JPH09259408A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH09259408A JPH09259408A JP6586796A JP6586796A JPH09259408A JP H09259408 A JPH09259408 A JP H09259408A JP 6586796 A JP6586796 A JP 6586796A JP 6586796 A JP6586796 A JP 6586796A JP H09259408 A JPH09259408 A JP H09259408A
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- Japan
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- pole
- magnetic head
- film magnetic
- thin film
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁化パターンの記録されたトラックとギャッ
プとのなす角度(スキュ−角)の変化にかかわらず、ネ
ガティブパルスの再生出力を小さくする。 【解決手段】 上部ポール4および下部ポール2および
アルミナ層の端部(磁気ディスク装置に組み込まれた際
に記録媒体と摺動する面)は、上部ポール4および下部
ポール2が円形の島状になるように、イオンミリング法
等を用いて、数十nmから数百nmだけエッチング法に
より除去する。これにより、スキュー角が変化しても、
ポールエッジ部7はポール幅方向に対して湾曲している
ため、ポール幅の全域にわたってコンター効果が発生す
るタイミングを時間的に分散でき、ネガティブパルスの
再生出力(コンター効果に起因する再生出力をポール幅
方向に積分した値)を小さくできる。
プとのなす角度(スキュ−角)の変化にかかわらず、ネ
ガティブパルスの再生出力を小さくする。 【解決手段】 上部ポール4および下部ポール2および
アルミナ層の端部(磁気ディスク装置に組み込まれた際
に記録媒体と摺動する面)は、上部ポール4および下部
ポール2が円形の島状になるように、イオンミリング法
等を用いて、数十nmから数百nmだけエッチング法に
より除去する。これにより、スキュー角が変化しても、
ポールエッジ部7はポール幅方向に対して湾曲している
ため、ポール幅の全域にわたってコンター効果が発生す
るタイミングを時間的に分散でき、ネガティブパルスの
再生出力(コンター効果に起因する再生出力をポール幅
方向に積分した値)を小さくできる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
に搭載される薄膜磁気ヘッドに関し、特に薄膜磁気ヘッ
ドにおけるポールの記録媒体摺動面形状に関する。
に搭載される薄膜磁気ヘッドに関し、特に薄膜磁気ヘッ
ドにおけるポールの記録媒体摺動面形状に関する。
【0002】
【従来の技術】現在、磁気ディスク装置において、その
記録密度は年率50%程度の割合で上昇しており、それ
に伴って線記録密度,トラック記録密度を高める開発が
進められている。
記録密度は年率50%程度の割合で上昇しており、それ
に伴って線記録密度,トラック記録密度を高める開発が
進められている。
【0003】一方、薄膜磁気ヘッドは、高記録密度に適
した磁気ヘッドとして多く採用されているが、この薄膜
磁気ヘッドは、従来のバルク型磁気ヘッドと異なり有限
長ポールを有しているため、再生信号の孤立波形にポー
ルエッジ部のコンター効果に起因するネガティブパルス
が発生し、その結果、再生信号の周波数特性に波打ち現
象が発生することが広く知られている。
した磁気ヘッドとして多く採用されているが、この薄膜
磁気ヘッドは、従来のバルク型磁気ヘッドと異なり有限
長ポールを有しているため、再生信号の孤立波形にポー
ルエッジ部のコンター効果に起因するネガティブパルス
が発生し、その結果、再生信号の周波数特性に波打ち現
象が発生することが広く知られている。
【0004】また、Ching Tangらが発表した
1991年3月、アイ・イー・イー・イー・トランザク
ションズ・オン・マグネティックス、第27巻、第2号
(IEEE Transaction on Magnetics,Vol.27,No.2, March
1991)の「Time-Domain Study of Proximity-Effect In
duced Transition Shift」 に記述されるように、ネガテ
ィブパルスは、非線形ひずみにも影響を及ぼし、磁気デ
ィスク装置のリードエラーを引き起こす原因になること
も判明している。
1991年3月、アイ・イー・イー・イー・トランザク
ションズ・オン・マグネティックス、第27巻、第2号
(IEEE Transaction on Magnetics,Vol.27,No.2, March
1991)の「Time-Domain Study of Proximity-Effect In
duced Transition Shift」 に記述されるように、ネガテ
ィブパルスは、非線形ひずみにも影響を及ぼし、磁気デ
ィスク装置のリードエラーを引き起こす原因になること
も判明している。
【0005】また、薄膜磁気ヘッドのように、Ni−F
e合金などの強磁性体材料で形成されたポールのエッジ
部は、記録媒体の漏洩磁束がエッジ部に接近すると、そ
の漏洩磁束を引き寄せる作用があり、エッジ部からポー
ル内を通る磁束はギャップ部に誘導される。そして、ギ
ャップ部からポールを通る磁束と同様に扱われ、ネガテ
ィブパルスを再生する。この現象は一般にコンター効果
と呼ばれている。
e合金などの強磁性体材料で形成されたポールのエッジ
部は、記録媒体の漏洩磁束がエッジ部に接近すると、そ
の漏洩磁束を引き寄せる作用があり、エッジ部からポー
ル内を通る磁束はギャップ部に誘導される。そして、ギ
ャップ部からポールを通る磁束と同様に扱われ、ネガテ
ィブパルスを再生する。この現象は一般にコンター効果
と呼ばれている。
【0006】現在、薄膜磁気ヘッドにおいては、このコ
ンター効果を低減させる手段として、ポールトリムとい
う新しい技術が実用化されつつある。これは、例えば、
特願昭60−74111号公報および特願平4−243
008号公報に開示されているように、磁気ディスク媒
体との摺動面側からイオンミリング法等の加工手段を用
いて、ポール部を選択的にエッチングし、所望のポール
形状にトリミング加工するものである。この技術を採用
することにより、上述したネガティブパルスを低減する
ことができ、線記録密度を向上させることができる。ま
た、ポールトリムを行うことによってポール幅を狭くで
きるため、トラック記録密度を高めるのにも有効であ
る。
ンター効果を低減させる手段として、ポールトリムとい
う新しい技術が実用化されつつある。これは、例えば、
特願昭60−74111号公報および特願平4−243
008号公報に開示されているように、磁気ディスク媒
体との摺動面側からイオンミリング法等の加工手段を用
いて、ポール部を選択的にエッチングし、所望のポール
形状にトリミング加工するものである。この技術を採用
することにより、上述したネガティブパルスを低減する
ことができ、線記録密度を向上させることができる。ま
た、ポールトリムを行うことによってポール幅を狭くで
きるため、トラック記録密度を高めるのにも有効であ
る。
【0007】図4は、従来の薄膜磁気ヘッドにおけるポ
ールの一例を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図であ
り、また、図5は、別の従来例である。
ールの一例を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図であ
り、また、図5は、別の従来例である。
【0008】図4,図5を参照すると、従来の薄膜磁気
ヘッドは、はアルミナ層11に隣接する下部ポール12
と、下部ポール12に隣接するギャップ13と、ギャッ
プ13に隣接して下部ポール12に対向する上部ポール
14と、下部ポール12と上部ポール14との間に絶縁
層を介して形成されるコイル(図示せず)とを備えて構
成される。このとき、上部ポール14のポール幅は、製
造上の理由から下部ポール12のポール幅に比較して小
さい(狭い)のが一般的である。
ヘッドは、はアルミナ層11に隣接する下部ポール12
と、下部ポール12に隣接するギャップ13と、ギャッ
プ13に隣接して下部ポール12に対向する上部ポール
14と、下部ポール12と上部ポール14との間に絶縁
層を介して形成されるコイル(図示せず)とを備えて構
成される。このとき、上部ポール14のポール幅は、製
造上の理由から下部ポール12のポール幅に比較して小
さい(狭い)のが一般的である。
【0009】次に、下部ポール12,上部ポール14お
よびアルミナ層11の端部、すなわち、磁気ディスク装
置に組み込まれた際に記録媒体(図示せず)と摺動する
面は、下部ポール12および上部ポール14が、例え
ば、ひし形の島状(図4参照)や、6角形の島状(図5
参照)になるように、その周辺が所定の厚さ分だけ除去
されている。具体的には、数十nmから数百nmの厚さ
だけ除去されている。
よびアルミナ層11の端部、すなわち、磁気ディスク装
置に組み込まれた際に記録媒体(図示せず)と摺動する
面は、下部ポール12および上部ポール14が、例え
ば、ひし形の島状(図4参照)や、6角形の島状(図5
参照)になるように、その周辺が所定の厚さ分だけ除去
されている。具体的には、数十nmから数百nmの厚さ
だけ除去されている。
【0010】このようにして作製された薄膜磁気ヘッド
では、ネガティブパルスの再生出力は、ポールのエッジ
部の微少領域におけるコンター効果に起因する再生出力
を、ポール幅方向に積分した値に一致する。例えば、図
4に示した従来の薄膜磁気ヘッドのポールエッジ部は、
ギャップに対してθ1 度だけ斜めにトリミングされてい
るため、ポールエッジ部17aの微少領域ごとにコンタ
ー効果が発生するタイミングが時間的にずれる。すなわ
ち、コンター効果が起こるタイミングが時間的に分散す
るため、ネガティブパルスの再生出力を小さくすること
ができる。
では、ネガティブパルスの再生出力は、ポールのエッジ
部の微少領域におけるコンター効果に起因する再生出力
を、ポール幅方向に積分した値に一致する。例えば、図
4に示した従来の薄膜磁気ヘッドのポールエッジ部は、
ギャップに対してθ1 度だけ斜めにトリミングされてい
るため、ポールエッジ部17aの微少領域ごとにコンタ
ー効果が発生するタイミングが時間的にずれる。すなわ
ち、コンター効果が起こるタイミングが時間的に分散す
るため、ネガティブパルスの再生出力を小さくすること
ができる。
【0011】ところが、この薄膜磁気ヘッドのギャップ
13と記録媒体の磁化パターンの記録されたトラックと
のなす角度(スキュ−角)がθ1 度であるとき、すなわ
ち、記録媒体のトラックがトリミングされたポールエッ
ジ部17aのラインと直交するときは、ポール幅の全域
にわたってコンター効果が発生するタイミングが時間的
に同じになるため、ネガティブパルスの再生出力を十分
に小さくすることができないという問題がある。また、
図5に示した別の従来例においても、スキュー角がθ2
度になると、記録媒体のトラックがポールエッジ部17
bのラインと直交し、同様の問題が生じる。
13と記録媒体の磁化パターンの記録されたトラックと
のなす角度(スキュ−角)がθ1 度であるとき、すなわ
ち、記録媒体のトラックがトリミングされたポールエッ
ジ部17aのラインと直交するときは、ポール幅の全域
にわたってコンター効果が発生するタイミングが時間的
に同じになるため、ネガティブパルスの再生出力を十分
に小さくすることができないという問題がある。また、
図5に示した別の従来例においても、スキュー角がθ2
度になると、記録媒体のトラックがポールエッジ部17
bのラインと直交し、同様の問題が生じる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の薄膜磁
気ヘッドは、磁化パターンの記録されたトラックがトリ
ミングされたポールエッジラインと直交するときに、ポ
ール幅全域にわたってコンター効果が発生するタイミン
グが時間的に同じになるため、コンター効果に起因する
再生出力をポール幅方向に積分した値が、そのタイミン
グにおいて無視できないほど大きくなる。そのため、ネ
ガティブパルスの再生出力を十分に小さくできず非線形
ひずみが悪化し、磁気ディスク装置のリードエラーが発
生しやすく、また、高線記録密度化をはかれないという
欠点がある。
気ヘッドは、磁化パターンの記録されたトラックがトリ
ミングされたポールエッジラインと直交するときに、ポ
ール幅全域にわたってコンター効果が発生するタイミン
グが時間的に同じになるため、コンター効果に起因する
再生出力をポール幅方向に積分した値が、そのタイミン
グにおいて無視できないほど大きくなる。そのため、ネ
ガティブパルスの再生出力を十分に小さくできず非線形
ひずみが悪化し、磁気ディスク装置のリードエラーが発
生しやすく、また、高線記録密度化をはかれないという
欠点がある。
【0013】本発明の目的は、薄膜磁気ヘッドのギャッ
プと記録媒体の磁化パターンの記録されたトラックとの
なす角度(スキュ−角)の変化にかかわらず、ネガティ
ブパルスの再生出力の小さい薄膜磁気ヘッドを提供する
ことにある。
プと記録媒体の磁化パターンの記録されたトラックとの
なす角度(スキュ−角)の変化にかかわらず、ネガティ
ブパルスの再生出力の小さい薄膜磁気ヘッドを提供する
ことにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は、アルミナ層に
隣接する下部ポールと、前記下部ポールに隣接するギャ
ップと、前記ギャップに隣接して前記下部ポールに対向
する上部ポールと、前記下部ポールと前記上部ポールと
の間に絶縁層を介して形成されるコイルとを備え、記録
媒体摺動面の方向から前記上部ポール,前記下部ポール
およびアルミナ層が島状になるようにその周辺が所定の
厚さで除去されている薄膜磁気ヘッドにおいて、前記島
状の部分を円形に形成したことを特徴とする。また、前
記円形が、曲線で囲まれる形状でもよく、さらに、複数
の円弧からなってもよい。
隣接する下部ポールと、前記下部ポールに隣接するギャ
ップと、前記ギャップに隣接して前記下部ポールに対向
する上部ポールと、前記下部ポールと前記上部ポールと
の間に絶縁層を介して形成されるコイルとを備え、記録
媒体摺動面の方向から前記上部ポール,前記下部ポール
およびアルミナ層が島状になるようにその周辺が所定の
厚さで除去されている薄膜磁気ヘッドにおいて、前記島
状の部分を円形に形成したことを特徴とする。また、前
記円形が、曲線で囲まれる形状でもよく、さらに、複数
の円弧からなってもよい。
【0015】本発明の薄膜磁気ヘッドでは、ポールのエ
ッジ部はポール幅方向に対し円形状に湾曲しているた
め、スキュ−角が変化してもポール幅の全域にわたって
コンター効果が発生するタイミングに時間的なずれを生
じ、ネガティブパルスの再生出力(コンター効果に起因
する再生出力をポール幅方向に積分した値)は、コンタ
ー効果が起こるタイミングが時間的に分散し、無視でき
る程度に小さくなる。
ッジ部はポール幅方向に対し円形状に湾曲しているた
め、スキュ−角が変化してもポール幅の全域にわたって
コンター効果が発生するタイミングに時間的なずれを生
じ、ネガティブパルスの再生出力(コンター効果に起因
する再生出力をポール幅方向に積分した値)は、コンタ
ー効果が起こるタイミングが時間的に分散し、無視でき
る程度に小さくなる。
【0016】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【0017】図1は、本発明の一実施の形態を示す薄膜
磁気ヘッドのポールを記録媒体摺動面側から見た部分拡
大図である。また、図2は、図1のA−A′線断面図で
ある。
磁気ヘッドのポールを記録媒体摺動面側から見た部分拡
大図である。また、図2は、図1のA−A′線断面図で
ある。
【0018】図1,図2を参照すると、本実施例の薄膜
磁気ヘッドは、アルミナ層1に隣接する下部ポール2
と、下部ポール2に隣接するギャップ3と、ギャップ3
に隣接して下部ポール2に対向する上部ポール4と、下
部ポール2と上部ポール4との間に絶縁層5を介して形
成されるコイル6とを備えて構成される。
磁気ヘッドは、アルミナ層1に隣接する下部ポール2
と、下部ポール2に隣接するギャップ3と、ギャップ3
に隣接して下部ポール2に対向する上部ポール4と、下
部ポール2と上部ポール4との間に絶縁層5を介して形
成されるコイル6とを備えて構成される。
【0019】上部ポール4の幅は、製造上の理由から下
部ポール2の幅に比較して小さいのが一般的である。そ
して、本実施例では、上部ポール4および下部ポール2
およびアルミナ層1の端部、すなわち、磁気ディスク装
置に組み込まれた際に記録媒体と摺動する面は、下部ポ
ール4,下部ポール2およびアルミナ層1が円形の島状
になるように、その周辺が所定の厚さだけ除去されてい
る。
部ポール2の幅に比較して小さいのが一般的である。そ
して、本実施例では、上部ポール4および下部ポール2
およびアルミナ層1の端部、すなわち、磁気ディスク装
置に組み込まれた際に記録媒体と摺動する面は、下部ポ
ール4,下部ポール2およびアルミナ層1が円形の島状
になるように、その周辺が所定の厚さだけ除去されてい
る。
【0020】この島状の形成については、周知の技術を
用いて、例えば、円形の島状のマスクで上部ポール4お
よび下部ポール2を保護した後、イオンミリング法等の
手段を用い、マスクで保護されていない部分の上部ポー
ル4,下部ポール2およびアルミナ層1を数十nmから
数百nm(図2の符号dで示す)だけエッチングを行っ
て除去する。
用いて、例えば、円形の島状のマスクで上部ポール4お
よび下部ポール2を保護した後、イオンミリング法等の
手段を用い、マスクで保護されていない部分の上部ポー
ル4,下部ポール2およびアルミナ層1を数十nmから
数百nm(図2の符号dで示す)だけエッチングを行っ
て除去する。
【0021】次に、本発明の薄膜磁気ヘッドの動作につ
いて説明する。
いて説明する。
【0022】前述したように、薄膜磁気ヘッドにおける
ネガティブパルスの再生出力は、ポールエッジ部7の微
少領域におけるコンター効果に起因する再生出力をポー
ル幅方向に積分した値に一致するが、本発明の薄膜磁気
ヘッドのポールエッジ部7は、ポール幅方向に対して円
形状に湾曲しているため、ポール幅全域にわたってコン
ター効果が発生するタイミングが時間的にずれる。すな
わち、コンター効果が起こるタイミングが時間的に分散
し、ネガティブパルスの再生出力を小さく抑えることが
できる。
ネガティブパルスの再生出力は、ポールエッジ部7の微
少領域におけるコンター効果に起因する再生出力をポー
ル幅方向に積分した値に一致するが、本発明の薄膜磁気
ヘッドのポールエッジ部7は、ポール幅方向に対して円
形状に湾曲しているため、ポール幅全域にわたってコン
ター効果が発生するタイミングが時間的にずれる。すな
わち、コンター効果が起こるタイミングが時間的に分散
し、ネガティブパルスの再生出力を小さく抑えることが
できる。
【0023】また、ポールエッジ部7は、たとえ、ギャ
ップ3と記録媒体の磁化パターンの記録されたトラック
とのなす角度(スキュ−角)が変化しても、ポール幅方
向に対して湾曲しているため、ネガティブパルスの再生
動作は前述した動作と何ら変わることがない。すなわ
ち、本発明の薄膜磁気ヘッドは、スキュー角に何ら依存
することなく、ネガティブパルスの再生出力を小さく抑
えることができる。
ップ3と記録媒体の磁化パターンの記録されたトラック
とのなす角度(スキュ−角)が変化しても、ポール幅方
向に対して湾曲しているため、ネガティブパルスの再生
動作は前述した動作と何ら変わることがない。すなわ
ち、本発明の薄膜磁気ヘッドは、スキュー角に何ら依存
することなく、ネガティブパルスの再生出力を小さく抑
えることができる。
【0024】なお、本実施例では、ポールのトリム形状
は円形であるが、曲線で囲まれる形状であれば同等の効
果があることは明白である。また、図3に示すように、
複数の円弧で構成される形状にトリミングしてもよい。
は円形であるが、曲線で囲まれる形状であれば同等の効
果があることは明白である。また、図3に示すように、
複数の円弧で構成される形状にトリミングしてもよい。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように本発明の薄膜磁気ヘ
ッドでは、ポールエッジ部はポール幅方向に対して円形
状に湾曲しているため、磁化パターンの記録されたトラ
ックとギャップとのなす角度(スキュ−角)が変化して
も、ネガティブパルスの再生出力(コンター効果に起因
する再生出力をポール幅方向に積分した値)は、コンタ
ー効果が起こるタイミングが時間的に分散してずれるた
め、ネガティブパルスの再生出力を小さくできるという
効果がある。
ッドでは、ポールエッジ部はポール幅方向に対して円形
状に湾曲しているため、磁化パターンの記録されたトラ
ックとギャップとのなす角度(スキュ−角)が変化して
も、ネガティブパルスの再生出力(コンター効果に起因
する再生出力をポール幅方向に積分した値)は、コンタ
ー効果が起こるタイミングが時間的に分散してずれるた
め、ネガティブパルスの再生出力を小さくできるという
効果がある。
【0026】これにより、非線形ひずみが悪化すること
もなく、磁気ディスク装置のリードエラーの低減および
高線記録密度化が可能となる。
もなく、磁気ディスク装置のリードエラーの低減および
高線記録密度化が可能となる。
【図1】本発明の一実施の形態を示す薄膜磁気ヘッドの
ポール部を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図であ
る。
ポール部を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図であ
る。
【図2】図1のA−A′線断面図である。
【図3】本発明の別の実施の形態を示す薄膜磁気ヘッド
のポール部を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図であ
る。
のポール部を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図であ
る。
【図4】従来の薄膜磁気ヘッドにおけるポール部の一例
を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図である。
を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図である。
【図5】従来の薄膜磁気ヘッドにおけるポール部の別の
例を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図である。
例を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図である。
1 11 アルミナ層 2,12 下部ポール 3 13 ギャップ 4,14 上部ポール 5 絶縁層 6 コイル 7,17a,17b ポールエッジ部
Claims (3)
- 【請求項1】 アルミナ層に隣接する下部ポールと、前
記下部ポールに隣接するギャップと、前記ギャップに隣
接して前記下部ポールに対向する上部ポールと、前記下
部ポールと前記上部ポールとの間に絶縁層を介して形成
されるコイルとを備え、記録媒体摺動面の方向から前記
上部ポール,前記下部ポールおよびアルミナ層が島状に
なるようにその周辺が所定の厚さで除去されている薄膜
磁気ヘッドにおいて、前記島状の部分を円形に形成した
ことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項2】 前記円形が、曲線で囲まれる形状である
ことを特徴とする特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項3】 前記曲線で囲まれる形状が複数の円弧か
らなることを特徴とする請求項2記載の薄膜磁気ヘッ
ド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6586796A JPH09259408A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6586796A JPH09259408A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09259408A true JPH09259408A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=13299380
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6586796A Pending JPH09259408A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09259408A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6631054B2 (en) * | 2000-02-17 | 2003-10-07 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head, a magnetic head device, a magnetic disk drive device, and a method for manufacturing a thin film magnetic device |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03263603A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-25 | Alps Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
JPH05334624A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Sony Corp | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
-
1996
- 1996-03-22 JP JP6586796A patent/JPH09259408A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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JPH03263603A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-25 | Alps Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
JPH05334624A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Sony Corp | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980331 |