JPH09259408A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH09259408A JPH09259408A JP6586796A JP6586796A JPH09259408A JP H09259408 A JPH09259408 A JP H09259408A JP 6586796 A JP6586796 A JP 6586796A JP 6586796 A JP6586796 A JP 6586796A JP H09259408 A JPH09259408 A JP H09259408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pole
- magnetic head
- film magnetic
- thin film
- lower pole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁化パターンの記録されたトラックとギャッ
プとのなす角度（スキュ−角）の変化にかかわらず、ネ
ガティブパルスの再生出力を小さくする。 【解決手段】 上部ポール４および下部ポール２および
アルミナ層の端部（磁気ディスク装置に組み込まれた際
に記録媒体と摺動する面）は、上部ポール４および下部
ポール２が円形の島状になるように、イオンミリング法
等を用いて、数十ｎｍから数百ｎｍだけエッチング法に
より除去する。これにより、スキュー角が変化しても、
ポールエッジ部７はポール幅方向に対して湾曲している
ため、ポール幅の全域にわたってコンター効果が発生す
るタイミングを時間的に分散でき、ネガティブパルスの
再生出力（コンター効果に起因する再生出力をポール幅
方向に積分した値）を小さくできる。
プとのなす角度（スキュ−角）の変化にかかわらず、ネ
ガティブパルスの再生出力を小さくする。 【解決手段】 上部ポール４および下部ポール２および
アルミナ層の端部（磁気ディスク装置に組み込まれた際
に記録媒体と摺動する面）は、上部ポール４および下部
ポール２が円形の島状になるように、イオンミリング法
等を用いて、数十ｎｍから数百ｎｍだけエッチング法に
より除去する。これにより、スキュー角が変化しても、
ポールエッジ部７はポール幅方向に対して湾曲している
ため、ポール幅の全域にわたってコンター効果が発生す
るタイミングを時間的に分散でき、ネガティブパルスの
再生出力（コンター効果に起因する再生出力をポール幅
方向に積分した値）を小さくできる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
に搭載される薄膜磁気ヘッドに関し、特に薄膜磁気ヘッ
ドにおけるポールの記録媒体摺動面形状に関する。
に搭載される薄膜磁気ヘッドに関し、特に薄膜磁気ヘッ
ドにおけるポールの記録媒体摺動面形状に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、磁気ディスク装置において、その
記録密度は年率５０％程度の割合で上昇しており、それ
に伴って線記録密度，トラック記録密度を高める開発が
進められている。
記録密度は年率５０％程度の割合で上昇しており、それ
に伴って線記録密度，トラック記録密度を高める開発が
進められている。
【０００３】一方、薄膜磁気ヘッドは、高記録密度に適
した磁気ヘッドとして多く採用されているが、この薄膜
磁気ヘッドは、従来のバルク型磁気ヘッドと異なり有限
長ポールを有しているため、再生信号の孤立波形にポー
ルエッジ部のコンター効果に起因するネガティブパルス
が発生し、その結果、再生信号の周波数特性に波打ち現
象が発生することが広く知られている。
した磁気ヘッドとして多く採用されているが、この薄膜
磁気ヘッドは、従来のバルク型磁気ヘッドと異なり有限
長ポールを有しているため、再生信号の孤立波形にポー
ルエッジ部のコンター効果に起因するネガティブパルス
が発生し、その結果、再生信号の周波数特性に波打ち現
象が発生することが広く知られている。
【０００４】また、Ｃｈｉｎｇ Ｔａｎｇらが発表した
１９９１年３月、アイ・イー・イー・イー・トランザク
ションズ・オン・マグネティックス、第２７巻、第２号
(IEEE Transaction on Magnetics,Vol.27,No.2, March
1991)の「Time-Domain Study of Proximity-Effect In
duced Transition Shift」 に記述されるように、ネガテ
ィブパルスは、非線形ひずみにも影響を及ぼし、磁気デ
ィスク装置のリードエラーを引き起こす原因になること
も判明している。
１９９１年３月、アイ・イー・イー・イー・トランザク
ションズ・オン・マグネティックス、第２７巻、第２号
(IEEE Transaction on Magnetics,Vol.27,No.2, March
1991)の「Time-Domain Study of Proximity-Effect In
duced Transition Shift」 に記述されるように、ネガテ
ィブパルスは、非線形ひずみにも影響を及ぼし、磁気デ
ィスク装置のリードエラーを引き起こす原因になること
も判明している。
【０００５】また、薄膜磁気ヘッドのように、Ｎｉ−Ｆ
ｅ合金などの強磁性体材料で形成されたポールのエッジ
部は、記録媒体の漏洩磁束がエッジ部に接近すると、そ
の漏洩磁束を引き寄せる作用があり、エッジ部からポー
ル内を通る磁束はギャップ部に誘導される。そして、ギ
ャップ部からポールを通る磁束と同様に扱われ、ネガテ
ィブパルスを再生する。この現象は一般にコンター効果
と呼ばれている。
ｅ合金などの強磁性体材料で形成されたポールのエッジ
部は、記録媒体の漏洩磁束がエッジ部に接近すると、そ
の漏洩磁束を引き寄せる作用があり、エッジ部からポー
ル内を通る磁束はギャップ部に誘導される。そして、ギ
ャップ部からポールを通る磁束と同様に扱われ、ネガテ
ィブパルスを再生する。この現象は一般にコンター効果
と呼ばれている。
【０００６】現在、薄膜磁気ヘッドにおいては、このコ
ンター効果を低減させる手段として、ポールトリムとい
う新しい技術が実用化されつつある。これは、例えば、
特願昭６０−７４１１１号公報および特願平４−２４３
００８号公報に開示されているように、磁気ディスク媒
体との摺動面側からイオンミリング法等の加工手段を用
いて、ポール部を選択的にエッチングし、所望のポール
形状にトリミング加工するものである。この技術を採用
することにより、上述したネガティブパルスを低減する
ことができ、線記録密度を向上させることができる。ま
た、ポールトリムを行うことによってポール幅を狭くで
きるため、トラック記録密度を高めるのにも有効であ
る。
ンター効果を低減させる手段として、ポールトリムとい
う新しい技術が実用化されつつある。これは、例えば、
特願昭６０−７４１１１号公報および特願平４−２４３
００８号公報に開示されているように、磁気ディスク媒
体との摺動面側からイオンミリング法等の加工手段を用
いて、ポール部を選択的にエッチングし、所望のポール
形状にトリミング加工するものである。この技術を採用
することにより、上述したネガティブパルスを低減する
ことができ、線記録密度を向上させることができる。ま
た、ポールトリムを行うことによってポール幅を狭くで
きるため、トラック記録密度を高めるのにも有効であ
る。
【０００７】図４は、従来の薄膜磁気ヘッドにおけるポ
ールの一例を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図であ
り、また、図５は、別の従来例である。
ールの一例を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図であ
り、また、図５は、別の従来例である。
【０００８】図４，図５を参照すると、従来の薄膜磁気
ヘッドは、はアルミナ層１１に隣接する下部ポール１２
と、下部ポール１２に隣接するギャップ１３と、ギャッ
プ１３に隣接して下部ポール１２に対向する上部ポール
１４と、下部ポール１２と上部ポール１４との間に絶縁
層を介して形成されるコイル（図示せず）とを備えて構
成される。このとき、上部ポール１４のポール幅は、製
造上の理由から下部ポール１２のポール幅に比較して小
さい（狭い）のが一般的である。
ヘッドは、はアルミナ層１１に隣接する下部ポール１２
と、下部ポール１２に隣接するギャップ１３と、ギャッ
プ１３に隣接して下部ポール１２に対向する上部ポール
１４と、下部ポール１２と上部ポール１４との間に絶縁
層を介して形成されるコイル（図示せず）とを備えて構
成される。このとき、上部ポール１４のポール幅は、製
造上の理由から下部ポール１２のポール幅に比較して小
さい（狭い）のが一般的である。
【０００９】次に、下部ポール１２，上部ポール１４お
よびアルミナ層１１の端部、すなわち、磁気ディスク装
置に組み込まれた際に記録媒体（図示せず）と摺動する
面は、下部ポール１２および上部ポール１４が、例え
ば、ひし形の島状（図４参照）や、６角形の島状（図５
参照）になるように、その周辺が所定の厚さ分だけ除去
されている。具体的には、数十ｎｍから数百ｎｍの厚さ
だけ除去されている。
よびアルミナ層１１の端部、すなわち、磁気ディスク装
置に組み込まれた際に記録媒体（図示せず）と摺動する
面は、下部ポール１２および上部ポール１４が、例え
ば、ひし形の島状（図４参照）や、６角形の島状（図５
参照）になるように、その周辺が所定の厚さ分だけ除去
されている。具体的には、数十ｎｍから数百ｎｍの厚さ
だけ除去されている。
【００１０】このようにして作製された薄膜磁気ヘッド
では、ネガティブパルスの再生出力は、ポールのエッジ
部の微少領域におけるコンター効果に起因する再生出力
を、ポール幅方向に積分した値に一致する。例えば、図
４に示した従来の薄膜磁気ヘッドのポールエッジ部は、
ギャップに対してθ1 度だけ斜めにトリミングされてい
るため、ポールエッジ部１７ａの微少領域ごとにコンタ
ー効果が発生するタイミングが時間的にずれる。すなわ
ち、コンター効果が起こるタイミングが時間的に分散す
るため、ネガティブパルスの再生出力を小さくすること
ができる。
では、ネガティブパルスの再生出力は、ポールのエッジ
部の微少領域におけるコンター効果に起因する再生出力
を、ポール幅方向に積分した値に一致する。例えば、図
４に示した従来の薄膜磁気ヘッドのポールエッジ部は、
ギャップに対してθ1 度だけ斜めにトリミングされてい
るため、ポールエッジ部１７ａの微少領域ごとにコンタ
ー効果が発生するタイミングが時間的にずれる。すなわ
ち、コンター効果が起こるタイミングが時間的に分散す
るため、ネガティブパルスの再生出力を小さくすること
ができる。
【００１１】ところが、この薄膜磁気ヘッドのギャップ
１３と記録媒体の磁化パターンの記録されたトラックと
のなす角度（スキュ−角）がθ1 度であるとき、すなわ
ち、記録媒体のトラックがトリミングされたポールエッ
ジ部１７ａのラインと直交するときは、ポール幅の全域
にわたってコンター効果が発生するタイミングが時間的
に同じになるため、ネガティブパルスの再生出力を十分
に小さくすることができないという問題がある。また、
図５に示した別の従来例においても、スキュー角がθ2
度になると、記録媒体のトラックがポールエッジ部１７
ｂのラインと直交し、同様の問題が生じる。
１３と記録媒体の磁化パターンの記録されたトラックと
のなす角度（スキュ−角）がθ1 度であるとき、すなわ
ち、記録媒体のトラックがトリミングされたポールエッ
ジ部１７ａのラインと直交するときは、ポール幅の全域
にわたってコンター効果が発生するタイミングが時間的
に同じになるため、ネガティブパルスの再生出力を十分
に小さくすることができないという問題がある。また、
図５に示した別の従来例においても、スキュー角がθ2
度になると、記録媒体のトラックがポールエッジ部１７
ｂのラインと直交し、同様の問題が生じる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の薄膜磁
気ヘッドは、磁化パターンの記録されたトラックがトリ
ミングされたポールエッジラインと直交するときに、ポ
ール幅全域にわたってコンター効果が発生するタイミン
グが時間的に同じになるため、コンター効果に起因する
再生出力をポール幅方向に積分した値が、そのタイミン
グにおいて無視できないほど大きくなる。そのため、ネ
ガティブパルスの再生出力を十分に小さくできず非線形
ひずみが悪化し、磁気ディスク装置のリードエラーが発
生しやすく、また、高線記録密度化をはかれないという
欠点がある。
気ヘッドは、磁化パターンの記録されたトラックがトリ
ミングされたポールエッジラインと直交するときに、ポ
ール幅全域にわたってコンター効果が発生するタイミン
グが時間的に同じになるため、コンター効果に起因する
再生出力をポール幅方向に積分した値が、そのタイミン
グにおいて無視できないほど大きくなる。そのため、ネ
ガティブパルスの再生出力を十分に小さくできず非線形
ひずみが悪化し、磁気ディスク装置のリードエラーが発
生しやすく、また、高線記録密度化をはかれないという
欠点がある。
【００１３】本発明の目的は、薄膜磁気ヘッドのギャッ
プと記録媒体の磁化パターンの記録されたトラックとの
なす角度（スキュ−角）の変化にかかわらず、ネガティ
ブパルスの再生出力の小さい薄膜磁気ヘッドを提供する
ことにある。
プと記録媒体の磁化パターンの記録されたトラックとの
なす角度（スキュ−角）の変化にかかわらず、ネガティ
ブパルスの再生出力の小さい薄膜磁気ヘッドを提供する
ことにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は、アルミナ層に
隣接する下部ポールと、前記下部ポールに隣接するギャ
ップと、前記ギャップに隣接して前記下部ポールに対向
する上部ポールと、前記下部ポールと前記上部ポールと
の間に絶縁層を介して形成されるコイルとを備え、記録
媒体摺動面の方向から前記上部ポール，前記下部ポール
およびアルミナ層が島状になるようにその周辺が所定の
厚さで除去されている薄膜磁気ヘッドにおいて、前記島
状の部分を円形に形成したことを特徴とする。また、前
記円形が、曲線で囲まれる形状でもよく、さらに、複数
の円弧からなってもよい。
隣接する下部ポールと、前記下部ポールに隣接するギャ
ップと、前記ギャップに隣接して前記下部ポールに対向
する上部ポールと、前記下部ポールと前記上部ポールと
の間に絶縁層を介して形成されるコイルとを備え、記録
媒体摺動面の方向から前記上部ポール，前記下部ポール
およびアルミナ層が島状になるようにその周辺が所定の
厚さで除去されている薄膜磁気ヘッドにおいて、前記島
状の部分を円形に形成したことを特徴とする。また、前
記円形が、曲線で囲まれる形状でもよく、さらに、複数
の円弧からなってもよい。
【００１５】本発明の薄膜磁気ヘッドでは、ポールのエ
ッジ部はポール幅方向に対し円形状に湾曲しているた
め、スキュ−角が変化してもポール幅の全域にわたって
コンター効果が発生するタイミングに時間的なずれを生
じ、ネガティブパルスの再生出力（コンター効果に起因
する再生出力をポール幅方向に積分した値）は、コンタ
ー効果が起こるタイミングが時間的に分散し、無視でき
る程度に小さくなる。
ッジ部はポール幅方向に対し円形状に湾曲しているた
め、スキュ−角が変化してもポール幅の全域にわたって
コンター効果が発生するタイミングに時間的なずれを生
じ、ネガティブパルスの再生出力（コンター効果に起因
する再生出力をポール幅方向に積分した値）は、コンタ
ー効果が起こるタイミングが時間的に分散し、無視でき
る程度に小さくなる。
【００１６】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１７】図１は、本発明の一実施の形態を示す薄膜
磁気ヘッドのポールを記録媒体摺動面側から見た部分拡
大図である。また、図２は、図１のＡ−Ａ′線断面図で
ある。
磁気ヘッドのポールを記録媒体摺動面側から見た部分拡
大図である。また、図２は、図１のＡ−Ａ′線断面図で
ある。
【００１８】図１，図２を参照すると、本実施例の薄膜
磁気ヘッドは、アルミナ層１に隣接する下部ポール２
と、下部ポール２に隣接するギャップ３と、ギャップ３
に隣接して下部ポール２に対向する上部ポール４と、下
部ポール２と上部ポール４との間に絶縁層５を介して形
成されるコイル６とを備えて構成される。
磁気ヘッドは、アルミナ層１に隣接する下部ポール２
と、下部ポール２に隣接するギャップ３と、ギャップ３
に隣接して下部ポール２に対向する上部ポール４と、下
部ポール２と上部ポール４との間に絶縁層５を介して形
成されるコイル６とを備えて構成される。
【００１９】上部ポール４の幅は、製造上の理由から下
部ポール２の幅に比較して小さいのが一般的である。そ
して、本実施例では、上部ポール４および下部ポール２
およびアルミナ層１の端部、すなわち、磁気ディスク装
置に組み込まれた際に記録媒体と摺動する面は、下部ポ
ール４，下部ポール２およびアルミナ層１が円形の島状
になるように、その周辺が所定の厚さだけ除去されてい
る。
部ポール２の幅に比較して小さいのが一般的である。そ
して、本実施例では、上部ポール４および下部ポール２
およびアルミナ層１の端部、すなわち、磁気ディスク装
置に組み込まれた際に記録媒体と摺動する面は、下部ポ
ール４，下部ポール２およびアルミナ層１が円形の島状
になるように、その周辺が所定の厚さだけ除去されてい
る。
【００２０】この島状の形成については、周知の技術を
用いて、例えば、円形の島状のマスクで上部ポール４お
よび下部ポール２を保護した後、イオンミリング法等の
手段を用い、マスクで保護されていない部分の上部ポー
ル４，下部ポール２およびアルミナ層１を数十ｎｍから
数百ｎｍ（図２の符号ｄで示す）だけエッチングを行っ
て除去する。
用いて、例えば、円形の島状のマスクで上部ポール４お
よび下部ポール２を保護した後、イオンミリング法等の
手段を用い、マスクで保護されていない部分の上部ポー
ル４，下部ポール２およびアルミナ層１を数十ｎｍから
数百ｎｍ（図２の符号ｄで示す）だけエッチングを行っ
て除去する。
【００２１】次に、本発明の薄膜磁気ヘッドの動作につ
いて説明する。
いて説明する。
【００２２】前述したように、薄膜磁気ヘッドにおける
ネガティブパルスの再生出力は、ポールエッジ部７の微
少領域におけるコンター効果に起因する再生出力をポー
ル幅方向に積分した値に一致するが、本発明の薄膜磁気
ヘッドのポールエッジ部７は、ポール幅方向に対して円
形状に湾曲しているため、ポール幅全域にわたってコン
ター効果が発生するタイミングが時間的にずれる。すな
わち、コンター効果が起こるタイミングが時間的に分散
し、ネガティブパルスの再生出力を小さく抑えることが
できる。
ネガティブパルスの再生出力は、ポールエッジ部７の微
少領域におけるコンター効果に起因する再生出力をポー
ル幅方向に積分した値に一致するが、本発明の薄膜磁気
ヘッドのポールエッジ部７は、ポール幅方向に対して円
形状に湾曲しているため、ポール幅全域にわたってコン
ター効果が発生するタイミングが時間的にずれる。すな
わち、コンター効果が起こるタイミングが時間的に分散
し、ネガティブパルスの再生出力を小さく抑えることが
できる。
【００２３】また、ポールエッジ部７は、たとえ、ギャ
ップ３と記録媒体の磁化パターンの記録されたトラック
とのなす角度（スキュ−角）が変化しても、ポール幅方
向に対して湾曲しているため、ネガティブパルスの再生
動作は前述した動作と何ら変わることがない。すなわ
ち、本発明の薄膜磁気ヘッドは、スキュー角に何ら依存
することなく、ネガティブパルスの再生出力を小さく抑
えることができる。
ップ３と記録媒体の磁化パターンの記録されたトラック
とのなす角度（スキュ−角）が変化しても、ポール幅方
向に対して湾曲しているため、ネガティブパルスの再生
動作は前述した動作と何ら変わることがない。すなわ
ち、本発明の薄膜磁気ヘッドは、スキュー角に何ら依存
することなく、ネガティブパルスの再生出力を小さく抑
えることができる。
【００２４】なお、本実施例では、ポールのトリム形状
は円形であるが、曲線で囲まれる形状であれば同等の効
果があることは明白である。また、図３に示すように、
複数の円弧で構成される形状にトリミングしてもよい。
は円形であるが、曲線で囲まれる形状であれば同等の効
果があることは明白である。また、図３に示すように、
複数の円弧で構成される形状にトリミングしてもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明の薄膜磁気ヘ
ッドでは、ポールエッジ部はポール幅方向に対して円形
状に湾曲しているため、磁化パターンの記録されたトラ
ックとギャップとのなす角度（スキュ−角）が変化して
も、ネガティブパルスの再生出力（コンター効果に起因
する再生出力をポール幅方向に積分した値）は、コンタ
ー効果が起こるタイミングが時間的に分散してずれるた
め、ネガティブパルスの再生出力を小さくできるという
効果がある。
ッドでは、ポールエッジ部はポール幅方向に対して円形
状に湾曲しているため、磁化パターンの記録されたトラ
ックとギャップとのなす角度（スキュ−角）が変化して
も、ネガティブパルスの再生出力（コンター効果に起因
する再生出力をポール幅方向に積分した値）は、コンタ
ー効果が起こるタイミングが時間的に分散してずれるた
め、ネガティブパルスの再生出力を小さくできるという
効果がある。
【００２６】これにより、非線形ひずみが悪化すること
もなく、磁気ディスク装置のリードエラーの低減および
高線記録密度化が可能となる。
もなく、磁気ディスク装置のリードエラーの低減および
高線記録密度化が可能となる。
【図１】本発明の一実施の形態を示す薄膜磁気ヘッドの
ポール部を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図であ
る。
ポール部を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図であ
る。
【図２】図１のＡ−Ａ′線断面図である。
【図３】本発明の別の実施の形態を示す薄膜磁気ヘッド
のポール部を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図であ
る。
のポール部を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図であ
る。
【図４】従来の薄膜磁気ヘッドにおけるポール部の一例
を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図である。
を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図である。
【図５】従来の薄膜磁気ヘッドにおけるポール部の別の
例を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図である。
例を記録媒体摺動面側から見た部分拡大図である。
１ １１ アルミナ層 ２，１２ 下部ポール ３ １３ ギャップ ４，１４ 上部ポール ５ 絶縁層 ６ コイル ７，１７ａ，１７ｂ ポールエッジ部
Claims (3)
- 【請求項１】 アルミナ層に隣接する下部ポールと、前
記下部ポールに隣接するギャップと、前記ギャップに隣
接して前記下部ポールに対向する上部ポールと、前記下
部ポールと前記上部ポールとの間に絶縁層を介して形成
されるコイルとを備え、記録媒体摺動面の方向から前記
上部ポール，前記下部ポールおよびアルミナ層が島状に
なるようにその周辺が所定の厚さで除去されている薄膜
磁気ヘッドにおいて、前記島状の部分を円形に形成した
ことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 前記円形が、曲線で囲まれる形状である
ことを特徴とする特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項３】 前記曲線で囲まれる形状が複数の円弧か
らなることを特徴とする請求項２記載の薄膜磁気ヘッ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6586796A JPH09259408A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6586796A JPH09259408A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09259408A true JPH09259408A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=13299380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6586796A Pending JPH09259408A (ja) | 1996-03-22 | 1996-03-22 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09259408A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6631054B2 (en) * | 2000-02-17 | 2003-10-07 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head, a magnetic head device, a magnetic disk drive device, and a method for manufacturing a thin film magnetic device |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03263603A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-25 | Alps Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| JPH05334624A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Sony Corp | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
-
1996
- 1996-03-22 JP JP6586796A patent/JPH09259408A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03263603A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-25 | Alps Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| JPH05334624A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Sony Corp | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6631054B2 (en) * | 2000-02-17 | 2003-10-07 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head, a magnetic head device, a magnetic disk drive device, and a method for manufacturing a thin film magnetic device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2637911B2 (ja) | 磁気ヘッド、磁気テープ・データ記憶装置、薄膜磁気センサ・アセンブリを基板上に製造する方法、および、磁気抵抗（ｍｒ）ヘッドの製造方法 | |
| EP0747885B1 (en) | Thin-film transducer for undershoot reduction | |
| US5027246A (en) | Thin film magnetic head and a method for manufacturing thereof | |
| JP2725618B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3578471B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH09259408A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JP2636539B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JP2586763B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH07287817A (ja) | 磁気抵抗効果型ヘッド | |
| JP3558997B2 (ja) | 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH0411313A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| US4980788A (en) | Thin-film-type magnetic head device | |
| JPH0363912A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH11175932A (ja) | インダクティブ／ｍｒ複合型薄膜磁気ヘッド | |
| JP3164050B2 (ja) | 磁気抵抗効果型複合ヘッドの製造方法 | |
| JPS5971124A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド | |
| JP2572241B2 (ja) | 多チャンネル薄膜磁気ヘッド | |
| JPH07110918A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH07121836A (ja) | 磁気抵抗効果型ヘッド | |
| JPS61237231A (ja) | 磁気記録体及びその製造方法 | |
| JPH02216604A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH06274823A (ja) | 磁化記録媒体用薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH05298608A (ja) | 磁気記録及び／又は再生方法 | |
| JPH06301921A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPS61198412A (ja) | 垂直記録用薄膜磁気ヘツド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980331 |