102232 A JP2009102232 A JP 2009102232A JP 2010250919 A JP2010250919 A JP 2010250919A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
upper side
magnetic recording
recording head
contour line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Abandoned
Application number
JP2009102232A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2010250919A5 (ja
Inventor
Masaya Otake
雅哉 大竹
Ryoji Ito
亮治 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Storage Device Corp
Original Assignee
Toshiba Storage Device Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Storage Device Corp filed Critical Toshiba Storage Device Corp
Priority to JP2009102232A priority Critical patent/JP2010250919A/ja
Priority to US12/761,109 priority patent/US20100265616A1/en
Publication of JP2010250919A publication Critical patent/JP2010250919A/ja
Publication of JP2010250919A5 publication Critical patent/JP2010250919A5/ja
Abandoned legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109Details
    • G11B5/3116Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/1278Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/74Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
    • G11B5/743Patterned record carriers, wherein the magnetic recording layer is patterned into magnetic isolated data islands, e.g. discrete tracks
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/74Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
    • G11B5/743Patterned record carriers, wherein the magnetic recording layer is patterned into magnetic isolated data islands, e.g. discrete tracks
    • G11B5/746Bit Patterned record carriers, wherein each magnetic isolated data island corresponds to a bit
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/74Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
    • G11B5/82Disk carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

【課題】従来に比べて正確な書き込み動作を確保することができる磁気記録ヘッドを提供する。
【解決手段】磁気記録ヘッドの一具体例は、トレーリング側の上辺75、および、上辺75に平行に延び上辺75よりも短いリーディング側の下辺74を有する台形の斜辺73および下辺74と、上辺75の一端から他端まで延び、斜辺73の延長線78よりも内側で上辺75よりもトレーリング側に膨らむ輪郭線76とで浮上面に露出面72を規定する。
【選択図】図9

Description

本発明は磁気記録ヘッドに関する。
例えばハードディスク駆動装置(HDD)は広く知られる。HDDには磁気ディスクが組み込まれる。磁気ディスクには磁気記録ヘッドが向き合わせられる。磁気記録ヘッドは、トレーリング側の上辺、および、上辺に平行に延び上辺よりも短いリーディング側の下辺を有する台形でヘッドスライダーの浮上面に露出面を規定する。
特開2008−204526号公報 特開2006−134507号公報
ビットパターンドメディアは広く知られる。ある種のビットパターンドメディアでは千鳥配置の磁性ドットパターンで記録トラックが形成される。磁気情報の書き込みにあたって磁気記録ヘッドは左右列の磁性ドットを交互に磁化する。このとき、最内周の記録トラックや最外周の記録トラックではいわゆるヨー角の影響で磁気記録ヘッドの台形の露出面は記録トラックに対して大きく傾く。例えば磁気記録ヘッドで下辺に比べて上辺がビットパターンドメディアの外周に向かって大きく傾くと、左列の磁性ドットの通過から右列の磁性ドットの通過までに記録トラックの線方向に距離は縮まってしまう。いわゆるライトマージンは減少する。ライトマージンの減少は正確な書き込み動作を阻害してしまう。
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、従来に比べて正確な書き込み動作を確保することができる磁気記録ヘッドを提供することを目的とする。本発明は、従来に比べて正確な書き込み動作を確保することができる磁気記憶装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、磁気記録ヘッドの一具体例は、トレーリング側の上辺、および、前記上辺に平行に延び前記上辺よりも短いリーディング側の下辺を有する台形の斜辺および下辺と、前記上辺の一端から他端まで延び、前記斜辺の延長線よりも内側で前記上辺よりもトレーリング側に膨らむ輪郭線とで浮上面に露出面を規定する。
その他、磁気記憶装置の一具体例は、筐体と、筐体に組み込まれて、千鳥配置の磁性ドットパターンで記録トラックを形成する磁気記憶媒体と、磁気記憶媒体に向き合わせられる磁気記録ヘッドとを備え、前記磁気記録ヘッドは、トレーリング側の上辺、および、前記上辺に平行に延び前記上辺よりも短いリーディング側の下辺を有する台形の斜辺および下辺と、前記上辺の一端から他端まで延び、前記斜辺の延長線よりも内側で前記上辺よりもトレーリング側に膨らむ輪郭線とで浮上面に露出面を規定する。
以上のように開示の磁気記録ヘッドや磁気記憶装置によれば、従来に比べて正確な書き込み動作は確保されることができる。
磁気記憶装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置(HDD)の構造を概略的に示す平面図である。 磁気ディスクの部分平面図である。 磁気ディスクの部分拡大平面図である。 図3の4−4線に沿った部分拡大断面図である。 一具体例に係る浮上ヘッドスライダを概略的に示す拡大斜視図である。 媒体対向面から観察される電磁変換素子を概略的に示す電磁変換素子の正面図である。 図6の7−7線に沿った断面図である。 一具体例に係る主磁極の先端を概略的に示す拡大部分斜視図である。 主磁極の先端面と記録トラックとの関係を概略的に示す模式図である。 逆台形形状の先端面と記録トラックとの関係を概略的に示す模式図である。 主磁極の形成過程で主磁極層の形状を概略的に示す主磁極層の拡大斜視図である。 磁極先端片の形成過程を概略的に示す拡大正面図である。 他の形状に係る先端面を示す拡大正面図である。
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
図1は一具体例に係る磁気記憶装置すなわちハードディスク駆動装置(HDD)11の構造を概略的に示す。このHDD11は筐体すなわちハウジング12を備える。ハウジング12は箱形のベース13およびカバー(図示されず)を備える。ベース13は例えば平たい直方体の内部空間すなわち収容空間を区画する。カバーはベース13の開口に結合される。カバーとベース13との間で収容空間は密閉される。
収容空間には記憶媒体の一具体例すなわち1枚以上の磁気ディスク14が収容される。磁気ディスク14はスピンドルモーター15の駆動軸に装着される。スピンドルモーター15は例えば5400rpmや7200rpm、10000rpm、15000rpmといった高速度で磁気ディスク14を回転させることができる。
収容空間にはキャリッジ16がさらに収容される。キャリッジ16はキャリッジブロック17を備える。キャリッジブロック17は、ベース13の底板から垂直方向に立ち上がる支軸18に回転自在に連結される。キャリッジブロック17には、支軸18から水平方向に延びる複数のキャリッジアーム19が区画される。
キャリッジ16は複数のヘッドサスペンション21を備える。個々のヘッドサスペンション21は個別に対応のキャリッジアーム19の先端に取り付けられる。ヘッドサスペンション21はキャリッジアーム19の先端から前方に延びる。ヘッドサスペンション21にはフレキシャが張り合わせられる。フレキシャ上には浮上ヘッドスライダー22が支持される。フレキシャに基づき浮上ヘッドスライダー22はヘッドサスペンション21に対してその姿勢を変化させることができる。浮上ヘッドスライダー22にはヘッド素子すなわち電磁変換素子(図示されず)が搭載される。電磁変換素子の詳細は後述される。
磁気ディスク14の回転に基づき磁気ディスク14の表面で気流が生成されると、気流の働きで浮上ヘッドスライダー22には正圧すなわち浮力および負圧が作用する。浮力は負圧およびヘッドサスペンション21の押し付け力に釣り合う。その結果、磁気ディスク14の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダー22は浮上し続けることができる。
キャリッジブロック17にはボイスコイルモーター(VCM)23が連結される。ボイスコイルモーター23の働きでキャリッジブロック17は支軸18回りで回転することができる。こうしたキャリッジブロック17の回転に基づきキャリッジアーム19およびヘッドサスペンション21の揺動は実現される。浮上ヘッドスライダー22の浮上中に支軸18回りでキャリッジアーム19が揺動すると、浮上ヘッドスライダー22は磁気ディスク14の半径線に沿って移動することができる。その結果、浮上ヘッドスライダー22上の電磁変換素子は最内周記録トラックと最外周記録トラックとの間でデータゾーンを横切ることができる。こうした浮上ヘッドスライダー22の移動に基づき電磁変換素子は目標記録トラックに対して位置決めされる。
図2は一具体例に係る磁気ディスク14の構造を概略的に示す。磁気ディスク14の表裏面には磁気ディスク14の周方向すなわちダウントラック方向に沿って複数筋の記録トラック25、25…が延びる。記録トラック25は同心円状に形成される。磁気ディスク14の表裏面には、磁気ディスク14の半径方向に沿って湾曲しつつ延びる複数筋(例えば60本)のサーボ領域26が規定される。サーボ領域26の湾曲は電磁変換素子の移動経路に基づき設定される。隣接するサーボ領域26の間にはデータ領域27が確保される。こうして各記録トラック25にはサーボ領域26およびデータ領域27が交互に区画される。サーボ領域26に予め書き込まれる磁化パターンに基づき浮上ヘッドスライダー22の電磁変換素子は位置決めされる。
図3に示されるように、個々の記録トラック25は2列のドット列25a、25bを備える。個々のドット列25a、25bでは等間隔でダウントラック方向DTに複数の磁性ドット28が配列される。ここでは、個々の記録トラック25でドット列25aはドット列25bの内側に配置される。個々の磁性ドット28は、例えば磁気ディスク14の表面に直交する中心軸を有する円柱すなわち磁性ピラーから形成される。磁性ドット28の直径は例えば20nm程度に設定される。各磁性ドット28では、磁気ディスク14の表面に直交する垂直方向に上向き(外向き)の磁化または下向き(内向き)の磁化が確立される。こうして各磁性ドット28に磁気情報が記録される。すなわち、垂直磁気記録が実現される。磁性ドット28同士は非磁性体29で磁気的に分離される。こうした磁性ドット28は少なくともデータ領域27に配置される。
各ドット列25a、25bでは磁性ドット28同士は磁性ドット28の直径と同一の間隔で隔てられる。個々の記録トラック25ではドット列25bの磁性ドット28はドット列25aの磁性ドット28からダウントラック方向にずれて配置される。ドット列25a上で相互に隣接する磁性ドット28の中心軸同士の中間点を通過する半径線上に、ドット列25bの磁性ドット28の中心軸が配置される。すなわち、記録トラック25の中心線25cを跨いでいわゆる千鳥配置が確立される。
図4に示されるように、磁気ディスク14は基板31を備える。基板31は例えばガラス基板から形成される。基板31の表面には裏打ち層32が広がる。裏打ち層32は例えば炭化鉄タンタル(FeTaC)膜やニッケル鉄(NiFe)膜といった軟磁性体から構成されればよい。裏打ち層32では、基板31の表面に平行に規定される面内方向に磁化容易軸は確立される。裏打ち層32の表面にはタンタル(Ta)密着層33が広がる。タンタル密着層33は非晶質構造を有する。タンタル密着層33の表面にはルテニウム(Ru)下地層34が広がる。ルテニウム下地層34は多結晶構造を有する。隣接する結晶粒同士は密着する。
ルテニウム下地層34の表面には記録層35が広がる。記録層35に前述の磁性ドット28および非磁性体29が形成される。磁性ドット28はルテニウム下地層34の表面で直立する。円柱形の磁性ドット28の中心軸は基板31の表面に直交する。個々の磁性ドット28では、基板31の表面に直交する垂直方向に磁化容易軸は確立される。磁性ドット28は例えばコバルトクロム白金(CoCrPt)から形成される。磁性ドット28にはコバルト白金(CoPt)が用いられてもよい。記録層35の表面は、例えばダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜といった保護膜36やパーフルオロポリエーテル(PFPE)膜といった潤滑膜37で被覆される。
図5は一具体例に係る浮上ヘッドスライダー22を示す。この浮上ヘッドスライダー22は、例えば平たい直方体に形成されるスライダー本体41を備える。スライダー本体41の空気流出側端面には非磁性膜42が積層される。非磁性膜42に前述の電磁変換素子43が組み込まれる。スライダー本体41は例えばAl−TiC(アルチック)といった硬質の非磁性材料から形成されればよい。非磁性膜42は例えばAl(アルミナ)といった比較的に軟質の絶縁非磁性材料から形成されればよい。
浮上ヘッドスライダー22は媒体対向面すなわち浮上面44で磁気ディスク14に向き合う。浮上面44には平坦なベース面45すなわち基準面が規定される。磁気ディスク14が回転すると、スライダー本体41の前端から後端に向かって浮上面44には気流46が作用する。
浮上面44には、前述の気流46の上流側すなわち空気流入側でベース面45から立ち上がる1筋のフロントレール47が形成される。同様に、浮上面44には、気流の下流側すなわち空気流出側でベース面45から立ち上がるリアレール48およびサイドリアレール49、49が形成される。リアレール48はスライダー本体41から非磁性膜42まで延びる。
フロントレール47、リアレール48およびサイドリアレール49、49の頂上面にはいわゆる空気軸受け面(ABS)51、52、53が規定される。空気軸受け面51、52、53の空気流入端は段差でレール47、48、49の頂上面に接続される。磁気ディスク14の回転に基づき生成される気流46は浮上面44に受け止められる。このとき、段差の働きで空気軸受け面51、52、53には比較的に大きな正圧すなわち浮力が生成される。しかも、フロントレール47の後方すなわち背後には大きな負圧が生成される。これら浮力および負圧のバランスに基づき浮上ヘッドスライダー22の浮上姿勢は確立される。なお、浮上ヘッドスライダー22の形態はこういった形態に限られるものではない。
図6に示されるように、電磁変換素子43は読み出し素子55と磁気記録ヘッドすなわち書き込み素子56とを備える。読み出し素子55にはトンネル接合磁気抵抗効果(TuMR)素子が用いられる。すなわち、読み出し素子55は上下1対の導電層すなわち上部電極57および下部電極58を備える。上部電極57と下部電極58との間にはトンネル接合磁気抵抗効果膜59が挟み込まれる。上部電極57および下部電極58は例えばFeN(窒化鉄)やNiFe(ニッケル鉄)、NiFeB(ニッケル鉄ボロン)、CoFeB(コバルト鉄ボロン)といった高透磁率材料から形成されればよい。高透磁率材料の採用によれば、上部電極57および下部電極58は上部シールド層および下部シールド層として機能することができる。その結果、上部電極57および下部電極58の間隔は磁気ディスク14上で記録トラックの線方向に磁気記録の分解能を決定する。
同時に、上部電極57および下部電極58の間には1対の磁区制御膜61が配置される。トンネル接合磁気抵抗効果膜59は浮上面44に沿って磁区制御膜61同士の間に配置される。磁区制御膜61は例えばCoCrPt(コバルトクロム白金)やCoPt(コバルト白金)といった硬磁性材料から形成される。磁区制御膜61は浮上面44に沿って一方向に磁化を確立する。磁区制御膜61と下部電極58との間、および、磁区制御膜61とトンネル接合磁気抵抗効果膜59との間には絶縁膜62が挟み込まれる。絶縁膜62は例えばAlまたはMgO(酸化マグネシウム)から形成される。磁区制御膜61は下部電極58およびトンネル接合磁気抵抗効果膜59から絶縁される。したがって、たとえ磁区制御膜61が導電性を有していても、上部電極57と下部電極58との間ではトンネル接合磁気抵抗効果膜59のみで導通が確立される。
上部電極57および下部電極58からトンネル接合磁気抵抗効果膜59には所定の電圧値の電圧が印加される。電流量すなわち電流値は検出される。磁気ディスク14からトンネル接合磁気抵抗効果膜59に磁界が作用すると、磁界の向きすなわち作用する磁極に応じてトンネル接合磁気抵抗効果膜59の抵抗変化が引き起こされる。こういった抵抗変化は電流量の変化に変換される。電流量の変化に基づき磁気ディスク14から情報は読み出される。
書き込み素子56には単磁極ヘッドが用いられる。すなわち、書き込み素子56は主磁極63および補助磁極64を備える。主磁極63および補助磁極64はリアレール48の表面すなわち浮上面44で先端面を露出させる。浮上面44で補助磁極64のリーディング端にはトレーリングシールド65が区画される。トレーリングシールド65は主磁極63に向き合わせられる。主磁極63、補助磁極64およびトレーリングシールド65は例えばFeNやNiFe、NiFeB、CoFeBといった磁性材料から形成される。その他、主磁極はCoFe(コバルト鉄)から形成されてもよい。補助磁極64およびトレーリングシールド65はコバルトニッケル鉄(CoNiFe)から形成されてもよい。図7に示されるように、浮上面44から遠ざかった位置で補助磁極64および主磁極63の間には磁性連結片66が配置される。磁性連結片66は主磁極63に補助磁極64を接続する。主磁極63、磁性連結片66、補助磁極64およびトレーリングシールド65は磁性コアを形成する。磁性連結片66の周囲で、主磁極63の表面に平行な1平面に沿って磁気コイルすなわち薄膜コイルパターン67が形成される。
図8は一具体例に係る主磁極63の先端を概略的に示す。主磁極63は磁極先端片71を備える。磁極先端片71は同一の断面形状で先端面72から後方に延びる。先端面72は平坦面で構成される。先端面72は浮上面44で露出する。先端面72は露出面に相当する。
先端面72の輪郭は、逆台形の斜辺73および下辺74と、逆台形の上辺75の一端から他端まで延びる輪郭線76とで規定される。逆台形ではトレーリング側の上辺75に平行にリーディング側の下辺74が延びる。上辺75の長さは下辺74の長さよりも大きく設定される。上辺75の両端と下辺74の両端とはそれぞれ斜辺73、73で接続される。2つの斜辺73の長さは等しく設定される。
輪郭線76は斜辺73の延長線78、78よりも内側で逆台形の上辺75よりもトレーリング側に膨らむ。輪郭線76は多角線で構成される。膨らみの形成にあたって輪郭線76の各頂角は上辺75の中点を中心に描かれる半円の弧に沿って配置される。多角線の一辺は逆台形の上辺に平行に延びる。先端面72の輪郭は中心線で左右対称に描かれる。
薄膜コイルパターン67に電流が供給されると、薄膜コイルパターン67には磁束が生成される。磁束は磁性コア内を流通する。図9に示されるように、主磁極63から磁界は漏れ出る。漏れ出た磁界は磁性ドット28に作用する。その結果、個々の磁性ドット28で磁気ディスク14の表面に直交する垂直方向に磁化は確立される。磁化の向きは電流の向きで決定される。
いま、磁気ディスク14の半径方向中央位置で磁気ディスク14の表面に書き込み素子56が向き合わせられると、例えば図9(a)に示されるように、先端面72の輪郭の中心線81はダウントラック方向に平行に延びる。いわゆるヨー角は「0(ゼロ)」度に設定される。ここでは、磁界の広がり82が磁性ドット28に部分的でも重なると、磁性ドット28の磁化は確立される。こうした重なりの間に薄膜コイルパターン67に供給される電流の向きが切り替えられると、磁性ドット28の磁化は反転する。したがって、磁界の広がり82が磁性ドット28に接する状態では磁性ドット28の磁化が磁界の広がり82の影響から脱却した範囲で先端面72は磁性ドット28に最大限に接近する。磁性ドット28aの磁化後に磁性ドット28aが磁界の広がり82の影響から脱却した瞬間に特定される先端面72の位置と、次の磁性ドット28bの磁化後に磁性ドット28bが磁界の広がり82の影響から脱却した瞬間に特定される先端面72の位置との間でいわゆるライトマージンWMは規定される。
いま、磁気ディスク14の最外周トラックに書き込み素子56が向き合わせられると、例えば図9(b)に示されるように、先端面72の輪郭の中心線81はダウントラック方向から所定の角度αで傾斜する。いわゆるヨー角(=α)が設定される。この場合でも、輪郭線76は斜辺73の延長線よりも内側で上辺75よりもトレーシング側に膨らむことから、十分なライトマージンWMは確保される。先端面72の輪郭線76の働きでライトマージンWMの減少は効果的に回避されることができる。輪郭線76の膨らみが増大すればするほど、ライトマージンWMは増大する。輪郭線76は、少なくとも上辺75の中点を中心に描かれる円弧に沿って延びることが望まれる。輪郭線76はそういった円弧に内接すればよい。こういった構成によれば、ヨー角の増大に拘わらずライトマージンWMは一定に維持されることができる。その一方で、例えば図10に示されるように、主磁極の先端面101が単純な逆台形に形成されると、磁界の広がり102は対応の形状に規定される。ヨー角が増大するにつれて、上辺および斜辺の隅に応じてライトマージンWMは著しく減少してしまう。
次に主磁極63の製造方法を簡単に説明する。まず、図11に示されるように、主磁極層83は削り出される。削り出しにあたって例えば非磁性の平坦面84上で磁性材料のべた膜が形成される。べた膜の表面にはレジスト膜が形成される。レジスト膜は主磁極63の輪郭を象る。レジスト膜の周囲で磁性材料が除去されると、主磁極層83は形成される。磁性材料の除去にあたって例えばエッチング処理が施されればよい。磁極先端片71用の素材片85では、既知のとおり、イオンの照射角度に応じて逆台形の断面形状が確立される。
その後、図12(a)に示されるように、磁極先端片71用の素材片85上にはレジスト膜86が形成される。レジスト膜86は、素材片85の全長にわたって中心線に沿って延びる。中心線は断面形状の上辺87の中点88の集合体で構成される。素材片85の全長にわたって上辺87の両端の集合体で構成される稜線89とレジスト膜86との間で素材片85の表面は露出する。所定の傾斜角でイオン91が照射されると、図12(b)に示されるように、素材片85の全長にわたって面取りが実現される。この面取りで断面形状には前述の逆台形(上辺75、下辺74および斜辺73)と台形との結合体が規定される。逆台形の上辺75と台形の下辺とは共有される。台形では上辺92は下辺75に平行に延びる。上辺92の長さは下辺75の長さよりも小さい。その結果、素材片85には第1稜線93および第2稜線94が確立される。第1稜線93は台形の上辺92の両端の集合体で構成される。第2稜線94は台形の下辺75の両端の集合体で構成される。
その後、図12(c)に示されるように、さらにレジスト膜95が形成される。レジスト膜95は素材片85の全長にわたって第1稜線93を露出する。イオン96が照射されると、図12(d)に示されるように、第1稜線93は削り取られる。面取りが施される。こうして前述の先端面72は確立される。主磁極63は形成される。なお、こうした磁極先端片71の形成にあたって素材片85以外で主磁極層83はレジスト膜に覆われ続ければよい。
先端面72の形状は前述の形状に限定されるものではない。例えば図13(a)に示されるように、輪郭線76は、逆台形の上辺75の中点75aを中心に描かれる半円の弧であってもよい。その他、例えば図13(b)に示されるように、輪郭線76は、台形の上辺97および斜辺98であってもよい。このとき、台形では上辺97は下辺75に平行に延びる。台形の下辺75は逆台形の上辺75に一致する。その他、例えば図13(c)に示されるように、輪郭線76は、逆台形の上辺75の両端から垂直に立ち上がる1辺99を含む多角線で構成されてもよい。
11 磁気記憶装置(ハードディスク駆動装置)、12 ハウジング、14 磁気記憶媒体(磁気ディスク)、25 記録トラック、28 磁性ドット、44 浮上面、56 磁気記録ヘッド(書き込み素子)、72 露出面(先端面)、75 上辺、74 下辺、73 斜辺、76 輪郭線。

Claims (8)

  1. トレーリング側の上辺、および、前記上辺に平行に延び前記上辺よりも短いリーディング側の下辺を有する台形の斜辺および下辺と、前記上辺の一端から他端まで延び、前記斜辺の延長線よりも内側で前記上辺よりもトレーリング側に膨らむ輪郭線とで浮上面に露出面を規定することを特徴とする磁気記録ヘッド。
  2. 請求項1に記載の磁気記録ヘッドにおいて、前記輪郭線は多角線であることを特徴とする磁気記録ヘッド。
  3. 請求項1に記載の磁気記録ヘッドにおいて、前記輪郭線は曲線であることを特徴とする磁気記録ヘッド。
  4. 請求項3に記載の磁気記録ヘッドにおいて、前記輪郭線は前記上辺の中点を中心に描かれる半円の弧であることを特徴とする磁気記録ヘッド。
  5. 筐体と、
    筐体に組み込まれて、千鳥配置の磁性ドットパターンで記録トラックを形成する磁気記憶媒体と、
    磁気記憶媒体に向き合わせられる磁気記録ヘッドとを備え、
    前記磁気記録ヘッドは、トレーリング側の上辺、および、前記上辺に平行に延び前記上辺よりも短いリーディング側の下辺を有する台形の斜辺および下辺と、前記上辺の一端から他端まで延び、前記斜辺の延長線よりも内側で前記上辺よりもトレーリング側に膨らむ輪郭線とで浮上面に露出面を規定することを特徴とする磁気記憶装置。
  6. 請求項5に記載の磁気記憶装置において、前記輪郭線は多角線であることを特徴とする磁気記憶装置。
  7. 請求項5に記載の磁気記憶装置において、前記輪郭線は曲線であることを特徴とする磁気記憶装置。
  8. 請求項7に記載の磁気記憶装置において、前記輪郭線は前記上辺の中点を中心に描かれる半円の弧であることを特徴とする磁気記憶装置。
JP2009102232A 2009-04-20 2009-04-20 磁気記録ヘッドおよび磁気記憶装置 Abandoned JP2010250919A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009102232A JP2010250919A (ja) 2009-04-20 2009-04-20 磁気記録ヘッドおよび磁気記憶装置
US12/761,109 US20100265616A1 (en) 2009-04-20 2010-04-15 Magnetic recording head and magnetic storage device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009102232A JP2010250919A (ja) 2009-04-20 2009-04-20 磁気記録ヘッドおよび磁気記憶装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010250919A true JP2010250919A (ja) 2010-11-04
JP2010250919A5 JP2010250919A5 (ja) 2010-12-16

Family

ID=42980804

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009102232A Abandoned JP2010250919A (ja) 2009-04-20 2009-04-20 磁気記録ヘッドおよび磁気記憶装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20100265616A1 (ja)
JP (1) JP2010250919A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012104191A (ja) * 2010-11-10 2012-05-31 Hitachi Ltd 磁気ヘッド及びそれを用いた磁気記録再生装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8848314B2 (en) 2011-12-07 2014-09-30 HGST Netherlands B.V. Write head designed for adjusting relative write phase between subtracks of a patterned media hypertrack
US8937783B2 (en) 2011-12-21 2015-01-20 HGST Netherlands B.V. Magnetic data recording system with improved servo capability for bit patterned recording
US9767831B1 (en) * 2015-12-01 2017-09-19 Western Digital (Fremont), Llc Magnetic writer having convex trailing surface pole and conformal write gap

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001236605A (ja) * 2000-02-17 2001-08-31 Tdk Corp 薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置
JP2003151103A (ja) * 2001-11-14 2003-05-23 Toshiba Corp 記録装置
JP2003242607A (ja) * 2002-02-14 2003-08-29 Hitachi Ltd 垂直記録用磁気ヘッド及びそれを搭載した磁気ディスク装置
JP2004046920A (ja) * 2002-07-09 2004-02-12 Hitachi Ltd 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置
JP2007220273A (ja) * 2006-02-15 2007-08-30 Samsung Electronics Co Ltd 垂直磁気ヘッド及びその製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020024755A1 (en) * 2000-04-10 2002-02-28 Kim Yong Su Method and apparatus for perpendicular magnetic recording
JP3866512B2 (ja) * 2000-12-26 2007-01-10 アルプス電気株式会社 垂直磁気記録ヘッドの製造方法
JP2006134507A (ja) * 2004-11-08 2006-05-25 Tdk Corp 磁気ヘッドの製造方法、磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ
US7398592B2 (en) * 2005-03-29 2008-07-15 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. Manufacturable CMP assisted liftoff process to fabricate write pole for perpendicular recording heads
JP2008204526A (ja) * 2007-02-19 2008-09-04 Fujitsu Ltd 磁気記録ヘッドの製造方法
US7796361B2 (en) * 2007-03-26 2010-09-14 Headway Technologies, Inc. Magnetic head for perpendicular magnetic recording and method of manufacturing same
JP5626713B2 (ja) * 2008-10-03 2014-11-19 エイチジーエスティーネザーランドビーブイ ヘッドスライダ、ヘッドアッセンブリ及び磁気ディスク装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001236605A (ja) * 2000-02-17 2001-08-31 Tdk Corp 薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置
JP2003151103A (ja) * 2001-11-14 2003-05-23 Toshiba Corp 記録装置
JP2003242607A (ja) * 2002-02-14 2003-08-29 Hitachi Ltd 垂直記録用磁気ヘッド及びそれを搭載した磁気ディスク装置
JP2004046920A (ja) * 2002-07-09 2004-02-12 Hitachi Ltd 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置
JP2007220273A (ja) * 2006-02-15 2007-08-30 Samsung Electronics Co Ltd 垂直磁気ヘッド及びその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012104191A (ja) * 2010-11-10 2012-05-31 Hitachi Ltd 磁気ヘッド及びそれを用いた磁気記録再生装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20100265616A1 (en) 2010-10-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7159302B2 (en) Method for manufacturing a perpendicular write head
US9047894B2 (en) Magnetic write head having spin torque oscillator that is self aligned with write pole
JP4686630B1 (ja) 磁気ヘッド、およびこれを備えたディスク装置
US8842395B2 (en) Magnetic sensor having an extended pinned layer and shape enhanced bias structure
JP2004118978A (ja) 薄膜磁気ヘッド
JP2006302421A (ja) 磁気ヘッドの製造方法及び磁気ヘッド
JP2007004964A (ja) 高いトラック横断分解能の読み取りヘッドおよび低ビットアスペクト比のディスクを有する磁気記録ディスクドライブ
JP2006244550A (ja) 記録媒体駆動装置並びにヘッド位置検出方法およびクロック信号生成方法
JP2010118099A (ja) 磁気ヘッド・スライダ及び磁気ヘッド・スライダの製造方法
JP2010250919A (ja) 磁気記録ヘッドおよび磁気記憶装置
JP2006048812A (ja) 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置
JP2005182897A (ja) 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法
JP2010108533A (ja) 磁気記録ヘッドおよび記憶装置
US7995308B2 (en) Magnetic head for perpendicular magnetic recording and method of manufacturing same, the magnetic head incuding pole layer and two shields sandwiching the pole layer
US20100039728A1 (en) Method of detecting position of head and storage apparatus
JP2010129142A (ja) 記憶媒体および記憶装置
JP2013143172A (ja) 記録ヘッド、およびこれを備えたディスク装置
WO2009118854A1 (ja) 記録媒体駆動装置および磁気記録媒体並びにヘッド素子の浮上量制御方法およびヘッド素子の浮上量制御回路
JP2008102976A (ja) ヘッドスライダおよび記憶媒体駆動装置
JP2010079970A (ja) 磁気記録ヘッド
JP2010287288A (ja) 磁気ヘッド、およびこれを備えたディスク装置
JP2008204502A (ja) 書き込みヘッドの位置決め方法
JP2010176739A (ja) 記憶装置
US20100142089A1 (en) Perpendicular magnetic storage medium and storage apparatus
JP2010009708A (ja) 磁気記憶装置および記憶媒体

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100913

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100913

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110419

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110607

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111213

A762 Written abandonment of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762

Effective date: 20120301